JP2013115346A - Board working device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a board working device in which a separate drive source is not required for each work head, and the burden can be reduced during the replacement work of a plurality of work heads performing works different from each other.SOLUTION: The board working device 100 includes a head attachment unit 31 capable of replacing a dispense head 10 performing the coating work of a liquid material to a board and a mount head 20 performing the mounting work for the board selectively, and an R axis motor 33 used commonly for the dispense head 10 and the mount head 20, drives the dispense head 10 so as to apply the liquid material when the dispense head 10 is attached to the head attachment unit 31, and drives the mount head 20 when the mount head 20 is attached to the head attachment unit 31.

Description

本発明は、基板作業装置に関し、特に、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドを付け替え可能な基板作業装置に関する。   The present invention relates to a substrate working apparatus, and more particularly to a substrate working apparatus capable of changing a plurality of work heads that perform different operations.

従来、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドを付け替え可能な基板作業装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a substrate working apparatus capable of changing a plurality of work heads that perform different works (for example, see Patent Document 1).

上記特許文献1には、接着剤の塗布作業を行う塗布ヘッド(第1作業ヘッド)と、部品の実装作業を行う実装ヘッド(第2作業ヘッド)と、検査作業を行う検査ヘッドとを付け替え可能な対基板作業機(基板作業装置)が開示されている。この対基板作業機の各ヘッドには、それぞれ、対応する作業専用の駆動源が設けられており、各ヘッドは、専用の駆動源ごと一体的に付け替えられるように構成されている。   In Patent Document 1, an application head (first working head) that performs an adhesive application work, a mounting head (second work head) that performs component mounting work, and an inspection head that performs inspection work can be replaced. An anti-substrate working machine (substrate working apparatus) is disclosed. Each head of the substrate working machine is provided with a corresponding drive source dedicated to the work, and each head is configured to be replaced together with the dedicated drive source.

特開2010−4059号公報JP 2010-4059 A

しかしながら、上記特許文献1の対基板作業機(基板作業装置)では、各ヘッドを駆動源ごと一体的に付け替える必要があるので、ヘッドの付け替え作業が大掛かりとなり、その結果、ヘッドの付け替え作業時の負担が大きいという問題点がある。また、上記特許文献1の対基板作業機では、各ヘッドが駆動源ごと一体的に付け替えられるので、ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要があるという問題点もある。   However, in the substrate work machine (substrate working apparatus) of Patent Document 1 described above, since it is necessary to replace each head integrally with each drive source, the work for replacing the head becomes large, and as a result, during the head replacement work. There is a problem that the burden is large. Further, in the above-mentioned substrate-to-substrate working machine of Patent Document 1, since each head is integrally replaced for each drive source, there is a problem that it is necessary to provide a separate drive source for each head.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないとともに、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することが可能な基板作業装置を提供することである。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and one object of the present invention is not to provide a separate drive source for each work head, and to perform a plurality of different operations. It is an object of the present invention to provide a substrate working apparatus capable of reducing the burden at the time of work head replacement work.

上記目的を達成するために、この発明の一の局面における基板作業装置は、基板に対して液状材の塗布作業を行うディスペンサ用の第1作業ヘッド、および、基板に対して第1作業ヘッドとは異なる作業を行う第2作業ヘッドを選択的に付け替え可能なヘッド装着部と、第1作業ヘッドおよび第2作業ヘッドに共通に用いられ、ヘッド装着部に第1作業ヘッドが装着された場合には液状材が塗布されるように第1作業ヘッドを駆動し、ヘッド装着部に第2作業ヘッドが装着された場合には第2作業ヘッドを駆動する駆動源とを備える。   To achieve the above object, a substrate working apparatus according to one aspect of the present invention includes a first working head for a dispenser that applies a liquid material to a substrate, and a first working head for the substrate. Is used in common for the head mounting portion that can selectively replace the second working head that performs different operations, and the first working head and the second working head, and when the first working head is mounted on the head mounting portion. Comprises a drive source for driving the first work head so that the liquid material is applied, and for driving the second work head when the second work head is mounted on the head mounting portion.

この発明の一の局面による基板作業装置では、上記のように、ヘッド装着部に第1作業ヘッドが装着された場合には液状材が塗布されるように第1作業ヘッドを駆動し、ヘッド装着部に第2作業ヘッドが装着された場合には第2作業ヘッドを駆動するように構成して駆動源を第1作業ヘッドおよび第2作業ヘッドに共通に用いることによって、ヘッド装着部に第1作業ヘッドが装着された場合と第2作業ヘッドが装着された場合とで、作業ヘッドを駆動する駆動源を取り替える必要がないので、作業ヘッドを付け替える際には、共通に用いられる駆動源以外の部分だけを付け替えることができる。これにより、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。また、駆動源を第1作業ヘッドおよび第2作業ヘッドの両方に共通に用いることができるので、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がない。したがって、この基板作業装置では、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないとともに、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。また、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないので、駆動源の数を削減することができる。その結果、駆動源を基板作業装置に設けたとしても、基板作業装置の構成が複雑化するのを抑制することができる。また、ディスペンサ用以外の第2作業ヘッドからディスペンサ用の第1作業ヘッドに付け替えられた場合でも、第2作業ヘッドを駆動するための駆動源を液状材を塗布するための駆動源として流用することができるので、液状材の塗布作業専用の駆動源を別個に設ける必要がない。   In the substrate working apparatus according to one aspect of the present invention, as described above, when the first working head is mounted on the head mounting portion, the first working head is driven so that the liquid material is applied, and the head mounting is performed. When the second work head is attached to the head, the second work head is driven, and the drive source is commonly used for the first work head and the second work head. Since it is not necessary to replace the drive source that drives the work head between when the work head is attached and when the second work head is attached, when replacing the work head, a drive source other than the commonly used drive source is used. Only the part can be replaced. Thereby, the burden at the time of the replacement | exchange operation | work of the some work head which performs a mutually different operation | work can be reduced. Further, since the drive source can be used in common for both the first work head and the second work head, it is not necessary to provide a separate drive source for each work head. Therefore, in this substrate working apparatus, it is not necessary to provide a separate drive source for each work head, and it is possible to reduce the burden when replacing a plurality of work heads that perform different works. Moreover, since it is not necessary to provide a separate drive source for each work head, the number of drive sources can be reduced. As a result, even if the drive source is provided in the substrate working apparatus, it is possible to suppress the configuration of the substrate working apparatus from becoming complicated. Further, even when the second work head other than the dispenser is replaced with the first work head for the dispenser, the drive source for driving the second work head should be used as the drive source for applying the liquid material. Therefore, it is not necessary to provide a separate drive source dedicated to the liquid material application operation.

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、第1作業ヘッドおよび第2作業ヘッドに共通に用いられ、駆動源の駆動力を第1作業ヘッドおよび第2作業ヘッドに伝達する共通の駆動軸をさらに備える。このように構成すれば、ヘッド装着部に第1作業ヘッドが装着された場合と第2作業ヘッドが装着された場合とで、共通の駆動源のみならず駆動源の駆動力を伝達する駆動軸も取り替える必要がないので、作業ヘッドの付け替え作業時の負担をより軽減することができる。また、駆動源のみならず駆動軸の数も削減することができるので、基板作業装置の構成が複雑化するのをより抑制することができる。   In the substrate working apparatus according to the above aspect, the common working shaft is preferably used in common for the first working head and the second working head, and transmits the driving force of the driving source to the first working head and the second working head. Is further provided. With this configuration, the drive shaft that transmits the drive force of the drive source as well as the common drive source when the first work head is attached to the head attachment portion and when the second work head is attached to the head attachment portion. Since it is not necessary to replace the work head, the burden of replacing the work head can be further reduced. In addition, since not only the drive source but also the number of drive shafts can be reduced, it is possible to further suppress the complexity of the configuration of the substrate working apparatus.

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、第2作業ヘッドは、基板に部品を実装する実装用の作業ヘッドであり、駆動源は、ヘッド装着部に実装用の第2作業ヘッドが装着された場合には、第2作業ヘッドにより保持された部品の姿勢を変えるように第2作業ヘッドを駆動するように構成されている。このように構成すれば、ヘッド装着部に第1作業ヘッドが装着された場合と第2作業ヘッドが装着された場合とで、それぞれ、液状材の塗布作業と保持部品の姿勢の変更作業とを共通の駆動源を用いて行うことができるので、各作業専用の駆動源を別個に設けることなく、第1作業ヘッドによる液状材の塗布作業および第2作業ヘッドによる保持部品の姿勢の変更作業を行うことができる。   In the substrate working apparatus according to the above aspect, the second working head is preferably a mounting working head for mounting components on the substrate, and the driving source is mounted on the head mounting portion by the mounting second working head. In such a case, the second work head is driven so as to change the posture of the component held by the second work head. If comprised in this way, when the 1st work head is mounted | worn by the head mounting part and the case where the 2nd work head is mounted | worn, respectively, the application | coating operation | work of a liquid material and the operation | work of changing the attitude | position of a holding component are each carried out. Since a common drive source can be used, the liquid material application work by the first work head and the holding part posture change work by the second work head can be performed without providing a separate drive source dedicated to each work. It can be carried out.

この場合、好ましくは、ヘッド装着部は複数設けられており、駆動源は、複数のヘッド装着部に共通に用いられ、複数のヘッド装着部に複数の第2作業ヘッドが装着された場合には、複数の第2作業ヘッドを並行して駆動するように構成されている。このように構成すれば、1つの駆動源により、複数の第2作業ヘッドを駆動することができるので、複数の第2作業ヘッドのそれぞれに別個の駆動源を設ける必要がない。   In this case, preferably, a plurality of head mounting portions are provided, and a drive source is commonly used for the plurality of head mounting portions, and when a plurality of second work heads are mounted on the plurality of head mounting portions. The plurality of second working heads are configured to be driven in parallel. If comprised in this way, since several 2nd working heads can be driven with one drive source, it is not necessary to provide a separate drive source in each of several 2nd working heads.

上記ヘッド装着部が複数設けられた構成において、好ましくは、第1作業ヘッドは、液状材が塗布されないように駆動源の駆動力を遮断または液状材が塗布されるように駆動源の駆動力を伝達するクラッチ機構を有しており、複数のヘッド装着部に第1作業ヘッドが装着された場合において、所定の第1作業ヘッドが塗布作業を行う場合には、所定の第1作業ヘッド以外の第1作業ヘッドは、クラッチ機構により駆動源の駆動力が遮断されるとともに、ヘッド装着部に装着された第2作業ヘッドが基板に対して作業を行う場合には、ヘッド装着部に装着された第1作業ヘッドは、クラッチ機構により駆動源の駆動力が遮断されるように構成されている。このように構成すれば、駆動源を複数のヘッド装着部に共通に用いる構成でも、駆動対象ではない(非駆動対象の)第1作業ヘッドについては、クラッチ機構により駆動源の駆動力が遮断されるので、駆動対象ではない第1作業ヘッドにより塗布(吐出)動作が行われてしまうのを防止することができる。   In the configuration in which the plurality of head mounting portions are provided, the first working head preferably cuts off the driving force of the driving source so that the liquid material is not applied or applies the driving force of the driving source so that the liquid material is applied. In the case where the first working head is mounted on the plurality of head mounting portions and the predetermined first working head performs the coating operation, the clutch mechanism for transmitting is provided. The first working head is mounted on the head mounting portion when the driving force of the driving source is cut off by the clutch mechanism and the second working head mounted on the head mounting portion performs work on the substrate. The first working head is configured such that the driving force of the driving source is interrupted by the clutch mechanism. With this configuration, the driving force of the driving source is cut off by the clutch mechanism for the first working head that is not the driving target (non-driving target) even in the configuration in which the driving source is commonly used for the plurality of head mounting portions. Therefore, it is possible to prevent the application (discharge) operation from being performed by the first work head that is not the driving target.

