KR20060067972A - 밴드 처리 장치용 에어로크 밸브 - Google Patents

Abstract

가요성 밴드 기재(4)가 통과하는 2개의 상이한 구역 사이의 간극형 개구부(3)를 폐쇄하도록 제공되는, 밴드 처리 장치 또는 밴드 코팅 장치용 에어로크(air-lock) 밸브(1)로서, 상기 개구부(3)를 폐쇄하기 위해 밀봉면(5)과 협동하는 하나 이상의 가동 밀봉체(7)를 구비하고, 상기 에어로크 밸브(1)가 폐쇄된 상태에서는 상기 밴드 기재(4)가 상기 밀봉체(7)와 상기 밀봉면(5) 사이에서 클램핑되는 에어로크 밸브에서, 상기 밀봉면(5)은 프레임 형태로 상기 개구부(3)를 둘러싸고, 상기 개구부(3)를 폐쇄하기 위해 상기 밀봉체(7)는 상기 개구부(3)를 통과하는 상기 밴드 기재(4) 상 및/또는 상기 밀봉면(5) 상에 가압될 수 있어서, 상기 개구부(3)가 상기 밀봉면(5)의 에지에서 적어도 간접적으로 접촉됨으로써 폐쇄되는 것을 특징으로 한다.

에어로크 밸브, 밴드, 코팅, 진공 챔버, 개구부, 밀봉

Description

밴드 처리 장치용 에어로크 밸브 {LOCK VALVE IN PARTICULAR FOR A STRIP PROCESSING UNIT}

본 발명은 특허청구범위 제1항의 특징을 가지는, 특히 밴드 처리 또는 코팅 장치용 에어로크 밸브에 관한 것이다.

이러한 유형의 처리 장치는 주로 플라스틱 포일, 자기 테이프, 필름 등과 같은 플렉시블 밴드 기재(band substrate)를 진공에서(예를 들어, 스퍼터링, 즉 자기장, 증발, PVD 또는 CVD 처리에 의해 보강되는 목표 자동화에 의해) 코팅하는 것과, 처리/세정/건조/표면활성화/중합 등과 같은 추가의 처리 방법을 위해 설계되었다. 이러한 경우에는, 베어링 액슬 상에 위치되어 베일(bale) 또는 포일(foil) 형태로 공급된 밴드 기재를 상기 장치에 투입하기 위해, 상기 밴드 기재는 코팅 공정 동안에 상기 베일로부터 취출될 필요가 있다.

코팅 챔버의 하류를 지나서는 권취 릴(take-up reel)을 구비한 다른 액슬이 제공되며, 이를 통해 코팅된 밴드 기재가 다시 권취된다.

기본적으로, 이러한 밴드 코팅 장치는 여러 모듈(취출 모듈, 코팅 모듈, 권취 모듈)로 구분될 수 있다.

공지된 장치에서는, 상기 밴드 기재를 취출 및 권취하기 위해 양측으로 장착 되는 2개의 축 또는 실린더가 공통 프레임형 베이스 상에 조립되며, 이로 인해 상기 2개의 축 또는 실린더 사이에는 일정한 왕복동 및 확고한 위치 관계가 보장되는 장점을 갖는다. 상기 2개의 축 또는 실린더가 코팅 모듈의 양측에 배치되는 경우에는, 스풀의 교환 시에, 별도의 방법에 의해, 진공으로 작동되는 코팅 챔버도 환기되는 것이 방지될 수 있다.

기재의 베일을 각각 교환할 때, 즉 코팅이 완료된 밴드 기재를 새롭게 권취된 베일로 교체할 때, 진공으로 작동되는 코팅 챔버는 환기되지 않아야 한다.

따라서, 각각의 모듈 사이에는 에어로크 밸브가 장착되는 것이 공지되어 있다. 투입 단계 및 제거 단계에서만 환기되고 유효 코팅 챔버는 영구히 진공 상태로 남기 때문에, 재차 환기되어야 하는 용적이 명백하게 감소된다. 그러나, 필요한 경우에는 장치 전체가 환기될 수 있다.

