KR101205818B1

KR101205818B1 - Apparatus for pressing and deforming mask frame and system for manufacturing mask assembly using the same

Info

Publication number: KR101205818B1
Application number: KR1020110031407A
Authority: KR
Inventors: 김정호
Original assignee: 주식회사 케이피에스
Priority date: 2011-04-05
Filing date: 2011-04-05
Publication date: 2012-11-28
Also published as: KR20120113617A

Abstract

마스크 프레임에 복수의 마스크 각각을 고정시 적용되는 마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 이용한 마스크 조립체 제작시스템이 개시되어 있다.
이 개시된 마스크 프레임에 마스크를 고정시, 상기 마스크 프레임이 내측으로 휘도록 가압하는 마스크 프레임 가압변형장치는, 상기 마스크 프레임이 위치되는 베이스를 구비한 본체와; 구동원과; 상기 본체에 설치되며, 상기 구동원에서 제공되는 동력에 의하여 작동하는 작동부와; 상기 작동부에 연동되어 상기 베이스에 설치된 상기 마스크 프레임을 가압하는 가압부를 포함하며, 상기 작동부는, 상기 본체의 적어도 일측판에 회전 가능하게 설치되며, 상기 구동원에서 제공된 동력에 의하여 회전 구동되는 리드스크류와; 상기 리드스크류의 회전에 연동되어, 상기 리드스크류의 축선 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 제1작동부와; 상기 제1작동부의 왕복 이동에 연동되어, 상기 제1작동부의 이동방향에 대해 가로방향으로 상기 마스크 프레임을 향하여 왕복이동가능하게 설치되는 제2작동부를 포함한다.Disclosed are a mask frame pressurization apparatus and a mask assembly manufacturing system using the same, which are applied when fixing a plurality of masks to a mask frame.
The mask frame pressing deformation apparatus for pressing the mask frame to bend inward when the mask is fixed to the disclosed mask frame comprises: a main body having a base on which the mask frame is positioned; A drive source; An operation unit installed in the main body and operated by power provided from the driving source; And a pressurizing part interlocking with the actuating part to press the mask frame installed on the base, wherein the actuating part is rotatably installed on at least one side plate of the main body, and is driven by a power provided from the driving source. Wow; A first operating part interlocked with the rotation of the lead screw and installed to reciprocate in the axial direction of the lead screw; And a second operation unit interlocked with the reciprocating movement of the first operation unit, the second operation unit being reciprocally installed toward the mask frame in a transverse direction with respect to the movement direction of the first operation unit.

Description

Mask frame pressure deformation device and mask assembly manufacturing system using the same {APPARATUS FOR PRESSING AND DEFORMING MASK FRAME AND SYSTEM FOR MANUFACTURING MASK ASSEMBLY USING THE SAME}

본 발명은 마스크 프레임에 복수의 마스크 각각을 고정시 적용되는 마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 이용한 마스크 조립체 제작시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a mask frame pressure deformation apparatus applied when fixing each of a plurality of masks to a mask frame, and a mask assembly manufacturing system using the same.

일반적으로, 유기발광다이오드(OLED; Organic Light Emitting Diode; 이하, 'OLED'라 함)는 액정표시소자와는 달리 자체 발광형 표시소자로서, 우수한 콘트라스트와, 넓은 시야각을 가진다. 또한 OLED는 LCD에 비하여 빠른 응답속도를 가진다. In general, an organic light emitting diode (OLED) is a self-luminous display device, unlike a liquid crystal display device, and has excellent contrast and a wide viewing angle. OLEDs also have faster response speeds than LCDs.

이에 따라 휴대단말장치의 디스플레이 및 차세대 대화면 평판패널 디스플레이로서 주목을 받고 있다.Accordingly, it is attracting attention as a display of a portable terminal device and a next-generation large screen flat panel display.

이 OLED 디스플레이는 유기 화합물에 전류를 흘릴 때 발광하는 현상을 디스플레이에 적용한 것으로, 투명한 절연기판 상에 애노드 전극, 유기발광층 및 캐소드 전극을 성막하는 공정에 의하여 제조된다.The OLED display applies a phenomenon in which light is emitted when a current flows through an organic compound to a display, and is manufactured by a process of forming an anode electrode, an organic light emitting layer, and a cathode electrode on a transparent insulating substrate.

유기발광층은 애노드 전극이 형성된 절연기판 상에 소정의 패턴의 마스크를 가지는 마스크 조립체를 밀착시킨 후 유기발광층을 도포하는 방식으로 형성될 수 있다. 또한 캐소드 전극의 경우는 소정 패턴의 마스크를 가지는 마스크 조립체를 설치한 후 진공증착 방식 등에 의하여 형성될 수 있다.The organic light emitting layer may be formed by closely contacting a mask assembly having a mask having a predetermined pattern on an insulating substrate on which an anode is formed, and then applying an organic light emitting layer. In addition, the cathode may be formed by a vacuum deposition method after installing a mask assembly having a mask having a predetermined pattern.

여기서, 유기발광층, 캐소드 전극과 같은 OLED의 구성요소를 형성하는데 사용되는 마스크 조립체는 사각틀 형상의 마스크 프레임과, 이 마스크 프레임에 용접 등의 방식으로 결합되는 복수의 마스크를 포함한다.Here, a mask assembly used to form components of an OLED such as an organic light emitting layer and a cathode electrode includes a rectangular frame frame and a plurality of masks coupled to the mask frame by welding or the like.