上記第1作業ヘッドがクラッチ機構を有する構成において、好ましくは、実装用の第2作業ヘッドによる部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部をさらに備え、第1作業ヘッドのクラッチ機構は、空気圧供給部から供給される空気圧により駆動されて駆動源の駆動力を遮断または伝達するように構成されている。このように構成すれば、第1作業ヘッドのクラッチ機構の駆動源として、第2作業ヘッドによる部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部を流用することができるので、クラッチ機構を駆動させるための専用の駆動源を別個に設ける必要がない。これによっても、基板作業装置の構成が複雑化するのを抑制することができる。   In the configuration in which the first working head has a clutch mechanism, it is preferable that the first working head further includes a pneumatic supply unit that performs suction and mounting operations of components by the second working head for mounting. Driven by the air pressure supplied from the unit, the driving force of the driving source is cut off or transmitted. If comprised in this way, since the pneumatic supply part which performs adsorption | suction and mounting operation | movement of the components by a 2nd working head can be diverted as a drive source of the clutch mechanism of a 1st working head, it is for driving a clutch mechanism. There is no need to provide a dedicated drive source separately. Also by this, it can suppress that the structure of a substrate working apparatus becomes complicated.

上記空気圧供給部を備える構成において、好ましくは、第1作業ヘッドは、空気圧供給部から供給される空気圧によりクラッチ機構を駆動源の駆動力を遮断する方向に駆動する際に空気圧供給部によるクラッチ機構の駆動動作を補助する方向にクラッチ機構を付勢する付勢部材を含んでいる。このように構成すれば、部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部をクラッチ機構の駆動に流用する場合に、空気圧供給部により供給される空気圧がクラッチ機構を駆動するための空気圧としては小さい場合でも、付勢部材により、空気圧供給部によるクラッチ機構の駆動動作が補助されるので、クラッチ機構を確実に駆動させることができる。   In the configuration including the air pressure supply unit, the first working head is preferably configured so that the air pressure supplied from the air pressure supply unit drives the clutch mechanism in a direction to cut off the driving force of the drive source. A biasing member that biases the clutch mechanism in a direction to assist the driving operation. With this configuration, when the air pressure supply unit that performs the component adsorption and mounting operation is used for driving the clutch mechanism, the air pressure supplied by the air pressure supply unit is small as the air pressure for driving the clutch mechanism. However, since the driving operation of the clutch mechanism by the air pressure supply unit is assisted by the urging member, the clutch mechanism can be reliably driven.

上記第1作業ヘッドがクラッチ機構を有する構成において、好ましくは、第1作業ヘッドは、アームと、アームを介して駆動源の駆動力が伝達されるピストンとを含み、駆動源の駆動力がピストンに伝達されることによって、ピストンにより液状材が第1作業ヘッドから押し出されるように構成されており、クラッチ機構は、アームが屈曲されることによって駆動源の駆動力がピストンに伝達されるのを遮断するように構成されている。このように構成すれば、クラッチ機構により、アームを屈曲させるだけで容易に駆動源の駆動力を遮断することができるので、容易に、駆動対象ではない(非駆動対象の)第1作業ヘッドにより塗布(吐出)動作が行われてしまうのを防止することができる。   In the configuration in which the first working head has a clutch mechanism, the first working head preferably includes an arm and a piston to which the driving force of the driving source is transmitted via the arm, and the driving force of the driving source is the piston. The liquid material is pushed out from the first working head by the piston by being transmitted to the clutch, and the clutch mechanism is configured to transmit the driving force of the driving source to the piston by bending the arm. It is configured to block. With this configuration, the clutch mechanism can easily cut off the driving force of the driving source simply by bending the arm, so that the first working head that is not a driving target (non-driving target) can be easily used. It is possible to prevent the application (discharge) operation from being performed.

上記第1作業ヘッドがアームとピストンとを含む構成において、好ましくは、第1作業ヘッドは、アームとピストンとの間に配置され、駆動源の駆動力をアームからピストンに伝達する駆動力伝達部をさらに含み、クラッチ機構は、アームが屈曲されることによって駆動力伝達部がピストンから離間する方向に移動されてピストンに駆動源の駆動力が伝達されるのを遮断するように構成されている。このように構成すれば、クラッチ機構により、駆動力伝達部をピストンから離間する方向に移動して駆動力伝達部とピストンとが互いに接触しないように離間させることができるので、駆動力伝達部とピストンとの間で駆動力の伝達が行われるのを防止することができる。その結果、駆動源の駆動力を確実に遮断することができる。   In the configuration in which the first working head includes an arm and a piston, preferably, the first working head is disposed between the arm and the piston, and a driving force transmission unit that transmits the driving force of the driving source from the arm to the piston. The clutch mechanism is configured to block transmission of the driving force of the driving source to the piston by moving the driving force transmitting portion away from the piston when the arm is bent. . With this configuration, the clutch mechanism can move the driving force transmission unit away from the piston so that the driving force transmission unit and the piston do not come into contact with each other. It is possible to prevent the driving force from being transmitted to the piston. As a result, the driving force of the driving source can be reliably interrupted.

本発明によれば、上記のように、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないとともに、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。   According to the present invention, as described above, it is not necessary to provide a separate drive source for each work head, and it is possible to reduce the burden at the time of replacement work of a plurality of work heads that perform different works.

本発明の一実施形態による基板作業装置の全体構成を示した概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing an overall configuration of a substrate working apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態による基板作業装置の全体構成を示したブロック図である。1 is a block diagram illustrating an overall configuration of a substrate working apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態による基板作業装置のヘッドユニットを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the head unit of the substrate working apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による基板作業装置のヘッド装着部の構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the structure of the head mounting part of the substrate working apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による基板作業装置に装着されたディスペンスヘッドにおいてR軸モータの駆動力が伝達される状態を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the state in which the driving force of an R-axis motor is transmitted in the dispense head with which the substrate working apparatus by one Embodiment of this invention was mounted | worn. 本発明の一実施形態による基板作業装置に装着されたディスペンスヘッドにおいてR軸モータの駆動力が遮断される状態を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the state by which the driving force of the R-axis motor was interrupted | blocked in the dispensing head with which the board | substrate working apparatus by one Embodiment of this invention was mounted | worn. 本発明の一実施形態による基板作業装置に装着されるマウントヘッドの構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the structure of the mount head with which the substrate working apparatus by one Embodiment of this invention is mounted | worn.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1〜図7を参照して、本発明の一実施形態による基板作業装置100の構成について説明する。   With reference to FIGS. 1-7, the structure of the substrate working apparatus 100 by one Embodiment of this invention is demonstrated.

本実施形態による基板作業装置100は、基板に対して半田や接着剤などの液状材の塗布(吐出)作業を行うディスペンサ装置として機能するとともに、基板に部品を実装する部品実装装置としても機能するように構成されている。また、基板作業装置100は、ディスペンサ用のディスペンスヘッド10(図5および図6参照)、および、部品実装用のマウントヘッド20(図3および図7参照)を選択的に付け替え可能なように構成されている。なお、ディスペンスヘッド10は、本発明の「第1作業ヘッド」の一例であり、マウントヘッド20は、本発明の「第2作業ヘッド」の一例である。   The substrate working device 100 according to the present embodiment functions as a dispenser device that applies (discharges) a liquid material such as solder or adhesive to the substrate, and also functions as a component mounting device that mounts components on the substrate. It is configured as follows. The substrate working apparatus 100 is configured so that the dispense head 10 for dispenser (see FIGS. 5 and 6) and the mount head 20 for component mounting (see FIGS. 3 and 7) can be selectively replaced. Has been. The dispense head 10 is an example of the “first working head” in the present invention, and the mount head 20 is an example of the “second working head” in the present invention.

具体的には、基板作業装置100は、図1に示すように、所定の作業位置に基板を搬送する搬送部1(図2参照)と、部品を供給する部品供給部2と、搬送部1により搬送された基板に対して所定の作業を行うヘッドユニット3と、ヘッドユニット3の作業領域を覆う外装体4とを備えている。また、基板作業装置100は、図2に示すように、制御部5により各部が制御されるように構成されている。   Specifically, as illustrated in FIG. 1, the substrate working apparatus 100 includes a transport unit 1 (see FIG. 2) that transports a substrate to a predetermined work position, a component supply unit 2 that supplies components, and a transport unit 1. The head unit 3 that performs a predetermined work on the substrate transported by the above-described structure and the exterior body 4 that covers the work area of the head unit 3 are provided. Further, as shown in FIG. 2, the substrate working apparatus 100 is configured such that each unit is controlled by the control unit 5.

搬送部1は、一対のコンベアを含み、基板をX方向に搬送するように構成されている。また、搬送部1は、図示しない位置決め機構により基板を所定の作業位置に位置決めして固定する機能を有している。   The transport unit 1 includes a pair of conveyors and is configured to transport the substrate in the X direction. Further, the transport unit 1 has a function of positioning and fixing the substrate at a predetermined work position by a positioning mechanism (not shown).

部品供給部2は、図1に示すように、2つ設けられており、外装体4からその一部が露出するように配置されている。また、部品供給部2は、X方向に並列して配置された複数のテープフィーダ2aを含み、テープフィーダ2aを順次巻き取ることによって所定の部品供給位置に部品を供給するように構成されている。   As shown in FIG. 1, two component supply units 2 are provided and are arranged so that a part thereof is exposed from the exterior body 4. The component supply unit 2 includes a plurality of tape feeders 2a arranged in parallel in the X direction, and is configured to supply components to a predetermined component supply position by sequentially winding the tape feeder 2a. .

ヘッドユニット3は、X方向に延びるヘッドユニット支持部3aにより支持されている。また、ヘッドユニット3は、サーボモータからなるX軸モータ6の駆動力により、ヘッドユニット支持部3aに取り付けられた一対のX軸レール6aに沿ってX方向に直線移動可能に構成されている。一対のX軸レール6aは、X方向に延びるように形成されており、互いに平行に配置されている。また、ヘッドユニット3は、サーボモータからなるY軸モータ7(図2参照)の駆動力により、ヘッドユニット支持部3aとともに一対のY軸レール7aに沿ってY方向に直線移動可能に構成されている。一対のY軸レール7aは、図示しない基台上に設けられている。また、一対のY軸レール7aは、Y方向に延びるように形成されており、互いに平行に配置されている。   The head unit 3 is supported by a head unit support portion 3a extending in the X direction. The head unit 3 is configured to be linearly movable in the X direction along a pair of X-axis rails 6a attached to the head unit support portion 3a by the driving force of the X-axis motor 6 formed of a servo motor. The pair of X-axis rails 6a are formed so as to extend in the X direction, and are arranged in parallel to each other. The head unit 3 is configured to be linearly movable in the Y direction along the pair of Y-axis rails 7a together with the head unit support portion 3a by the driving force of the Y-axis motor 7 (see FIG. 2) formed of a servo motor. Yes. The pair of Y-axis rails 7a are provided on a base (not shown). The pair of Y-axis rails 7a are formed so as to extend in the Y direction and are arranged in parallel to each other.

