KR101605310B1 - Mask centering block of deposition device - Google Patents

Mask centering block of deposition device Download PDF

Info

Publication number
KR101605310B1
KR101605310B1 KR1020140025079A KR20140025079A KR101605310B1 KR 101605310 B1 KR101605310 B1 KR 101605310B1 KR 1020140025079 A KR1020140025079 A KR 1020140025079A KR 20140025079 A KR20140025079 A KR 20140025079A KR 101605310 B1 KR101605310 B1 KR 101605310B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
frame
ball
centering
centering blocks
Prior art date
Application number
KR1020140025079A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150103526A (en
Inventor
최윤기
김광운
Original Assignee
최윤기
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 최윤기 filed Critical 최윤기
Priority to KR1020140025079A priority Critical patent/KR101605310B1/en
Publication of KR20150103526A publication Critical patent/KR20150103526A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101605310B1 publication Critical patent/KR101605310B1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

본 발명은 OLED 유기 박막의 생성을 위해 사용되는 증착기의 진공챔버 내에서 마스크 프레임 교체시 마스크 베이스 위에 위치하게 될 마스크 프레임이 정확한 위치에 안착될 수 있도록 유도해 주는 증착기의 마스크 센터링 블록을 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 증착기의 마스크 센터링 블록은, 기판 상에 박막의 유기물을 증착시키기 위한 증착기에서 증착기의 진공챔버 내에 장착되는 마스크 교체시 마스크 프레임이 마스크 베이스 위의 정확한 위치에 평탄하게 안착될 수 있게 하기 위하여 사용되는데, 각 마스크 베이스에는 좌우 및 전후 센터링 블록을 각각 구비하여 구성되고, 좌우 및 전후 센터링 블록은, 마스크 베이스에 장착되게 되는 고정블록부: 상기 고정블록부의 상부에 위치하게 되며, 양측면이 고정블록부와의 사이에 위치하는 볼베어링을 중심으로 일정 범위 내에서 회동 가능하도록 설치되고, 상면에 마스크 프레임이 안착되게 되는 프레임안착부를 구비하는 본체부; 본체부를 관통하도록 설치되고, 전면에 볼(ball)이 위치하며, 볼의 전후 이동량을 조절하기 위한 조절부재를 구비한 볼플란저를 각각 구비하여 구성되고, 좌우 센터링 블록은 마스크를 로딩시킬 때 마스크 프레임의 위치를 확인하기 위한 포지션센서를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a mask centering block for an evaporator that, when replacing a mask frame in a vacuum chamber of an evaporator used for the production of an OLED organic thin film, will be.
The mask centering block of the deposition apparatus according to the present invention is a mask centering block for depositing a thin film organic material on a substrate so that the mask frame mounted in the vacuum chamber of the deposition apparatus can be placed flat at a precise position on the mask base, The left and right and front and rear centering blocks are located at the upper portion of the fixed block portion to be mounted on the mask base and are fixed to both sides of the fixed block portion. A main body portion rotatably disposed within a predetermined range about a ball bearing positioned between the main body and the block portion, and having a frame seating portion on which a mask frame is seated; And a ball flange provided to penetrate through the main body and having a ball at the front thereof and having an adjusting member for adjusting the amount of back and forth movement of the ball, And a position sensor for confirming the position of the frame.

Description

증착기의 마스크 센터링 블록{Mask centering block of deposition device}[0001] Mask centering block of deposition device [0002]

본 발명은 증착기의 마스크 센터링 블록에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 증착기의 진공챔버 내에서 마스크 프레임 교체시 마스크 베이스 위에 위치하게 될 마스크 프레임이 정확한 위치에 안착될 수 있도록 해주는 증착기의 마스크 센터링 블록에 관한 것이다.
The present invention relates to a mask centering block of an evaporator and more particularly to a mask centering block of an evaporator that allows a mask frame to be placed on a mask base to be positioned in a correct position when replacing a mask frame in a vacuum chamber of an evaporator .

OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판을 제조하기 위해서는 기판 상에 TFT(Thin Film Transistor)를 형성하기 위한 무기물 증착공정과 패터닝 공정이 반복적으로 이루어지고, 이후 발광 셀을 구성하기 위한 유기물 증착이 이루어진다. 이러한 유기 박막을 형성하는데 사용되는 전형적인 OLED 증착기는 일반적으로 다음과 같은 공정을 수행한다. 먼저, 스퍼터링(sputtering)에 의해 유리 기판의 표면에 다수의 ITO 박막 패턴을 증착한 후, ITO 박막의 전처리 공정으로서, 양극으로 사용되는 ITO로부터 정공이 보다 원할하게 발광층까지 이동할 수 있도록 방전, 자외선 또는 플라즈마를 이용하여 표면을 산화시킨다. 이어서, 유기 박막 증착 공정으로, 고진공 상태에서 진공 증착 방식을 이용하여 유리 기판의 표면에 순차적으로 유기 박막을 형성한다.
In order to manufacture an OLED (Organic Light Emitting Diodes) substrate, an inorganic material deposition process and a patterning process are repeatedly performed to form a TFT (Thin Film Transistor) on a substrate. Organic materials are then deposited to form a light emitting cell. A typical OLED evaporator used to form such an organic thin film generally performs the following process. First, a plurality of ITO thin film patterns are deposited on the surface of a glass substrate by sputtering. Then, as a pretreatment process of the ITO thin film, discharge, ultraviolet rays or ultraviolet rays are applied so that holes can be moved from the ITO used as an anode to the light emitting layer Plasma is used to oxidize the surface. Subsequently, an organic thin film is sequentially formed on the surface of the glass substrate by a vacuum deposition method in a high vacuum state in the organic thin film deposition step.

이러한 박막들이 증착되는 진공챔버의 구조는 통상 재료의 증발원, 막두께 제어센서, 유리 기판과 금속 새도우 마스크를 얼라인(align)할 수 있는 기구 및 재료를 증발시키기 위한 전원 공급원 등으로 이루어져 있다. 이러한 유기 박막의 증착이 완료된 후에는 금속 전극 증착, 보호막 증착 및 봉지 공정이 순차적으로 수행된다. 여기서, 유기 박막 형성공정을 살펴보면, 먼저 투명한 유리 기판 상에 형성된 ITO 박막 패턴 위에 격벽을 형성한 후 유기 박막중 공통적으로 필요한 전자 수송층, 정공 수송층 등을 형성한 다음 RGB 3색을 위해 각각 준비된 금속 새도우 마스크를 순차적으로 사용하여 각각의 색을 내는 유기 발광층을 형성한다.
The structure of the vacuum chamber in which these thin films are deposited usually consists of an evaporation source of material, a film thickness control sensor, a mechanism capable of aligning the glass substrate and the metal shadow mask, and a power source for evaporating the material. After the deposition of the organic thin film is completed, the metal electrode deposition, the protective film deposition, and the sealing process are sequentially performed. Here, the organic thin film forming process will be described. First, a barrier rib is formed on an ITO thin film pattern formed on a transparent glass substrate, and then an electron transport layer and a hole transport layer, which are common among the organic thin films, are formed. Then, An organic light emitting layer for emitting each color is formed by sequentially using a mask.

한편, 유리 기판과 금속 새도우 마스크의 얼라인먼트를 위해 자석판을 이용했었는데, 수 ㎛ 이내로 위치 공차를 맞추어야 하기 때문에 마스크를 스트레칭에 유리하게 하고 반발력이 크지 않게 설계한다는 것이 매우 어려워, 특허 제833769호와 같은 기술이 출현하였으나, 상기 특허도 자석판을 이용하는 것이어서 많은 문제점이 도출되게 되었다.
On the other hand, since a magnet plate is used for alignment between the glass substrate and the metal shadow mask, since it is necessary to adjust the position tolerance within a few micrometers, it is very difficult to design the mask so that it is advantageous for stretching and the repulsion is not large. However, the above patent also uses a magnetic plate, resulting in many problems.

따라서 최근에는 새로운 방식으로, 기판 상에 초박막의 유기물을 증착시키는 증착기의 진공챔버에서 마스크를 교체할 때 마스크의 정확한 위치를 맞추기 위한 마스크 센터링은 사각 형태의 마스크 베이스 위에 대각선 방향으로 핀(pin)을 박고 마스크 프레임에는 홀(hole)을 형성하여, 홀에 핀이 삽입되도록 하는 방식으로 마스크 센터링을 맞추고 있다. 하지만, 수 ㎛ 이내로 위치 공차를 맞추어야 하기 때문에 동시에 2개의 홀에 정확히 핀이 삽입되지 못하면서 평탄하게 안착을 못하게 되어 마스크 프레임에 장착된 두께 20㎛ 정도의 매우 얇은 마스크가 손상된다거나 기판 상에 균일한 두께의 초박막을 증착시킬 수 없는 문제를 야기하게 된다.
In recent years, mask centering to accurately position the mask when replacing the mask in a vacuum chamber of a vacuum evaporator that deposits ultra-thin organic materials on a substrate in a new way has a pin in the diagonal direction on a rectangular mask base A mask is centered in such a manner that a hole is formed in the buried mask frame so that the pin is inserted into the hole. However, since the position tolerance must be adjusted within a few micrometers, it is impossible to insert the pin precisely into the two holes at the same time, thereby making it impossible to mount the mask flat. Thus, a very thin mask having a thickness of about 20 mu m mounted on the mask frame may be damaged, It is impossible to deposit an ultra-thin film of the present invention.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, OLED 유기 박막의 생성을 위해 사용되는 증착기의 진공챔버 내에서 마스크 프레임 교체시 마스크 베이스 위에 위치하게 될 마스크 프레임이 정확한 위치에 안착될 수 있도록 유도해 주는 증착기의 마스크 센터링 블록을 제공하기 위한 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an OLED organic thin film forming apparatus and a method of fabricating the OLED organic thin film, And to provide a mask centering block of a deposition apparatus that guides the mask centering block to its position.

