JP4901683B2 - Parts supply device - Google Patents

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Description

本発明は、部品供給装置、特に電子部品を必要に応じて表裏反転させて表面実装装置に供給する際に適用して好適な部品供給装置に関する。   The present invention relates to a component supply device, and more particularly to a component supply device that is suitable for application when an electronic component is reversed and supplied to a surface mounting device as necessary.

位置決めされた基板上に電子部品を搭載する表面実装装置に対して、電子部品を表裏反転させて供給する従来の部品供給装置としては、例えば特許文献1に開示されているものがある。   For example, Patent Document 1 discloses a conventional component supply device that supplies an electronic component by reversing the front and back to a surface mount device that mounts the electronic component on a substrate that has been positioned.

この部品供給装置では、個別に用意される電子部品を、反転手段により予め反転させてシャトルに配列されている複数の吸着ノズルに反転状態で吸着させた後、該シャトルを表面実装装置の部品供給位置に直線移動させて供給している。   In this component supply device, electronic components prepared individually are reversed in advance by a reversing means and sucked in a reversed state by a plurality of suction nozzles arranged in the shuttle, and then the shuttle is supplied to the component of the surface mounting device. It is supplied with linear movement to the position.

なお、この特許文献1には、シャトルを回転テーブルを使って旋回移動させる例も開示されているが、省スペース化の上からも、又、制御精度の上からも、直線移動させる方が有利である。   Although Patent Document 1 discloses an example in which the shuttle is swung using a rotary table, it is more advantageous to move the shuttle linearly in terms of space saving and control accuracy. It is.

特開2004−179524号公報JP 2004-179524 A

しかしながら、電子部品を保持したシャトルを直線移動させて表面実装装置に電子部品を供給する前記従来の部品供給装置の場合は、表面実装装置が基板に対して電子部品の搭載動作を行なうために供給された電子部品を吸着している間は、次に供給する電子部品の反転動作を含む供給準備を行なうことができず、逆にシャトルに対して電子部品の供給準備をしている間は、基板に対して電子部品の搭載動作を行なうことができないために待機時間が発生することになり、昨今の部品搭載の高速化に対応することができないという問題があった。   However, in the case of the conventional component supply device that linearly moves the shuttle that holds the electronic component and supplies the electronic component to the surface mounting device, the surface mounting device supplies the electronic component for mounting on the substrate. While adsorbing the electronic component, it is not possible to prepare for supply including the reversing operation of the electronic component to be supplied next, and conversely, while preparing to supply the electronic component to the shuttle, Since the electronic component cannot be mounted on the substrate, a waiting time is generated, and there is a problem that it is not possible to cope with the recent increase in the speed of component mounting.

本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、表面実装装置の供給位置へ直線移動して部品を供給するシャトル(供給ヘッド)を採用した上で、シャトルに電子部品の供給準備をしている最中でも表面実装装置では搭載動作を行なうことができる部品供給装置を提供することを課題とする。   The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and employs a shuttle (supply head) that linearly moves to a supply position of a surface mount device to supply components, and then supplies electronic components to the shuttle. It is an object of the present invention to provide a component supply device that can perform a mounting operation in a surface mounting device even during preparation.

本発明は、保持部から移載ヘッドで取り出した電子部品を、適宜反転ヘッドで反転させ、搭載ヘッドで電子部品を基板上に搭載する表面実装装置の供給位置に供給する部品供給装置において、電子部品を保持する第1供給ヘッド及び第2供給ヘッドと、前記移載ヘッドで到達可能な第1受渡位置及び第2受渡位置と、前記搭載ヘッドが到達可能な第1供給位置及び第2供給位置との間を、第1供給ヘッド及び第2供給ヘッドをそれぞれ交互に往復直線移動させる第1駆動機構及び第2駆動機構と、前記第1受渡位置に対応する第1反転位置と、前記第2受渡位置に対応する第2反転位置との間を、前記反転ヘッドを往復直線移動させる第3駆動機構と、を備えたことにより、前記課題を解決したものである。   The present invention relates to a component supply apparatus in which an electronic component taken out from a holding unit by a transfer head is appropriately reversed by a reversing head, and the electronic component is supplied to a supply position of a surface mounting device on which the electronic component is mounted on a substrate by a mounting head. A first supply head and a second supply head for holding a component; a first delivery position and a second delivery position reachable by the transfer head; and a first supply position and a second supply position reachable by the mounting head A first drive mechanism and a second drive mechanism for alternately moving the first supply head and the second supply head back and forth alternately, a first reverse position corresponding to the first delivery position, and the second By providing a third drive mechanism for reciprocating linearly moving the reversing head between the second reversing position corresponding to the delivery position, the problem is solved.

