KR200205151Y1 - Wafer Transfer Device - Google Patents

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Abstract

본 고안에 의한 웨이퍼반송장치는 웨이퍼반송장치 몸체의 일측면에 고정한 웨이퍼반송포크 고정판과, 상기 웨이퍼반송포크 고정판의 상부에 탄지되는 포크고정틀과, 상기 포크고정틀의 일측부에 형성한 몸체기어부와, 상기 몸체기어부와 맞물려 회전함에 따라 포크고정틀의 좌우수평을 조절하는 수평조절기어부와, 상기 수평조절 기어부를 구동하는 모터와, 상기 모터의 회전정도를 파악하여 제어부로 전송하는 엔코더를 포함하여 구성되어, 웨이퍼 반송장치의 수평도를 자동으로 확인하고, 불량 발생시 자동으로 조정해 줌으로써, 주기적으로 실행하는 장비자체 점검 횟수를 줄일 수 있고, 반송장치의 수평도가 잘못되어 생기는 사고를 미연에 방지할 수 있으며, 수평도를 인의적으로 맞추는 작업을 피할 수 있으므로 시간의 손실 및 인적 손실, 그리고 사고로 인한 손실을 최소화 시키도록 하였다.The wafer transport apparatus according to the present invention includes a wafer transport fork fixing plate fixed to one side of a wafer transporter body, a fork fixing frame supported on an upper portion of the wafer transport fork fixing plate, and a body gear portion formed at one side of the fork fixing frame. And a horizontal adjusting gear unit for adjusting the horizontal horizontal and horizontal directions of the fork fixing frame as the mesh gear unit rotates, a motor for driving the horizontal adjusting gear unit, and an encoder for determining the rotational degree of the motor and transmitting it to the controller. By automatically checking the horizontality of the wafer transfer device and automatically adjusting it when a defect occurs, the number of periodic inspections of the equipment itself can be reduced, and accidents caused by incorrect leveling of the transfer device can be prevented. Time, human losses, Minimized losses due to high accidents.

Description

웨이퍼 반송장치Wafer Transfer Device

본 고안은 웨이퍼 반송장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 반송장치의 수평도를 자동으로 확인하고, 불량 발생시 자동으로 조정해 줌으로써, 주기적으로 실행하는 장비 자체 점검 횟수를 줄일 수 있고, 반송장치의 수평도가 잘못되어 생기는 사고를 미연에 방지할 수 있으며, 수평도를 인의적으로 맞추는 작업을 피할 수 있으므로 시간적 손실 및 인적 손실, 그리고 사고로 인한 손실을 최소화 시키도록 한 웨이퍼 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer transfer device, and in particular, by automatically checking the horizontality of the wafer transfer device and automatically adjusting when there is a defect, it is possible to reduce the number of periodical self-inspection of the equipment. The present invention relates to a wafer conveying device that minimizes time loss, human loss, and accidental loss because it can prevent accidental accidents in advance and avoid human-leveling work.

일반적으로 반도체장비의 웨이퍼 반송장치는 수평도가 매우 우수해야 하나 구조상 기계적인 설계로 되어 있어 수평도에 대한 정확도가 떨어지고, 인위적인 관찰에 의해 수평도를 측정하며, 인위적으로 특수한 기구를 사용하여 수평정도를 조절해야 하기에 정확도가 떨어지는 실정이다.Generally, wafer transfer device of semiconductor equipment should have very good horizontality, but it is mechanically designed in structure, so accuracy of horizontality is inferior, measuring horizontality by artificial observation, Because of the need to adjust the situation is less accurate.

종래의 기술에 의한 웨이퍼 반송장치는 제1도에 도시한 바와 같이, 웨이퍼반송장치 몸체(1)와, 상기 웨이퍼반송장치 몸체(1)의 측벽에 볼트(5)를 이용하여 체결한 포크고정틀(2)과, 상기 포크고정틀(2)의 단부에 볼트(4)를 이용하여 체결한 웨이퍼 반송포크(3)로 구성된다.As shown in FIG. 1, the wafer conveying apparatus according to the related art has a fork fixing frame fastened by using a bolt 5 to the side surface of the wafer conveying apparatus body 1 and the wafer conveying apparatus body 1 ( 2) and a wafer conveyance fork 3 fastened to the end of the fork fixing frame 2 using a bolt 4.

