KR20210056701A - Cooling buffer - Google Patents
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 22
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 74
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 73
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
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-
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-
- H01L51/0001—
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Abstract
Description
본 발명은 쿨링버퍼에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 간단한 구조로 형성되어 제조비용을 최소화할 수 있으면서도 다수의 패널부재를 미리 설정된 간격과 방향으로 매우 정밀하게 정렬할 수 있는 쿨링버퍼에 관한 것이다.The present invention relates to a cooling buffer, and more particularly, to a cooling buffer that can be formed in a simple structure to minimize manufacturing cost, while being able to very precisely align a plurality of panel members in a predetermined distance and direction.
일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diodes), LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이 장치는 다수의 공정을 거쳐 제조된다. In general, display devices such as Organic Light Emitting Diodes (OLED), Liquid Crystal Display (LCD), Plasma Display Panel (PDP), and Electrophoretic Display (EPD) are manufactured through a number of processes.
이러한 제조 공정에는 유리기판에 박막을 증착하는 증착공정 및 박막을 소정 패턴에 따라 제거하는 식각공정, 증착이 완료된 유리기판을 세정하는 세정공정 및 건조공정 등이 포함된다. Such manufacturing processes include a deposition process for depositing a thin film on a glass substrate, an etching process for removing the thin film according to a predetermined pattern, a cleaning process and a drying process for cleaning the glass substrate on which the deposition has been completed.
예컨데, 유기발광표시장치의 제조 공정들 중, 증착 공정은 고진공 환경하에서 도가니(Crucible)에 담겨져있는 유기물을 가열부로 가열하여 기화시킨 후 도가니의 내부와 외부의 압력차이로 발생되는 플럭스(Flux)를 이용하여 유기물을 유기판에 증착시키게 된다.For example, among the manufacturing processes of an organic light emitting display device, the deposition process heats the organic material contained in a crucible with a heating unit to evaporate it under a high vacuum environment. By using the organic material is deposited on the organic plate.
아울러, 증착공정이 완료된 유리기판을 세정한 후 디스플레이용 오븐을 이용하여 건조하게 되는데, 매우 높온 온도의 환경에 건조공정이 이루어지는 바 건조공정을 거친 유리기판을 후속공정으로 이송하기 전에 일정온도로 냉각하고, 후속공정에서 요구되는 상태로 정렬한 다음 후속공정으로 이송된다.In addition, after cleaning the glass substrate after the deposition process has been completed, it is dried using an oven for display.The drying process is performed in an environment at a very high temperature, so the glass substrate that has undergone the drying process is cooled to a certain temperature before being transferred to the subsequent process. And, it is aligned in the state required in the subsequent process, and then transferred to the subsequent process.
이때, 후속공정으로 이송 전 유리기판을 냉각하기 위한 장치로서, 쿨링버퍼가 사용되고 있다.At this time, as a device for cooling the glass substrate before being transferred to the subsequent process, a cooling buffer is used.
도1은 종래의 쿨링버퍼를 도시한 도면이고, 도2는 종래의 쿨링버퍼 간격정렬핀이 한 쌍의 대상물간 간격을 이격시키는 상태를 도시한 도면이다.1 is a view showing a conventional cooling buffer, and FIG. 2 is a view showing a state in which a conventional cooling buffer spacing alignment pin separates a gap between a pair of objects.