상기와 같은 과제 해결을 위해 본 발명에 따른 증착기의 마스크 센터링 블록은, 기판 상에 박막의 유기물을 증착시키기 위한 증착기에서 증착기의 진공챔버 내에 장착되는 마스크 교체시 마스크 프레임이 마스크 베이스 위의 정확한 위치에 평탄하게 안착될 수 있게 하기 위하여 사용되는데, 각 마스크 베이스에는 좌우 및 전후 센터링 블록을 각각 구비하여 구성되고, 상기 좌우 및 전후 센터링 블록은, 마스크 베이스에 장착되게 되는 고정블록부: 상기 고정블록부의 상부에 위치하게 되며, 양측면이 상기 고정블록부와의 사이에 위치하는 볼베어링을 중심으로 일정 범위 내에서 회동 가능하도록 설치되고, 상면에 마스크 프레임이 안착되게 되는 프레임안착부를 구비하는 본체부; 상기 본체부를 관통하도록 설치되고, 전면에 볼(ball)이 위치하며, 상기 볼의 전후 이동량을 조절하기 위한 조절부재를 구비한 볼플란저를 각각 구비하여 구성되고, 상기 좌우 센터링 블록은 마스크를 로딩(loading)시킬 때 마스크 프레임의 위치를 확인하기 위한 포지션센서를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
In order to solve the above problems, a mask centering block of a deposition apparatus according to the present invention is characterized in that a mask frame mounted on a vacuum chamber of an evaporator in an evaporator for depositing a thin film organic substance on a substrate, Wherein the left and right centering blocks and the front and rear centering blocks are mounted on the mask base, wherein the right and left centering blocks are mounted on the upper portion of the fixed block portion, A main body part having a frame seating part which is rotatable within a predetermined range around a ball bearing positioned between the both sides of the fixed block part and on which a mask frame is seated; And a ball flange provided to pass through the body portion and having a ball positioned on the front surface thereof and having an adjusting member for adjusting the amount of back and forth movement of the ball, and a position sensor for confirming the position of the mask frame when loading the mask frame.

바람직하게는, 1개의 마스크 베이스에는, 사각 형상의 마스크 베이스의 가장자리를 따라 좌우방향에서 각각 일정 간격으로 2개씩 총 4개의 좌우 센터링 블록이 설치되고, 전후방향에서 각각 1개씩 총 2개의 전후 센터링 블록이 설치된다.
Preferably, in one mask base, a total of four right and left centering blocks are provided, two at a certain interval in the lateral direction along the edge of the rectangular mask base, and a total of two front and rear centering blocks Respectively.

바람직하게는, 좌우 및 전후 센터링 블록의 본체부 중 프레임안착부 일단은, 마스크의 로딩·언로딩에 따라 일정 각도 상하방향으로 회동하도록 장착되며, 마스크 프레임이 마스크 베이스에 장착되었을 때 볼플란저의 볼이 마스크 프레임의 측면쪽에 위치하도록 설치된다.
Preferably, one end of the frame seating portion of the body portion of the left and right and front and rear centering blocks is mounted so as to pivot in a vertical direction at a predetermined angle in accordance with loading / unloading of the mask. When the mask frame is mounted on the mask base, Is installed on the side of the mask frame.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 증착기의 마스크 센터링 블록은, 사각 형상의 마스크 베이스의 가장자리를 따라 좌우방향에서 각각 2개씩 총 4개의 좌우 센터링 블록과, 전후방향에서 각각 1개씩 총 2개의 센터링 블록이 장착되어 마스크 프레임의 정확한 위치를 감지하면서, 마스크 베이스 위에 안착되게 될 마스크 프레임이 정확한 위치에 안착될 수 있도록 유도해 주기 때문에 증착기의 진공챔버 내에서 마스크 프레임 교체시 마스크 프레임에 장착된 두께 20㎛ 정도의 매우 얇은 마스크가 손상되지 않을 뿐만 아니라 정확한 센터링을 함으로써 기판 상에 균일한 두께의 박막을 증착시킬 수 있게 해준다.
The mask centering block of the evaporator according to the present invention having the above-described features comprises a total of four right and left centering blocks, two each in the left and right direction along the edge of the rectangular mask base, and a total of two centering blocks The thickness of the mask frame mounted on the mask frame when replacing the mask frame in the vacuum chamber of the deposition machine is reduced by 20% since the mask frame mounted on the mask base detects the correct position of the mask frame, Not only does a very thin mask on the order of a micrometer not only damage but also precise centering allows deposition of thin films of uniform thickness on the substrate.

