KR102285365B1 - Loading apparatus of open mask for oled - Google Patents

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Abstract

본 발명은 외부에 있는 오픈 마스크를 자력으로 흡착 로딩하면 크레인으로 오픈 마스크 용접기의 내부에 있는 마스크 프레임의 위로 운반하고 자력을 멀게 해서 언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치로서, 특히 오픈 마스크에 대해 자석을 접근/퇴거시켜 로딩/언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 관한 것이다. The present invention is an open mask loading device for organic light emitting diodes that, when an external open mask is adsorbed and loaded by magnetic force, is transported to the top of the mask frame inside the open mask welding machine by a crane and unloaded by removing the magnetic force. It relates to an open mask loading device for an organic light emitting diode that loads/unloads by approaching/removing a magnet.

Description

유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치{LOADING APPARATUS OF OPEN MASK FOR OLED}Open mask loading device for organic light emitting diodes {LOADING APPARATUS OF OPEN MASK FOR OLED}

본 발명은 외부에 있는 오픈 마스크를 자력으로 흡착 로딩하면 크레인으로 오픈 마스크 용접기의 내부에 있는 마스크 프레임의 위로 운반하고 자력을 멀게 해서 언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치로서, 특히 오픈 마스크에 대해 자석을 접근/퇴거시켜 로딩/언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 관한 것이다. The present invention is an open mask loading device for organic light emitting diodes that, when an external open mask is adsorbed and loaded by magnetic force, is transported to the top of the mask frame inside the open mask welding machine by a crane and unloaded by removing the magnetic force. It relates to an open mask loading device for an organic light emitting diode that loads/unloads by approaching/removing a magnet.

스마트폰이나 TV 화면으로 쓰이는 OLED(전류가 흐르면 빛을 내는 유기물질) 패널 생산에 필수품은 금속 박막인 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask·FMM)와 오픈 마스크(Open Mask)가 있다. There are Fine Metal Mask (FMM) and Open Mask, which are thin metal films, essential for the production of OLED (organic material that emits light when an electric current) is used for screens of smartphones and TVs.

즉, 유기발광다이오드(OLED) 증착 공정에는 두 종류의 마스크가 동시에 사용된다. 마이크로미터(μ m) 단위의 미세 구멍이 뚫린 섀도 마스크(FMM)와 개별 패널 형태의 큼직한 구멍이 뚫린 오픈 마스크다.That is, two types of masks are used simultaneously in the organic light emitting diode (OLED) deposition process. It is a shadow mask (FMM) perforated with micrometers (μm) and an open mask with large perforations in the form of individual panels.

스마트폰용 OLED는 FMM 방식의 증착 기술을 사용하고, TV용 OLED는 오픈 마스크 방식의 증착 기술을 사용한다. OLED for smartphones uses FMM deposition technology, and OLED for TV uses open mask deposition technology.

FMM은 얇은 금속 박막에 눈에 보이지 않을 정도의 미세한 구멍이 일정하게 뚫려 있다. 이 FMM을 OLED 패널에 대고 화소 형성 소재를 뿌리면 일정한 크기와 간격으로 화소 형성 소재가 패널 표면에 안착한다. FMM is a thin metal thin film that is constantly drilled with microscopic holes that are invisible to the naked eye. When this FMM is applied to the OLED panel and the pixel forming material is sprayed, the pixel forming material settles on the panel surface at a certain size and spacing.

오픈 마스크는 개별 패널 형태(셀 단위 형태)의 큼직한 구멍이 뚫린 것으로서, OLED 패널에 대고 증착하는 기술에 사용된다. The open mask is a large hole in the form of an individual panel (cell unit type), and is used for deposition technology on the OLED panel.

이러한 FMM이나 오픈 마스크는 원장 또는 분할 시트 형태로 마스크 프레임에 레이저 용접 고정된 후에 증착 기술을 사용하는데, 주로 오픈 마스크인 경우 원장 마스크, FMM인 경우 분할 마스크 형태로 마스크 프레임에 다수 용접 고정한다. These FMMs or open masks are fixed by laser welding to the mask frame in the form of a ledger or a split sheet, and then deposition technology is used. In the case of an open mask, a led mask is mainly welded and fixed to the mask frame in the form of a split mask in the case of an FMM.

오픈 마스크는 오픈 마스크 용접기에서 레이저 용접에 의해 마스크 프레임에 원장 한 장이 용접 고정된다. An open mask is welded and fixed to the mask frame by laser welding in an open mask welding machine.

오픈 마스크 용접기는 OLED 화소 증착 시 오픈 마스크를 마스크 프레임에 처짐 없이 고정 및 인장시키는 장비이다. The open mask welding machine is an equipment that fixes and tensions the open mask on the mask frame without sagging when depositing OLED pixels.

OLED 공정 중 공통층(HIL, HTL, ETL, EIL, Cathode)을 증착하기 위해서 오픈 마스크(또는 마스크 시트)를 이용 마스크 프레임에 용접을 하는 장비이다. This equipment welds an open mask (or mask sheet) to a mask frame to deposit a common layer (HIL, HTL, ETL, EIL, cathode) during the OLED process.

이때 사용하는 시트는 통상 분할된 시트가 아닌 하나의 원장 마스크 시트로 구성되어 있다. The sheet used at this time is usually composed of one ledger mask sheet rather than a divided sheet.