도1 및 도2에서 보는 바와 같이 종래의 쿨링버퍼(100)는 내부에 수용공간(111)이 형성되고 수용공간(111) 내에 지지프레임(112)이 설치된 챔버유닛(110)과, 지지프레임(112) 일측에 설치되고 상면 일측에 한 쌍의 패널부재가 나란하게 안착되는 지지부(120) 및 대략 봉 형상으로 형성되고 지지부(120)의 일측에 상하방향으로 이동가능하게 설치되는 간격정렬핀(130) 및 챔버유닛(110) 일측에 설치되고 수용공간(111) 내에 외부공기를 유입하는 공냉유닛(140)으로 구성된다.1 and 2, the
이러한 종래의 쿨링버퍼(100)는 공냉유닛(140)이 챔버유닛(110) 내부로 외부공기를 유입하여 고온의 유리기판을 일정온도로 냉각함으로써 적정한 온도의 유리기판이 후속공정으로 이송되도록 하는 역할을 한다.The
뿐만 아니라 종래의 쿨링버퍼(100)는 내부에 다수의 유리기판을 수용한 후 후속 공정의 공정속도에 따라 수용된 유리기판을 차례로 공급함으로써 각 공정간 공정속도를 조절하는 역할을 함과 아울러 복수의 유리기판을 후속공정으로 이송하는 경우 후속공정에서 요구하는 배치정보에 따라 복수의 유리기판을 정렬하는 역할을 한다.In addition, the
일예로, 증착 후 세정 및 건조가 완료된 다음 카메라를 이용하여 유리기판의 패턴을 검사하기 위한 검사공정이 이루어지는데, 해당 검사공정에서 영점세팅에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있도록 이전 공정에서 검사대상물인 복수개의 유리기판이 미리 설정된 간격과 방향으로 미리 정렬된 후 인입되도록 하고 있다.For example, after deposition and cleaning and drying are completed, an inspection process is performed to inspect the pattern of the glass substrate using a camera. In order to shorten the time required for zero point setting in the inspection process, the object to be inspected in the previous process A plurality of glass substrates are pre-aligned in a predetermined distance and direction before being inserted.
이에 종래의 쿨링버퍼(100)에서는 내부에 수용된 복수개의 유리기판을 냉각하는 과정에서 이들을 정렬하는 동작이 이루어진다.Accordingly, in the
종래 쿨링버퍼(100)의 정렬동작을 살펴보면, 먼저, 건조공정이 완료된 한 쌍의 유리기판(G)이 외부의 로봇암에 의해 챔버유닛(110) 내부로 인입되어 지지부(120) 상면에 안착된다.Looking at the alignment operation of the
이때, 지지부(120) 상면에 안착된 한 쌍의 유리기판(G) 사이영역에는 간격정렬핀(130)이 배치되는데, 공냉유닛(140)에 의해 챔버내부로 외부공기가 유입되어 유리기판이 냉각됨과 동시에 간격정렬핀(130)이 상방으로 이동하여 한 쌍의 유리기판(G) 사이간격을 미리 설정된 간격으로 이격시켜 이들을 정렬한다.At this time, the
보다 상술하면, 종래의 쿨링버퍼(100)에 따른 간격정렬핀(130)은 상단부가 원뿔형상으로 형성되는 바 상방으로 이동하는 경우 상단부의 경사면 일측과 타측에 한 쌍의 유리기판(G) 일측부가 지지된 상태로 외측방향으로 안내되어 한 쌍의 유리기판이 이격핀의 직경에 따라 외측방향으로 이동되어 한 쌍의 유리기판(G) 사이간격이 정렬된다.In more detail, when the upper end of the
그러나, 종래의 쿨링버퍼(100)는 간격정렬핀(130)의 상단부 경사면에 유리기판(G)의 일측이 접촉된 상태에서 간격정렬핀(130)이 상방으로 이동하는 경우 간격정렬핀(130)과 유리기판(G)간 마찰력에 의해 접촉된 유리기판(G)의 일측이 순간적으로 들뜨게 되면서 한 쌍의 유리기판(G)을 정밀하게 정렬하기 어려울 뿐 아니라 유리기판(G)이 들뜬 후 불특정한 위치에 안착되면서 오히려 유리기판(G)의 정렬상태가 흐트러지는 문제점이 있었다.However, in the
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 간단한 구조로 형성되어 제조비용을 최소화할 수 있으면서도 다수의 패널부재를 미리 설정된 간격과 방향으로 매우 정밀하게 정렬할 수 있는 쿨링버퍼를 제공함에 있다.The present invention was conceived to solve the above problems, and an object of the present invention is that it is formed in a simple structure to minimize manufacturing cost, while allowing a number of panel members to be very precisely aligned in a predetermined distance and direction. To provide a cooling buffer.