KR20060094088A - 외관 검사 장치 - Google Patents

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KR20060094088A
KR20060094088A KR1020067007836A KR20067007836A KR20060094088A KR 20060094088 A KR20060094088 A KR 20060094088A KR 1020067007836 A KR1020067007836 A KR 1020067007836A KR 20067007836 A KR20067007836 A KR 20067007836A KR 20060094088 A KR20060094088 A KR 20060094088A
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KR1020067007836A
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카즈히사 노지마
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가부시키가이샤 소니 디스크 앤드 디지털 솔루션즈
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Abstract

광원(光源)(58)은 렌즈(59)에 의해 라인모양(狀)의 평행광으로 변환되고, 빔 스플리터(60)에 입사된다. 빔 스플리터(60)는 입사광의 절반(半分)을 반사해서 광 디스크(65)의 표면의 라인모양 영역에 수직으로 입사(入射)시키고, 나머지 절반을 투과시켜서 광 디스크(65)의 표면의 라인모양 영역에 비스듬하게 입사시킨다. 광 디스크(65)의 표면에 수직으로 입사된 광의 반사광의 광량(光量)은 제1 카메라(62)에서 검출된다. 이 입사광, 반사광은 모두 광 디스크(65)의 표면에 대해서 수직이기 때문에, 표면에 큰 결함이 생겨도 제1 카메라(62)의 촬영에서 허상(虛像; virtual image)이 발생하지 않고, 정확한 결함 사이즈의 검지가 가능해진다.

Description

외관 검사 장치{APPEARANCE INSPECTOR}
본 발명은 광(光) 디스크의 표면 또는 내부의 결함(缺陷; defect)을 검사(檢査)하는 외관 검사 장치에 관한 것이다.
근년(近年; recent)에, CD(Compact Disc)나 DVD(Digital Versatile Disc) 등의 광 디스크가 일반적으로 보급(普及)되어 오고 있으며, 각 메이커에 있어서는 이러한 광 디스크의 품질 관리를 적절히 또한 효율적으로 행하는 것이 중요하다. 이와 같은 품질 관리의 하나로서, 제조된 광 디스크의 외관의 미세(微細)한 결함에 대해서 검사를 행하는 외관 검사가 있다. 각 메이커는, 기본적으로 모든 광 디스크에 대해서, 이와 같은 외관 검사를 행하고 있다.
광 디스크의 미세 결함은, 예를 들면 DVD에서는 기록 피트의 성형(成形), 스퍼터링, 첩합(貼合; bonding, joint; 접착, 부착) 등의 여러가지 제조 공정에서 발생할 수 있다. 또, 이러한 결함에도 여러가지 것이 있으며, 예를 들면 디스크 표면의 정보 판독면(讀取面; reading surface)에서는 더스트(dust)나 접착제의 튐(跳; splash) 등이 있으며, 디스크 내부의 반사면에서는 미세 융기(隆起), 오일 성 분, 거품(泡) 등의 문제가 있다.
외관 검사를 실시하기 위한 외관 검사 장치는 고분해능(高分解能) CCD(Charge Coupled Device) 카메라를 이용한 것이 일반적으로 되어 있다. 도 1은 외관 검사 장치의 원리를 도시하는 것이며, 참조 부호 (40)이 검사 대상(對象)의 광 디스크이다. 광원(光源)(41)으로부터의 광이 렌즈 장치(42)에 의해서 라인모양(狀)의 광으로 변환되어, 디스크(40) 위(上)의 검사 영역의 라인모양 영역(43)을 조사(照射)한다. 광 디스크(40)에서 반사된 광이 카메라 렌즈(44)를 거쳐서 라인 CCD(45)에 의해서 수광(受光)된다. 라인 CCD(45)는 수광부가 1열(列)만 배치된 CCD이다. 또한, 이하의 설명에서 라인 CCD로서 카메라를 사용하는 경우에 대해서 기술한다. 라인 CCD 및 카메라의 어느것이나, 광 디스크의 반사광을 수광해서 전기(電氣) 신호로 변환하는 이미지 센서로서 기능하는 것이다.
광 디스크(40)의 하나의 라인모양 영역(43)을 라인 CCD(45)에 의해서 촬영(撮影)하면, 광 디스크(40)를 약간(僅; slightly) 회전시키고, 마찬가지 처리를 행한다. 이들 처리를 광 디스크(40)의 1회전분(回轉分)에 대해서 되풀이(繰返; repetition)하는 것에 의해서, 광 디스크 전체의 촬영을 행하고, 전체의 외관 검사를 실시할 수가 있다. 결함이 있는 부분의 광의 반사율은 정상적인 부분의 반사율보다 낮거나 또는 높기 때문에, 촬영에서 어둡게 또는 밝게 찍힌 부분에 결함이 생기고 있는 것을 알 수 있다.
이 외관 검사 장치는 차세대(次世代) 광 디스크인 BIu-ray Disc(이하, BD라고 적당히 약칭(略稱)한다) 규격의 광 디스크의 외관 검사에 대해서도 적용하는 것 이 가능하다. 여기서, 도 2를 참조하여, 이러한 광 디스크의 외관 검사를 행하는 종래의 외관 검사 장치의 구성에 대해서 설명한다.
도 2에 도시한 외관 검사 장치는 광원(101), 렌즈(102, 105), 미러(103, 104, 108), 빔 스플리터(106), 애퍼처(aperture)(109), 제1 카메라(107), 제2 카메라(110)를 구비한다.
광원(101)은 예를 들면 할로겐 램프나 적색(赤色) LED(Light Emitting Diode) 등으로 구성된다. 광원(101)으로부터의 광은 렌즈(102)를 통과하는 것에 의해서 라인모양의 거의 평행한 광으로 집광(集光; converging)되고, 미러(103)를 거쳐서 BD 규격에 대응한 광 디스크(100)의 반경(半徑) 방향의 1개의 라인모양 영역에 조사된다.
