KR20190090559A - device for horizontal support bar of stocker - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a horizontal support device of a horizontal support for a stocker which horizontally supports an end of a horizontal support installed on the upper surface of a rotary plate. The horizontal support device of a horizontal support for a stocker comprises: an upper plate (102) having a through hole on a center therein; a side plate (108) installed and fixed along an end of a lower surface of the upper plate (102); a shaft driving unit (110) installed and fixed on one side of the rear surface of the side plate (108); an escape prevention member (112) installed and fixed on one side of the lower surface of the upper plate (102) to be separated from the shaft driving unit (110) and face the shaft driving unit (110); a shaft (114) connected to the shaft driving unit (110) through an inner center of the escape prevention member (112) to move forwards or backwards in accordance with driving of the shaft driving unit (110); a first guide member (116) separated from the escape prevention member (112), and installed and fixed on one side of the lower surface of the upper plate (102); a second guide member (118) separated from the first guide member (116), and installed and fixed on one side of the lower surface of the upper plate (102); a support plate (120) which is separated from the first and the second guide member (116, 118), and moves upwards or downwards in accordance with a movement of a third and a fourth guide member; and a third guide member (122) which is installed and fixed on one side an upper surface of the support plate (120) to face the first guide member (116) to be more inclined towards one side, and moves upwards or downwards in accordance with a movement of a height adjustment member.

Description

스토커용 수평지지대의 수평 지지장치{device for horizontal support bar of stocker}Horizontal support device for horizontal supporter for stocker {device for horizontal support bar of stocker}

본 발명은 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 회전판의 상면에 설치된 수평지지대의 끝단부를 수평하게 지지해 주는 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a horizontal support device for the stocker horizontal support, and more particularly to a horizontal support device for the stocker horizontal support for supporting the end of the horizontal support horizontally installed on the upper surface of the rotating plate.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, a flat panel display (FPD) has begun to emerge.

상기 평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 포함될 수 있다.The flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a cathode ray tube (CRT) mainly used as a display for a TV or a computer monitor, and includes a liquid crystal display (LCD, liquid crystal). displays), plasma display panels (PDPs), organic light emitting diodes (OLEDs), and the like.

상기 평면디스플레이(FPD) 중 하나인 박막트랜지스터(TFT, Thin Film Transistor) 액정표시장치(TFTLCD)는, 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자이다.A thin film transistor (TFT) liquid crystal display (TFTLCD), one of the flat panel displays (FPD), injects a liquid crystal, which is an intermediate material between a solid and a liquid, between two thin upper and lower glass substrates, and forms electrodes on the upper and lower glass substrates. It is a device using a kind of optical switch phenomenon that displays the number or the image by generating the contrast by changing the arrangement of liquid crystal molecules by the voltage difference.

여기서, 상기 평면디스플레이(FPD)는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능으로 인하여 빠른 속도로 기존의 음극선관(CRT)을 대체하고 있는데, 현재, 액정표시장치(LCD)는 전자시계를 비롯하여 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.Here, the flat panel display (FPD) is rapidly replacing the existing cathode ray tube (CRT) due to the excellent performance of thin, light weight, low power consumption, the liquid crystal display (LCD), including an electronic clock and an electronic calculator It is widely used in electronic products such as TVs, notebook PCs, and speed displays and driving systems of automobiles and aircrafts.

한편, 상기 액정표시장치(LCD) 또는 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes)와 같은 평면디스플레이에서 마스크(Mask) 기판의 역할과 기능은 극히 중요한데, 이는 마스크 기판에 형성되는 다수의 회로소자의 기능에 따라 평면디스플레이의 전체적인 품질이 영향을 받기 때문이다.Meanwhile, the role and function of a mask substrate is extremely important in a flat panel display such as a liquid crystal display (LCD) or an organic light emitting diode (OLED), which is a large number of circuit elements formed on the mask substrate. This is because the overall quality of the flat panel display is affected by the function of.

그리고, 상기 평면디스플레이의 마스크 기판은 그 특성상 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 성질을 가지고 있기 때문에 취급에 있어서 특별한 주의가 요구된다.In addition, since the mask substrate of the planar display has a property that is very vulnerable to impact from the outside due to its characteristics, special care is required in handling.

따라서, 상기 평면디스플레이를 제조하는 제조공정에서 마스크 기판을 훼손 없이 효율적으로 이송, 보관할 수 있다면, 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 평면디스플레이의 품질도 유지할 수 있을 것이다.Therefore, if the mask substrate can be efficiently transported and stored without damaging the manufacturing process of manufacturing the flat panel display, the productivity of the flat panel display can be maintained as well as the productivity can be maintained.

그리고, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 마스크 기판의 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위함이다.In addition, the present invention is to solve a buffering problem caused by a difference in processing capacity and processing time of a mask substrate of each device performing each process.

그리고, 마스크 기판들을 이동시키는 수단으로 스토커가 사용된다. 여기서, 스토커는 레일을 따라 이동하면서 마스크 기판을 카세트로 인입하여 적재하거나, 카세트로부터 마스크 기판을 인출하는 등의 일련의 작업을 수행한다.Then, a stocker is used as a means for moving the mask substrates. Here, the stocker carries out a series of operations such as drawing and loading the mask substrate into the cassette while moving along the rail, or withdrawing the mask substrate from the cassette.