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 내부에 수용공간이 형성된 챔버유닛과, 상기 챔버유닛의 내부 일측에 설치되고, 상면 일측에 한 쌍의 패널부재가 나란하게 안착되는 지지부와, 상기 챔버유닛의 내부 중 상기 지지부 상부에 안착된 상기 한 쌍의 패널부재 사이에 회전가능하게 개재되고, 회전하는 경우 상기 한 쌍의 패널부재 일측을 각각 외측방향으로 가압하여 상기 한 쌍의 패널부재가 미리 설정된 간격으로 이격되도록 하는 간격정렬부 및 상기 챔버유닛의 내부 일측에 설치되고, 상기 한 쌍의 패널부재 모서리 일측을 지지하는 에지 정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 쿨링버퍼를 제공한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a chamber unit having an accommodation space formed therein, and a support portion installed on an inner side of the chamber unit, and a pair of panel members mounted side by side on one side of the upper surface And, the pair of panels is rotatably interposed between the pair of panel members seated on the support part in the interior of the chamber unit, and when rotating, presses one side of the pair of panel members in an outward direction, respectively. It provides a cooling buffer, characterized in that it comprises a space alignment portion to allow members to be spaced apart at a predetermined interval, and an edge alignment portion installed on one inner side of the chamber unit and supporting one side of the edge of the pair of panel members.
그리고, 상기 간격정렬부는 상기 지지부의 일측에 설치되는 회전력 제공부와, 상기 회전력 제공부의 상부에 상기 회전력 제공부의 중심을 기준으로 회전가능하게 설치되는 회전부와, 한 쌍이 상기 회전부의 상면에 미리 설정된 간격으로 이격설치되고, 상기 한 쌍의 패널부재 사이에 회전가능하게 개재된 상태에서 상기 회전부가 회전하는 경우 상기 한 쌍의 패널부재 일측을 각각 외측방향으로 가압하는 가압부를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the spacing aligning unit includes a rotational force providing unit installed on one side of the support unit, a rotational unit rotatably installed with respect to the center of the rotational force providing unit above the rotational force providing unit, and a pair of predetermined distances on the upper surface of the rotational unit. It is installed spaced apart from each other, it is preferable to include a pressing portion for pressing each side of the pair of panel members in an outward direction when the rotation unit rotates in a state rotatably interposed between the pair of panel members.
아울러, 상기 에지 정렬부는 상기 챔버유닛의 내부 일측 설치되되, 상기 간격정렬부에 지지되는 상기 패널부재의 일측과 대향되는 한 쌍의 꼭지점 중 어느 하나의 꼭지점과 대응되는 위치에 설치되고, 선단부가 신장하는 경우 상기 상기 패널부재의 꼭지점 영역을 지지하는 꼭지점 지지유닛 및 상기 챔버유닛의 내부 일측 중 상기 꼭지점 지지유닛과 대향되는 상기 패널부재의 측부 모서리와 대응되는 위치에 설치되고, 선단부가 신장하는 경우 상기 패널부재의 측부 모서리를 지지하는 모서리 지지유닛을 포함할 수 있다.In addition, the edge alignment unit is installed on one side of the inner side of the chamber unit, and is installed at a position corresponding to any one of a pair of vertices opposite to one side of the panel member supported by the spacing alignment unit, and the front end is extended. In the case of being installed at a position corresponding to a side edge of the panel member facing the vertex support unit among a vertex support unit supporting the vertex region of the panel member and an inner side of the chamber unit, and the front end is elongated, the It may include an edge support unit for supporting the side edge of the panel member.