광 디스크(100)의 반사광은 미러(104)에서 방향을 바꾸어, 렌즈(105)에 입사(入射)한다. 여기서, 광 디스크(100)에의 광의 입사각 및 반사각은 각각, 예를 들면 30°∼45°이다. 또, 미러는 일반적으로는 광선의 광축(光軸)을 절곡(折曲; bend)하는 작용을 하는 평면경(平面鏡)이다(이하, 미러에 대해서 같다). 렌즈(105)를 통과한 광은 빔 스플리터(106)로 진행하고, 거기서 제1 카메라(107)로 향하는 광과, 미러(108)로 향하는 광으로 분광(分光)된다. 제1 카메라(107)로 향한 라인모양의 광은 제1 카메라(107)의 라인 CCD에 의해서 수광되고, 각각 광량(光量)이 검출된다.
한편, 미러(108)로 진행한 라인모양의 광은 애퍼처(109)를 거쳐서 제2 카메라(110)에서 수광된다. 제1 카메라(107) 및 제2 카메라(110)에서는, 결함이 있는 부분이 상대적으로 어둡게 또는 밝게 찍힌다. 결함이 있는 부분으로부터의 반사광은 흡수 또는 난반사(亂反射) 등에 의해서 광량이 감소하기 때문이다. 제1 카메라(107) 및 제2 카메라(110)에 의해서 촬영된 이미지는 디지털 처리되고, 각 픽셀 마다의 광량 데이터로서 파악된다. 컴퓨터는 이들 데이터에 의거해서, 결함 부분 즉, 어두운 또는 밝은 부분의 사이즈나 형상(形狀)을 판정한다.
여기서, 종래의 외관 검사 장치의 각 부에 어느 정도의 조도(照度)의 광이 도달하고 있는지를, 광원(101)으로부터의 광을 기준으로 생각해 본다. 광 디스크(100)의 반사율의 영향도 받지만, 이후(以降), 디스크의 반사율을 100%라고 가정해서 조도를 설명한다. 광원(101), 렌즈(102)를 거친 광은 렌즈(105)에 도달하지만, 거기까지의 광은 광원(101)의 광의 거의 100% 조도이다. 그 광은 빔 스플리터(106)에서 각각 1/2로 분광되므로, 제1 카메라(107)에는 광원(101)의 광의 거의 50% 조도의 광이 입사한다. 미러(108)로 진행한 광은 애퍼처(109)에서 절반(半分)이 차단되기 때문에, 제2 카메라(110)에 광원(101)의 광의 거의 25% 조도로 입사한다.
광 디스크(100)의 1라인에 대해서 촬영이 종료하면, 스테핑 모터 등에 의해서, 광 디스크(100)를 약간 회전시키고, 다음 1라인의 촬영을 행한다. 도 3에는, 라인모양의 광에 의해서 조사된 광 디스크(100) 위의 라인모양 영역이 도시되어 있으며, 광 디스크(100)의 회전과 함께 라인모양 영역이 순차(順次) 회전 방향으로 이동한다. 라인모양의 광은 기본적으로, 광 디스크(100)의 검사 영역(데이터 에리어)(120)에 조사된다. 이와 같이, 광 디스크(100)가 1회전할 때까지 조사와 촬영이 되풀이된다. 이 결과, 제1 카메라(107) 및 제2 카메라(110)가 검출한 광량에 의거 해서 생성되는 화상(畵像)은 각각 광 디스크(100)의 전체를 나타내는 것으로 된다.
애퍼처(109)와 제2 카메라(110)는 주로 광 디스크(100)의 오목볼록(凹凸; irregular shape)을 검출하는 기능을 가진다. 한편, 제1 카메라(107)는 광 디스크 표면이나 반사면에 포함되는 더스트 등의 검출을 행한다. 여기서, 애퍼처(109)와 제2 카메라(110)에 의해서 오목볼록을 검지하는 방법에 대해서 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.
도 4의 (a)∼도 5의 (b)에는 오목볼록(126)이 있는 광 디스크(125)의 표면을 1라인씩 라인 CCD(129)에 의해서 판독하는 일련(一連)의 동작을 도시하고 있다. 또, 도 5의 (c)는 상기 일련의 판독 동작이 완료한 후에 얻어진 화상이며, 각 라인은 도 4의 (a)∼도 5의 (b)에 도시된 각각의 라인에 대응하고 있다.
광 디스크의 오목볼록은 예를 들면 첩합시에 거품을 끼워넣는(挾入; interposed between) 것에 의해서 생기거나, 먼지 등의 혼입에 기인(起因)하는 융기에 의해서 발생한다. 도 4의 (a)에서는, 광 디스크(125)의 스캔이 오목볼록(126)에 당도하기 직전의 상태를 도시하고 있다. 반사광(128)은 광 디스크(125)의 평탄부에서 반사해서 라인 CCD(129)에 입사한다. 또, 애퍼처(127)는 입사광의 거의 반을 차단하고 있다.
다음에, 스캔이 진행하여, 입사광이 오목볼록(126)의 단부(端部)에 당도한 상태로 되고, 이 상태가 도 4의 (b)에 도시되어 있다. 여기서, 반사광(128)은 오목볼록(126)의 경사 때문에, 도 4의 (b)에 도시하는 바와 같이, 도 4의 (a)와 같은 통상의 반사각과는 다른 각도로 반사하여, 라인 CCD(129)에 입사한다.
그 후, 스캔은 도 4의 (c)에 도시하는 바와 같은 상태로 된다. 여기서는, 정확히 오목볼록(126)의 중앙부에 입사광이 조사되고 있고, 그 부분이 거의 평탄하기 때문에, 광 디스크로부터의 반사광과 거의 평행한 반사광으로 되어, 라인 CCD(129)에 입사한다.
다음에, 입사광이 오목볼록(126)의 다른쪽의 단부에 당도한 상태로 되고, 이 상태가 도 5의 (a)에 도시되어 있다. 여기서 반사광(128)은 오목볼록(126)의 경사 때문에, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 평탄한 광 디스크에서의 반사각보다 큰 반사각으로 반사한다. 그 결과, 애퍼처(127)로 차단되어, 반사광(128)은 라인 CCD(129)에 입사하지 않는다. 이와 같이, 반사광(128)이 라인 CCD(129)에 입사하지 않는 상황은 도 4의 (c)에 도시하는 상태 후, 도 5의 (b)에 도시하는 상태의 직전까지 계속된다.
도 5의 (b)에 도시하는 상태에서는, 입사광이 오목볼록(126)을 통과하여, 통상의 반사각으로 반사하는 것에 의해서, 반사광(128)이 라인 CCD(129)에 입사되고 있다.