도 1 ⒜, ⒝는 본 발명의 마스크 센터링 블록이 마스크 베이스에 장착된 상태를 도시한 도면이다.
도 2 ⒜, ⒝는 좌우 센터링 블록을 도시한 도면이다.
도 3 ⒜, ⒝는 전후 센터링 블록을 도시한 도면이다.1 (a) and 1 (b) are views showing a state in which the mask centering block of the present invention is mounted on a mask base.
2 (a) and 2 (b) are views showing left and right centering blocks.
3 (a) and 3 (b) are views showing the front and rear centering blocks.

본 발명에 따른 증착기의 마스크 센터링 블록의 가장 큰 기술적 특징은, 증착기의 진공챔버 내에 위치하는 마스크 베이스에 전후 및 좌우 센터링 블록을 장착하여 마스크 프레임 교체시 마스크 프레임이 마스크 베이스 위의 정확한 위치에 평탄하게 안착될 수 있도록 했다는 점이다.
The most significant technical feature of the mask centering block of the evaporator according to the present invention is that the mask frame located in the vacuum chamber of the evaporator is equipped with the front and rear and right and left centering blocks so that when the mask frame is replaced, So that it can be settled.

본 발명의 마스크 센터링 블록은, 기판 상에 박막의 유기물을 증착시키기 위한 증착기에서 증착기의 진공챔버 내에 장착되는 마스크 교체시 마스크 프레임이 마스크 베이스 위의 정확한 위치에 평탄하게 안착될 수 있게 하기 위하여 사용되는데, 사각 형상의 각 마스크 베이스(11)에 장착되는 마스크 센터링 블록은 좌우 및 전후 센터링 블록(21, 23)을 구비하여 구성되게 된다.
The mask centering block of the present invention is used to allow the mask frame to be placed flat at the correct position on the mask base when replacing the mask mounted in the vacuum chamber of the evaporator in an evaporator for depositing thin organic substances on the substrate And the mask centering block mounted on each rectangular mask base 11 is constituted by left and right and front and rear centering blocks 21 and 23.

증착기에서 하나의 진공챔버는 복수의 마스크 베이스(11)(일반적으로 1개의 챔버에 4개의 마스크 베이스가 일정 간격으로 이격되어 설치됨)가 설치되어 있으며, 증착공정이 끝나면 도어를 열어 기판을 밖으로 꺼내고 마스크(15)가 장착된 마스크 프레임(13)도 챔버 밖으로 꺼내고(언로딩; unloading), 또 다른 기판에 다음 증착을 위해 새로운 기판과 마스크(15)가 장착된 마스크 프레임(13)을 마스크 베이스(11) 위에 안착시키게 된다(로딩; loading).
One vacuum chamber of the evaporator is provided with a plurality of mask bases 11 (generally four mask bases are spaced apart from each other at regular intervals). When the deposition process is finished, the door is opened to take out the substrate, The mask frame 13 with the mask 15 mounted thereon is unloaded from the chamber and the mask frame 13 with the new substrate and the mask 15 mounted thereon is transferred to the mask base 11 (Loading).

또한, 도시하지는 않았지만, 사각 형상으로 된 마스크 베이스(11)에는 대각선 방향으로 모서리 부근에 서로 쌍을 이루도록 핀(pin)이 돌출 형성되어 있고, 마스크 베이스(11) 위에 장착되는 마스크 프레임(13)에는 대각선 방향으로 홀(hole)이 형성되어 있어서, 상기 핀과 홀의 위치를 정확히 맞춰서 마스크 프레임(13)을 마스크 베이스(11)에 평탄하게 안착시켜야 하는데, 이는 매우 어려운 작업이어서 평탄하게 안착되지 않음으로 인한 많은 문제가 발생하게 되는데, 본 발명은 이러한 문제를 해결한 것이다.
Although not shown, a pin is protruded from the rectangular mask base 11 so as to be paired with each other in the vicinity of an edge in a diagonal direction. The mask frame 13 mounted on the mask base 11 Holes are formed in the diagonal direction so that the mask frame 13 should be mounted on the mask base 11 in a flat manner with the pins and holes aligned exactly with each other. This is a very difficult operation, Many problems arise. The present invention solves this problem.