공지된 에어로크 밸브는, 밴드 기재의 통로 영역에 배치되는 (공압 또는 유압에 의한) 팽창식 튜브(inflatable tube) 또는 멤브레인 시일(membrane seal)로 이루어진다. 시일은, 팽창된 상태에서, 밴드 기재 위에 제공되는 밀봉면에 대하여 가압되어, 시일과 밀봉면 사이에서 밴드 기재를 단단히 고정시킨다.

정상적인 작동에서, 밴드 기재는 튜브 또는 멤브레인 시일이나 밀봉면과 접촉하지 않지만, 튜브 또는 멤브레인 시일의 스트로크가 좁게 한정된 것을 감안하여 가용한 통로 슬롯이 매우 좁게 남아 있어야 한다. 코팅 처리 중에 밴드 기재의 불가피한 진동으로 인해, 코팅 챔버로부터의 배출 시에 밴드 기재와 통로의 경계 영역 사이에는 접촉이 일어날 수 있어서, 완료된 코팅에 손상이 일어날 수 있다. 또 한, 이러한 바람직하지 않은 접촉으로 인해, 매우 높은 인장 응력에 의해 밴드 기재가 파열될 수 있으며, 이에 따라 밴드 처리 장치가 강제적으로 무력화될 수 있다.

문제는 진공 중의 중공 시일의 강력한 응력에 의해서도 발생하며, 그 이유는 중공 시일이 압력 차이에 노출되기 때문이다. 따라서, 멤브레인 또는 튜브의 벽 부분은 매우 견고하게 이루어져야 하며, 이것은 다시 유연성에 악영향을 주게 된다. 결과적으로, 가장자리 밀봉 영역, 특히 밴드 기재의 경계와 중첩되는 지점(쐐기형으로 형성되어 표면이 최소화될 수 있는 지점)에 밀봉 결합이 일어날 수 있다.

마지막으로, 이러한 공지된 밀봉 형태에서는, 일방적인 대기압(각각의 환기된 챔버로부터의 압력)이 시일에 작용하여 진공 챔버로 압박하게 된다.

DE 199 12 707 A1에는, 밴드형 기재를 처리하는 장치가 개시되어 있다. 2개의 회전하는 밴드가 배출 가능한 하우징을 통과하며, 통로 영역에서 서로 접촉하여 기재를 투입 및 제거하거나, 상기 2개의 밴드 사이에서 이동되는 평면 기재를 포함한다. 2개의 밴드가 기재와 공간적으로 접촉하기 때문에 충분한 밀봉 효과가 얻어지기는 하나, 통로 간극의 폭이 상당히 감소되고 상기 기재가 컨베이어 벨트와 연속적으로 표면 접촉하게 된다.

DE 199 60 751 A1에는, 이러한 유형의 다른 에어로크가 개시되어 있으며, 본질적으로, 가요성이 있는 2개의 실린더, 및 튜브형 케이싱을 포함하고, 이들은 서로 접촉하며, 그 사이로 밴드 기재가 통과될 수 있다. 밀봉 효과를 향상시키고 상기 실린더와 통과하는 기재의 경계 사이의 측방향 간극을 최소화하기 위해, 실린더 케이싱은 적어도 순간적으로 가압될 수 있다. 이러한 과정 동안, 상기 실린더 및 케이싱은 팽창되고 기재에 대한 한쪽의 접촉 압력이 증가되는 한편, 상기 측방향 간극이 대부분 폐쇄된다. 진공 챔버의 영역에서, 실린더 케이싱 표면은 진공 챔버의 내측을 향해 지지 롤에 의해 지지되어, 상당한 추가적 수고를 유발시킬 수 있는 초과 팽창을 억제한다.