한편, 종래의 스토커는 대한민국 공개특허 10-2009-0046890에 개시되어 있는 바와 같이, 카세트 승강을 위해 마스트(mast)와 벨트 구동 방식이 적용되어 있는데, 이러한 벨트 구동 방식은 카세트 승하강 구동 시 기계적 마찰과 진동으로 심하고, 더욱이 다량의 파티클을 발생시키는 요인이 된다.On the other hand, as the conventional stocker is disclosed in the Republic of Korea Patent Publication 10-2009-0046890, a mast and a belt driving method is applied to the cassette lifting, this belt driving method is a mechanical friction during the cassette driving up and down Excessive vibration and severely cause a large amount of particles.

이로 인해, 비산된 파티클은 카세트 내부에 수용되어 있는 마스크 기판을 오염시키고 결국 제품의 품질을 저하시키게 되는 문제점이 있었다.As a result, the scattered particles have a problem of contaminating the mask substrate contained in the cassette and eventually lowering the quality of the product.

상기 문제점을 해결하기 위해, 2013년 12월 06일자 출원번호 제10-2013-0151053호(발명의 명칭 : 스토커 장치)를 살펴보면, 청구범위는 " 카세트(Cassette)의 적재를 위한 선반들 사이를 이동 가능하게 설치되는 스토커 본체; 및 상기 스토커 본체에 승강 가능하도록 연결되어 상기 선반에 카세트를 적재하거나 상기 선반으로부터 상기 카세트를 반출하기 위하여 상기 카세트를 핸들링하는 포크 유닛을 포함하며, 상기 스토커 본체는, 상기 선반들 사이에서 이동하는 스토커 베이스 프레임; 및 상기 스토커 베이스 프레임에 상호 대향되게 마련되는 한 쌍의 수직 프레임부와, 상기 한 쌍의 수직 프레임부와 상기 포크 유닛에 연결되어 접철과 펼침 동작에 의해 상기 포크 유닛을 승강시키는 승강 링크부와, 상기 승강 링크부에 연결되어 상기 승강 링크부가 접철 또는 펼침 동작되도록 구동시키는 접철 구동부를 포함하는 접철식 포크 승강유닛을 포함하며, 상기 승강 링크부는, 상기 한 쌍의 수직 프레임부 각각에 상호 대향되고 회전 가능하게 연결되며, 대칭되게 동작하는 한 쌍의 제1 링크 아암부; 및 일단부가 상기 한 쌍의 제1 링크 아암부 각각에 상호 대향되고 회전 가능하게 연결되고 타단부가 상기 포크 유닛에 연결되며, 상기 한 쌍의 제1 링크 아암부와 연동되어 대칭되게 동작하여 상기 포크 유닛을 승강시키는 한 쌍의 제2 링크 아암부를 포함하며, 상기 접철 구동부는 상기 한 쌍의 수직 프레임부 각각의 상단부에 마련되어 상기 한 쌍의 제1 링크 아암부를 회전시키기 위한 동력을 제공하며, 상기 한 쌍의 수직 프레임부 각각은, 제1 수직 프레임; 및 상기 제1 수직 프레임과 이격 공간을 두고 대향되게 배치되는 제2 수직 프레임을 포함하며, 상기 한 쌍의 제1 링크 아암부 각각은, 일단부가 상기 이격 공간에 배치되며 상기 접철 구동부에 의해 상기 제1 수직 프레임과 상기 제2 수직 프레임 사이에서 회전되는 제1 링크 아암을 포함하며, 상기 한 쌍의 제2 링크 아암부 각각은, 상기 제1 링크 아암을 사이에 두고 상기 제1 링크 아암에 회전 가능하게 연결되는 한 쌍의 제2 링크 아암을 포함하며, 상기 제2 링크 아암의 길이는 상기 제1 링크 아암의 길이보다 작은 것을 특징으로 하는 스토커 장치. " 이다.In order to solve the problem, looking at the application No. 10-2013-0151053 (name of the invention: stalker device) dated December 06, 2013, the claims "move between the shelves for the loading of the cassette (Cassette) And a fork unit which is connected to the stocker body so as to be lifted and mounted to handle the cassette to stack the cassette on the shelf or to eject the cassette from the shelf, wherein the stocker body includes: A stocker base frame moving between shelves, and a pair of vertical frame portions provided to be opposite to the stocker base frame, and connected to the pair of vertical frame portions and the fork unit by folding and unfolding. An elevating link unit for elevating a fork unit, and the elevating link unit being folded or connected to the elevating link unit; And a foldable fork elevating unit including a foldable driving unit for driving needle movement, wherein the elevating link unit is connected to each of the pair of vertical frame portions and is rotatably connected to each other, and a pair of first symmetrically operated units. A link arm portion and one end thereof are opposed to each other and rotatably connected to each of the pair of first link arm portions, and the other end is connected to the fork unit, and is symmetrically interlocked with the pair of first link arm portions. A pair of second link arm portions operable to move the fork unit up and down, wherein the foldable driving portion is provided at an upper end of each of the pair of vertical frame portions to provide power for rotating the pair of first link arm portions. Each of the pair of vertical frame parts may include a first vertical frame and a spaced apart space from the first vertical frame. And a second vertical frame, each of the pair of first link arm portions having a first end disposed in the separation space and being rotated between the first vertical frame and the second vertical frame by the foldable driving part. A link arm, each of the pair of second link arm portions including a pair of second link arms rotatably connected to the first link arm with the first link arm interposed therebetween; The length of the second link arm is smaller than the length of the first link arm. " to be.