마스크 프레임 위에 원장 시트를 용접하기 위해 평탄도 및 처짐을 보장하기 위한 장력 장치인 클램프를 사용하여 원장 시트를 전방향(4변 전체)에서 잡고(클램핑) 잡아당겨서(인장) 측정 장치를 사용, 모니터링하여 원장 시트가 설정된 위치까지 정확하게 인장됐는지 확인하고 레이저 용접유닛으로 마스크 프레임에 용접하는 장비이다. To weld the ledger sheet onto the mask frame, hold (clamp) and pull (tensile) the ledger sheet in all directions (all four sides) using a clamp, a tension device to ensure flatness and deflection, to ensure flatness and deflection, and monitor using a measuring device This is an equipment that checks whether the ledger sheet is accurately tensioned to the set position and welds it to the mask frame with a laser welding unit.

이러한 오픈 마스크는 통상 진공 흡착으로 로딩한 후 크레인을 통해 오픈 마스크 용접기의 내부에 이송한 후 마스크 프레임 위에 언로딩한다. Such an open mask is usually loaded by vacuum suction and then transferred to the inside of the open mask welding machine through a crane, and then unloaded on the mask frame.

즉, 시트의 액티브 영역과 살대에 간섭이 발생하지 않도록 테두리에서만 진공 흡착하게 되는데, 디자인 변경 등으로 인해 테두리에 형성된 얼라인 홀과 셀 단위 구멍과 같이 진공 흡착에 영향을 주는 영역을 회피하여 패드 영역을 조정하여야 하기 때문에, 진공 흡착해주는 패드와 패드 사이 간격 부분이 불가피하게 넓어지면서 테두리 전체를 흡착하는 것에 비해서 흡착력이 감소하여 시트 전체를 같은 힘으로 균일하게 들어올리지 못해 흡착된 시트가 마치 물결친 것처럼 웨이브가 발생하게 되는 문제가 있다. That is, vacuum adsorption is performed only at the edge so as not to interfere with the active area of the sheet and the ribs. The pad area avoids areas that affect vacuum adsorption, such as alignment holes and cell unit holes formed on the edge due to design changes, etc. As the gap between the pad and the pad that vacuum adsorbs is inevitably widened, the adsorption force is reduced compared to adsorbing the entire edge. There is a problem that the wave is generated.

또한, 모델별 시트 액티브 영역(셀 단위 영역) 차이로 인하여 진공 패드와의 간섭이 발생하고 진공 흡착하는 부분에 구멍이 조금이라도 걸치게 되면 리크가 생기는 문제도 발생하게 된다.In addition, due to the difference in the sheet active area (cell unit area) for each model, interference with the vacuum pad occurs, and if there is even a small hole in the vacuum adsorption area, a problem of leakage occurs.

위와 같은 문제로 마스크 시트를 마스크 프레임 위로 이송한 후 마스크 시트를 잡아서 인장 시 클램프가 마스크 시트를 제대로 클램핑 하지 못하는 문제가 발생하며 전체적인 용접 결과 데이터에 영향을 주게 된다. Due to the above problem, the clamp does not properly clamp the mask sheet when the mask sheet is held and tensioned after the mask sheet is transferred over the mask frame, which affects the overall welding result data.

한국공개특허공보 제10-2010-0043309호Korean Patent Publication No. 10-2010-0043309 한국공개특허공보 제10-2011-0046780호Korean Patent Publication No. 10-2011-0046780

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다양한 디자인 변경으로 로딩 될 자리에 진공 흡착에 영향을 주는 영역이 있는 어떠한 오픈 마스크라도 시트 흡착 시 발생할 수 있는 웨이브와 리크 같은 문제없이 안정적으로 균일한 힘으로 로딩하여 마스크 프레임 상에 언로딩 할 수 있는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치를 제공함에 그 목적이 있다. The present invention has been devised to solve the above problems, and any open mask having a region that affects vacuum adsorption at the place to be loaded due to various design changes is stably and uniformly without problems such as waves and leaks that may occur during sheet adsorption. An object of the present invention is to provide an open mask loading device for an organic light emitting diode that can be loaded with one force and unloaded on a mask frame.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 청구항 1의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치는, 오픈 마스크(M)를 로딩하여 오픈 마스크 용접기(1) 내에서 언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치(100)로서, 베이스판(110)과, 베이스판(110)의 가장자리 아래에 적어도 마주하게 배치되는 비자성 스토퍼(130)와, 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이에 배치되는 자석유닛(150)과, 베이스판(110)에 설치되어 자석유닛(150)을 비자성 스토퍼(130)에 대해 접근/퇴거하는 접근/퇴거부재(170)와, 비자성 스토퍼(130)를 베이스판(110)에 지지하는 지지부재(190)를 포함한다.In order to achieve the above object, the open mask loading apparatus for an organic light emitting diode according to claim 1 according to the present invention is an open mask for an organic light emitting diode that loads the open mask M and unloads it in the open mask welding machine 1 . As the loading device 100 , between the base plate 110 and the non-magnetic stopper 130 disposed to face at least under the edge of the base plate 110 , and the base plate 110 and the non-magnetic stopper 130 . The magnet unit 150 disposed, the approach/removal member 170 that is installed on the base plate 110 and approaches/removes the magnet unit 150 with respect to the non-magnetic stopper 130, and the non-magnetic stopper 130 and a support member 190 for supporting the base plate 110 .