次に、図2および図3を参照して、ヘッドユニット3の詳細な構成について説明する。   Next, a detailed configuration of the head unit 3 will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

ヘッドユニット3には、図3に示すように、4つの作業ヘッド(ディスペンスヘッド10およびマウントヘッド20)が装着される4つのヘッド装着部31が設けられている。また、ヘッドユニット3には、4つのヘッド装着部31のそれぞれに対応する4つのZ軸モータ32が設けられている。各Z軸モータ32は、サーボモータからなり、対応するヘッド装着部31を一対のZ軸レール32aに沿って鉛直方向(Z方向)に直線移動するように構成されている。また、4つのヘッド装着部31は、互いに独立してZ方向に移動可能なように構成されている。   As shown in FIG. 3, the head unit 3 is provided with four head mounting portions 31 on which four work heads (the dispensing head 10 and the mount head 20) are mounted. The head unit 3 is provided with four Z-axis motors 32 corresponding to the four head mounting portions 31. Each Z-axis motor 32 includes a servo motor, and is configured to linearly move the corresponding head mounting portion 31 in the vertical direction (Z direction) along the pair of Z-axis rails 32a. Further, the four head mounting portions 31 are configured to be movable in the Z direction independently of each other.

また、ヘッドユニット3は、図2および図3に示すように、サーボモータからなる1つのR軸モータ33を含んでいる。R軸モータ33は、4つのヘッド装着部31に共通に用いられるように構成されている。具体的には、ヘッドユニット3には、4つのヘッド装着部31に装着された4つの作業ヘッドのそれぞれにR軸モータ33の駆動力を伝達する4つのR軸シャフト331が設けられている。図3および図4に示すように、各R軸シャフト331の上端部には、プーリ331aが取り付けられているとともに、R軸モータ33の出力軸には、プーリ33aが取り付けられている。また、4つのR軸シャフト331の4つのプーリ331aとR軸モータ33のプーリ33aとには、1本の伝達ベルト33bが巻回されている。これにより、1つのR軸モータ33により、4つのR軸シャフト331を同時に並行して回動させることが可能である。なお、R軸モータ33は、本発明の「駆動源」の一例であり、R軸シャフト331は、本発明の「駆動軸」の一例である。   Further, the head unit 3 includes one R-axis motor 33 formed of a servo motor as shown in FIGS. The R-axis motor 33 is configured to be used in common for the four head mounting portions 31. Specifically, the head unit 3 is provided with four R-axis shafts 331 that transmit the driving force of the R-axis motor 33 to each of the four work heads mounted on the four head mounting portions 31. As shown in FIGS. 3 and 4, a pulley 331 a is attached to the upper end portion of each R-axis shaft 331, and a pulley 33 a is attached to the output shaft of the R-axis motor 33. One transmission belt 33 b is wound around the four pulleys 331 a of the four R-axis shafts 331 and the pulley 33 a of the R-axis motor 33. As a result, the four R-axis shafts 331 can be simultaneously rotated in parallel by one R-axis motor 33. The R-axis motor 33 is an example of the “drive source” in the present invention, and the R-axis shaft 331 is an example of the “drive shaft” in the present invention.

また、R軸モータ33は、ディスペンスヘッド10から液状材が塗布(吐出)されるようにディスペンスヘッド10を駆動するように構成されている。また、R軸モータ33は、マウントヘッド20により保持された部品の姿勢を変えるようにマウントヘッド20を駆動するように構成されている。すなわち、R軸モータ33は、ディスペンスヘッド10およびマウントヘッド20に共通に用いられる。   The R-axis motor 33 is configured to drive the dispensing head 10 so that the liquid material is applied (discharged) from the dispensing head 10. The R-axis motor 33 is configured to drive the mount head 20 so as to change the posture of the component held by the mount head 20. That is, the R-axis motor 33 is commonly used for the dispense head 10 and the mount head 20.

また、R軸シャフト331は、図4に示すように、プーリ331aの近傍で2つのベアリング331bにより回動可能に支持されているとともに、下端部近傍で1つのベアリング331cにより回動可能に支持されている。また、R軸シャフト331の下端部には、互いに平行に配置された2つの平坦面331dが形成されているとともに、R軸シャフト331の下端部以外の部分は、円柱形状に形成されている。また、R軸シャフト331は、ディスペンスヘッド10およびマウントヘッド20に共通に用いられる。   Further, as shown in FIG. 4, the R-axis shaft 331 is rotatably supported by two bearings 331b in the vicinity of the pulley 331a and is rotatably supported by one bearing 331c in the vicinity of the lower end portion. ing. In addition, two flat surfaces 331d arranged in parallel to each other are formed at the lower end portion of the R-axis shaft 331, and portions other than the lower end portion of the R-axis shaft 331 are formed in a columnar shape. The R-axis shaft 331 is used in common for the dispense head 10 and the mount head 20.

また、ヘッドユニット3には、図2に示すように、4つのヘッド装着部31のそれぞれに空気圧を供給する4つの空気圧供給部34が設けられている。各空気圧供給部34は、空気圧ホース341(図3および図4参照)を介して対応するヘッド装着部31に空気圧を供給するように構成されている。また、4つの空気圧供給部34は、制御部5からの指令に基づいて、互いに独立して負圧(真空圧)の供給と正圧の供給とを切り替えることが可能である。また、空気圧供給部34は、マウントヘッド20が装着された場合に、マウントヘッド20による部品の吸着および装着動作を行う機能を有している。具体的には、空気圧供給部34は、マウントヘッド20が部品を吸着する際には負圧(真空圧)を供給して部品を吸い上げるとともに、マウントヘッド20が部品を装着する際には正圧を供給して部品をマウントヘッド20から離脱させる。また、空気圧供給部34は、マウントヘッド20による部品の吸着および装着動作に基づいて負圧および正圧のそれぞれの最大圧力が設定されている。   Further, as shown in FIG. 2, the head unit 3 is provided with four air pressure supply portions 34 that supply air pressure to the four head mounting portions 31. Each air pressure supply unit 34 is configured to supply air pressure to the corresponding head mounting unit 31 via a pneumatic hose 341 (see FIGS. 3 and 4). Further, the four air pressure supply units 34 can switch between supply of negative pressure (vacuum pressure) and supply of positive pressure independently of each other based on a command from the control unit 5. In addition, the air pressure supply unit 34 has a function of performing component adsorption and mounting operations by the mount head 20 when the mount head 20 is mounted. Specifically, the air pressure supply unit 34 supplies negative pressure (vacuum pressure) when the mount head 20 sucks a component to suck up the component, and positive pressure when the mount head 20 mounts the component. To remove the component from the mount head 20. In the air pressure supply unit 34, the maximum pressures of the negative pressure and the positive pressure are set based on the component adsorption and mounting operations by the mount head 20.

4つのヘッド装着部31は、いずれも同様に構成されている。各ヘッド装着部31の内部には、図4に示す円筒形状の装着部本体311が設けられている。装着部本体311は、上方からR軸シャフト331が挿入されるように構成されている。また、装着部本体311の下端部には、作業ヘッド(ディスペンスヘッド10およびマウントヘッド20)を装着するためのネジ溝311aが形成されている。また、装着部本体311の側部には、空気圧流入口311bが設けられている。空気圧流入口311bには、空気圧供給部34に接続された空気圧ホース341が接続されている。また、装着部本体311は、ディスペンサ用のディスペンスヘッド10(図5および図6参照)および部品実装用のマウントヘッド20(図7参照)を選択的に付け替え可能なように構成されている。また、本実施形態の基板作業装置100では、4つの装着部本体311の全てにディスペンスヘッド10を装着することも可能であるし、4つの装着部本体311の全てにマウントヘッド20を装着することも可能である。また、4つの装着部本体311に、ディスペンスヘッド10とマウントヘッド20とを混在させることも可能である。   All of the four head mounting portions 31 are configured in the same manner. A cylindrical mounting portion main body 311 shown in FIG. 4 is provided inside each head mounting portion 31. The mounting portion main body 311 is configured such that the R-axis shaft 331 is inserted from above. In addition, a screw groove 311a for mounting the work head (the dispense head 10 and the mount head 20) is formed at the lower end of the mounting portion main body 311. In addition, a pneumatic inflow port 311 b is provided on the side portion of the mounting portion main body 311. A pneumatic hose 341 connected to the air pressure supply unit 34 is connected to the air pressure inlet 311b. Further, the mounting portion main body 311 is configured so that the dispenser dispensing head 10 (see FIGS. 5 and 6) and the component mounting mount head 20 (see FIG. 7) can be selectively replaced. Further, in the substrate working apparatus 100 of the present embodiment, the dispense head 10 can be attached to all the four attachment portion main bodies 311, and the mount head 20 can be attached to all the four attachment portion main bodies 311. Is also possible. Also, the dispensing head 10 and the mount head 20 can be mixed in the four mounting portion main bodies 311.

また、本実施形態の基板作業装置100では、上記のように、R軸モータ33を駆動することによって4つのR軸シャフト331の全てが並行して駆動されるので、4つのヘッド装着部31のいずれかにディスペンスヘッド10が装着されている場合には、駆動対象ではない(非駆動対象の)ディスペンスヘッド10から液状材が塗布(吐出)されてしまうのを防止する必要がある。このため、制御部5は、4つのヘッド装着部31に複数のディスペンスヘッド10が装着されている場合において、装着された複数のディスペンスヘッド10のうちの所定のディスペンスヘッド10により塗布(吐出)作業を行う場合には、それ以外のディスペンスヘッド10に対して後述するクラッチ機構110を作動させてR軸モータ33の駆動力を遮断するように構成されている。また、制御部5は、4つのヘッド装着部31にディスペンスヘッド10およびマウントヘッド20の両方が装着されている場合において、装着されたマウントヘッド20により部品の実装作業を行う場合には、装着されたディスペンスヘッド10の全てに対して後述するクラッチ機構110を作動させてR軸モータ33の駆動力を遮断するように構成されている。これにより、駆動対象ではない(非駆動対象の)ディスペンスヘッド10により塗布(吐出)作業が行われてしまうのを防止することが可能である。   Further, in the substrate working apparatus 100 of the present embodiment, as described above, by driving the R-axis motor 33, all the four R-axis shafts 331 are driven in parallel. When the dispense head 10 is attached to any of them, it is necessary to prevent the liquid material from being applied (discharged) from the dispense head 10 that is not a drive target (non-drive target). Therefore, when the plurality of dispense heads 10 are mounted on the four head mounting units 31, the control unit 5 performs application (discharge) work by a predetermined dispense head 10 among the plurality of mounted dispense heads 10. When performing the above, it is configured to operate a clutch mechanism 110 (to be described later) with respect to the other dispense heads 10 to cut off the driving force of the R-axis motor 33. Further, the control unit 5 is mounted when both the dispense head 10 and the mount head 20 are mounted on the four head mounting units 31 and when the mounting operation of the component is performed by the mounted mount head 20. In addition, a clutch mechanism 110, which will be described later, is actuated on all the dispense heads 10 to block the driving force of the R-axis motor 33. As a result, it is possible to prevent the application (discharge) operation from being performed by the dispense head 10 that is not a drive target (non-drive target).