도 4의 (a)∼도 5의 (b)에 도시하는 일련의 스캔 동작이 끝나면, 라인 CCD(129)로 판독된 광 디스크(125)의 화상은 개략(槪略), 도 5의 (c)에 도시하는 바와 같이 된다. 즉, 오목볼록(126) 부분은 전반(前半)에 스캔된 부분은 밝아지고, 후반(後半)에 스캔된 부분은 애퍼처(127) 때문에 어두워진다. 이와 같은 화상에 의해, 광 디스크 표면의 오목볼록의 유무(有無)를 용이하게 판단하는 것이 가능해진다.
다음에, 종래의 외관 검사 장치의 제1 카메라(107)(라인 CCD와 마찬가지로 이미지 센서로서 기능한다)에 의해서, 더스트 등의 결함을 촬영하는 양태(態樣; state, mode)에 대해서 설명한다. 도 6은 종래의 외관 검사 장치로 1층 구조의 DVD를 촬영하는 예를 도시하는 개략선도(略線圖)이다. 1층 구조의 DVD에서는 두께가 0.6㎜의 기판을 2매(枚) 첩합해서 1.2㎜의 두께를 가지는 구조로 되고, 정보 판독면(131)과 반사면(130)의 간격이 0.6㎜로 된다. 정보 판독면(131)은 광 디스크의 표면이며, 반사면(130)은 피트면이다.
2층 구조의 DVD(예를 들면, DVD-9라고 칭(稱)해지는 한쪽측으로부터 판독되는 디스크)에서는, 2매의 기판이 각각 반사층 및 광 반투과층(半透過層)을 가지고, 첩합되는 2매의 기판 사이에는 두께 40∼70㎛의 중간층이 배치된다.
도 6은 1층 구조의 DVD에 대해서 도시하는 것이지만, 2층 구조의 DVD에 대해서도 마찬가지로 검사가 된다. 2층 구조의 경우에서는, 제1 층과 제2층의 피트는 초점(焦点) 거리를 조정함으로써 나누어 판독(讀分)할 수가 있다. 따라서, 이후에서는, 1층 구조의 DVD에 대한 양태를 예시한다.
정보 판독면(131)으로부터 입사한 라인모양의 광은 반사면(130)에서 반사하고, 다시 정보 판독면(131)을 통과하여 라인 CCD(132)에서 검출된다. 여기서, 반사면(130)에 100㎛의 결함(133)이 존재하는 경우를 생각하면, 그 결함 부분으로부터의 반사광의 광량은 작고, 따라서 라인 CCD(132)에서 검출되는 광량도 작아진다. 그 결과, 라인 CCD(132)로 촬영된 화상 이미지에서는, 그 결함(133)에 대응하는 부분이 어두운 실상(實像; real image)(134)으로서 나타난다. 또, 도면중, 라인 CCD(132)로서 나타내어지고 있는 면은 반사광의 투영되는 라인 CCD(132) 위의 면을 나타내고 있다.
도 7은 종래의 외관 검사 장치로 BD 규격에 대응하는 광 디스크를 검사한 경우의 1양태를 도시하는 개략선도이다. BD 규격에서는, 투명 보호층(이하, 커버층이라고 적당히 칭한다)의 두께가 약 0.1㎜이며, 디스크 전체의 두께가 1.2㎜이며, 정보 판독면(141)과 반사면(140)의 간격이 약 0.1㎜로 된다. 여기서, 반사면(140)에 100㎛의 결함(143)이 존재하는 경우를 생각하면, 그 결함(143)으로부터의 반사광의 광량은 작고, 따라서 라인 CCD(142)로 검출되는 광량도 작아진다. 그 결과, 촬영되는 화상 이미지에서는, 그 결함(143)에 대응하는 부분이, 어두운 실상(144)으로서 나타난다.
도 8은 종래의 외관 검사 장치로 BD 규격에 대응하는 광 디스크를 검사한 경우의 1양태를 도시하는 개략선도이다. 상술한 바와 같이, 커버층의 두께가 약 0.1㎜이다. 여기서, 반사면(140)에 50㎛의 결함(143)이 발생하고 있다고 가정하면, 그 결함 부분으로부터의 반사광의 광량은 작고, 따라서 라인 CCD로 검출되는 광량도 작아진다. 그 결과, 촬영된 화상 이미지에서는, 그 결함(143)에 대응하는 부분이 어두운 실상(144)으로서 나타난다. 또, 일본 특개평(特開平) 9-257720호 공보에는, 전술(前述)한 도 1에 도시하는 것과 마찬가지로, 광 디스크에 비스듬한(경사진) 방향으로부터 라인모양의 광을 조사해서, 그 광이 광 디스크에서 반사하는 반사광과, 광 디스크를 투과하는 투과광을 라인 센서에 의해서 검출하고, 광 디스크의 결함을 검사하는 방법·장치가 기재되어 있다.
그러나, 비스듬한 입사광을 이용하는 외관 검사 장치에서는, 커버층이 약 0.1㎜로 얇고, 정보 판독면과 반사면의 간격이 작은, BD 규격에 대응하는 광 디스크의 경우에서는, 비교적 큰 사이즈의 결함이 정보 판독면에 발생한 경우에, 그 결함을 정확하게 파악할 수 없다고 하는 문제가 있다.
이 문제점에 대해서, 도 9∼도 12를 참조하여 설명한다. 도 9는 종래의 외관 검사 장치로 1층 구조의 DVD를 검사한 경우의 1양태를 도시하는 개략선도이다. 상술한 바와 같이, DVD에서는, 피트가 형성된 반사면(130)과 정보 판독면(131)과의 거리가 0.6㎜이다. 여기서, 100㎛ 크기의 결함(133)이 정보 판독면(131)에 발생하고 있다고 가정한다. 그렇다면, 그 결함(133)은 정보 판독면(131)에서 반사해서 라인 CCD(132)에 실상(134)이 투영된다. 또, 결함(133)에 의한 그림자(影)(136)가 반사면(130)에 생기고, 그것이 반사해서 라인 CCD(132)에 허상(虛像; virtual image)(135)이 투영된다.