또한, 상기 가압부는 한 쌍이 상기 회전부 상면 중 편심진 위치에 형성될 수 있다.In addition, a pair of the pressing parts may be formed at an eccentric position among the upper surfaces of the rotating part.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 간단한 구조로 형성되어 제조비용을 최소화할 수 있으면서도 다수의 패널부재를 미리 설정된 간격과 방향으로 매우 정밀하게 정렬할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, it is formed in a simple structure so as to minimize the manufacturing cost, and there is an effect that a plurality of panel members can be arranged very precisely in a predetermined distance and direction.
도1은 종래의 쿨링버퍼를 도시한 도면,
도2는 종래의 쿨링버퍼 간격정렬핀이 한 쌍의 대상물간 간격을 이격시키는 상태를 도시한 도면,
도3은 본 발명의 일실시예에 따른 쿨링버퍼를 개략적으로 도시한 도면,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 지지부 및 에지 정렬부를 도시한 평면도,
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 간격정렬부의 사시도,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 지지부에 한 쌍의 유리기판이 안착된 상태를 도시한 도면,
도7은 본 발명의 일실시예에 따른 챔버유닛 내부로 외부공기가 유입되는 상태를 도시한 도면,
도8은 본 발명의 일실시예에 따른 간격정렬부가 동작되는 상태를 도시한 도면,
도9a 및 도9b는 본 발명의 일실시예에 따른 에지 정렬부가 유리기판의 모서리를 지지하는 상태를 도시한 도면,
도10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 간격정렬부의 사시도.1 is a view showing a conventional cooling buffer;
2 is a view showing a state in which a conventional cooling buffer spacing alignment pin separates a gap between a pair of objects;
3 is a schematic view showing a cooling buffer according to an embodiment of the present invention;
4 is a plan view showing a support portion and an edge alignment portion according to an embodiment of the present invention;
5 is a perspective view of a space alignment unit according to an embodiment of the present invention,
6 is a view showing a state in which a pair of glass substrates are seated on a support according to an embodiment of the present invention;
7 is a view showing a state in which external air is introduced into the chamber unit according to an embodiment of the present invention;
8 is a view showing a state in which the space alignment unit is operated according to an embodiment of the present invention;
9A and 9B are views showing a state in which an edge alignment unit supports an edge of a glass substrate according to an embodiment of the present invention;
10 is a perspective view of a space alignment unit according to another embodiment of the present invention.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도3은 본 발명의 일실시예에 따른 쿨링버퍼를 개략적으로 도시한 도면이고, 도4는 본 발명의 일실시예에 따른 지지부 및 에지 정렬부를 도시한 평면도이며, 도5는 본 발명의 일실시예에 따른 간격정렬부의 사시도이다.3 is a schematic view of a cooling buffer according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a plan view showing a support part and an edge alignment part according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an embodiment of the present invention. It is a perspective view of a space alignment part according to an example.