なお、マウントヘッド20については、駆動対象ではない(非駆動対象の)マウントヘッド20が駆動された場合でも、単に保持部品の姿勢が変わるだけで実装作業に影響はないので、マウントヘッド20にはクラッチ機構を設けていない。すなわち、4つのヘッド装着部31に複数のマウントヘッド20が装着されている場合には、装着された全てのマウントヘッド20は並行して駆動される。また、装着されたマウントヘッド20は、ディスペンスヘッド10が駆動される際にも並行して駆動される。   As for the mount head 20, even when the mount head 20 that is not a drive target (non-drive target) is driven, there is no influence on the mounting operation simply by changing the orientation of the holding component. No clutch mechanism is provided. That is, when a plurality of mount heads 20 are mounted on the four head mounting portions 31, all the mounted mount heads 20 are driven in parallel. The mounted mount head 20 is also driven in parallel when the dispense head 10 is driven.

次に、図5および図6を参照して、ヘッド装着部31に装着されるディスペンスヘッド10の構成について説明する。   Next, with reference to FIG. 5 and FIG. 6, the structure of the dispense head 10 mounted on the head mounting unit 31 will be described.

ディスペンスヘッド10は、ヘッド装着部31の装着部本体311に装着可能に構成されている。具体的には、ディスペンスヘッド10は、円筒形状の装着部本体311に対して下方から挿入された状態で、ロックナット11により装着部本体311に固定されるように構成されている。ロックナット11の装着部本体311に挿入される部分には、装着部本体311の下端部に形成されたネジ溝311aに対応するネジ山11aが形成されている。これにより、ロックナット11を装着部本体311の下端部に螺合させてディスペンスヘッド10を装着部本体311に装着することが可能である。   The dispense head 10 is configured to be attachable to the attachment portion main body 311 of the head attachment portion 31. Specifically, the dispensing head 10 is configured to be fixed to the mounting portion main body 311 by the lock nut 11 while being inserted from below into the cylindrical mounting portion main body 311. A thread 11 a corresponding to a thread groove 311 a formed at the lower end of the mounting portion main body 311 is formed at a portion of the lock nut 11 to be inserted into the mounting portion main body 311. Accordingly, the dispense head 10 can be attached to the attachment portion main body 311 by screwing the lock nut 11 into the lower end portion of the attachment portion main body 311.

また、ディスペンスヘッド10は、上部軸12と、上部軸12の下方に配置された可動アーム13と、可動アーム13の下方に配置されたボールネジ14とを含んでいる。上部軸12および可動アーム13は、円筒形状のヘッド外装10aの内部に配置されている。また、クラッチ機構110は、R軸モータ33の駆動力の遮断とR軸モータ33の駆動力の伝達とを切り替え可能に構成されており、可動アーム13と、後述するアーム用ピストン133および爪部134とにより構成されている。   The dispensing head 10 includes an upper shaft 12, a movable arm 13 disposed below the upper shaft 12, and a ball screw 14 disposed below the movable arm 13. The upper shaft 12 and the movable arm 13 are disposed inside a cylindrical head exterior 10a. The clutch mechanism 110 is configured to be able to switch between the interruption of the driving force of the R-axis motor 33 and the transmission of the driving force of the R-axis motor 33, and the movable arm 13, an arm piston 133 and a claw portion described later. 134.

また、上部軸12は、鉛直方向(Z方向)に延びるように形成されている。また、上部軸12は、2つのベアリング121によりヘッド外装10aに対して鉛直軸回りに回動可能に支持されている。また、上部軸12の外側面とヘッド外装10aの内側面との間には、Y字形状の断面を有するYリング122が設けられている。これにより、上部軸12とヘッド外装10aとの間の気密性を良好に保つことが可能である。また、Yリング122は、Oリングに比べて小さい摩擦係数を有している。これにより、Yリング122は、上部軸12が回動する場合に、上部軸12を円滑に回動させながら良好な気密性を確保することが可能である。また、上部軸12の上端部には、ボルト123aにより一対のS字形状の板バネ123が固定的に取り付けられている。一対の板バネ123は、それぞれ、R軸シャフト331の2つの平坦面331dに当接してR軸シャフト331を挟持するように構成されている。これにより、上部軸12は、R軸シャフト331が鉛直軸回りに回動することによってR軸シャフト331と一体的に鉛直軸回りに回動される。   The upper shaft 12 is formed to extend in the vertical direction (Z direction). The upper shaft 12 is supported by two bearings 121 so as to be rotatable about the vertical axis with respect to the head exterior 10a. A Y ring 122 having a Y-shaped cross section is provided between the outer surface of the upper shaft 12 and the inner surface of the head exterior 10a. Thereby, the airtightness between the upper shaft 12 and the head exterior 10a can be kept good. The Y ring 122 has a smaller friction coefficient than the O ring. Thereby, when the upper axis | shaft 12 rotates, the Y ring 122 can ensure favorable airtightness, rotating the upper axis | shaft 12 smoothly. A pair of S-shaped leaf springs 123 are fixedly attached to the upper end of the upper shaft 12 by bolts 123a. The pair of leaf springs 123 are configured to abut against the two flat surfaces 331d of the R-axis shaft 331 and sandwich the R-axis shaft 331, respectively. Thus, the upper shaft 12 is rotated about the vertical axis integrally with the R-axis shaft 331 by the rotation of the R-axis shaft 331 about the vertical axis.

クラッチ機構110を構成する可動アーム13は、図5および図6に示すように、上部アーム131と下部アーム132とを有している。上部アーム131は、ピン131aにより上部軸12の下端部に取り付けられている。また、上部アーム131は、水平方向に挿入されたピン131aを回動中心として上部軸12に対して回動可能に構成されている。また、上部アーム131の下部には、上部アーム131が鉛直方向に延びるように配置されている状態(図5に示す状態)で水平方向に突出する突出部131bが形成されている。突出部131bは、先端部が略円弧形状に形成されている。下部アーム132は、ピン132aにより上部アーム131の下端部に取り付けられている。また、下部アーム132は、水平方向に挿入されたピン132aを回動中心として上部アーム131に対して回動可能に構成されている。このように、可動アーム13は、屈曲可能に構成されている。また、可動アーム13は、上部軸12が鉛直軸回りに回動することによって上部軸12と一体的に鉛直軸回りに回動されるように構成されている。なお、可動アーム13は、本発明の「アーム」の一例である。   As shown in FIGS. 5 and 6, the movable arm 13 constituting the clutch mechanism 110 has an upper arm 131 and a lower arm 132. The upper arm 131 is attached to the lower end portion of the upper shaft 12 by a pin 131a. Further, the upper arm 131 is configured to be rotatable with respect to the upper shaft 12 with a pin 131a inserted in the horizontal direction as a rotation center. In addition, a projecting portion 131b that projects in the horizontal direction in a state where the upper arm 131 is disposed so as to extend in the vertical direction (the state shown in FIG. 5) is formed below the upper arm 131. The protruding portion 131b has a tip that is formed in a substantially arc shape. The lower arm 132 is attached to the lower end of the upper arm 131 by a pin 132a. The lower arm 132 is configured to be rotatable with respect to the upper arm 131 with a pin 132a inserted in the horizontal direction as a rotation center. Thus, the movable arm 13 is configured to be bendable. Further, the movable arm 13 is configured to rotate integrally with the upper shaft 12 around the vertical axis when the upper shaft 12 rotates about the vertical axis. The movable arm 13 is an example of the “arm” in the present invention.

また、上部軸12と上部アーム131との接続部分の周囲には、上部軸12と上部アーム131との接続部分を取り囲むように、クラッチ機構110を構成するアーム用ピストン133が設けられている。アーム用ピストン133とヘッド外装10aとの間には、Yリング133aが設けられている。また、アーム用ピストン133と上部軸12との間には、Yリング133bが設けられている。また、アーム用ピストン133は、ヘッド外装10aおよび上部軸12に対して鉛直方向(Z方向)に移動可能に構成されている。具体的には、図5に示すように、アーム用ピストン133の上側に位置する空気室133cに空気圧ホース341を介して空気圧供給部34から空気が供給された場合(正圧が供給された場合)には、アーム用ピストン133は、空気圧(正圧)により下方に押し下げられる。これにより、クラッチ機構110は、R軸モータ33の駆動力を伝達する方向に駆動される。一方、図6に示すように、空気圧供給部34により空気圧ホース341を介して空気室133c(図5参照)の空気が吸引された場合(負圧が供給された場合)には、アーム用ピストン133は、空気圧(負圧)により上方に引き上げられる。これにより、クラッチ機構110は、R軸モータ33の駆動力を遮断する方向に駆動される。   In addition, an arm piston 133 constituting the clutch mechanism 110 is provided around the connection portion between the upper shaft 12 and the upper arm 131 so as to surround the connection portion between the upper shaft 12 and the upper arm 131. A Y ring 133a is provided between the arm piston 133 and the head exterior 10a. Further, a Y ring 133 b is provided between the arm piston 133 and the upper shaft 12. The arm piston 133 is configured to be movable in the vertical direction (Z direction) with respect to the head exterior 10 a and the upper shaft 12. Specifically, as shown in FIG. 5, when air is supplied from the air pressure supply unit 34 via the air pressure hose 341 to the air chamber 133 c located above the arm piston 133 (when positive pressure is supplied). ), The arm piston 133 is pushed down by air pressure (positive pressure). Thereby, the clutch mechanism 110 is driven in a direction in which the driving force of the R-axis motor 33 is transmitted. On the other hand, as shown in FIG. 6, when the air in the air chamber 133c (see FIG. 5) is sucked by the air pressure supply unit 34 via the air pressure hose 341 (when negative pressure is supplied), the arm piston 133 is pulled upward by air pressure (negative pressure). As a result, the clutch mechanism 110 is driven in a direction that interrupts the driving force of the R-axis motor 33.

また、アーム用ピストン133の下端部には、上部アーム131の突出部131bに係合可能な凹形状を有する爪部134がアーム用ピストン133に一体的に設けられている。この爪部134もクラッチ機構110の一部を構成している。また、爪部134の突出部131bに当接する部分は、略円弧形状の突出部131bの先端部に対応するように略円弧形状に形成されている。爪部134は、図5に示すように、アーム用ピストン133が下方に押し下げられる(移動される)ことによって上部アーム131の突出部131bに係合するように構成されている。この際、上部アーム131は、アーム用ピストン133の内側面133dにより回動するのが規制されて鉛直方向に延びるように配置される。これにより、可動アーム13は、伸長した状態となる。また、爪部134は、アーム用ピストン133が上方に引き上げられる(移動される)際に上部アーム131の突出部131bを押圧してピン131aを回動中心にして上部アーム131を回動させるように構成されている。この際、上部アーム131は、図6に示すように、アーム用ピストン133の内側面133dによる規制が解除されてピン131aを回動中心として回動可能な状態になる。なお、クラッチ機構110によるクラッチ動作の詳細については後述する。   Further, a claw portion 134 having a concave shape that can be engaged with the protruding portion 131 b of the upper arm 131 is provided integrally with the arm piston 133 at the lower end portion of the arm piston 133. This claw part 134 also constitutes a part of the clutch mechanism 110. Further, the portion of the claw portion 134 that contacts the protruding portion 131b is formed in a substantially arc shape so as to correspond to the tip end portion of the protruding portion 131b having a substantially arc shape. As shown in FIG. 5, the claw portion 134 is configured to engage with the protruding portion 131 b of the upper arm 131 when the arm piston 133 is pushed down (moved) downward. At this time, the upper arm 131 is arranged to extend in the vertical direction while being restricted from rotating by the inner side surface 133d of the arm piston 133. Thereby, the movable arm 13 will be in the extended state. Further, the claw portion 134 presses the protruding portion 131b of the upper arm 131 and rotates the upper arm 131 around the pin 131a when the arm piston 133 is pulled up (moved). It is configured. At this time, as shown in FIG. 6, the upper arm 131 is released from the restriction by the inner side surface 133d of the arm piston 133 and can rotate about the pin 131a. Details of the clutch operation by the clutch mechanism 110 will be described later.