그러나, 상기 종래의 스토커 장치는 수평지지대의 끝단부를 수평하게 지지해 주는 수평 지지장치가 없는 문제점이 있었다.However, the conventional stocker device has a problem that there is no horizontal support device for horizontally supporting the end of the horizontal support.

이로 인해, 평면디스플레이의 마스크 기판을 카세트(Cassette)에 용이하게 탑재할 수 없는 문제점이 있었다.For this reason, there was a problem in that the mask substrate of the flat panel display cannot be easily mounted on a cassette.

따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술에 따른 제반 문제점을 해결하기 위하여 개량발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 회전판의 상면에 설치된 수평지지대의 끝단부를 수평하게 지지해 주는 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems according to the prior art, an object of the present invention is a horizontal support device for a horizontal supporter for the stocker horizontally supporting the end of the horizontal support installed on the upper surface of the rotating plate To provide.

그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치는,Horizontal support device for the horizontal supporter for the stocker according to the present invention for achieving the above object,

내부 중앙에 관통공을 구비하는 상판(102)과;An upper plate 102 having a through hole at an inner center thereof;

상기 상판(102)의 저면 끝단을 따라 설치 고정되는 측판(108)과;A side plate 108 installed and fixed along the bottom end of the top plate 102;

상기 측판(108)의 배면 일측에 설치 고정되는 축 구동부(110)와;An axis driver 110 fixed to the rear side of the side plate 108;

상기 축 구동부(110)로부터 일정간격을 두고 마주보게 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 이탈방지부재(112)와;A separation prevention member (112) installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate (102) facing a predetermined distance from the shaft drive unit (110);

상기 이탈방지부재(112)의 내부 중앙을 관통하여 축 구동부(110)에 연결되어 축 구동부(110)의 구동에 따라 전진 또는 후진하는 축(114)과;A shaft 114 connected to the shaft driver 110 through the inner center of the separation preventing member 112 and moving forward or backward according to the driving of the shaft driver 110;

상기 이탈방지부재(112)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 제1가이드부재(116)와;A first guide member 116 installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate 102 at a predetermined interval from the separation preventing member 112;

상기 제1가이드부재(116)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 제2가이드부재(118)와;A second guide member 118 installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate 102 at a predetermined interval from the first guide member 116;

상기 제1가이드부재(116) 및 제2가이드부재(118)로부터 일정간격을 두고 위치되되, 제3가이드부재 및 제4가이드부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 지지판(120)과;A support plate 120 positioned at a predetermined distance from the first guide member 116 and the second guide member 118 and moving upwardly or downwardly according to the movement of the third guide member and the fourth guide member;

상기 제1가이드부재(116)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되되, 높이조절부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 제3가이드부재(122)와;A third guide member 122 which is installed to be inclined toward one side of the upper surface of the support plate 120 so as to face the first guide member 116 and moves upward or downward in accordance with the movement of the height adjusting member;

상기 제3가이드부재(122)로부터 일정간격을 두고 제2가이드부재(118)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수 경사지게 설치 고정되되, 높이조절부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 제4가이드부재(124)와;Is fixedly installed to be inclined to one side on one side of the upper surface of the support plate 120 facing the second guide member 118 at a predetermined interval from the third guide member 122, the upper or lower side according to the movement of the height adjustment member And the fourth guide member 124 to move to;

상기 제1가이드부재(116)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제1슬라이딩부(126)와;A first sliding part 126 installed on the first guide member 116 so as to move forward or backward;

상기 제2가이드부재(118)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제2슬라이딩부(128)와;A second sliding part 128 installed on the second guide member 118 so as to be moved forward or backward;

상기 제3가이드부재(122)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제3슬라이딩부(130)와;A third sliding part 130 installed on the third guide member 122 so as to move forward or backward;

상기 제4가이드부재(124)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제4슬라이딩부(132)와;A fourth sliding part 132 installed on the fourth guide member 124 so as to be moved forward or backward;

상기 제1슬라이딩부(126) 및 제2슬라이딩부(128)의 저면과 제3슬라이딩부(130) 및 제4슬라이딩부(132)의 상면 사이에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치되되, 내부 중앙에 길이방향으로 장공을 구비하여 축(114)에 설치 고정되어 축(114)의 이동에 따라 전진 또는 후진하는 높이조절부재(134)를 포함한다.Between the bottom of the first sliding portion 126 and the second sliding portion 128 and the upper surface of the third sliding portion 130 and the fourth sliding portion 132 is installed to be inclined toward one side, the length in the inner center It is provided with a long hole in the direction is fixed to the shaft 114 includes a height adjusting member 134 to move forward or backward in accordance with the movement of the shaft (114).

