KR101947805B1 - laminating apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에서는 기판의 형상에 대응하는 부착면을 구비해서 상기 기판을 고정하는 제1 스테이지와, 상기 기판으로 필름을 공급하는 제2 스테이지와, 상기 제1 스테이지를 동작 제어해서 상기 기판에 필름을 부착하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 평탄한 면에 대해서는 상기 제1 스테이지를 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어하고, 컵 모양(∪)의 곡면에 대해서는 상기 제1 스테이지를 원운동하도록 동작 제어하고, 캡 모양(∩)의 곡면에 대해서는 상기 제1 스테이지를 점진적으로 상승 및 하강시키면서 동시에 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어하는 라미네이팅 장치를 개시한다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus including a first stage for holding a substrate with an attaching surface corresponding to a shape of the substrate, a second stage for supplying a film to the substrate, The control unit controls the first stage to linearly move in the horizontal direction with respect to the flat surface, and controls the first stage to perform the circular motion with respect to the cup shape (U) And controls the operation so that the first stage is linearly moved in the horizontal direction while gradually raising and lowering the first stage with respect to the curved surface of the cap shape (?).

Description

라미네이팅 장치{laminating apparatus}[0001] LAMINATING APPARATUS [0002]

본 발명은 곡면을 이루는 기판에 필름을 라미네이팅하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for laminating a film to a curved substrate.

요즘 많이 사용되는 OLED, LCD와 같은 디스플레이는 포토리소그래피 공정을 이용해서 기판 위에 다수의 박막 층을 쌓아 만들어지며, 기계화된 설비를 이용해서 기판을 반송해가며 작업이 이뤄진다.In recent years, displays such as OLEDs and LCDs are manufactured by stacking a large number of thin film layers on a substrate using a photolithography process, and the substrates are transported using mechanized equipment.

이 같은 평판 디스플레이는 일반적으로 두 기판 사이에 액정, OLED와 같은 화상 표시용 구조체가 위치하고, 기판 표면에는 다양한 목적을 위해 기능성 필름이 부착된다.Such a flat panel display generally has an image display structure such as a liquid crystal and an OLED between two substrates, and a functional film is attached to the substrate surface for various purposes.

기판에 필름을 부착하는 가장 일반적인 방법은 라미네이팅 롤러를 포함하는 라미네이팅 장치를 이용하는 것이다. 이 방법은 기판을 지지한 채 이 기판 위에 필름을 공급하고, 이를 라미네이팅 롤러로 가압해 기판에 필름을 부착하는 방식이다. 그런데, 이 같은 방식은 기판의 표면이 플랫한 경우에는 가능하나, 기판이 경사면이나 곡면을 갖는 경우에는 불가능한 문제가 있다.The most common method of attaching a film to a substrate is to use a laminating apparatus that includes a laminating roller. In this method, a film is fed onto the substrate while supporting the substrate, and the film is adhered to the substrate by pressing it with a laminating roller. However, such a method is possible when the surface of the substrate is flat, but it is impossible when the substrate has an inclined surface or a curved surface.

한편, 대한민국 특허 공개공보 제2011-0040200호(출원인: 주식회사 엘지화학)는 곡면의 기판에 필름을 부착할 수 있는 라미네이팅 장치를 개시한다. 이 특허에 따르면, 라미네이팅 롤러가 승강하면서 기판의 곡면에 필름을 부착하는 형태로 라미네이팅 장치를 구성해서, 곡면에도 필름을 부착하는 것을 개시한다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 2011-0040200 (Applicant: LG Chem Co., Ltd.) discloses a laminating apparatus capable of attaching a film to a curved substrate. According to this patent, a laminating apparatus is constructed by attaching a film to a curved surface of a substrate while the laminating roller is lifted and lowered, and the film is also attached to a curved surface.

하지만, 이 특허에서 라미네이팅 롤러는 승강하기 때문에, 라미네이팅 롤러가 경사면에서 필름을 누르는 힘의 방향은 경사면에 대해 수직이 아니라 경사지게 된다. 따라서, 경사면에서 라미네이팅 롤러가 필름을 경사면에 부착하는 과정에서 기포가 발생하거나, 필름이 틀어져서 부착되거나 박리되는 등의 문제가 발생할 수 있다.However, in this patent, since the laminating roller ascends and descends, the direction in which the laminating roller presses the film on the inclined surface is inclined rather than perpendicular to the inclined surface. Therefore, in the process of attaching the film to the inclined surface of the laminating roller on the inclined surface, bubbles may be generated, or the film may be twisted to adhere or peel off.