DE 44 18 383 C2에는, 2개의 대면하여 접촉되는 실린더를 구비하고 그 사이로 밴드 기재가 통과될 수 있도록 작동되는 진공 에어로크가 기재되어 있다. 이 경우, 실린더는 단지 탄성 및 가요성 소재의 커버를 구비한다.

WO 99/50 472에는, 진공 밴드 코팅 장치가 개시되어 있으며, 밴드 기재가 투입 및 배출 스테이션과 유효 반응 챔버 사이의 실린더 에어로크를 통과하고, 상기 실린더 에어로크는 압력 스테이지로서 작용한다. 일 예에서 밴드 기재는 서로 회전하는 2개의 실린더 사이를 통과할 수 있고, 다른 예에서는 밴드 기재가 실린더와 고정된 밀봉 블록 사이를 통과할 수 있다. 이들 실린더 에어로크는, 예를 들어 새로운 밴드 기재를 투입하기 위해 개방될 수 있다. 이를 위해, 한쪽의 실린더가 후퇴되도록 그 회전축이 회전축 둘레에 절곡 가능하게 장착되거나, 밀봉 블록이 실린더로부터 제거된다. 하나의 실린더만 구비하는 변형에서는, 밴드가 매우 협소한 간극을 통해 실린더와 밀봉 블록 사이에서 이동되지만, 과도한 기계적 응력이 가해지지 않도록 그 단부는 개방된다. 따라서, 완벽한 밀봉이 이루어지지 않게 된다.

본 발명의 과제는 정적인(static) 밀봉을 위한 추가의 에어로크 밸브를 제공함으로써, 전술한 문제점을 방지하거나 적어도 감소시키도록 하는 것이다.

본 발명에 따르면, 상기 과제는 특허청구범위 제1항의 특징에 의해 해결된다. 종속항의 특징들은 본 발명의 바람직한 실시예를 반영하는 것이다.

독립항인 제12항은 본 발명에 따른 적어도 하나의 에어로크 밸브를 구비한 코팅 장치를 청구하는 것이다.

에어로크 밸브를 개선하기 위해, 프레임형의 밀봉면이 밴드 기재가 통과하는 개구부를 둘러싼다. 밀봉면과 대응되는 밀봉체가 밴드 기재의 일 측에 배치되어 기계적으로 작동하는 스트로크로 이동 가능하게 장착된다. 상기 밀봉체는, 밀봉면 상에서 개구부 표면을 전체적으로 에워싸는 동시에 완전히 폐쇄할 수 있도록 조절된다. 이러한 폐쇄 동작은, 밴드 기재가 개구부를 통과하는지 여부를 고려하여 일어난다.

첫 번째 경우, 밴드 기재의 일부분은 단지 밀봉체와 밀봉면 사이에 장착되고, 밴드는 플렉시블하게 변형되며 손상되지 않으며, 밀봉면 및 밀봉체는 적절하게 설계되어 있다. 이러한 과정에서, 밴드 기재가 추가의 밀봉 수단과 유사한 형태로 되기 때문에, 밀봉체는 밀봉면과 간접적으로만 접촉하게 된다.

에어로크 밸브의 이러한 배치 및 기능은, 밴드를 교환할 때, 즉 밴드 스풀이 코팅 장치를 완전히 통과한 후에, 밴드의 일부분이 코팅 챔버의 내부, 즉 연속하여 위치되는 상이한 코팅 챔버로 이루어지는 모듈의 내부에 남아 있게 되는 장점을 갖는다. 새로운 스풀을 취출 챔버에 투입한 후, 새로운 밴드 기재는 상기 남아 있는 일부분의 밴드와 견고하게 접합되고, 롤링에 의해 상기 나머지 부분이 빈(empty) 스풀에 권취된다. 투입 챔버 및 교환 챔버를 통과한 후, 새로운 밴드 기재의 초기 부분은 상기 나머지 부분에 의해 코팅 장치에 투입될 수 있다.