도 2는 좌우 센터링 블록(21)을 도시한 도면이고, 도 3은 전후 센터링 블록(23)을 도시한 도면이다(여기서, 챔버의 도어를 개폐하여 마스크 프레임을 로딩 또는 언로딩시키는 방향을 '전후방향'이라 하고, 복수의 마스크 베이스가 설치된 방향을 '좌우방향'이라고 한다). 센터링 블록은 크게 고정블록부(211, 231)와 본체부(213, 233) 및 볼플란저(215, 235)를 기본적으로 구비하게 된다.
FIG. 2 is a view showing the left and right centering blocks 21, and FIG. 3 is a view showing the front and rear centering blocks 23. Herein, a direction in which the door of the chamber is opened and closed to load / Direction ", and a direction in which a plurality of mask bases are installed is referred to as " lateral direction "). The centering block is basically provided with the fixed block units 211 and 231, the body units 213 and 233, and the ball plungers 215 and 235, respectively.

고정블록부(211, 231)는, 센터링 블록을 마스크 베이스(11)에 고정 장착시키기 위한 구성이다. 고정블록부(211, 231)의 바닥 양측면으로는 수직부가 상방으로 형성되어 있어서, 한쌍의 수직부 사이에 본체부(213, 233)가 위치하면서 일정 각도 회동할 수 있도록 구성되어 있다.
The fixed block units 211 and 231 are for fixing the centering block to the mask base 11. The vertical portions are formed on both sides of the bottom of the fixed block portions 211 and 231 so that the body portions 213 and 233 are positioned between the pair of vertical portions and can rotate at a predetermined angle.

본체부(213, 233)는 고정블록부(211, 231)의 상부에 위치하게 되며, 양측면이 고정블록부(211, 231)와의 사이에 위치하는 볼베어링(212, 232)을 중심으로 일정 범위 내에서 회동 가능하도록 설치되고, 상면에 마스크 프레임(13)이 안착되게 되는 프레임안착부(214, 234)를 구비하여 구성되게 된다.
The body portions 213 and 233 are positioned at the upper portions of the fixed block portions 211 and 231 and are disposed in a predetermined range centered on the ball bearings 212 and 232 having both side surfaces located between the fixed block portions 211 and 231 And frame mounting portions 214 and 234 which are installed to be rotatable on the upper surface and on which the mask frame 13 is seated.

도 2 ⒝와 도 3 ⒝에 도시된 바와 같이, 마스크 프레임(13)의 로딩·언로딩에 따라 본체부(213, 233)는 양측에 각각 설치된 한쌍의 볼베어링(212, 232)을 회동축의 중심으로 삼아 일정 각도(약 16.5∼18.5°범위; α, β) 내에서 회동하게 된다. 다시 말하면, 언로딩시에는 본체부(213, 233)의 선단(즉 볼플란저의 볼이 마스크 프레임의 측면과 접하게 된 부분)이 일정 각도만큼 들리면서 프레임안착부(214, 234)가 들리게 되고, 로딩시에는 볼플란저의 볼(215a, 235a)이 마스크 프레임(13)의 측면과 접하게 되므로 본체부(213, 233)의 프레임안착부(214, 234)도 수평상태를 유지하게 된다.
The main body portions 213 and 233 are provided with a pair of ball bearings 212 and 232 provided on both sides of the main body portion 213 and 233 in accordance with the loading and unloading of the mask frame 13 as shown in Figures 2 and 3, So that it rotates within a predetermined angle (about 16.5 to 18.5 [deg.], Alpha, beta). In other words, at the time of unloading, the frame seating portions 214 and 234 are heard as the tip of the body portions 213 and 233 (that is, the portion where the ball of the ball flange comes into contact with the side surface of the mask frame) The balls 215a and 235a of the ball flange are brought into contact with the side surfaces of the mask frame 13 so that the frame seating portions 214 and 234 of the body portions 213 and 233 are maintained in a horizontal state.