本発明は、又、前記第1駆動機構が、離間された第1Aプーリ及び第1Bプーリに巻架された第1駆動ベルトと、該駆動ベルトに沿設された第1直動ガイドとを有し、前記第2駆動機構が、前記第1Aプーリ及び第1Bプーリに、同一間隔で対向配置された第2Aプーリ及び第2Bプーリに巻架された第2駆動ベルトと、該駆動ベルトに沿設された第2直動ガイドとを有し、前記第3駆動機構が、前記第1Aプーリ及び第2Aプーリとそれぞれ同軸固定された第3Aプーリ及び第3Bプーリに巻架された第3駆動ベルトと、該駆動ベルトに沿設された第3直動ガイドとを有し、前記第1供給ヘッドが第1受渡位置に、前記第2供給ヘッドが第2供給位置に、前記反転ヘッドが第1反転位置にそれぞれ一致している状態で、前記第1駆動ベルト、第2駆動ベルト、第3駆動ベルトに固定され、且つ、第1直動ガイド、第2直動ガイド、第3直動ガイドに案内可能に係合され、前記第3駆動機構を構成する第3Aプーリ又は第3Bプーリのいずれかが固定されている回転軸が駆動モータにより回転されるようにしてもよい。   In the present invention, the first drive mechanism may further include a first drive belt wound around the separated first A pulley and first B pulley, and a first linear motion guide provided along the drive belt. The second drive mechanism includes a second drive belt wound around the second A pulley and the second B pulley disposed opposite to the first A pulley and the first B pulley at the same interval, and the drive belt is provided along the drive belt. A third drive belt wound around a third A pulley and a third B pulley coaxially fixed with the first A pulley and the second A pulley, respectively. And a third linear motion guide provided along the drive belt, wherein the first supply head is at the first delivery position, the second supply head is at the second supply position, and the reversing head is at the first reversing position. The first drive belt in a state of being coincident with each position. The third drive belt is fixed to the second drive belt and the third drive belt, and is engaged with the first linear motion guide, the second linear motion guide, and the third linear motion guide in a guideable manner, and constitutes the third drive mechanism. The rotating shaft on which either the pulley or the third B pulley is fixed may be rotated by the drive motor.

本発明は、又、前記搭載ヘッド、第1供給ヘッド、第2供給ヘッド及び反転ヘッドのいずれも、同一方向に同一ピッチで配列された複数の吸着ノズルを有しているようにしてもよい。   In the present invention, each of the mounting head, the first supply head, the second supply head, and the reversing head may include a plurality of suction nozzles arranged at the same pitch in the same direction.

本発明によれば、保持部から電子部品を移載する移載ヘッドが到達可能な第1受渡位置及び第2受渡位置に、第1供給ヘッド及び第2供給ヘッドがそれぞれ交互に位置決め可能であると共に、移載ヘッドにより移載されて反転ヘッドに保持された電子部品を、第1反転位置又は第2反転位置で該反転ヘッドを反転動作させることにより、第1供給ヘッド又は第2供給ヘッドに選択的に受け渡すことを可能としたので、いずれかの受渡位置で一方の供給ヘッドに対して反転動作を含む部品の供給準備を行なっている間でも、供給位置に移動している他方の供給ヘッドからの部品搭載を行なうことができる。従って、待機時間を発生させることなく、基板に対する電子部品の搭載動作を継続して行なうことができる。   According to the present invention, the first supply head and the second supply head can be alternately positioned at the first delivery position and the second delivery position where the transfer head for transferring the electronic component from the holding unit can reach. At the same time, the electronic component transferred by the transfer head and held by the reversing head is reversed at the first reversing position or the second reversing position, so that the reversing operation is performed on the first feeding head or the second feeding head. Since it is possible to selectively deliver, the other supply that has moved to the supply position even while preparing to supply a part including a reversing operation to one supply head at any delivery position Parts can be mounted from the head. Therefore, the electronic component can be continuously mounted on the substrate without generating a waiting time.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明に係る一実施形態の部品供給装置が適用される表面実装装置の概要を示す平面図である。   FIG. 1 is a plan view showing an outline of a surface mounting apparatus to which a component supply apparatus according to an embodiment of the present invention is applied.

矩形のベース部を有する表面実装装置1は、複数の吸着ノズル2が装着されている搭載ヘッド3が、X軸ロボットアーム4によりX方向に移動されると共に、該X軸ロボットアーム4と一体でY軸ロボットアーム5によりY方向に移動され、供給位置に供給された電子部品を吸着ノズル2で吸着保持し、搬送装置6により搬入され、位置決めされている基板S上に搭載するようになっている。   In the surface mounting apparatus 1 having a rectangular base portion, a mounting head 3 on which a plurality of suction nozzles 2 are mounted is moved in the X direction by an X axis robot arm 4 and is integrated with the X axis robot arm 4. The electronic component moved in the Y direction by the Y-axis robot arm 5 and sucked and held by the suction nozzle 2 is mounted on the substrate S that has been transported and positioned by the transport device 6. Yes.

