JP4423966B2 - 連続真空成膜装置 - Google Patents
連続真空成膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4423966B2 JP4423966B2 JP2003427117A JP2003427117A JP4423966B2 JP 4423966 B2 JP4423966 B2 JP 4423966B2 JP 2003427117 A JP2003427117 A JP 2003427117A JP 2003427117 A JP2003427117 A JP 2003427117A JP 4423966 B2 JP4423966 B2 JP 4423966B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- winding
- belt
- base material
- shaped winding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
tion:汚染)や、あるいは水蒸気等が成膜室に付着し、成膜加工された巻き取り成膜基材111にピンホール等が生じる原因になっている。
部の回転アーム板面に密着接合させて蛇腹部とで囲まれる空間を真空チャンバー内から隔絶せしめ、且つ蛇腹部内を徐々に大気圧に戻した後に、成膜済みの帯状の巻き取り成膜基材を巻き取りロール部から排出する搬出手段と、さらに真空成膜中の走行している帯状の巻き取り基材の最後端と前記巻き出し部にセットされている新しい帯状の巻き取り基材の最先端を貼り継ぐ第1の貼り継ぎ装置と成膜された帯状の巻き取り成膜基材の先端を前記巻き取りロール部にセットされている新しいコアーに貼り継ぐ第2の貼り継ぎ装置を具備する事を特徴とする連続真空成膜装置である。
入され、さらに挿入されたロール交換治具15に沿ってコアが図14に示すように移動し、また、さらに図15に示すように帯状の巻き取り基材のコアを載せたロール交換治具15が真空チャンバー16の外側に移動され帯状の巻き取り基材のコアがロール交換治具15から取り外される。
2・・・・成膜室
3・・・・成膜室
4・・・・成膜室
5・・・・押さえローラ
6・・・・カッター
7・・・・成膜ドラム開口部
8・・・・回転アーム板
9・・・・ガイドローラ
10・・・帯状の巻き取り基材
11・・・巻き取り成膜基材
13・・・開口扉
14・・・蛇腹管
15・・・ロール交換治具
16・・・真空チャンバー
17・・・巻き出し部
18・・・巻き取り部
19・・・冷却ロール
20・・・連続真空装置
Claims (2)
- 真空チャンバー中に帯状の巻き取り基材を軸着する巻き出し部と成膜された帯状の巻き取り成膜基材を軸着する巻き取りロール部と巻き出し部近傍と巻き取りロール部近傍下部に帯状の巻き取り基材を接着、切断する貼り継ぎ装置と蛇腹部により形成されるロードロック室を具備し連続真空成膜を行う連続真空成膜装置であって、伸縮可能で、伸長時にはその端部を回転アーム板面に密着接合させ、真空チャンバー内の空間を仕切るための蛇腹部と、この蛇腹部を排気・減圧させるための排気・吸引手段を有すると共に、前記蛇腹部の端部を巻き出しロール部の回転アーム板面に密着接合させて蛇腹部とで囲まれる空間を真空チャンバー内から隔絶せしめ、且つ蛇腹部内を徐々に大気圧に戻した後に、新しい帯状の巻き取り基材を巻き出しロール部に供給する供給手段と、前記蛇腹部の端部を巻き取りロール部の回転アーム板面に密着接合させて蛇腹部とで囲まれる空間を真空チャンバー内から隔絶せしめ、且つ蛇腹部内を徐々に大気圧に戻した後に、成膜済みの帯状の巻き取り成膜基材を巻き取りロール部から排出する搬出手段と、さらに真空成膜中の走行している帯状の巻き取り基材の最後端と前記巻き出し部にセットされている新しい帯状の巻き取り基材の最先端を貼り継ぐ第1の貼り継ぎ装置と成膜された帯状の巻き取り成膜基材の先端を前記巻き取りロール部にセットされている新しいコアーに貼り継ぐ第2の貼り継ぎ装置を具備する事を特徴とする連続真空成膜装置。
- 前記帯状の巻き取り基材と帯状の巻き取り成膜基材が軸着する巻き出し部と巻き取り部は駆動する2本のロール軸を具備していることを特徴とする請求項1記載の連続真空成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003427117A JP4423966B2 (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 連続真空成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003427117A JP4423966B2 (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 連続真空成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005185884A JP2005185884A (ja) | 2005-07-14 |
JP4423966B2 true JP4423966B2 (ja) | 2010-03-03 |
Family
ID=34786475
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003427117A Expired - Fee Related JP4423966B2 (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 連続真空成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4423966B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8317962B2 (en) | 2007-05-16 | 2012-11-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Base material processing device and base material processing method using the same |
KR101896209B1 (ko) * | 2009-09-25 | 2018-09-07 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 카트리지 및 그 응용 |
-
2003
- 2003-12-24 JP JP2003427117A patent/JP4423966B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005185884A (ja) | 2005-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5326098B2 (ja) | 基板表面の封止装置と有機elパネルの製造方法 | |
US20100252191A1 (en) | Sheet sticking apparatus and sheet sticking method | |
JP2000082833A (ja) | ラミネート装置における搬送装置 | |
JP3394215B2 (ja) | フィルム減圧貼り合わせ装置 | |
US20150176118A1 (en) | Web substrate roll-forming apparatus and web substrate roll | |
CN113793961A (zh) | 五合一成型设备 | |
JP5242947B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP4423966B2 (ja) | 連続真空成膜装置 | |
JP4832780B2 (ja) | マスク形成方法と、マスク用材料と、これを用いたパターン膜形成システム | |
JP2010212590A (ja) | 太陽電池のラミネート装置及びラミネート方法 | |
CN105393333B (zh) | 用于清洁柔性基板处理装置的处理腔室的方法和用于执行所述方法的装置以及用于其中的辊 | |
JP4714714B2 (ja) | 気密を保持するゲートバルブ、このゲートバルブを使用したフィルム製造装置およびフィルム製造方法 | |
JP2009084642A (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
CN108474112B (zh) | 膜形成设备 | |
JP2000327186A (ja) | フィルム巻取装置およびフィルム巻取方法 | |
KR102109251B1 (ko) | 척을 적용한 롤투롤 시스템 | |
JP2008288255A (ja) | ドライフィルムレジスト貼付装置 | |
JP5325016B2 (ja) | 減圧ユニット及び圧力復元ユニット | |
JP2003144900A (ja) | 連続真空処理装置 | |
WO2012121040A1 (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
JP2009179446A (ja) | 巻取装置および巻取部材の作製方法 | |
CN113416941B (zh) | 一种用于卷对卷设备的卷辊更换装置 | |
JPH0634369Y2 (ja) | 連続式真空成膜装置の真空シール装置 | |
CN113416939B (zh) | 一种用于卷对卷工艺过程的卷辊更换方法 | |
JP3610808B2 (ja) | 薄膜製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121218 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121218 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131218 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |