KR20060063634A - Shaft in apparatus for transferring substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치용 샤프트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시장치의 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 있어서, 섬유강화플라스틱 재질로 구성되어 회전운동을 통해 기판을 일방향으로 이송시키는 관형의 본체와, 상기 본체의 양단에 끼워지고 상기 지지대에 회동가능하게 고정되는 지지부재로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 처짐량과 하중을 감소시켜 기판의 안정된 이송 및 세정장비의 편리한 운송이 이루어지도록 하고, 세정 공정중의 화학물질이나 DI Water의 내부 유입을 방지하므로써 부식을 방지하는 우수한 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a shaft for a substrate transfer device, and more particularly, to a substrate transfer device for transferring a substrate of a flat panel display device, the tubular main body being made of a fiber-reinforced plastic material to transfer a substrate in one direction through a rotational movement. And a support member fitted to both ends of the main body and rotatably fixed to the support. The present invention is to reduce the amount of deflection and load to ensure a stable transport of the substrate and convenient transportation of cleaning equipment, and to prevent corrosion by preventing the inflow of chemicals or DI water during the cleaning process.

기판이송장치,샤프트,섬유강화플라스틱,밀봉수단. Substrate transfer unit, shaft, fiber reinforced plastic, sealing means.

Description

기판 이송 장치용 샤프트{Shaft in apparatus for transferring substrate}Shaft in apparatus for transferring substrate

도 1은 종래기술에 따른 기판 이송 장치를 도시한 사시도이고,1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the prior art,

도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치용 샤프트의 실시예를 도시한 단면도이고,2 is a cross-sectional view showing an embodiment of a shaft for a substrate transfer device according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치용 샤프트의 다른 실시예를 도시한 단면도이며,3 is a cross-sectional view showing another embodiment of a shaft for a substrate transfer apparatus according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 장치용 샤프트의 또 다른 실시예를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing yet another embodiment of a shaft for a substrate transfer device according to the present invention.

-도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명-Explanation of symbols on main parts of drawing

10,10',10"; 샤프트 11,11'; 본체10,10 ', 10 "; Shaft 11,11'; Body

12; 구리합금재 13; 니켈,크롬합금재12; Copper alloy material 13; Nickel, chrome alloy material

20,20'; 지지부재 21,21'; 끼움부20,20 '; Support members 21, 21 '; Fitting

22,22'; 걸림부 23,23'; 고정부22,22 '; Engaging portion 23,23 '; Fixture

31; 테프론재 40; 엔드캡31; Teflon material 40; End cap

50; 오-링부재50; O-ring member

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 안정된 이송을 수행할 수 있는 기판 이송 장치용 샤프트에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a shaft for a substrate transfer apparatus capable of performing a stable transfer of the substrate.

일반적으로, TFT LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display), PDP(plasma display panel),및 FPD(Flat Panel Display) 등을 생산하는 과정에서 기판 세정 공정을 거치게 된다.In general, a substrate cleaning process is performed during the production of TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display), plasma display panel (PDP), and flat panel display (FPD).

이러한 세정 공정은 기판들이 기판 이송 장치를 따라 이송되는 동안 기판 이송 장치의 상측에 설치된 린싱용 분사 유닛, 브러시 유닛, 세정용 분사 유닛, 초음파 유닛 등을 이용하여 기판에 대해 순수(純水, 이하, DI Water라 함.)와 같은 세정액을 분사하고, 브러시로 닦아내며, 초음파를 가하는 등의 작업을 통해 기판의 표면으로부터 이물질을 제거하고, 에어 나이프(air knife)를 이용하여 기판의 표면을 건조시킨 다음 기판을 배출한다.This cleaning process is carried out with respect to the substrate using a rinsing spray unit, a brush unit, a cleaning spray unit, an ultrasonic unit, etc., which are installed on the upper side of the substrate transfer apparatus while the substrates are transferred along the substrate transfer apparatus. Removes foreign substances from the surface of the substrate by spraying a cleaning liquid such as DI water, wiping with a brush, applying ultrasonic waves, and drying the surface of the substrate using an air knife. Then eject the substrate.