図中符号10で示す本実施形態の部品供給装置は、上記表面実装装置1のベース部に接合部10Aを介して連結位置決めされると共に、両者間の電気的接続がなされ、互いに信号の授受を行なうことによって動作の連携と状態の把握とが実現されている。   The component supply apparatus of the present embodiment indicated by reference numeral 10 in the drawing is connected and positioned to the base portion of the surface mounting apparatus 1 via the joint portion 10A, and is electrically connected between the two, and exchanges signals with each other. By doing so, the cooperation of the operation and the grasp of the state are realized.

この部品供給装置には、その全体の概要を図2の平面図に示すように、表面実装装置1とは反対側にストック部12が形成されている。このストック部12には、所定の回路形成領域を単位に格子状にダイシングすることにより、複数のベアチップとして分離されていると共に、裏側に粘着シートが貼り付けられているシリコンウェハ(以下、ダイシングウェハと言う)が複数枚積み重ねて保管されている。   In this component supply apparatus, a stock portion 12 is formed on the opposite side of the surface mounting apparatus 1 as shown in a plan view of FIG. The stock portion 12 is a silicon wafer (hereinafter referred to as a dicing wafer) that is separated into a plurality of bare chips by dicing in a grid pattern in units of a predetermined circuit formation region, and having an adhesive sheet attached to the back side. Are stored in piles.

ストック部12に保管されているダイシングウェハWは保持部14に引き出され、図示されているようにリング状の保持具に位置決め固定される。この保持部14の上方には、下端に電子部品を吸着保持するバキュームノズルが上下動可能に取り付けられた吸着ヘッド(移載ヘッド)16が、吸着位置認識装置(カメラ)18と一体でX軸ロボットアーム20によりX方向に移動されると共に、該X軸ロボットアーム20と一体でY軸ロボットアーム22によりY方向に移動可能に配設されている。   The dicing wafer W stored in the stock unit 12 is pulled out to the holding unit 14 and positioned and fixed to the ring-shaped holding tool as shown in the drawing. Above the holding portion 14, a suction head (transfer head) 16 having a vacuum nozzle that sucks and holds an electronic component at the lower end is attached so as to be movable up and down. The robot arm 20 is moved in the X direction, and is integrated with the X axis robot arm 20 so as to be movable in the Y direction by a Y axis robot arm 22.

本実施形態の部品供給装置10では、上記吸着ヘッド16がX軸ロボットアーム20とY軸ロボットアーム22により保持部14に位置決めされているダイシングウェハWの上方にXY移動され、指定されたベアチップ(図示せず)を吸着し、反転ヘッド24に吸着されているノズル24Aに受け渡すことにより、該反転ヘッド24に移載することが可能となっている。   In the component supply apparatus 10 of the present embodiment, the suction head 16 is XY-moved above the dicing wafer W positioned on the holding unit 14 by the X-axis robot arm 20 and the Y-axis robot arm 22 and specified bear chips ( (Not shown) is sucked and transferred to the nozzle 24 </ b> A sucked by the reversing head 24, so that it can be transferred to the reversing head 24.

本実施形態では、電子部品を吸着保持する第1供給ヘッド26と第2供給ヘッド28が、それぞれ左右に配設されている。   In the present embodiment, the first supply head 26 and the second supply head 28 that hold electronic components by suction are arranged on the left and right, respectively.

又、XY移動する吸着ヘッド16の到達可能範囲には第1受渡位置Aと第2受渡位置A´が設定され、前記表面実装装置1の搭載ヘッド3が到達可能範囲には第1供給位置Bと第2供給位置B´とが設定されている。   Further, the first delivery position A and the second delivery position A ′ are set in the reachable range of the suction head 16 that moves XY, and the first supply position B is set in the reachable range of the mounting head 3 of the surface mounting apparatus 1. And a second supply position B ′ are set.

そして、図中左側に位置する第1受渡位置Aと第1供給位置Bとの間を第1供給ヘッド26が、右側に位置する第2受渡位置A´と第2供給位置B´との間を第2供給ヘッド28が、第1駆動機構30及び第2駆動機構32によりそれぞれ交互に往復直線移動されるようになっている。   The first supply head 26 is between the first delivery position A and the first supply position B located on the left side in the drawing, and the second delivery position A ′ and the second supply position B ′ are located on the right side. The second supply head 28 is alternately reciprocated linearly by the first drive mechanism 30 and the second drive mechanism 32.

