KR101456671B1 - Apparatus for preventing deflection of substrate - Google Patents

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KR101456671B1 KR1020130057931A KR20130057931A KR101456671B1 KR 101456671 B1 KR101456671 B1 KR 101456671B1 KR 1020130057931 A KR1020130057931 A KR 1020130057931A KR 20130057931 A KR20130057931 A KR 20130057931A KR 101456671 B1 KR101456671 B1 KR 101456671B1
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이영종
김성호
이현성
이정균
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주식회사 선익시스템
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Abstract

An apparatus for preventing deflection of a substrate is disclosed. The apparatus of the present invention, comprises: a pair of clamps including a plurality of supporting parts spaced apart from each other to support the lower surface of a substrate side and a plurality of pressing parts for pressing the upper surface of the substrate side against each of the supporting parts by facing each of the supporting parts, wherein, the supporting parts and the pressing parts are arranged along both ends of the substrate facing each other to clamp each of the both ends of the substrate; and a tension inlet for applying a tensile force to the substrate by spacing the pair of clamps from each other. The precise tensile force can be applied across the entire area of the substrate by precisely clamping the substrate side, thereby minimizing the deflection of the substrate to increase the accuracy of the deposition.

Description

기판처짐 방지 장치{Apparatus for preventing deflection of substrate}Technical Field [0001] The present invention relates to an apparatus for preventing deflection of a substrate,

본 발명은 기판처짐 방지 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 기판 단부를 정밀하게 클램핑하여 기판의 전면적에 걸쳐 정밀한 인장력을 가할 수 있는 기판처짐 방지 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate sag prevention device. More particularly, the present invention relates to a substrate deflection preventing device capable of precisely clamping a substrate end portion to apply a precise tensile force over the entire surface of the substrate.

최근 디스플레이 소자로 액정 표시 소자(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel, PDP), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED) 등 평판 표시 소자(Flat Panel Display)가 널리 이용되고 있다.2. Description of the Related Art Flat panel displays such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP) and an organic light emitting diode (OLED) are widely used as display devices have.

이러한 평판 표지 소자는 유리기판에 일정 패턴으로 금속박막이나 유기박막을 증착하는 증착공정 등의 일련의 공정을 진행하여 제조된다. Such a flat panel display device is manufactured through a series of processes such as a deposition process for depositing a metal thin film or an organic thin film in a predetermined pattern on a glass substrate.

유리기판에 금속박막이나 유기박막을 증착하기 위해서는 유리기판의 증착면이 노출되도록 유리기판 단부를 지지하여야 하는데, 최근 평판 표지 소자가 대형화됨에 따라 유리기판이 대형화되어 유리기판의 중앙부에 큰 처짐이 발생하여 정밀한 증착이 어려운 문제점이 있다.In order to deposit a metal thin film or an organic thin film on a glass substrate, the edge of the glass substrate must be supported so that the deposition surface of the glass substrate is exposed. Recently, as the plate substrate becomes larger, the glass substrate becomes larger and a large deflection occurs in the center of the glass substrate So that precise deposition is difficult.

특히, 유기 발광 소자의 경우, 유리기판에 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등의 유기 박막을 증착하여야 하는데, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 유리기판 상에 증착된다.In particular, in the case of an organic light emitting device, an organic thin film such as a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer must be deposited on a glass substrate. .

진공열증착방법은 진공챔버 내에 유리기판의 증착면이 하향 노출되도록 유리기판을 상부에 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 유리기판에 정렬시킨 후, 유리기판의 증착면 하부에 배치된 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 유리기판의 증착면 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. 이 과정에서 유리기판의 증착면이 하향 노출되도록 유리기판 단부를 지지하여야 하는데, 유리기판이 대형화됨에 따라 큰 처짐이 발생하여 쉐도우 마스크의 정렬과정에서 오차가 발생할 수 있고 이에 따라 증착의 정밀도가 떨어져 유기발광소자의 수율이 저하되는 문제점이 있다.
In the vacuum thermal deposition method, a glass substrate is disposed on the upper side so that the deposition surface of the glass substrate is exposed downward in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on the glass substrate, And heat is applied to the disposed evaporation source to vaporize the evaporation material sublimated in the evaporation source onto the evaporation surface of the glass substrate. In this process, the edge of the glass substrate must be supported so that the deposition surface of the glass substrate is exposed downward. As the glass substrate is enlarged, large deflection occurs, and errors may occur in the alignment process of the shadow mask. There is a problem that the yield of the light emitting device is lowered.

본 발명은 기판에 인장력을 가하여 기판의 처짐을 최소화하여 증착의 정밀도를 높일 수 있는 기판처짐 방지 장치를 제공하는 것이다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] The present invention provides a device for preventing sagging of a substrate by applying a tensile force to the substrate to minimize sagging of the substrate and thereby increase the accuracy of deposition.

그리고, 기판 단부를 정밀하게 클램핑하여 기판의 전면적에 걸쳐 정밀한 인장력을 가할 수 있는 기판처짐 방지 장치를 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a substrate deflection prevention device capable of precisely clamping an end portion of a substrate to apply a precise tensile force over the entire surface of the substrate.

본 발명의 일 측면에 따르면, 서로 이격되게 배치되어 기판 단부의 하면을 지지하는 복수의 지지편 및 상기 복수의 지지편에 각각 대향하여 상기 기판 단부의 상면을 가압하는 복수의 가압편을 포함하며, 상기 복수의 지지편 및 상기 가압편이 상기 기판의 서로 대향하는 양 단부를 따라 각각 배치되어 상기 기판의 양 단부를 각각 클램핑하는 한 쌍의 클램프와; 상기 한 쌍의 클램프가 서로 멀어지도록 서로 이격시켜 상기 기판에 인장력을 가하는 장력도입부를 포함하는, 기판처짐 방지 장치가 제공된다.According to one aspect of the present invention, there is provided a plasma processing apparatus comprising: a plurality of support pieces arranged to be spaced apart from each other to support a lower surface of a substrate end portion; and a plurality of pressing pieces opposed to the plurality of support pieces to press the upper surface of the substrate end, A pair of clamps, each of the plurality of support pieces and the presser piece being disposed along opposite ends of the substrate facing each other and clamping both ends of the substrate, respectively; And a tension introducing portion for applying a tensile force to the substrate by spacing the pair of clamps apart from each other so as to be distant from each other.

상기 기판의 일 단부를 지지하는 상기 복수의 지지편 중 양단의 최외측 지지편은 상기 기판의 일 단부와 인접한 단부를 따라 길게 연장될 수 있으며, 이에 대응하는 최외측 가압편은 상기 기판의 일 단부와 인접한 단부 상면을 가압할 수 있다.The outermost support pieces at both ends of the plurality of support pieces for supporting one end of the substrate may be elongated along the end adjacent to the one end of the substrate, It is possible to press the upper surface of the adjacent end portion.

상기 지지편 및 상기 가압편은 각각 서로 인력이 작용하는 마그넷으로 이루질 수 있다.The supporting piece and the pressing piece may be made of a magnet to which attraction force acts.

상기 클램프는, 상기 복수의 지지편이 외측으로 돌출되도록 상기 복수의 지지편이 결합되는 지지플레이트와; 상기 복수의 지지편에 각각 대향하는 상기 복수의 가압편이 결합되는 가압플레이트를 포함할 수 있다.Wherein the clamp comprises: a support plate to which the plurality of support pieces are coupled so that the plurality of support pieces protrude outward; And a pressing plate to which the plurality of pressing pieces opposed to the plurality of supporting pieces are coupled, respectively.