이와 같이, 결함(133)이 정보 판독면(131)에 존재하는 경우에는, 라인 CCD(132)에서 실상(134)과 허상(135)의 2개의 상(像)이 검출된다. 이것은, 광 디스크에 대해서 비스듬한 입사각으로 광을 조사하고 있기 때문이다. 한편, 도 6에 도시하는 바와 같이, 결함(133)이 반사면(130)에 존재하는 경우에는, 라인 CCD(132)에서는 1개의 상, 즉 실상(134)만이 검출된다. 따라서, 결함에 대응하는 상이 몇 개 검출되었는지를 따라서, 그 결함이 정보 판독면(131)에 존재하는지, 반사면(130)에 존재하는지를 판정할 수가 있다. 또, 실상(134)과 허상(135)이 비교적 큰 간격을 가지고서 라인 CCD(132) 위에 투영되는 것은, 반사면(130)과 정보 판독면 (131)과의 거리가 0.6㎜로 비교적 큰 것에 기인하고 있다.
정보 판독면(131)과 반사면(130) 사이에 결함이 생기는 경우도 있지만, 그 경우에는 라인 CCD(132) 위의 실상(134)과 허상(135)의 간격이 작아진다. 따라서, 이 실상(134)과 허상(135)의 간격을 계측하는 것에 의해서, 그 결함이 반사면(130)으로부터 어느 정도의 위치에 있는지를 판정할 수가 있다.
도 10은 종래의 외관 검사 장치로 BD 규격에 대응하는 광 디스크를 검사한 경우의 다른 양태를 도시하는 개략선도이다. 상술한 바와 같이, 이 경우에서는 커버층의 두께가 약 0.1㎜이다. 여기서, 50㎛의 결함(143)이 정보 판독면(141)에 발생하고 있다고 가정한다. 그렇다면, 입사광은 정보 판독면(141)에서 반사해서 라인 CCD(142) 위에 실상(144)이 형성된다. 또, 결함(143)에 의한 그림자(146)가 반사면(140)에 생기고, 그것이 반사해서 라인 CCD(142)에 허상(145)이 투영된다.
여기서는, 도 9에 도시하는 양태와는 달리, 실상(144)과 허상(145)은 비교적 근접한 위치에 나타난다. 이것은, 반사면(140)과 정보 판독면(141)과의 거리가 DVD와 달리 0.1㎜로 작기 때문이다.
다음에, 도 11에서는 종래의 외관 검사 장치로 BD 규격에 대응하는 광 디스크를 검사한 경우의 또 다른 양태를 도시하는 개략선도가 도시되어 있다. 상술한 바와 같이, 커버층의 두께는 약 0.1㎜이다.
여기서는, 100㎛ 의 결함(143)이 정보 판독면(141)에 존재하고 있다. 그렇다면, 그 결함(143)은 정보 판독면(141)에서 반사해서 라인 CCD(142)에 실상(144)이 투영된다.
또, 결함(143)에 의한 그림자(146)가 반사면(140)에 생기고, 그것이 반사해서 라인 CCD(142)에 허상(145)이 투영된다. 이 경우, 라인 CCD(142) 위에 형성된 실상(144)과 허상(145)은 서로 접(接)해서 하나의 상을 형성한다. 이것은, 광원이 비스듬하게(경사지게) 입사하고, 커버층의 두께가 약 0.1㎜로 얇고, 또한 결함(143)의 사이즈가 크기 때문에 생기는 현상(現象)이다.
다음에, 도 12를 참조하여, 광 디스크(140)의 검사에서, 여러가지 사이즈의 결함이 라인 CCD 위(上)의 상(像)으로서 어떻게 파악되는지에 대해서 설명한다.
도 12의 (a)에는 정보 판독면의 결함(143)이 50㎛인 경우에, 라인 CCD 위의 상으로서, 결함(143)에 대응하는 50㎛의 실상(144)과, 결함(143)에 대응하는 50㎛의 허상(145)이 형성되고, 이 2개의 상 사이에 소정의 간격이 존재하는 상태를 도시하고 있다. 이것은, 전술한 도 10의 경우와 마찬가지이다. 실상(144)과 허상(145) 사이에 있는 공백(空白) 때문에, 그 후의 처리에서는, 이들 상을 별개(別個)로, 또한 각각의 상을 결함의 사이즈와 같은(同) 사이즈로서 파악하는 것이 가능하다.
도 12의 (b)에는 정보 판독면의 결함(143)이 100㎛인 경우에, 라인 CCD 위의 상으로서, 결함(143)에 대응하는 100㎛의 실상(144)과 결함(143)에 대응하는 100㎛의 허상(145)이 형성되고, 이 2개의 상이 서로 접해 있는 상태를 도시하고 있다. 이것은, 전술한 도 11의 경우와 마찬가지이다. 실상(144)과 허상(145)이 접해 있기 때문에, 이들 2개의 상은 연결되고, 200㎛의 크기의 1개의 상으로서 파악된다.
도 12의 (c)에는 정보 판독면의 결함(143)이 150㎛인 경우에, 라인 CCD 위 의 상으로서, 결함(143)에 대응하는 150의 실상(144)과, 결함(143)에 대응하는 150㎛의 허상(145)이 형성되고, 이 2개의 상이 서로 중복(重複)하고 있는 상태를 도시하고 있다. 실상(144)과 허상(145)의 중복 부분은 50㎛이다. 이 중복 때문에, 이들 2개의 상은 전체로 1개의 상으로서 파악되며, 그 사이즈는 250㎛이다.