최근 들어 일 회 공정에 의하여 제조되는 OLED 원판의 크기가 커지고, OLED 디스플레이의 대화면화 추세에 따라 마스크 조립체의 크기도 대면적화가 요구되고 있다. In recent years, the size of the original OLED panel manufactured by a single process is increased, and the size of the mask assembly is also required to be large according to the trend of the large screen of the OLED display.

한편, 마스크 조립체의 크기가 증가함에 따라, 마스크 프레임에 마스크 각각을 결합시, 자중(自重)에 의하여 마스크의 처짐이 발생할 수 있다. 이에 따라, 상기한 마스크를 이용하여 증착 공정 수행시, 패터닝 불량을 초래할 수 있다.On the other hand, as the size of the mask assembly increases, the mask may be sag due to its own weight when the masks are coupled to the mask frame. Accordingly, when the deposition process is performed using the mask, a patterning defect may be caused.

본 발명은 상기한 바와 같은 점들을 감안하여 안출된 것으로서, 마스크 프레임을 그 내측으로 휘도록 가압변형시킨 상태로 마스크 프레임에 대해 복수의 마스크 각각을 고정함으로써, 각 마스크의 처짐을 개선할 수 있도록 된 구조의 마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 이용한 마스크 조립체 제작시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and by fixing each of a plurality of masks to a mask frame in a state in which the mask frame is deformed to be bent inwardly, the deflection of each mask can be improved. It is an object of the present invention to provide a mask frame pressure deformation apparatus having a structure and a mask assembly manufacturing system using the same.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 마스크 프레임에 마스크를 고정시, 상기 마스크 프레임이 내측으로 휘도록 가압하는 마스크 프레임 가압변형장치에 있어서, 상기 마스크 프레임이 위치되는 베이스를 구비한 본체와; 구동원과; 상기 본체에 설치되며, 상기 구동원에서 제공되는 동력에 의하여 작동하는 작동부와; 상기 작동부에 연동되어 상기 베이스에 설치된 상기 마스크 프레임을 가압하는 가압부를 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, the present invention provides a mask frame pressing deformation apparatus for pressing the mask frame to bend inward when the mask is fixed to the mask frame, the main body having a base on which the mask frame is located; A drive source; An operation unit installed in the main body and operated by power provided from the driving source; It may include a pressing unit for interlocking the operation unit for pressing the mask frame installed in the base.

상기 작동부는, 상기 본체의 적어도 일측판에 회전 가능하게 설치되며, 상기 구동원에서 제공된 동력에 의하여 회전 구동되는 리드스크류와; 상기 리드스크류의 회전에 연동되어, 상기 리드스크류의 축선 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 제1작동부와; 상기 제1작동본체의 왕복 이동에 연동되어, 상기 제1작동부의 이동방향에 대해 가로방향으로 왕복 이동가능하게 설치되는 제2작동부를 포함할 수 있다.The actuating unit includes: a lead screw rotatably installed on at least one side plate of the main body and rotatably driven by power provided from the driving source; A first operating part interlocked with the rotation of the lead screw and installed to reciprocate in the axial direction of the lead screw; It may include a second operation unit which is interlocked with the reciprocating movement of the first operation body, the second operation unit is installed so as to reciprocate in the transverse direction with respect to the movement direction of the first operation unit.

여기서, 상기 제1작동부는, 제1작동본체와; 상기 제1작동본체와 상기 본체에 마련되어, 상기 제1작동본체의 왕복 이동을 가이드하는 가이드부와; 상기 제1작동본체의 일측에 상기 리드스크류의 축선 방향에 대해 경사지게 형성되어, 동력전달방향을 변환하는 웨지부재를 포함할 수 있다.Here, the first operating unit, the first operating body; A guide part provided on the first operating body and the main body to guide the reciprocating movement of the first operating body; One side of the first operating body may be formed to be inclined with respect to the axial direction of the lead screw, it may include a wedge member for converting the power transmission direction.

또한, 상기 제2작동부는, 상기 본체에 설치되는 브라켓과; 상기 리드스크류의 축선방향에 대해 가로방향으로 축선방향이 위치되도록, 상기 브라켓과 상기 본체 사이에 마련되는 가이드 샤프트와; 상기 가이드 샤프트의 축선방향을 따라 왕복 이송 가능하게 상기 가이드 샤프트에 설치되며, 상기 웨지부재의 가변위치에 연동되어 작동하는 제2작동본체를 포함할 수 있다.In addition, the second operation portion, and the bracket is installed on the main body; A guide shaft provided between the bracket and the main body such that the axial direction is positioned in the transverse direction with respect to the axial direction of the lead screw; The guide shaft may be provided in the guide shaft to be reciprocated along the axial direction of the guide shaft, and may include a second operating body that operates in conjunction with the variable position of the wedge member.