상기 기판처짐 방지 장치는, 상기 클램프가 결합되는 기판 홀딩 플레이트를 더 포함할 수 있으며, 이 경우, 상기 클램프는, 일단이 상기 기판 홀딩 플레이트를 관통하여 상기 가압플레이트를 가압하는 가압봉과; 상기 기판 홀딩 플레이트의 상면에 배치되며 상기 가압봉을 승강시키는 가압구동부를 더 포함할 수 있다.The substrate deflection prevention device may further include a substrate holding plate to which the clamp is coupled. In this case, the clamp includes: a pressure bar having one end penetrating the substrate holding plate to press the pressing plate; And a pressure driver disposed on an upper surface of the substrate holding plate for moving the pressure bar upward and downward.

상기 기판처짐 방지 장치는, 상기 클램프가 하부 결합되는 기판 홀딩 플레이트를 더 포함할 수 있으며, 이 경우, 상기 장력도입부는, 상기 기판 홀딩 플레이트의 하면에 결합되어, 상기 클램프를 가이드하는 인장가이드부를 포함할 수 있다.The substrate deflection preventing device may further include a substrate holding plate to which the clamp is lowerly coupled. In this case, the tension guiding portion includes a tension guide portion coupled to a lower surface of the substrate holding plate to guide the clamp can do.

상기 장력도입부는, 상기 인장가이드부를 따라 이동하는 가이드플레이트와; 상기 가이드플레이트에서 하부로 연장되며, 상기 지지플레이트가 결합되는 지지프레임을 포함할 수 있다. Wherein the tension introduction portion includes: a guide plate that moves along the tension guide portion; And a support frame extending downward from the guide plate and coupled to the support plate.

상기 가압봉의 일단에는 상기 가압플레이트를 가압하는 회전롤러가 결합될 수 있다. And a rotary roller for pressing the pressing plate may be coupled to one end of the pressing rod.

상기 기판처짐 방지 장치는, 상기 지지프레임의 길이 방향을 따라 결합되며 상기 가압플레이트의 이동을 가이드하는 가압가이드부를 더 포함할 수 있다.The substrate deflection prevention device may further include a pressure guide portion coupled along the longitudinal direction of the support frame and guiding movement of the pressing plate.

상기 기판 홀딩 플레이트에는 상기 인장가이드부를 따라 장공이 형성될 수 있으며, 이 경우, 상기 장력도입부는, 일단이 상기 장공을 관통하여 상기 가이드플레이트에 결합되는 이동로드와; 상기 이동로드의 타단이 결합되며 상기 이동로드를 직선왕복운동시키는 이동구동부를 더 포함할 수 있다.The substrate holding plate may have a slot formed along the tension guide portion. In this case, the tension introducing portion may include a moving rod having one end penetrating the slot and being coupled to the guide plate; And a movement driving unit coupled to the other end of the moving rod and linearly reciprocating the moving rod.

상기 이동구동부는, 상기 장공의 길이 방향의 양단에 인접하여 상기 기판 홀딩 플레이트에 각각 결합되는 수직바와; 상기 수직바의 상단에 결합되는 수평바와; 상기 이동로드의 타단부에 회전가능하게 관통하며, 상기 수직바에 횡방향으로 결합되는 볼스크류바와; 상기 볼스크류바를 회전시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.Wherein the movement driving unit includes: a vertical bar, which is coupled to the substrate holding plate adjacent to both longitudinal ends of the slot; A horizontal bar coupled to an upper end of the vertical bar; A ball screw bar rotatably penetrating the other end of the moving rod and transversely coupled to the vertical bar; And a rotation driving unit for rotating the ball screw bar.

상기 가압편은, 일단이 상기 가압플레이트를 관통하며, 탄성스프링에 의해 탄성지지되는 복수의 가압로드와; 상기 복수의 가압로드의 일단에 결합되어, 상기 기판 단부의 상면을 가압하는 가압블록을 포함할 수 있다.A plurality of pressing rods, one end of which passes through the pressing plate and is elastically supported by an elastic spring; And a pressing block coupled to one end of the plurality of pressing rods and pressing the upper surface of the substrate end.

또한, 상기 가압편은, 상기 가압플레이트의 하면에 결합되며, 상기 가압로드가 관통하는 가이드블록과; 상기 가이드블록에 대향하여 상기 가압플레이트의 상면에 결합되며, 상기 가압로드의 타단이 관통하는 고정블록을 더 포함할 수 있으며, 상기 탄성스프링은, 상기 가압플레이트와 상기 고정블록 사이에 개재되어 상기 가압로드에 탄성력을 가할 수 있다.
The pressing piece may include a guide block coupled to a lower surface of the pressing plate and penetrating the pressing rod; And a fixing block coupled to an upper surface of the pressing plate so as to face the guide block and through which the other end of the pressing rod penetrates, wherein the elastic spring is interposed between the pressing plate and the fixing block, Elastic force can be applied to the rod.

본 발명의 실시예에 따르면, 기판에 인장력을 가하여 기판의 처짐을 최소화하여 증착의 정밀도를 높일 수 있다.According to the embodiment of the present invention, the tension of the deposition can be increased by minimizing deflection of the substrate by applying a tensile force to the substrate.

그리고, 기판 단부를 정밀하게 클램핑하여 기판의 전면적에 걸쳐 정밀한 인장력을 가할 수 있다.
Then, the end portion of the substrate can be precisely clamped, so that a precise tensile force can be applied over the entire surface of the substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 정면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 효과를 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 기판 클램핑 방법을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 일부를 도시한 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 가압편을 설명하기 위한 도면.1 is a front view of a substrate deflection prevention device according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view of a substrate deflection prevention device according to an embodiment of the present invention;
3 is a view for explaining an effect of a substrate deflection prevention device according to an embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining a substrate clamping method of a substrate deflection prevention device according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view showing a part of a substrate deflection prevention device according to an embodiment of the present invention;
6 is a view for explaining a pressing piece of a substrate deflection prevention device according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명에 따른 기판처짐 방지 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a substrate deflection prevention device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to like or corresponding elements, The description will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 정면도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 사시도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 효과를 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 기판 클램핑 방법을 설명하기 위한 도면이다. 그리고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 일부를 도시한 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 가압편을 설명하기 위한 도면이다. FIG. 1 is a front view of a substrate deflection preventing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of a substrate deflection preventing apparatus according to an embodiment of the present invention. 3 is a view for explaining the effect of the substrate deflection prevention device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a view for explaining a substrate clamping method of the substrate deflection prevention device according to an embodiment of the present invention. to be. 5 is a perspective view illustrating a part of the substrate deflection preventing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view for explaining a pressing piece of the substrate deflection prevention device according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 6에는, 기판(12), 지지부(13), 지지편(14), 가압부(15), 가압편(16), 클램프(18), 장력도입부(20), 최외측 지지편(22), 최외측 가압편(24), 지지플레이트(26), 탄성연결구(27), 가압플레이트(28), 가압로드(30), 가압블록(34), 가이드블록(36), 고정블록(38), 탄성스프링(40), 기판 홀딩 플레이트(42), 가압봉(44), 가압구동부(46), 인장가이드부(48), 가이드플레이트(50), 지지프레임(52), 회전롤러(54), 가압가이드부(56), 장공(57), 이동로드(58), 이동구동부(60), 수직바(62), 수평바(63), 볼스크류바(64), 회전구동부(66), 모터(67), 벨트(69)가 도시되어 있다.Figs. 1 to 6 show an embodiment in which the substrate 12, the supporting portion 13, the supporting piece 14, the pressing portion 15, the pressing piece 16, the clamp 18, the tension applying portion 20, The pressing plate 28 and the pressing block 30 are integrally formed with the pressing block 22 and the outermost pressing piece 24, the supporting plate 26, the elastic coupling 27, the pressing plate 28, the pressing rod 30, The pressing plate 40 and the pressing plate 40 are integrally formed with the fixing plate 38, the elastic spring 40, the substrate holding plate 42, the pressing rod 44, the pressing drive unit 46, the tension guide unit 48, the guide plate 50, The vertical bar 62, the horizontal bar 63, the ball screw bar 64, the rotary drive unit (not shown), the pressurizing guide unit 56, the long hole 57, the moving rod 58, 66, a motor 67, and a belt 69 are shown.