도 12의 (b), 도 12의 (c)로부터 알 수 있는 바와 같이, 이 예에서는 100㎛ 이상의 사이즈 결함이 정보 판독면에 발생한 경우, 허상의 존재에 의해서, 라인 CCD에는 그 결함의 사이즈 이상(以上)의 상(像)이 형성되며, 1개의 결함으로 인식된다. 따라서, 예를 들면 결함의 허용 사이즈가 150㎛까지인 경우, 실제의 결함 사이즈가 100㎛∼150㎛ 사이이더라도, 종래의 외관 검사 장치에서는 실상과 허상을 일체화해서 실제보다 크게 판단하기 때문에, 최종적으로는 불량품으로 판단되어 버린다. 이와 같은 잘못된 판단은, 적절한 품질 관리를 저해(阻害)하고, 최종적으로는 제조 코스트를 인상시키는 결과로도 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 BD 규격에 대응하는 광 디스크 등의, 얇은 투명 보호층을 가지는 광 디스크의 정보 판독면에 비교적 큰 결함이 발생하고 있는 경우라도, 정확하게 그 결함의 사이즈를 파악할 수 있는 외관 검사 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명은 라인모양 평행광을 수광해서 제1 라인모양 평행광과 제2 라인모양 평행광으로 분광하고, 제1 라인모양 평행광을 검사 대상의 표면의 라인모양 영역에 대해서 수직으로 조사하도록 배치되는 적어도 1개의 빔 스플리터와,
제1 라인모양 평행광이 라인모양 영역에서 반사하는 제1 반사광을 수광하는 제1 이미지 센서와,
제2 라인모양 평행광을 검사 대상 표면의 라인모양 영역에 비스듬하게 조사하도록 배치되는 적어도 1개의 미러와,
제2 라인모양 평행광이 라인모양 영역에서 반사하는 제2 반사광을 수광하는 제2 이미지 센서를 가지는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치이다.
본 발명에 따르면, 종래, 광 디스크의 표면에 대해서 비스듬하게 입사되고 있던 광에 더하여, 광 디스크의 표면에 대해서 수직으로 입사되는 광이 제공되고, 또 각각의 반사광의 광량이 이미지 센서에 의해서 검출되기 때문에, BD 규격에 대응하는 광 디스크와 같은 얇은 커버층을 가지는 광 디스크의 정보 판독면에 비교적 큰 결함이 발생하고 있는 경우라도, 정확하게 그 결함을 파악할 수가 있다.
도 1은 외관 검사의 원리의 설명에 사용하는 사시도,
도 2는 종래의 외관 검사 장치의 구성을 도시하는 개략 선도,
도 3은 광 디스크와 조사되는 광의 관계를 도시하는 개략 선도,
도 4는 애퍼처를 사용해서 오목볼록의 검출을 하기 위한 일련의 동작을 도시하는 개략 선도,
도 5는 애퍼처를 사용해서 오목볼록의 검출을 하기 위한 일련의 동작을 도시 하는 개략선도,
도 6은 종래의 외관 검사 장치에 의해서 결함을 검사하는 경우의 1양태를 도시하는 개략선도,
도 7은 종래의 외관 검사 장치에 의해서 결함을 검사하는 경우의 다른 양태를 도시하는 개략선도,
도 8은 종래의 외관 검사 장치에 의해서 결함을 검사하는 경우의 또 다른 양태를 도시하는 개략선도,
도 9는 종래의 외관 검사 장치에 의해서 결함을 검사하는 경우의 또 다른 양태를 도시하는 개략선도,
도 10은 종래의 외관 검사 장치에 의해서 결함을 검사하는 경우의 또 다른 양태를 도시하는 개략선도,
도 11은 종래의 외관 검사 장치에 의해서 결함을 검사하는 경우의 또 다른 양태를 도시하는 개략선도,
도 12는 결함의 크기에 따라서 CCD 위의 상이 어떻게 형성되는지를 도시한 개략선도,
도 13은 본 발명의 제1 실시 형태에 관련된 외관 검사 장치의 구성을 도시하는 개략선도,
도 14는 본 발명의 제1 실시 형태에 관련된 외관 검사 장치에 의해서 결함을 검사하는 경우의 1양태를 도시하는 개략선도,
도 15는 본 발명의 제1 실시 형태에 관련된 외관 검사 장치에 의해서 결함을 검사하는 경우의 다른 양태를 도시하는 개략선도,
도 16은 본 발명의 제2 실시 형태에 관련된 외관 검사 장치의 구성을 도시하는 개략선도.
<부호의 설명>
1, 51: 외관 검사 장치, 2, 58: 광원, 3, 7, 12, 54, 59, 61: 렌즈, 8, 53: 애퍼처, 9, 52: 제2 카메라, 13, 62: 제1 카메라, 5, 6, 55, 56, 57: 미러, 4, 10, 60: 빔 스플리터.
[발명을 실시하기 위한 최량의 형태]
이하, 본 발명의 실시 형태(形態)에 대해서, 도면을 이용하여 설명한다.
본 발명은 종래, 검사 대상의 표면에 비스듬하게 입사하는 광에 더하여, 수직으로 입사하는 광도 이용하여 결함을 검출하는 것이다. 또, 비스듬하게 입사하는 광과 수직으로 입사하는 광을 제공하기 위해서, 광원으로부터의 광을 최초로 빔 스플리터에 의해서 분광한다. 이것에 의해서, 2계통(系統)의 광로를 만들어내어, 종래의 외관 검사 장치의 문제점을 해소하고 있다.
최초로, 본 발명의 제1 실시 형태의 외관 검사 장치(1)의 구성에 대해서, 도 13을 참조하여 설명한다. 외관 검사 장치(1)는 광원(2), 렌즈(3, 7, 12), 빔 스플리터(4, 10), 미러(5, 6), 애퍼처(8), 제1 카메라(13), 제2 카메라(9) 및 디스크 구동 장치(16)를 구비하고 있다. 디스크 구동장치는 하면에 배치되는 경우도 있다.
여기서, 빔 스플리터(4)로부터 빔 스플리터(10), BD 규격에 대응하는 광 디스크(이하, 마찬가지)(15)를 순서대로 경유(經由)해서 진행하는 광은 제1 라인모양 평행광에 대응하고, 이 광의 반사광으로서 광 디스크(15)로부터 빔 스플리터(10), 렌즈(12), 제1 카메라(13)를 순서대로 경유해서 진행하는 광은 제1 반사광에 대응하고, 빔 스플리터(4)로부터 미러(5), 광 디스크(15)를 순서대로 경유해서 진행하는 광은 제2 라인모양 평행광에 대응하고, 이 광의 반사광으로서 광 디스크(15), 미러(6), 렌즈(7), 애퍼처(8), 제2 카메라(9)를 순서대로 경유해서 진행하는 광은 제2 반사광에 대응한다.
또, 빔 스플리터(4)는 제1 빔 스플리터에 대응하고, 빔 스플리터(10)는 제2 빔 스플리터에 대응하고, 미러(5, 6)가 미러에 대응한다.