또한, 상기 제2작동부는, 상기 제2작동본체와 상기 본체 사이에 개재되어 상기 제2작동본체를 상기 제1작동본체 방향으로 탄성 바이어스시키는 탄성부재와; 상기 웨지부재에 접촉 회전되도록 상기 제2작동본체에 회전 가능하게 설치되며, 상기 웨지부재와의 사이의 접촉 위치에 따라 상기 제2작동본체의 위치가 가변되도록 하는 캠 팔로우를 더 포함할 수 있다.In addition, the second operation portion, the elastic member is interposed between the second operation body and the main body to elastically bias the second operation body in the direction of the first operation body; It may further include a cam follow that is rotatably installed on the second working body so as to rotate in contact with the wedge member, the position of the second working body is variable according to the contact position with the wedge member.

또한, 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 상기 제2작동본체와 상기 가압부 사이에 위치되도록 상기 제2작동본체에 설치되며, 상기 제2작동본체의 동력을 상기 가압부에 전달하고 상기 가압부의 가압력을 감지하는 로드셀을 더 포함할 수 있다.In addition, the mask frame pressure deformation apparatus according to the present invention is installed in the second operating body so as to be located between the second operating body and the pressing portion, and transmits the power of the second operating body to the pressing portion and the pressing It may further include a load cell for detecting the negative pressing force.

또한, 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 상기 구동원과 상기 작동부 사이에 마련되어, 상기 구동원에서 생성된 동력을 상기 작동부에 전달하는 동력전달부를 더 포함할 수 있다.In addition, the mask frame pressure deformation apparatus according to the present invention may further include a power transmission unit provided between the driving source and the operating unit, and transmits the power generated by the driving source to the operating unit.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 마스크 프레임에 마스크를 고정하는 마스크 조립체 제작시스템은, 상기 마스크 프레임에 상기 마스크를 고정하기에 앞서, 상기 마스크 프레임이 그 내측으로 휘도록 가압변형하는 것으로, 상기한 구조를 가지는 마스크 프레임 가압변형장치와; 상기 가압변형된 마스크 프레임에 고정될 상기 마스크를 클램핑하여 상기 마스크에 장력을 인가하는 클램핑장치와; 상기 마스크 프레임에 대한 상기 마스크의 고정 위치를 모니터링하는 비전장치와; 상기 마스크 프레임에 상기 마스크를 고정하는 고정장치와; 상기 가압변형장치, 상기 클램핑장치, 상기 고정장치 및 상기 비전장치을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.Further, in order to achieve the above object, a mask assembly manufacturing system for fixing a mask to a mask frame according to the present invention, prior to fixing the mask to the mask frame, the pressure deformation so that the mask frame is bent inwardly A mask frame pressurizing device having the above structure; A clamping device for applying tension to the mask by clamping the mask to be fixed to the pressure-deformed mask frame; A vision device for monitoring a fixed position of the mask relative to the mask frame; A fixing device to fix the mask to the mask frame; It may include a control unit for controlling the pressure deformation device, the clamping device, the fixing device and the vision device.

상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 마스크 프레임의 적어도 일측이 내측으로 휘도록 가압 변형할 수 있다. The mask frame pressing deformation apparatus according to the present invention configured as described above may be deformed to press at least one side of the mask frame to the inside.

또한 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 가압력을 감지하는 로드셀을 작동부와 가압부 사이에 설치함으로써, 마스크 프레임에 인가되는 압력을 보다 정밀하게 측정할 수 있다. 이에 따라 마스크 프레임의 변형량을 정밀하게 제어할 수 있다.In addition, the mask frame pressure deformation apparatus according to the present invention can more accurately measure the pressure applied to the mask frame by installing a load cell for detecting the pressing force between the operating portion and the pressing portion. As a result, the deformation amount of the mask frame can be precisely controlled.

따라서, 상기한 마스크 프레임 가압변형장치를 적용한 본 발명에 따른 마스크 조립체 제작시스템은 마스크 프레임에 고정되는 마스크의 처짐현상을 방지할 수 있다.Therefore, the mask assembly manufacturing system according to the present invention to which the mask frame pressure deformation apparatus is applied can prevent the phenomenon of sagging of the mask fixed to the mask frame.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체 제작시스템을 보인 개략적인 블록도.
도 2는 도 1의 마스크 조립체 제작시스템에 의해 제조되는 마스크 조립체를 보인 사시도.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 개략적인 구성을 보인 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 사시도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 분리 사시도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 측면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 마스크 프레임 가압 변형 전 작동상태를 보인 평면도.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 마스크 프레임 가압 변형 후 작동상태를 보인 평면도.1 is a schematic block diagram showing a mask assembly manufacturing system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a mask assembly manufactured by the mask assembly fabrication system of FIG. 1. FIG.
3 is a sectional view taken along the line III-III in Fig.
4 is a view showing a schematic configuration of a mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a perspective view showing a mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is an exploded perspective view showing a mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a side view showing a mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is a plan view showing an operating state before the mask frame pressure deformation of the mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention.
9 is a plan view showing an operating state after the mask frame pressure deformation of the mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 적용한 마스크 조립체 제작시스템을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a mask frame pressure deformation apparatus according to a preferred embodiment of the present invention and a mask assembly manufacturing system using the same.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체 제작시스템을 보인 개략적인 블록도이고, 도 2는 도 1의 마스크 조립체 제작시스템에 의해 제조되는 마스크 조립체를 보인 사시도이며, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이다.Figure 1 is a schematic block diagram showing a mask assembly manufacturing system according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing a mask assembly manufactured by the mask assembly manufacturing system of Figure 1, Figure 3 is a III of FIG. It is sectional drawing of the -III line.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체 제작시스템(1)은 마스크 프레임(51)에 복수의 마스크(55) 각각을 도 2에 도시된 바와 같이 고정하여, 마스크 조립체(50)를 제작하기 위한 시스템으로서, 마스크 프레임 가압변형장치(100), 마스크(55)를 클램핑하는 클램핑장치(10), 비전(vision)장치(20), 고정장치(30) 및 제어부(40)를 포함한다. 1 to 3, the mask assembly manufacturing system 1 according to an embodiment of the present invention fixes each of the plurality of masks 55 to the mask frame 51 as shown in FIG. As the system for manufacturing 50, the mask frame pressure deformation device 100, the clamping device 10 for clamping the mask 55, the vision device 20, the fixing device 30 and the control unit 40 ).

