KR100977971B1 - Evaporation equipment - Google Patents

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KR100977971B1
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권진환
송교준
조성재
박기주
이현기
목진일
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두산메카텍 주식회사
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation

Abstract

본 발명은 증착 장치에 관한 것으로서, 상기 증착 장치는 프레임 상에 직선 왕복 이동 가능하게 설치된 이동 플레이트; 기판상에 증착될 수 있도록 증착 재료를 증발시키며, 상기 이동 플레이트에 상기 이동 플레이트가 이동하는 방향과 교차하는 방향으로 배치되게 설치된 복수의 증발원; 및 상기 이동 플레이트를 왕복 구동시키기 위한 구동 유닛을 포함하여, 구조를 단순화시킬 수 있을 뿐만 아니라 단시간에 균일한 두께로 증착 재료를 기판에 증착시킬 수 있게 된다. The present invention relates to a deposition apparatus, the deposition apparatus comprising: a moving plate installed on the frame so as to linearly reciprocate; A plurality of evaporation sources provided to evaporate the deposition material so as to be deposited on a substrate, the plurality of evaporation sources being disposed in the moving plate in a direction crossing the moving direction of the moving plate; And a drive unit for reciprocating the moving plate, which not only simplifies the structure but also enables the deposition material to be deposited on the substrate in a uniform thickness in a short time.

증착, 구동 유닛, 풀리, 스틸 벨트, 단순화 Deposition, drive unit, pulley, steel belt, simplified

Description

증착 장치{EVAPORATION EQUIPMENT}Evaporation Equipment {EVAPORATION EQUIPMENT}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 나타낸 사시도,1 is a perspective view schematically showing a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 2는 도 1에 도시된 증착 장치의 측면도,2 is a side view of the deposition apparatus shown in FIG.

도 3은 도 1에 도시된 증착 장치의 단면도,3 is a cross-sectional view of the deposition apparatus shown in FIG. 1;

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 사시도이다.4 is a perspective view of a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 참조부호에 대한 설명>DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS OF THE DRAWINGS

100; 프레임 110; 이동 플레이트100; Frame 110; Moving plate

120; 증발원 130; 가이드 유닛120; Evaporation source 130; Guide unit

132; 가이드 레일 134; 가이드 부재132; Guide rail 134; Guide member

135; 가이드 홈 140; 구동 유닛135; Guide groove 140; Drive unit

141; 구동 모터 142; 동력 전달 유닛141; Drive motor 142; Power transmission unit

143, 144; 베벨기어 145; 구동 풀리143, 144; Bevel gear 145; Driven pulley

146; 종동 풀리 147; 스틸 벨트146; Driven pulley 147; Steel belt

본 발명은 증착 장치에 관한 것으로서, 특히 간단한 구조로 대면적의 기판을 균일한 두께로 증착할 수 있는 증착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition apparatus, and more particularly, to a deposition apparatus capable of depositing a large area substrate with a uniform thickness with a simple structure.

일반적으로 증착 장치는 진공펌프에 의해 배기 및 감압된 진공조 내에서 증발원에 충전한 재료를 가열 및 증발시켜 기판에 부착시키기 위한 것이다. In general, the vapor deposition apparatus is for attaching to a substrate by heating and evaporating a material filled in an evaporation source in a vacuum chamber exhausted and decompressed by a vacuum pump.

최근에는 대면적의 기판을 단시간에 증착할 수 있는 증착 장치에 대한 필요성이 부각되면서, 기판의 폭과 대략 같은 길이의 가늘고 긴 개구부를 가지는 대형 증발원을 배치시키고 기판을 이동시키면서 증착 작업을 수행하는 증착 장치가 개발되었다. 그러나 이러한 증착 장치의 경우, 기판이 이동되는 공간을 확보해야하기 때문에 장치의 대형화가 불가피하고 대형 증발원의 온도 제어가 어렵기 때문에 증착막의 두께가 불균일하게 된다.In recent years, the need for a deposition apparatus capable of depositing a large area substrate in a short time has emerged, so that a large-scale evaporation source having an elongated opening having a length approximately equal to the width of the substrate is disposed and the deposition is performed while moving the substrate. The device was developed. However, in such a deposition apparatus, it is inevitable to increase the size of the apparatus because it is necessary to secure a space to move the substrate, and the thickness of the deposition film becomes uneven because it is difficult to control the temperature of the large evaporation source.