광원(2)은 예를 들면 할로겐 램프나 적색 LED 등의 일반적인 광원이다. 광원(2)으로부터 나온 광은 일반적으로 확산(擴散)하지만, 이것을 렌즈(3)에서 라인모양의 평행광으로 하고, 45°로 기울어진 빔 스플리터(4)에 입사한다. 광원(2)으로부터의 광을 평행광으로 하는 주된 이유는, 광을 확산시키지 않고 큰 조도(照度)를 확보하기 위해서이다. 여기서, 평행광은 평행이면 좋고, 엄밀한 의미에서의 평행광을 가리키는 것은 아니다.
빔 스플리터(4)에 입사한 광의 50%는 반사해서 빔 스플리터(10)로 진행하고, 나머지 50%는 미러(5)로 진행한다. 빔 스플리터(10)에 입사한 광 중 절반은 반사해서 광 디스크(15)에 대해서 수직으로 입사하고, 나머지는 예를 들면 난반사 방지를 위한 광흡수 암막(暗幕; blackout) 시트(11)에 입사하여, 흡수된다. 광 디스크 (15)로부터 반사한 반사광은 이번에는 빔 스플리터(10)를 통과하고, 또 렌즈(12)를 통과하여 제1 카메라(13)에 들어가서 결상(結像)한다. 광 디스크(15)에 조사되는 광의 조도는 빔 스플리터(4)와 빔 스플리터(10)를 각각 1회(回) 경유하기 때문에, 광원(2)의 조도의 25%로 된다. 한편, 제1 카메라(13)에 들어간 광의 조도는 빔 스플리터(4)를 1회, 빔 스플리터(10)를 2회 경유하기 때문에, 광원(2)의 조도의 12. 5%로 된다.
또, 렌즈(12)와 제1 카메라(13)에 부속(付屬)하는 렌즈는 쌍으로 되어 텔레센트릭(telecentric) 렌즈를 구성한다. 렌즈에는 촬상할 수 있는 범위를 각도로 나타낸 「화각(畵角)」이라고 하는 것이 있으며, 화각은 주광선(主光線)이 주축과 이루는 각도를 전각(全角)으로 나타낸 값이라는 것으로 된다. 종래의 렌즈 제품의 경우, 어떤(certain, given) 소정의 화각을 가지고 있기 때문에, 원근(遠近)의 위치 관계에 있는, 다른(異) 물공간(物空間; object space) 거리에 있는 피사체를 촬상한 경우에, 렌즈에 가까운 거리에 위치하는 피사체가, 렌즈에 먼 거리에 위치하는 피사체보다도 크게 찍힌다고 하는 현상이 일어난다. 이와 같은 현상은 정확한 계측을 행하려고 하는 경우에는 바람직한 것은 아니다.
텔레센트릭 렌즈가 종래의 렌즈와 크게 다른 것은, 이 화각이 0°에 한없이 가까운 것이다. 이와 같은 렌즈에 의해서, 피사체의 원근에 관계없이, 그 치수나 위치를 정확하게 계측할 수가 있다.
빔 스플리터(4)를 통과한 광원의 조도의 50% 광은, 미러(5)에서 반사해서, 광 디스크(15)에 대해서 경사진 방향에서 입사하고, 광 디스크(15)에서 반사한 광 은 미러(6)에 입사한다. 여기서의 입사각은, 종래의 외관 검사 장치와 마찬가지로, 30°∼45°정도로 할 수가 있다. 미러(6)에 입사한 광은 렌즈(7)를 통과 후, 그의 절반이 애퍼처(8)로 차단되어, 제2 카메라(9)에 들어가서 결상한다. 따라서, 제2 카메라(9)에는, 광원(2)의 조도의 25% 광이 입사하고 있다. 또, 여기서도, 렌즈(7)와 제2 카메라(9)에 부속하는 렌즈는 쌍으로 되어 텔레센트릭 렌즈를 구성한다.
광 디스크(15)의 1라인에 대해서 촬영이 종료하면, 스테핑 모터 등으로 구성되는 디스크 구동 장치(16)에 의해서, 광 디스크(15)를 약간 회전시켜서, 이웃(隣; near)의 1라인에 라인모양의 평행광이 조사되도록 해서 촬영을 행한다. 이렇게 해서, 광 디스크(15)가 1회전할 때까지 조사와 촬영이 되출이된다. 또한, 상기 광 디스크(15)의 회전은 기록·재생시와 같은 회전축으로 행해진다.
상술한, 본 발명의 구성에 의해, 제1 카메라(13)는 검사 대상인 광 디스크(15)를 수직 방향에서 촬영할 수 있고, 이것에 의해서, 촬영된 결함의 상은 항상 실상 만으로 구성되어, 올바른(正; correct) 결함의 사이즈를 얻을 수가 있다. 한편, 제2 카메라(9)에는, 광 디스크(15)에 대해서 비스듬하게 입사된 광의 반사광이 제공되기 때문에, 종래의 외관 검사 장치와 마찬가지로, 주로 광 디스크 표면의 오목볼록의 검출에 유효한 촬영을 행할 수가 있다.
여기서, 광 디스크(15)를 수직 방향에서 촬영하는 것에 의해, 실상만이 얻어지고 허상이 생기지 않게 되는 점을, 도 14 및 도 15를 참조하여 설명한다. 도 14에는 광 디스크(15)의 정보 판독면(21)에 50㎛ 크기의 결함이 존재하는 경우의 예가 도시되어 있다. 광원(2)으로부터의 광은 빔 스플리터(25)에서 반사해서, 50%가 광 디스크(15)에 수직으로 입사한다. 입사광은 정보 판독면(21)과 반사면(20)에서 각각 반사해서, 빔 스플리터(25)를 통과하여 라인 CCD(22)에 입사하고, 그 결과, 결함(23)에 대응하는 실상(24)이 라인 CCD(22) 위에 투영된다.
반사면(20)에서의 결함(23)의 그림자(26)는 결국, 정보 판독면(21)의 반사에 의한 실상(24)과 같은 에리어에 투영되어, 허상이 형성되는 일은 없다. 이것은, 도 10에서 허상(145)이 형성되고 있던 것과는 대조적이다.
도 15에는, 광 디스크(15)의 정보 판독면(21)에 100㎛ 크기의 결함이 존재하는 경우의 예가 도시되어 있다. 광원(2)으로부터의 광은 빔 스플리터(25)에서 반사해서, 50%가 광 디스크(15)에 수직으로 입사한다. 입사광은 정보 판독면(21)과 반사면(20)에서 각각 반사해서, 빔 스플리터(25)를 통과하여 라인 CCD(22)에 입사하고, 그 결과, 결함(23)에 대응하는 실상(24)이 라인 CCD(22) 위에 투영된다.
이 경우도, 도 14의 경우와 마찬가지로, 허상이 형성되는 일은 없다. 이것은, 도 11에서 허상(145)이 형성되고 있던 것과는 대조적이다. 또, 도 11의 경우는, 이 허상(145)에 의해서 결함의 사이즈가 잘못 인식되고 있었지만, 본 발명에 따른 상기 실시 형태에서는, 그와 같은 오인(誤認)의 우려는 없다.
다음에, 본 발명의 제2 실시 형태의 구성에 대해서, 도 16을 참조하여 설명한다. 제2 실시 형태는 제1 카메라에의 입사광의 조도를 높게 해서 S/N 비 (Signal-to-Noise Ratio)를 개선하여, 결함의 검출 능력을 높임과 동시에, 조도가 높기 때문에 제1 카메라의 노광(露光) 시간을 짧게 한 결과, 검사 시간을 짧게 한 것이다.
제2 실시 형태에 관련된 외관 검사 장치(51)는 광원(58), 렌즈(54, 59, 61), 빔 스플리터(60), 미러(55, 56, 57), 애퍼처(53), 제1 카메라(62), 제2 카메라(52) 및 디스크 구동 장치(66)를 구비하고 있다.
여기서, 빔 스플리터(60)로부터 광 디스크(65)로 진행하는 광은 제1 라인모양 평행광에 대응하고, 이 광의 반사광으로서 광 디스크(65)로부터 빔 스플리터(60), 렌즈(61), 제1 카메라(62)를 순서대로 경유하여 진행하는 광은 제1 반사광에 대응하고, 빔 스플리터(60)로부터 미러(57), 미러(56), 광 디스크(65)를 순서대로 경유하여 진행하는 광은 제2 라인모양 평행광에 대응하고, 이 광의 반사광으로서 광 디스크(65), 미러(55), 렌즈(54), 애퍼처(53), 제2 카메라(52)를 순서대로 경유하여 진행하는 광은 제2 반사광에 대응한다. 또, 미러(57, 56) 및 미러(55)가 미러에 대응한다.
광원(58)으로부터 렌즈(59)를 거쳐서 빔 스플리터(60)에 입사한 광의 50%는 반사해서 광 디스크(65)에 수직으로 입사하고, 나머지 50%는 빔 스플리터(60)를 통과하여 미러(57)로 진행한다.
빔 스플리터(60)로부터의 광은 광 디스크(65)로 수직으로 반사하고, 그 반사광은 이번에는 빔 스플리터(60)를 통과하고, 또 렌즈(61)를 통과하여 제1 카메라(62)에 들어가서 결상한다. 제1 카메라(62)에 입사하는 광의 조도는 빔 스플리터(60)를 2회 경유하고 있기 때문에, 광원(58)의 조도의 25%로 되고, 제1 실시 형태에서의 12. 5%의 2배로 되고 있다.
또, 렌즈(61)와 제1 카메라(62)에 부속하는 렌즈는 쌍으로 되어 텔레센트릭 렌즈를 구성한다.
빔 스플리터(60)를 통과하여 미러(57)로 진행한 광원(58)의 조도 50%의 광은 미러(57) 및 미러(56)에서 반사해서, 광 디스크(65)에 대해서 비스듬한 방향에서 입사하고, 광 디스크(15)에서 반사한 광은 미러(55)에 입사한다. 여기서, 광 디스크(65)에의 입사각은 종래의 외관 검사 장치와 마찬가지로, 30°∼ 45°정도로 할 수가 있다. 미러(55)에 입사한 광은 렌즈(54)를 통과한 후, 그의 절반이 애퍼처(53)로 차단되어, 제2 카메라(52)에 들어가 결상한다. 여기서도, 렌즈(54)와 제2 카메라(52)에 부속하는 렌즈는 쌍으로 되어 텔레센트릭 렌즈를 구성한다.
이 구성에서는, 제1 카메라(62)에 입사하는 조도를 제1 실시 형태보다 크게 할 수 있었지만, 종래의 외관 검사 장치의 제1 카메라(107)에는 광원(101)의 조도의 50% 광이 제공되고 있다. 그러나, 상기 50% 광은 결함의 촬영이라고 하는 관점에서는 충분히 여유가 있는 레벨이며, 제2 실시 형태와 같이 광원의 25% 광이 제공되고 있으면 충분하다라고 생각된다. 또, 제2 실시 형태에서는, 사용하는 빔 스플리터는 1개이며, 광 흡수 암막 시트는 불필요하다.
광 디스크(65)의 1개의 라인모양 영역에 대해서 촬영이 종료하면, 스테핑 모터 등으로 구성되는 디스크 구동 장치(66)에 의해서, 광 디스크(65)를 약간 회전시켜서, 이웃의 라인모양 영역에 라인모양의 평행광이 조사되도록 해서 촬영을 행한다. 이렇게 해서, 광 디스크(65)가 1회전할 때까지 조사와 촬영이 되풀이된다.
본 발명의 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태의 외관 검사 장치 모두, 광 디스크(15, 65)의 표면에 수직으로 광을 조사하고, 그 반사광을 촬영하려고 하는 것이 기 때문에, 광 디스크(15, 65) 표면의 조사 라인과 제1 카메라(13, 62)를 잇는 선(線) 위에는 필요한 렌즈(12, 61) 및 빔 스플리터(10, 60) 이외를 배치하는 것은 기본적으로 할 수 없다. 광원(2, 58)이나 제2 카메라(9, 52) 등은 그와 같은 제한 내에서 배치된다.
또, 빔 스플리터(60)는 여러가지 반사/투과비(R/T비)의 것이 있으며, 예를 들면 제1 카메라(62) 및 제2 카메라(52)의 능력에 따라서 이것을 바꾸는(取替; replace, substitute) 것에 의해서, 제1 카메라(62) 및 제2 카메라(52) 에의 광량의 분배(分配)를 조정할 수가 있다.