마스크 프레임 가압변형장치(100)는 마스크 프레임(51)에 마스크(55)를 고정하기에 앞서, 본 시스템 상에 장착된 마스크 프레임(51)의 적어도 일측이 그 내측으로 휘도록 가압변형 한다. 이 마스크 프레임 가압변형장치(100)에 대한 상세한 설명은 도 4 내지 도 9를 참조하면서 후술하기로 한다.Prior to fixing the mask 55 to the mask frame 51, the mask frame pressurization deforming device 100 deforms the pressure so that at least one side of the mask frame 51 mounted on the present system is bent inward. Detailed description of the mask frame pressure deformation apparatus 100 will be described later with reference to FIGS. 4 to 9.

클램핑장치(10)는 마스크 프레임(51)에 고정 될 마스크를 클램핑 및 이송하는 장치이다. 이 클램핑장치(10)는 마스크(55)의 양단을 클램핑하여, 마스크(55)에 장력을 인가한다. 비전장치(20)는 클램핑장치(10)에 클램핑되어 이송되는 마스크(55)가 마스크 프레임(51)의 소정 고정위치에 고정 될 수 있도록 마스크(55)의 얼라인(align) 상태를 모니터링한다.The clamping device 10 is a device for clamping and conveying a mask to be fixed to the mask frame 51. The clamping device 10 clamps both ends of the mask 55 to apply tension to the mask 55. The vision device 20 monitors an alignment state of the mask 55 so that the mask 55 clamped to the clamping device 10 may be fixed to a predetermined fixed position of the mask frame 51.

고정장치(30)는 클램핑장치(10)에 클램핑 된 상태로 마스크 프레임(51) 상의 소정 고정위치로 이동된 마스크(55)를 마스크 프레임(51)에 용접 등의 방식으로 고정하는 장치이다.The fixing device 30 is a device for fixing the mask 55, which is moved to a predetermined fixing position on the mask frame 51 while being clamped by the clamping device 10, to the mask frame 51 by welding or the like.

제어부(40)는 마스크 조립체 제작시스템을 전반적으로 제어한다. 즉, 마스크 프레임 가압변형장치(100), 클램핑장치(10), 비전장치(20) 및 고정장치(30)의 작동 및 그 동작 타이밍을 제어한다.The controller 40 controls the overall mask assembly manufacturing system. That is, the operation and operation timing of the mask frame pressurizing device 100, the clamping device 10, the vision device 20, and the fixing device 30 are controlled.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 개략적인 구성을 보인 도면이다.4 is a view showing a schematic configuration of a mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 마스크 프레임(51)에 마스크(도 2의 55)를 고정하기에 앞서, 마스크 프레임(51)이 그 내측으로 휘도록 가압한다. 이를 위하여, 마스크 프레임 가압변형장치는 도 4에 도시된 바와 같이 마스크 프레임(51)의 서로 대향되는 양변에 복수개 구비될 수 있다. 도 4는 마스크 프레임(51)이 직사각 형상의 틀 구조로 이루어지고, 마스크 프레임 가압변형장치(100)가 마스크 프레임(51)의 대향되는 양변 각각에 3개씩 배치된 것을 예로 들어 나타낸 것이다. 여기서, 복수의 마스크 프레임 가압변형장치(100) 각각은 독립적으로 구동되어, 상기 마스크 프레임(51)의 속성에 따라 마스크 프레임(51)의 변형량을 조절한다.In the mask frame pressing deformation apparatus according to the embodiment of the present invention, the mask frame 51 is pressed to bend inwardly before fixing the mask (55 in FIG. 2) to the mask frame 51. To this end, as shown in FIG. 4, the mask frame pressing deformation apparatus may be provided in plural on opposite sides of the mask frame 51. 4 illustrates an example in which the mask frame 51 has a rectangular frame structure and three mask frame pressing deformation apparatuses 100 are disposed on each of opposite sides of the mask frame 51. Here, each of the plurality of mask frame pressing deformation apparatuses 100 is driven independently to adjust the amount of deformation of the mask frame 51 according to the attributes of the mask frame 51.