본 발명은 이 같은 배경에서 창안된 것으로, 다양한 형태의 곡면에 적응적으로 필름을 부착할 수 있는 라미네이팅 장치를 제안하는데 있다.The present invention has been made in view of this background, and it is an object of the present invention to provide a laminating apparatus capable of adaptively attaching a film to various curved surfaces.

본 발명의 일 실시예에서는, 기판의 형상에 대응하는 부착면을 구비해서 상기 기판을 고정하는 제1 스테이지와, 상기 기판으로 필름을 공급하는 제2 스테이지와, 상기 제1 스테이지를 동작 제어해서 상기 기판에 필름을 부착하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 평탄한 면에 대해서는 상기 제1 스테이지를 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어하고, 컵 모양(∪)의 곡면에 대해서는 상기 제1 스테이지를 원운동하도록 동작 제어하고, 캡 모양(∩)의 곡면에 대해서는 상기 제1 스테이지를 점진적으로 상승 및 하강시키면서 동시에 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어하는 라미네이팅 장치를 개시한다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus including a first stage for holding a substrate with an attaching surface corresponding to a shape of the substrate, a second stage for supplying a film to the substrate, Wherein the control unit controls the first stage to linearly move in the horizontal direction with respect to the flat surface, and controls the first stage to perform the circular motion with respect to the cup shape (U) And controls the operation so as to linearly move in the horizontal direction while gradually raising and lowering the first stage with respect to the curved surface of the cap shape (H).

상기 제1 스테이지는 상기 부착면에 상기 기판을 진공 흡착한다.The first stage vacuum-adsorbs the substrate on the attachment surface.

상기 제2 스테이지는 일단에 상기 필름을 상기 기판에 부착하는 라미네이팅 롤러를 더 포함한다. 이때, 상기 제2 스테이지는 소정 각도로 기울어진 채 고정된다.The second stage further includes a laminating roller at one end to attach the film to the substrate. At this time, the second stage is fixed while being inclined at a predetermined angle.

상기 제어부는, 캡 모양(∩)의 곡면에 대해서 상기 필름과 상기 기판이 점진적으로 멀어지는 구간 동안에 상기 제1 스테이지를 점진적으로 하강시키면서 동시에 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어하고, 상기 필름과 상기 기판이 점진적으로 가까워지는 구간 동안에 상기 제1 스테이지를 점진적으로 상승시키면서 동시에 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어한다.Wherein the control unit controls the film and the substrate to linearly move in the horizontal direction while gradually lowering the first stage during a period in which the film and the substrate gradually move away from the curved surface of the cap shape The first stage is gradually elevated during a period of gradually approaching, and at the same time, the operation is controlled so as to linearly move in the horizontal direction.

본 발명의 라미네이팅 장치는 평탄한 면, 컵 모양의 곡면, 캡 모양의 곡면, 그리고 이들을 복합적으로 갖는 경우에도 제1 스테이지를 원운동, 직선 운동, 승강 운동을 복합적으로 하도록 동작 제어하는 것으로 다양한 형태의 곡면에 필름을 부착할 수가 있다.The laminating apparatus according to the present invention controls the movement of the first stage in a circular motion, a rectilinear motion, and an elevating motion, even if the laminating apparatus has a flat surface, a cup-shaped curved surface, a cap- It is possible to attach a film to the film.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 라미네이팅 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2는 기판이 평탄한 경우에, 기판에 필름을 부착하는 과정을 설명하는 모식도이다.
도 3은 기판(13)이 컵 모양(∪)으로 곡면을 이루는 경우에, 기판에 필름을 부착하는 과정을 설명하는 모식도이다.
도 4는 기판(13)이 캡 모양(∩)으로 곡면을 이루는 경우에, 기판에 필름을 부착하는 과정을 설명하는 모식도이다.
도 5는 기판의 일단이 컵 모양(∪)의 곡면을 이루는 경우에, 기판에 필름을 부착하는 과정을 설명하는 모식도이다.
도 6은 기판의 일단이 캡 모양(∩)의 곡면을 이루는 경우에, 기판에 필름을 부착하는 과정을 설명하는 모식도이다.
도 7은 기판이 캡 모양의 곡면과 컵 모양의 곡면으로 이뤄진 경우에, 기판에 필름을 부착하는 과정을 설명하는 모식도이다.FIG. 1 is a schematic view showing the construction of a laminating apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a process of attaching a film to a substrate when the substrate is flat; FIG.
3 is a schematic diagram illustrating a process of attaching a film to a substrate when the substrate 13 has a curved surface in a cup shape (U).
Fig. 4 is a schematic diagram for explaining a process of attaching a film to a substrate when the substrate 13 is curved in a cap shape (?).
5 is a schematic view for explaining a process of attaching a film to a substrate when one end of the substrate forms a cup shape (∪) curved surface.
6 is a schematic diagram illustrating a process of attaching a film to a substrate when one end of the substrate forms a curved surface of a cap shape (?).
7 is a schematic diagram illustrating a process of attaching a film to a substrate when the substrate is formed of a cap-shaped curved surface and a cup-shaped curved surface.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예들을 상세히 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 실질적으로 동일한 구성요소들을 의미한다. 이하의 설명에서, 본 발명과 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings. Like reference numerals throughout the specification denote substantially identical components. In the following description, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 라미네이팅 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.FIG. 1 is a schematic view showing the construction of a laminating apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.