ボールネジ14は、鉛直方向(Z方向)に延びるように形成されている。また、ボールネジ14は、ホールネジ保持具141を介して可動アーム13の下部アーム132に取り付けられている。ホールネジ保持具141は、水平方向に挿入されたピン141aにより下部アーム132の下端部に取り付けられている。また、ボールネジ14は、可動アーム13が鉛直軸回りに回動することによって可動アーム13と一体的に鉛直軸回りに回動されるように構成されている。また、ボールネジ14は、可動アーム13が屈曲することによって上方に引き上げられる(移動される)ように構成されている。   The ball screw 14 is formed to extend in the vertical direction (Z direction). Further, the ball screw 14 is attached to the lower arm 132 of the movable arm 13 via a hole screw holder 141. The hall screw holder 141 is attached to the lower end of the lower arm 132 by a pin 141a inserted in the horizontal direction. In addition, the ball screw 14 is configured to rotate integrally with the movable arm 13 around the vertical axis when the movable arm 13 rotates about the vertical axis. The ball screw 14 is configured to be pulled up (moved) upward when the movable arm 13 is bent.

また、ボールネジ14には、ナット15が螺合されている。ナット15は、ボールネジ14が鉛直軸回りに回動することによって鉛直方向に移動されるように構成されている。また、ナット15は、可動アーム13の屈曲動作によってボールネジ14が鉛直方向に移動する際に、ボールネジ14とともに鉛直方向に移動するように構成されている。   A nut 15 is screwed onto the ball screw 14. The nut 15 is configured to move in the vertical direction when the ball screw 14 rotates about the vertical axis. The nut 15 is configured to move in the vertical direction together with the ball screw 14 when the ball screw 14 moves in the vertical direction by the bending operation of the movable arm 13.

また、ナット15の下方には、押圧プレート16が設けられている。押圧プレート16は、ネジ151によりナット15に固定的に取り付けられており、ナット15と一体的に移動するように構成されている。これにより、押圧プレート16は、可動アーム13が屈曲することによってボールネジ14が上方に引き上げられる際に、ナット15とともに上方に引き上げられる。また、押圧プレート16は、下方に配置された圧縮バネ161により上方に向かって押圧されている。圧縮バネ161は、図6に示すように、空気圧供給部34による吸引動作に起因して可動アーム13が屈曲可能となった場合に、押圧プレート16を上方に引き上げる(移動させる)のを補助する機能を有している。すなわち、圧縮バネ161は、空気圧供給部34がクラッチ機構110をR軸モータ33の駆動力が遮断される方向に駆動する際に空気圧供給部34によるクラッチ機構110の駆動動作を補助する方向にクラッチ機構110を付勢するように構成されている。これにより、空気圧供給部34による吸引力(負圧)が押圧プレート16を引き上げるのに十分な大きさではない場合でも、圧縮バネ161の押圧力(付勢力)により押圧プレート16を確実に引き上げる(移動させる)ことが可能である。なお、押圧プレート16は、本発明の「駆動力伝達部」の一例であり、圧縮バネ161は、本発明の「付勢部材」の一例である。   A pressing plate 16 is provided below the nut 15. The pressing plate 16 is fixedly attached to the nut 15 with screws 151 and is configured to move integrally with the nut 15. Thereby, when the ball screw 14 is pulled upward by bending the movable arm 13, the pressing plate 16 is pulled upward together with the nut 15. Further, the pressing plate 16 is pressed upward by a compression spring 161 disposed below. As shown in FIG. 6, the compression spring 161 assists in pulling up (moving) the pressing plate 16 upward when the movable arm 13 can be bent due to the suction operation by the air pressure supply unit 34. It has a function. That is, the compression spring 161 causes the clutch in a direction that assists the driving operation of the clutch mechanism 110 by the air pressure supply unit 34 when the air pressure supply unit 34 drives the clutch mechanism 110 in a direction in which the driving force of the R-axis motor 33 is interrupted. The mechanism 110 is configured to be biased. Thus, even when the suction force (negative pressure) by the air pressure supply unit 34 is not large enough to pull up the pressing plate 16, the pressing plate 16 is reliably pulled up by the pressing force (biasing force) of the compression spring 161 ( Can be moved). The pressing plate 16 is an example of the “driving force transmitting portion” in the present invention, and the compression spring 161 is an example of the “biasing member” in the present invention.

また、図5および図6に示すように、押圧プレート16の下方には、ノズルホルダ17が設けられている。ノズルホルダ17には、吐出ピストン18が挿入されている。吐出ピストン18は、ノズルホルダ17から上方に突出するように配置されている。また、吐出ピストン18は、圧縮バネ181により上方に向かって押圧(付勢)されている。また、吐出ピストン18は、細長形状に形成された細長部18aを有している。細長部18aは、吐出ピストン18の鉛直方向の中央部から下端部にかけて形成されている。また、ノズルホルダ17の内部には、アダプタ182が設けられている。アダプタ182は、鉛直方向に延びる貫通孔182aを有している。貫通孔182aには、吐出ピストン18の細長部18aが上方から挿入されている。また、アダプタ182の貫通孔182aは、液状材用ホース31を介して半田や接着剤などの液状材を収容するシリンジ30に接続されている。すなわち、液状材は、シリンジ30から液状材用ホース31を介して貫通孔182a内に供給される。また、アダプタ182とノズルホルダ17との間には、Oリング182bが設けられている。なお、吐出ピストン18は、本発明の「ピストン」の一例である。   Further, as shown in FIGS. 5 and 6, a nozzle holder 17 is provided below the pressing plate 16. A discharge piston 18 is inserted into the nozzle holder 17. The discharge piston 18 is disposed so as to protrude upward from the nozzle holder 17. Further, the discharge piston 18 is pressed (biased) upward by a compression spring 181. Further, the discharge piston 18 has an elongated portion 18a formed in an elongated shape. The elongated portion 18a is formed from the center in the vertical direction of the discharge piston 18 to the lower end. An adapter 182 is provided inside the nozzle holder 17. The adapter 182 has a through hole 182a extending in the vertical direction. The elongated portion 18a of the discharge piston 18 is inserted into the through hole 182a from above. The through-hole 182a of the adapter 182 is connected to a syringe 30 that stores a liquid material such as solder or adhesive via a liquid material hose 31. That is, the liquid material is supplied from the syringe 30 through the liquid material hose 31 into the through hole 182a. An O-ring 182 b is provided between the adapter 182 and the nozzle holder 17. The discharge piston 18 is an example of the “piston” in the present invention.

また、アダプタ182の貫通孔182aの下方には、球形状の液垂れ防止弁183が設けられている。液垂れ防止弁183は、圧縮バネ184により下方から上方に向かって押圧(付勢)されている。これにより、液垂れ防止弁183は、貫通孔182aの下端部に当接して貫通孔182aの下端部を圧縮バネ184による付勢力で封止することが可能である。また、液垂れ防止弁183および圧縮バネ184は、筒状部材185の内部に設けられている。筒状部材185とノズルホルダ17との間には、Oリング185aが設けられている。また、筒状部材185の下方には、ノズル19が設けられている。ノズル19は、アダプタ191によりノズルホルダ17に固定的に取り付けられている。また、ノズル19とアダプタ191との間には、Oリング191aが設けられている。   A spherical liquid dripping prevention valve 183 is provided below the through hole 182 a of the adapter 182. The dripping prevention valve 183 is pressed (biased) from below to above by a compression spring 184. As a result, the dripping prevention valve 183 can contact the lower end portion of the through hole 182a and seal the lower end portion of the through hole 182a with the urging force of the compression spring 184. Further, the dripping prevention valve 183 and the compression spring 184 are provided inside the cylindrical member 185. An O-ring 185 a is provided between the cylindrical member 185 and the nozzle holder 17. A nozzle 19 is provided below the cylindrical member 185. The nozzle 19 is fixedly attached to the nozzle holder 17 by an adapter 191. Further, an O-ring 191 a is provided between the nozzle 19 and the adapter 191.

また、ディスペンスヘッド10の側部には、半田や接着剤などの液状材の粘度を適切な状態にするためのヒータ10bが取り付けられている。ヒータ10bは、ディスペンスヘッド10に接続された温調ケーブル10cを介して制御部5により制御されるように構成されている。   In addition, a heater 10b is attached to the side portion of the dispensing head 10 to bring the viscosity of the liquid material such as solder or adhesive into an appropriate state. The heater 10 b is configured to be controlled by the control unit 5 via a temperature control cable 10 c connected to the dispense head 10.

次に、図5および図6を参照して、ディスペンスヘッド10による塗布(吐出)動作について説明する。   Next, with reference to FIGS. 5 and 6, the application (discharge) operation by the dispense head 10 will be described.

まず、制御部5により空気圧供給部34を制御して、図5に示すように、空気圧ホース341を介してディスペンスヘッド10に空気を供給(正圧を供給)する。これにより、空気室133cに空気が充填されてアーム用ピストン133が空気圧(正圧)により下方に押し下げられる。この際、上部アーム131は、アーム用ピストン133の内側面133dにより回動するのが規制されて鉛直方向に延びるように配置される。また、上部アーム131の突出部131bが爪部134に係合される。このようにして可動アーム13が伸長される。   First, the air pressure supply unit 34 is controlled by the control unit 5 to supply air (supply positive pressure) to the dispense head 10 via the air pressure hose 341 as shown in FIG. As a result, the air chamber 133c is filled with air, and the arm piston 133 is pushed downward by air pressure (positive pressure). At this time, the upper arm 131 is arranged to extend in the vertical direction while being restricted from rotating by the inner side surface 133d of the arm piston 133. Further, the protruding portion 131 b of the upper arm 131 is engaged with the claw portion 134. In this way, the movable arm 13 is extended.