본 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치는, 서로 이격되게 배치되어 기판(12) 단부의 하면을 지지하는 복수의 지지편(14) 및 상기 복수의 지지편(14)에 각각 대향하여 상기 기판 단부의 상면을 가압하는 복수의 가압편(16)을 포함하며, 상기 복수의 지지편(14) 및 상기 가압편(16)이 상기 기판(12)의 서로 대향하는 양 단부를 따라 각각 배치되어 상기 기판(12)의 양 단부를 각각 클램핑하는 한 쌍의 클램프(18)와; 상기 한 쌍의 클램프(18)가 서로 멀어지도록 서로 이격시켜 상기 기판(12)에 인장력을 가하는 장력도입부(20)를 포함하여, 기판(12) 단부를 정밀하게 클램핑하여 기판(12)의 전면적에 걸쳐 정밀한 인장력을 가할 수 있고, 이에 따라 기판(12)의 처짐을 최소화하여 증착의 정밀도를 높일 수 있다.The substrate deflection prevention device according to the present embodiment includes a plurality of support pieces 14 which are disposed so as to be spaced apart from each other and support the lower surface of the end of the substrate 12, And a plurality of pressing pieces (16) for pressing the upper surface of the substrate (12), wherein the plurality of supporting pieces (14) and the pressing pieces (16) are disposed along opposite ends of the substrate A pair of clamps 18 for clamping both ends of the clamping member 12; And a tension introducing portion 20 for applying a tensile force to the substrate 12 by spacing the pair of clamps 18 apart from each other so as to precisely clamp the end portion of the substrate 12, So that the deflection of the substrate 12 can be minimized and the precision of the deposition can be increased.

한 쌍의 클램프(18)가 기판(12)의 서로 대향하는 양 단부를 각각 클램핑하고, 기판(12)에 인장력을 가하도록 잡아당겨 기판(12)의 처짐을 최소화할 수 있다.A pair of clamps 18 clamps both opposite ends of the substrate 12, respectively, and is pulled so as to apply a tensile force to the substrate 12, so that deflection of the substrate 12 can be minimized.

클램프(18)는 복수의 지지편(14)과, 복수의 지지편(14)에 각각 대향하는 가압편(16)으로 구성되는데, 지지편(14)은 기판(12) 단부의 하면에 서로 이격되게 배치되고, 가압편(16)은 각 지지편(14)에 대향하여 기판(12) 단부의 상면을 가압하여 기판(12) 단부를 클램핑한다. The clamp 18 is composed of a plurality of support pieces 14 and pressing pieces 16 opposed to each of the plurality of support pieces 14. The support pieces 14 are separated from each other on the lower surface of the end of the substrate 12 And the pressing piece 16 presses the upper surface of the end of the substrate 12 against the respective holding pieces 14 to clamp the end of the substrate 12. [

지지편(14)과 가압편(16)을 복수 개로 구성함으로써 기판(12) 단부를 정밀하게 클램핑할 수 있다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(12) 단부를 클램핑하기 위하여 기판(12) 단부의 길이에 대응하여 긴 플레이트 형식의 지지부(13)와 가압부(15)로 구성하는 경우, 기판(12)의 하면과 상면에 균일한 가압력을 가하기 위해서는 플레이트 표면의 평탄도를 정밀하게 가공하여 하는데, 플레이트 전 표면을 평탄도가 높게 정밀하게 가공하는데 한계가 있고, 플레이트 자체 또한 처짐이 발생하기 때문에 기판(12) 단부의 전 길이에 걸쳐 균일한 가압력을 가할 수 없다. 따라서, 본 실시예에서는 서로 이격되게 배치되는 복수의 지지편(14)과 가압편(16)으로 기판(12) 단부를 클램핑하도록 함으로써 기판(12) 단부를 정밀하게 클램핑할 수 있고, 이에 따라 기판(12)의 전면적에 걸쳐 정밀한 인장력을 가할 수 있다. 기판을 지지하는 지지편(14)이 작은 조각 형태로 되어 있어 평탄도 높은 정밀한 가공이 가능하고 자체 처짐이 매우 작기 때문에 기판의 단부를 따라 정밀하게 지지할 수 있다.The end portions of the substrate 12 can be precisely clamped by constituting the support pieces 14 and the pressing pieces 16 in plural numbers. 3, in the case of the long plate type supporting portion 13 and the pressing portion 15 corresponding to the length of the end portion of the substrate 12 in order to clamp the end portion of the substrate 12, 12, the flatness of the surface of the plate is precisely processed. However, there is a limit in precisely machining the entire surface of the plate with a high degree of flatness, and since the plate itself is also deflected, A uniform pressing force can not be applied over the entire length of the end portion of the end plate 12. Therefore, in this embodiment, the ends of the substrate 12 can be precisely clamped by clamping the end portions of the substrate 12 with the plurality of supporting pieces 14 and the pressing pieces 16 which are spaced apart from each other, It is possible to apply an accurate tensile force over the entire surface of the substrate 12. The supporting piece 14 for supporting the substrate is in the form of a small piece so that highly precise processing with high flatness is possible and the self deflection is very small, so that it can be supported precisely along the edge of the substrate.

장력도입부(20)는, 한 쌍의 클램프(18)를 서로 멀어지도록 이격시켜 기판(12)에 인장력을 가한다. 기판(12)의 서로 대향하는 양 단부를 한 쌍의 클램프(18)가 각각 클램핑하고, 장력도입부(20)가 한 쌍의 클램프(18)를 서로 멀어지도록 함으로써 기판(12)에 인장력을 가하여 기판(12)에 발생한 처짐을 최소화한다.The tension introducing portion 20 applies a tensile force to the substrate 12 by separating the pair of clamps 18 away from each other. The pair of clamps 18 clamp the opposite ends of the substrate 12 to each other and tension force applying unit 20 moves the pair of clamps 18 away from each other to apply tensile force to the substrate 12, Thereby minimizing the deflection that occurs in the stator 12.

이하에서는 본 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 각 구성에 대하여 자세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, each configuration of the substrate deflection prevention device according to the present embodiment will be described in detail.

기판 홀딩 플레이트(42)는 기판처짐 방지 장치를 지지하는 역할을 하며, 기판 홀딩 플레이트(42)에 결합되는 클램프(18)가 기판(12)의 양 단부를 클램핑하고 잡아당겨 기판(12)의 처짐을 방지하면서 기판(12)을 지지하게 된다. 도 2 및 도 5에서는 기판 홀딩 플레이트(42)가 두 개로 분리된 형태를 도시하고 있으나, 이는 편의상 그 하부에 있는 구성을 자세히 보여주기 위한 것으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 홀딩 플레이트(42)는 하나의 판 형태로 구성된다.The substrate holding plate 42 serves to support the substrate deflection preventing device and a clamp 18 coupled to the substrate holding plate 42 clamps and pulls both ends of the substrate 12, While supporting the substrate 12. 2 and 5 show a configuration in which the substrate holding plate 42 is divided into two parts. However, for the sake of convenience, the lower part of the substrate holding plate 42 ) Is composed of one plate form.