도 1에서, 이 실시예의 라미네이팅 장치는 제1 스테이지((10), 제2 스테이지(20) 및 제어부(30)를 포함해서 구성된다.1, the laminating apparatus of this embodiment comprises a first stage (10), a second stage (20) and a control section (30).

제1 스테이지(10)는 곡면을 이루는 기판(13)을 적응적으로 고정하는 부착면(101)을 포함한다. 기판(13)의 곡면이 컵 모양(∪)이면, 부착면(101)은 캡(∩) 모양이고, 반대로 기판이 캡 모양(∩)이면, 부착면(101)은 컵 모양((∪)이다. 제1 스테이지(10)는 기판(13)을 진공 흡착해서 부착면(101)에 기판(13)을 고정할 수 있다. 도 1에서는 도시돼 있지 않지만, 제1 스테이지(10)는 스테이지(10)를 관통하는 다수의 홀을 포함하고, 이 홀의 한 쪽은 진공 펌프에 연결돼 있다. 따라서, 진공 펌프의 동작에 따라 다수의 홀을 통해 부착면(101)에 진공압이 전달돼, 부착면(101)에 기판(13)을 고정할 수가 있다.The first stage 10 includes an attachment surface 101 for adaptively fixing the curved substrate 13. If the curved surface of the substrate 13 is a cup shape (∪), the attachment surface 101 is in the shape of a cap (∩), and conversely if the substrate is a cap shape The first stage 10 can vacuum-adsorb the substrate 13 to fix the substrate 13 to the attaching surface 101. Although not shown in Figure 1, the first stage 10 includes a stage 10 A vacuum pump is connected to the vacuum pump so that vacuum pressure is transmitted to the mounting surface 101 through a plurality of holes according to the operation of the vacuum pump, It is possible to fix the substrate 13 to the substrate 101.

또한, 제1 스테이지(10)는 xy축 평면 운동과 z축 승강 운동, 그리고, 원점을 중심으로 하는 원운동을 할 수 있도록 구성돼 있다. 제1 스테이지(10)는 평면운동, 승강 운동 그리고 원운동의 복합 운동을 통해 부착면(101)에 고정돼 있는 기판(13)에 필름(23)을 부착한다.In addition, the first stage 10 is configured to be able to perform the xy-axis plane motion, the z-axis lift motion, and the circular motion around the origin. The first stage 10 attaches the film 23 to the substrate 13 fixed to the attachment surface 101 through the combined movement of the planar motion, the lift motion and the circular motion.

제2 스테이지(20)는 제1 스테이지(10)와 마주하게 설치돼 있으며, 수평선에 대해 소정 각도로 기울어진 채 고정돼 있다. 제2 스테이지(20)의 선단에는 필름(23)을 기판(13)에 부착하는 라미네이팅 롤러(201)가 배치돼 있다. 이 제2 스테이지(20)는 소정 각도로 기울어진 채 필름(23)을 지지한다. 필름(23)은 권취롤(미도시)에 감겨진 채 릴 형태로 제2 스테이지(20)에 공급되거나, 낱장 단위로 제2 스테이지(20)에 공급된다.The second stage 20 is installed facing the first stage 10 and is fixed at a predetermined angle with respect to the horizontal line. At the front end of the second stage 20, a laminating roller 201 for attaching the film 23 to the substrate 13 is disposed. The second stage 20 supports the film 23 while being inclined at a predetermined angle. The film 23 is fed to the second stage 20 in a reel form while being wound on a winding roll (not shown), or is supplied to the second stage 20 in units of a sheet.

제어부(30)는 제1 스테이지(10)의 동작을 제어해서 제2 스테이지(20)에서 공급된 필름(23)을 기판(13)에 부착한다. 일 실시예에서, 이 제어부(30)는 컴퓨터로 구성될 수 있고, 이하에서 설명되는 부착 방법이 프로그램으로 설치돼 있다.The control unit 30 controls the operation of the first stage 10 to attach the film 23 supplied from the second stage 20 to the substrate 13. [ In one embodiment, the control unit 30 can be constituted by a computer, and the attachment method described below is installed as a program.