본 발명에 따른 청구항 2의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 있어서, 비자성 스토퍼(130)는 상층엔 우레탄층(131), 하층엔 비금속층(133)으로 구성되어 있다.In the open mask loading device for an organic light emitting diode according to claim 2 according to the present invention, the non-magnetic stopper 130 includes a urethane layer 131 on an upper layer and a non-metal layer 133 on a lower layer.

본 발명에 따른 청구항 3의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 있어서, 자석유닛(150)은 소정 간격마다 배치되는 다수의 영구자석(151)과, 다수의 영구자석(151)을 지지하는 지지캡(153)을 포함하되, 다수의 영구자석(151)의 하단은 지지캡(153)의 하단보다 약간 더 아래로 돌출(h)되게 배치되어 있다. In the open mask loading apparatus for an organic light emitting diode according to claim 3 according to the present invention, the magnet unit 150 includes a plurality of permanent magnets 151 disposed at predetermined intervals, and a support cap for supporting the plurality of permanent magnets 151 . Including (153), the lower ends of the plurality of permanent magnets 151 are arranged to protrude slightly lower than the lower ends of the support caps 153 (h).

본 발명에 따른 청구항 4의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 있어서, 접근/퇴거부재(170)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 액추에이터(171)와, 액추에이터(171)와 자석유닛(150) 사이를 연결하는 가동연결부(173)를 포함하며, 액추에이터(171)는 베이스판(110)에 고정되는 실린더(171a)와, 실린더(171a)의 상측에서 업/다운하는 피스톤(171b)으로 구성되고, 가동연결부(173)는 피스톤(171b)의 상단에 고정되는 가동수평바(173a)와, 가동수평바(173a)의 양측과 지지캡(153) 사이를 연결하는 가동수직바(173b)를 포함하되, 가동수직바(173b)는 베이스판(110)에 형성된 가이드 홀(111)을 통해 업/다운 가이드 된다.In the open mask loading apparatus for an organic light emitting diode according to claim 4 according to the present invention, the approach/exit member 170 includes an actuator 171 installed on the upper surface of the base plate 110, an actuator 171 and a magnet unit ( 150) includes a movable connection part 173 connecting between, and the actuator 171 is a cylinder 171a fixed to the base plate 110, and a piston 171b that is up/down from the upper side of the cylinder 171a. is configured, and the movable connection part 173 is a movable horizontal bar (173a) fixed to the upper end of the piston (171b), and a movable vertical bar (173b) connecting both sides of the movable horizontal bar (173a) and the support cap (153). However, the movable vertical bar (173b) is guided up/down through the guide hole (111) formed in the base plate (110).

본 발명에 따른 청구항 5의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 있어서, 지지부재(190)는 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이를 연결하는 연결바(191)와, 베이스판(110)에 설치되어 연결바(191)를 탄성 가압하는 탄성가압부(193)를 포함하고, 탄성가압부(193)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 탄성캡(193a)과, 탄성캡(193a)에 탑재되는 스프링(미도시)을 포함하고, 연결바(191)는 베이스판(110)에 형성된 가이드 홀(미도시)을 통해 업/다운 가이드 된다. In the open mask loading apparatus for an organic light emitting diode according to claim 5 according to the present invention, the support member 190 includes a connecting bar 191 connecting between the base plate 110 and the non-magnetic stopper 130 and the base plate ( 110) and includes an elastic pressing part 193 for elastically pressing the connecting bar 191, and the elastic pressing part 193 includes an elastic cap 193a installed on the upper surface of the base plate 110, and an elastic cap. It includes a spring (not shown) mounted on the 193a, and the connecting bar 191 is guided up/down through a guide hole (not shown) formed in the base plate 110 .

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다. According to the present invention, the following effects are obtained.

오픈 마스크가 자석의 거리에 따른 자력 흡착/해제로 로딩/언로딩 되기 때문에, 다양한 디자인 변경으로 흡착될 위치에 구멍이 형성되더라도 정확히 로딩 가능하다. Since the open mask is loaded/unloaded by magnetic adsorption/release according to the distance of the magnet, it is possible to accurately load even if a hole is formed in the position to be adsorbed due to various design changes.

특히, 진공 흡착에 의한 누수가 없는 자력에 의한 로딩으로 인해서, 오픈 마스크의 테두리 대부분 전체를 균일한 힘으로 흡착해서 균일하게 들어올리기 때문에, 웨이브가 발생되지 않아서 추후 언로딩 할 때에도 클램핑이 정확히 이루어져 전체적인 용접 결과 데이터를 양호하게 한다. In particular, due to the loading by magnetic force without leakage due to vacuum adsorption, most of the edges of the open mask are adsorbed with a uniform force and lifted up uniformly, so that no wave is generated, so even when unloading later, the clamping is performed accurately. Welding result data is good.

자성유닛이 오픈 마스크에 대해 업/다운 직선거리에 따라 로딩/언로딩 하기 때문에 균일한 자력을 오픈 마스크에 전달할 수 있다. A uniform magnetic force can be transmitted to the open mask because the magnetic unit loads/unloads according to the up/down linear distance with respect to the open mask.

