KR100721288B1 - Apparatus for stretching substrate - Google Patents
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Abstract
본 발명은 LCD, PDP 또는 유기 EL등 과 같은 평판 디스플레이의 제조시 기재로 사용되는 유리 기판(평판기판)을 효과적으로 고정하며, 각 공정간의 이동시에도 유리 기판에 장력을 유지시키는 기판 스트레칭 장치에 관한 것이다. 본 발명의 기판 스트레칭 장치는 기판의 가장자리에 서로 대향되도록 설치되는 지지홀더들; 상기 기판에 인장력을 인가하기 위해 상기 지지홀더들을 서로 반대방향으로 밀어내기 위한 장력인가부재를 포함하며, 이러한 장치가 유리기판에 스트레칭을 인가함으로써 유리기판의 쳐짐 현상을 최소화할 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate stretching apparatus that effectively fixes a glass substrate (flat substrate) used as a substrate in the manufacture of a flat panel display such as an LCD, a PDP, or an organic EL, and maintains a tension on the glass substrate even during each process movement. . The substrate stretching apparatus of the present invention includes support holders installed to face each other at the edge of the substrate; It includes a tension applying member for pushing the support holders in the opposite direction to apply a tensile force to the substrate, this apparatus can minimize the drooping of the glass substrate by applying a stretch to the glass substrate.
기판, 스트레칭, 처짐 현상 Substrate, Stretching, Sagging
Description
도 1은 본 발명에 따른 기판 스트레칭 장치의 사시도;1 is a perspective view of a substrate stretching apparatus according to the present invention;
도 2는 본 발명에 따른 기판 스트레칭 장치의 측면도;2 is a side view of a substrate stretching apparatus according to the present invention;
도 3은 본 발명에 따른 기판 스트레칭 장치의 평면도이다. 3 is a plan view of a substrate stretching apparatus according to the present invention.
도 4는 본 발명의 기판 스트레칭 장치에 의해 유리기판이 종방향으로 당겨진 상태를 보여주는 도면;4 is a view showing a state in which the glass substrate is pulled in the longitudinal direction by the substrate stretching apparatus of the present invention;
도 5는 연결샤프트에 핸들이 설치된 예를 보여주는 도면이다. 5 is a view showing an example in which a handle is installed on the connecting shaft.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
110a: 제1지지홀더110a: first support holder
110b : 제2지지홀더110b: second support holder
120 : 장력인가부재120: tension applying member
122 : 너트부122: nut part
126 : 연결샤프트126: connecting shaft
130 : 구동부 130: drive unit
본 발명은 평판 기판(flat panel)의 처짐 방지를 위한 기판 스트레칭 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 LCD, PDP 또는 유기 EL등 과 같은 평판 디스플레이의 제조시 기재로 사용되는 유리 기판(평판기판)을 효과적으로 고정하며, 각 공정간의 이동시에도 유리 기판에 장력을 유지시키는 기판 스트레칭 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate stretching apparatus for preventing sagging of a flat panel. More particularly, the present invention relates to a glass substrate (flat substrate) used as a substrate in the manufacture of a flat panel display such as LCD, PDP, or organic EL. The present invention relates to a substrate stretching device that effectively fixes and maintains tension on a glass substrate even during movement between processes.
최근에 들어, 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel : PDP), 액정디스플레이(liquid crystal display : LCD), 전계발광소자(field emission display : FED) 및 유기발광소자(organic light emitting device: OLED) 등의 평판표시 장치가 널리 이용되고 있다. 이러한 평판표시장치는 유리 기판의 사이즈가 대형화되고, 평판표시장치가 고해상도, 고정세화 됨에 따라, 금속 재질의 새도우 마스크와 유리 기판간의 정렬(alignment) 정밀도가 중요하게 부각되고 있다. Recently, flat panel such as plasma display panel (PDP), liquid crystal display (LCD), field emission display (FED) and organic light emitting device (OLED) Display devices are widely used. As the size of the glass substrate increases in size and the size of the flat panel display becomes high resolution and high definition, the alignment accuracy between the shadow mask made of a metal material and the glass substrate is important.