又、図3に拡大して示すように、第1駆動機構30は、Y方向に離間して配設された第1Aプーリ34と第1Bプーリ36との間に巻架された無端状の第1タイミングベルト(第1駆動ベルト)38と、該第1タイミングベルト38に沿設され、その回転に伴って固定されている第1供給ヘッド26をY方向に係合して案内する第1直動ガイド40とを有している。   Further, as shown in an enlarged view in FIG. 3, the first drive mechanism 30 has an endless first coil wound between a first A pulley 34 and a first B pulley 36 that are spaced apart in the Y direction. A first belt that engages and guides a timing belt (first driving belt) 38 and a first supply head 26 that is provided along the first timing belt 38 and that is fixed along with the rotation. And a moving guide 40.

第2駆動機構32は、同様にY方向に同一間隔に離間して配設された第2Aプーリ42と第2Bプーリ44との間に巻架された無端状の第2タイミングベルト(第2駆動ベルト)46と、該第2タイミングベルト46に沿設され、その回転に伴って固定されている第2供給ヘッド28をY方向に係合して案内する第2直動ガイド48とを有している。   Similarly, the second drive mechanism 32 has an endless second timing belt (second drive) wound between a second A pulley 42 and a second B pulley 44 that are spaced apart at the same interval in the Y direction. Belt) 46, and a second linear guide 48 that engages and guides the second supply head 28 that is provided along the second timing belt 46 and that is fixed as the belt rotates. ing.

又、本実施形態においては、前記第1受渡位置Aの第1供給ヘッド26に、反転した電子部品を受渡しできる第1反転位置A″と、前記第2受渡位置A´の第2供給ヘッド28に、反転した電子部品を受渡しできる第2反転位置B″との間を、それぞれ前記反転ヘッド24を往復直線移動させる第3駆動機構50を備えている。   In the present embodiment, the first reversing position A ″ at which the reversed electronic component can be delivered to the first feeding head 26 at the first delivery position A, and the second feeding head 28 at the second delivery position A ′. In addition, a third drive mechanism 50 is provided for moving the reversing head 24 back and forth between the second reversing position B ″ where the reversed electronic component can be delivered.

この第3駆動機構50は、図4に拡大して示す駆動モータ52に回転される駆動プーリ(第3Bプーリ)54と、X方向に離間して配設された従動プーリ(第3Aプーリ)56との間に巻架された無端状の第3タイミングベルト(第3駆動ベルト)58と、該第3タイミングベルト58に沿設され、その回転に伴って固定されている前記反転ヘッド24をX方向に係合して案内する第3直動ガイド60とを有している。   The third drive mechanism 50 includes a drive pulley (third B pulley) 54 that is rotated by a drive motor 52 shown in an enlarged manner in FIG. 4 and a driven pulley (third A pulley) 56 that is spaced apart in the X direction. And an endless third timing belt (third drive belt) 58 wound between the belt and the reversing head 24 which is provided along the third timing belt 58 and is fixed along with the rotation. And a third linear motion guide 60 that engages and guides in the direction.

又、図3、図4に示したように、駆動プーリ54及び従動プーリ56は、前記第2Aプーリ42及び第1Aプーリ34の下方にそれぞれ同軸固定されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the drive pulley 54 and the driven pulley 56 are coaxially fixed below the second A pulley 42 and the first A pulley 34, respectively.

従って、第1タイミングベルト38、第2タイミングベルト46及び第3タイミングベルト58に、第1供給ヘッド36、第2供給ヘッド28及び反転ヘッド24をそれぞれ図示されている位置関係で連結固定すると共に、対応する各直動ガイド40、48及び60に係合させることにより、後述する動作が可能となっている。   Accordingly, the first supply head 36, the second supply head 28, and the reversing head 24 are connected and fixed to the first timing belt 38, the second timing belt 46, and the third timing belt 58, respectively, in the illustrated positional relationship, By engaging with the corresponding linear motion guides 40, 48 and 60, the operation described later is possible.

又、前記搭載ヘッド3に装着されている複数の吸着ノズル2と同様に、反転ヘッド24、第1供給ヘッド26、第2供給ヘッド28には、それぞれ同数の吸着ノズル24A、26A、28Aが同一のピッチでX方向に一列に装着されている。   Similarly to the plurality of suction nozzles 2 mounted on the mounting head 3, the same number of suction nozzles 24A, 26A, and 28A are the same in the reversing head 24, the first supply head 26, and the second supply head 28, respectively. Are mounted in a row in the X direction at a pitch of.