이하, 도 2 내지 도 7을 참조로, 기판의 곡면 형태에 따라 기판의 곡면에 필름을 부착하는 방법을 설명한다.Hereinafter, with reference to Figs. 2 to 7, a method of attaching a film to a curved surface of a substrate according to a curved shape of the substrate will be described.

도 2는 기판(13)이 평탄한 경우에, 기판(13)에 필름(23)을 부착하는 것을 보여준다. 도 2에서, 기판(13)이 평탄하므로 이에 맞춰 제1 스테이지(10)의 부착면(101) 역시 평탄하다.Fig. 2 shows the attachment of the film 23 to the substrate 13 when the substrate 13 is flat. 2, since the substrate 13 is flat, the mounting surface 101 of the first stage 10 is also flat.

제어부(30)는 전공 펌프를 컨트롤해서 부착면(101)에 평탄한 기판(13)을 부착하고, 제2 스테이지(20)로는 필름(23)을 공급한다. 이때, 제2 스테이지(20)로 공급된 필름(23)의 일단은 라미네이팅 롤러(201) 상에 위치한다. 제어부(30)는 제1 스테이지(10)를 동작 제어해서 기 설정된 위치로 기판(13)을 이송한다. 이때, 제2 스테이지(20)는 평면 운동 및 승강 운동의 복합 운동을 통해서 기 설정된 위치로 위치 제어될 수 있다. 이에 따라, 필름(23)의 일 단이 기판(13)의 일단에 부착된다. 이 상태에서, 제1 스테이지(10)는 화살표 방향으로 등속도 운동을 한다. 이에 따라, 라미레이팅 롤러(201)와 기판(13) 사이로 필름(23)이 공급되면서, 라미레이팅 롤러(201)에 의해 가압돼 제2 스테이지(20)에서 공급된 필름(23)은 기판(13)의 평탄한 면에 부착된다.
The control unit 30 controls the main pump to attach the flat substrate 13 to the mounting surface 101 and the film 23 to the second stage 20. [ At this time, one end of the film 23 supplied to the second stage 20 is positioned on the laminating roller 201. The controller 30 controls the operation of the first stage 10 to transfer the substrate 13 to a predetermined position. At this time, the second stage 20 can be position-controlled to a preset position through the combined movement of the planar motion and the elevating motion. Thus, one end of the film 23 is attached to one end of the substrate 13. In this state, the first stage 10 performs a constant velocity motion in the direction of the arrow. The film 23 fed from the second stage 20 is pressed by the laminating roller 201 while the film 23 is fed between the laminating roller 201 and the substrate 13, As shown in FIG.

도 3은 기판(13)이 컵 모양(∪)으로 곡면을 이루는 경우에, 기판(13)에 필름(23)을 부착하는 방법을 보여준다. 도 3에서, 기판(13)이 컵 모양(∪)으로 곡면을 이루므로, 이에 맞춰 제1 스테이지(10)의 부착면(101)은 캡 모양(∩)을 이룬다. 여기서, 기판(13)의 곡률과 부착면(101)의 곡률은 동일하다.3 shows a method of attaching the film 23 to the substrate 13 when the substrate 13 is curved in a cup shape (U). 3, since the substrate 13 is curved in a cup shape (U), the attaching surface 101 of the first stage 10 forms a cap shape?. Here, the curvature of the substrate 13 and the curvature of the attachment surface 101 are the same.

마찬가지로, 제어부(30)는 전공 펌프를 컨트롤해서 캡 모양의 부착면(101)에 컵 모양의 기판(13)을 부착하고, 제2 스테이지(20)로는 필름(23)을 공급한다. 이때, 제2 스테이지(20)로 공급된 필름(23)의 일단은 라미네이팅 롤러(201) 상에 위치한다. 제어부(30)는 제1 스테이지(10)를 시계방향으로 원 운동시켜 기 설정된 위치로 기판(13)을 이송한다. Similarly, the control unit 30 controls the electric pump to attach the cup-shaped substrate 13 to the cap-shaped mounting surface 101, and supplies the film 23 to the second stage 20. At this time, one end of the film 23 supplied to the second stage 20 is positioned on the laminating roller 201. The controller 30 circularly moves the first stage 10 in a clockwise direction to transfer the substrate 13 to a predetermined position.

이에 따라, 필름(23)의 일 단이 기판(13)의 일단에 부착된다. 이 상태에서, 제1 스테이지(10)는 화살표 방향으로 원운동을 한다. 이에 따라, 라미레이팅 롤러(201)와 기판(13) 사이로 필름(23)이 공급되면서, 라미레이팅 롤러(201)에 의해 가압돼 제2 스테이지(20)에서 공급된 필름(23)은 기판(13)의 굴곡면에 부착된다.Thus, one end of the film 23 is attached to one end of the substrate 13. In this state, the first stage 10 performs circular motion in the direction of the arrow. The film 23 fed from the second stage 20 is pressed by the laminating roller 201 while the film 23 is fed between the laminating roller 201 and the substrate 13, As shown in Fig.

