KR20060065080A - 웨이퍼 캐리어 박스 - Google Patents

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KR20060065080A
KR20060065080A KR1020040103813A KR20040103813A KR20060065080A KR 20060065080 A KR20060065080 A KR 20060065080A KR 1020040103813 A KR1020040103813 A KR 1020040103813A KR 20040103813 A KR20040103813 A KR 20040103813A KR 20060065080 A KR20060065080 A KR 20060065080A
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    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어 박스에 관한 것이다. 웨이퍼 캐리어 박스는 웨이퍼 카세트를 수납하는 수납공간을 제공하기 위해 일측면이 개구된 몸체, 상기 개구를 덮는 커버 및 상기 웨이퍼 카세트가 상기 몸체 내부에서 유동되는 것을 방지하는 웨이퍼 카세트 고정부재를 포함한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 캐리어 박스의 내부에서 유동되는 것을 방지하여 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어 박스의 내부에서 발생한 미세 파티클에 대하여 오염되는 것을 방지한다.
웨이퍼 카세트, 웨이퍼 캐리어 박스, 웨이퍼 카세트 고정부재

Description

웨이퍼 캐리어 박스{Wafer Carrier Box}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 캐리어 박스의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 몸체, 웨이퍼 카세트 및 커버를 결합한 후 절단한 종단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 웨이퍼 캐리어 박스를 도시한 단면도이다.
본 발명은 웨이퍼 캐리어 박스에 관한 것으로, 좀더 구체적으로 본 발명은 웨이퍼 캐리어 박스의 내부에 수납된 웨이퍼 카세트의 웨이퍼가 미세 파티클에 오염되는 것을 방지한 웨이퍼 캐리어 박스에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 공정에서는, 웨이퍼를 대상으로 하여 사진 공정, 식각 공정, 확산 공정, 증착 공정 및 금속 공정 등 다양하게 이루어지는 단위 공정을 수행한다.
상기 단위 공정이 수행되는 웨이퍼는 일반적으로 웨이퍼 카세트에 수납된다. 웨이퍼 카세트는 상부가 웨이퍼를 수납하기 적합하게 개구되고, 웨이퍼를 세워서 수납하기에 적합한 슬롯들을 갖는다. 일반적으로 웨이퍼 카세트는 수십 매의 웨이퍼를 동시에 수납할 수 있다.
웨이퍼가 수납된 웨이퍼 카세트는 필요에 따라 작업자가 직접 이송 또는 보관할 필요가 있고, 이때, 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼가 파티클 등에 오염되는 것을 방지하기 위해 웨이퍼 카세트는 웨이퍼 캐리어 박스에 배치되고 작업자는 웨이퍼 캐리어 박스를 목적지까지 이송 또는 보관한다. 즉, 웨이퍼 캐리어 박스는 웨이퍼 캐리어를 적재시켜 보관 및 운반하는 수단이다. 단위 공정의 적용을 받는 상태에서의 웨이퍼를 통상 런(run)이라 하므로, 웨이퍼 캐리어 박스는 공정 중의 런을 담은 박스라 하여 런 박스(run box)라 지칭되기도 한다.
종래 웨이퍼 캐리어 박스는 웨이퍼 카세트를 수납하는 몸체 및 몸체에 결합되는 커버로 이루어지며, 웨이퍼 카세트를 로딩 및 언로딩하기에 편리하도록 웨이퍼 캐리어 박스의 크기는 웨이퍼 카세트의 크기보다 다소 크게 제작된다.
그러나, 이와 같이 웨이퍼 캐리어 박스의 크기가 웨이퍼 카세트의 크기보다 다소 클 경우, 작업자가 웨이퍼 캐리어 박스를 이송하는 도중 웨이퍼 카세트가 웨이퍼 캐리어 박스의 내부에서 움직이게 된다. 이로 인해 웨이퍼 캐리어 박스의 내부에서는 미세한 파티클이 발생되고, 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼가 미세한 파티클에 의하여 오염되는 문제점을 갖는다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 미세 파티클의 발생을 억제하여 웨이퍼가 미세 파티클에 오염되는 것을 방지 한 웨이퍼 캐리어 박스를 제공한다.
이하, 이와 같은 본 발명의 목적을 구현하기 위한 웨이퍼 캐리어 박스는 웨이퍼 카세트를 수납하는 수납공간을 제공하기 위해 일측면이 개구된 몸체, 개구를 덮는 커버 및 웨이퍼 카세트가 몸체 내부에서 유동되는 것을 방지하는 웨이퍼 카세트 고정부재를 포함한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면들을 참조하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 캐리어 박스의 분해 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 몸체, 웨이퍼 카세트 및 커버를 결합한 후 절단한 종단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 웨이퍼 캐리어 박스(100)는 웨이퍼 카세트(30)를 수납하는 몸체(10), 몸체(10)에 결합되는 커버(20) 및 몸체(10)의 내부에 수납된 웨이퍼 카세트(30)가 몸체(10)의 내부에서 유동되는 것을 방지하는 웨이퍼 카세트 고정부재(40)를 포함한다.