更に、反転ヘッド24は、図5に要部を抽出し、又、図6に第1供給ヘッド26との対応関係を示すように、ベース部62にベース軸64を介して矢印方向に回転が可能に軸支されたフレーム65の先端部に複数の吸着ノズル24Aが装着された反転ヘッド24が固定されており、裏側にある反転モータ68により回転される第1反転プーリ66A及び第2反転プーリ66Bに巻回されている反転ベルト70により約180°の回転をすることにより、第1供給ヘッド26の吸着ノズル26Aに電子部品(図示せず)を反転受渡しができるようになっている。   Further, the reversing head 24 extracts the main part in FIG. 5, and the base 62 is rotated in the direction of the arrow through the base shaft 64 so as to show the correspondence with the first supply head 26 in FIG. A reversing head 24 having a plurality of suction nozzles 24A attached thereto is fixed to the tip of a frame 65 that is pivotally supported, and a first reversing pulley 66A and a second reversing pulley that are rotated by a reversing motor 68 on the back side. The electronic component (not shown) can be reversed and delivered to the suction nozzle 26A of the first supply head 26 by rotating about 180 ° by the reverse belt 70 wound around 66B.

本実施形態の部品供給装置を更に具体的に説明すると、第1供給ヘッド26、第2供給ヘッド28は、電子部品をバキュームによって吸着保持するための複数のノズル26A、28Aを有しており、第1直動ガイド40、第2直動ガイド48に沿ってそれぞれ互いに逆のY方向に移動可能になっている。第1Aプーリ34、第1Bプーリ36、第2Aプーリ42、第2Bプーリ44は、それぞれ第1タイミングベルト38、第2タイミングベルト46で駆動が連結されており、各ベルト38、46に第1供給ヘッド26、第2供給ヘッド28がそれぞれ固定されることにより、ベルトの駆動に応じてY方向に移動する構造になっている。   The component supply device of the present embodiment will be described more specifically. The first supply head 26 and the second supply head 28 have a plurality of nozzles 26A and 28A for sucking and holding electronic components by vacuum, The first linear motion guide 40 and the second linear motion guide 48 are movable in opposite Y directions. The first A pulley 34, the first B pulley 36, the second A pulley 42, and the second B pulley 44 are connected to each other by a first timing belt 38 and a second timing belt 46, and are supplied to the belts 38 and 46, respectively. The head 26 and the second supply head 28 are fixed, so that the head 26 and the second supply head 28 move in the Y direction according to the driving of the belt.

前記反転ヘッド24は、第3直動ガイド60上をX方向に移動可能に固定支持されており、第1反転プーリ66A、第2反転プーリ66Bの間に張られている反転ベルト70と一体となるように固定することにより、X方向に駆動されるようになっている。第1Aプーリ34と従動プーリ56、又、第2Aプーリ42と駆動プーリ54はそれぞれ同軸に固定されており、一体となって軸心を中心とした回転運動をするようになっている。   The reversing head 24 is fixedly supported so as to be movable in the X direction on the third linear motion guide 60, and is integrated with a reversing belt 70 stretched between the first reversing pulley 66A and the second reversing pulley 66B. By being fixed so as to be, it is driven in the X direction. The first A pulley 34 and the driven pulley 56, and the second A pulley 42 and the driving pulley 54 are fixed coaxially, and integrally rotate around the axis.

第2Aプーリ42を固定している軸は駆動モータ52に回転可能に連結され、該駆動モータ52が駆動プーリ54を回動させると、全てのプーリが同時に同じ角度だけ回転することになり、第1供給ヘッド26及び第2供給ヘッド28は互いに逆のY方向に、反転ヘッド24はX方向に同時に一体となって移動する。   The shaft that fixes the second A pulley 42 is rotatably connected to the drive motor 52. When the drive motor 52 rotates the drive pulley 54, all the pulleys rotate at the same angle at the same time. The first supply head 26 and the second supply head 28 move together in the opposite Y direction, and the reversing head 24 moves together in the X direction.

反転ヘッド24は、ベース軸64を支点に回動自在に固定されており、反転モータ68を動力として、前記図5に示した如く矢印の方向に凡そ180°回転し、第1供給ヘッド26又は第2供給ヘッド28に対する電子部品の反転受渡しを行なうことができるようになっている。   The reversing head 24 is fixed so as to be rotatable about the base shaft 64, and is rotated about 180 ° in the direction of the arrow as shown in FIG. The electronic component can be reversed and delivered to the second supply head 28.

以上の構成において、本実施形態におけるベアチップ搭載動作を説明する。   With the above configuration, the bare chip mounting operation in the present embodiment will be described.

吸着ヘッド16は、保持部14に固定されているダイシングウェハWから任意のベアチップを吸着した後、左右のストロークエンドである第1反転位置A″及び第2反転位置B″のどちらかに停止している反転ヘッド24に装着されているノズル24Aの1つの上方にXY移動され、位置決めされる。   The suction head 16 sucks an arbitrary bare chip from the dicing wafer W fixed to the holding unit 14, and then stops at either the first reverse position A ″ or the second reverse position B ″ that is the left and right stroke ends. XY moves above one of the nozzles 24A mounted on the reversing head 24, and is positioned.