여기서, 기판 이송 장치(3)는 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 샤프트(6)와, 각 샤프트(6)에 외주면이 회동가능하게 고정된 베어링(미도시)과, 베어링을 지지하는 지지대(7,7')와, 상기 샤프트(6)와 일체로 회전하도록 세트 스크류(미도시)에 의해 고정된 다수의 이송롤러(8)로 이루어진다. 상기 이송 장치(3)의 샤프트(6)는 통상 알루미늄재 파이프를 PVC 파이프에 삽입한 관형태로 이루어지거나, 스테인레스강(SUS) 재질로 제조된 관형태를 가진다.Here, as shown in FIG. 1, the substrate transfer device 3 includes a plurality of shafts 6, bearings (not shown) whose outer circumferential surfaces are rotatably fixed to each shaft 6, and a support for supporting the bearings. (7,7 ') and a plurality of feed rollers (8) fixed by a set screw (not shown) to rotate integrally with the shaft (6). The shaft 6 of the conveying device 3 is usually made of a pipe shape in which an aluminum pipe is inserted into a PVC pipe, or has a pipe shape made of stainless steel (SUS) material.

이러한 구성을 가진 이송 장치(3)의 동작은, 모터(미도시) 등에 전원이 인가되면, 상기 모터와 기계적으로 연결된 각 샤프트(6)가 베어링(미도시)을 매개체로 지지대(7,7') 상에서 일정한 속도로 회전하고, 각 샤프트(6)에 고정된 다수의 이송롤러(8)는 기판(미도시)을 공정의 진행방향으로 이송시키게 된다.The operation of the transfer device 3 having such a configuration is that, when power is applied to a motor (not shown) or the like, each shaft 6 mechanically connected to the motor is supported by a support (7,7 ') via a bearing (not shown). A plurality of feed rollers 8 rotated at a constant speed and fixed to each shaft 6 transfer the substrate (not shown) in the advancing direction of the process.

하지만, 기판의 사이즈가 점점 대형화됨에 따라 이송 장치(3)의 샤프트(6)도 그 길이가 점점 길어지게 되었다.However, as the size of the substrate became larger and larger, the shaft 6 of the transfer device 3 also became longer in length.

이와 같이, 샤프트(6)의 길이가 길어짐에 따라 비교적 하중이 무거운 재질로 이루어진 종래의 샤프트(6)들은 자체 처짐량이 상당히 증가하면서 기판 이송을 수행하는데 있어 오작동을 발생시킴과 동시에, 샤프트(6)들의 하중이 증가하면서 이송 장치(3)가 장착된 세정장비의 하중을 상당히 증가시키게 되므로써 세정장비의 운송을 어렵게 만드는 문제점이 있었다.As such, as the length of the shaft 6 increases, the conventional shafts 6 made of a relatively heavy material cause a malfunction in performing substrate transfer with a considerable increase in their deflection, and at the same time, the shaft 6 As the load of the cleaning apparatus increases, the load of the cleaning equipment equipped with the transfer device 3 is significantly increased, thereby making it difficult to transport the cleaning equipment.

또한, 상기 샤프트(6)가 길어짐에 따라 하중이 증가하면서 샤프트(6)와 지지대(7,7') 상에 구비된 베어링의 마모가 촉진되는 문제점이 있었다.In addition, there is a problem that the wear of the bearings provided on the shaft 6 and the support 7, 7 ′ is accelerated as the load increases as the shaft 6 increases.

또한, 종래의 샤프트(6)는 관형태로 이루어지고 이 샤프트(6)의 양 단에는 별도의 밀봉수단이 구비되어 있지 않으므로, 기판 세정 공정 중에 화학물질이나 DI Water가 샤프트(6) 내부로 유입되면서 샤프트(6)의 부식을 촉진하게 되는 문제점이 있었다.In addition, since the conventional shaft 6 is formed in a tubular shape and both ends of the shaft 6 are not provided with separate sealing means, chemicals or DI water flow into the shaft 6 during the substrate cleaning process. While there was a problem that promotes the corrosion of the shaft (6).

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 강성을 유지하면서 처짐량과 하중을 감소시켜 기판의 안정된 이송 및 세정장비의 편리한 운송이 이루어지도록 하고, 기판 세정 공정 중에 화학물질이나 DI Water의 내부 유입을 방지하므로써 부식을 방지하는 기판 이송 장치용 샤프트를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, while maintaining the stiffness to reduce the amount of deflection and load to ensure stable transport of the substrate and convenient transportation of cleaning equipment, and the chemical or DI water during the substrate cleaning process It is an object of the present invention to provide a shaft for a substrate transfer device that prevents corrosion by preventing internal inflow.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 평판표시장치의 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 있어서, 섬유강화플라스틱 재질로 구성되어 회전운동을 통해 기판을 일방향으로 이송시키는 관형의 본체와, 상기 본체의 양단에 끼워지고 상기 지지대에 회동가능하게 고정되는 지지부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치용 샤프트를 제공한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, in the substrate transfer apparatus for transferring the substrate of the flat panel display device, the tubular main body is made of a fiber-reinforced plastic material for transferring the substrate in one direction through a rotational movement, Provided is a shaft for a substrate transfer device, characterized in that the support member is fitted to both ends of the main body and is rotatably fixed to the support.