기판 홀딩 플레이트(42)에는 클램프(18)와 장력도입부(20)가 결합되며, 클램프(18)가 기판(12) 단부를 클램핑한 상태에서 장력도입부(20)가 클램프(18)를 이격시켜 기판(12)에 인장력을 가하게 된다.The clamp 18 and the tension introducing portion 20 are coupled to the substrate holding plate 42. The clamp 18 separates the clamp 18 from the substrate 18 while the clamping portion 18 clamps the end portion of the substrate 12, (12).

본 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 클램프(18)는, 복수의 지지편(14)이 외측으로 돌출되도록 복수의 지지편(14)이 결합되는 지지플레이트(26); 복수의 지지편(14)에 각각 대향하는 복수의 가압편(16)이 결합되는 가압플레이트(28); 일단이 기판 홀딩 플레이트(42)를 관통하여 가압플레이트(28)의 상면을 가압하는 가압봉(44); 및 기판 홀딩 플레이트(42)의 상면에 배치되며 가압봉(44)을 승강시키는 가압구동부(46)를 포함할 수 있다.The clamp 18 of the apparatus for preventing sagging of the substrate according to the present embodiment includes a support plate 26 to which a plurality of support pieces 14 are coupled so that a plurality of support pieces 14 protrude outward; A pressing plate (28) to which a plurality of pressing pieces (16) opposed to the plurality of supporting pieces (14) are coupled, respectively; A pressing rod 44 which once penetrates through the substrate holding plate 42 and presses the upper surface of the pressing plate 28; And a pressure driving unit 46 disposed on the upper surface of the substrate holding plate 42 for moving the pressing rod 44 up and down.

지지플레이트(26)는 기판(12) 단부에 평행하게 배치되고, 복수의 지지편(14)은, 지지편(14)의 단부가 외측으로 돌출되도록 서로 이격되어 지지플레이트(26)에 결합된다. 지지플레이트(26)에서 돌출되는 복수의 지지편(14)의 단부가 기판(12) 단부의 하면을 지지한다.The support plate 26 is disposed parallel to the end of the substrate 12 and the plurality of support pieces 14 are coupled to the support plate 26 so as to be spaced apart from each other such that the ends of the support pieces 14 protrude outward. The end portions of the plurality of support pieces 14 protruding from the support plate 26 support the lower surface of the end portion of the substrate 12. [

가압플레이트(28)는 지지플레이트(26)의 상부에 배치되고, 복수의 지지편(14)에 각각 대향하는 복수의 가압편(16)이 가압플레이트(28)에 결합된다. 지지플레이트(26)에 대한 가압플레이트(28)의 상하 이동으로 가압플레이트(28)에 결합된 가압편(16)이 기판(12) 단부의 상면을 가압하여 지지편(14)과 함께 기판(12) 단부를 클램핑하게 된다.The pressing plate 28 is disposed on the upper portion of the supporting plate 26 and a plurality of pressing pieces 16 opposed to the plurality of supporting pieces 14 are coupled to the pressing plate 28. The pressing piece 16 coupled to the pressing plate 28 by the upward and downward movement of the pressing plate 28 against the supporting plate 26 presses the upper surface of the end of the substrate 12 and presses the upper surface of the substrate 12 together with the supporting piece 14 Quot;).

지지편(14)은 기판(12) 단부를 따라 서로 이격되게 배치되어 기판(12) 단부의 하면을 지지하고, 가압편(16)은 각 지지편(14)에 대향하여 기판(12) 단부의 상면을 가압하도록 함으로써 기판(12) 단부를 압착하여 기판(12)을 클램핑하게 된다. The supporting pieces 14 are spaced apart from each other along the edge of the substrate 12 to support the lower surface of the edge of the substrate 12 and the pressing piece 16 is provided on the edge of the substrate 12 The upper surface of the substrate 12 is pressed and the substrate 12 is clamped.

가압편(16)은 지지편(14)에 대해 기판(12)의 상면을 탄성적으로 가압하여 기판(12)을 클램핑한다. 가압편(16)이 탄성력에 의해 기판(12) 단부의 상면을 균일하게 가압하기 위해, 가압편(16)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 일단이 가압플레이트(28)를 관통하며, 탄성스프링(40)에 의해 탄성지지되는 복수의 가압로드(30)와; 복수의 가압로드(30)의 일단에 결합되어, 기판(12) 단부의 상면을 가압하는 가압블록(34)으로 구성될 수 있다. The pressing piece 16 resiliently presses the upper surface of the substrate 12 against the supporting piece 14 to clamp the substrate 12. The pressing piece 16 penetrates through the pressing plate 28 at one end as shown in Figure 6 so that the pressing piece 16 presses the upper surface of the end portion of the substrate 12 uniformly by the elastic force, A plurality of pressing rods (30) elastically supported by a spring (40); And a pressing block 34 which is coupled to one end of the plurality of pressing rods 30 and presses the upper surface of the end portion of the substrate 12. [

탄성스프링(40)에 의해 탄성지지되는 가압로드(30)를 복수 개로 구성하고 복수의 가압로드(30) 일단에 가압블록(34)을 결합함으로써, 기판(12)의 상면의 평탄도가 균일하지 않더라도 각 가압로드(30)의 탄성스프링(40)에 의해 기판(12) 상면에 균일한 가압력을 가할 수 있다. A plurality of pressing rods 30 elastically supported by the elastic spring 40 and a plurality of pressing rods 30 are connected to one end of the pressing block 34 so that the flatness of the upper surface of the substrate 12 is uniform A uniform pressing force can be applied to the upper surface of the substrate 12 by the elastic springs 40 of the respective pressing rods 30.

더불어, 가압로드(30)의 정밀한 직선이동을 가이드하기 위해 가압편(16)은, 가압플레이트(28)의 하면에 결합되며, 가압로드(30)가 관통하는 가이드블록(36)과; 가이드블록(36)에 대향하여 가압플레이트(28)의 상면에 결합되며, 가압로드(30)의 타단이 관통하는 고정블록(38)을 더 포함할 수 있다. 가압플레이트(28)를 관통하는 가압로드(30)가 기판(12)의 상면에 대해 수직으로 가압하기 위해 가압플레이트(28)의 하면에 가압로드(30)가 관통하는 가이드블록(36)을 결합하고, 가이드블록(36)에 대향하여 가압플레이트(28)의 상면에는 가압로드(30)의 타단이 관통하는 고정블록(38)을 두어 가압로드(30)의 직선이동을 정밀하게 가이드하도록 구성하였다. 이 경우, 탄성스프링(40)은 가압플레이트(28)와 고정블록(38) 사이에 개재되어 가압로드(30)에 탄성력을 가하게 된다.In order to guide the linear movement of the pressing rod 30 precisely, the pressing piece 16 is coupled to the lower surface of the pressing plate 28 and includes a guide block 36 through which the pressing rod 30 passes; And a fixing block 38 coupled to the upper surface of the pressing plate 28 so as to face the guide block 36 and through which the other end of the pressing rod 30 penetrates. A guide block 36 through which the pressing rod 30 passes is attached to the lower surface of the pressing plate 28 so as to press the pressing rod 30 passing through the pressing plate 28 perpendicularly to the upper surface of the substrate 12 And a fixing block 38 penetrating the other end of the pressing rod 30 is provided on the upper surface of the pressing plate 28 so as to face the guide block 36 so as to guide the linear movement of the pressing rod 30 precisely . In this case, the elastic spring 40 is interposed between the pressing plate 28 and the fixed block 38, and applies an elastic force to the pressing rod 30.