可動アーム13が伸長されることによって、図6に示す可動アーム13が屈曲した状態に対してボールネジ14、ナット15および押圧プレート16が一体的に下方に押し下げられる。この際、押圧プレート16は、圧縮バネ161による上方への付勢力に抗して押し下げられる。この状態で、制御部5によりR軸モータ33を駆動してR軸シャフト331を駆動(回動)させる。これにより、R軸シャフト331、上部軸12および可動アーム13を介してR軸モータ33の駆動力がボールネジ14に伝達され、ボールネジ14が鉛直軸回りに回動される。この際、ナット15とともに押圧プレート16が下方に移動されるので、押圧プレート16の下面により吐出ピストン18が下方に押圧される。吐出ピストン18は、圧縮バネ181の付勢力に抗して下方に移動される。吐出ピストン18が下方に移動すると、吐出ピストン18の細長部18aによりアダプタ182の貫通孔182aの容積が縮小されて内部の液状材の液圧が高められる。そして、液圧が高められたことにより、液垂れ防止弁183が圧縮バネ184の付勢力に抗して下方に押し下げられる。これにより、液状材は、貫通孔182aから押し出されて筒状部材185を介してノズル19の先端から塗布(吐出)される。   By extending the movable arm 13, the ball screw 14, the nut 15, and the pressing plate 16 are integrally pushed downward with respect to the bent state of the movable arm 13 shown in FIG. 6. At this time, the pressing plate 16 is pushed down against the upward biasing force of the compression spring 161. In this state, the controller 5 drives the R-axis motor 33 to drive (rotate) the R-axis shaft 331. As a result, the driving force of the R-axis motor 33 is transmitted to the ball screw 14 via the R-axis shaft 331, the upper shaft 12, and the movable arm 13, and the ball screw 14 is rotated about the vertical axis. At this time, since the pressing plate 16 is moved downward together with the nut 15, the discharge piston 18 is pressed downward by the lower surface of the pressing plate 16. The discharge piston 18 is moved downward against the urging force of the compression spring 181. When the discharge piston 18 moves downward, the elongated portion 18a of the discharge piston 18 reduces the volume of the through hole 182a of the adapter 182 to increase the liquid pressure of the liquid material inside. As the hydraulic pressure is increased, the dripping prevention valve 183 is pushed downward against the urging force of the compression spring 184. As a result, the liquid material is pushed out from the through hole 182 a and applied (discharged) from the tip of the nozzle 19 through the cylindrical member 185.

その後、制御部5によりR軸モータ33を吐出時とは反対方向に駆動してR軸シャフト331を駆動(回動)させる。これに伴って、ナット15とともに押圧プレート16が上方に移動されるので、その分、圧縮バネ181の付勢力により吐出ピストン18が上方に押し戻される。これにより、アダプタ182の貫通孔182aの容積が拡大されて内部の液状材の液圧が低下する。そして、圧縮バネ184の付勢力により液垂れ防止弁183が上方に移動されて貫通孔182aの下端部が封止される。この状態で、R軸モータ33をさらに駆動し続けることによって、吐出ピストン18の上方への移動により貫通孔182aの容積がさらに拡大されるので、貫通孔182a内に負圧が生じる。これにより、シリンジ30の液状材が液状材用ホース31を介して貫通孔182a内に補充(吸引)される。このようにして1回(1ショット)の塗布(吐出)動作が行われる。なお、本実施形態の基板作業装置100では、上記のように、吐出ピストン18の上下移動を繰り返すことによって、半田を塗布する場合には、略4ショット/秒、接着剤を塗布する場合には、略10ショット/秒の速さで塗布(吐出)動作を連続して行うことが可能である。   Thereafter, the R-axis motor 33 is driven in the direction opposite to that during discharge by the controller 5 to drive (rotate) the R-axis shaft 331. Along with this, the pressing plate 16 is moved upward together with the nut 15, so that the discharge piston 18 is pushed back upward by the urging force of the compression spring 181. Thereby, the volume of the through-hole 182a of the adapter 182 is enlarged, and the liquid pressure of an internal liquid material falls. Then, the dripping prevention valve 183 is moved upward by the urging force of the compression spring 184, and the lower end of the through hole 182a is sealed. By continuing to drive the R-axis motor 33 in this state, the volume of the through-hole 182a is further expanded by the upward movement of the discharge piston 18, and thus a negative pressure is generated in the through-hole 182a. Thereby, the liquid material of the syringe 30 is replenished (sucked) into the through hole 182a via the liquid material hose 31. In this way, a single application (discharge) operation is performed. In the substrate working apparatus 100 of the present embodiment, as described above, when the solder is applied by repeating the vertical movement of the discharge piston 18, approximately 4 shots / second is applied, and when the adhesive is applied. The application (discharge) operation can be continuously performed at a speed of approximately 10 shots / second.

次に、図5および図6を参照して、ディスペンスヘッド10のクラッチ動作について説明する。   Next, referring to FIGS. 5 and 6, the clutch operation of the dispensing head 10 will be described.

まず、制御部5により空気圧供給部34を制御して、図6に示すように、空気圧ホース341を介してディスペンスヘッド10の空気室133c(図5参照)から空気を吸引する(負圧を供給する)。これにより、アーム用ピストン133が負圧により上方に引き上げられる。この際、上部アーム131は、アーム用ピストン133の内側面133dによる規制が解除されてピン131aを回動中心として回動可能な状態になる。また、上部アーム131の突出部131bは、上方に移動する爪部134により押圧される。これにより、上部アーム131は、ピン131aを回動中心として回動される。また、これに伴って、押圧プレート16は、ボールネジ14およびナット15を介して上方に引き上げられる(移動される)。また、押圧プレート16は、圧縮バネ161の付勢力によりさらに上方に持ち上げられる(移動される)。すなわち、押圧プレート16は、空気圧供給部34による空気圧と圧縮バネ161の付勢力とにより、吐出ピストン18から離間する方向(上方)に移動され、押圧プレート16と吐出ピストン18とは離間する。これにより、R軸モータ33の駆動力が遮断されて塗布(吐出)動作が行われるのを防止することが可能となる。すなわち、この状態では、R軸モータ33の駆動によりボールネジ14が回動してナット15が下方に移動したとしても、押圧プレート16は、吐出ピストン18から所定の距離を隔てて離間されているので、吐出ピストン18に当接する位置まで到達しない。このため、吐出ピストン18が下方に移動されないので、液状材の塗布(吐出)動作は行われない。上記のように、本実施形態の基板作業装置100では、空気圧供給部34から供給される空気圧により、クラッチ機構110を駆動してR軸モータ33の駆動力を遮断する。   First, the air pressure supply unit 34 is controlled by the control unit 5, and air is sucked from the air chamber 133c (see FIG. 5) of the dispense head 10 via the air pressure hose 341 as shown in FIG. To do). As a result, the arm piston 133 is pulled upward by the negative pressure. At this time, the upper arm 131 is released from the restriction by the inner side surface 133d of the arm piston 133 and can rotate about the pin 131a. Further, the protruding portion 131b of the upper arm 131 is pressed by the claw portion 134 that moves upward. As a result, the upper arm 131 is rotated about the pin 131a. Along with this, the pressing plate 16 is pulled upward (moved) via the ball screw 14 and the nut 15. Further, the pressing plate 16 is further lifted (moved) by the urging force of the compression spring 161. That is, the pressing plate 16 is moved in a direction (upward) away from the discharge piston 18 by the air pressure by the air pressure supply unit 34 and the biasing force of the compression spring 161, and the pressing plate 16 and the discharge piston 18 are separated from each other. As a result, it is possible to prevent the application (discharge) operation from being performed by interrupting the driving force of the R-axis motor 33. That is, in this state, even if the ball screw 14 is rotated by the drive of the R-axis motor 33 and the nut 15 moves downward, the pressing plate 16 is separated from the discharge piston 18 by a predetermined distance. The position that contacts the discharge piston 18 is not reached. For this reason, since the discharge piston 18 is not moved downward, the liquid material application (discharge) operation is not performed. As described above, in the substrate working apparatus 100 of the present embodiment, the clutch mechanism 110 is driven by the air pressure supplied from the air pressure supply unit 34 to cut off the driving force of the R-axis motor 33.

次に、図7を参照して、ヘッド装着部31に装着されるマウントヘッド20の構成について説明する。   Next, the configuration of the mount head 20 mounted on the head mounting portion 31 will be described with reference to FIG.

マウントヘッド20は、ヘッド装着部31の装着部本体311に装着可能に構成されている。具体的には、マウントヘッド20は、上記ディスペンスヘッド10の場合と同様に、円筒形状の装着部本体311に対して下方から挿入された状態で、ロックナット21により装着部本体311に固定されるように構成されている。ロックナット21の装着部本体311に挿入される部分には、装着部本体311の下端部に形成されたネジ溝311aに対応するネジ山21aが形成されている。これにより、ロックナット21を装着部本体311の下端部に螺合させてマウントヘッド20を装着部本体311に装着することが可能である。   The mount head 20 is configured to be mountable on the mounting portion main body 311 of the head mounting portion 31. Specifically, the mount head 20 is fixed to the mounting portion main body 311 by the lock nut 21 while being inserted from below into the cylindrical mounting portion main body 311 as in the case of the dispensing head 10. It is configured as follows. A thread 21 a corresponding to a thread groove 311 a formed at the lower end of the mounting portion main body 311 is formed at a portion of the lock nut 21 to be inserted into the mounting portion main body 311. As a result, it is possible to mount the mount head 20 to the mounting portion main body 311 by screwing the lock nut 21 into the lower end portion of the mounting portion main body 311.

また、マウントヘッド20は、円筒形状のヘッド外装22と、ヘッド外装22に挿入されたヘッド本体23と、ヘッド本体23の下部に取り付けられた吸着ノズル24とを含んでいる。   The mount head 20 includes a cylindrical head exterior 22, a head body 23 inserted into the head exterior 22, and a suction nozzle 24 attached to the lower portion of the head body 23.

ヘッド外装22の外側面と装着部本体311の内側面との間には、2つのYリング221が設けられている。また、ヘッド本体23は、鉛直方向(Z方向)に延びるように形成されている。また、ヘッド本体23は、3つのベアリング231により装着部本体311に対して鉛直軸回りに回動可能に支持されている。また、ヘッド本体23の上端部には、ボルト232aにより一対のS字形状の板バネ232が固定的に取り付けられている。一対の板バネ232は、上記ディスペンスヘッド10の一対の板バネ123と同様に、それぞれ、R軸シャフト331の2つの平坦面331dに当接してR軸シャフト331を挟持するように構成されている。これにより、ヘッド本体23は、R軸シャフト331が鉛直軸回りに回動することによってR軸シャフト331と一体的に鉛直軸回りに回動される。また、ヘッド本体23には、空気通路部233が形成されている。空気通路部233は、空気圧流入口311bおよび空気圧ホース341を介して空気圧供給部34に接続されている。   Two Y rings 221 are provided between the outer surface of the head exterior 22 and the inner surface of the mounting portion main body 311. The head body 23 is formed to extend in the vertical direction (Z direction). The head body 23 is supported by the three bearings 231 so as to be rotatable about the vertical axis with respect to the mounting portion body 311. A pair of S-shaped leaf springs 232 are fixedly attached to the upper end portion of the head body 23 by bolts 232a. The pair of leaf springs 232 are configured to abut against the two flat surfaces 331d of the R-axis shaft 331 and sandwich the R-axis shaft 331, like the pair of leaf springs 123 of the dispense head 10. . Thereby, the head main body 23 is rotated about the vertical axis integrally with the R-axis shaft 331 by the R-axis shaft 331 rotating about the vertical axis. An air passage portion 233 is formed in the head main body 23. The air passage part 233 is connected to the air pressure supply part 34 via the air pressure inlet 311 b and the air pressure hose 341.