이 실시예에서, 제2 기판(20)은 소정 각도로 기울어져 있는 상태로 필름(23)을 공급하고, 제1 스테이지(10)는 원 운동을 통해서 기판(13)에 필름(23)을 부착한다. 따라서, 필름(23)을 공급하는 방향은 원의 법선에 해당하고, 필름(23)을 가압하는 힘(라미네이팅 롤러의 부착 방향)은 원의 중심을 향하는 방향이므로, 필름을 가압하는 힘의 방향과 필름의 공급 방향은 실질적으로 수직을 이뤄, 곡면에도 안정적으로 필름을 부착할 수 있다.
In this embodiment, the second substrate 20 is fed with the film 23 inclined at a predetermined angle, and the first stage 10 attaches the film 23 to the substrate 13 through circular motion do. Therefore, the direction in which the film 23 is fed corresponds to the normal of the circle, and since the force for pressing the film 23 (the attachment direction of the laminating roller) is the direction toward the center of the circle, The direction of film feeding is substantially perpendicular, and the film can be stably attached to the curved surface.

도 4는 기판(13)이 캡 모양(∪)으로 곡면을 이루는 경우에, 기판(13)에 필름(23)을 부착하는 방법을 보여준다. 도 4에서, 기판(13)이 컵 모양(∪)으로 곡면을 이루므로, 이에 맞춰 제1 스테이지(10)의 부착면(101)은 캡 모양(∩)을 이룬다. 여기서, 기판(13)의 곡률과 부착면(101)의 곡률은 동일하다.4 shows a method of attaching the film 23 to the substrate 13 when the substrate 13 is curved in a cap shape (U). 4, since the substrate 13 is curved in a cup shape (U), the attachment surface 101 of the first stage 10 forms a cap shape (?). Here, the curvature of the substrate 13 and the curvature of the attachment surface 101 are the same.

이 실시예에서, 제1 스테이지(10)는 호의 중심선(O)을 기준으로, 전반의 A구간과 후반의 B구간으로 나눠 동작 제어된다. A구간은 기판(13)과 고정돼 있는 제2 스테이지(20) 사이의 거리가 점진적으로 멀어지는 구간이고, B구간은 기판(13)과 고정돼 있는 제2 스테이지(20) 사이의 거리가 점진적으로 가까워지는 구간이다.In this embodiment, the first stage 10 is divided into an A section in the first half and a B section in the second half based on the center line O of the arc. Section A is a section where the distance between the substrate 13 and the fixed second stage 20 gradually increases and the section B is the distance between the substrate 13 and the fixed second stage 20 gradually It is a section that approaches.

A 구간 동안, 제1 스테이지(10)는 화살표 방향의 직선 운동과 함께 점진적으로 하강하기 때문에, 캡 모양의 기판(13)과 라미네이팅 롤러(201) 사이의 거리가 A 구간 동안 일정하게 유지된다. 따라서, 필름 부착시 기판(13)에 가해지는 가압력 역시 A 구간 동안 일정하게 유지되므로, 곡면에 안정적으로 필름을 부착할 수 있다.During the period A, the distance between the cap-shaped substrate 13 and the laminating roller 201 is kept constant during the section A, since the first stage 10 is gradually lowered along with the linear movement in the arrow direction. Accordingly, since the pressing force applied to the substrate 13 when the film is affixed is also kept constant during the section A, the film can be stably attached to the curved surface.

B 구간 동안, 제1 스테이지(10)는 화살표 방향의 직선 운동과 함께 점진적으로 상승하기 때문에, 캡 모양의 기판(13)과 라미네이팅 롤러(201) 사이의 거리가 B 구간 동안 일정하게 유지된다. 따라서, 필름 부착시 기판(13)에 가해지는 라미네이팅 롤러(201)의 가압력 역시 B 구간 동안 일정하게 유지되므로, 곡면에 안정적으로 필름을 부착할 수 있다.
During the section B, the distance between the cap-shaped substrate 13 and the laminating roller 201 is kept constant during section B, since the first stage 10 gradually rises with linear movement in the direction of the arrow. Accordingly, since the pressing force of the laminating roller 201 applied to the substrate 13 during the film adherence is also kept constant during the section B, it is possible to stably attach the film to the curved surface.