특히, 유기발광소자의 경우에는 새도우 마스크와 유리 기판의 정렬이 그 정밀도가 낮을 경우, 유기물이 유리 기판의 정해진 화소가 아니라 그 인접한 화소의 영역으로 침범하여 증착됨으로써 색순도를 저하시킬 수가 있다. 심한 경우, 유기물이 전혀 증착되지 않은 불량 화소가 발생하기도 하는데, 이러한 불량 화소는 유기물이 정상적으로 증착된 정상 화소에 비하여 유기물의 증착 두께가 얇아 수명 단축이나 색순도 차이를 가지므로 유기발광소자의 수율을 저하시킨다. Particularly, in the case of the organic light emitting device, when the alignment of the shadow mask and the glass substrate is low in accuracy, the organic matter may be deposited by invading the region of the adjacent pixel instead of the predetermined pixel of the glass substrate, thereby reducing the color purity. In severe cases, defective pixels in which organic substances are not deposited at all may occur, and such defective pixels may have a shorter lifetime or a different color purity than the normal pixels in which organic substances are normally deposited, thereby reducing yields of organic light emitting devices. Let's do it.
상기 새도우 마스크와 유리 기판간 얼라인먼트의 정밀도를 높이기 위하여, 상기 새도우 마스크를 더욱 얇은 두께로 만들 경우(그림자 효과 방지), 평판 디스 플레이의 대형화 추세에 따라 자체적으로 처짐 현상 없이 상기 새도우 마스크의 평탄도를 유지하기가 점점 어려워진다. 그러므로, 상기 새도우 마스크와 유리 기판간 정렬의 정밀도를 향상시키기 위해, 상기 새도우 마스크에 인장력을 인가한 후 상기 인장력을 유지시킨 상태에서 상기 새도우 마스크보다 더 큰 형태의 프레임에 상기 새도우 마스크를 레이저 등에 의해 고정시킴으로써 상기 새도우 마스크에 적절한 인장력을 인가하는 방식을 채택하고 있다. 이와 같이 인장력이 유지된 새도우 마스크는 프레임과 함께 고정된 상태로 일정 횟수 반복적으로 사용된다. In order to increase the accuracy of the alignment between the shadow mask and the glass substrate, when the shadow mask is made thinner (prevents shadow effects), the flatness of the shadow mask is reduced without sagging itself according to the trend of larger flat panel displays. It becomes more and more difficult to maintain. Therefore, in order to improve the accuracy of alignment between the shadow mask and the glass substrate, the shadow mask may be applied to a frame having a shape larger than that of the shadow mask while applying the tensile force to the shadow mask and maintaining the tensile force. A method of applying an appropriate tensile force to the shadow mask by fixing it is adopted. The shadow mask in which the tension is maintained is repeatedly used a predetermined number of times while being fixed with the frame.
그러나, 상기 유리 기판은 0.5㎜ 이상의 두꺼운 두께를 가질 경우, 상기 유리 기판 자체의 하중이 매우 증가하므로 상기 유리 기판의 처짐 현상은 더욱 큰 문제점으로 인식되고 있다. However, when the glass substrate has a thick thickness of 0.5 mm or more, the load of the glass substrate itself is greatly increased, so that the deflection phenomenon of the glass substrate is recognized as a larger problem.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 평판표시소자용 유리 기판에 인장력을 인가하여 유리기판의 처짐 현상을 최소화할 수 있는 새로운 형태의 기판 스트레칭 장치를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a new type of substrate stretching apparatus that can minimize the deflection phenomenon of the glass substrate by applying a tensile force to the glass substrate for a flat panel display device.