吸着ノズル24は、取付部材25によりヘッド本体23に固定的に取り付けられている。また、吸着ノズル24は、貫通孔241を有し、貫通孔241は、ヘッド本体23の空気通路部233に連通されている。これにより、空気圧供給部34により負圧が供給されることによって、吸着ノズル24の下端部において部品を吸着して保持することが可能である。また、空気圧供給部34により正圧が供給されることによって、吸着ノズル24により保持された部品を離脱させることが可能である。また、吸着ノズル24は、ヘッド本体23が鉛直軸回りに回動することによってヘッド本体23と一体的に回動するように構成されている。このような構成により、吸着ノズル24により部品を保持した状態で、R軸モータ33を駆動して吸着ノズル24を鉛直軸回りに回動させることによって、保持した部品の姿勢を変えることが可能である。   The suction nozzle 24 is fixedly attached to the head main body 23 by an attachment member 25. The suction nozzle 24 has a through hole 241, and the through hole 241 communicates with the air passage portion 233 of the head body 23. As a result, the negative pressure is supplied by the air pressure supply unit 34, whereby the component can be sucked and held at the lower end portion of the suction nozzle 24. In addition, when the positive pressure is supplied from the air pressure supply unit 34, the components held by the suction nozzle 24 can be detached. Further, the suction nozzle 24 is configured to rotate integrally with the head main body 23 when the head main body 23 rotates about the vertical axis. With such a configuration, it is possible to change the posture of the held component by driving the R-axis motor 33 and rotating the suction nozzle 24 about the vertical axis while holding the component by the suction nozzle 24. is there.

本実施形態では、上記のように、ヘッド装着部31にディスペンスヘッド10が装着された場合には液状材が塗布されるようにディスペンスヘッド10を駆動し、ヘッド装着部31にマウントヘッド20が装着された場合にはマウントヘッド20を駆動するように構成してR軸モータ33をディスペンスヘッド10およびマウントヘッド20に共通に用いる。これにより、ヘッド装着部31にディスペンスヘッド10が装着された場合とマウントヘッド20が装着された場合とで、作業ヘッドを駆動するR軸モータ33を取り替える必要がないので、作業ヘッドを付け替える際には、共通に用いられるR軸モータ33以外の部分だけを付け替えることができる。これにより、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。また、R軸モータ33をディスペンスヘッド10およびマウントヘッド20の両方に共通に用いることができるので、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がない。したがって、この基板作業装置100では、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないとともに、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。また、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないので、駆動源の数を削減することができる。その結果、駆動源を基板作業装置100に設けたとしても、基板作業装置100の構成が複雑化するのを抑制することができる。また、マウントヘッド20からディスペンスヘッド10に付け替えられた場合でも、マウントヘッド20を駆動するためのR軸モータ33を液状材を塗布するための駆動源として流用することができるので、液状材の塗布作業専用の駆動源を別個に設ける必要がない。   In the present embodiment, as described above, when the dispensing head 10 is mounted on the head mounting portion 31, the dispensing head 10 is driven so that the liquid material is applied, and the mount head 20 is mounted on the head mounting portion 31. In such a case, the R-axis motor 33 is commonly used for the dispense head 10 and the mount head 20 so as to drive the mount head 20. This eliminates the need to replace the R-axis motor 33 that drives the work head between when the dispense head 10 is attached to the head attachment portion 31 and when the mount head 20 is attached. Can replace only the portion other than the commonly used R-axis motor 33. Thereby, the burden at the time of the replacement | exchange operation | work of the some work head which performs a mutually different operation | work can be reduced. Further, since the R-axis motor 33 can be commonly used for both the dispense head 10 and the mount head 20, it is not necessary to provide a separate drive source for each work head. Therefore, in this substrate working apparatus 100, it is not necessary to provide a separate drive source for each work head, and it is possible to reduce the burden when replacing a plurality of work heads that perform different works. Moreover, since it is not necessary to provide a separate drive source for each work head, the number of drive sources can be reduced. As a result, even if the drive source is provided in the substrate working apparatus 100, the configuration of the substrate working apparatus 100 can be suppressed from becoming complicated. Even when the mount head 20 is replaced with the dispense head 10, the R-axis motor 33 for driving the mount head 20 can be used as a drive source for applying the liquid material. There is no need to provide a separate drive source dedicated to work.

また、本実施形態では、ディスペンスヘッド10およびマウントヘッド20に共通に用いられ、R軸モータ33の駆動力をディスペンスヘッド10およびマウントヘッド20に伝達する共通のR軸シャフト331を設ける。これにより、ヘッド装着部31にディスペンスヘッド10が装着された場合とマウントヘッド20が装着された場合とで、共通のR軸モータ33のみならずR軸モータ33の駆動力を伝達するR軸シャフト331も取り替える必要がないので、作業ヘッドの付け替え作業時の負担をより軽減することができる。また、R軸モータ33のみならずR軸シャフト331の数も削減することができるので、基板作業装置100の構成が複雑化するのをより抑制することができる。   In the present embodiment, a common R-axis shaft 331 that is used in common for the dispense head 10 and the mount head 20 and transmits the driving force of the R-axis motor 33 to the dispense head 10 and the mount head 20 is provided. Accordingly, the R-axis shaft that transmits the driving force of the R-axis motor 33 as well as the common R-axis motor 33 when the dispense head 10 is mounted on the head mounting portion 31 and when the mount head 20 is mounted. Since it is not necessary to replace 331 as well, it is possible to further reduce the burden when replacing the work head. Further, since not only the R-axis motor 33 but also the number of R-axis shafts 331 can be reduced, it is possible to further suppress the configuration of the substrate working apparatus 100 from becoming complicated.

また、本実施形態では、ヘッド装着部31にマウントヘッド20が装着された場合には、R軸モータ33により、マウントヘッド20により保持された部品の姿勢を変えるようにマウントヘッド20を駆動する。これにより、ヘッド装着部31にディスペンスヘッド10が装着された場合とマウントヘッド20が装着された場合とで、それぞれ、液状材の塗布作業と保持部品の姿勢の変更作業とを共通のR軸モータ33を用いて行うことができるので、各作業専用のR軸モータ33を別個に設けることなく、ディスペンスヘッド10による液状材の塗布作業およびマウントヘッド20による保持部品の姿勢の変更作業を行うことができる。   In the present embodiment, when the mount head 20 is mounted on the head mounting portion 31, the mount head 20 is driven by the R-axis motor 33 so as to change the posture of the component held by the mount head 20. As a result, the common R-axis motor performs the liquid material application operation and the holding component posture change operation when the dispensing head 10 is mounted on the head mounting portion 31 and when the mount head 20 is mounted. 33, it is possible to perform a liquid material application operation by the dispense head 10 and a posture change operation of the holding component by the mount head 20 without separately providing an R-axis motor 33 dedicated to each operation. it can.

また、本実施形態では、4つのヘッド装着部31に複数のマウントヘッド20が装着された場合には、R軸モータ33により、装着された複数のマウントヘッド20を並行して駆動する。これにより、1つのR軸モータ33により、複数のマウントヘッド20を駆動することができるので、複数のマウントヘッド20のそれぞれに別個のR軸モータ33を設ける必要がない。   In the present embodiment, when a plurality of mount heads 20 are mounted on the four head mounting portions 31, the mounted mount heads 20 are driven in parallel by the R-axis motor 33. As a result, a plurality of mount heads 20 can be driven by one R-axis motor 33, so there is no need to provide a separate R-axis motor 33 for each of the plurality of mount heads 20.

また、本実施形態では、4つのヘッド装着部31にディスペンスヘッド10が装着された場合において、所定のディスペンスヘッド10が塗布作業を行う場合には、所定のディスペンスヘッド10以外のディスペンスヘッド10では、クラッチ機構110によりR軸モータ33の駆動力を遮断する。また、ヘッド装着部31に装着されたマウントヘッド20が実装作業を行う場合には、ヘッド装着部31に装着されたディスペンスヘッド10では、クラッチ機構110によりR軸モータ33の駆動力を遮断する。これにより、本実施形態のようにR軸モータ33を4つのヘッド装着部31に共通に用いる構成でも、駆動対象ではない(非駆動対象の)ディスペンスヘッド10については、クラッチ機構110によりR軸モータ33の駆動力が遮断されるので、駆動対象ではないディスペンスヘッド10により塗布(吐出)動作が行われてしまうのを防止することができる。   Further, in the present embodiment, when the dispensing head 10 is mounted on the four head mounting portions 31 and the predetermined dispensing head 10 performs a coating operation, the dispensing head 10 other than the predetermined dispensing head 10 The driving force of the R-axis motor 33 is cut off by the clutch mechanism 110. Further, when the mount head 20 mounted on the head mounting portion 31 performs a mounting operation, the driving force of the R-axis motor 33 is blocked by the clutch mechanism 110 in the dispense head 10 mounted on the head mounting portion 31. Thus, even in the configuration in which the R-axis motor 33 is commonly used for the four head mounting portions 31 as in the present embodiment, the R-axis motor is not driven (not driven) by the clutch mechanism 110 with respect to the dispense head 10. Since the drive force 33 is cut off, it is possible to prevent the application (discharge) operation from being performed by the dispense head 10 that is not the drive target.

また、本実施形態では、マウントヘッド20による部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部34から供給される空気圧により、ディスペンスヘッド10のクラッチ機構110を駆動してR軸モータ33の駆動力を遮断または伝達する。これにより、ディスペンスヘッド10のクラッチ機構110の駆動源として、マウントヘッド20による部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部34を流用することができるので、クラッチ機構110を駆動させるための専用の駆動源を別個に設ける必要がない。これによっても、基板作業装置100の構成が複雑化するのを抑制することができる。   Further, in the present embodiment, the driving force of the R-axis motor 33 is cut off by driving the clutch mechanism 110 of the dispensing head 10 by the air pressure supplied from the air pressure supply unit 34 that performs the component adsorption and mounting operations by the mount head 20. Or communicate. As a result, the air pressure supply unit 34 that performs component suction and mounting operations by the mount head 20 can be used as a drive source for the clutch mechanism 110 of the dispense head 10, and thus a dedicated drive for driving the clutch mechanism 110. There is no need to provide a separate source. Also by this, it can suppress that the structure of the substrate working apparatus 100 becomes complicated.

また、本実施形態では、空気圧供給部34から供給される空気圧によりクラッチ機構110をR軸モータ33の駆動力を遮断する方向に駆動する際に空気圧供給部34によるクラッチ機構110の駆動動作を補助する方向にクラッチ機構110を付勢する圧縮バネ161を設ける。これにより、部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部34をクラッチ機構110の駆動に流用する場合に、空気圧供給部34により供給される空気圧がクラッチ機構110を駆動するための空気圧としては小さい場合でも、圧縮バネ161により、空気圧供給部34によるクラッチ機構110の駆動動作が補助されるので、クラッチ機構110を確実に駆動させることができる。   Further, in the present embodiment, when the clutch mechanism 110 is driven by the air pressure supplied from the air pressure supply unit 34 in the direction in which the driving force of the R-axis motor 33 is cut off, the air pressure supply unit 34 assists the driving operation of the clutch mechanism 110. A compression spring 161 that urges the clutch mechanism 110 is provided in the direction to move. As a result, when the air pressure supply unit 34 that performs component suction and mounting operations is used for driving the clutch mechanism 110, the air pressure supplied by the air pressure supply unit 34 is small as the air pressure for driving the clutch mechanism 110. However, since the compression spring 161 assists the driving operation of the clutch mechanism 110 by the air pressure supply unit 34, the clutch mechanism 110 can be driven reliably.

また、本実施形態では、可動アーム13を屈曲させることによってR軸モータ33の駆動力が吐出ピストン18に伝達されるのを遮断するようにクラッチ機構110を構成する。これにより、クラッチ機構110により、可動アーム13を屈曲させるだけで容易にR軸モータ33の駆動力を遮断することができるので、容易に、駆動対象ではないディスペンスヘッド10により塗布(吐出)動作が行われてしまうのを防止することができる。   In the present embodiment, the clutch mechanism 110 is configured to block the transmission of the driving force of the R-axis motor 33 to the discharge piston 18 by bending the movable arm 13. As a result, the driving force of the R-axis motor 33 can be easily interrupted simply by bending the movable arm 13 by the clutch mechanism 110, so that the dispensing (discharge) operation can be easily performed by the dispense head 10 that is not the driving target. It can be prevented from being performed.