도 4는 마스크 프레임 가압변형장치(100)가 마스크 프레임(51)의 양변 각각에 3개씩 배치된 6개 구비된 경우를 예로 들어 나타내었으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다양하게 변형가능하다. 예컨대, 마스크 프레임(51)의 어느 한 변에만 적어도 하나의 마스크 프레임 가압변형장치를 장착하는 것도 가능하다.4 illustrates an example in which the mask frame pressurization deforming device 100 is provided with six pieces disposed on each side of the mask frame 51 by three, but is not limited thereto and may be variously modified. For example, it is also possible to mount at least one mask frame pressurizing device only on one side of the mask frame 51.

도 5 및 도 6 각각은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 사시도와 분리사시도이다. 또한, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 측면도이다.5 and 6 are a perspective view and an exploded perspective view showing a mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention. In addition, Figure 7 is a side view showing a mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention.

도면들을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치(100)는 본체(110)와, 동력을 제공하는 구동원(120)과, 본체(110)에 설치되며 구동원(120)에서 제공되는 동력에 의하여 작동하는 작동부(130) 및 작동부(130)에 의해 마스크 프레임(51)을 가압변형하는 가압부(170)를 포함한다.Referring to the drawings, the mask frame pressure deformation apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is installed in the main body 110, the drive source 120 for providing power, the main body 110 and provided from the drive source 120 It includes an operating unit 130 and the pressing unit 170 for pressing and deforming the mask frame 51 by the operating unit 130 by the power.

본체(110)는 마스크 프레임(51)이 위치되는 베이스(115)를 구비한다. 구동원(120)은 본체(110)에 설치되며, 작동부(130) 및 가압부(170)에 동력을 제공한다. 본 실시예에 있어서, 구동원(120)이 본체(110) 내에 설치된 구성을 예로 들어 나타내었지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 본체(110) 외부에 설치되는 구성도 가능하다.The main body 110 includes a base 115 on which the mask frame 51 is located. The driving source 120 is installed in the main body 110, and provides power to the operation unit 130 and the pressing unit 170. In the present embodiment, the drive source 120 is shown as a configuration provided in the main body 110 as an example, but is not limited to this configuration is also possible to be installed outside the main body 110.

본 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 동력전달부(125)를 더 포함할 수 있다. 이 동력전달부(125)는 구동원(120)과 작동부(130) 사이에 마련되어, 구동원(120)에서 생성된 동력을 작동부(130)에 전달한다. 도 5를 참조하면, 동력전달부(125)는 구동원(120)의 출력축에 설치되는 제1풀리(126)와, 작동부(130)의 입력축(리드스크류(131))에 설치되는 제2풀리(127) 및 제1풀리(126)와 제2풀리(127) 사이에서 동력을 전달하는 타이밍벨트(129)를 포함할 수 있다. 이 경우 구동원(120)에서 생성된 동력은 순차적으로 제1풀리(126), 타이밍벨트(129) 및 제2풀리(127)를 통하여 리드스크류(131)에 전달되어, 작동부(130) 및 가압부(170)가 동작되도록 한다. 본 실시예에 있어서, 동력전달부(125)의 예로서, 제1 및 제2풀리(126)(127)와, 타이밍벨트(129)를 언급하였지만, 이는 예시적인 것에 불과한 것으로 직접 맞물려 동력을 전달하는 기어구조 등으로 다양하게 변형 가능하다.The mask frame pressurized deformation apparatus according to the present embodiment may further include a power transmission unit 125. The power transmission unit 125 is provided between the driving source 120 and the operation unit 130, and transmits the power generated by the driving source 120 to the operation unit 130. Referring to FIG. 5, the power transmission unit 125 includes a first pulley 126 installed on an output shaft of the driving source 120 and a second pulley installed on an input shaft (lead screw 131) of the operation unit 130. 127 and a timing belt 129 transmitting power between the first pulley 126 and the second pulley 127. In this case, the power generated by the driving source 120 is sequentially transmitted to the lead screw 131 through the first pulley 126, the timing belt 129, and the second pulley 127, and the operating unit 130 and the pressurizing unit. The unit 170 is operated. In the present embodiment, as examples of the power transmission unit 125, the first and second pulleys 126 and 127 and the timing belt 129 are mentioned, but these are merely exemplary and directly engaged to transfer power. It can be variously modified by the gear structure.

작동부(130)는 본체(110)에 설치되며, 구동원(120)에서 제공되는 동력에 의하여 작동하는 것으로, 리드스크류(131)와, 제1 및 제2작동부(140)(150)를 포함한다.The operation unit 130 is installed in the main body 110 and operates by power provided from the driving source 120, and includes a lead screw 131 and first and second operation units 140 and 150. do.

리드스크류(131)는 본체(110)의 적어도 일측판에 회전 가능하게 설치되며, 구동원(120)에서 제공된 동력에 의하여 회전 구동된다. The lead screw 131 is rotatably installed on at least one side plate of the main body 110 and is rotatably driven by the power provided from the driving source 120.

제1작동부(140)는 리드스크류(131)의 회전에 연동되어, 리드스크류(131)의 축선 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치된다. 이 제1작동부(140)는 제1작동본체(141), 본체(110)에 대해 제1작동본체(141)의 왕복 이동을 가이드하는 가이드부(145) 및 웨지부재(143)를 포함한다.The first operation unit 140 is interlocked with the rotation of the lead screw 131, and is installed to reciprocate in the axial direction of the lead screw 131. The first operating part 140 includes a first operating body 141, a guide part 145 and a wedge member 143 for reciprocating the first operating body 141 with respect to the main body 110. .