다른 경우에, 개구부에 밴드 기재가 존재하지 않으면, 밀봉체는 밀봉면과 외주가 직접 접촉하여 개구부를 폐쇄한다.

바람직한 실시예에 따르면, 적어도 밀봉체, 바람직하게는 밀봉면도 궁형의 형상 또는 표면을 갖는다. 밀봉면이 본질적으로 평면이고 밀봉체만이 궁형이면, 밀봉체는, 밀봉면의 대면하는 밀봉 에지와 접촉되거나 자신과 상기 에지 사이에 밴드 기재를 고정시키는 크기를 갖게 된다.

결국, 밀봉면의 곡률반경은 밀봉체에 제공되어 밀봉면과 대면하는 궁형 표면의 곡률반경보다 크거나 적어도 동일하여, 전술한 에지 밀봉 효과가 얻어질 수 있다.

이러한 구성으로 인해, 에어로크 밸브의 폐쇄 위치에서 밴드 기재의 벤딩 각도가 너무 강해지는 것이 방지될 수 있다. 평평한 밀봉면이라면, 적어도 수직선과 대면하여 밴드 기재의 경사진 위치에 놓여서, 밀봉체에 의해 고정되는 밴드 부분이 에어로크 밸브가 폐쇄되었을 때 둔각으로만 구부러지도록 한다. 궁형 밀봉면이라면, 전체적으로 대응되게 곡률이 이루어지며, 이에 대하여는 예시적인 실시예를 통해 상세하게 후술하기로 한다.

한쪽의 밀봉면 에지는 가요성 소재(예를 들면 고무, 연성 플라스틱 등)로 이루어져서 표면 접착에 의한 미봉 효과가 향상되도록 하고, 다른 쪽은 둥글게 되어서 밴드 기재에 실질적인 손상(끼임, 접힘, 갈라짐)이 발생하지 않도록 하는 것이 바람직하다. 특히, 밀봉체에도 밀봉면과 같이 탄성 및 가요성을 갖는 표면 소재가 제공되거나 전체가 그러한 소재로 만들어지는 것이 바람직하다.

일 실시예에서, 밀봉체는 원통형 롤로 구성된다. 이로 인해, 항상 밀봉체의 동일한 부분이 밀봉면과 협동될 필요가 없는 장점을 갖는다. 밀봉체는 원형 링 또는 롤 외주의 일부분에만 대응되는 형상으로 설계될 수도 있다.

밀봉체는 개구부보다 약간 커서, 폐쇄 위치에서 개구부의 모든 에지와 중첩되어 전체적으로 밀봉이 이루어질 수 있다.

에어로크 밸브의 바람직한 실시예는, 개구부, 밀봉면, 및 밀봉체가 내부에 장착되는 하우징을 포함하며, 구동부가 모듈 형태로 조립될 수 있다.

밀봉체의 이동 또는 반전을 위한 구동부로서, 역회전 가능한 전기식 또는 유압식 구동부가 고려될 수 있으며, 적절한 동력 전달장치 또는 링크가 개재될 수 있다. 밴드 처리 장치가 정상적으로 작동 중일 때 에어로크 밸브는 계속해서 양방향으로 이동될 필요가 없기 때문에, 수동 구동력이 제공될 수도 있으며, 밀봉체는 어큐뮬레이터(예를 들면 기계적 또는 가스압력 스프링) 또는 토글 조인트(toggle joint) 또는 이와 유사한 장치에 의해 밀봉면에 장착될 수 있다. 수동 구동력은 외부의 동력에 이상이 발생한 경우에 제공될 수 있다.

일반적인 경우, 어큐뮬레이터에 의한 상기 에어로크 밸브의 밀봉체의 조립체는 구동력의 종류(외부 동력 또는 수동 동력)에 관계없이 연속적인 접촉력이 계속해서 제공되는 장점을 갖는다. 이러한 어큐뮬레이터는 충분히 견고한 형태로 구성되어서, 밴드 기재의 신장을 극복하여 밀봉면에 고정시키도록 한다.