상기 웨이퍼 반송포크(3)의 재질은 웨이퍼가 직접적으로 접촉하는 부분이기에 고순도의 석영이나 세라믹 재질로 이루어 진다.The wafer conveyance fork 3 is made of high purity quartz or ceramic because the wafer is in direct contact with the wafer.

이와 같이 구성된 종래의 기술에 의한 웨이퍼 반송장치를 설명한다.The wafer transfer apparatus according to the related art configured as described above will be described.

웨이퍼 반송장치는 웨이퍼를 반송하고자 하는 위치로 옮기는 장치로써 반송될 웨이퍼는 웨이퍼 반송포크(3)위에 올려지며, 웨이퍼반송장치 몸체(1)가 이동하여 반송하고자 하는 위치까지 반송하게 되는 단순한 장치로서, 웨이퍼를 반송하는 장치인 만큼 장치 자체의 수평도가 매우 중요하며, 웨이퍼 반송장치의 수평도 확인은 수평계를 사용하거나 육안 확인을 하는 방법으로 이루어지고, 수평도를 바로 잡기 위해서는 포크고정틀(2)을 고정시키는 볼트(5)를 조절하므로 수평을 조절한다.The wafer conveying apparatus is a device for transferring a wafer to a position to be conveyed. The wafer to be conveyed is placed on the wafer conveying fork 3, and is a simple device for conveying the wafer conveying device body 1 to a position to be conveyed. The level of the device itself is very important as it is a device for conveying wafers. The level of the wafer conveying device is checked by using a level gauge or by visual inspection. In order to correct the level, the fork fixing frame 2 is mounted. Adjust the leveling by adjusting the bolt (5) to secure.

그러나, 이러한 종래의 기술에서는 단순한 기계적 구조를 이용하므로 웨이퍼 반송시 수평도가 정확한지를 확인할 수가 없어 정기적인 관리에 의해 확인을 해야하고, 또한 장치의 수평도가 불량하다고 판단되었을 때 수평도를 조절하기 위해 볼트(5)를 풀고 조이는 등의 작업을 반복하며 작업을 해야 하기에 정확한 조정이 어려운 등의 많은 문제점이 있다.However, since the conventional technique uses a simple mechanical structure, it is impossible to check whether the horizontality is correct when conveying wafers. Therefore, it is necessary to confirm it by regular management. There are many problems, such as difficult to precisely adjust the work to loosen and tighten the bolt (5) and to work repeatedly.

따라서, 본 고안의 목적은 웨이퍼 반송장치의 수평도를 자동으로 확인하고, 불량 발생시 자동으로 조정해 줌으로써, 주기적으로 실행하는 장비자체 점검을 줄일 수 있고, 반송장치의 수평도가 잘못되어 생기는 사고를 미연에 방지할 수 있으며, 수평도를 인위적으로 맞추는 작업을 피할 수 있으므로 시간적 손실 및 인적 손실, 그리고 사로로 인한 손실을 최소화 시키도록 한 웨이퍼 반송장치를 제공함에 있다.Therefore, the object of the present invention is to automatically check the horizontality of the wafer conveying apparatus and automatically adjust it in the event of a defect, thereby reducing the periodic inspection of the equipment itself, and avoiding an accident that the leveling of the conveying apparatus is incorrect. The present invention provides a wafer transfer device that minimizes time loss, human loss, and loss caused by captivity because it can prevent the work of adjusting the horizontal level artificially.

제1도는 종래의 기술에 의한 웨이퍼 반송장치를 나타내는 사시도.1 is a perspective view showing a wafer transfer device according to the prior art.

제2도는 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치를 나타내는 사시도.2 is a perspective view showing a wafer transfer device according to the present invention.

제3도는 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치를 확대해서 나타낸 확대 사시도.Figure 3 is an enlarged perspective view showing an enlarged wafer transfer apparatus according to the present invention.