본 발명의 다른 목적은 유리 기판을 이송하는 과정에서 자연적으로 유리기판의 스트레칭이 가능하도록 한 새로운 형태의 기판 스트레칭 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a substrate stretching apparatus of a new type to enable the stretching of the glass substrate naturally in the process of transferring the glass substrate.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명의 기판 스트레칭 장치는 기판의 가장자리에 서로 대향되도록 설치되는 지지홀더들; 상기 기 판에 인장력을 인가하기 위해 상기 지지홀더들을 서로 반대방향으로 밀어내기 위한 장력인가부재를 포함한다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the substrate stretching apparatus of the present invention comprises support holders installed to face each other at the edge of the substrate; And a tension applying member for pushing the support holders in opposite directions to apply tension to the substrate.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 장력인가부재는 서로 대향되는 상기 지지홀더들에 설치되는 한 쌍의 너트부; 상기 너트부에 결합되는 볼트부가 양단에 형성된 연결샤프트; 상기 연결샤프트를 회전시키기 위한 구동부를 포함하되; 상기 연결샤프트의 양단에 형성된 볼트부들 중 하나는 오른나사방식으로 형성되고, 다른 하나는 왼나사방식으로 형성된다. According to an embodiment of the present invention, the tension applying member includes a pair of nut parts installed on the support holders opposed to each other; A connecting shaft formed at both ends of the bolt part coupled to the nut part; A driving unit for rotating the connection shaft; One of the bolts formed at both ends of the connecting shaft is formed by a right-hand screw method, and the other is formed by a left-hand screw method.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 연결샤프트에 설치되는 피니언과; 상기 기판의 상부에 위치되어 상기 피니언과 맞물리는 래크를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the invention, the drive unit and the pinion is installed on the connecting shaft; It may include a rack positioned on the substrate and engaged with the pinion.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 기판 스트레칭 장치는 기판의 가장자리에 서로 대향되도록 고정되는 그리고 컨베이어에 놓여지는 한 쌍의 지지홀더; 상기 한 쌍의 지지홀더는 서로 반대방향으로 암나사가 형성된 체결홀을 갖고; 상기 한 쌍의 지지홀더의 나사홀에 결합되는 볼트부가 양단에 구비된 연결샤프트를 포함할 수 있다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, a substrate stretching device comprises a pair of support holders fixed to the edge of the substrate to be opposed to each other and placed on the conveyor; The pair of support holders have fastening holes in which female threads are formed in opposite directions; It may include a connecting shaft provided at both ends of the bolt portion coupled to the screw hole of the pair of support holder.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 기판 스트레칭 장치는 상기 연결샤프트를 상기 연결샤프트를 회전시키기 위한 구동부를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the substrate stretching device may further include a driving unit for rotating the connection shaft to the connection shaft.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 컨베이어 상에서 기판이 이동할 때 상기 연결샤프트와 접촉하여 상기 연결샤프트를 회전시키는 기어부재를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the invention, the drive unit may include a gear member for contacting the connection shaft to rotate the connection shaft when the substrate is moved on the conveyor.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 기어부재는 상기 연결샤프트에 설치되는 피니언과; 상기 기판의 상부에 위치되어 상기 피니언과 맞물리는 래크를 포함할 수 있다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 한 쌍의 지지홀더는 상기 기판의 양단 가장자리에 각각 설치될 수 있다.According to one embodiment of the invention, the gear member and the pinion is installed on the connecting shaft; It may include a rack positioned on the substrate and engaged with the pinion. According to an embodiment of the present invention, the pair of support holders may be installed at both edges of the substrate, respectively.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 지지홀더는 상판과 하판 그리고 이들을 일측에서 연결하는 연결판을 갖으며, 상기 상판과 상기 하판 사이의 공간에는 상기 기판이 위치되어 클램핑 된다. According to an embodiment of the present invention, the support holder has a top plate and a bottom plate and a connecting plate connecting them from one side, and the substrate is positioned and clamped in the space between the top plate and the bottom plate.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. For example, embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 5에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다. Exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 5. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.