이러한 이유로 기판을 고정한 상태에서 하나의 증발원을 이동시키면서 증착 작업을 하는 증착 장치가 개발되었다. 그러나, 이러한 증착 장치는 증착 시간이 길어질 뿐만 아니라 볼 스크류와 같은 구동원을 이용하기 때문에 파티클(particle)이 많이 발생하게 된다.For this reason, a deposition apparatus has been developed for performing a deposition operation while moving one evaporation source while fixing a substrate. However, such a deposition apparatus not only has a long deposition time but also generates a lot of particles because it uses a driving source such as a ball screw.

또한, 상기와 같은 하나의 증발원과 하나의 구동원으로 이루어진 증발 유닛을 복수개 병렬 설치하여 대면적 기판을 단시간에 증착하려는 연구가 진행 중이나, 이러한 경우 복수의 증발원을 이동시키기 위해서는 복수의 구동원이 필요하기 때문에 증착 장치의 구조가 복잡해지고 증착 장치의 제조 비용이 상승한다.In addition, although a research is being conducted to deposit a large area substrate in a short time by installing a plurality of evaporation units including one evaporation source and one driving source in parallel, in this case, a plurality of driving sources are required to move the plurality of evaporation sources. The structure of the deposition apparatus becomes complicated and the manufacturing cost of the deposition apparatus increases.

본 발명은 상술한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 증착 시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 균일한 두께로 재료를 증착시킬 수 있는 증착 장치 를 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above-described point, and an object of the present invention is to provide a deposition apparatus capable of shortening the deposition time and depositing a material with a uniform thickness.

본 발명의 다른 목적은 구조를 간소화할 수 있을 뿐만 아니라 파티클의 발생을 최소화할 수 있는 증착 장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a deposition apparatus capable of simplifying the structure and minimizing the generation of particles.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 증착 장치는 프레임 상에 직선 왕복 이동 가능하게 설치된 이동 플레이트; 기판상에 증착될 수 있도록 증착 재료를 증발시키며, 상기 이동 플레이트에 상기 이동 플레이트가 이동하는 방향과 교차하는 방향으로 배치되게 설치된 복수의 증발원; 및 상기 이동 플레이트를 왕복 구동시키기 위한 구동 유닛을 포함한다.The deposition apparatus according to the present invention for achieving the above object is a moving plate installed on the frame to be linear reciprocating movement; A plurality of evaporation sources provided to evaporate the deposition material so as to be deposited on a substrate, the plurality of evaporation sources being disposed in the moving plate in a direction crossing the moving direction of the moving plate; And a drive unit for reciprocating the moving plate.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 증착 장치는 상기 이동 플레이트의 왕복 이동을 가이드 하는 가이드 유닛을 포함하며, 상기 가이드 유닛은 상기 프레임에 마련된 가이드 레일; 및 상기 가이드 레일이 삽입되는 가이드 홈이 형성되며, 상기 이동 플레이트에 고정되게 설치되는 가이드 부재를 포함한다. According to one embodiment of the invention, the deposition apparatus includes a guide unit for reciprocating the movement of the moving plate, the guide unit comprises a guide rail provided in the frame; And a guide groove into which the guide rail is inserted, the guide member being fixed to the moving plate.