이상에서 상술한 바와 같이 본 발명에 따른 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치는 회전판의 상면에 설치된 수평지지대의 끝단부를 수평하게 지지해 줌으로써, 평면디스플레이의 마스크 기판을 카세트(Cassette)에 용이하게 탑재할 수 있는 효과가 있다.As described above, the horizontal support device for the stocker horizontal support according to the present invention supports the end of the horizontal support installed on the upper surface of the rotating plate horizontally, so that the mask substrate of the flat display can be easily mounted on the cassette. It can be effective.

도 1은 본 발명이 적용되는 스토커 시스템을 나타낸 도면,
도 2는 도 1의 스토커 시스템에 본 발명의 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치가 설치된 상태를 나타낸 도면,
도 3 내지 도 5는 도 2의 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치의 요부 확대도,
도 6 내지 도 7은 본 발명의 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치의 사용 상태를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a stocker system to which the present invention is applied;
Figure 2 is a view showing a state in which the horizontal support device for the horizontal supporter for the stocker of the present invention is installed in the stocker system of Figure 1,
3 to 5 is an enlarged view of the main portion of the horizontal support device of the horizontal supporter for the stocker of FIG.
6 to 7 is a view showing a state of use of the horizontal support device for the horizontal supporter for the stocker of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치의 바람직한 실시 예를 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the horizontal support device for the horizontal supporter for the stocker according to the present invention.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명이 적용되는 스토커 시스템을 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 스토커 시스템에 본 발명의 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치가 설치된 상태를 나타낸 도면이며, 도 3 내지 도 5는 도 2의 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치의 요부 확대도이다.1 is a view showing a stocker system to which the present invention is applied, FIG. 2 is a view showing a state in which the horizontal support device for the horizontal supporter of the stocker of the present invention is installed in the stocker system of FIG. 1, and FIGS. 2 is an enlarged view of the main portion of the horizontal support device of the horizontal supporter for the stocker.

도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치(100)는,As shown in Figures 1 to 5 the horizontal support device 100 of the horizontal supporter for the stocker according to the present invention,

내부 중앙에 관통공을 구비하는 상판(102)과;An upper plate 102 having a through hole at an inner center thereof;

상기 상판(102)의 관통공에 삽입되는 보호관(104)과;A protective tube 104 inserted into a through hole of the upper plate 102;

상기 보호관(104)의 상단부 외면을 따라 연결되되, 상판(102)의 상면에 설치 고정되어 보호관(104)의 이탈을 방지하는 플랜지(106)와;A flange 106 connected along an outer surface of the upper end of the protective tube 104 and fixed to an upper surface of the upper plate 102 to prevent the protective tube 104 from being separated;

상기 상판(102)의 저면 끝단을 따라 설치 고정되는 측판(108)과;A side plate 108 installed and fixed along the bottom end of the top plate 102;

상기 측판(108)의 배면 일측에 설치 고정되는 축 구동부(110)와;An axis driver 110 fixed to the rear side of the side plate 108;

상기 축 구동부(110)로부터 일정간격을 두고 마주보게 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 이탈방지부재(112)와;A separation prevention member (112) installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate (102) facing a predetermined distance from the shaft drive unit (110);

상기 이탈방지부재(112)의 내부 중앙을 관통하여 축 구동부(110)에 연결되어 축 구동부(110)의 구동에 따라 전진 또는 후진하는 축(114)과;A shaft 114 connected to the shaft driver 110 through the inner center of the separation preventing member 112 and moving forward or backward according to the driving of the shaft driver 110;

상기 이탈방지부재(112)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 제1가이드부재(116)와;A first guide member 116 installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate 102 at a predetermined interval from the separation preventing member 112;

상기 제1가이드부재(116)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 제2가이드부재(118)와;A second guide member 118 installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate 102 at a predetermined interval from the first guide member 116;

상기 제1가이드부재(116) 및 제2가이드부재(118)로부터 일정간격을 두고 위치되되, 제3가이드부재 및 제4가이드부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 지지판(120)과;A support plate 120 positioned at a predetermined distance from the first guide member 116 and the second guide member 118 and moving upwardly or downwardly according to the movement of the third guide member and the fourth guide member;

상기 제1가이드부재(116)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되되, 높이조절부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 제3가이드부재(122)와;A third guide member 122 which is installed to be inclined toward one side of the upper surface of the support plate 120 so as to face the first guide member 116 and moves upward or downward in accordance with the movement of the height adjusting member;

상기 제3가이드부재(122)로부터 일정간격을 두고 제2가이드부재(118)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수 경사지게 설치 고정되되, 높이조절부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 제4가이드부재(124)와;Is fixedly installed to be inclined to one side on one side of the upper surface of the support plate 120 facing the second guide member 118 at a predetermined interval from the third guide member 122, the upper or lower side according to the movement of the height adjustment member And the fourth guide member 124 to move to;

상기 제1가이드부재(116)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제1슬라이딩부(126)와;A first sliding part 126 installed on the first guide member 116 so as to move forward or backward;

상기 제2가이드부재(118)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제2슬라이딩부(128)와;A second sliding part 128 installed on the second guide member 118 so as to be moved forward or backward;

상기 제3가이드부재(122)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제3슬라이딩부(130)와;A third sliding part 130 installed on the third guide member 122 so as to move forward or backward;

상기 제4가이드부재(124)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제4슬라이딩부(132)와;A fourth sliding part 132 installed on the fourth guide member 124 so as to be moved forward or backward;