상기 본체의 양단에는 상기 지지부재와의 수밀 또는 기밀 유지용 밀봉수단이 구비될 수 있다.Both ends of the main body may be provided with a sealing means for watertight or hermetic holding with the support member.

상기 섬유강화플라스틱은 탄소섬유강화플라스틱인 것이 바람직하다.It is preferable that the fiber reinforced plastic is carbon fiber reinforced plastic.

아울러, 상기 본체의 외주면은 스테인레스 스틸재로 감싸거나 폴리염화비닐재로 감쌀 수 있다. 아울러, 본체의 외주면은 구리합금재로 감싸고 상기 구리합금재의 외주면에는 니켈,크롬합금재를 도금하거나, 테프론재로 감쌀 수 있다. 상기 밀봉수단은 엔드캡 또는 오-링부재인 것이 바람직하다.In addition, the outer circumferential surface of the body may be wrapped with stainless steel or wrapped with polyvinyl chloride. In addition, the outer circumferential surface of the main body may be wrapped with a copper alloy material and the outer circumferential surface of the copper alloy material may be plated with nickel or chromium alloy material or wrapped with Teflon material. The sealing means is preferably an end cap or an o-ring member.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 이송 장치용 샤프트의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of a shaft for a substrate transfer apparatus according to the present invention.

먼저, 본 발명이 적용되는 기판 이송 장치의 구성 및 동작은 발명이 속하는 기술분야 및 그 분야의 종래기술에서 이미 상세하게 기재하고 있으므로 그 구체적인 설명은 여기서 생략하고, 본 발명과 밀접하게 관련된 구성만을 위주로 설명될 것이다.First, since the configuration and operation of the substrate transfer apparatus to which the present invention is applied have already been described in detail in the technical field to which the present invention belongs and the prior art in the field, the detailed description thereof is omitted here, and only the configuration that is closely related to the present invention is focused on. Will be explained.

도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치용 샤프트의 실시예를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing an embodiment of a shaft for a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송 장치용 샤프트(10)는 섬유강화플라스틱으로 이루어지는 관형의 본체(11)와, 상기 본체(11)의 양단에 끼워지고 상기 지지대(도 1의 도면부호 7,7'참조)에 회동가능하게 고정되는 지지부재(20)로 이루어진다.As shown in FIG. 2, the shaft 10 for a substrate transfer device according to the present invention is fitted to both ends of the tubular body 11 made of fiber-reinforced plastics and the body 11, and the support (FIG. 1 of FIG. 1). And a supporting member 20 which is rotatably fixed to the reference numeral 7,7 ').

우선, 상기 본체(11)는 관형태로 섬유강화플라스틱(FRP: Fiber Reinforced Plastic)으로 이루어지는데, 이 섬유강화플라스틱은 통상 합성수지 속에 섬유기재를 혼입시켜 기계적 강도를 향상시킨 수지를 총칭하는 것으로, 수명이 길고 가볍고 강하며 부패하지 않는 등의 우수한 특징이 있다.First, the main body 11 is made of a fiber reinforced plastic (FRP: Fiber Reinforced Plastic) in the form of a tube, and this fiber reinforced plastic is a generic term for a resin that improves mechanical strength by incorporating a fibrous base into a synthetic resin. It has excellent features such as long, light, strong and non-rot.

이러한 섬유강화플라스틱은 화학적으로 유리섬유를 혼입하는 유리섬유강화플라스틱(GFRP: Glass Fiber Reinforced Plastic), 탄소섬유를 혼입하는 탄소섬유강화플라스틱(CFRP: Carbon Fiber Reinforced Plastic),및 케블라(kevlar)라는 방향족 나일론섬유를 혼입하는 섬유강화플라스틱으로 구별되는데, 본 발명에서 본체(11)는 이 중 탄소섬유강화플라스틱으로 이루어지는 것이 바람직하다.Such fiber-reinforced plastics are chemically incorporated into glass fiber reinforced plastic (GFRP: Glass Fiber Reinforced Plastic), carbon fiber-reinforced plastic (CFRP: Carbon Fiber Reinforced Plastic), and aromatics called kevlar. The fiber-reinforced plastics incorporating nylon fibers are distinguished, and in the present invention, the body 11 is preferably made of carbon fiber-reinforced plastics.