본 발명에 따른 해결방안의 장점은 다음과 같다.

- 개구부의 간극이 종래기술에서의 경우보다 커서, 밸브가 개방되었을 때 통로를 통과하는 밴드 기재의 진동이 곧바로 개구부의 에지와 접촉되도록 하지 않는다. 따라서, 코팅의 손상 및 밴드의 파열이 거의 없다.

- 종래기술과 달리, 밸브 밀봉체에 작용하는 유압이 더 이상 필요하지 않아서, 전술한 단점이 회피될 수 있다. 대응되는 밀봉체 또는 밸브 밀봉체를 따라 밀봉면을 개폐하는 것이 가능하며, 작동 영역(취출 모듈 및 권취 모듈)이 주기적으로 환기될 수 있다. 따라서, 대기압이 밸브 밀봉체 또는 밀봉체를 가압하여 밀봉면이 더욱 견고해진다.

본 발명의 다른 장점 및 보다 상세한 내용은 첨부도면을 참조한 예시적 실시예를 통해 더욱 명백해질 것이다. 도면은 설명을 위한 개략적인 것으로 축척이 적용되지 않았음을 밝혀둔다.

도 1은 본 발명에 따른 에어로크 밸브의 실시예의 부분 절개도이다.

도 2는 상기 에어로크 밸브의 개방 위치를 나타내는 도면이다.

도 3은 상기 에어로크 밸브의 폐쇄 위치를 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 전체를 참조부호 1로 나타낸 에어로크 밸브는, 밴드 기재(4)의 통로를 위해 적어도 하나의 개구부(3)가 내부에 제공되는 하우징(2)을 포함한다. 바람직한 장착 위치에서, 하우징(2) 및 개구부(3)의 좌측에는 진공 코팅 챔버(미도시)(예를 들면 스퍼터링 챔버 또는 유사한 장치)가 제공되고, 하우징(2)의 우측에는 챔버(미도시)가 연속적으로 제공되며 이들 챔버는 교대로 진공 및 환기될 수 있다.

특정의 용도를 위해, 후자의 챔버는 밴드 기재의 베일 또는 스풀을 수용하기 위한 샤프트를 포함하는 교호 챔버이다. 밴드 기재는 본 실시예에서는 일부 단면 형태로 나타내었으며, 참조부호 4로 나타내었다. 이러한 밴드 기재(4)의 일부 단면은 개구부와 접촉하지 않고 자유롭게 연장된다. 특히, 밴드 기재(4)의 양 측방 에지는 작동 중에 개구부의 양 측방 에지와 접촉되지 않아야 한다. 밴드 기재가 진동되는 경우, 상방 또는 하방(기재의 표면 평면과 직각)으로의 접촉은 항상 회피될 수 없다.

교대로 진공 및 환기되는(우측) 쪽에 밀봉면(5)이 프레임 형태로 개구부(3)를 둘러싼다. 하우징(2)의 개구부(3)가 연결되는, 대응되는 내측면(6)은 적어도 개구부(3)의 연결 부분에서 원통형으로 굴곡된다.

하우징의 밀봉 시트는 금속으로 이루어지는 것이 바람직하며, 유효 밀봉면(5)은 비교적 얇은, 밴드형 소재, 또는 예를 들면 상기 하우징(2)의 구부러진 내측면 상의 개구부(3) 둘레에 접착제에 의해 견고하게 고정된 고무 코팅재로 이루어진다. 밀봉면 소재와 하우징(2)의 내측면(6) 사이의 간극이 완전히 진공 밀봉되어야 한다.