도 4에 도시된 바와 같이, 기판(12)의 일 단부를 지지하는 복수의 지지편(14) 중 양단의 최외측 지지편(22)은 기판(12)의 일 단부와 인접한 기판(12) 단부를 따라 길게 연장되며, 이에 대응하는 최외측 가압편(24)은 기판(12)의 일 단부와 인접한 단부 상면을 가압하도록 구성될 수 있다. 기판(12)의 일 단부를 지지하는 복수의 지지편(14) 중 양단의 최외편 지지편(14)을 기판(12)의 일 단부와 인접한 단부를 따라 연장시킴으로써 기판(12)의 처짐을 줄일 수 있다. 즉, 기판(12)의 네 모서리 부분이 넓게 지지되도록 함으로써 기판(12)의 처짐을 줄이는 것이다.4, the outermost support pieces 22 at both ends of the plurality of support pieces 14 for supporting one end of the substrate 12 are connected to one end of the substrate 12, And the outermost pressing piece 24 corresponding thereto can be configured to press the upper surface of the end adjacent to the one end of the substrate 12. [ The deflection of the substrate 12 is reduced by extending the outermost support pieces 14 at both ends of the plurality of support pieces 14 supporting one end of the substrate 12 along the end portion adjacent to one end of the substrate 12 . That is, the four corners of the substrate 12 are supported to be wide so as to reduce deflection of the substrate 12.

한편, 지지편(14) 및 가압편(16)은 서로 인력이 작용하는 마그넷으로 구성될 수 있다. 마그넷으로 구성된 지지편(14)과 가압편(16) 간에 인력이 작용하여 기판(12) 단부를 클램핑하도록 구성하는 것이다.On the other hand, the supporting piece 14 and the pressing piece 16 may be constituted by a magnet to which attraction force acts. An attractive force acts between the supporting piece 14 composed of a magnet and the pressing piece 16 so as to clamp the end of the substrate 12. [

가압봉(44)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 기판 홀딩 플레이트(42)를 관통하여 배치되고, 가압구동부(46)는, 기판 홀딩 플레이트(42)의 상면에 배치되어 가압봉(44)을 승강시킨다. 가압구동부(46)에 의한 가압봉(44)의 하강에 따라 가압봉(44)의 일단이 가압플레이트(28)를 가압하고, 가압플레이트(28)에 결합된 가압편(16)이 기판(12) 단부의 상면을 가압하여 기판(12)을 클램핑한다. 가압구동부(46)로는 액츄에이터, 랙-피니언 구조 등이 사용될 수 있다.5, the pressurizing rod 44 is disposed to penetrate through the substrate holding plate 42. The pressurizing rod 46 is disposed on the upper surface of the substrate holding plate 42 and has a pressing rod 44, . One end of the pressing rod 44 presses the pressing plate 28 in response to the lowering of the pressing rod 44 by the pressing driving unit 46 and the pressing piece 16 coupled to the pressing plate 28 is pressed against the substrate 12 To clamp the substrate 12. As the pressure driver 46, an actuator, a rack-pinion structure, or the like may be used.

가압플레이트(28)는 지지플레이트(26)에 대해 벌어지도록 탄성연결구(27)에 의해 지지플레이트(26)에 탄성적으로 결합된다. 즉, 탄성연결구(27)의 탄성부재에 의해 가압플레이트(28)와 지지플레이트(26)는 일정 거리로 벌어지게 되며, 탄성연결구(27)의 탄성부재의 탄성력보다 큰 힘으로 가압봉(44)이 하강하면서 가압플레이트(28)를 가압하면 가압플레이트(28)가 하강하면서 가압편(16)이 기판(12) 단부의 상면을 가압하게 된다. 가압봉(44)이 가압구동부(46)에 의해 상승하면 탄성연결구(27)의 탄성부재의 탄성복원력에 의해 지지플레이트(26)에 대해 가압플레이트(28)가 원 상태로 벌어지게 된다.The pressure plate 28 is resiliently coupled to the support plate 26 by an elastic connector 27 so as to flare against the support plate 26. That is, the pressing plate 28 and the support plate 26 are opened at a predetermined distance by the elastic member of the elastic connector 27, and the pressing rod 44 is pressed by a force larger than the elastic force of the elastic member 27, The presser plate 28 presses the upper surface of the end portion of the substrate 12 while the presser plate 28 is lowered. When the pressing rod 44 is lifted by the pressing drive part 46, the pressing plate 28 is opened in a circular state with respect to the supporting plate 26 by the elastic restoring force of the elastic member of the elastic connecting part 27.

장력도입부(20)는, 기판 홀딩 플레이트(42)의 하면에 기판(12)의 인장방향으로 결합되는 인장가이드부(48)와; 인장가이드부(48)를 따라 이동하는 가이드플레이트(50)와; 가이드플레이트(50)에서 하부로 연장되며, 지지플레이트(26)가 결합되는 지지프레임(52)을 포함할 수 있다.The tension introducing portion 20 includes a tension guide portion 48 coupled to the lower surface of the substrate holding plate 42 in the pulling direction of the substrate 12; A guide plate (50) moving along the tension guide portion (48); And a support frame 52 extending downward from the guide plate 50 and to which the support plate 26 is coupled.

인장가이드부(48)는 기판 홀딩 플레이트(42)의 하면에 기판(12)의 인장방향을 따라 결합되어 있으며, 가이드플레이트(50)는 인장가이드부(48)를 따라 기판(12)의 인장방향으로 이동한다.The tensile guide portion 48 is coupled to the lower surface of the substrate holding plate 42 along the tensile direction of the substrate 12 and the guide plate 50 extends along the tensile guide portion 48 in the tensile direction .

지지프레임(52)은 가이드플레이트(50)의 하부에서 연장되며 그 단부에 지지플레이트(26)가 결합된다. 지지프레임(52)에는 길이 방향을 따라 가압가이드부(56)가 결합될 수 있으며, 가압플레이트(28)는 가압가이드부(56)에 의해 가이드되어 지지플레이트(26)에 대해 승강하게 된다.The support frame 52 extends from the lower portion of the guide plate 50 and has a support plate 26 at its end. A pressing guide portion 56 can be coupled to the support frame 52 along the longitudinal direction and the pressing plate 28 is guided by the pressing guide portion 56 to move up and down with respect to the supporting plate 26.

가압구동부(46)에 의해 탄성연결구(27)의 탄성력보다 큰 힘으로 가압봉(44)이 가압플레이트(28)를 가압하면 가압플레이트(28)가 지지프레임(52)의 가압가이드부(56)를 따라 하강하게 되고, 가압플레이트(28)에 결합된 가압편(16)이 기판(12) 단부의 상면을 가압하여 기판(12) 단부를 클램핑한다. 클램프(18)에 의해 기판(12) 단부가 클램핑된 후 가이드플레이트(50)가 인장가이드부(48)를 따라 기판(12)의 인장방향으로 이동하여 기판(12)에 인장력을 가하게 된다.When the pressing rod 44 presses the pressing plate 28 with a force larger than the elastic force of the elastic coupling 27 by the pressing driving part 46, the pressing plate 28 is pressed against the pressing guide part 56 of the supporting frame 52, And the pressing piece 16 coupled to the pressing plate 28 presses the upper surface of the end of the substrate 12 to clamp the end of the substrate 12. After the end of the substrate 12 is clamped by the clamp 18, the guide plate 50 moves along the tension guide portion 48 in the tensile direction of the substrate 12 to exert a tensile force on the substrate 12.