도3 내지 도5에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 쿨링버퍼(1)는 챔버유닛(10)과, 지지부(20)와, 간격정렬부(30) 및 에지 정렬부(40)를 포함하여 구성된다.3 to 5, the
챔버유닛(10)은 대략 박스 형상으로 형성되고 내부에 패널부재인 유리기판이 수용되는 수용공간(11a)이 형성된 하우징(11)과, 하우징 내부에 설치되는 프레임부(12)를 포함하여 구성되며, 유리기판의 냉각공간을 제공함과 아울러 유리기판을 일정시간 보관하여 후속공정의 공정속도에 따라 유리기판이 공급될 수 있도록 하는 역할을 한다.The
여기서, 프레임부(12)는 다수의 빔이 직육면체 형상으로 결합되어 형성되며, 후술하는 각 구성의 설치영역을 제공하는 역할을 한다.Here, the
지지부(20)는 챔버유닛(10)의 내면 일측 중 서로 대향하는 일측에 각각 설치되는 브라켓(21)과, 양측단부가 대향되게 설치되는 한 쌍의 브라켓(21)에 각각 지지되며 다수개가 서로 이격설치되는 지지바(22)를 포함하여 구성된다.The
브라켓(21)은 챔버유닛(10)의 내면에 부착되는 부착부(21a)와, 부착부(21a)의 일단부로부터 연장형성되고 지지바(22)의 일단부가 결합되는 받침부(21b)를 포함하여 구성되며, 한 쌍이 지지바(22)의 양측단부를 지지하여 지지바(22) 상부에 다수의 유리기판이 안정적으로 안착될 수 있도록 하는 역할을 한다.The
지지바(22)는 대략 막대형상의 금속재질로 형성되고, 양측단부가 각각 챔버유닛(10) 내면 중 서로 대향하는 위치에 각각 설치된 브라켓(21)의 일측에 지지되며, 다수개가 수평한 방향으로 이격되게 설치된다.The
그리고, 지지바(22)는 각각 상부에 수직한 방향으로 다수개의 거치막대(22a)가 설치되고, 다수의 거치막대(22a) 상단부에 보관 및 정렬하고자 하는 한 쌍의 유리기판이 안착된다.In addition, each of the
간격정렬부(30)는 지지부(20)의 일측 중 한 쌍의 유리기판 사이영역과 대응되는 일측에 설치되는 회전력 제공부(31)와, 회전력 제공부(31)의 상부에 회전가능하게 설치되는 회전부(32)와, 회전부(32)의 상면에 한 쌍이 미리 설정된 간격으로 이격되게 형성되는 가압부(33)를 포함하여 구성되며, 지지부(20) 상부에 안착된 한 쌍의 유리기판 사이에 배치되고 이들의 일측을 외측방향으로 가압하여 한 쌍의 유리기판 사이간격을 미리 설정된 간격으로 정렬하는 역할을 한다.The
여기서, 회전력 제공부(31)는 회전부(32)에 회전력을 제공하기 위한 것으로서, 일반적인 실린더 또는 모터가 사용될 수 있으며, 회전부(32)를 정밀하게 제어하고자 하는 경우에는 스텝모터가 사용될 수 있다.Here, the rotational
회전부(32)는 대략 원판 형상으로 형성되고, 회전력 제공부(31)의 상부에 회전가능하게 결합되어 미리 설정된 각도로 회전함으로써 가압부(33)가 동반회전하도록 하는 역할을 한다.The
가압부(33)는 회전부(32)의 상면으로부터 상방으로 연장형성되되, 앞서 설명한 바와 같이 한 쌍이 미리 설정된 간격으로 이격되게 형성된다.The
이러한 본 실시예는 한 쌍의 가압부(33)가 유리기판의 사이영역과 대응되는 위치에서 유리기판의 길이방향으로 배치되고, 회전부(32)가 회전하는 경우 동반 회전하며, 이에 한 쌍의 유리기판을 외측방향으로 각각 가압하면서 유리기판의 폭방향으로 배치됨으로써 한 쌍의 유리기판을 미리 설정된 간격으로 정렬하는 역할을 한다.In this embodiment, when the pair of
에지 정렬부(40)는 챔버유닛(10)의 내부 일측에 설치되고, 간격정렬부(30)가 회전하면서 한 쌍의 유리기판간 간격을 정렬하는 경우 한 쌍의 패널부재 모서리 일측을 지지함으로써 한 쌍의 패널부재를 미리 설정된 방향으로 정렬하는 역할을 한다.The
이러한, 에지 정렬부(40)는 유리기판의 꼭지점 영역을 지지하는 꼭지점 지지유닛(41)과, 유리기판의 측부 모서리를 지지하는 모서리 지지유닛(42)을 포함하여 구성될 수 있다.The
여기서, 꼭지점 지지유닛(41) 및 모서리 지지유닛(42)은 일반적인 실린더유닛이 사용될 수 있으며, 유리기판 접촉시 유리기판의 손상을 방지하기 위해 유리기판에 접촉되는 실린더로드 선단에 고무등과 같은 연질의 재질이 부착되는 것이 바람직하다.Here, a general cylinder unit may be used for the
그리고, 본 실시예에서는 나란하게 배치된 2개의 유리기판의 일측 중 대각선 방향으로 대향하는 꼭지점 위치에 한 쌍의 꼭지점 지지유닛(41)이 각각 설치되고, 모서리 지지유닛(42)은 유리기판의 내측 꼭지점 부근에 설치되어 유리기판의 폭 방향으로 유리기판을 지지하는데, 이때, 꼭지점 지지유닛(41)과 모서리 지지유닛(42)은 서로 대각선 방향으로 설치되는 것이 바람직하다.And, in this embodiment, a pair of
이는 유리기판을 미리 설정된 방향으로 정확하게 정렬할 수 있으면서도 최소한의 실린더유닛을 이용하여 제조비용을 절감할 수 있도록 하기 위함이다.This is to enable the glass substrate to be accurately aligned in a preset direction and to reduce manufacturing cost by using a minimum cylinder unit.