제4도는 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치의 동작을 나타내는 순서도.4 is a flowchart showing the operation of the wafer transfer device according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

11 : 웨이퍼반송장치 몸체 12 : 포크고정틀11 wafer body 12: fork fixing frame

13 : 웨이퍼반송 포크 14 : 수평측정기13: wafer transfer fork 14: level measuring instrument

14a : 좌우수평램프 15 : 웨이퍼반송포크 고정판14a: left and right horizontal lamp 15: wafer conveyance fork fixing plate

16 : 모터 17 : 엔코더16: motor 17: encoder

18 : 수평조절 기어부 19 : 고정스프링18: leveling gear part 19: fixed spring

이러한, 본 고안의 목적은 웨이퍼반송장치 몸체와, 상기 웨이퍼반송장치 몸체의 일측면에 고정한 웨이퍼 반송포크 고정판과, 상기 웨이퍼반송포크 고정판의 상부에 탄지되는 포크고정틀과, 상기 포크고정틀의 단부에 결합 고정되어 웨이퍼를 반송하는 웨이퍼반송포크와, 상기 포크고정틀의 상면에 설치되어 좌우수평이 맞지않을 때 기울어진 방향을 표시해주는 수평확인램프를 구비한 수평측정기와, 상기 포크고정틀의 일측부에 형성한 몸체기어부와, 상기 몸체기어부와 맞물려 회전함에 따라 포크고정틀의 좌우수평을 조절하는 수평조절기어부와, 상기 수평조절 기어부를 구동하는 모터와, 상기 모터의 회전정도를 파악하여 제어부로 전송하는 엔코더에 의해 달성된다.The object of the present invention is a wafer transporter body, a wafer conveyance fork fixing plate fixed to one side of the wafer transporter body, a fork fixing frame supported on the upper portion of the wafer transport fork fixing plate, and coupled to the end of the fork fixing frame A horizontal measuring device provided with a wafer conveying fork fixed to convey the wafer, a horizontal measuring lamp installed on the upper surface of the fork fixing frame and indicating a tilted direction when the left and right horizontal lines are not aligned, and formed on one side of the fork fixing frame. A body gear part, a horizontal adjusting gear part that adjusts the horizontal right and left of the fork fixing frame as it rotates in engagement with the body gear part, a motor driving the horizontal adjusting gear part, and an encoder for grasping the rotational degree of the motor and transmitting it to the controller. Is achieved by.

이하, 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.Hereinafter, the wafer transfer apparatus according to the present invention will be described according to the embodiment shown in the accompanying drawings.

제2도는 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치를 나타내는 사시도이고, 제3도는 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치를 확대해서 나타낸 확대 사시도이며, 제4도는 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치의 동작을 나타내는 순서도를 각각 보인 것이다.FIG. 2 is a perspective view showing a wafer transfer device according to the present invention, and FIG. 3 is an enlarged perspective view showing an enlarged view of the wafer transfer device according to the present invention, and FIG. 4 is a flow chart showing the operation of the wafer transfer device according to the present invention, respectively. It is seen.

이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치는 웨이퍼반송장치 몸체(11)와, 상기 웨이퍼반송장치 몸체(11)의 일측면에 고정한 웨이퍼 반송포크 고정판(15)과, 상기 웨이퍼 반송포크 고정판(15)의 상부에 탄지되는 포크고정틀(12)과, 상기 포크고정틀(12)의 단부에 결합 고정되어 웨이퍼를 반송하는 웨이퍼반송포크(13)와, 상기 포크고정틀(12)의 상면에 설치되어 좌우수평이 맞지않을 때 기울어진 방향을 표시해주는 수평확인램프(14a)를 구비한 수평측정기(14)와, 상기 포크고정틀(12)의 일측부에 형성한 몸체기어부(12a)와, 상기 몸체기어부(12a)와 맞물려 회전함에 따라 포크고정틀(12)의 좌우수평을 조절하는 수평조절기어부(18)와, 상기 수평조절기어부(18)를 구동하는 모터(16)와, 상기 모터(16)의 회전정도를 파악하여 제어부로 전송하는 엔코더(17)로 구성된다.As shown in the drawing, the wafer transport apparatus according to the present invention includes a wafer transporter body 11, a wafer transport fork fixing plate 15 fixed to one side of the wafer transporter body 11, and the wafer transport fork fixed plate. It is provided on the upper surface of the fork fixing frame 12, the fork fixing frame 12 which is carried on the upper portion of the upper portion 15, the wafer conveying fork 13 is coupled to the end of the fork fixing frame 12 to convey the wafer, and the fork fixing frame 12 A horizontal measuring device (14) having a horizontal check lamp (14a) to display a tilted direction when the left and right horizontal lines are not correct, a body gear (12a) formed at one side of the fork fixing frame (12), and the body As the gear 12a rotates in engagement with the horizontal adjusting gear portion 18 to adjust the horizontal and horizontal horizontal adjustment of the fork fixing frame 12, the motor 16 for driving the horizontal adjusting gear portion 18, and the motor 16 The encoder 17 detects the degree of rotation of the motor and transmits it to the controller. It is made.