볼플란저(215, 235)는 본체부(213, 233)를 관통하도록 설치되는데, 전면에 볼(ball)(215a, 235a)이 위치하고, 본체부(213, 233)를 관통하는 구멍 내주면에는 탭이 형성되어 조절부재(215b, 235b)의 외주면에 형성된 나선과 나사결합 할 수 있도록 구성되어 있으며, 조절부재(215b, 235b)의 후단에는 조절너트(215c, 235c)가 구비되어 있어서, 조절너트(215c, 235c)를 회전시킴에 따라 조절부재(215b, 235b)가 이동하게 되면서 선단에 위치한 볼(215a, 235a)의 전후 이동량을 조절하여, 최종적으로는 볼(215a, 235a)과 마스크 프레임(13) 측면 사이의 간격을 조절할 수 있게 된다.
The balls 215 and 235 are installed so as to pass through the body portions 213 and 233. Ball balls 215a and 235a are positioned on the front surface of the ball flanges 215 and 235, And adjusting nuts 215c and 235c are provided at the rear ends of the adjusting members 215b and 235b so that the adjusting nuts 215b and 235c can be screwed to the adjusting nuts 215b and 235b. The adjusting members 215b and 235b are moved by rotating the balls 215a and 235c to adjust the forward and backward movement amounts of the balls 215a and 235a positioned at the tip end so that the balls 215a and 235a and the mask frame 13 So that the distance between the side surfaces can be adjusted.

좌우 센터링 블록(21)은 마스크 프레임(13)을 로딩(loading)시킬 때 마스크 프레임(13)의 위치를 확인하기 위한 포지션센서(216)를 더 구비하고 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 좌우 센터링 블록(21)의 프레임안착부(214)는 평면 형상이 일단이 개구(開口)된 'ㄷ'자 형상이고, 프레임안착부(214)의 개구된 부분에 포지션센서(216)가 장착되며, 마스크 프레임(13)이 마스크 베이스(11)에 장착되었을 때 볼플란저(215)의 볼(215a)이 마스크 프레임(13)의 측면쪽에 위치하도록 설치된다.
The left and right centering block 21 further includes a position sensor 216 for confirming the position of the mask frame 13 when loading the mask frame 13. 2, the frame seating part 214 of the left and right centering block 21 has a "U" shape in which the planar shape is opened at one end, and the frame seating part 214 of the right and left centering blocks 21 A position sensor 216 is mounted and the ball 215a of the ball plunger 215 is positioned on the side of the mask frame 13 when the mask frame 13 is mounted on the mask base 11. [

하나의 마스크 베이스(11)에는 4개의 좌우 센터링 블록(21)과 2개의 전후 센터링 블록(23)을 장착 설치하는 것이 바람직하다. 도 1에 도시된 바와 같이, 좌우 센터링 블록(21)은 사각 형상의 마스크 베이스(11)의 가장자리를 따라 좌우방향에서 각각 일정 간격으로 2개씩 총 4개를 설치하고, 전후 센터링 블록(23)은 사각 형상의 마스크 베이스(11)의 가장자리를 따라 전후방향에서 각각 1개씩 총 2개를 설치하는 것이 바람직하다.
It is preferable that four left and right centering blocks 21 and two front and rear centering blocks 23 are mounted on one mask base 11. As shown in FIG. 1, four left and right centering blocks 21 are provided at a predetermined interval in the lateral direction along the edge of the rectangular mask base 11, and the front and rear centering blocks 23 It is preferable that a total of two pieces are provided along the edge of the rectangular mask base 11, one each in the front-rear direction.

전후 센터링 블록(23)은 마스크 베이스(11)의 전후방향에서 서로 대각선 방향으로 대칭구조로 하나씩 조립 설치하는 것이 바람직하다. 또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 전후 센터링 블록(23)과 함께 마스크 프레임(13) 온도를 측정하기 위한 온도측정센서(도면부호 미지정)도 마스크 베이스(11)의 전후방향을 따라 각각 장착되게 되는데, 온도측정센서는 센터링 블록과 무관하므로 설명은 생략한다.
It is preferable that the front and rear centering blocks 23 are assembled one by one in a symmetrical structure in the diagonal direction with respect to the front and rear direction of the mask base 11. [ 1, a temperature measurement sensor (not shown) for measuring the temperature of the mask frame 13 together with the front and rear centering blocks 23 is mounted along the front-rear direction of the mask base 11 Since the temperature measuring sensor is not related to the centering block, its explanation is omitted.

이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것이고, 명세서에 게시된 실시예는 본 발명의 기술사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 그러므로 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의해 해석되고, 그와 균등한 범위 내에 있는 기술적 사항도 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention. Various modifications and variations will be possible without departing from the spirit of the invention. Therefore, the scope of the present invention should be construed as being covered by the scope of the appended claims, and technical scope within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the scope of the present invention.