位置決めされた吸着ヘッド16は、ノズルを降下させて下端のベアチップが反転ヘッド24のノズル24Aと当接した時点で、吸着ヘッド16側のバキュームがOFFし、反転ヘッド24側のバキュームをONすることにより、該ベアチップは反転ヘッド24のノズル24A上に受け渡される。なお、ここでは、図3のように反転ヘッド24が左側の第1受渡位置Aに対峙している第1反転位置A″にあるとして説明する。   The positioned suction head 16 lowers the nozzle so that the vacuum on the suction head 16 side is turned OFF and the vacuum on the reverse head 24 side is turned ON when the bare chip at the lower end contacts the nozzle 24A of the reverse head 24. Thus, the bare chip is transferred onto the nozzle 24A of the reversing head 24. Here, it is assumed that the reversing head 24 is at the first reversing position A ″ facing the first delivery position A on the left side as shown in FIG.

反転ヘッド24に対して必要な個数のベアチップの受渡しが完了すると、反転モータ65を駆動して反転ヘッド24をベース軸64を中心に回転させる。反転ヘッド24の各ノズル24A先端は、ベアチップ(図示せず)を保持したまま矢印A1方向のストロークエンド(第1受渡位置A)に停止している第1供給ヘッド26のノズル26Aに当接し、バキュームの切替えによりベアチップを受け渡す。   When delivery of a necessary number of bare chips to the reversing head 24 is completed, the reversing motor 65 is driven to rotate the reversing head 24 around the base shaft 64. The tip of each nozzle 24A of the reversing head 24 abuts the nozzle 26A of the first supply head 26 stopped at the stroke end (first delivery position A) in the direction of arrow A1 while holding a bare chip (not shown). Deliver bare chips by switching the vacuum.

反転ヘッド24から第1供給ヘッド26へのベアチップの受渡しが完了すると、駆動モータ52を動作させて、第1供給ヘッド26、反転ヘッド24、第2供給ヘッド28の3つのヘッドをそれぞれ矢印B1、B2、B3方向に移動させる。つまり、それぞれのヘッドは図2、図3に示す位置と反対側のストロークエンドに移動し、第2供給ヘッド28が第2受渡位置A´に停止する。   When the delivery of the bare chip from the reversing head 24 to the first supply head 26 is completed, the drive motor 52 is operated to move the three heads of the first supply head 26, the reversing head 24, and the second supply head 28 to the arrows B1, Move in the B2 and B3 directions. That is, each head moves to the stroke end opposite to the position shown in FIGS. 2 and 3, and the second supply head 28 stops at the second delivery position A ′.

矢印B1のストロークエンドの第1供給位置Bに停止した第1供給ヘッド26に対して、搭載ヘッド3がベアチップの受取動作を行ない、受け取ったベアチップを搭載基板S上に搭載する。この搭載動作の間に、吸着ヘッド16は保持部14のダイシングウェハWから新たにベアチップを吸着し、矢印B2方向のストロークエンドにある第2反転位置B″に位置決めされた反転ヘッド24上に移動させ、吸着ノズル24Aに対する移載動作を行なう。又、必要な回数の移載動作が完了した時点で、反転ヘッド24を回動させ、対峙する位置にある第2供給ヘッド28にベアチップを反転させて受け渡す。   The mounting head 3 performs a bare chip receiving operation on the first supply head 26 stopped at the first supply position B at the stroke end indicated by the arrow B1, and the received bare chip is mounted on the mounting substrate S. During this mounting operation, the suction head 16 newly sucks the bare chip from the dicing wafer W of the holding unit 14 and moves onto the reversing head 24 positioned at the second reversing position B ″ at the stroke end in the arrow B2 direction. Then, the transfer operation is performed with respect to the suction nozzle 24 A. When the necessary number of transfer operations are completed, the reversing head 24 is rotated and the bare chip is reversed to the second supply head 28 located at the opposite position. And hand it over.

搭載ヘッド3へのベアチップ受渡し、即ち第1供給ヘッド26から基板Sへの搭載動作が完了していれば、再度駆動モータ52を駆動し、第1供給ヘッド26、反転ヘッド24、第2供給ヘッド28の3つのヘッドを矢印A1、A2、A3の方向へと移動させる。   When the bare chip delivery to the mounting head 3, that is, the mounting operation from the first supply head 26 to the substrate S is completed, the drive motor 52 is driven again, and the first supply head 26, the reversing head 24, and the second supply head. The three heads 28 are moved in the directions of arrows A1, A2, and A3.