또한, 이 예에서는 장치 스페이스 삭감의 관점에서 미러(56) 및 미러(57)를 이용하고 있지만, 부품 점수를 줄이기 위해서, 이 부분을 1매의 미러로 구성할 수도 있다.
또, 본 발명의 실시 형태에 관해서는, BD 규격에 대응하는 광 디스크의 외관 검사를 실시하는 외관 검사 장치에 대해서 설명해 왔지만, 종래와 같이 CD나 DVD의 검사에 이용할 수도 있으며, 또 다른(他) 광 디스크에 대해서 이용하는 것도 가능하다. 또, 광 디스크와 같은 원형(圓形)의 것 뿐만 아니라, 여러가지 형상의 외관 검사를 행하는 것이 가능하다.
예를 들면, 테이프모양(狀)의 기록 매체의 외관 검사에 본 발명의 외관 검사 장치를 적용할 수도 있으며, 그 경우에는 디스크 구동 장치(16, 66) 대신에, 기록 매체를 권취(卷取; winding, take-up)하는 권취 롤러나, 사이에 두고 송출(送出; send, delivery)하는 송출 롤러 등의 송출 수단을 배치할 필요가 있다.
또, 본 발명의 실시 형태에 관해서는, 광 디스크의 촬상을 라인 CCD를 이용하여 행하고 있지만, 다른 라인 센서(예를 들면, MOS(Metal Oxide Semiconductor)형(型) 촬상 소자, CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 센서 등)로 실현할 수도 있다. 또, 본 발명에서는, 라인모양의 입사광에 대한 반사광을 그 광의 형태에 맞추어 라인 CCD로 촬영하고 있지만, 입사광의 형태나 촬영 이미지의 처리 방법에 관해서 정합성(整合性)을 유지할 수 있으면 이차원(二次元) 센서를 이용하는 것도 가능하다.
본 발명은 광 디스크의 표면 또는 내부의 결함을 검사하는 외관 검사 장치에 관한 기술분야 등에서 이용가능하다.

Claims (11)

  1. 라인모양(狀) 평행광을 수광(受光)해서 제1 라인모양 평행광과 제2 라인모양 평행광으로 분광(分光)하고, 상기 제1 라인모양 평행광을 검사(檢査) 대상(對象)의 표면의 라인모양 영역에 대해서 수직으로 조사(照射)하도록 배치되는 적어도 1개의 빔 스플리터와,
    상기 제1 라인모양 평행광이 상기 라인모양 영역에서 반사하는 제1 반사광을 수광하는 제1 이미지 센서와,
    상기 제2 라인모양 평행광을 상기 검사 대상의 표면의 라인모양 영역에 비스듬하게 조사하도록 배치되는 적어도 1개의 미러와,
    상기 제2 라인모양 평행광이 상기 라인모양 영역에서 반사하는 제2 반사광을 수광하는 제2 이미지 센서를 가지는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 빔 스플리터에 수광되는 상기 라인모양 평행광은, 광원(光源)으로부터의 광을 수광하는 제1 렌즈에 의해 생성되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 이미지 센서가 상기 제1 반사광을 수광하기 전에, 상기 제1 반사광을 수광하는 제2 렌즈를 더 가지고,
    상기 제1 이미지 센서는 제3 렌즈를 포함하고,
    상기 제2 렌즈와 상기 제3 렌즈가 텔레센트릭(telecentric) 렌즈를 구성하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 이미지 센서가 상기 제2 반사광을 수광하기 전에, 상기 제2 반사광을 수광하는 제4 렌즈를 더 가지고,
    상기 제2 이미지 센서는 제5 렌즈를 포함하고,
    상기 제4 렌즈와 상기 제5 렌즈가 텔레센트릭 렌즈를 구성하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 이미지 센서가 상기 제2 반사광을 수광하기 전에, 상기 제2 반사광의 일부를 차단하는 애퍼처(aperture)를 더 가지는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 빔 스플리터가 1개이며,
    상기 빔 스플리터에서 반사한 광이 상기 제1 라인모양 평행광이며, 상기 빔 스플리터를 투과한 광이 상기 제2 라인모양 평행광인 것을 특징으로 하는 외관 검 사 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 빔 스플리터가 제1 빔 스플리터 및 제2 빔 스플리터의 2개이며,
    상기 제1 빔 스플리터에서 반사한 광이 제2 빔 스플리터에서 수광되고, 상기 제1 빔 스플리터를 투과한 광이 상기 제2 라인모양 평행광이며,
    상기 제2 빔 스플리터에서 반사한 광이 상기 제1 라인모양 평행광인 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 검사 대상이 광 디스크이며,
    상기 제1 라인모양 평행광과 상기 제2 라인모양 평행광이, 상기 광 디스크의 반경 방향의 1개의 상기 라인모양 영역에 조사되고,
    상기 제1 이미지 센서 및 상기 제2 이미지 센서가, 각각 라인 센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 광 디스크를 회전시키는 디스크 구동 수단을 더 가지고,
    상기 제1 이미지 센서가, 수광한 상기 제1 반사광을 촬영하고, 상기 제2 이미지 센서가, 수광한 상기 제2 반사광을 촬영한 후에, 상기 디스크 구동 수단이, 상기 광 디스크의 이웃(隣; near)의 라인모양 영역에 상기 제1 라인모양 평행광과 상기 제2 라인모양 평행광이 조사되도록 상기 광 디스크를 회전시키는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 검사 대상이 테이프모양(狀)의 기록 매체이며,
    상기 제1 라인모양 평행광과 상기 제2 라인모양 평행광이, 상기 기록 매체의 긴쪽(長手; longitudinal) 방향에 수직인 1개의 라인모양 영역에 조사되고,
    상기 제1 이미지 센서 및 상기 제2 이미지 센서가, 각각 라인 센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 기록 매체를 송출하는 송출 수단을 더 가지고,
    상기 제1 이미지 센서가, 수광한 상기 제1 반사광을 촬영하고, 상기 제2 이미지 센서가, 수광한 상기 제2 반사광을 촬영한 후에, 상기 송출 수단이, 상기 기록 매체의 이웃의 라인모양 영역에 상기 제1 라인모양 평행광과 상기 제2 라인모양 평행광이 조사되도록 상기 기록 매체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
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