KR100187436B1 - 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스 - Google Patents

Abstract

공정챔버로부터 공정을 수행한 웨이퍼를 캐리어에 담게 되고 이러한 캐리어를 다음 공정으로 용이하게 이송하도록 하는 반도 체웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스에 관한 것이다.

본 발명은 런시트가 삽입되는 런시트 삽입부와 상기 런시트의 이탈을 방지하도록 양측 단벽에 형성된 측면돌기를 구비한 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스에 있어서, 상기 단벽의 후면측에 후면돌기가 형성되어 이루어진다.

따라서, 캐리어 운반용 박스의 뚜껑을 개폐하거나 정화된 공기의 공급에 의해 런시트가 날려 분실하는 일이 없으며, 런시트가 바닥에 떨어지는 것을 방지함으로써 공정 진행중에 런시트에 의한 웨이퍼의 오염이 없는 효과가 있다.

Description

반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스

제1도는 종래의 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스를 나타낸 사시도이다.

제2도는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스를 나타낸 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10,28 : 캐리어 운반용 박스 12,30 : 뚜껑

14 : 용기 16 : 잠금장치

18 : 런시트 20,32 : 상면

22,34 : 런시트 삽입부 24,36 : 단벽

26,38 : 측면돌기 40 : 후면돌기

본 발명은 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정챔버로부터 공정을 수행한 웨이퍼를 캐리어에 담게 되고 이러한 캐리어를 다음 공정으로 용이하게 이송하도록 하는 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스에 관한 것이다.

통상적으로 실리콘 재질의 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속배선 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작되며, 이렇게 반도체 장치로 제작되기까지 웨이퍼는 요구되는 각 공정 사이로 이송되어 각 공정에 따른 작업을 수행하게 된다.

전술한 바와 같이 웨이퍼를 각 공정으로 이송시키기 위해서는 먼저 웨이퍼를 캐리어에 담게 되며, 다시 이 캐리어를 캐리어 운반용 박스에 담아 이송하도록 되어 있다.

이러한 캐리어 운반용 박스는 웨이퍼를 다른 공정으로 이송시키는데 쓰일 뿐아니라 각 공정의 진행상 시간적으로 정체되거나 제조설비의 고장 및 작업 진행상 등에 의해 정해진 위치에서 웨이퍼를 보관하는 역할도 수행하고 있다.

그리고, 이 캐리어 운반용 박스는 웨이퍼의 공정 진행과정을 기재하도록 되어 있는 런시트(Run sheet)를 삽입하고 있으며, 이 런시트에 의해 캐리어 운반용 박스에 담긴 웨이퍼의 공정 진행단계를 확인할 수 있게 된다.

전술한 바와 같이 런시트와 함께 웨이퍼를 이송 또는 임시 보관하게 되는 종래의 캐리어 운반용 박스에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

제1도는 종래의 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

제1도를 참조하여 설명하면, 캐리어 운반용 박스(10)는 상측 뚜껑(12)가 하측 용기(14)의 일측 변부가 회전 가능토록 힌지 결합되어 있으며, 이 힌지 결합된 부위의 맞은편 즉 전면에 형성된 잠금장치(16)에 의해 회전식으로 개폐되도록 형성되어 있다.

이렇게 형성된 캐리어 운반용 박스(10)는 뚜껑(12)과 용기(14)가 이루는 내부에 캐리어(도시 안됨)를 수용할 수 있는 공간을 형성하게 된다.

한편, 캐리어 운반용 박스(10)의 뚜껑(12) 상측에는 런시트(18)가 삽입되도록 상면(20)으로부터 소정 깊이로 단차를 갖는 런시트 삽입부(22)가 형성되어 있고, 이 런시트 삽입부(22)와 상면(20)은 소정 깊이 만큼의 단벽(24)을 이루고 있다.

이러한 단벽(24)은 런시트 삽입부(22)에 삽입된 런시트(18)가 수평하게 움직여 이탈되는 것을 방지하게 된다.