또한, 선회 암(8)에 의해, 원통형 밸브 또는 밀봉체(7)가 하우징(2) 내부의 축(9) 둘레에 회전 가능하게 장착된다. 선회 암(8)의 양쪽 가상선(일점쇄선) 사이 인 밀봉체(7)의 비활성 위치(철수 부분)와 폐쇄 위치 사이의 각도를 α로 나타내었다. 밀봉체가 원통형이기 때문에 항상 원통면의 동일한 표면이 상기 밀봉면과 접촉하지 않는 장점이 있다. 기본적으로, 원통형 밀봉체는, 롤 실린더와 유사하게, 선회 암(8) 상에 회전 가능하게 장착될 수 있다. 또한, 롤은 금속으로 이루어지며, 그 표면은 고무로 코팅되어 있다.

기본적으로, 플라스틱 또한, 진공에 적절하고 기체가 누출되지 않는다면, 밀봉 시트 및 롤에 사용될 수 있다.

롤러(7)는 개구부(3)의 폭보다 길어서, 상기 개구부의 짧은 에지와 중첩되어 직접적으로 밀봉성을 제공할 수 있도록 한다.

도 2는 도 1의 단면도로서, 도 3에 도시된 에어로크 밸브의 폐쇄 위치와 비교가 가능하다. 모든 도면에서, 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 부여하였다.

도 2에서, 밴드 기재(4)는 개구부(3)를 자유로이 통과하고 밀봉체(7)는 크게 이격되어 있으며, 도 3에서는, 밀봉체가 축(9) 주위에서 도 1에 나타낸 각도 α로 회전된 후, 밴드 기재(4)는 밀봉체(7)와 밀봉면(5)의 하부 에지 사이에 견고하게 장착되어 있다. 에어로크 밸브(1)를 폐쇄 위치로 절환되는 것은 밴드 기재가 정지된 위치에서만 가능하며, 밴드 처리 장치는 그에 따른 제어 특징을 가지게 된다. 따라서, 에어로크 밸브는 스풀 교환실이 환기되기 전에 폐쇄 위치로 절환되며, 코팅 챔버의 내부는 진공이 유지된다. 밀봉면(5)의 에지 영역에서 밴드 기재(4)가 손상되는 것을 방지하기 위해, 적어도 상기 에지는 균일하게 둥글게 이루어지며 특 히 연성이 높으면서도 저항성이 높은 소재이어야 한다.

또한, 밀봉면(5)의 굴곡은, 밴드 기재(4) 아래에 놓이는 밀봉 에지로부터 연속되는 밀봉면의 순서로 배치되고, 접선 각도를 가지며, 밴드 기재를 향하는 직각 방향으로 둔각으로 경사를 이루는 것이 바람직하다. 이러한 과정에서, 도 3에서 볼 수 있는 바와 같이, 밀봉체(7)와 밀봉면(5) 사이에 장착되는 밴드 기재는 둔각으로만, 결국은 둥글게만 변형된다.

밴드 처리 장치가 정상적으로 작동 중일 때, 밀봉체(7), 즉 하우징(2)의 우측은 대기압 상태이고, 좌측은 항상 진공 상태가 된다. 도시한 바와 같이, 좌측과 우측의 압력 차이로 인해, 밀봉면(5), 즉 밴드 기재(4)에 대한 밀봉체(7)의 접촉 압력이 증가되어, 전체적으로 강력하고 신뢰적인 밀봉 효과가 얻어지게 된다.

도시하지는 않았지만, 선회 암(8) 및 밀봉체(7)를 위한 구동부가 하우징(2)의 내측 또는 외측에 제공될 수 있다. 상기 구동부가 내장되면 가동 부품(축(9) 상의 샤프트)의 통로를 밀봉시키는 수고가 제거될 수 있어서 바람직하다. 따라서, 전동식 구동부의 전선용 라인 통로 또는 유압식이나 공압식 구동부용 튜브가 보다 간단하게 밀봉될 수 있다.