상기 구동 유닛은 구동 모터; 및 상기 이동 플레이트가 직선 이동될 수 있도록 상기 구동 모터의 동력을 상기 이동 플레이트에 전달하는 동력 전달 유닛을 포함하며, 상기 동력 전달 유닛은 상기 프레임에 회전가능하게 설치되며, 상기 구동 모터에 의해 구동되는 구동 풀리; 상기 구동 풀리로부터 상기 이동 플레이트의 이동방향으로 이격되게 상기 프레임상에 회전가능하게 설치된 종동 풀리; 상기 구동 풀리 및 상기 종동 풀리에 결합되며, 상기 이동 플레이트가 이동될 수 있도록 상기 이동 플레이트가 고정되는 스틸 벨트; 및 상기 구동모터의 동력을 상기 구동 풀리 에 전달하는 한 쌍의 베벨 기어를 포함하며, 상기 구동 풀리와 상기 종동 풀리 및 상기 스틸 벨트 각각은 복수개가 상기 이동 플레이트가 이동하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되게 배치된다.The drive unit includes a drive motor; And a power transmission unit for transmitting the power of the driving motor to the moving plate so that the moving plate can be linearly moved, wherein the power transmitting unit is rotatably installed in the frame and driven by the drive motor. Drive pulley; A driven pulley rotatably mounted on the frame to be spaced apart from the driving pulley in a moving direction of the moving plate; A steel belt coupled to the drive pulley and the driven pulley, the moving plate being fixed to allow the moving plate to move; And a pair of bevel gears for transmitting power of the drive motor to the drive pulley, wherein each of the drive pulley, the driven pulley, and the steel belt is spaced apart from each other in a direction crossing the moving plate movement direction. Are arranged.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 구동 풀리는 상기 구동 모터의 구동축에 결합되어 상기 한 쌍의 베벨기어를 생략할 수 있게 된다.According to another embodiment of the present invention, the drive pulley is coupled to the drive shaft of the drive motor to omit the pair of bevel gears.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 증착 장치에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는, 프레임(100)과, 상기 프레임(100)에 직선 왕복 이동 가능하게 설치된 이동 플레이트(110)와, 상기 이동 플레이트(110) 상에 배치된 복수의 증발원(120)과, 상기 이동 플레이트(110)의 직선 이동을 가이드하는 가이드 유닛(130)과, 상기 이동 플레이트(110)을 직선 왕복 이동시키는 구동 유닛(140)을 포함한다.1 to 3, a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention includes a frame 100, a moving plate 110 installed in a linear reciprocating motion on the frame 100, and the moving plate ( A plurality of evaporation source 120 disposed on the 110, the guide unit 130 for guiding the linear movement of the movement plate 110, and the drive unit 140 for linear reciprocating movement of the movement plate 110 Include.

상기 이동 플레이트(110)는 상기 복수의 증발원(120)을 지지하여 함께 이동시키기 위한 것으로서, 그 상면에는 상기 복수의 증발원(120)이 배치되고, 그 하면에는 상기 이동 플레이트(110)를 상기 구동 유닛(140)과 연결하기 위한 한 쌍의 연결 부재(112)가 설치된다. 또한, 상기 이동 플레이트(110)의 하면에는 상기 이동 플레이트(110)를 상기 가이드 유닛(130)에 지지시키기 위한 한 쌍의 지지부재(114)가 설치된다. 본 실시예에서는 상기 이동 플레이트(110)를 직사각형의 플레이트로 예시하였으나, 상기 복수의 증발원(120)을 지지하여 함께 이동시킬 수만 있다면 형상 및 재질에 관계없이 다양하게 변형될 수 있다.The moving plate 110 is to support and move the plurality of evaporation sources 120, the upper surface of the plurality of evaporation sources 120 is disposed, the lower surface of the moving plate 110 to the drive unit A pair of connecting members 112 for connecting with 140 are installed. In addition, a pair of support members 114 for supporting the moving plate 110 to the guide unit 130 are installed on the lower surface of the moving plate 110. In the present exemplary embodiment, the moving plate 110 is illustrated as a rectangular plate. However, the moving plate 110 may be variously modified regardless of shape and material as long as it can support and move the plurality of evaporation sources 120 together.