비자성 스토퍼로 오픈 마스크를 눌려 밀착시킨 상태에서 자석유닛이 내려와 자력 흡착시키기 때문에, 오픈 마스크와 비자성 스토퍼 사이의 들뜬 곳(틈새)이 없어서 균일한 자력으로 로딩시킬 수 있다. Since the magnet unit descends and magnetically adsorbs the open mask with the non-magnetic stopper pressed in close contact, there is no open space (gap) between the open mask and the non-magnetic stopper, so that it can be loaded with a uniform magnetic force.

비자성 스토퍼의 상층인 우레탄층은 자석유닛의 자석이 닿을 때 탄성 변형으로 완충역할을 하여, 하층인 비금속층의 흠집이나 변형 등을 방지한다. The urethane layer, which is the upper layer of the non-magnetic stopper, acts as a buffer by elastic deformation when the magnet of the magnet unit touches it, thereby preventing scratches or deformation of the non-metal layer, which is the lower layer.

또한, 탄성가압부가 비자성 스토퍼를 탄성 가압되게 설치됨으로써, 비자성 스토퍼가 오픈 마스크에 무리하게 누르는 것을 방지한다. In addition, since the elastic pressing unit is installed to elastically press the non-magnetic stopper, it is prevented that the non-magnetic stopper is forcibly pressed against the open mask.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 OLED용 오픈 마스크 용접기의 레이아웃을 설명하기 위한 개략 측면도.
도 2, 도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 OLED용 오픈 마스크의 로딩장치가 크레인에서 내려와 스토퍼의 밑면이 오픈 마스크를 눌러 밀착한 상태를 나타내는 정면도, 평면도 및 저면 사시도.
도 5는 도 3의 5-5선을 취하여 본 단면도.
도 6 및 도 7은 도 5의 상태에서 하강한 자석이 스토퍼의 상면에 접촉한 로딩 준비 상태를 나타내는 정면도와 저면 사시도.
도 8는 도 7의 8-8선을 취하여 본 단면도.
1 is a schematic side view for explaining the layout of an open mask welding machine for OLED according to a preferred embodiment of the present invention.
2, 3 and 4 are a front view, a plan view and a bottom perspective view showing a state in which the loading device of the open mask for OLED according to the present invention is brought down from the crane and the bottom of the stopper is in close contact with the open mask.
5 is a cross-sectional view taken along line 5-5 of FIG. 3;
6 and 7 are a front view and a bottom perspective view showing a loading preparation state in which the magnet descended from the state of FIG. 5 is in contact with the upper surface of the stopper.
Fig. 8 is a cross-sectional view taken along line 8-8 of Fig. 7;

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 OLED용 오픈 마스크 용접기의 레이아웃을 설명하기 위한 개략 측면도이고, 도 2, 도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 OLED용 오픈 마스크의 로딩장치가 크레인에서 내려와 스토퍼의 밑면이 오픈 마스크를 눌러 밀착한 상태를 나타내는 정면도, 평면도 및 저면 사시도이고, 도 5는 도 3의 5-5선을 취하여 본 단면도이고, 도 6 및 도 7은 도 5의 상태에서 하강한 자석이 스토퍼의 상면에 접촉한 로딩 준비 상태를 나타내는 정면도와 저면 사시도이고, 도 8는 도 7의 8-8선을 취하여 본 단면도이다. 1 is a schematic side view for explaining the layout of an open mask welding machine for OLED according to a preferred embodiment of the present invention, and FIGS. 2, 3 and 4 are the loading device of the open mask for OLED according to the present invention coming down from the crane It is a front view, a top view, and a bottom perspective view showing a state in which the bottom of the stopper is in close contact by pressing the open mask, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line 5-5 of FIG. It is a front view and a bottom perspective view showing a loading preparation state in which a magnet is in contact with the upper surface of the stopper, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line 8-8 of FIG.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 OLED용 오픈 마스크 용접 시스템은 오픈 마스크 용접기(1), 오픈 마스크 재치대(3), 오픈 마스크 재치대(3)의 오픈 마스크(M)를 오픈 마스크 용접기(1)로 운반하는 크레인(5)을 포함한다. As shown in FIG. 1 , the open mask welding system for OLED according to the present embodiment opens the open mask M of the open mask welding machine 1 , the open mask mounting table 3 , and the open mask mounting table 3 . It includes a crane (5) for transporting to the mask welding machine (1).

오픈 마스크(M)는 사각형(또는 직사각형)의 얇은 금속판인 시트로서, 오픈 마스크 재치대(3)에 한 장씩 재치된 상태에서 오픈 마스크 용접기(1)의 일측에 놓이게 된다. The open mask M is a rectangular (or rectangular) sheet of thin metal plate, and is placed on one side of the open mask welding machine 1 in a state where each sheet is placed on the open mask mounting table 3 .

크레인(5)에는 오픈 마스크 재치대(3)의 오픈 마스크(M)를 로딩하는 오픈 마스크 로딩장치(100)가 포함되어 있다. The crane 5 includes an open mask loading device 100 for loading the open mask M of the open mask mounting table 3 .

오픈 마스크 로딩장치(100)는 크레인(5)의 업/다운 실린더(7)에 지지되어 있다. The open mask loading device 100 is supported on the up/down cylinder 7 of the crane 5 .

로딩된 오픈 마스크(M)는 오픈 마스크 용접기(1)의 내부에 안착된 마스크 프레임(MF) 상에 언로딩 된 후 정렬 및 레이저 용접된다. The loaded open mask M is unloaded on the mask frame MF seated inside the open mask welding machine 1 and then aligned and laser welded.