상기 포크고정틀(12)과 웨이퍼 반송포크 고정판(15) 사이에 고정스프링(19)을 개재한다.A fixing spring 19 is interposed between the fork fixing frame 12 and the wafer conveyance fork fixing plate 15.

도면중 미설명 부호 20은 신호/전원선을 나타낸다.In the figure, reference numeral 20 denotes a signal / power line.

이와 같이 구성된 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치의 작용효과를 설명한다.The effect of the wafer conveyance apparatus by this invention comprised in this way is demonstrated.

반도체 공정 진행을 시작하기 위하여 반도체 장비는 우선 웨이퍼를 반송하게 된다. 웨이퍼를 반송하기 바로 전에 장비의 주 제어부에서는 수평측정기(14)의 정보를 확인한다. 수평측정기(14)는 통상적으로 수평도를 확인 할 수 있는 디지털 게이지로서 수평도를 확인하여 문제가 없을 경우 웨이퍼 반송을 시작한다. 만약 수평도가 불량일 경우, 수평 측정기(14)는 에러 발생신호와 함께 왼쪽 또는 오른쪽 수평 확인램프(14a)가 점등된다. 이 수평 확인램프(14a)가 점등되면 모터(16)가 구동함과 동시에, 수평조절기어부(18)를 회전시키고, 상기 수평조절기어부(18)는 포크고정틀(12)의 일측부에 형성한 몸체기어부(12a)에 맞물려 회전하므로 포크고정틀(12)을 조금씩 좌우로 이동시킨다. 이때 모터(16)가 어느정도 회전을 했는가를 알기 위해 엔코더(17)는 모터(16)의 회전수를 장비 주 제어부로 전송한다. 일정량의 모터(16) 회전에 의해 포크고정틀(12)의 수평도가 변화되면 수평측정기(14)는 수평정도를 재 확인한다. 재 확인결과 불량임을 확인하면 수평 확인램프(14a)가 점등되며, 모터(16)를 구동시키는 반복동작을 통해 수평을 자동조절한다. 수평측정기(14)에서 수평도가 정확하다 판단되면, 발생되었던 에러를 해제시킨후 수평 확인램프(14a)를 소등시키며 웨이퍼를 반송할 수 있도록 웨이퍼 반송을 처리한다.In order to start the semiconductor process, the semiconductor equipment first conveys the wafer. Immediately before conveying the wafer, the main control unit of the equipment checks the information of the level gauge 14. Level gauge 14 is a digital gauge that can usually check the horizontal level to check the horizontal level to start the wafer transfer if there is no problem. If the level is bad, the horizontal measuring unit 14 lights up the left or right horizontal confirmation lamp 14a together with an error occurrence signal. When the horizontal confirmation lamp 14a is turned on, the motor 16 is driven and the horizontal adjustment gear unit 18 is rotated, and the horizontal adjustment gear unit 18 is formed at one side of the fork fixing frame 12. The fork fixing frame 12 is gradually moved left and right by being engaged with the gear unit 12a. At this time, in order to know how much the motor 16 rotates, the encoder 17 transmits the rotation speed of the motor 16 to the equipment main controller. When the horizontality of the fork fixing frame 12 is changed by a certain amount of rotation of the motor 16, the level measuring unit 14 checks the level of horizontalness again. When the result of the re-confirmation confirms that the defect is bad, the horizontal confirmation lamp 14a is turned on, and the level is automatically adjusted through a repeating operation of driving the motor 16. If it is determined that the level is correct by the horizontal measuring device 14, the error is generated and then the wafer is processed to turn off the horizontal identification lamp 14a and to convey the wafer.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 반송장치는 웨이퍼 반송장치 몸체의 일측면에 고정한 웨이퍼 반송포크 고정판과, 상기 웨이퍼 반송포크 고정판의 상부에 탄지되는 포크고정틀과, 상기 포크고정틀의 일측부에 형성한 몸체기어부와, 상기 몸체기어부와 맞물려 회전함에 따라 포크고정틀의 좌우수평을 조절하는 수평조절기어부와, 상기 수평조절 기어부를 구동하는 모터와, 상기 모터의 회전정도를 파악하여 제어부로 전송하는 엔코더를 포함하여 구성되어, 웨이퍼 반송장치의 수평도를 자동으로 확인하고, 불량 발생시 자동으로 조정해 줌으로써, 주기적으로 실행하는 장비자체 점검을 줄일 수 있고, 반송장치의 수평도가 잘못되어 생기는 사고를 미연에 방지할 수 있으며, 수평도를 인위적으로 맞추는 작업을 피할 수 있으므로 시간적 손실 및 인적 손실, 그리고 사고로 인한 손실을 최소화 시키도록 한 효과가 있다.As described above, the wafer conveying apparatus according to the present invention includes a wafer conveying fork fixing plate fixed to one side of a wafer conveying device body, a fork fixing frame supported on an upper portion of the wafer conveying fork fixing plate, and one side of the fork fixing frame. The formed body gear part, the horizontal adjusting gear part for adjusting the horizontal horizontal and horizontal axis of the fork fixing frame as the mesh gear part rotates, the motor driving the horizontal adjusting gear part, and the rotational degree of the motor are transferred to the control unit. It consists of an encoder which automatically checks the horizontality of the wafer conveying device and automatically adjusts it when there is a defect, thereby reducing the periodic inspection of the equipment itself and preventing accidents caused by incorrect leveling of the conveying device. It can be prevented in advance, and the work of artificially leveling the level can be avoided. Losses and human losses, and the effect was to minimize losses due to accidents.