한편, 가압봉(44)의 일단에는 가압플레이트(28)를 가압하는 회전롤러(54)가 결합될 수 있다. 회전롤러(54)는 가압플레이트(28)를 가압한 상태에서 가이드플레이트(50)의 이동에 따라 회전하게 된다. 가이드플레이트(50)의 이동에 따라 가압플레이트(28)를 가압하고 있던 가압봉(44)의 일단에 의해 가압플레이트(28)에 손상이 발생할 수 있으므로 가압봉(44)의 일단에 회전롤러(54)를 부착하여 가이드플레이트(50)의 이동시 회전롤러(54)가 회전되면서 가압플레이트(28)를 지속적으로 가압하도록 한다.On the other hand, a rotary roller 54 for pressing the pressing plate 28 may be coupled to one end of the pressure bar 44. The rotating roller 54 rotates in accordance with the movement of the guide plate 50 in a state in which the pressing plate 28 is pressed. The pressure plate 28 may be damaged due to the one end of the pressure bar 44 pressing the pressure plate 28 in accordance with the movement of the guide plate 50. Therefore, So that when the guide plate 50 is moved, the rotating roller 54 is rotated to press the pressing plate 28 continuously.

가이드플레이트(50)의 이동을 위해, 장력도입부(20)는, 가이드플레이트(50)에 결합되는 이동로드(58)와; 이동로드(58)의 타단이 결합되며 이동로드(58)를 직선왕복운동시키는 이동구동부(60)를 구비할 수 있다. 이동구동부(60)는 기판 홀딩 플레이트(42)의 상부에 위치하고, 가이드플레이트(50)는 기판 홀딩 플레이트(42)의 하부에 위치하므로, 기판 홀딩 플레이트(42)에 인장가이드부(48)를 따라 장공(57)을 형성하고, 가이드플레이트(50)와 이동구동부(60) 사이를 이동로드(58)가 연결하게 된다. 이동로드(58)의 일단은 기판 홀딩 플레이트(42)의 장공(57)을 관통하여 하부에 위치한 가이드플레이트(50)에 결합되며, 이동로드(58)의 타단은 기판 홀딩 플레이트(42)의 상부에 위치한 이동구동부(60)에 결합된다. 이동구동부(60)는 이동로드(58)의 타단을 직선왕복운동시키며 이에 따라 이동로드(58)의 일단에 결합된 가이드플레이트(50)가 인장가이드부(48)를 따라 직선왕복운동하게 된다.For movement of the guide plate 50, the tension introduction portion 20 includes a moving rod 58 coupled to the guide plate 50; And a movement driving unit 60 to which the other end of the moving rod 58 is coupled and which linearly reciprocates the moving rod 58. Since the guide plate 50 is positioned below the substrate holding plate 42, the movement driving unit 60 is positioned above the substrate holding plate 42 and the substrate holding plate 42 is moved along the tension guide unit 48 And a moving rod 58 is connected between the guide plate 50 and the movement driving unit 60. [ One end of the moving rod 58 is coupled to the guide plate 50 located at the lower side through the elongated hole 57 of the substrate holding plate 42 and the other end of the moving rod 58 is coupled to the upper side of the substrate holding plate 42 And is coupled to a movement driving unit 60 located at a predetermined position. The movement driving unit 60 linearly reciprocates the other end of the moving rod 58 so that the guide plate 50 coupled to one end of the moving rod 58 linearly reciprocates along the tension guide unit 48.

이동로드(58)의 직선왕복운동을 구현하기 위해, 이동구동부(60)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 장공(57)의 길이 방향의 양단에 인접하여 기판 홀딩 플레이트(42)에 각각 결합되는 수직바(62)와; 수직바(62)의 상단에 결합되는 수평바(63)와; 이동로드(58)의 타단부에 회전가능하게 관통하며, 수직바(62)에 횡방향으로 결합되는 볼스크류바(64)와; 볼스크류바(64)를 회전시키는 회전구동부(66)를 구비할 수 있다. 한 쌍의 수직바(62)와 이를 연결하는 수평바(63)는 문형 겐트리(gantry)를 형성하고, 볼스크류바(64)의 양단은 한 쌍의 수직바(62)에 회전가능하게 결합된다. 이동로드(58)의 타단부에는 볼스크류바(64)의 나사선에 상응하여 나사홈이 형성되어 볼스크류바(64)가 나사홈에 나사결합된다. 이 상태에서 회전구동부(66)에 의해 볼스크류바(64)가 정방향 또는 역방향으로 회전하면 이동로드(58)는 볼스크류바(64)의 길이 방향을 따라 직선왕복운동을 하게 된다. 본 실시예에 따른 회전구동부(66)는 회전력을 제공하는 모터(67)와 상기 모터(67)의 회전력을 전달하는 벨트(69)로 구성되어 있다.5, the movement driving portion 60 is provided with a pair of positioning pins 52 which are respectively coupled to the substrate holding plates 42 adjacent to both ends in the lengthwise direction of the elongated hole 57 to realize a linear reciprocating motion of the moving rod 58 A vertical bar 62; A horizontal bar 63 coupled to an upper end of the vertical bar 62; A ball screw bar (64) rotatably penetrating the other end of the moving rod (58) and laterally coupled to the vertical bar (62); And a rotation driving unit 66 for rotating the ball screw bar 64. A pair of vertical bars 62 and a horizontal bar 63 connecting them form a gantry and both ends of the ball screw bar 64 are rotatably coupled to a pair of vertical bars 62. [ do. At the other end of the moving rod 58, a thread groove is formed corresponding to the thread of the ball screw bar 64 so that the ball screw bar 64 is screwed into the thread groove. When the ball screw bar 64 rotates in the forward or reverse direction by the rotation driving unit 66 in this state, the moving rod 58 reciprocates linearly along the longitudinal direction of the ball screw bar 64. The rotation drive unit 66 according to the present embodiment includes a motor 67 for providing a rotational force and a belt 69 for transmitting the rotational force of the motor 67.

이하에서는 본 실시예에 따른 기판처짐 방지 장치의 작동과정을 설명하기로 한다.Hereinafter, the operation of the apparatus for preventing substrate sag according to the present embodiment will be described.