상기 제1슬라이딩부(126) 및 제2슬라이딩부(128)의 저면과 제3슬라이딩부(130) 및 제4슬라이딩부(132)의 상면 사이에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치되되, 내부 중앙에 길이방향으로 장공을 구비하여 축(114)에 설치 고정되어 축(114)의 이동에 따라 전진 또는 후진하는 높이조절부재(134)와;Between the bottom of the first sliding portion 126 and the second sliding portion 128 and the upper surface of the third sliding portion 130 and the fourth sliding portion 132 is installed to be inclined toward one side, the length in the inner center A height adjusting member 134 installed and fixed to the shaft 114 having a long hole in the direction to move forward or backward according to the movement of the shaft 114;

상기 높이조절부재(134)의 장공, 보호관(104) 속에 상측 또는 하측으로 슬라이딩 가능하게 위치되되, 지지판(120)의 상면 중앙에 끝단이 설치 고정되어 지지판(120)의 이탈을 방지해 주는 기둥(136)을 포함한다.A pillar which is positioned to be slidable upward or downward in the long hole and the protective tube 104 of the height adjusting member 134, and has an end fixed to the upper surface center of the support plate 120 to prevent the support plate 120 from being separated. 136).

여기서, 상기 지지판(120)과 제3가이드부재(122)와 제4가이드부재(124)는 일체로 형성되는 것이 바람직한다.Here, the support plate 120, the third guide member 122 and the fourth guide member 124 is preferably formed integrally.

상기와 같이 구성된 본 발명의 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치(100)의 설치과정 및 사용 상태를 살펴보면 다음과 같다.Looking at the installation process and the use state of the horizontal support device 100 for the stocker horizontal support of the present invention configured as described above are as follows.

여기서, 본 발명의 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치(100)의 설치과정은 설치자에 따라 얼마든지 변경될 수 있다.Here, the installation process of the horizontal support device 100 of the horizontal supporter for the stocker of the present invention can be changed as much as the installer.

먼저, 내부 중앙에 관통공을 구비하는 상판(102)을 설치 한 후, 상기 상판(102)의 관통공에 보호관(104)을 삽입한다.First, after installing the upper plate 102 having a through hole in the inner center, the protective tube 104 is inserted into the through hole of the upper plate 102.

그리고, 상기 보호관(104)의 상단부 외면을 따라 보호관(104)의 이탈을 방지하는 플랜지(106)를 연결한 후, 상판(102)의 상면에 플랜지(106)를 고정한다.Then, the flange 106 is connected to the upper surface of the upper end of the protective tube 104 to prevent the separation of the protective tube 104, and then the flange 106 is fixed to the upper surface of the upper plate 102.

그리고, 상기 상판(102)의 저면 끝단을 따라 측판(108)을 설치 고정 한 후, 상판(102)의 저면 일측에 설치 이탈방지부재(112)를 고정한다.Then, after fixing the side plate 108 along the bottom end of the top plate 102, the installation separation prevention member 112 is fixed to one side of the bottom surface of the top plate (102).

그리고, 상기 측판(108)의 배면 일측에 축 구동부(110)를 설치함과 동시에 축 구동부(110)의 구동에 따라 전진 또는 후진하는 축(114)을 이탈방지부재(112)의 내부 중앙을 관통시킨다.In addition, the shaft driving unit 110 is installed at one side of the rear surface of the side plate 108, and the shaft 114 that moves forward or backward in accordance with the driving of the shaft driving unit 110 passes through the inner center of the separation preventing member 112. Let's do it.

그리고, 제어부(도시는 생략함)에 축 구동부(110)를 전기적으로 연결한다.The shaft driver 110 is electrically connected to a controller (not shown).

그리고, 상기 이탈방지부재(112)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 제1가이드부재(116)를 설치 고정한 후, 제1가이드부재(116)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 제2가이드부재(118)를 설치 고정한다.Then, the first guide member 116 is installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate 102 at a predetermined interval from the separation preventing member 112, and then the upper plate 102 at a predetermined interval from the first guide member 116. The second guide member 118 is fixed to one side of the bottom of the installation.

그리고, 상기 제1가이드부재(116) 및 제2가이드부재(118)로부터 일정간격을 두고 지지판(120)을 위치시킨 후, 제1가이드부재(116)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 제3가이드부재(122)를 설치 고정한다.In addition, after the support plate 120 is positioned at a predetermined distance from the first guide member 116 and the second guide member 118, the upper surface of the support plate 120 faces the first guide member 116. The third guide member 122 is installed and fixed to be inclined toward one side.

그리고, 상기 제3가이드부재(122)로부터 일정간격을 두고 제2가이드부재(118)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수 경사지게 제4가이드부재(124)를 설치 고정한다.In addition, the fourth guide member 124 is fixed to be inclined to go to one side of the upper surface of the support plate 120 to face the second guide member 118 at a predetermined interval from the third guide member 122.

그리고, 상기 제1가이드부재(116)에 제1슬라이딩부(126)를 설치한 후, 제2가이드부재(118)에 제2슬라이딩부(128)를 설치한다.In addition, after the first sliding part 126 is installed in the first guide member 116, the second sliding part 128 is installed in the second guide member 118.