마스크 프레임(MF)은 오픈 마스크(M)와 마찬가지로 재치대(3)로부터 마주하는 가장자리를 암(A)에 끼워 로딩한 후 크레인(5)으로 운반해서 오픈 마스크 용접기(1)의 스테이지 상에 언로딩 한다. The mask frame MF, like the open mask M, is loaded by inserting the edge facing from the mounting table 3 into the arm A, then transported by the crane 5 and unloaded on the stage of the open mask welding machine 1 to load

오픈 마스크 로딩장치(100)는 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 크레인(5)의 업/다운 실린더(7)에 지지되는 베이스판(110)과, 베이스판(110)의 가장자리 아래에 배치되는 비자성 스토퍼(130)와, 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이에 배치되는 자석유닛(150)과, 베이스판(110)에 설치되어 자석유닛(150)을 비자성 스토퍼(130)에 대해 접근/퇴거하는 접근/퇴거부재(170)와, 비자성 스토퍼(130)를 베이스판(110)에 지지하는 지지부재(190)를 포함한다. The open mask loading device 100 is, as shown in FIGS. 2 to 5 , a base plate 110 supported by the up/down cylinder 7 of the crane 5 , and an edge of the base plate 110 under the The non-magnetic stopper 130 is arranged, the magnet unit 150 is arranged between the base plate 110 and the non-magnetic stopper 130, and the magnet unit 150 is installed on the base plate 110 to prevent the magnet unit 150 from being a non-magnetic stopper. It includes an access/removal member 170 that approaches/exits with respect to 130 , and a support member 190 that supports the non-magnetic stopper 130 to the base plate 110 .

베이스판(110)은 오픈 마스크(M)와 같은 사각형(또는 직사각형)으로서, 그 넓이는 오픈 마스크(M)의 넓이 내로 들어오는 사이즈가 바람직하다.The base plate 110 is a square (or rectangular) same as the open mask M, and the width thereof is preferably a size that falls within the area of the open mask M.

이것은 도 2와 같이 흡착되지 않는 가장자리가 필요한데, 로딩된 오픈 마스크(M)를 마스크 프레임(MP) 위에 언로딩 하기 전에 클램프(미도시)로 클램핑 할 자리가 필요하기 때문이다. This requires an edge that is not adsorbed as shown in FIG. 2, because a place to clamp the loaded open mask M with a clamp (not shown) before unloading it on the mask frame MP is required.

비자성 스토퍼(130)는 본 실시예에서와 같이 오픈 마스크(M)의 가장자리 4변을 누르게 배치되는 띠 형상이지만, 적어도 평행하게 마주하는 2변만 눌러도 되게 배치되어도 좋다. The non-magnetic stopper 130 has a band shape arranged to press the four edges of the open mask M as in the present embodiment, but may be arranged to press at least two parallelly facing sides.

비자성 스토퍼(130)는 오픈 마스크(M)와의 밀착으로 균일한 흡착뿐 아니라, 자석유닛(150)이 내려오는 도중에 오픈 마스크(M)가 딸려 올라오지 못하게 하는 역할도 겸한다. The non-magnetic stopper 130 serves to not only adsorb uniformly in close contact with the open mask M, but also prevent the open mask M from coming up while the magnet unit 150 is descending.

비자성 스토퍼(130)는 두 개의 층으로 이루어지는데, 상층은 우레탄층(131), 하층은 비금속층(133)으로 구성된다. The non-magnetic stopper 130 is made of two layers, the upper layer is composed of a urethane layer 131 and the lower layer is composed of a non-metal layer 133 .

비자성 스토퍼(130)는 비금속층(133)을 인서트 한 채 우레탄층(131)을 사출 성형하거나, 두 층을 가열 가압해서 접착제로 접착시켜 만들 수 있다. The non-magnetic stopper 130 may be made by injection molding the urethane layer 131 with the non-metal layer 133 inserted therein, or bonding the two layers with an adhesive by heating and pressing.

비금속층(133)은 오픈 마스크(M)를 직접 눌러 밀착시키는 접촉스토퍼로서, 비자성의 알루미늄 재질로 구현되는 것이 바람직하다. The non-metal layer 133 is a contact stopper that directly presses the open mask M in close contact, and is preferably made of a non-magnetic aluminum material.

알루미늄 재질의 스토퍼(133)가 비자성이고 가공성이 매우 좋고 강성도 뛰어나다. The stopper 133 made of aluminum is non-magnetic, has very good workability, and has excellent rigidity.

물론, 플라스틱 재질로 사용하여도 좋지만, 알루미늄에 비해 가공성이 나쁘고 계속 누르고 밀착시키는 반복 과정에서 흠집이나 변형 등이 생겨 로딩 시 균일하게 자력 흡착되지 않을 우려가 크다.Of course, it can be used as a plastic material, but it has poor workability compared to aluminum, and scratches or deformations occur in the repeated process of pressing and adhering, so there is a high possibility that it will not be magnetically adsorbed uniformly during loading.

우레탄층(131)은 후술되는 자석유닛(150)이 내려와 접촉될 때 탄성 변형으로 무리하게 밀고 내려가는 것을 방지하는 완충 역할을 한다. The urethane layer 131 serves as a buffer to prevent the magnet unit 150, which will be described later, from pushing down forcefully due to elastic deformation when it comes into contact with it.