탄성연결구(27)에 의해 지지플레이트(26)에 대해 가압플레이트(28)가 벌어진 상태에서, 기판(12)의 양 단부가 지지플레이트(26)의 지지편(14)에 지지되도록 기판(12)이 로봇 암 등에 의해 지지플레이트(26)와 가압플레이트(28)의 사이에 로딩된다. 다음에, 가압구동부(46)가 작동하여 가압봉(44)을 하강시킨다. 가압봉(44)의 하단에는 회전롤러(54)가 결합되어 있고, 가압봉(44)의 하강에 따라 회전롤러(54)가 가압플레이트(28)를 가압하면 가압플레이트(28)가 하강하면서 가압편(16)이 기판(12) 단부의 상면을 가압하여 기판(12)을 클램핑한다. 가압편(16)의 하강에 따라 탄성스프링(40)에 의해 탄성지지되는 복수의 가압로드(30)의 단부에 결합되어 있는 가압로드(30)가 기판(12)의 상면을 균일하게 가압한다. 다음에, 회전구동부(66)를 작동시켜 클램프(18)가 서로 이격되도록 볼스크류바(64)를 회전시키면 이동로드(58)가 외측으로 직선이동하고 이에 따라 이동로드(58)의 타단에 결합되어 있던 가이드플레이트(50)가 외측으로 이동하면서 기판(12) 양 단부를 클램핑하고 있던 클램프(18)가 서로 이격되면서 기판(12)의 양 단부를 잡아당기게 된다. 이때 가압플레이트(28)를 가압하고 있던 회전롤러(54)가 회전되면서 클램프(18)가 이동하게 된다.The substrate 12 is moved so that both ends of the substrate 12 are supported by the support pieces 14 of the support plate 26 in a state in which the pressing plate 28 is opened with respect to the support plate 26 by the elastic connector 27. [ Is loaded between the support plate 26 and the pressing plate 28 by a robot arm or the like. Next, the pressurizing driver 46 is operated to lower the pressurizing bar 44. A rotating roller 54 is coupled to the lower end of the pressing rod 44. When the rotating roller 54 presses the pressing plate 28 in accordance with the lowering of the pressing rod 44, The piece 16 presses the upper surface of the end of the substrate 12 to clamp the substrate 12. The pressing rod 30 coupled to the end portions of the plurality of pressing rods 30 elastically supported by the elastic springs 40 uniformly presses the upper surface of the substrate 12 as the pressing piece 16 descends. Next, when the ball screw bar 64 is rotated so that the clamps 18 are separated from each other by operating the rotation driving unit 66, the moving rod 58 linearly moves outward, The guide plates 50 move outward and the clamps 18 clamping both ends of the substrate 12 are separated from each other to pull both ends of the substrate 12. At this time, the clamp 18 is moved while the rotary roller 54, which has been pressing the pressing plate 28, is rotated.

상기와 같이 기판처짐 방지 장치에 의해 기판(12)에 인장력을 가하여 기판(12)의 처짐을 최소화한 상태에서 기판(12)에 대한 공정이 진행되기 때문에 공정의 정밀도를 높일 수 있다.Since the substrate 12 is subjected to a tensile force by the substrate sag prevention device as described above and the substrate 12 is processed in a state in which deflection of the substrate 12 is minimized, the accuracy of the process can be improved.

기판(12)에 대한 공정이 완료되면, 회전구동부(66)를 작동시켜 클램프(18)가 서로 가까워지도록 볼스크류바(64)를 회전시키면 이동로드(58)가 내측으로 직선이동하고 이에 따라 이동로드(58)의 타단에 결합되어 있던 가이드플레이트(50)가 내측으로 이동하여 원 상태로 복귀한다. 이때 가압플레이트(28)를 가압하고 있던 회전롤러(54)는 반대 방향으로 회전되면서 클램프(18)가 내측으로 이동한다. 다음에, 가압구동부(46)의 작동에 따라 가압봉(44)을 승강시키면, 탄성연결구(27)의 탄성부재의 탄성복원력에 의해 지지플레이트(26)에 대해 가압플레이트(28)가 원 상태로 벌어지게 된다. 다음에, 로봇 암 등에 의해 지지플레이트(26)와 가압플레이트(28) 사이에 있는 기판(12)을 언로딩한다.
When the process for the substrate 12 is completed, when the ball screw bar 64 is rotated so that the clamp 18 is moved close to the rotation drive portion 66, the moving rod 58 linearly moves inward, The guide plate 50 coupled to the other end of the rod 58 moves inward and returns to the circular state. At this time, the rotary roller 54 which has pressed the pressing plate 28 is rotated in the opposite direction, and the clamp 18 moves inward. When the pressing rod 44 is moved up and down in accordance with the operation of the pressing driving unit 46, the pressing plate 28 is moved in the circular state with respect to the supporting plate 26 by the elastic restoring force of the elastic member 27 It will open. Next, the substrate 12 between the support plate 26 and the pressing plate 28 is unloaded by a robot arm or the like.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as set forth in the following claims It will be understood that the invention may be modified and varied without departing from the scope of the invention.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

12: 기판 14: 지지편
16: 가압편 18: 클램프
20: 장력도입부 22: 최외측 지지편
24: 최외측 가압편 26: 지지플레이트
27: 탄성연결구 28: 가압플레이트
30: 가압로드 34: 가압블록
36: 가이드블록 38: 고정블록
40: 탄성스프링 42: 기판 홀딩 플레이트
44: 가압봉 46: 가압구동부
48: 인장가이드부 50: 가이드플레이트
52: 지지프레임 54: 회전롤러
56: 가압가이드부 57: 장공
58: 이동로드 60: 이동구동부
62: 수직바 63: 수평바
64: 볼스크류바 66: 회전구동부
67: 모터 69: 벨트12: substrate 14: supporting piece
16: pressure piece 18: clamp
20: tension introduction part 22: outermost support piece
24: outermost pressing piece 26: support plate
27: elastic connector 28: pressure plate
30: pressing rod 34: pressing block
36: guide block 38: fixed block
40: elastic spring 42: substrate holding plate
44: pressure rod 46: pressure driver
48: Tension guide section 50: Guide plate
52: support frame 54: rotary roller
56: pressure guide portion 57: elongated hole
58: moving rod 60:
62: vertical bar 63: horizontal bar
64: ball screw bar 66: rotation driving part
67: motor 69: belt

Claims (13)