그리고, 상기 제3가이드부재(122)에 제3슬라이딩부(130)를 설치한 후, 제4가이드부재(124)에 제4슬라이딩부(132)를 설치한다.In addition, after the third sliding part 130 is installed on the third guide member 122, the fourth sliding part 132 is installed on the fourth guide member 124.

그리고, 상기 제1슬라이딩부(126) 및 제2슬라이딩부(128)의 저면과 제3슬라이딩부(130) 및 제4슬라이딩부(132)의 상면 사이에 일측으로 갈 수록 경사지게 높이조절부재(134)를 설치 한 후, 축(114)의 일단에 높이조절부재(134)를 연결한다.The height adjusting member 134 is inclined toward one side between the bottom surfaces of the first sliding part 126 and the second sliding part 128 and the top surfaces of the third sliding part 130 and the fourth sliding part 132. After installing), connect the height adjustment member 134 to one end of the shaft (114).

그리고, 기둥(136)을 위치시킨 후, 상기 기둥(136)을 높이조절부재(134)의 장공, 보호관(104) 속에 위치시킴과 아울러 지지판(120)의 상면 중앙에 기둥(136)의 끝단을 설치 고정한다.Then, after the pillar 136 is positioned, the pillar 136 is positioned in the long hole and the protective tube 104 of the height adjusting member 134, and the end of the pillar 136 is positioned at the center of the upper surface of the support plate 120. Secure the installation.

상기와 같이 본 발명의 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치(100)의 설치가 완료되고,As described above, the installation of the horizontal support device 100 of the horizontal supporter for the stocker of the present invention is completed,

평면디스플레이의 마스크 기판(204)이 장착된 헤더(도시는 생략함)를 구비하고 있는 수직지지대(202)가 수평지지대(200)의 상면 끝단부 측으로 이동할 경우,When the vertical support 202 having the header (not shown) on which the mask substrate 204 of the flat display is mounted moves to the top end side of the horizontal support 200,

제어부(도시는 생략함)는 축 구동부(110)로 제어신호를 보낸다.The controller (not shown) transmits a control signal to the shaft driver 110.

상기 축 구동부(110)는 제어부의 제어신호에 따라 도 6에 도시된 바와 같이, 축(114)을 후진시킨다.The shaft driving unit 110 reverses the shaft 114 as shown in FIG. 6 according to the control signal of the controller.

그리고, 상기 축(114)의 후진에 따라 제1슬라이딩부(126) 및 제2슬라이딩부(128)의 저면과 제3슬라이딩부(130) 및 제4슬라이딩부(132)의 상면 사이에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치된 높이조절부재(134)는 후진을 한다.In addition, as the shaft 114 moves backward, the bottom surface of the first sliding part 126 and the second sliding part 128 and the upper surface of the third sliding part 130 and the fourth sliding part 132 may be moved to one side. The height adjusting member 134 installed inclined gradually goes backward.

상기 높이조절부재(134)의 후진에 따라 높이조절부재(134)의 장공, 보호관(104) 속에 위치된 기둥(136)이 하측으로 이동한다.As the back of the height adjustment member 134, the pillar 136 located in the long hole, the protective tube 104 of the height adjustment member 134 moves downward.

그리고, 상기 기둥(136)이 하측으로 이동함에 따라 지지판(120)이 하측으로 이동한다.In addition, as the pillar 136 moves downward, the support plate 120 moves downward.

그리고, 상기 지지판(120)이 하측으로 이동함에 따라 지지판(120)은 바닥면의 상면에 접촉하게 되고, 수평지지대(200)을 수평하게 받쳐 준다.As the support plate 120 moves downward, the support plate 120 comes into contact with the upper surface of the bottom surface and supports the horizontal support 200 horizontally.

반대로, 평면디스플레이의 마스크 기판(204)이 장착된 헤더(도시는 생략함)를 구비하고 있는 수직지지대(202)가 도 1에 도시된 바와 같이, 원위치 할 경우,Conversely, when the vertical support 202 having the header (not shown) on which the mask substrate 204 of the flat panel display is mounted is returned to its original position as shown in FIG.

제어부(도시는 생략함)는 축 구동부(110)로 제어신호를 보낸다.The controller (not shown) transmits a control signal to the shaft driver 110.

상기 축 구동부(110)는 제어부의 제어신호에 따라 도 7에 도시된 바와 같이, 축(114)을 전진시킨다.The shaft driver 110 advances the shaft 114 according to the control signal of the controller, as shown in FIG. 7.

그리고, 상기 축(114)의 전진에 따라 제1슬라이딩부(126) 및 제2슬라이딩부(128)의 저면과 제3슬라이딩부(130) 및 제4슬라이딩부(132)의 상면 사이에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치된 높이조절부재(134)는 전진을 한다.In addition, as the shaft 114 moves forward, the bottom surface of the first sliding part 126 and the second sliding part 128 and the upper surface of the third sliding part 130 and the fourth sliding part 132 are moved to one side. The height adjusting member 134 installed to be inclined gradually advances.

상기 높이조절부재(134)의 전진에 따라 높이조절부재(134)의 장공, 보호관(104) 속에 위치된 기둥(136)이 상측으로 이동한다.As the height adjusting member 134 moves forward, the pillar 136 located in the long hole and the protective tube 104 of the height adjusting member 134 moves upward.