또한, 도면에 도시된 바와 같이 런시트 삽입부(22)의 양측 단벽(24)에 연장되어 소정 폭과 두께를 갖는 측면돌기(26)가 형성되어 있어 런시트(18)가 상측으로 이탈되는 것을 방지하도록 되어 있으며, 이 측면돌기(26)가 전면측과 후면측의 단벽(24)과 이루는 간격 사이로 런시트(18)를 화살표 A 또는 화살표 B 방향으로 삽입 또는 빼내도록 되어 있다.

그러나, 이렇게 형성된 캐리어 운반용 박스의 전면에서 뚜껑을 개폐함에 따라 뚜껑이 이루는 경사도에 의해 후면 방향으로 빠지는 경우와 각 공정으로 이송되는 과정에서 공급되는 정화된 공기에 의해 런시트가 날리는 등 분실하는 일이 많으며, 바닥에 떨어진 런시트에 이물질이 묻어 공정 진행중에 웨이퍼의 오염을 유발하게 되는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은 캐리어 운반용 박스로부터 뚜껑의 개폐 또는 공급되는 정화된 공기에 의해 런시트가 빠지는 것을 방지하고, 런시트의 분실 및 웨이퍼의 오염을 방지하도록 하는 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어 운반용 박스를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 런시트가 삽입되는 런시트 삽입부와 런시트의 이탈을 방지하도록 양측 단벽에 형성된 측면돌기를 구비한 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스에 있어서, 상기 단벽의 후면측에서 전면측 방향으로 후면돌기가 연장되어 이루어진다.

또한, 상기 후면돌기는 상기 단벽의 후면측 가장자리에서 상기 측면돌기와 연장되도록 형성함이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

제2도는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 제2도에 있어서, 제1도와 동일한 부호의 구성요소는 전술한 종래의 기술과 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

제2도를 참조하여 설명하면, 캐리어 운반용 박스(28)의 뚜껑(30) 상측에는 런시트(18)가 삽입되도록 상면(32)으로부터 소정 깊이로 단차를 갖는 소정 넓이의 런시트 삽입부(34)가 형성되어 있고, 이렇게 형성된 런시트 삽입부(34)는 상면(32)과 소정 깊이 만큼의 단벽(36)을 이루고 있어 이 단벽(36)으로 하여금 런시트 삽입부(34)에 삽입되는 런시트(18)가 수평 방향으로 이탈되는 것을 방지하도록 되어 있다.

또한, 도면에 도시한 바와 같이 런시트 삽입부(34)의 양측과 후면측 단벽(36)에 연장되어 소정 폭과 두께를 갖는 측면돌기(38)와 후면돌기(40)가 형성되어 있어 런시트(18)가 상측 및 후면 방향으로 이탈됨을 방지하게 된다.

여기서, 상기 후면돌기(40)는 단벽(36)의 후면측 소정 부위가 돌출되는 형상으로 형성할 수 있으며, 측면돌기(38)가 후면측 단벽(36)까지 연장되어 형성될 수도 있다.

그리고, 전면 방향의 상측부는 전면측 단벽(36)과 측면돌기(38)가 이루는 간격을 통하여 런시트 삽입부(34)에 런시트(18)를 화살표 C 방향으로 삽입하거나 빼내도록 되어 있다.

이렇게 구성된 본 발명은 캐리어 운반용 박스의 전면에서 뚜껑을 개폐하여도 뚜껑이 이루는 경사도에 의해 런시트가 후면 방향으로 빠지는 것을 방지하고, 전면 일 방향에 대해서만 런시트를 삽입 또는 빼낼 수 있게 됨에 따라 정화된 공기의 공급에 의해 날려 분실하는 일이 없으며, 런시트가 바닥에 떨어지는 것을 방지하고, 이에 따라 공정 진행중에 런시트에 의한 웨이퍼의 오염이 없는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구의 범위에 속함은 당연하다.

Claims (2)

1. 런시트가 삽입되는 런시트 삽입부와 상기 런시트의 이탈을 방지하도록 양측 단벽에 형성된 측면돌기를 구비한 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스에 있어서,

   상기 단벽의 후면측에 후면돌기가 형성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 후면돌기는 상기 단벽의 후면측 소정 부위가 돌출되어 상기 측면돌기와 연장되도록 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 이송을 위한 캐리어 운반용 박스.