11 : 마스크 베이스 13 : 마스크 프레임
15 : 마스크
21 : 좌우 센터링 블록 211 : 고정블록부
212 : 볼베어링 213 : 본체부
214 : 프레임안착부 215 : 볼플란저
216 : 포지션센서
23 : 전후 센터링 블록 231 : 고정블록부
232 : 볼베어링 233 : 본체부
234 : 프레임안착부 235 : 볼플란저11: mask base 13: mask frame
15: Mask
21: right and left centering block 211: fixed block portion
212: ball bearing 213:
214: frame mounting portion 215: ball flanger
216: Position sensor
23: front and rear centering block 231:
232: ball bearing 233:
234: frame mounting portion 235: ball flanger

Claims (5)

기판 상에 박막의 유기물을 증착시키기 위한 증착기에서, 증착기의 진공챔버 내에 장착되는 마스크 교체시 마스크 프레임이 마스크 베이스 위의 정확한 위치에 평탄하게 안착될 수 있게 하기 위한 마스크 센터링 블록에 있어서,
사각 형상의 각 마스크 베이스에 장착되는 마스크 센터링 블록은 좌우 및 전후 센터링 블록을 구비하여 구성되고,
상기 좌우 및 전후 센터링 블록은,
마스크 베이스에 장착되게 되는 고정블록부:
상기 고정블록부의 상부에 위치하게 되며, 양측면이 상기 고정블록부와의 사이에 위치하는 볼베어링을 중심으로 일정 범위 내에서 회동 가능하도록 설치되고, 상면에 마스크 프레임이 안착되게 되는 프레임안착부를 구비하는 본체부;
상기 본체부를 관통하도록 설치되고, 전면에 볼(ball)이 위치하며, 상기 볼의 전후 이동량을 조절하기 위한 조절부재를 구비한 볼플란저;
를 각각 구비하여 구성되고, 상기 좌우 센터링 블록은 마스크를 로딩(loading)시킬 때 마스크 프레임의 위치를 확인하기 위한 포지션센서를 더 구비하며, 상기 좌우 및 전후 센터링 블록의 본체부 중 프레임안착부 일단은, 마스크의 로딩·언로딩에 따라 일정 각도 상하방향으로 회동하도록 장착되는 것을 특징으로 하는 증착기의 마스크 센터링 블록.
A mask centering block for depositing a thin film organic material on a substrate, the mask frame being mounted in a vacuum chamber of a deposition apparatus so that the mask frame can be placed flat at the correct position on the mask base,
The mask centering block mounted on each square-shaped mask base is constituted by left and right and front and rear centering blocks,
The left and right and front and rear centering blocks
A fixed block portion to be mounted on the mask base;
And a frame seating part which is positioned above the fixed block part and is rotatable within a predetermined range around a ball bearing positioned between the fixed block part and the fixed block part and on which a mask frame is seated, part;
A ball plunger installed to penetrate through the main body and having a ball at a front surface thereof and an adjusting member for adjusting a forward and backward movement amount of the ball;
Wherein the left and right centering blocks further include a position sensor for confirming the position of the mask frame when loading a mask, and one end of the frame seat of the body portions of the left and right and right and left centering blocks, , And is mounted so as to rotate in a vertical direction at a predetermined angle in accordance with loading / unloading of the mask.
제1항에 있어서,
1개의 마스크 베이스에는,
상기 좌우 센터링 블록은, 사각 형상의 마스크 베이스의 가장자리를 따라 좌우방향에서 각각 일정 간격으로 2개씩 총 4개가 설치되고,
상기 전후 센터링 블록은, 사각 형상의 마스크 베이스의 가장자리를 따라 전후방향에서 각각 1개씩 총 2개가 설치되는 것을특징으로 하는 증착기의 마스크 센터링 블록.
The method according to claim 1,
In one mask base,
The left and right centering blocks are provided at a predetermined interval in the lateral direction along the edge of the rectangular mask base,
Wherein the front and rear centering blocks are provided along the edges of the rectangular mask base in a total of two in the forward and backward directions.
제2항에 있어서,
사각 형상의 마스크 베이스의 전후방향에 각각 1개씩 설치되는 상기 전후 센터링 블록은 서로 대각선 방향으로 설치되는 것을 특징으로 하는 증착기의 마스크 센터링 블록.
3. The method of claim 2,
Wherein the front and rear centering blocks are provided in a diagonal direction with respect to each other in the longitudinal direction of the square mask base.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 좌우 센터링 블록의 프레임안착부는 평면 형상이 일단이 개구(開口)된 'ㄷ'자 형상이고, 상기 프레임안착부의 개구된 부분에 포지션센서가 장착되며, 마스크 프레임이 마스크 베이스에 장착되었을 때 상기 볼플란저의 볼이 마스크 프레임의 측면쪽에 위치하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 증착기의 마스크 센터링 블록.The method according to claim 1,
The frame seating part of the left and right centering blocks has a 'C' shape in which a planar shape is opened at one end, and a position sensor is mounted on the opened part of the frame seating part. When the mask frame is mounted on the mask base, And a ball of the flanger is disposed on a lateral side of the mask frame.
KR1020140025079A 2014-03-03 2014-03-03 Mask centering block of deposition device KR101605310B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140025079A KR101605310B1 (en) 2014-03-03 2014-03-03 Mask centering block of deposition device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140025079A KR101605310B1 (en) 2014-03-03 2014-03-03 Mask centering block of deposition device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150103526A KR20150103526A (en) 2015-09-11
KR101605310B1 true KR101605310B1 (en) 2016-03-22