また、本実施形態では、クラッチ機構110により、可動アーム13を屈曲させることによって押圧プレート16を吐出ピストン18から離間する方向に移動して吐出ピストン18にR軸モータ33の駆動力が伝達されるのを遮断する。これにより、クラッチ機構110により、押圧プレート16を吐出ピストン18から離間する方向に移動して押圧プレート16と吐出ピストン18とが互いに接触しないように離間させることができるので、押圧プレート16と吐出ピストン18との間で駆動力の伝達が行われるのを防止することができる。その結果、R軸モータ33の駆動力を確実に遮断することができる。   Further, in this embodiment, the clutch mechanism 110 bends the movable arm 13 to move the pressing plate 16 away from the discharge piston 18, and the driving force of the R-axis motor 33 is transmitted to the discharge piston 18. Shut off. Thus, the clutch plate 110 can move the pressing plate 16 away from the discharge piston 18 so that the pressing plate 16 and the discharge piston 18 do not come into contact with each other. It is possible to prevent the driving force from being transmitted to the 18. As a result, the driving force of the R-axis motor 33 can be reliably interrupted.

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiments but by the scope of claims for patent, and further includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims for patent.

たとえば、上記実施形態では、本発明の第2作業ヘッドの一例として、実装用のマウントヘッドを示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ディスペンサ用の第1作業ヘッドと共通の駆動源を用いることが可能な構成であれば、第2作業ヘッドがマウントヘッド以外の作業ヘッドであってもよい。たとえば、第2作業ヘッドが基板や部品を検査するための検査ヘッドであってもよい。   For example, in the above embodiment, a mounting head for mounting is shown as an example of the second working head of the present invention, but the present invention is not limited to this. In the present invention, the second work head may be a work head other than the mount head as long as it can use a common drive source with the first work head for the dispenser. For example, the second working head may be an inspection head for inspecting a substrate or a component.

また、上記実施形態では、本発明の付勢部材の一例として、圧縮バネを示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、板バネなど、圧縮バネ以外の付勢部材であってもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the compression spring was shown as an example of the biasing member of this invention, this invention is not limited to this. In the present invention, for example, a biasing member other than a compression spring such as a leaf spring may be used.

また、上記実施形態では、本発明の駆動源の一例として、マウントヘッド(第2作業ヘッド)により保持された部品の姿勢を変えるようにマウントヘッドを駆動するR軸モータを示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第2作業ヘッドにより部品の姿勢を変える動作以外の動作が行われるように第2作業ヘッドを駆動する、R軸モータ以外の駆動源であってもよい。   In the above embodiment, as an example of the drive source of the present invention, the R-axis motor that drives the mount head so as to change the posture of the component held by the mount head (second working head) is shown. Is not limited to this. In the present invention, a drive source other than the R-axis motor that drives the second work head so that an operation other than the operation of changing the posture of the component by the second work head may be performed.

また、上記実施形態では、4つのヘッド装着部を設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、1つのヘッド装着部だけを設けてもよいし、4つ以外の複数のヘッド装着部を設けてもよい。   Moreover, although the example which provides four head mounting parts was shown in the said embodiment, this invention is not limited to this. In the present invention, only one head mounting portion may be provided, or a plurality of head mounting portions other than four may be provided.

10 ディスペンスヘッド(第1作業ヘッド)
13 可動アーム(アーム、クラッチ機構)
16 押圧プレート(駆動力伝達部)
18 吐出ピストン(ピストン)
20 マウントヘッド(第2作業ヘッド)
31 ヘッド装着部
33 R軸モータ(駆動源)
34 空気圧供給部
100 基板作業装置
110 クラッチ機構
133 アーム用ピストン(クラッチ機構)
161 圧縮バネ(付勢部材)
331 R軸シャフト(駆動軸)
10 Dispensing head (first working head)
13 Movable arm (arm, clutch mechanism)
16 Press plate (driving force transmission part)
18 Discharge piston (piston)
20 Mount head (second working head)
31 Head mounting part 33 R-axis motor (drive source)
34 Air Pressure Supply Unit 100 Substrate Working Device 110 Clutch Mechanism 133 Arm Piston (Clutch Mechanism)
161 Compression spring (biasing member)
331 R-axis shaft (drive shaft)

Claims (9)

基板に対して液状材の塗布作業を行うディスペンサ用の第1作業ヘッド、および、基板に対して前記第1作業ヘッドとは異なる作業を行う第2作業ヘッドを選択的に付け替え可能なヘッド装着部と、
前記第1作業ヘッドおよび前記第2作業ヘッドに共通に用いられ、前記ヘッド装着部に前記第1作業ヘッドが装着された場合には前記液状材が塗布されるように前記第1作業ヘッドを駆動し、前記ヘッド装着部に前記第2作業ヘッドが装着された場合には前記第2作業ヘッドを駆動する駆動源とを備える、基板作業装置。
A first working head for a dispenser that applies a liquid material to a substrate, and a head mounting portion that can selectively replace a second working head that performs a work different from the first working head on the substrate. When,
Commonly used for the first work head and the second work head, and when the first work head is mounted on the head mounting portion, the first work head is driven so that the liquid material is applied. A substrate working apparatus comprising: a drive source that drives the second work head when the second work head is attached to the head mounting portion.
前記第1作業ヘッドおよび前記第2作業ヘッドに共通に用いられ、前記駆動源の駆動力を前記第1作業ヘッドおよび前記第2作業ヘッドに伝達する共通の駆動軸をさらに備える、請求項1に記載の基板作業装置。   2. The apparatus according to claim 1, further comprising a common drive shaft that is used in common for the first work head and the second work head and transmits a driving force of the drive source to the first work head and the second work head. The board | substrate working apparatus of description. 前記第2作業ヘッドは、基板に部品を実装する実装用の作業ヘッドであり、
前記駆動源は、前記ヘッド装着部に実装用の前記第2作業ヘッドが装着された場合には、前記第2作業ヘッドにより保持された部品の姿勢を変えるように前記第2作業ヘッドを駆動するように構成されている、請求項1または2に記載の基板作業装置。
The second work head is a work head for mounting for mounting components on a substrate,
The drive source drives the second work head so as to change the posture of a component held by the second work head when the second work head for mounting is mounted on the head mounting portion. The board | substrate working apparatus of Claim 1 or 2 comprised as follows.
前記ヘッド装着部は複数設けられており、
前記駆動源は、複数の前記ヘッド装着部に共通に用いられ、複数の前記ヘッド装着部に複数の前記第2作業ヘッドが装着された場合には、複数の前記第2作業ヘッドを並行して駆動するように構成されている、請求項3に記載の基板作業装置。
A plurality of the head mounting portions are provided,
The drive source is used in common for the plurality of head mounting portions, and when the plurality of second working heads are mounted on the plurality of head mounting portions, the plurality of second working heads are arranged in parallel. The board | substrate working apparatus of Claim 3 comprised so that it might drive.
前記第1作業ヘッドは、前記液状材が塗布されないように前記駆動源の駆動力を遮断または前記液状材が塗布されるように前記駆動源の駆動力を伝達するクラッチ機構を有しており、
複数の前記ヘッド装着部に前記第1作業ヘッドが装着された場合において、所定の第1作業ヘッドが塗布作業を行う場合には、前記所定の第1作業ヘッド以外の第1作業ヘッドは、前記クラッチ機構により前記駆動源の駆動力が遮断されるとともに、前記ヘッド装着部に装着された前記第2作業ヘッドが基板に対して作業を行う場合には、前記ヘッド装着部に装着された前記第1作業ヘッドは、前記クラッチ機構により前記駆動源の駆動力が遮断されるように構成されている、請求項4に記載の基板作業装置。
The first working head has a clutch mechanism that cuts off the driving force of the driving source so that the liquid material is not applied or transmits the driving force of the driving source so that the liquid material is applied,
When the first work head is mounted on a plurality of the head mounting portions and the predetermined first work head performs a coating operation, the first work heads other than the predetermined first work head are When the driving force of the driving source is interrupted by the clutch mechanism and the second working head mounted on the head mounting portion performs an operation on the substrate, the second mounting head mounted on the head mounting portion is used. The substrate working apparatus according to claim 4, wherein one working head is configured such that the driving force of the driving source is interrupted by the clutch mechanism.
前記実装用の第2作業ヘッドによる部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部をさらに備え、
前記第1作業ヘッドの前記クラッチ機構は、前記空気圧供給部から供給される空気圧により駆動されて前記駆動源の駆動力を遮断または伝達するように構成されている、請求項5に記載の基板作業装置。
An air pressure supply unit for adsorbing and mounting components by the second working head for mounting;
The substrate work according to claim 5, wherein the clutch mechanism of the first work head is configured to be driven by air pressure supplied from the air pressure supply unit to cut off or transmit the driving force of the drive source. apparatus.
前記第1作業ヘッドは、前記空気圧供給部から供給される空気圧により前記クラッチ機構を前記駆動源の駆動力を遮断する方向に駆動する際に前記空気圧供給部による前記クラッチ機構の駆動動作を補助する方向に前記クラッチ機構を付勢する付勢部材を含んでいる、請求項6に記載の基板作業装置。   The first working head assists the driving operation of the clutch mechanism by the air pressure supply unit when driving the clutch mechanism in a direction to cut off the driving force of the drive source by the air pressure supplied from the air pressure supply unit. The substrate working apparatus according to claim 6, comprising a biasing member that biases the clutch mechanism in a direction. 前記第1作業ヘッドは、アームと、前記アームを介して前記駆動源の駆動力が伝達されるピストンとを含み、前記駆動源の駆動力が前記ピストンに伝達されることによって、前記ピストンにより前記液状材が前記第1作業ヘッドから押し出されるように構成されており、
前記クラッチ機構は、前記アームが屈曲されることによって前記駆動源の駆動力が前記ピストンに伝達されるのを遮断するように構成されている、請求項5〜7のいずれか1項に記載の基板作業装置。
The first working head includes an arm and a piston to which a driving force of the driving source is transmitted via the arm, and the driving force of the driving source is transmitted to the piston, whereby the piston causes the piston to transmit the driving force. The liquid material is configured to be pushed out of the first working head,
The said clutch mechanism is comprised so that it may interrupt | block that the driving force of the said drive source is transmitted to the said piston by the said arm being bent. Substrate working device.
前記第1作業ヘッドは、前記アームと前記ピストンとの間に配置され、前記駆動源の駆動力を前記アームから前記ピストンに伝達する駆動力伝達部をさらに含み、
前記クラッチ機構は、前記アームが屈曲されることによって前記駆動力伝達部が前記ピストンから離間する方向に移動されて前記ピストンに前記駆動源の駆動力が伝達されるのを遮断するように構成されている、請求項8に記載の基板作業装置。
The first working head further includes a driving force transmission unit that is disposed between the arm and the piston, and transmits a driving force of the driving source from the arm to the piston.
The clutch mechanism is configured to block transmission of the driving force of the driving source to the piston by moving the driving force transmitting portion away from the piston when the arm is bent. The substrate working apparatus according to claim 8.
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