도 5 및 도 6은 기판의 선단에 곡면이 형성된 경우로, 도 5는 곡면이 컵 모양(∪)을 이루는 경우이며, 도 6은 곡면이 캡 모양(∩)을 이루는 경우이다.5 and 6 show a case where a curved surface is formed at the front end of the substrate. FIG. 5 shows a case where the curved surface forms a cup shape (), and FIG. 6 shows a case where the curved surface forms a cap shape ().

도 5에서, 제1 스테이지(10)는 곡면에 대해서는 도 3에서 설명한 바처럼 동작 제어되고, 평탄한 면에 대해서는 도 2에서 설명한 바처럼 동작 제어돼서 기판(13)에 필름(23)이 부착된다.In FIG. 5, the first stage 10 is operated and controlled as described with reference to FIG. 3 for the curved surface, and the film 23 is attached to the substrate 13 with the flat surface controlled to operate as described with reference to FIG.

제어부(30)는 전공 펌프를 컨트롤해서 일단에 컵 모양의 곡면을 갖는 부착면(101)에 부착면(101)에 형합하는 모양의 기판(13)을 부착하고, 제2 스테이지(20)로는 필름(23)을 공급한다. 그리고, 제어부(30)는 제1 스테이지(10)를 시계방향으로 원 운동시켜 기 설정된 위치로 기판(13)을 이송해 기판(13)의 일 단이 필름(23)의 일단과 마주하게 위치시킨다. The controller 30 controls the main pump and attaches a substrate 13 shaped like a mold to the attachment surface 101 to the attachment surface 101 having a cup-like curved surface at one end, (23). The control unit 30 circularly moves the first stage 10 in the clockwise direction to transfer the substrate 13 to a predetermined position so that one end of the substrate 13 is positioned to face one end of the film 23 .

이 상태에서, 제1 스테이지(10)는 반시계 방향으로 원운동을 한다. 이에 따라, 라미레이팅 롤러(201)와 기판(13) 사이로 필름(23)이 공급되면서, 라미레이팅 롤러(201)에 의해 가압돼 제2 스테이지(20)에서 공급된 필름(23)은 기판(13)의 곡면에 부착된다.In this state, the first stage 10 performs circular motion in the counterclockwise direction. The film 23 fed from the second stage 20 is pressed by the laminating roller 201 while the film 23 is fed between the laminating roller 201 and the substrate 13, ).

한편, 제1 스테이지(10)가 반시계 방향으로 원운동을 함에 따라, 제1 스테이지(10)은 수평한 상태로 위치하게 된다(점선 참조). 이 상태에서, 제1 스테이지(10)는 화살표 방향으로 직선 운동을 함으로써, 기판의 평탄면에 필름(23)이 부착된다.On the other hand, as the first stage 10 performs the circular motion in the counterclockwise direction, the first stage 10 is positioned in a horizontal state (see a dotted line). In this state, the first stage 10 performs a linear movement in the direction of the arrow, so that the film 23 is attached to the flat surface of the substrate.

이처럼, 이 실시예에서는 기판이 컵모양의 곡면과 평탄한 면이 동시에 존재하더라도, 원운동과 직선운동을 병합해 제1 스테이지(10)를 구동함으로써, 곡면을 갖는 기판(13)에 필름(23)을 부착할 수가 있다.As described above, in this embodiment, even if the substrate has a cup-shaped curved surface and a flat surface at the same time, the first stage 10 is driven by combining the circular motion and the linear motion, Can be attached.

도 6에서, 제1 스테이지(10)는 곡면에 대해서는 도 4에서 설명한 바처럼 동작 제어되고, 평탄한 면에 대해서는 도 2에서 설명한 바처럼 동작 제어돼서 기판(13)에 필름(23)이 부착된다.In FIG. 6, the first stage 10 is operated and controlled as described with reference to FIG. 4 for the curved surface, and the film 23 is attached to the substrate 13 with the flat surface controlled to operate as described with reference to FIG.

제어부(30)는 전공 펌프를 컨트롤해서 일단에 캡 모양(∩)의 곡면을 갖는 부착면(101)에 부착면(101)에 형합하는 모양의 기판(13)을 부착하고, 제2 스테이지(20)로는 필름(23)을 공급한다. 그리고, 제어부(30)는 제1 스테이지(10)를 동작 제어해서 기 설정된 위치로 기판(13)을 이송해 기판(13)의 일 단이 필름(23)의 일단과 마주하게 위치시킨다. The control unit 30 controls the electric pump to attach a substrate 13 shaped like a mold to the mounting surface 101 to the mounting surface 101 having a curved surface of a cap shape The film 23 is supplied. The control unit 30 controls the operation of the first stage 10 to transfer the substrate 13 to a predetermined position so that one end of the substrate 13 is positioned to face one end of the film 23.

