KR20060086752A - 웨이퍼 카세트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로서, 웨이퍼가 반입/반출되도록 전방부가 개방되고, 내부에 상기 웨이퍼를 적재시키도록 다수의 슬롯이 형성된 카세트 몸체; 및 상기 슬롯을 개폐하기 위한 슬롯 개폐 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트를 제공한다.

본 발명에 의하면, 웨이퍼 카세트에 형성된 다수의 슬롯 중 일부 슬롯을 개폐하여, 적재되는 웨이퍼간 간격을 조정함으로써, 웨이퍼를 픽업하는 과정에서 트위저에 의해 웨이퍼 표면에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

웨이퍼 카세트, 슬롯, 트위저, 스크래치

Description

웨이퍼 카세트{WAFER CASSETTE}

도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 및 웨이퍼 픽업용 트위저를 나타낸 사시도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 카세트의 구성을 나타낸 사시도이다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 카세트의 작용을 나타낸 사시도이다.

도 4는 본 발명에 따른 슬롯 개폐 수단의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.

**도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명**

110 : 슬롯 120 : 카세트 몸체

130 : 슬롯 개폐 수단 140 : 삽입부

150 : 손잡이용 돌출부

본 발명은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 픽업하는 과정에서 트위저에 의해 웨이퍼 표면에 스크래치 (Scratch)가 발생되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자는 실리콘 기판인 웨이퍼에 산화막을 성장시키고, 불순물을 침적시키며, 침적된 불순물을 웨이퍼 내로 원하는 깊이까지 침투시키는 확산 공정과, 식각이나 이온 주입이 이루어질 부위의 보호 부위를 선택적으로 한정하기 위해 마스크나 레티클(Reticle)의 패턴을 웨이퍼 상에 형성하는 포토 공정과, 감광액 현상이 끝난 후 감광액 밑에 성장되거나 침적 또는 증착된 박막들을 가스나 화학약품을 이용하여 선택적으로 제거하는 식각 공정 및 화학기상증착(CVD; Chemical Vapor Deposition)이나 이온 주입 또는 금속 증착 방법을 이용하여 특정한 막을 형성시키는 박막 공정 등의 여러 공정을 반복적으로 수행함으로써 제조 된다.

한편, 위와 같은 각 공정의 진행은 일반적으로 각 공정이 진행될 다수의 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 적재하여 웨이퍼 카세트 단위로 각 공정으로 이동하면서 이루어지게 되는데, 보통 한 공정이 끝나고 다른 공정으로 이동하는 중간 중간에 각 공정을 완료한 웨이퍼의 이상 유무를 육안으로 검사하는 과정을 거치게 된다.

이때, 위와 같은 검사는 일반적으로 작업자가 웨이퍼 카세트에 적재된 다수의 웨이퍼를 트위저라는 집게를 이용하여 한 장씩 픽업(Pick-Up)하여 꺼내는 핸들링을 통해 이루어지게 된다.

도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 및 웨이퍼 픽업용 트위저를 나타낸 사시도이다.

그런데 웨이퍼 카세트(10)에는 일반적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수 의 웨이퍼(W)를 조밀하게 적재하게 되는데, 이로 인하여 웨이퍼 카세트(10) 내에 적재된 웨이퍼(W)간 간격은 매우 좁아지고 있다.

이에 따라 웨이퍼 검사를 위해 트위저(20)를 이용하여 검사 대상 웨이퍼를 픽업하는 경우, 작업자가 조금만 주의를 소홀히 하더라도 트위저(20)가 픽업 대상 웨이퍼와 이웃하는 다른 웨이퍼의 표면과 부딪힘으로써 웨이퍼 표면에 스크래치(Scratch)를 발생시켜 웨이퍼 손상을 유발하는 문제가 빈번하게 발생하고 있는 실정이다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 단점을 극복하기 위해 안출된 것으로서, 웨이퍼 카세트에 형성된 다수의 슬롯 중 일부 슬롯을 개폐하여, 적재되는 웨이퍼간 간격을 조정함으로써, 웨이퍼를 픽업하는 과정에서 트위저에 의해 웨이퍼 표면에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트를 제공하는 것을 기술적 과제로 삼고 있다.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 카세트는 웨이퍼가 반입/반출되도록 전방부가 개방되고, 내부에 상기 웨이퍼를 적재시키도록 다수의 슬롯이 형성된 카세트 몸체; 및 상기 슬롯을 개폐하기 위한 슬롯 개폐 수단을 포함한다.

바람직하게 상기 슬롯 개폐 수단은 상기 슬롯에 착탈가능하게 끼워진다.

또한, 상기 슬롯 개폐 수단은 전체적으로 'U'자형 형상을 가지며, 상기 슬롯 에 삽입되는 삽입부는 상기 슬롯의 형상에 대응되도록 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 슬롯 개폐 수단은 그 일단 또는 양단에 손잡이용 돌출부를 추가로 구비함으로써 상기 슬롯에 용이하게 착탈할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 카세트의 구성을 나타낸 사시도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 카세트(100)는 웨이퍼가 반입/반출되도록 전방부가 개방되고, 내부에 웨이퍼를 적재시키도록 다수의 슬롯(110)이 형성된 카세트 몸체(120)와, 슬롯(110)을 개폐하기 위한 슬롯 개폐 수단(130)으로 구성된다.