서로 이격되게 배치되어 기판 단부의 하면을 지지하는 복수의 지지편 및 상기 복수의 지지편에 각각 대향하여 상기 기판 단부의 상면을 가압하는 복수의 가압편을 포함하며, 상기 복수의 지지편 및 상기 가압편이 상기 기판의 서로 대향하는 양 단부를 따라 각각 배치되어 상기 기판의 양 단부를 각각 클램핑하는 한 쌍의 클램프와;
상기 한 쌍의 클램프가 서로 멀어지도록 서로 이격시켜 상기 기판에 인장력을 가하는 장력도입부를 포함하며,
상기 클램프는,
상기 복수의 지지편이 외측으로 돌출되도록 상기 복수의 지지편이 결합되는 지지플레이트와;
상기 복수의 지지편에 각각 대향하는 상기 복수의 가압편이 결합되는 가압플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
And a plurality of pressing pieces arranged to be spaced apart from each other to support the lower surface of the substrate end portion and to press the upper surface of the substrate end portion so as to oppose the plurality of supporting pieces, A pair of clamps disposed on both sides of the substrate opposite to each other to clamp both ends of the substrate, respectively;
And a tension introducing portion for applying a tensile force to the substrate by spacing the pair of clamps apart from each other,
The clamp
A support plate to which the plurality of support pieces are coupled so that the plurality of support pieces protrude outward;
And a pressing plate to which the plurality of pressing pieces opposed to the plurality of supporting pieces are coupled, respectively.
제1항에 있어서,
상기 기판의 일 단부를 지지하는 상기 복수의 지지편 중 양단의 최외측 지지편은 상기 기판의 일 단부와 인접한 단부를 따라 길게 연장되며, 이에 대응하는 최외측 가압편은 상기 기판의 일 단부와 인접한 단부 상면을 가압하는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
The method according to claim 1,
The outermost support pieces at both ends of the plurality of support pieces supporting one end of the substrate are elongated along an end adjacent to one end of the substrate, and the outermost presser piece corresponding to the one end of the plurality of support pieces supports the one end of the substrate, So as to press the upper surface of the end portion.
제1항이 있어서,
상기 지지편 및 상기 가압편은 서로 인력이 작용하는 마그넷으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
The method of claim 1,
Wherein the supporting piece and the pressing piece are made of a magnet to which attraction force acts.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 클램프가 결합되는 기판 홀딩 플레이트를 더 포함하며,
상기 클램프는,
일단이 상기 기판 홀딩 플레이트를 관통하여 상기 가압플레이트를 가압하는 가압봉과;
상기 기판 홀딩 플레이트의 상면에 배치되며 상기 가압봉을 승강시키는 가압구동부를 더 포함하는, 기판처짐 방지 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a substrate holding plate to which the clamp is coupled,
The clamp
A pressure bar which once penetrates the substrate holding plate to press the pressure plate;
Further comprising a pressure driving unit disposed on an upper surface of the substrate holding plate for moving the pressing rod upward and downward.
제1항에 있어서,
상기 클램프가 하부 결합되는 기판 홀딩 플레이트를 더 포함하며,
상기 장력도입부는,
상기 기판 홀딩 플레이트의 하면에 결합되어, 상기 클램프를 가이드하는 인장가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a substrate holding plate to which the clamp is lowerly coupled,
The tension-
And a tension guide portion coupled to a lower surface of the substrate holding plate for guiding the clamp.
제6항에 있어서,
상기 인장가이드부를 따라 이동하는 가이드플레이트와;
상기 가이드플레이트에서 하부로 연장되며, 상기 지지플레이트가 결합되는 지지프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
The method according to claim 6,
A guide plate moving along the tension guide portion;
And a support frame extending downward from the guide plate and coupled to the support plate.
제5항에 있어서,
상기 가압봉의 일단에는 상기 가압플레이트를 가압하는 회전롤러가 결합되는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
6. The method of claim 5,
And a rotating roller for pressing the pressing plate is coupled to one end of the pressing rod.
제7항에 있어서,
상기 지지프레임의 길이 방향을 따라 결합되며, 상기 가압플레이트의 이동을 가이드하는 가압가이드부를 더 포함하는, 기판처짐 방지 장치.
8. The method of claim 7,
Further comprising a pressing guide portion coupled along the longitudinal direction of the support frame and guiding movement of the pressing plate.
제7항에 있어서,
상기 기판 홀딩 플레이트에는 상기 인장가이드부를 따라 장공이 형성되며,
상기 장력도입부는,
일단이 상기 장공을 관통하여 상기 가이드플레이트에 결합되는 이동로드와;
상기 이동로드의 타단이 결합되며 상기 이동로드를 직선왕복운동시키는 이동구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
8. The method of claim 7,
The substrate holding plate has a slot formed along the tension guide,
The tension-
A moving rod having one end inserted through the slot and coupled to the guide plate;
Further comprising a movement driving unit coupled to the other end of the moving rod and linearly reciprocating the moving rod.
제10항에 있어서,
상기 이동구동부는,
상기 장공의 길이 방향의 양단에 인접하여 상기 기판 홀딩 플레이트에 각각 결합되는 수직바와;
상기 수직바의 상단에 결합되는 수평바와;
상기 이동로드의 타단부에 회전가능하게 관통하며, 상기 수직바에 횡방향으로 결합되는 볼스크류바와;
상기 볼스크류바를 회전시키는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
11. The method of claim 10,
The movement drive unit may include:
A vertical bar coupled to the substrate holding plate adjacent to both longitudinal ends of the slot;
A horizontal bar coupled to an upper end of the vertical bar;
A ball screw bar rotatably penetrating the other end of the moving rod and transversely coupled to the vertical bar;
And a rotation driving unit for rotating the ball screw bar.
제1항에 있어서,
상기 가압편은,
일단이 상기 가압플레이트를 관통하며, 탄성스프링에 의해 탄성지지되는 복수의 가압로드와;
상기 복수의 가압로드의 일단에 결합되어, 상기 기판 단부의 상면을 가압하는 가압블록을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
The method according to claim 1,
The pressing piece
A plurality of pressing rods, one end of which passes through the pressing plate, and is elastically supported by an elastic spring;
And a pressing block which is coupled to one end of the plurality of pressing rods and presses the upper surface of the substrate end portion.
제12항에 있어서,
상기 가압편은,
상기 가압플레이트의 하면에 결합되며, 상기 가압로드가 관통하는 가이드블록과;
상기 가이드블록에 대향하여 상기 가압플레이트의 상면에 결합되며, 상기 가압로드의 타단이 관통하는 고정블록을 더 포함하며,
상기 탄성스프링은,
상기 가압플레이트와 상기 고정블록 사이에 개재되어 상기 가압로드에 탄성력을 가하는 것을 특징으로 하는, 기판처짐 방지 장치.
13. The method of claim 12,
The pressing piece
A guide block coupled to a lower surface of the pressing plate, the guide block passing through the pressing rod;
And a fixing block coupled to an upper surface of the pressing plate so as to oppose the guide block, the other end of the pressing rod passing through the fixing block,
The elastic spring
And an elastic force is interposed between the pressing plate and the fixed block to apply an elastic force to the pressing rod.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101656462B1 (en) * 2015-10-07 2016-09-12 주식회사 선익시스템 Grip Apparatus for Substrates Having Dual Gripper
KR20170039593A (en) 2015-10-01 2017-04-11 캐논 톡키 가부시키가이샤 Substrate stretching unit, film forming device, and method for manufacturing film and organic electronic device
KR101843514B1 (en) * 2016-06-29 2018-03-30 김경아 Clamping device for edge portion raising of deposition substrate

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060031966A (en) * 2004-10-11 2006-04-14 두산디앤디 주식회사 Substrate loading method for organic material depositing apparatus and organic material depositing apparatus
KR20070044960A (en) * 2005-10-26 2007-05-02 세메스 주식회사 Apparatus for stretching substrate
KR20090052202A (en) * 2007-11-20 2009-05-25 삼성모바일디스플레이주식회사 Apparatus for fabricating mask of vertical deposition
KR20100101919A (en) * 2009-03-10 2010-09-20 삼성모바일디스플레이주식회사 Mask frame assembly for thin layer deposition and manufacturing method of organic light emitting display device thereused

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060031966A (en) * 2004-10-11 2006-04-14 두산디앤디 주식회사 Substrate loading method for organic material depositing apparatus and organic material depositing apparatus
KR20070044960A (en) * 2005-10-26 2007-05-02 세메스 주식회사 Apparatus for stretching substrate
KR20090052202A (en) * 2007-11-20 2009-05-25 삼성모바일디스플레이주식회사 Apparatus for fabricating mask of vertical deposition
KR20100101919A (en) * 2009-03-10 2010-09-20 삼성모바일디스플레이주식회사 Mask frame assembly for thin layer deposition and manufacturing method of organic light emitting display device thereused

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170039593A (en) 2015-10-01 2017-04-11 캐논 톡키 가부시키가이샤 Substrate stretching unit, film forming device, and method for manufacturing film and organic electronic device
KR101656462B1 (en) * 2015-10-07 2016-09-12 주식회사 선익시스템 Grip Apparatus for Substrates Having Dual Gripper
KR101843514B1 (en) * 2016-06-29 2018-03-30 김경아 Clamping device for edge portion raising of deposition substrate

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