ベアチップを反転させない場合には、吸着ヘッド16による移載先を、反転ヘッド24ではなく第1供給ヘッド26又は第2供給ヘッド28にすることにより実現することが可能である。   When the bare chip is not reversed, the transfer destination by the suction head 16 can be realized by using the first supply head 26 or the second supply head 28 instead of the reversing head 24.

以上詳述した本実施形態によれば、2つの供給ヘッドが交互に部品を供給することができるので、従来のような吸着ヘッド16により供給ヘッドに電子部品を移載する際の受渡しによる搭載動作の妨げが発生することを防止できる。   According to the embodiment described in detail above, since the two supply heads can alternately supply the components, the mounting operation by the delivery when the electronic components are transferred to the supply head by the suction head 16 as in the prior art. Can be prevented from occurring.

又、反転ヘッド24、第1供給ヘッド26、第2供給ヘッド28の3つを1つの駆動モータ52で動作させることにより、コストや消費電力を低減させ、しかも複雑な制御を排除することができる。   In addition, by operating the reversing head 24, the first supply head 26, and the second supply head 28 with one drive motor 52, it is possible to reduce cost and power consumption, and to eliminate complicated control. .

更に、表面実装装置の搭載ヘッド3に装着されている複数の吸着ノズル2と、第1供給ヘッド26に装着されている吸着ヘッド26Aと、第2供給ヘッド28に装着されている複数の吸着ヘッド28Aと、反転ヘッド24に装着されている複数の吸着ノズル24Aとが、いずれも同一ピッチで一列に同一方向に配設したにより、非反転部品と共に反転部品の同時吸着の効率を大幅に向上することが可能となる。   Further, a plurality of suction nozzles 2 mounted on the mounting head 3 of the surface mounting apparatus, a suction head 26A mounted on the first supply head 26, and a plurality of suction heads mounted on the second supply head 28. 28A and the plurality of suction nozzles 24A mounted on the reversing head 24 are all arranged in the same direction in a line at the same pitch, thereby greatly improving the efficiency of simultaneous suction of the reversing parts together with the non-reversing parts. It becomes possible.

なお、前記実施形態では、駆動ベルトとしてタイミングベルトを採用したが、これに限定されず、一般的なベルトであっても、穴付きスチールベルトであっても良く、更にチェーンを使うこともできる。又、駆動モータで回転させるプーリ軸は、駆動力の伝達効率の上では2つのプーリが同軸固定されている方が有利であるが、これに限定されない。   In the above-described embodiment, the timing belt is used as the driving belt. However, the timing belt is not limited to this. The belt may be a general belt or a steel belt with a hole, and a chain may be used. In addition, the pulley shaft rotated by the drive motor is advantageous in that two pulleys are coaxially fixed in terms of transmission efficiency of the driving force, but is not limited to this.

本発明に係る一実施形態の部品供給装置と表面実装装置との関係の概要を示す平面図The top view which shows the outline | summary of the relationship between the component supply apparatus and surface mounting apparatus of one Embodiment which concern on this invention 本実施形態の部品供給装置の全体の概要を示す平面図The top view which shows the outline | summary of the whole component supply apparatus of this embodiment. 本実施形態の部品供給装置の要部を拡大して示す平面図The top view which expands and shows the principal part of the components supply apparatus of this embodiment 駆動モータと同軸プーリの関係を示す斜視図Perspective view showing relationship between drive motor and coaxial pulley 反転ヘッドを抽出し、拡大して示す斜視図A perspective view showing a reversing head extracted and enlarged 反転ヘッドと第1供給ヘッドとの関係を示す斜視図The perspective view which shows the relationship between a reversing head and a 1st supply head.

符号の説明Explanation of symbols

10…部品供給装置
10A…接合部
12…ストック部
14…保持部
16…吸着ヘッド(移載ヘッド)
18…吸着位置認識装置
20…X軸ロボットアーム
22…Y軸ロボットアーム
24…反転ヘッド
26…L供給ヘッド(第1供給ヘッド)
28…R供給ヘッド(第2供給ヘッド)
30…第1駆動機構
32…第2駆動機構
34…第1Aプーリ
36…第1Bプーリ
38…第1タイミングベルト(第1駆動ベルト)
40…第1直動ガイド
42…第2Aプーリ
44…第2Bプーリ
46…第2タイミングベルト(第2駆動ベルト)
48…第2直動ガイド
50…第3駆動機構
52…駆動モータ
54…駆動プーリ
56…従動プーリ
58…第3タイミングベルト(第3駆動ベルト)
60…第3直動ガイド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Component supply apparatus 10A ... Joint part 12 ... Stock part 14 ... Holding part 16 ... Adsorption head (transfer head)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 18 ... Adsorption position recognition apparatus 20 ... X-axis robot arm 22 ... Y-axis robot arm 24 ... Reversing head 26 ... L supply head (1st supply head)
28 ... R supply head (second supply head)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 ... 1st drive mechanism 32 ... 2nd drive mechanism 34 ... 1st A pulley 36 ... 1st B pulley 38 ... 1st timing belt (1st drive belt)
40 ... 1st linear motion guide 42 ... 2A pulley 44 ... 2B pulley 46 ... 2nd timing belt (2nd drive belt)
48 ... Second linear motion guide 50 ... Third drive mechanism 52 ... Drive motor 54 ... Drive pulley 56 ... Driven pulley 58 ... Third timing belt (third drive belt)
60 ... Third linear motion guide