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 지지부에 한 쌍의 유리기판이 안착된 상태를 도시한 도면이고, 도7은 본 발명의 일실시예에 따른 챔버유닛 내부로 외부공기가 유입되는 상태를 도시한 도면이며, 도8은 본 발명의 일실시예에 따른 간격정렬부가 동작되는 상태를 도시한 도면이고, 도9a 및 도9b는 본 발명의 일실시예에 따른 에지 정렬부가 유리기판의 모서리를 지지하는 상태를 도시한 도면이다.6 is a view showing a state in which a pair of glass substrates are seated on a support part according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a state in which external air flows into the chamber unit according to an embodiment of the present invention. 8 is a view showing a state in which the spacing alignment unit according to an embodiment of the present invention is operated, and FIGS. 9A and 9B are an edge alignment unit according to an embodiment of the present invention. It is a figure showing the state of being supported.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 쿨링버퍼(1)의 동작을 첨부된 도6 내지 도9를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The operation of the cooling
먼저, 건조공정이 완료된 한 쌍의 유리기판(G)이 로봇암에 의해 챔버유닛(10) 내부로 인입되고, 도6에서 보는 바와 같이 챔버유닛(10) 내부로 인입된 한 쌍의 유리기판(G)은 지지부(20)의 지지바(22) 상부에 각각 안착된다. First, a pair of glass substrates (G) on which the drying process is completed are introduced into the
이때, 도7에서 보는 바와 같이 챔버유닛(10) 일측에 설치된 공냉유닛이 챔버유닛(10) 내부로 외부공기를 유입하여 고온의 유리기판(G)을 냉각한다.At this time, as shown in FIG. 7, an air cooling unit installed on one side of the
다음, 한 쌍의 유리기판(G) 사이에 배치된 간격정렬부(30)의 회전력제공부가 회전부(32)에 회전력을 제공하고, 회전부(32)가 회전하면서 회전부(32) 상부에 형성된 한 쌍의 가압부(33)가 동반 회전한다.Next, the rotational force provision unit of the
여기서, 한 쌍의 가압부(33)는 유리기판(G)의 사이영역과 대응되는 위치에 배치되는데, 도8에서 보는 바와 같이 한 쌍의 가압부(33)가 최초 유리기판(G)의 길이방향으로 배치된 상태에서 회전부(32)와 함께 동반 회전함에 따라 유리기판(G)의 폭방향으로 배치되면서 한 쌍의 유리기판(G)을 외측방향으로 각각 가압한다.Here, the pair of
이에 한 쌍의 유리기판(G)은 한 쌍의 가압부(33)간 이격거리에 따라 각각 외측방향으로 이동하여 그 사이간격이 벌어지면서 미리 설정된 간격으로 정렬된다.Accordingly, the pair of glass substrates (G) move outwardly according to the separation distance between the pair of
이와 동시에 도9에서 보는 바와 같이 꼭지점 지지유닛(41) 및 모서리 지지유닛(42)이 각각 유리기판(G) 방향으로 신장하여 유리기판(G)의 꼭지점 영역 및 그와 대향되는 유리기판(G)의 측부 모서리를 지지함으로써 간격정렬부(30)에 의해 외측방향으로 이동되는 한 쌍의 유리기판(G) 방향을 정렬하게 된다.At the same time, as shown in Fig. 9, the
이와 같이 정렬된 한 쌍의 유리기판(G)은 일정시간 챔버유닛(10) 내에 보관된 후 로봇암에 의해 후속공정으로 반출된다.The pair of glass substrates G arranged in this way are stored in the
도10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 간격정렬부의 사시도이다.10 is a perspective view of a space alignment unit according to another embodiment of the present invention.