자석유닛(150)은 비자성 스토퍼(130)와 상하로 마주보게 배치되어 있다. The magnet unit 150 is disposed to face the non-magnetic stopper 130 up and down.

즉, 자석유닛(150)은 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 오픈 마스크(M)의 테두리를 따라 소정 간격마다 배치되는 다수의 영구자석(151)과, 다수의 영구자석(151)을 지지하는 지지캡(153)을 포함한다. That is, the magnet unit 150 includes a plurality of permanent magnets 151 and a plurality of permanent magnets 151 disposed at predetermined intervals along the edge of the open mask M, as shown in FIGS. 4 and 5 . and a support cap 153 for supporting it.

지지캡(153)은 하면이 뚫린 가늘고 긴 박스 형상이다. The support cap 153 is in the shape of a long and thin box with a perforated lower surface.

다수의 영구자석(151)의 하단은 도 2 및 도 5와 같이 지지캡(153)의 하단보다 약간 더 아래로 돌출되게 배치되어, 스토퍼(130)에 최대한 가까이 닿은 상태에서 자력이 잘 통하게 한다. The lower ends of the plurality of permanent magnets 151 are arranged to protrude slightly lower than the lower ends of the support caps 153, as shown in FIGS.

이러한 자석유닛(150)은 오픈 마스크(M)의 테두리 넓이에 따라 두 개 또는 그 이상의 복수개로 배치된다. Two or more of these magnet units 150 are arranged according to the width of the edge of the open mask (M).

물론, 자석유닛(150)이 복수개이면, 비자성 스토퍼(130)와 접근/퇴거부재(170) 및 지지부재(190)도 동일하게 복수개로 배치되게 된다. Of course, if the magnet unit 150 is a plurality, the non-magnetic stopper 130 and the approach/exit member 170 and the support member 190 are also arranged in plurality.

접근/퇴거부재(170)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 액추에이터(171)와, 액추에이터(171)와 자석유닛(150) 사이를 연결하는 가동연결부(173)를 포함한다. The approach/exit member 170 includes an actuator 171 installed on the upper surface of the base plate 110 , and a movable connection part 173 connecting the actuator 171 and the magnet unit 150 .

액추에이터(171)는 베이스판(110)에 고정되는 실린더(171a)와, 실린더(171a)의 상측에서 업/다운하는 피스톤(171b)으로 구성되는 업/다운 방식의 에어 실린더이다. The actuator 171 is an air cylinder of an up/down type consisting of a cylinder 171a fixed to the base plate 110 and a piston 171b that is up/down from the upper side of the cylinder 171a.

도 2 내지 도 5는 피스톤(171b)이 업(밀어올림) 상태일 때 자석유닛(150)은 비자성 스토퍼(130)에서 멀리 떨어진 퇴거 상태를 나타낸다.2 to 5 illustrate a state in which the magnet unit 150 is moved away from the non-magnetic stopper 130 when the piston 171b is in an up (push-up) state.

도 6 내지 도 8은 피스톤(171b)이 다운(당겨 내림) 상태일 때 자석유닛(150)은 비자성 스토퍼(130)에 접촉된 접근 상태를 나타낸다. 6 to 8 show a state in which the magnet unit 150 is in contact with the non-magnetic stopper 130 when the piston 171b is in a down (pulled down) state.

가동연결부(173)는 피스톤(171b)의 상단에 고정되는 가동수평바(173a)와, 가동수평바(173a)의 양측과 지지캡(153) 사이를 연결하는 가동수직바(173b)를 포함하는 갠트리(gantry) 형상이다. The movable connection part 173 includes a movable horizontal bar (173a) fixed to the upper end of the piston (171b) and a movable vertical bar (173b) connecting both sides of the movable horizontal bar (173a) and the support cap (153). It has a gantry shape.

가동수직바(173b)는 베이스판(110)에 상하로 뚫린 가이드 홀(111)을 통해 업/다운 가이드 된다. The movable vertical bar 173b is guided up/down through the guide holes 111 drilled up and down in the base plate 110 .

지지부재(190)는 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이를 연결하는 연결바(191)를 포함한다. The support member 190 includes a connection bar 191 connecting the base plate 110 and the non-magnetic stopper 130 .

또한, 지지부재(190)는 베이스판(110)에 설치되어 연결바(191)를 탄성 가압하는 탄성가압부(193)를 포함한다. In addition, the support member 190 includes an elastic pressing part 193 installed on the base plate 110 to elastically press the connecting bar 191 .

탄성가압부(193)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 탄성캡(193a)과, 탄성캡(193a)에 탑재되는 스프링(미도시)를 포함한다.The elastic pressing unit 193 includes an elastic cap 193a installed on the upper surface of the base plate 110 and a spring (not shown) mounted on the elastic cap 193a.

연결바(191)의 하단은 비자성 스토퍼(130)에 고정되고, 연결바(191)의 상단은 상기 스프링(미도시)의 탄성 가압을 받게 설치된다.The lower end of the connecting bar 191 is fixed to the non-magnetic stopper 130 , and the upper end of the connecting bar 191 is installed to receive elastic pressure from the spring (not shown).