그리고, 상기 기둥(136)이 상측으로 이동함에 따라 지지판(120)이 상측으로 이동한다.In addition, the support plate 120 moves upward as the pillar 136 moves upward.

그리고, 상기 지지판(120)이 상측으로 이동함에 따라 지지판(120)은 바닥면으로부터 이격되어 상측으로 원위치한다.In addition, as the support plate 120 moves upward, the support plate 120 is spaced apart from the bottom surface and returned to the upper side.

상기 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.The foregoing description of the invention is merely exemplary of the invention and is used for the purpose of illustration only and is not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims.

그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Therefore, those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

100 : 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치 102 : 상판
104 : 보호관 106 : 플랜지
108 : 측판 110 : 축 구동부
112 : 이탈방지부재 114 : 축
116 : 제1가이드부재 118 : 제2가이드부재
120 : 지지판 122 : 제3가이드부재
124 : 제4가이드부재 126 : 제1슬라이딩부
128 : 제2슬라이딩부 130 : 제3슬라이딩부
132 : 제4슬라이딩부 134 : 높이조절부재
136 : 기둥100: horizontal support device for the stalker horizontal support 102: top plate
104: protective tube 106: flange
108: side plate 110: shaft drive unit
112: release preventing member 114: shaft
116: first guide member 118: second guide member
120: support plate 122: third guide member
124: fourth guide member 126: first sliding portion
128: second sliding part 130: third sliding part
132: fourth sliding portion 134: height adjustment member
136: pillar

Claims (3)