몸체(10)는 육면체 박스 형상을 갖고, 몸체(10)의 일부는 웨이퍼 카세트(30)를 몸체(10)의 내부로 로딩 또는 언로딩하기 위해 개구되어 있다. 본 실시예에서, 몸체(10)는 상면이 개구되고, 몸체(10)의 개구된 부분으로는 웨이퍼 카세트(30)가 로딩 또는 언로딩된다.
몸체(10)는 바닥면(12) 및 바닥면(12)에 에지에 배치되어 수납공간을 형성하 는 측면(13, 14, 15, 16)들을 포함한다. 몸체(10)의 바닥면(12)에는 웨이퍼 카세트(30)가 안착된다.
웨이퍼 카세트(30)는 몸체(10)의 내부에 수납되며, 웨이퍼 카세트(30)는 수십 매의 웨이퍼(32), 예를 들면, 약 25 매의 웨이퍼가 수납된다. 웨이퍼 카세트(30)는 웨이퍼(32)를 중력 방향에 대하여 수직한 방향으로 수납하며, 이를 구현하기 위해 웨이퍼 카세트(30) 중 웨이퍼(32)를 수납하는 부분에는 웨이퍼 슬롯(35)이 형성된다.
커버(20)는 몸체(10)에 끼워져 결합되기에 적합한 형상을 갖는다. 바람직하게, 커버(20)는 몸체(10)의 측면들(13, 14, 15, 16)과 접촉하는 커버 측면(23, 24, 25, 26)들을 포함하고, 몸체(10)의 바닥면(12)과 마주보도록 배치되며 커버 측면(23, 24, 25, 26)과 연결된 상면(22)을 포함한다.
따라서, 몸체(10)에 웨이퍼 카세트(30)가 수납된 상태에서 커버(20)가 몸체(10)에 결합될 경우, 몸체(10)에 수납된 웨이퍼 카세트(30)는 커버(20) 및 몸체(10)에 의하여 외부와 완전히 차단되고, 이 결과 웨이퍼 카세트(30)에 오염된 웨이퍼(32)는 외부의 파티클로부터 오염되는 것이 방지된다.
한편, 몸체(10)에 수납된 웨이퍼 카세트(30)가 이송되는 도중 흔들려 웨이퍼 카세트(30)가 몸체(10)에 충돌하여 몸체(10)의 내부에서 파티클이 발생하는 것을 방지하기 위해 커버(20)에는 웨이퍼 카세트 고정부재(40)가 배치된다.
본 실시예에서, 웨이퍼 카세트 고정부재(40)는 바람직하게 커버(20)의 내측면 및 웨이퍼 카세트(30)의 상단의 사이에 개재되어 웨이퍼 카세트(30)를 고정한 다.
바람직하게, 웨이퍼 카세트 고정부재(40)는 웨이퍼 카세트(30)를 가압하여 웨이퍼 카세트(30)의 움직임을 억제하는 탄성 부재인 것이 바람직하다. 웨이퍼 카세트 고정부재(40)를 이루는 물질의 예로서는 고무 및 탄력을 갖는 테프론 등을 들 수 있다.
또한, 웨이퍼 카세트 고정부재(40)가 웨이퍼 카세트(30)를 보다 견고하게 고정시키기 위해 웨이퍼 카세트(30)와 접촉되는 웨이퍼 카세트 고정부재(40)의 단부는 둥글게 라운드 가공된 라운드부를 갖는 것이 바람직하다.
본 실시예에 의한 웨이퍼 카세트 고정부재(40)는 커버(20)의 내측면에 적어도 2 개 이상이 형성되는 것이 바람직하다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 웨이퍼 캐리어 박스를 도시한 단면도이다.
도 3을 참조하면, 웨이퍼 캐리어 박스(100)는 웨이퍼 카세트(30)를 수납하는 몸체(10), 몸체(10)에 결합되는 커버(20) 및 몸체(10)의 내부에 수납된 웨이퍼 카세트(30)가 몸체(10)의 내부에서 유동되는 것을 방지하는 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재(40) 및 제 2 웨이퍼 카세트 고정부재(50)를 포함한다.
몸체(10)는 육면체 박스 형상을 갖고, 몸체(10)의 일부는 웨이퍼 카세트(30)를 몸체(10)의 내부로 로딩 또는 언로딩하기 위해 개구되어 있다. 본 실시예에서, 몸체(10)는 상면이 개구되고, 몸체(10)의 개구된 부분으로는 웨이퍼 카세트(30)가 로딩 또는 언로딩된다.
몸체(10)는 바닥면(12) 및 바닥면(12)에 에지에 배치되어 수납공간을 형성하는 측면(13, 14, 15, 16)들을 포함한다. 몸체(10)의 바닥면(12)에는 웨이퍼 카세트(30)가 안착된다.
웨이퍼 카세트(30)는 몸체(10)의 내부에 수납되며, 웨이퍼 카세트(30)는 수십 매의 웨이퍼(32), 예를 들면, 약 25 매의 웨이퍼가 수납된다. 웨이퍼 카세트(30)는 웨이퍼(32)를 중력 방향에 대하여 수직한 방향으로 수납하며, 이를 구현하기 위해 웨이퍼 카세트(30) 중 웨이퍼(32)를 수납하는 부분에는 웨이퍼 슬롯(35)이 형성된다.
커버(20)는 몸체(10)에 끼워져 결합되기에 적합한 형상을 갖는다. 바람직하게, 커버(20)는 몸체(10)의 측면들(13, 14, 15, 16)과 접촉하는 커버 측면(23, 24, 25, 26)들을 포함하고, 몸체(10)의 바닥면(12)과 마주보도록 배치되며 커버 측면(23, 24, 25, 26)과 연결된 상면(22)을 포함한다.
따라서, 몸체(10)에 웨이퍼 카세트(30)가 수납된 상태에서 커버(20)가 몸체(10)에 결합될 경우, 몸체(10)에 수납된 웨이퍼 카세트(30)는 커버(20) 및 몸체(10)에 의하여 외부와 완전히 차단되고, 이 결과 웨이퍼 카세트(30)에 오염된 웨이퍼(32)는 외부의 파티클로부터 오염되는 것이 방지된다.