도10 실시예의 기본적인 구성은 도3 내지 9b의 실시예와 동일하나, 작업환경에 따라 한 쌍의 유리기판간 이격거리를 조절할 수 있도록 구성된 것이다.The basic configuration of the embodiment of Fig. 10 is the same as the embodiment of Figs. 3 to 9B, but is configured to adjust the separation distance between a pair of glass substrates according to the working environment.
도10에 도시된 바와 같이 본 실시예는 전 실시예와 달리 회전부(32)의 상면에 다수개의 결합홈(32a)이 형성되며, 한 쌍의 가압부(33)가 각각 다수개의 결합홈(32a) 중 어느 하나에 선택적으로 결합된다.As shown in Fig. 10, in this embodiment, unlike the previous embodiment, a plurality of
이에 결합홈(32a)에 결합되는 가압부(33)의 위치에 따라 한 쌍의 가압부(33)간 거리가 조절되며, 회전부(32) 회전시 이격거리가 조절된 한 쌍의 가압부(33)가 유리기판을 가압하게 되는 바 후 공정에서 한 쌍의 유리기판 간 요구되는 이격거리가 변경되더라도 요구사항에 쉽게 대응할 수 있는 특징을 갖는다.Accordingly, the distance between the pair of
또한, 본 실시예는 다수의 결합홈(32a) 중 어느 하나에 한 쌍의 가압부(33)를 선택적으로 결합하는 경우 이를 회전부(32) 상면에서 편심지게 결합함으로써 한 쌍의 유리기판 가압거리를 각각 다르게 설정할 수 있다.In addition, in the present embodiment, when a pair of
그 외의 구조는 전술한 기본 실시예와 동일하므로 나머지 설명은 생략하기로 한다.Other structures are the same as those of the basic embodiment described above, so the remaining description will be omitted.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the scope of the appended claims will include such modifications or variations that fall within the gist of the present invention.
10 : 챔버유닛
11 : 수용공간
20 : 지지부
21 : 브라켓
21a : 부착부
21b : 받침부
22 : 지지바
22a : 거치막대
30 : 간격정렬부
31 : 회전력 제공부
32 : 회전부
33 : 가압부
40 : 에지 정렬부
41 : 꼭지점 지지유닛
42 : 모서리 지지유닛10: chamber unit 11: receiving space
20: support 21: bracket
21a:
22:
30: space alignment unit 31: rotational force providing unit
32: rotating part 33: pressing part
40: edge alignment part 41: vertex support unit
42: corner support unit
Claims (6)
상기 챔버유닛의 내부 일측에 설치되고, 상면 일측에 한 쌍의 패널부재가 나란하게 안착되는 지지부와;
상기 챔버유닛의 내부 중 상기 지지부 상부에 안착된 상기 한 쌍의 패널부재 사이에 회전가능하게 개재되고, 회전하는 경우 상기 한 쌍의 패널부재 일측을 각각 외측방향으로 가압하여 상기 한 쌍의 패널부재가 미리 설정된 간격으로 이격되도록 하는 간격정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 쿨링버퍼.
A chamber unit having an accommodation space formed therein;
A support part installed on an inner side of the chamber unit and on which a pair of panel members are mounted side by side on one side of the upper surface;
It is rotatably interposed between the pair of panel members seated on the support part in the interior of the chamber unit, and when rotating, the pair of panel members presses each side of the pair of panel members in an outward direction. Cooling buffer, characterized in that it comprises a space alignment unit to be spaced apart at a predetermined interval.