상기 복수의 증발원(120)은 상기 이동 플레이트(110)의 상면에 이동 플레이 트(110)가 이동하는 방향과 수직되는 방향으로 배치된다. 상기 복수의 증발원(120)은 기판의 위치에 따라 일정한 두께로 증착될 수 있도록 동일한 간격으로 배치되는 것이 바람직하다. 한편, 상기 각 증발원(120)은 유기 EL 재료를 증착하는 경우, 상기 이동 플레이트(110)의 이동 방향으로 이격되게 배치된 호스트 증발원(124)과 게스트 증발원(122)을 포함할 수 있다. 상기 호스트 증발원(124)에는 호스트 재료가 충전되고, 게스트 증발원(122)에는 도펀트가 되는 게스트 재료가 충전되어 호스트 재료와 게스트 재료를 동시에 기판에 증착시킬 수 있다.The plurality of evaporation sources 120 are disposed in a direction perpendicular to a direction in which the moving plate 110 moves on the upper surface of the moving plate 110. The plurality of evaporation sources 120 are preferably arranged at equal intervals so as to be deposited at a constant thickness according to the position of the substrate. Meanwhile, each of the evaporation sources 120 may include a host evaporation source 124 and a guest evaporation source 122 spaced apart in the moving direction of the moving plate 110 when the organic EL material is deposited. The host evaporation source 124 may be filled with a host material, and the guest evaporation source 122 may be filled with a guest material serving as a dopant to deposit the host material and the guest material on the substrate at the same time.

이러한 증발원(120)들은 증착 재료를 가열 및 증발시킬 수 있도록 증착 재료가 충전된 도가니의 주위에 전열선을 배치시키는 공지된 구조를 가질 수 있다. 증발원(120)은 이미 공지된 사항이므로 증발원(120)의 증발 원리 및 구조에 대한 상세한 설명을 생략한다.These evaporation sources 120 may have a known structure that arranges heating wires around a crucible filled with the deposition material so as to heat and evaporate the deposition material. Since the evaporation source 120 is already known, a detailed description of the evaporation principle and structure of the evaporation source 120 will be omitted.

또한, 상기 각 증발원(120)의 부근에는 상기 증발원(120)의 증발량을 측정하기 위한 수정 진동자로 이루어진 센서(미 도시)가 배치된다. 상기 센서로부터 측정된 각 증발원(120)의 증발량을 근거로 제어부는 각 증발원(120)의 온도를 조절하여 증발 속도를 제어하게 된다.In addition, a sensor (not shown) including a crystal oscillator for measuring the evaporation amount of the evaporation source 120 is disposed in the vicinity of each evaporation source 120. The controller controls the evaporation rate by adjusting the temperature of each evaporation source 120 based on the evaporation amount of each evaporation source 120 measured by the sensor.

상기 가이드 유닛(130)은 상기 이동 플레이트(110)의 직선 왕복 이동을 가이드하기 위한 것으로서, 상기 이동 플레이트(110)의 지지부재(114)에 마련된 가이드 부재(134)와, 상기 프레임(100)에 마련된 가이드 레일(132)을 포함한다. 상기 가이드 부재(134)에는 상기 가이드 레일(132)이 삽입되는 가이드 홈(135)이 형성된다. 이와 같은 구조로 상기 이동 플레이트(110)는 상기 가이드 레일(132)를 따라 직선 왕복 이동하게 된다.The guide unit 130 is for guiding a linear reciprocation of the moving plate 110. The guide unit 130 is provided on the support member 114 of the moving plate 110 and the frame 100. It includes a guide rail 132 provided. The guide member 134 is formed with a guide groove 135 into which the guide rail 132 is inserted. In this structure, the moving plate 110 is linearly reciprocated along the guide rail 132.