이러한 스프링의 탄성 가압이 연결바(191)에 전달되기 위해, 가동수직바(173b)와 마찬가지로 연결바(191)의 업/다운 가이드 시키는 가이드 홀(미도시)이 베이스판(110)에 상하로 뚫려 있다. In order to transmit the elastic pressurization of the spring to the connecting bar 191, a guide hole (not shown) for guiding the up/down of the connecting bar 191 like the movable vertical bar 173b is provided on the base plate 110 up and down. is perforated

이하에서는 위와 같은 본 실시예에 따른 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)를 이용하여 오픈 마스크(M)의 로딩 및 언로딩 하는 작동에 대해 설명한다. Hereinafter, an operation of loading and unloading the open mask M using the open mask loading apparatus 100 for OLED according to the present embodiment will be described.

먼저, 도 1과 같이 오픈 마스크 재치대(3) 위쪽에 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)가 배치되어 있다. First, as shown in FIG. 1 , an open mask loading apparatus 100 for OLED is disposed above the open mask mounting table 3 .

이 상태에서 크레인(7)의 업/다운 실린더(7)의 작동으로 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)가 내려오면, 도 2 및 도 5와 같이 비자성 스토퍼(130)가 오픈 마스크(M)의 테두리를 눌러 오픈 마스크(M)와 비자성 스토퍼(130) 간을 밀착시킨다. In this state, when the open mask loading device 100 for OLED descends by the operation of the up/down cylinder 7 of the crane 7, the non-magnetic stopper 130 opens the mask M as shown in FIGS. 2 and 5 . Press the edge of the open mask (M) and the non-magnetic stopper 130 is in close contact.

밀착된 상태에서, 도 6 및 도 8과 같이 접근/퇴거부재(170)의 작동으로 자석유닛(150)을 비자성 스토퍼(130) 쪽으로 하강시켜 다수의 영구자석(151)을 비자성 우레탄층(131)에 접촉시킨다.In the close contact state, as shown in FIGS. 6 and 8, the magnet unit 150 is lowered toward the non-magnetic stopper 130 by the operation of the approach/exit member 170 as shown in FIGS. 131).

그러면 오픈 마스크(M)와 영구자석(151)이 매우 근접하게 되어 자력에 의해 비자성 알루미늄층(133)에 흡착 로딩되게 된다. Then, the open mask M and the permanent magnet 151 become very close to each other so that they are adsorbed and loaded onto the non-magnetic aluminum layer 133 by magnetic force.

자력에 의해 흡착 로딩된 상태에서, 크레인(5)의 업/다운 실린더(7)로 도 1과 같은 형태로 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)를 들어올린다. In the state of adsorption loading by magnetic force, the open mask loading device 100 for OLED is lifted in the form as shown in FIG. 1 by the up/down cylinder 7 of the crane 5 .

오픈 마스크(M)가 로딩된 OLED 용 오픈 마스크 로딩장치(100)가 들어올린 상태에서 크레인(5)은 오픈 마스크 용접기(1)의 내부로 운반한다. In a state in which the open mask loading device 100 for OLED loaded with the open mask M is lifted, the crane 5 transports it into the open mask welding machine 1 .

오픈 마스크(M)의 마스크 프레임(미도시) 상에 언로딩 하는 것은 반대로 자석유닛(150)을 업 시킴으로써 비자성 스토퍼(130)와 거리를 멀게 하여 자력 흡착을 해제시킨다. The unloading on the mask frame (not shown) of the open mask (M), on the contrary, by raising the magnet unit 150 up the non-magnetic stopper 130 and the distance away to release the magnetic attraction.

전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변경 또는 변형하여 실시할 수 있다.As described above, although described with reference to preferred embodiments of the present invention, those of ordinary skill in the art may vary the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. It can be implemented by changing or modifying it.

예컨대 본 실시예의 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)가 오픈 마스크(M)의 로딩/언로딩에 사용되는 것으로 설명하였지만, 파인 금속 마스크(FMM)의 로딩/언로딩에도 적용 가능하고, 마스크가 원장 마스크(4변 로딩/언로딩) 또는 분할 마스크(마주하는 2변 로딩/언로딩) 어느 것에도 적용 가능하다. For example, although it has been described that the open mask loading apparatus 100 for OLED of this embodiment is used for loading/unloading of the open mask M, it is also applicable to loading/unloading of the fine metal mask (FMM), and the mask is the ledger. It is applicable to either a mask (loading/unloading four sides) or a split mask (loading/unloading opposite sides).

1 : 오픈 마스크 용접기 3 : 오픈 마스크 재치대
5 : 크레인 7 : 업/다운 실린더
100 : OLED용 오픈 마스크 로딩장치 110 : 베이스판
111 : 가이드 홀 130 : 비자성 스토퍼
131 : 우레탄층 133 : 비금속(AL)층
150 : 자석유닛 151 : 영구자석
153 : 지지캡 170 : 접근/퇴거부재
171 : 액추에이터 171a : 에어실린더
171b : 피스톤 173 : 가동연결부
173a : 가동수평바 173b : 가동수직바
190 : 지지부재 191 : 연결바
193 : 탄성가압부 193a : 탄성캡
M : 오픈 마스크 MF : 마스크 프레임
1: open mask welding machine 3: open mask mounting table
5: Crane 7: Up/Down Cylinder
100: OLED open mask loading device 110: base plate
111: guide hole 130: non-magnetic stopper
131: urethane layer 133: non-metal (AL) layer
150: magnet unit 151: permanent magnet
153: support cap 170: access / exit member
171: actuator 171a: air cylinder
171b: piston 173: movable connection part
173a: movable horizontal bar 173b: movable vertical bar
190: support member 191: connecting bar
193: elastic pressing part 193a: elastic cap
M : open mask MF : mask frame