이 상태에서, A구간 동안 제1 스테이지(10)는 점진적으로 하강하면서 동시에 수평 방향으로 직선 운동을 한다. 이에 따라, 컵 모양의 곡면에 필름이 부착된다.In this state, during the period A, the first stage 10 gradually descends while simultaneously performing a linear motion in the horizontal direction. Thus, the film is attached to the cup-shaped curved surface.

한편, 제1 스테이지(10)가 하강 운동과 직선 운동을 병행함으로써, 곡면에 대한 필름 접착이 끝나고, 평탄한 면의 필름 부착이 이뤄진다(점선 참조). 이 위치에서, 제1 스테이지(10)는 화살표 방향으로 직선 운동을 함으로써, 기판의 평탄면에 필름(23)이 부착된다.On the other hand, the first stage 10 concurrently performs the downward motion and the linear motion, thereby completing the film adhesion to the curved surface and attaching the film to the flat surface (see the dotted line). In this position, the first stage 10 performs a linear movement in the direction of the arrow, whereby the film 23 is attached to the flat surface of the substrate.

이처럼, 이 실시예에서는 기판이 캡 모양의 곡면과 평탄한 면이 동시에 존재하더라도, 하강운동과 직선운동을 병합해 제1 스테이지(10)를 구동함으로써, 곡면을 갖는 기판(13)에 필름(23)을 부착할 수가 있다.
As described above, in this embodiment, even if the substrate has a curved surface and a flat surface concurrently with the cap shape, the film 23 is formed on the substrate 13 having a curved surface by driving the first stage 10 by combining the downward movement and the linear movement. Can be attached.

도 7은 기판이 컵 모양(∪)과 캡 모양(∩)을 이룬 경우를 보여준다. 이 실시예에서, 제1 스테이지(10)는 컵 모양(∪)의 곡면에 대해서는 도 3에서 설명한 바처럼 동작 제어되고, 캡 모양(∩)의 곡면에 대해서는 도 4에서 설명한 바처럼 동작 제어된다.Fig. 7 shows the case where the substrate forms a cup shape (∪) and a cap shape (∩). In this embodiment, the first stage 10 is motion-controlled as described in Fig. 3 for the cup shape (U), and is controlled in operation as described in Fig. 4 for the curved surface of the cap shape?.

도 7에서, 기판(13)은 중심선을 기준으로, 캡 모양(∩)의 곡면을 갖는 A 구간과, 컵 모양(∪)의 곡면을 갖는 B 구간을 나눌 수 있다.7, the substrate 13 can be divided into a section A having a curved surface of a cap shape (?) And a section B having a curved surface of a cup shape (?) With respect to a center line.

A 구간 동안, 제1 스테이지(20)는 수평 방향의 직선 운동과 상승 및 하강 운동의 복합 운동으로 동작 제어된다. 즉, 도 4에서 설명한 바처럼, 제1 스테이지(10)는 기판(13)과 라미네이팅 롤러(201)가 점진적으로 멀어지는 A-1 구간 동안 하강 운동하도록 동작 제어되고, 기판(13)과 라미네이팅 롤러(201)가 점진적으로 가까워지는 A-2 구간 동안은 상승 운동하도록 동작 제어됨과 동시에 수평 방향의 등속 직선 운동하도록 동작 제어된다.During the period A, the first stage 20 is controlled to operate in a combined motion of linear motion in the horizontal direction and up and down movement. 4, the first stage 10 is operated and controlled to move downward during the section A-1 in which the substrate 13 and the laminating roller 201 gradually move away from each other, and the substrate 13 and the laminating roller 201 are gradually moved closer to each other in the A-2 section, the operation is controlled so as to perform a uniform linear motion in the horizontal direction.

그리고, B 구간 동안, 제1 스테이지(20)는 반시계 방향의 원운동하도록 동작 제어됨으로써 컵 모양의 곡면과 캡 모양의 곡면을 갖는 기판(13)에 필름(23)이 부착된다.During the section B, the first stage 20 is controlled to move in a counterclockwise circular motion so that the film 23 is attached to the substrate 13 having a cup-shaped curved surface and a cap-shaped curved surface.

이상의 실시예에서 설명한 바처럼, 본 발명의 라미네이팅 장치는 평탄한 면, 컵 모양의 곡면, 캡 모양의 곡면, 그리고 이들을 복합적으로 갖는 경우에도 제1 스테이지를 원운동, 직선 운동, 승강 운동을 복합적으로 하도록 동작 제어하는 것으로 다양한 형태의 곡면에 필름을 부착할 수가 있다.As described in the above embodiments, the laminating apparatus of the present invention can be applied to a flat surface, a cup-shaped curved surface, a cap-shaped curved surface, and a combination of the circular motion, the rectilinear motion, By controlling the motion, it is possible to attach the film to various curved surfaces.