본 실시예에서는 상기 가이드 레일(132)이 상기 프레임(100)에 고정되고, 가이드 홈(135)이 형성된 가이드 부재(134)가 이동 플레이트(110)에 고정되는 것을 예시하였으나, 상기 가이드 레일(132)이 상기 이동 플레이트(110)에 고정되게 설치되고 상기 가이드 홈(135)이 프레임(100)에 형성될 수도 있다.In the present exemplary embodiment, the guide rail 132 is fixed to the frame 100, and the guide member 134 having the guide groove 135 is fixed to the moving plate 110, but the guide rail 132 is fixed. ) May be fixed to the moving plate 110 and the guide groove 135 may be formed in the frame 100.

상기 구동 유닛(140)은 상기 이동 플레이트(110)를 이동시키기 위한 것으로서, 구동 모터(141)와, 상기 구동 모터(141)의 동력을 상기 이동 플레이트(110)에 전달하기 위한 동력 전달 유닛(142)을 포함한다.The driving unit 140 is for moving the moving plate 110, and a power transmission unit 142 for transmitting power of the driving motor 141 and the driving motor 141 to the moving plate 110. ).

상기 구동 모터(141)는 상기 프레임(100)에 고정되게 설치되며, 인가되는 전류의 방향에 따라 정회전과 역회전이 가능하다. 따라서, 상기 이동 플레이트(110)는 왕복이동이 가능하게 된다.The drive motor 141 is fixed to the frame 100 and is capable of forward rotation and reverse rotation according to the direction of the applied current. Therefore, the movable plate 110 is capable of reciprocating movement.

상기 동력 전달 유닛(142)은 상기 구동 모터(141)의 구동축(141a)에 연결되며, 서로 교차하는 축을 가지는 한 쌍의 베벨기어(143)(144)와, 상기 베벨기어(143)(144)와 연결된 구동 풀리(145)와, 상기 구동 풀리(145)에 의해 회전하는 종동 풀리(146)와, 상기 구동 풀리(145)와 상기 종동 풀리(146)를 연결하는 스틸 벨트(147)를 포함한다.The power transmission unit 142 is connected to the drive shaft 141a of the drive motor 141, and has a pair of bevel gears 143 and 144 having axes intersecting with each other, and the bevel gears 143 and 144. And a drive pulley 145 connected with the driven pulley 146 rotated by the drive pulley 145 and a steel belt 147 connecting the drive pulley 145 and the driven pulley 146. .

상기 베벨기어(143)(144)는 상기 구동 모터(141)의 구동축(141a)과 연결된 제1베벨기어(143)와, 상기 제1베벨기어(143)의 축과 90도로 교차하는 축을 가지는 제2베벨기어(144)를 포함한다. 상기 제1베벨기어(143)와 상기 제2베벨기어(144)는 상기 구동 모터(141)의 구동축(141a)이 상기 구동 풀리(145)의 축과 90도를 이루는 상태이기 때문에 회전 동력의 방향을 변환시키기 위한 것으로서, 상기 구동 모터(141)의 설치 위치 및 자세에 따라 삭제가 가능하다.The bevel gears 143 and 144 may include a first bevel gear 143 connected to the drive shaft 141a of the driving motor 141 and an axis intersecting the axis of the first bevel gear 143 by 90 degrees. And two bevel gears 144. Since the first bevel gear 143 and the second bevel gear 144 are in a state where the drive shaft 141a of the drive motor 141 forms 90 degrees with the axis of the drive pulley 145, the direction of rotational power For converting, it can be deleted according to the installation position and attitude of the drive motor 141.

상기 구동 풀리(145)는 상기 구동 모터(141)를 기준으로 양측에 이격되게 한 쌍이 설치된다. 보다 구체적으로, 상기 한 쌍의 구동 풀리(145)는 프레임(100)의 지지리브(104)에 회전 가능하게 설치되고, 상기 각 구동 풀리(145)는 상기 제2베벨기어(144)와 동일한 축(144a)을 가진다. 따라서, 상기 제2베벨기어(144)의 회전력은 상기 축(144a)을 통해 상기 구동 풀리(145)에 전달되게 된다.The driving pulley 145 is provided with a pair spaced apart from both sides with respect to the drive motor 141. More specifically, the pair of drive pulleys 145 are rotatably installed on the support ribs 104 of the frame 100, and the drive pulleys 145 are the same shaft as the second bevel gear 144. Has 144a. Accordingly, the rotational force of the second bevel gear 144 is transmitted to the driving pulley 145 through the shaft 144a.