내부 중앙에 관통공을 구비하는 상판(102)과;
상기 상판(102)의 저면 끝단을 따라 설치 고정되는 측판(108)과;
상기 측판(108)의 배면 일측에 설치 고정되는 축 구동부(110)와;
상기 축 구동부(110)로부터 일정간격을 두고 마주보게 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 이탈방지부재(112)와;
상기 이탈방지부재(112)의 내부 중앙을 관통하여 축 구동부(110)에 연결되어 축 구동부(110)의 구동에 따라 전진 또는 후진하는 축(114)과;
상기 이탈방지부재(112)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 제1가이드부재(116)와;
상기 제1가이드부재(116)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 제2가이드부재(118)와;
상기 제1가이드부재(116) 및 제2가이드부재(118)로부터 일정간격을 두고 위치되되, 제3가이드부재 및 제4가이드부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 지지판(120)과;
상기 제1가이드부재(116)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되되, 높이조절부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 제3가이드부재(122)와;
상기 제3가이드부재(122)로부터 일정간격을 두고 제2가이드부재(118)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수 경사지게 설치 고정되되, 높이조절부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 제4가이드부재(124)와;
상기 제1가이드부재(116)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제1슬라이딩부(126)와;
상기 제2가이드부재(118)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제2슬라이딩부(128)와;
상기 제3가이드부재(122)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제3슬라이딩부(130)와;
상기 제4가이드부재(124)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제4슬라이딩부(132)와;
상기 제1슬라이딩부(126) 및 제2슬라이딩부(128)의 저면과 제3슬라이딩부(130) 및 제4슬라이딩부(132)의 상면 사이에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치되되, 내부 중앙에 길이방향으로 장공을 구비하여 축(114)에 설치 고정되어 축(114)의 이동에 따라 전진 또는 후진하는 높이조절부재(134)를 포함한 것을 특징으로 하는 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치.
An upper plate 102 having a through hole at an inner center thereof;
A side plate 108 installed and fixed along the bottom end of the top plate 102;
An axis driver 110 fixed to the rear side of the side plate 108;
A separation prevention member (112) installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate (102) facing a predetermined distance from the shaft drive unit (110);
A shaft 114 connected to the shaft driver 110 through the inner center of the separation preventing member 112 and moving forward or backward according to the driving of the shaft driver 110;
A first guide member 116 installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate 102 at a predetermined interval from the separation preventing member 112;
A second guide member 118 installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate 102 at a predetermined interval from the first guide member 116;
A support plate 120 positioned at a predetermined distance from the first guide member 116 and the second guide member 118 and moving upwardly or downwardly according to the movement of the third guide member and the fourth guide member;
A third guide member 122 which is installed to be inclined toward one side of the upper surface of the support plate 120 so as to face the first guide member 116 and moves upward or downward in accordance with the movement of the height adjusting member;
Is fixedly installed to be inclined to one side on one side of the upper surface of the support plate 120 facing the second guide member 118 at a predetermined interval from the third guide member 122, the upper or lower side according to the movement of the height adjustment member And the fourth guide member 124 to move to;
A first sliding part 126 installed on the first guide member 116 so as to move forward or backward;
A second sliding part 128 installed on the second guide member 118 so as to be moved forward or backward;
A third sliding part 130 installed on the third guide member 122 so as to move forward or backward;
A fourth sliding part 132 installed on the fourth guide member 124 so as to be moved forward or backward;
Between the bottom of the first sliding portion 126 and the second sliding portion 128 and the upper surface of the third sliding portion 130 and the fourth sliding portion 132 is installed to be inclined toward one side, the length in the inner center Horizontal support device for the horizontal supporter for the stocker, characterized in that it comprises a height adjustment member 134 is installed and fixed to the shaft 114 in the direction to move forward or backward in accordance with the movement of the shaft (114).
내부 중앙에 관통공을 구비하는 상판(102)과;
상기 상판(102)의 관통공에 삽입되는 보호관(104)과;
상기 보호관(104)의 상단부 외면을 따라 연결되되, 상판(102)의 상면에 설치 고정되어 보호관(104)의 이탈을 방지하는 플랜지(106)와;
상기 상판(102)의 저면 끝단을 따라 설치 고정되는 측판(108)과;
상기 측판(108)의 배면 일측에 설치 고정되는 축 구동부(110)와;
상기 축 구동부(110)로부터 일정간격을 두고 마주보게 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 이탈방지부재(112)와;
상기 이탈방지부재(112)의 내부 중앙을 관통하여 축 구동부(110)에 연결되어 축 구동부(110)의 구동에 따라 전진 또는 후진하는 축(114)과;
상기 이탈방지부재(112)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 제1가이드부재(116)와;
상기 제1가이드부재(116)로부터 일정간격을 두고 상판(102)의 저면 일측에 설치 고정되는 제2가이드부재(118)와;
상기 제1가이드부재(116) 및 제2가이드부재(118)로부터 일정간격을 두고 위치되되, 제3가이드부재 및 제4가이드부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 지지판(120)과;
상기 제1가이드부재(116)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되되, 높이조절부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 제3가이드부재(122)와;
상기 제3가이드부재(122)로부터 일정간격을 두고 제2가이드부재(118)에 마주보게 지지판(120)의 상면 일측에 일측으로 갈 수 경사지게 설치 고정되되, 높이조절부재의 이동에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 제4가이드부재(124)와;
상기 제1가이드부재(116)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제1슬라이딩부(126)와;
상기 제2가이드부재(118)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제2슬라이딩부(128)와;
상기 제3가이드부재(122)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제3슬라이딩부(130)와;
상기 제4가이드부재(124)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제4슬라이딩부(132)와;
상기 제1슬라이딩부(126) 및 제2슬라이딩부(128)의 저면과 제3슬라이딩부(130) 및 제4슬라이딩부(132)의 상면 사이에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치되되, 내부 중앙에 길이방향으로 장공을 구비하여 축(114)에 설치 고정되어 축(114)의 이동에 따라 전진 또는 후진하는 높이조절부재(134)와;
상기 높이조절부재(134)의 장공, 보호관(104) 속에 상측 또는 하측으로 슬라이딩 가능하게 위치되되, 지지판(120)의 상면 중앙에 끝단이 설치 고정되어 지지판(120)의 이탈을 방지해 주는 기둥(136)을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치.
An upper plate 102 having a through hole at an inner center thereof;
A protective tube 104 inserted into a through hole of the upper plate 102;
A flange 106 connected along an outer surface of the upper end of the protective tube 104 and fixed to an upper surface of the upper plate 102 to prevent the protective tube 104 from being separated;
A side plate 108 installed and fixed along the bottom end of the top plate 102;
An axis driver 110 fixed to the rear side of the side plate 108;
A separation prevention member (112) installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate (102) facing a predetermined distance from the shaft drive unit (110);
A shaft 114 connected to the shaft driver 110 through the inner center of the separation preventing member 112 and moving forward or backward according to the driving of the shaft driver 110;
A first guide member 116 installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate 102 at a predetermined interval from the separation preventing member 112;
A second guide member 118 installed and fixed to one side of the bottom surface of the upper plate 102 at a predetermined interval from the first guide member 116;
A support plate 120 positioned at a predetermined distance from the first guide member 116 and the second guide member 118 and moving upwardly or downwardly according to the movement of the third guide member and the fourth guide member;
A third guide member 122 which is installed to be inclined toward one side of the upper surface of the support plate 120 so as to face the first guide member 116 and moves upward or downward in accordance with the movement of the height adjusting member;
Is fixedly installed to be inclined to one side on one side of the upper surface of the support plate 120 facing the second guide member 118 at a predetermined interval from the third guide member 122, the upper or lower side according to the movement of the height adjustment member And the fourth guide member 124 to move to;
A first sliding part 126 installed on the first guide member 116 so as to move forward or backward;
A second sliding part 128 installed on the second guide member 118 so as to be moved forward or backward;
A third sliding part 130 installed on the third guide member 122 so as to move forward or backward;
A fourth sliding part 132 installed on the fourth guide member 124 so as to be moved forward or backward;
Between the bottom of the first sliding portion 126 and the second sliding portion 128 and the upper surface of the third sliding portion 130 and the fourth sliding portion 132 is installed to be inclined toward one side, the length in the inner center A height adjusting member 134 installed and fixed to the shaft 114 having a long hole in the direction to move forward or backward according to the movement of the shaft 114;
A pillar which is positioned to be slidable upward or downward in the long hole and the protective tube 104 of the height adjusting member 134, and has an end fixed to the upper surface center of the support plate 120 to prevent the support plate 120 from being separated. Horizontal support of the horizontal support for the stocker, characterized in that it comprises a 136.
제 1 항에 있어서,
상기 지지판(120)과 제3가이드부재(122)와 제4가이드부재(124)는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치.


















The method of claim 1,
The support plate 120, the third guide member 122 and the fourth guide member 124, the horizontal support device of the horizontal support for the stocker, characterized in that formed integrally.


















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