Family

ID=54243708

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140025079A KR101605310B1 (en) 2014-03-03 2014-03-03 Mask centering block of deposition device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101605310B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102645931B1 (en) 2023-02-15 2024-03-11 일신하이텍 주식회사 A deposition apparatus

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107425135A (en) * 2017-05-05 2017-12-01 京东方科技集团股份有限公司 Mask plate fixes bottom plate and mask board fixer
CN108517490A (en) * 2018-05-11 2018-09-11 云谷（固安）科技有限公司 Mask plate and its manufacturing method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002324757A (en) 2001-03-01 2002-11-08 Asml Netherlands Bv Mask handling method, mask, tool or apparatus including gripper therefor, device manufacturing method and device manufactured thereby
KR101205818B1 (en) 2011-04-05 2012-11-28 주식회사 케이피에스 Apparatus for pressing and deforming mask frame and system for manufacturing mask assembly using the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002324757A (en) 2001-03-01 2002-11-08 Asml Netherlands Bv Mask handling method, mask, tool or apparatus including gripper therefor, device manufacturing method and device manufactured thereby
KR101205818B1 (en) 2011-04-05 2012-11-28 주식회사 케이피에스 Apparatus for pressing and deforming mask frame and system for manufacturing mask assembly using the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102645931B1 (en) 2023-02-15 2024-03-11 일신하이텍 주식회사 A deposition apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150103526A (en) 2015-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10431779B2 (en) Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
US9306191B2 (en) Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same
KR101959975B1 (en) Apparatus for organic layer deposition, method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same, and organic light emitting display apparatus manufactured by the method
US20140014921A1 (en) Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
US20150176131A1 (en) Thin film deposition apparatus
KR101605310B1 (en) Mask centering block of deposition device
US9695522B2 (en) Deposition mask, method of manufacturing deposition mask, and method of manufacturing display apparatus
KR20200049034A (en) Alignment system, film forming apparatus, alignment method, film forming method, and manufacturing method of electronic device
KR20120039944A (en) Depositing system for substrate and dspoiting method for the same
KR20170061083A (en) Deposition system, magnetic part and manufacturing method of film
KR20140100903A (en) Manufacturing device of organic el device and method of manufacturing organic el device
KR20170066766A (en) Method for manufacturing a mask assembly and method for manufacturing a display apparatus
KR102444086B1 (en) A swing apparatus, a method for processing a substrate, a swing module for receiving a substrate from a transfer chamber, and a vacuum processing system
US20140370633A1 (en) Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the organic layer deposition apparatus
KR101962787B1 (en) Holding arrangement for holding a substrate during a vacuum process, apparatus for depositing a layer on a substrate, and method for conveying a holding arrangement
US20190036026A1 (en) A shadow mask with tapered openings formed by double electroforming using positive/negative photoresists
KR20140115164A (en) Deposition apparatus, method for manufacturing organic light emitting display apparatus using the same, and organic light emitting display apparatus manufactured by the same
JP2013110072A (en) Organic el light emitting device manufacturing method and manufacturing device
US20150044803A1 (en) Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
KR102634162B1 (en) Mask replacement timing determination apparatus, film forming apparatus, mask replacement timing determination method, film forming method, and manufacturing method of electronic device
KR20140141377A (en) Apparatus for organic layer deposition, and method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same
US9136476B2 (en) Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
KR20140139192A (en) Monitoring apparatus for substrate and Monitoring chamber including the same
KR102501617B1 (en) Film forming apparatus, film forming method, and manufacturing method of electronic device
KR102184501B1 (en) Method of handling mask arrangement, reference substrate for optical inspection of mask arrangement, and vacuum deposition system

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190311

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200310

Year of fee payment: 5