상기 종동 풀리(146)는 상기 구동 풀리(145)에 의해 구동되며, 상기 구동 풀리(145)로부터 이동 플레이트(110)의 이동 방향으로 일정 거리 이격되게 배치된다. 상기 종동 풀리(146)도 상기 구동 풀리(145)에 대응되게 한 쌍이 상기 프레임(100)의 지지리브(104)에 회동가능하게 설치된다.The driven pulley 146 is driven by the driving pulley 145 and is disposed to be spaced apart from the driving pulley 145 by a predetermined distance in the moving direction of the moving plate 110. A pair of the driven pulley 146 is also rotatably installed on the support rib 104 of the frame 100 so as to correspond to the driving pulley 145.

상기 스틸 벨트(147)는 한 쌍이 각각 상기 구동 풀리(145)와 상기 종동 풀리(146)에 연결되어 회전하며, 상기 스틸 벨트(147)의 일 지점에 상기 이동 플레이트(110)가 고정된다. 보다 구체적으로, 상기 이동 플레이트(110)의 하면에 형성된 연결 부재(112)가 상기 스틸 벨트(147)에 고정된다. 이와 같은 구조로 상기 스틸 벨트(147)가 회전하면, 상기 이동 플레이트(110)가 상기 가이드 레일(132)을 따라 직선 이동하게 된다. 이와 같이 상기 이동 플레이트(110)를 이동시키기 위한 동력 전달 부재로 스틸 벨트(147)를 이용함으로써 볼 스크류와 같이 마찰이 많은 동력 전달 부재로부터 발생되는 파티클의 발생을 최소화시킬 수 있다. 파티클의 발생이 최소화되어 증착 물질이 도포된 기판의 불량율이 최소화될 수 있다. 한편, 상기 스 틸 벨트(147)와 상기 구동 풀리(145) 및 종동 풀리(146)를 감싸도록 하우징이 설치될 수 있으며, 이러한 경우, 상기 동력 전달 유닛(142)이 기판으로부터 완전히 밀폐되어 파티클에 의한 기판의 불량률을 더욱 줄일 수 있다.The pair of steel belts 147 is connected to the driving pulley 145 and the driven pulley 146, respectively, and rotates, and the moving plate 110 is fixed to one point of the steel belt 147. More specifically, the connecting member 112 formed on the lower surface of the moving plate 110 is fixed to the steel belt 147. When the steel belt 147 rotates as described above, the moving plate 110 moves linearly along the guide rail 132. As such, by using the steel belt 147 as a power transmission member for moving the moving plate 110, generation of particles generated from a frictional power transmission member such as a ball screw can be minimized. The generation of particles can be minimized to minimize the defect rate of the substrate on which the deposition material is applied. On the other hand, the housing may be installed to surround the steel belt 147, the drive pulley 145 and the driven pulley 146, in this case, the power transmission unit 142 is completely sealed from the substrate to the particle It is possible to further reduce the defective rate of the substrate.

이하, 이상과 같은 구성을 가지는 증착 장치의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the vapor deposition apparatus having the above configuration will be described.