가이드부(145)는 제1작동본체(141)와 본체(110) 각각에 상호 대응되는 형상으로 마련되어, 본체(110)에 대한 제1작동본체(141)의 왕복 이동을 가이드한다. 도 6을 참조하면, 가이드부(145)는 본체(110)에 설치되는 가이드 그루브(146)와, 가이드 그루브(146)에 대향되는 위치의 제1작동본체(141)의 일측에 설치되는 가이드 레일(147)을 포함할 수 있다. 이와 같이, 가이드부(145)를 마련함으로써, 리드스크류(131)의 축선 방향을 따라 왕복이동하는 제1작동부(140)의 흔들림을 규제할 수 있다. The guide part 145 is provided in a shape corresponding to each of the first operating body 141 and the main body 110 to guide the reciprocating movement of the first operating body 141 relative to the main body 110. Referring to FIG. 6, the guide part 145 may include a guide groove 146 installed at the main body 110 and a guide rail installed at one side of the first operating body 141 at a position opposite to the guide groove 146. 147 may be included. As such, by providing the guide part 145, the shaking of the first operating part 140 reciprocating along the axial direction of the lead screw 131 can be restricted.

여기서, 가이드부(145)의 예로서, 본체(110)와 제1작동본체(141) 각각에 설치되는 가이드 그루브(146)와, 가이드 레일(147)를 예로 들어 나타내었으나 이는 예시적인 것에 불과한 것으로, 가이드 그루브와 가이드 레일(147)이 위치를 바꾸어 설치되는 것도 가능하다. Here, as an example of the guide unit 145, the guide groove 146 and the guide rail 147 installed in each of the main body 110 and the first operating body 141 are shown as an example, but this is merely illustrative. In addition, the guide groove and the guide rail 147 may be installed with different positions.

웨지부재(143)는 제1작동본체(141)의 일측에 리드스크류(131)의 축선 방향에 대해 경사지게 형성되어, 제2작동부가 제1작동부(140)의 움직임 방향에 대해 가로방향으로 작동하도록 한다.The wedge member 143 is formed to be inclined with respect to the axial direction of the lead screw 131 on one side of the first operating body 141, so that the second operating portion is operated in the horizontal direction with respect to the movement direction of the first operating portion 140. Do it.

제2작동부(150)는 제1작동본체(141)의 왕복 이동에 연동되어, 제1작동부(140)의 이동방향에 대해 가로방향으로 왕복 이동가능하게 설치된다. 이를 위하여, 제2작동부(150)는 본체(110)에 설치되는 브라켓(151)과, 브라켓(151)에 설치되는 가이드 샤프트(153)와, 제2작동본체(157)를 포함한다. The second operating unit 150 is interlocked with the reciprocating movement of the first operating body 141, and is installed to be reciprocally moved in the horizontal direction with respect to the moving direction of the first operating unit 140. To this end, the second operation unit 150 includes a bracket 151 installed on the main body 110, a guide shaft 153 installed on the bracket 151, and a second operating body 157.

가이드 샤프트(153)는 리드스크류(131)의 축선방향에 대해 가로방향으로 축선방향이 위치되도록 브라켓(151)과 본체(110) 사이에 마련되어, 제2작동본체(157)의 이동을 가이드 한다.The guide shaft 153 is provided between the bracket 151 and the main body 110 so that the axial direction of the lead screw 131 is positioned in the horizontal direction with respect to the axial direction of the lead screw 131 to guide the movement of the second operating body 157.

제2작동본체(157)는 가이드 샤프트(153)의 축선방향을 따라 왕복 이송 가능하게 가이드 샤프트(153)에 설치되며, 웨지부재(143)의 가변위치에 연동되어 제1작동본체(141)의 이동방향에 대해 가로방향으로 작동한다. The second operating body 157 is installed on the guide shaft 153 to be reciprocated along the axial direction of the guide shaft 153, and is linked to the variable position of the wedge member 143 of the first operating body 141 Operate transverse to the direction of travel.

이와 같이, 제1작동본체(141)와 제2작동본체(157) 사이의 이동방향을 절환함으로써, 제1작동본체(141)의 이동량에 비례하여 제2작동본체(157)의 이동량을 조절할 수 있다.In this way, by changing the moving direction between the first operating body 141 and the second operating body 157, the movement amount of the second operating body 157 can be adjusted in proportion to the moving amount of the first operating body 141. have.

또한, 제2작동부(150)는 탄성부재(155)와, 캠 팔로우(cam follow)(159)를 더 포함할 수 있다. 탄성부재(155)는 제2작동본체(157)와 본체(110) 사이에 개재되어 제2작동본체(157)를 제1작동본체(141) 방향으로 탄성 바이어스시킨다. 이에 따라, 제2작동본체(157)가 가이드 샤프트(153) 상에서 자유롭게 슬라이딩하는 것을 규제할 수 있다.In addition, the second operation unit 150 may further include an elastic member 155 and a cam follow 159. The elastic member 155 is interposed between the second operating body 157 and the main body 110 to elastically bias the second operating body 157 toward the first operating body 141. Accordingly, it is possible to restrict the second operating body 157 from sliding freely on the guide shaft 153.

캠 팔로우(159)는 웨지부재(143)에 접촉 회전되도록 제2작동본체(157)에 회전 가능하게 설치되며, 웨지부재(143)와의 사이의 접촉 위치에 따라 제2작동본체(157)의 위치가 가변되도록 한다. 이와 같이 캠 팔로우(159)를 더 포함함으로써, 웨지부재(143)와 제2작동부(150) 사이의 동력 절환시, 웨지부재(143) 및 제2작동부(150)의 마모 내지 파손을 방지할 수 있다.The cam follower 159 is rotatably installed on the second working body 157 to be rotated in contact with the wedge member 143, and the position of the second working body 157 according to the contact position between the cam follower and the wedge member 143. To be variable. In this way, the cam follower 159 may be further included to prevent wear or breakage of the wedge member 143 and the second operating part 150 when power is switched between the wedge member 143 and the second operating part 150. can do.

가압부(170)는 제2작동부(150)의 움직임에 연동되어 움직임 가능하게 설치되어, 프레임(51)을 직접 가압함으로써, 프레임(51)이 변형되도록 한다.The pressing unit 170 is installed to be movably linked to the movement of the second operation unit 150, so that the frame 51 is deformed by directly pressing the frame 51.

본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 제2작동본체(157)와 가압부(170) 사이에 위치되도록 제2작동본체(157)에 설치되는 로드셀(180)을 더 포함 할 수 있다. 이 로드셀(180)은 제2작동본체(157)의 동력을 가압부(170)에 전달하고, 가압부(170)의 가압력을 감지한다. 이와 같이 제2작동본체(157)와 가압부(170) 사이에 로드셀(180)을 마련함으로써, 가압부(170)에 인가되는 압력에 대한 측정 정밀도를 높일 수 있다.Mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a load cell 180 is installed in the second operating body 157 to be located between the second operating body 157 and the pressing unit 170. . The load cell 180 transmits the power of the second operation body 157 to the pressing unit 170, and senses the pressing force of the pressing unit 170. As such, by providing the load cell 180 between the second operation body 157 and the pressing unit 170, it is possible to increase the measurement accuracy of the pressure applied to the pressing unit 170.

이하, 도 8 및 도 9를 참조하면서, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 동작을 설명하기로 한다.8 and 9, the operation of the mask frame pressing deformation apparatus according to the embodiment of the present invention will be described.

도 8 및 도 9 각각은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 마스크 프레임 가압 변형 전/후 작동상태를 보인 평면도이다.8 and 9 are each a plan view showing an operation state before and after the mask frame pressure deformation of the mask frame pressure deformation apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 8에 도시된 바와 같이, 본체(110)의 베이스(115) 상에는 마스크(미도시)가 고정 설치 될 마스크 프레임(51)이 설치되어 있다. 이 경우, 가압부(170)가 마스크 프레임(51)에 대해 이격된 위치에 위치되도록 제1 및 제2작동부(140)(150)가 위치된다.As shown in FIG. 8, a mask frame 51 on which a mask (not shown) is to be fixed is installed on the base 115 of the main body 110. In this case, the first and second operating units 140 and 150 are positioned such that the pressing unit 170 is positioned at a position spaced apart from the mask frame 51.

이 상태에서, 마스크 프레임(51)을 가압 변형하는 동작을 수행한다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 구동원(120)에서 제공되는 동력에 의하여 리드스크류(131)를 회전 구동한다. 이에 따라, 제1작동본체(141)가 리드스크류(131)의 축선방향을 따라 제1위치(도 8의 위치)에서 제2위치(도 9의 위치)로 이동한다. 이 때, 제1작동본체(141)는 가이드부(145)에 의해 가이드되면서 이동하며, 캠 팔로우(159)와 접촉하는 웨지부재(143)의 위치가 변동되면서, 캠 팔로우(159)를 가압한다.In this state, the mask frame 51 is pressurized and deformed. 8 and 9, the lead screw 131 is rotationally driven by the power provided from the driving source 120. Accordingly, the first operating body 141 moves from the first position (position in FIG. 8) to the second position (position in FIG. 9) along the axial direction of the lead screw 131. At this time, the first operating body 141 moves while being guided by the guide part 145, and presses the cam follower 159 while the position of the wedge member 143 in contact with the cam follower 159 is changed. .

캠 팔로우(159)의 이동에 따라, 제1작동본체(141)의 이동방향에 대해 가로방향으로 제2작동본체(157)가 이동된다. 이 때, 제2작동본체(157)는 탄성부재(155)에 의하여 탄성바이어스 된 상태로, 가이드 샤프트(153)에 의해 가이드되면서 이동된다. 이에 따라 로드셀(180) 및 가압부(170)가 마스크 프레임(51) 방향으로 이동하면서, 마스크 프레임(51)이 그 내측으로 변형되도록 한다.As the cam follow 159 moves, the second operating body 157 is moved in the horizontal direction with respect to the moving direction of the first operating body 141. At this time, the second operation body 157 is moved while being guided by the guide shaft 153 in a state of being elastically biased by the elastic member 155. Accordingly, while the load cell 180 and the pressing unit 170 moves in the direction of the mask frame 51, the mask frame 51 is deformed inward.