상기 간격정렬부는
상기 지지부의 일측에 설치되는 회전력 제공부와;
상기 회전력 제공부의 상부에 상기 회전력 제공부의 중심을 기준으로 회전가능하게 설치되는 회전부와;
한 쌍이 상기 회전부의 상면에 미리 설정된 간격으로 이격설치되고, 상기 한 쌍의 패널부재 사이에 회전가능하게 개재된 상태에서 상기 회전부가 회전하는 경우 상기 한 쌍의 패널부재 일측을 각각 외측방향으로 가압하는 가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 쿨링버퍼.
The method of claim 1,
The space alignment unit
A rotational force providing unit installed on one side of the support unit;
A rotating part rotatably installed on the upper part of the rotating force providing part based on the center of the rotating force providing part;
When the rotation unit rotates in a state where a pair is spaced apart from the upper surface of the rotation unit at a predetermined interval, and is rotatably interposed between the panel members, one side of the panel member is pressed in an outward direction, respectively. Cooling buffer comprising a pressing portion.
상기 에지 정렬부는
상기 챔버유닛의 내부 일측 설치되되, 상기 간격정렬부에 지지되는 상기 패널부재의 일측과 대향되는 한 쌍의 꼭지점 중 어느 하나의 꼭지점과 대응되는 위치에 설치되고, 선단부가 신장하는 경우 상기 상기 패널부재의 꼭지점 영역을 지지하는 꼭지점 지지유닛; 및
상기 챔버유닛의 내부 일측 중 상기 꼭지점 지지유닛과 대향되는 상기 패널부재의 측부 모서리와 대응되는 위치에 설치되고, 선단부가 신장하는 경우 상기 패널부재의 측부 모서리를 지지하는 모서리 지지유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 쿨링버퍼.
The method of claim 1,
The edge alignment unit
The panel member is installed on one side of the interior of the chamber unit, and is installed at a position corresponding to one of a pair of vertices opposite to one side of the panel member supported by the spacing alignment unit, and when the front end is extended, the panel member A vertex support unit supporting the vertex region of the; And
And an edge support unit installed at a position corresponding to a side edge of the panel member facing the vertex support unit among the inner side of the chamber unit, and supporting the side edge of the panel member when the front end is elongated. Cooling buffer.
상기 가압부는 한 쌍이 상기 회전부 상면 중 편심진 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 쿨링버퍼.
The method of claim 1,
A cooling buffer, characterized in that a pair of the pressing parts are formed at an eccentric position among the upper surfaces of the rotating part.
상기 회전부는 상면에 다수의 결합홈이 형성되며, 상기 한 쌍의 가압부가 상기 다수의 결합홈 중 어느 하나의 결합홈에 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 쿨링버퍼.
The method of claim 1,
A cooling buffer, characterized in that a plurality of coupling grooves are formed on the upper surface of the rotating portion, and the pair of pressing portions are respectively coupled to one of the coupling grooves among the plurality of coupling grooves.
상기 챔버유닛의 내부 일측에 설치되고, 상기 한 쌍의 패널부재 모서리 일측을 지지하는 에지 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 쿨링버퍼.The method of claim 1,
The cooling buffer, characterized in that it is installed on one side of the inner side of the chamber unit, further comprising an edge alignment portion for supporting one side of the edge of the pair of panel members.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190143457A KR20210056701A (en) | 2019-11-11 | 2019-11-11 | Cooling buffer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190143457A KR20210056701A (en) | 2019-11-11 | 2019-11-11 | Cooling buffer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210056701A true KR20210056701A (en) | 2021-05-20 |
Family
ID=76143115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190143457A KR20210056701A (en) | 2019-11-11 | 2019-11-11 | Cooling buffer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20210056701A (en) |
-
2019
- 2019-11-11 KR KR1020190143457A patent/KR20210056701A/en not_active Application Discontinuation
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