한편, 몸체(10)에 수납된 웨이퍼 카세트(30)가 이송되는 도중 흔들려 웨이퍼 카세트(30)가 몸체(10)에 충돌하여 몸체(10)의 내부에서 파티클이 발생하는 것을 방지하기 위해 커버(20)에는 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재(40)가 배치된다.
본 실시예에서, 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재(40)는 바람직하게 커버(20)의 내측면 및 웨이퍼 카세트(30)의 상단의 사이에 개재되어 웨이퍼 카세트(30)를 고정한다.
바람직하게, 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재(40)는 웨이퍼 카세트(30)의 상단을 가압하여 웨이퍼 카세트(30)의 움직임을 억제하는 탄성 부재인 것이 바람직하다. 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재(40)를 이루는 물질의 예로서는 고무 및 탄력을 갖는 테프론 등을 들 수 있다.
또한, 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재(40)가 웨이퍼 카세트(30)를 보다 견고하게 고정시키기 위해 웨이퍼 카세트(30)와 접촉되는 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재(40)의 단부는 둥글게 라운드 가공된 라운드부를 갖는 것이 바람직하다.
본 실시예에 의한 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재(40)는 커버(20)의 내측면에 적어도 2 개 이상이 형성되는 것이 바람직하다.
제 2 웨이퍼 카세트 고정부재(50)는 바람직하게 몸체(10)의 측면(13, 14, 15, 16)들 중 마주보는 2 개의 측면들의 내측면, 또는 모든 측면들의 내측면에 형성될 수 있다.
제 2 웨이퍼 카세트 고정부재(50)는 몸체(10)에 수납된 웨이퍼 카세트(30)의 측면들과 접촉되어 웨이퍼 카세트(30)가 몸체(10)의 내부에서 유동되는 것을 방지한다.
본 실시예에서, 제 2 웨이퍼 카세트 고정부재(50)는 웨이퍼 카세트(30)의 측면을 가압하여 웨이퍼 카세트(30)의 움직임을 억제하는 탄성 부재인 것이 바람직하다. 제 2 웨이퍼 카세트 고정부재(50)를 이루는 물질의 예로서는 고무 및 탄력을 갖는 테프론 등을 들 수 있다.
즉, 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재(40)는 웨이퍼 카세트(30)가 몸체(10)의 바닥면(12)에 대하여 상하 방향으로 유동되는 것을 방지하고, 제 2 웨이퍼 카세트 고정부재(50)는 웨이퍼 카세트(30)가 몸체(10)의 측면 방향으로 유동되는 것을 방지한다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 캐리어 박스의 내부에서 유동되는 것을 방지하여 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어 박스의 내부에서 발생한 미세 파티클에 대하여 오염되는 것을 방지한다.

Claims (6)

  1. 웨이퍼 카세트를 수납하는 수납공간을 제공하기 위해 일측면이 개구된 몸체;
    상기 개구를 덮는 커버; 및
    상기 웨이퍼 카세트가 상기 몸체 내부에서 유동되는 것을 방지하는 웨이퍼 카세트 고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 박스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 카세트 고정부재는 상기 웨이퍼 카세트 및 상기 커버의 사이에 개재된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 박스.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 카세트 고정부재는 상기 탄성부재인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 박스.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 카세트 고정부재는 고무인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 박스.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 카세트 고정부재는 상기 웨이퍼 카세트 및 상기 커버의 사이에 배치된 제 1 웨이퍼 카세트 고정부재 및 상기 웨이퍼 카세트 및 상기 몸체의 사이에 개재된 제 2 웨이퍼 카세트 고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 박스.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 카세트 고정부재 및 상기 웨이퍼 카세트가 접촉하는 부분은 둥글게 가공된 라운드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 박스.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2022035893A1 (en) * 2020-08-11 2022-02-17 Entegris, Inc. Cassette hold down
CN114141677A (zh) * 2021-11-29 2022-03-04 北京知形科技有限公司 一种晶圆盒运输装置

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