또한, 상술한 실시예에서는 제2 스테이지는 고정된 상태로 제1 스테이지를 동작 제어해서 기판에 필름을 부착하는 실시예들을 설명했지만, 반대로 제1 스테이지를 고정시키고, 제2 스테이지를 동작 제어해서 기판에 필름을 부착할 수 있다. 일 예로, 캡 모양(∩)의 곡면에 필름을 부착하는 경우에, 제1 스테이지는 고정된 상태에서, 제2 스테이지가 원운동을 함으로써 캡 모양(∩)의 곡면에 필름을 부착할 수 있다.In the above-described embodiment, the first stage is fixed and the film is attached to the substrate by controlling the operation of the first stage. In contrast, the first stage is fixed and the second stage is controlled, The film can be adhered to the film. In one example, in the case of attaching the film to the curved surface of the cap shape?, The first stage may fix the film and attach the film to the curved surface of the cap shape? By performing the circular motion of the second stage.

10: 제1 스테이지 20: 제2 스테이지 13: 기판
23: 필름 201: 라미네이팅 롤러 10: first stage 20: second stage 13: substrate
23: Film 201: Lamination Roller

Claims (5)

기판의 형상에 대응하는 부착면을 구비해서 상기 기판을 고정하는 제1 스테이지와,
상기 기판으로 필름을 공급하는 제2 스테이지와,
상기 제1 스테이지를 동작 제어해서 상기 기판에 필름을 부착하는 제어부를 포함하고,
상기 제어부는,
상기 기판의 형상이 평탄한 면이면 상기 제1 스테이지를 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어하고, 상기 기판의 형상이 컵 모양(∪)의 곡면이면 상기 제1 스테이지를 원운동하도록 동작 제어하고, 상기 기판의 형상이 캡 모양(∩)의 곡면이면 상기 제1 스테이지를 점진적으로 상승 및 하강시키면서 동시에 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어하는 라미네이팅 장치.A first stage for fixing the substrate with an attachment surface corresponding to the shape of the substrate,
A second stage for supplying a film to the substrate,
And a controller for controlling the first stage to adhere the film to the substrate,
Wherein,
And controls the first stage to move linearly in a horizontal direction if the shape of the substrate is a flat surface, and controls the first stage to perform a circular motion if the shape of the substrate is a cup shape (U) Controls the operation so that the first stage is linearly moved in the horizontal direction while gradually raising and lowering the first stage. 제1 항에 있어서,
상기 제1 스테이지는 상기 부착면에 상기 기판을 진공 흡착하는 라미네이팅 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first stage vacuum-chucks the substrate on the attachment surface. 제1항에 있어서,
상기 제2 스테이지는 일단에 상기 필름을 상기 기판에 부착하는 라미네이팅 롤러를 더 포함하는 라미네이팅 장치.The method according to claim 1,
Wherein the second stage further comprises a laminating roller at one end to attach the film to the substrate. 제3항에 있어서,
상기 제2 스테이지는 소정 각도로 기울어진 채 고정돼 있는 라미네이팅 장치.The method of claim 3,
Wherein the second stage is tilted at a predetermined angle. 제1항에 있어서,
상기 제2 스테이지는, 수평선에 대해 소정 각도로 기울어진 채 고정되고,
상기 기판의 형상이 상기 캡 모양(∩)의 곡면을 이루는 경우, 상기 제1 스테이지는 상기 곡면의 호의 중심선을 기준으로 구분되는, 전반의 A구간과 후반의 B 구간을 포함하고,
상기 A구간은, 상기 수평선과 상기 기판이 점진적으로 멀어지는 구간이며,
상기 B구간은, 상기 수평선과 상기 기판이 점진적으로 가까워지는 구간이고,
상기 제어부는, 전반의 상기 A구간 동안에 상기 제1 스테이지를 점진적으로 하강시키면서 동시에 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어하고, 후반의 상기 B구간 동안에 상기 제1 스테이지를 점진적으로 상승시키면서 동시에 수평 방향으로 직선 운동하도록 동작 제어하는 라미네이팅 장치.The method according to claim 1,
The second stage is fixed while being inclined at a predetermined angle with respect to the horizontal line,
Wherein when the shape of the substrate forms a curved surface of the cap shape (?), The first stage includes a section A of the first half and a section B of the second half, which are divided based on the center line of the arc of the curved surface,
The section A is a section in which the horizontal line and the substrate gradually move away from each other,
The section B is a section in which the horizontal line gradually approaches the substrate,
Wherein the control unit controls the first stage to move linearly in the horizontal direction while gradually lowering the first stage during the A period in the first half, and to gradually increase the first stage in the B period of the second half, And controlling movement of the laminating device.
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