Claims (3)

保持部から移載ヘッドで取り出した電子部品を、適宜反転ヘッドで反転させ、搭載ヘッドで電子部品を基板上に搭載する表面実装装置の供給位置に供給する部品供給装置において、
電子部品を保持する第1供給ヘッド及び第2供給ヘッドと、
前記移載ヘッドで到達可能な第1受渡位置及び第2受渡位置と、前記搭載ヘッドが到達可能な第1供給位置及び第2供給位置との間を、第1供給ヘッド及び第2供給ヘッドをそれぞれ交互に往復直線移動させる第1駆動機構及び第2駆動機構と、
前記第1受渡位置に対応する第1反転位置と、前記第2受渡位置に対応する第2反転位置との間を、前記反転ヘッドを往復直線移動させる第3駆動機構と、を備えたことを特徴とする部品供給装置。
In the component supply apparatus for supplying the electronic component taken out from the holding unit by the transfer head to the supply position of the surface mounting apparatus for appropriately reversing the electronic component by the reversing head and mounting the electronic component on the substrate by the mounting head.
A first supply head and a second supply head for holding electronic components;
The first supply head and the second supply head are arranged between the first delivery position and the second delivery position reachable by the transfer head and the first supply position and the second supply position reachable by the mounting head. A first drive mechanism and a second drive mechanism that alternately reciprocate linearly move,
A third drive mechanism that linearly moves the reversing head between a first reversing position corresponding to the first delivery position and a second reversing position corresponding to the second delivery position; A component supply device.
前記第1駆動機構が、離間された第1Aプーリ及び第1Bプーリに巻架された第1駆動ベルトと、該駆動ベルトに沿設された第1直動ガイドとを有し、
前記第2駆動機構が、前記第1Aプーリ及び第1Bプーリに、同一間隔で対向配置された第2Aプーリ及び第2Bプーリに巻架された第2駆動ベルトと、該駆動ベルトに沿設された第2直動ガイドとを有し、
前記第3駆動機構が、前記第1Aプーリ及び第2Aプーリとそれぞれ同軸固定された第3Aプーリ及び第3Bプーリに巻架された第3駆動ベルトと、該駆動ベルトに沿設された第3直動ガイドとを有し、
前記第1供給ヘッドが第1受渡位置に、前記第2供給ヘッドが第2供給位置に、前記反転ヘッドが第1反転位置にそれぞれ一致している状態で、前記第1駆動ベルト、第2駆動ベルト、第3駆動ベルトに固定され、且つ、第1直動ガイド、第2直動ガイド、第3直動ガイドに案内可能に係合され、
前記第3駆動機構を構成する第3Aプーリ又は第3Bプーリのいずれかが固定されている回転軸が駆動モータにより回転されることを特徴とする請求項1に記載の部品供給装置。
The first drive mechanism has a first drive belt wound around the separated first A pulley and first B pulley, and a first linear motion guide provided along the drive belt,
The second drive mechanism is disposed along the drive belt, the second drive belt wound around the second A pulley and the second B pulley disposed opposite to the first A pulley and the first B pulley at the same interval. A second linear motion guide,
The third drive mechanism includes a third drive belt wound around a third A pulley and a third B pulley coaxially fixed to the first A pulley and the second A pulley, respectively, and a third straight belt provided along the drive belt. A moving guide,
The first drive belt, the second drive, with the first supply head in the first delivery position, the second supply head in the second supply position, and the reversing head in the first reversing position, respectively. The belt is fixed to the third drive belt, and engaged with the first linear guide, the second linear guide, and the third linear guide so as to be guided.
The component supply device according to claim 1, wherein a rotation shaft on which either the third A pulley or the third B pulley constituting the third drive mechanism is fixed is rotated by a drive motor.
前記搭載ヘッド、第1供給ヘッド、第2供給ヘッド及び反転ヘッドのいずれも、同一方向に同一ピッチで配列された複数の吸着ノズルを有していることを特徴とする請求項1に記載の部品供給装置。   2. The component according to claim 1, wherein each of the mounting head, the first supply head, the second supply head, and the reversing head has a plurality of suction nozzles arranged at the same pitch in the same direction. Feeding device.
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