본 발명의 기본적인 의도는 LCD, PDP 또는 유기 EL등 과 같은 평판 디스플레이의 제조시 기재로 사용되는 유리 기판(s)(평판기판)을 효과적으로 고정하며, 각 공정간의 이동시에도 유리 기판(s)에 장력을 유지시키는 기판 스트레칭 장치(100)를 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 유리 기판(s)의 가장자리를 고정하는 지지홀더(110)들과, 유리 기판(s)을 종방향으로 당기도록 지지홀더들을 종방 향으로 이동시키는 장력인가부재(120)를 갖는 스트레칭 장치(100)를 제시하였다. The basic intention of the present invention is to effectively fix the glass substrate (s) (flat substrate) used as a substrate in the manufacture of flat panel displays such as LCD, PDP or organic EL, and to tension the glass substrate (s) even during movement between the processes. To provide a
도 1은 본 발명에 따른 기판 스트레칭 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판 스트레칭 장치의 측면도이다. 도 3은 본 발명에 따른 기판 스트레칭 장치의 평면도이다. 1 is a perspective view of a substrate stretching apparatus according to the present invention, Figure 2 is a side view of the substrate stretching apparatus according to the present invention. 3 is a plan view of a substrate stretching apparatus according to the present invention.
이하, 설명을 간략하게 하고 용이하게 이해할 수 있도록 하기 위해, 유리기판(s)의 평행한 면내에서 유리기판의 이송방향을 Y방향(횡방향), 이송방향과 직교하는 방향을 X방향(종방향)이라고 한다. Hereinafter, in order to simplify the description and easily understand, in the parallel plane of the glass substrate s, the conveying direction of the glass substrate in the Y direction (the transverse direction), and the direction orthogonal to the conveying direction in the X direction (the longitudinal direction) It is called).
도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 스트레칭 장치(100)는 컨베이어 벨트(10)상에서 이동되는 유리기판(s)에 스트레칭(Stretching)을 제공하게 된다.1 to 3, the
기판 스트레칭 장치(100)는 유리기판(s)의 처짐현상을 최소화하기 위해 종방향(x)으로 인장력을 제공하기 위한 것이다. 유리기판(s) 가장자리의 앞단과 후단에는 서로 대향되도록 제1,2지지홀더(110a,110b)가 설치된다. 제1,2지지홀더(110a,110b)는 상판(112)과 하판(114) 그리고 이들을 연결하는 연결판(116)으로 이루어지는 "⊂" 형상으로, 상판(112)과 하판(114) 사이의 공간에는 유리기판(s)의 가장자리가 위치되어 상판(112)과 하판(114)에 의해 고정된다.
유리기판(s)에 고정된 제1,2지지홀더(110a,110b)는 장력인가부재(120)를 통해 유리기판(s)에 종방향(x)으로 인장력을 인가하게 된다. 장력인가부재(120)는 제1,2지지홀더(110a,110b)를 서로 반대방향으로 밀어내기 위한 것으로, 너트부(122)와 연결샤프트(126) 그리고 구동부(130)를 포함한다. The first and
너트부(122)는 제1,2지지홀더(110a,110b)의 상판(112)에 설치되거나 또는 제 1,2,지지홀더(110a,110b)에 일체로 형성될 수도 있다. 제1지지홀더(110a)에 설치되는 너트부(122)와 제2지지홀더(110b)에 설치되는 너트부(122)는 서로 반대방향의 암나사가 형성된 체결홀(124)을 갖는다. 즉, 어느 하나의 너트부(122)는 오른나사방식의 암나사가 형성된 체결홀(124)을 갖고, 다른 하나의 너트부(122)는 왼나사방식의 암나사가 형성된 체결홀(124)을 갖는다. The
이러한 구성의 너트부(122)들의 체결홀(124)에는 연결 샤프트(126)가 나사 결합된다. 연결 샤프트(126)는 너트부(122)의 체결홀(124)에 나사 결합되는 볼트부(128)를 갖는다. 연결샤프트(126)의 볼트부(128)는 너트부의 체결홀(124)에 나사 결합되며, 연결샤프트(126)가 회전되면, 연결샤프트(126) 양단에 결합된 너트부(122)가 풀림동작에 의해 이동하게 되면서 유리기판에 종방향으로 스트레칭을 제공하게 된다. 따라서, 유리기판(s)이 바깥쪽으로 당겨지면서 유리기판(s)의 처짐 현상이 감소하게 된다. The connecting
본 발명의 기판 스트레칭 장치(100)는 유리기판(s)이 반송방향으로 이동되는 것과 연동하여 유리기판(s)의 스트레칭을 제공하게 된다. 이를 위해, 구동부(130)는 유리기판이 컨베이어 벨트(10) 상에서 이동될 때 연결샤프트(126)와 접촉하여 연결샤프트(126)를 회전시키는 기어부(132)를 갖는다. The