우선, 기판을 상기 증발원(120)에 대향되게 배치시킨 상태에서 상기 증발원(120)에 전원을 인가하여 증착 재료를 증발시킨다. 이때, 상기 구동 모터(141)를 구동시켜 이동 플레이트(110)를 상기 가이드 레일(132)을 따라 이동시킨다. 보다 구체적으로, 상기 구동 모터(141)가 구동되면, 상기 제1베벨기어(143)와 제2베벨기어(144)를 통해 상기 한 쌍의 구동 풀리(145)가 회전하게 되고, 상기 구동 풀리(145)와 일정한 마찰력을 가지고 결합된 스틸 벨트(147)가 회전하게 된다. 그러면 상기 스틸 벨트(147)의 일 지점에 고정된 상기 이동 플레이트(110)가 이동하게 된다. 이때, 상기 이동 플레이트(110)에 설치된 복수의 증발원(120)은 상기 기판의 길이 방향으로 따라 이동하면 상기 기판 전체에 증착 재료를 증착시키게 된다.First, power is applied to the evaporation source 120 while the substrate is disposed to face the evaporation source 120 to evaporate the deposition material. In this case, the driving motor 141 is driven to move the moving plate 110 along the guide rail 132. More specifically, when the driving motor 141 is driven, the pair of driving pulleys 145 rotates through the first bevel gear 143 and the second bevel gear 144, and the driving pulley ( The steel belt 147 coupled with the constant friction force 145 is rotated. Then, the moving plate 110 fixed at one point of the steel belt 147 is moved. In this case, when the plurality of evaporation sources 120 installed in the moving plate 110 move along the longitudinal direction of the substrate, the deposition material is deposited on the entire substrate.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 나타낸 사시도로서, 이를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에서는 구동 모터(241)의 위치를 변경하여 본 발명의 일 실시예에서 이용되는 제1베벨기어(143)와 제2베벨기어(144)가 삭제되었다. 즉, 본 발명의 다른 실시예에 따른 동력 전달 유닛(242)은 상기 구동 모터(241)의 구동축(241a)에 상기 구동 풀리(245)가 직접 연결된다. 그리고, 상기 구동 풀리(245)는 스틸 벨트(247)에 의해 종동 풀리(246)와 연결된다. 이때, 상기 스틸 벨트(247)와 구동 풀리(245) 및 종동 풀리(246)는 상기 이동 플레이트(210)의 폭 방향 중앙에 위치되는 것이 바람직하다. 이는 상기 이동 플레이트(210)의 이동 방향으로 보다 효율적으로 구동력을 전달하기 위함이다. 이외에 상기 스틸 벨트(247)에 이동 플레이트(210)가 연결되는 구조와 상기 이동 플레이트(210)의 이동이 가이드되는 구조는 본 발명의 일 실시예와 동일하다.Figure 4 is a perspective view schematically showing a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention, with reference to this, in another embodiment of the present invention by changing the position of the drive motor 241 is used in one embodiment of the present invention The first bevel gear 143 and the second bevel gear 144 are deleted. That is, in the power transmission unit 242 according to another embodiment of the present invention, the drive pulley 245 is directly connected to the drive shaft 241a of the drive motor 241. In addition, the driving pulley 245 is connected to the driven pulley 246 by a steel belt 247. At this time, the steel belt 247, the driving pulley 245 and the driven pulley 246 is preferably located in the center of the width direction of the moving plate (210). This is to more efficiently transmit the driving force in the moving direction of the moving plate 210. In addition, the structure in which the moving plate 210 is connected to the steel belt 247 and the structure in which the movement of the moving plate 210 is guided are the same as in the embodiment of the present invention.

이와 같이, 구동 모터(241)의 구동축(241a)에 구동 풀리(245)를 직접 연결함으로써, 상기 증착 장치의 구조를 더욱 간소화시킬 수 있다.As such, the structure of the deposition apparatus may be further simplified by directly connecting the driving pulley 245 to the driving shaft 241a of the driving motor 241.

이상에서 설명한 본 발명에 의하면, 하나의 이동 플레이트에 복수의 증발원을 지지시키고 상기 이동 플레이트를 왕복 이동시키면서 고정된 기판에 증착 재료를 증착시킴으로써, 간단한 구조로 증착 시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 각각의 증발원에 대한 온도 제어가 용이하여 증착막 두께를 균일하게 유지할 수 있다.According to the present invention described above, by supporting a plurality of evaporation sources on one moving plate and depositing a deposition material on a fixed substrate while reciprocating the moving plate, it is possible to shorten the deposition time with a simple structure, Temperature control of the evaporation source can be easily performed to maintain the thickness of the deposited film uniformly.