여기서 슬롯 개폐 수단(130)은 카세트 몸체(120)에 형성된 슬롯(110)에 착탈가능하게 끼워지도록 구성된다. 이때, 상기 슬롯 개폐 수단(130)의 형상은, 도 2에 도시된 바와 같이, 전체적으로 'U'자형 형상을 가지며, 슬롯(110)에 삽입되는 삽입부(140)는 슬롯(110)의 형상에 대응되도록 형성된다.

즉, 슬롯(110)의 형상이, 도 2에 도시된 바와 같이, 내부로 갈수록 점점 좁아지도록 테이퍼지게 형성된 경우에는, 이에 대응하도록 슬롯 개폐 수단(130)의 삽입부(140) 역시 테이퍼지게 형성된다. 따라서 슬롯 개폐 수단(130)을 슬롯(110)에 삽입하는 경우, 삽입부(140)와 슬롯(110)이 정확하게 치합됨으로써 안정적인 삽입 상태를 유지할 수 있다.

한편, 카세트 몸체(120)에 형성된 슬롯(110) 및 슬롯 개폐 수단(130)의 삽입부(140)의 형상이 반드시 도 2에 도시된 바와 같은 형상으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도면상 도시하지는 않았으나, 단면이 'ㄷ' 형상 또는 '⊂' 형상을 갖는 슬롯일 수 있으며, 이에 대응하도록 슬롯 개폐 수단의 삽입부의 형상 역시 그 단면이 'ㄷ' 형상 또는 '⊂' 형상을 갖도록 형성될 수 있다.

한편, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 카세트의 작용을 나타낸 사시도인데, 도 3에 도시된 바와 같이, 슬롯 개폐 수단(130)을 카세트 몸체(120)에 형성된 슬롯(110) 중 일부 슬롯(110')에 삽입하여 상기 일부 슬롯(110')에 웨이퍼가 적재되지 못하도록 폐쇄하고, 그 외 나머지 슬롯에 웨이퍼(W)를 적재함으로써 웨이퍼(W)간 간격을 조정할 수 있다.

이를 통해, 도 1에 도시된 바와 같은 웨이퍼(W)간 간격의 조밀함으로 인하여 웨이퍼 검사를 위해 웨이퍼를 픽업하는 과정에서 트위저에 의해 웨이퍼 표면에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 도 4는 본 발명에 따른 슬롯 개폐 수단의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 다른 실시예에 따른 슬롯 개폐 수단(130')은 전체적으로 'U'자형 형상을 가지며, 카세트 몸체(120)에 형성된 슬롯(110)에 대응되는 형상의 삽입부(140')를 가질 뿐만 아니라, 양단에 손잡이용 돌출부(150)를 구비한다.

따라서 슬롯(110)의 폐쇄를 위해 슬롯(110)에 삽입된 슬롯 개폐 수단(130') 을 빼내고자 하는 경우, 슬롯 개폐 수단(130')의 양단에 형성된 손잡이용 돌출부(150)를 이용하여 슬롯(110)으로부터 슬롯 개폐 수단(130')을 용이하게 빼낼 수 있다.

이때, 손잡이용 돌출부(150)가 반드시 슬롯 개폐 수단(130')의 양단에 형성되어야 하는 것은 아니며, 양단 중 어느 일단에만 형성시킬 수도 있다. 이를 통해서도 본래의 목적을 충분히 달성할 수 있기 때문이다.

한편, 지금까지 설명한 슬롯 개폐 수단(130,130') 이외에도 다른 여러가지 변형 예들을 생각해 볼 수 있다. 즉, 예를 들어, 도면상 도시하지는 않았으나 소정 길이를 갖는 막대 형상의 몸체와, 웨이퍼 카세트에 형성된 슬롯의 형상에 대응하도록 길이 방향으로 형성된 삽입부를 상기 몸체의 일측에 형성함으로써 상술한 슬롯 개폐 수단(130,130')과 동일한 기능을 수행하도록 할 수 있다.

물론 이때의 슬롯 및 삽입부의 형상은 위에서 설명한 여려 유형, 즉 테이퍼진 형상이거나, 그 단면이 'ㄷ' 형상 또는 '⊂' 형상을 갖도록 구성할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라, 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의하면, 웨이퍼 카세트에 형성된 다수의 슬롯 중 일부 슬롯을 개폐하여, 적재되는 웨이퍼간 간격을 조정함으로써, 웨이퍼를 픽업하는 과정에서 트위저에 의해 웨이퍼 표면에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 웨이퍼가 반입/반출되도록 전방부가 개방되고, 내부에 상기 웨이퍼를 적재시키도록 다수의 슬롯이 형성된 카세트 몸체; 및

   상기 슬롯을 개폐하기 위한 슬롯 개폐 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 슬롯 개폐 수단은 상기 슬롯에 착탈가능하게 끼워지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 슬롯 개폐 수단은 전체적으로 'U'자형 형상을 가지며, 상기 슬롯에 삽입되는 삽입부는 상기 슬롯의 형상에 대응되도록 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 슬롯 개폐 수단의 일단 또는 양단에 손잡이용 돌출부가 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.

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