Claims (5)

오픈 마스크(M)를 로딩하여 오픈 마스크 용접기(1) 내에서 언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치(100)로서,
베이스판(110)과,
베이스판(110)의 가장자리 아래에 적어도 마주하게 배치되는 비자성 스토퍼(130)와,
베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이에 배치되는 자석유닛(150)과,
베이스판(110)에 설치되어 자석유닛(150)을 비자성 스토퍼(130)에 대해 접근/퇴거하는 접근/퇴거부재(170)와,
비자성 스토퍼(130)를 베이스판(110)에 지지하는 지지부재(190)를 포함하되,
접근/퇴거부재(170)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 액추에이터(171)와, 액추에이터(171)와 자석유닛(150) 사이를 연결하는 가동연결부(173)를 포함하며,
액추에이터(171)는 베이스판(110)에 고정되는 실린더(171a)와, 실린더(171a)의 상측에서 업/다운하는 피스톤(171b)으로 구성되고,
가동연결부(173)는 피스톤(171b)의 상단에 고정되는 가동수평바(173a)와, 가동수평바(173a)의 양측과 지지캡(153) 사이를 연결하는 가동수직바(173b)를 포함하되,
가동수직바(173b)는 베이스판(110)에 형성된 가이드 홀(111)을 통해 업/다운 가이드 되는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치.
An open mask loading apparatus 100 for an organic light emitting diode that loads and unloads the open mask M in the open mask welding machine 1,
a base plate 110 and
A non-magnetic stopper 130 disposed to face at least under the edge of the base plate 110,
A magnet unit 150 disposed between the base plate 110 and the non-magnetic stopper 130,
An access/removal member 170 installed on the base plate 110 to access/retract the magnet unit 150 with respect to the non-magnetic stopper 130, and
Including a support member 190 for supporting the non-magnetic stopper 130 to the base plate 110,
The access/exit member 170 includes an actuator 171 installed on the upper surface of the base plate 110, and a movable connection part 173 connecting the actuator 171 and the magnet unit 150,
Actuator 171 is composed of a cylinder (171a) fixed to the base plate 110, and a piston (171b) up / down from the upper side of the cylinder (171a),
The movable connection part 173 includes a movable horizontal bar (173a) fixed to the upper end of the piston (171b) and a movable vertical bar (173b) connecting both sides of the movable horizontal bar (173a) and the support cap (153). ,
The movable vertical bar 173b is an open mask loading device for an organic light emitting diode that is guided up/down through the guide hole 111 formed in the base plate 110 .
청구항 1에 있어서,
비자성 스토퍼(130)는 상층엔 우레탄층(131), 하층엔 비금속층(133)으로 구성되는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치.
The method according to claim 1,
The non-magnetic stopper 130 is an open mask loading device for an organic light emitting diode composed of an upper layer of a urethane layer 131 and a lower layer of a non-metal layer 133 .
청구항 1에 있어서,
자석유닛(150)은 소정 간격마다 배치되는 다수의 영구자석(151)과, 다수의 영구자석(151)을 지지하는 지지캡(153)을 포함하되,
다수의 영구자석(151)의 하단은 지지캡(153)의 하단보다 약간 더 아래로 돌출(h)되게 배치되는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치.
The method according to claim 1,
The magnet unit 150 includes a plurality of permanent magnets 151 disposed at predetermined intervals, and a support cap 153 for supporting the plurality of permanent magnets 151,
The lower end of the plurality of permanent magnets 151 is an open mask loading device for an organic light emitting diode which is disposed to protrude (h) slightly lower than the lower end of the support cap 153 .
삭제delete 청구항 1에 있어서,
지지부재(190)는 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이를 연결하는 연결바(191)와, 베이스판(110)에 설치되어 연결바(191)를 탄성 가압하는 탄성가압부(193)를 포함하고,
탄성가압부(193)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 탄성캡(193a)과, 탄성캡(193a)에 탑재되는 스프링(미도시)를 포함하고,
연결바(191)는 베이스판(110)에 형성된 가이드 홀(미도시)을 통해 업/다운 가이드 되는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치.
The method according to claim 1,
The support member 190 includes a connecting bar 191 connecting between the base plate 110 and the non-magnetic stopper 130, and an elastic pressing part installed on the base plate 110 to elastically press the connecting bar 191 ( 193),
The elastic pressing unit 193 includes an elastic cap 193a installed on the upper surface of the base plate 110 and a spring (not shown) mounted on the elastic cap 193a,
The connecting bar 191 is an open mask loading device for an organic light emitting diode that is guided up/down through a guide hole (not shown) formed in the base plate 110 .
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KR101000750B1 (en) 2008-10-20 2010-12-13 김주환 clamp stage
KR101094822B1 (en) 2009-10-29 2011-12-16 김주환 Mask welding apparatus
KR101307153B1 (en) * 2011-06-20 2013-09-17 주식회사 아이.엠.텍 Largest space glass aligner running gear and method
KR102068000B1 (en) * 2012-11-19 2020-01-20 주식회사 탑 엔지니어링 Substrate Loading Device for Deposition Apparatus
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