특히, 복수의 증발원이 지지되는 이동 플레이트를 구동 모터와 스틸 벨트를 이용하여 왕복이동시킴으로써, 증착 장치 구동부의 구조를 간단히 할 수 있을 뿐만 아니라 구동부으로부터 발생되는 파티클을 최소화할 수 있게 된다.In particular, by reciprocating the moving plate on which the plurality of evaporation sources are supported using the driving motor and the steel belt, the structure of the vapor deposition apparatus driving unit can be simplified and the particles generated from the driving unit can be minimized.

또한, 구동 모터의 구동축을 구동 풀리에 직접 연결함으로써, 구동 유닛의 구조를 더욱 간소화시킬 수 있게 된다.In addition, by directly connecting the drive shaft of the drive motor to the drive pulley, it is possible to further simplify the structure of the drive unit.

이상에서 본 발명은 기재된 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연 한 것이다.Although the invention has been described in detail only with respect to the specific embodiments described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit of the invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims. will be.

Claims (8)

프레임 상에 직선 왕복 이동 가능하게 설치된 이동 플레이트;A moving plate installed on the frame to enable linear reciprocating movement; 기판상에 증착될 수 있도록 증착 재료를 증발시키며, 상기 이동 플레이트에 상기 이동 플레이트가 이동하는 방향과 교차하는 방향으로 배치되게 설치된 복수의 증발원;A plurality of evaporation sources provided to evaporate the deposition material so as to be deposited on a substrate, the plurality of evaporation sources being disposed in the moving plate in a direction crossing the moving direction of the moving plate; 구동모터;Drive motor; 상기 프레임에 회전가능하게 설치되며, 상기 구동 모터에 의해 구동되는 구동 풀리;A drive pulley rotatably installed on the frame and driven by the drive motor; 상기 구동 풀리로부터 상기 이동 플레이트의 이동방향으로 이격되게 상기 프레임상에 회전가능하게 설치된 종동 풀리; 및A driven pulley rotatably mounted on the frame to be spaced apart from the driving pulley in a moving direction of the moving plate; And 상기 구동 풀리 및 상기 종동 풀리에 결합되어 회전 운동하며, 상기 이동 플레이트가 이동될 수 있도록 상기 이동 플레이트에 고정되는 스틸 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.And a steel belt coupled to the drive pulley and the driven pulley to rotate and fixed to the moving plate so that the moving plate can be moved. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이동 플레이트의 왕복 이동을 가이드 하는 가이드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.And a guide unit to guide the reciprocating movement of the moving plate. 제2항에 있어서, 상기 가이드 유닛은,The method of claim 2, wherein the guide unit, 상기 프레임에 마련된 가이드 레일; 및A guide rail provided on the frame; And 상기 가이드 레일이 삽입되는 가이드 홈이 형성되며, 상기 이동 플레이트에 고정되게 설치되는 가이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.And a guide member into which the guide rail is inserted, the guide member being fixed to the moving plate. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 구동모터의 동력을 상기 구동 풀리에 전달하는 한 쌍의 베벨 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.And a pair of bevel gears for transmitting power of the drive motor to the drive pulley. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구동 풀리는 상기 구동 모터의 구동축에 결합되는 것을 특징으로 하는 증착 장치.And the drive pulley is coupled to a drive shaft of the drive motor. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구동 풀리와 상기 종동 풀리 및 상기 스틸 벨트 각각은 복수개가 상기 이동 플레이트가 이동하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되게 배치되는 것을 특징으로 하는 증착 장치.And the plurality of driving pulleys, the driven pulleys, and the steel belts are spaced apart from each other in a direction crossing the direction in which the moving plate moves.
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