Claims (1)

웨이퍼반송장치 몸체와, 상기 웨이퍼반송장치 몸체의 일측면에 고정한 웨이퍼 반송포크 고정판과, 상기 웨이퍼반송포크 고정판의 상부에 탄지되는 포크고정틀과, 상기 포크고정틀의 단부에 결합 고정되어 웨이퍼를 반송하는 웨이퍼반송포크와, 상기 포크고정틀의 상면에 설치되어 좌우수평이 맞지않을 때 기울어진 방향을 표시해주는 수평확인램프를 구비한 수평측정기와, 상기 포크고정틀의 일측부에 형성한 몸체기어부와, 상기 몸체기어부와 맞물려 회전함에 따라 포크고정틀의 좌우수평을 조절하는 수평조절기어부와, 상기 수평조절 기어부를 구동하는 모터와, 상기 모터의 회전정도를 파악하여 제어부로 전송하는 엔코더로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송장치.A wafer transporter body, a wafer conveyance fork fixing plate fixed to one side of the wafer transporter body, a fork fixing frame held on an upper portion of the wafer transporting fork fixing plate, and a wafer that is coupled to and fixed to an end of the fork fixing frame to convey the wafer A horizontal measuring lamp having a conveyance fork, a horizontal check lamp installed on an upper surface of the fork fixing frame and indicating an inclined direction when the left and right horizontal lines are not aligned; a body gear part formed at one side of the fork fixing frame; and the body A wafer comprising a horizontal adjusting gear unit for adjusting the horizontal horizontal and horizontal direction of the fork fixing frame as the gear unit rotates, a motor for driving the horizontal adjusting gear unit, and an encoder for determining the degree of rotation of the motor and transmitting the motor to the controller. Conveying device.
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