상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 마스크 프레임의 적어도 일측이 내측으로 휘도록 가압 변형할 수 있다. 이에 따라, 마스크 프레임에 대해 마스크를 제작시, 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있다.The mask frame pressing deformation apparatus according to the present invention configured as described above may be deformed to press at least one side of the mask frame to the inside. Accordingly, when the mask is manufactured with respect to the mask frame, deflection of the mask can be prevented.

또한, 가압력을 감지하는 로드셀을 작동부와 가압부 사이에 설치함으로써, 마스크 프레임에 인가되는 압력을 보다 정밀하게 측정할 수 있다. 이에 따라 마스크 프레임의 변형량을 정밀하게 제어할 수 있다.In addition, by installing a load cell for sensing the pressing force between the operating portion and the pressing portion, it is possible to more accurately measure the pressure applied to the mask frame. As a result, the deformation amount of the mask frame can be precisely controlled.

상기한 실시예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술분야의 통상을 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 정해져야만 할 것이다.The above embodiments are merely exemplary, and various modifications and equivalent other embodiments are possible to those skilled in the art. Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined by the technical idea of the invention described in the following claims.

10: 클램핑장치 20: 비전장치
30: 고정장치 40: 제어부
50: 마스크 조립체 51: 마스크 프레임
55: 마스크 100: 마스크 프레임 가압변형장치
110: 본체 120: 구동원
125: 동력전달부 130: 작동부
131: 리드스크류 140: 제1작동부
141: 제1작동본체 143: 웨지부재
145: 가이드부 146: 가이드 그루브
147: 가이드 레일 150: 제2작동부
151: 브라켓 153: 가이드 샤프트
155: 탄성부재 157: 제2작동본체
159: 캠 팔로우 170: 가압부
180: 로드셀10: clamping device 20: vision device
30: fixed device 40: control unit
50 mask assembly 51 mask frame
55: mask 100: mask frame pressure deformation device
110: main body 120: drive source
125: power transmission unit 130: operating unit
131: lead screw 140: first operation portion
141: first operating body 143: wedge member
145: guide portion 146: guide groove
147: guide rail 150: second operation portion
151: bracket 153: guide shaft
155: elastic member 157: second working body
159: cam follow 170: pressurization
180: load cell

Claims

In the mask frame pressure deformation apparatus for pressing the mask frame to be curved inward when the mask is fixed to the mask frame,
A main body having a base on which the mask frame is located;
A drive source;
An operation unit installed in the main body and operated by power provided from the driving source;
It includes a pressing unit for interlocking the operation unit for pressing the mask frame installed in the base,
The actuating unit includes: a lead screw rotatably installed on at least one side plate of the main body and rotatably driven by power provided from the driving source;
A first operating part interlocked with the rotation of the lead screw and installed to reciprocate in the axial direction of the lead screw;
And a second operating part interlocked with the reciprocating movement of the first operating part, the second operating part being installed to be reciprocated toward the mask frame in a transverse direction with respect to the moving direction of the first operating part.

delete

The method of claim 1,
The first operation unit,
A first working body;
A guide part provided on the first operating body and the main body to guide the reciprocating movement of the first operating body;
Mask frame pressure deformation apparatus characterized in that it comprises a wedge member formed on one side of the first operating body inclined with respect to the axial direction of the lead screw, to change the power transmission direction.

The method of claim 3,
The second operation unit,
A bracket installed on the main body;
A guide shaft provided between the bracket and the main body such that the axial direction is positioned toward the mask frame in a transverse direction with respect to the axial direction of the lead screw;
And a second operating body mounted on the guide shaft to reciprocate along the axial direction of the guide shaft, the second operating body operatively linked to the variable position of the wedge member.

5. The method of claim 4,
The second operation unit,
An elastic member interposed between the second working body and the main body to elastically bias the second working body in the direction of the first working body;
And a cam follower rotatably installed on the second working body to be in contact with the wedge member, the cam follower being configured to vary the position of the second working body according to the contact position with the wedge member. Mask frame pressure deformation device.

The method according to claim 4 or 5,
It is installed on the second operating body so as to be located between the second operating body and the pressing portion, further comprising a load cell for transmitting the power of the second operating body to the pressing portion and senses the pressing force of the pressing portion. Mask frame pressure deformation apparatus.

The method according to claim 1 or 3,
And a load cell installed in the operating part, the load cell transmitting power of the operating part to the pressing part and sensing a pressing force of the pressing part.

The method according to any one of claims 1 and 3 to 5,
And a power transmission unit provided between the driving source and the operating unit to transfer the power generated by the driving source to the operating unit.

In the mask assembly manufacturing system for fixing the mask to the mask frame,
A mask frame pressurizing device according to any one of claims 1 and 3 to 5, wherein said mask frame is pressurized to bend inwardly before fixing said mask to said mask frame;
A clamping device for applying tension to the mask by clamping the mask to be fixed to the pressure-deformed mask frame;
A vision device for monitoring a fixed position of the mask relative to the mask frame;
A fixing device to fix the mask to the mask frame;
And a control unit for controlling the pressure deformation device, the clamping device, the fixing device, and the vision device.

10. The method of claim 9,
The mask frame pressure deformation device,
And a load cell installed in the operating part to be positioned between the operating part and the pressing part, the load cell transmitting power of the operating part to the pressing part and sensing a pressing force of the pressing part.