Claims (13)

1. 가요성 밴드 기재(4)가 통과하는 2개의 상이한 구역 사이의 간극형 개구부(3)를 폐쇄하도록 제공되는, 밴드 처리 장치 또는 밴드 코팅 장치용 에어로크(air-lock) 밸브(1)로서, 상기 개구부(3)를 폐쇄하기 위해 밀봉면(5)과 협동하는 하나 이상의 가동 밀봉체(7)를 구비하고, 상기 에어로크 밸브(1)가 폐쇄된 상태에서는 상기 밴드 기재(4)가 상기 밀봉체(7)와 상기 밀봉면(5) 사이에서 클램핑되며,

   상기 밀봉면(5)은 프레임 형태로 상기 개구부(3)를 둘러싸고, 상기 개구부(3)를 폐쇄하기 위해 상기 밀봉체(7)는 상기 개구부(3)를 통과하는 상기 밴드 기재(4) 및/또는 상기 밀봉면(5) 상에 가압되어, 상기 밀봉체(7)가 상기 밀봉면(5)의 에지에서 적어도 간접적으로 접촉됨으로써 상기 개구부(3)를 폐쇄하는

   것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
2. 제1항에 있어서,

   상기 밴드 기재(4)는, 상기 밀봉체(7)에 의해 상기 개구부(3)의 밀봉 에지 및 상기 밀봉면(5)에 압박되고, 상기 밀봉 에지 영역에서 상기 밴드 기재(4)의 접선이 상기 밴드 기재(4)의 종방향 또는 이동 방향 쪽으로 둔각을 형성하는 것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 밀봉체(7), 또는 상기 밀봉체(7) 및 상기 밀봉면(5)은 궁형(arcuate)의 윤곽면을 가지며, 상기 밀봉면(5)의 곡률반경은 상기 밀봉면(5) 또는 상기 밴드 기재(4)를 향해 상기 밀봉체에 구비되어 있는 상기 궁형 윤곽면의 곡률반경 이상인 것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 밀봉면(5) 및/또는 상기 밀봉체(7)는 탄성 및 가요성을 가지는 표면재(surface material)를 구비하는 것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 밀봉면(5)은 평평한 가요성 소재로 이루어지며, 상기 개구부(3)의 외주 경계 영역에서 프레임 형태의 벽 부분과 접착제에 의해 밀착되게 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 밀봉체(7)는 원통형 롤(roll)로서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 밀봉체(7)는 회전 가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 에어로크 밸 브.
8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,

   하나 이상의 하우징(2)을 구비하며, 상기 하우징(2)은 상기 개구부(3), 상기 밀봉면(5), 및 상기 밀봉체(7)를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 밀봉체(7)는 별도의 동력에 의해 비활성 위치와 폐쇄 위치 사이에서 선회될 수 있는 것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
10. 제9항에 있어서,

    상기 별도의 동력은 상기 하우징 또는 상기 하우징 내부에 공급되는 것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 밀봉체(7)는 어큐뮬레이터에 의해 소정의 지지 부하로 상기 밀봉면(5)에 견고하게 밀착될 수 있는 것을 특징으로 하는 에어로크 밸브.
12. 가요성 밴드 기재를 이동시키기 위한 처리 장치로서, 상기 밴드 기재를 취출 또는 권취하도록 제공되는 하나 이상의 진공 가능한 처리 챔버 및 하나 이상의 추 가 챔버를 구비하고, 상기 챔버들은 개구부를 통해 상호 연결되며, 상기 개구부를 통해 상기 밴드 기재가 안내될 수 있으며,

    제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 하나 이상의 에어로크 밸브가 상기 개구부에 제공되는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
13. 제12항에 있어서,

    상기 하나 이상의 에어로크 밸브의 밀봉체(7) 및 상기 밀봉체의 대응 밀봉면(5)이, 상기 추가의 챔버가 간헐적으로 환기되는 쪽으로 회전되는 것을 특징으로 하는 처리 장치.

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