기어부(132)는 연결샤프트(126) 중앙에 설치되는 피니언(132a)과 유리기판(s) 상부에 위치되어 피니언(132a)과 맞물리는 래크(132b)를 포함한다. 래크(132b)는 유리기판 이송경로에 해당되는 공간 상부에 설치된 프레임(134)에 고정 설치된다. 래크(132b)는 별도의 승강 장치(미도시됨)에 의해 피니언(132a)과 맞물리는 높 이로 이동되거나 또는 피니언(132a)으로부터 분리(이격)되는 높이로 이동될 수 있다. The
도 4는 본 발명의 기판 스트레칭 장치에 의해 유리기판이 종방향으로 당겨진 상태를 보여주는 도면이다. 4 is a view showing a state in which the glass substrate is pulled in the longitudinal direction by the substrate stretching apparatus of the present invention.
도 3 및 도 4를 참조하면, 유리기판(s)이 컨베이어 벨트(10)에 놓여진 상태에서 이동되면, 래크(132b)에 맞물려 있는 피니언(132a)이 회전됨에 따라 연결샤프트(126)도 회전된다. 연결샤프트(126)가 회전되면, 연결샤프트(126) 양단에 나사 결합된 너트부(122)가 화살표 방향(종방향)으로 이동하게 되고, 그에 따라 지지홀더(110)에 고정되어 있는 유리기판(s)에 종방향으로 스트레칭이 가해지게 된다. 따라서, 유리기판(s)은 자중에 의한 처짐 현상이 완화되게 되고, 유리기판은 평평한 상태를 유지하게 되는 것이다. 3 and 4, when the glass substrate s is moved on the
본 발명에서는 연결샤프트(126)의 회전을 위해 피니언(132a)과 래크(132b)를 이용한 기어방식이 사용되었으나, 도 5에서와 같이 연결샤프트(126)의 일측에 작업자가 수동으로 회전시킬 수 있는 핸들(140)을 설치하여, 작업자에 의해 수작업으로 유리기판에 스트레칭을 인가할 수도 있다.In the present invention, the gear system using the
여기서, 유리기판은 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel : PDP), 액정디스플레이(liquid crystal display : LCD), 전계발광소자(field emission display : FED) 및 유기발광소자(organic light emitting device: OLED)의 제조에 사용되는 평판기판을 뜻한다. Here, the glass substrate is used to manufacture a plasma display panel (PDP), liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), and an organic light emitting device (OLED). Refers to the flat board used in the
이상에서, 본 발명에 따른 기판 스트레칭 장치의 구성 및 작용을 상기한 설 명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the substrate stretching apparatus according to the present invention is shown in accordance with the above description and drawings, but this is merely described for example, and various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Of course.
상술한 바와 같이, 본 발명은 유리기판에 스트레칭을 인가함으로써 유리기판의 처짐 현상을 최소화할 수 있다. 본 발명은 유리기판이 이송되는 과정에서 스트레칭이 가해지기 때문에 유리기판에 스트레칭을 인가하기 위한 별도의 공간이 필요 없다. As described above, the present invention can minimize the deflection phenomenon of the glass substrate by applying a stretch to the glass substrate. The present invention does not need a separate space for applying a stretch to the glass substrate because the stretching is applied in the process of transporting the glass substrate.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8324013B2 (en) | 2009-12-07 | 2012-12-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of fabricating organic light emitting diode display device |
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Citations (1)
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---|---|---|---|---|
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Cited By (1)
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US8324013B2 (en) | 2009-12-07 | 2012-12-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of fabricating organic light emitting diode display device |
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