이 탄소섬유강화플라스틱은 특히, 유리섬유강화플라스틱 및 케블라라는 방향족 나일론섬유를 혼입하는 섬유강화플라스틱보다도 강도가 좋으면서도 가벼운 장점이 있다. 하지만, 본체(11)는 필요에 따라 유리섬유강화플라스틱 및 방향족 나일론 섬유를 혼입하는 섬유강화플라스틱으로 이루어져도 무방하다.In particular, the carbon fiber reinforced plastics have advantages of being higher in strength and lighter than fiber reinforced plastics incorporating glass fiber reinforced plastics and aromatic nylon fibers called Kevlar. However, the main body 11 may be made of fiber reinforced plastic incorporating glass fiber reinforced plastic and aromatic nylon fiber as needed.

상기와 같이 본체(11)가 하중이 가벼운 섬유강화플라스틱으로 이루어지므로 써, 샤프트(10)의 길이가 길어지더라도 자체 처짐이 거의 없고, 이 때문에 종래와 달리 기판 이송을 수행하는데 있어 오작동이 발생되지 않는 장점이 있다.Since the main body 11 is made of a fiber-reinforced plastic with a light load as described above, even if the length of the shaft 10 is long, there is almost no self deflection. There is no advantage.

이와 동시에, 샤프트(10)의 하중이 가벼워지기 때문에 본 발명에 따른 샤프트(10)를 구비한 기판 이송 장치를 장착한 세정장비의 하중 역시 상당히 감소되므로써, 세정장비의 운송이 손 쉬운 장점이 있다.At the same time, since the load of the shaft 10 becomes lighter, the load of the cleaning equipment equipped with the substrate transfer device with the shaft 10 according to the present invention is also significantly reduced, so that the transportation of the cleaning equipment is easy.

아울러, 본 발명에 따른 샤프트(10)의 길이가 길어져도 하중이 그다지 증가하지 않기 때문에 샤프트(10)와 지지대 상에 구비된 베어링(미도시)에 큰 영향을 주지 않는다.In addition, even if the length of the shaft 10 according to the present invention does not increase the load so much does not significantly affect the bearing (not shown) provided on the shaft 10 and the support.

그리고, 본체(11)는 기판 세정공정 중에서 화학물질이나 DI Water에 접하게 되는데, 이러한 화학물질이나 DI Water에 의해 화학반응으로 인한 부식이 발생되지 않도록 본체(11)의 외주면에는 니켈,크롬(Ni,Cr)합금을 도금한다.In addition, the main body 11 is in contact with chemicals or DI water during the substrate cleaning process, and nickel, chromium (Ni,) on the outer circumferential surface of the main body 11 so that corrosion due to a chemical reaction is not generated by such chemicals or DI water. Plate Cr) alloy.

아울러, 니켈,크롬합금재를 본체(11)에 도금함으로써, 섬유강화플라스틱으로 이루어진 본체(11)에서 쉽게 발생할 수 있는 파티클(particle)을 미연에 방지할 수 있는 장점이 있다.In addition, by plating a nickel, chromium alloy material on the main body 11, there is an advantage that can prevent the particles (particles) that can easily occur in the main body 11 made of fiber-reinforced plastic.

이 니켈,크롬합금재는 그 특성상 섬유강화플라스틱에 직접 도금할 수 없는 관계로 본체(11)의 외주면을 구리합금재로 먼저 감싼 후, 이 구리합금재의 외주면에 니켈,크롬합금재를 도금하는 것이 바람직하다. 상기 본체(11)와 구리합금재의 결속은 가열을 통한 융착 등의 방법으로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 구리합금재는 동인 것이 바람직하며, 순수 구리(Cu)재질로 적용할 수 있다.Since the nickel and chromium alloys cannot be directly plated on fiber reinforced plastics due to their characteristics, the outer circumferential surface of the main body 11 is first wrapped with a copper alloy material, and then the nickel and chromium alloy materials are plated on the outer circumferential surface of the copper alloy material. Do. The binding of the main body 11 and the copper alloy material is preferably made by a method such as fusion through heating. The copper alloy material is preferably copper, and may be applied as pure copper (Cu) material.

하지만, 본체(11)의 외주면을 구리합금재로 먼저 감싼 후, 이 구리합금재의 외주면에 니켈,크롬합금재를 도금하는 구조를 대신하여 본체(11)의 외주면을 스테인레스 스틸(Stainless steel)재 또는 폴리염화비닐(polyvinyl chloride: PVC)재로 감싸도 무방하다.However, the outer circumferential surface of the main body 11 is first wrapped with a copper alloy material, and then the outer circumferential surface of the main body 11 is replaced with stainless steel or stainless steel instead of the structure of plating nickel and chromium alloy on the outer circumferential surface of the copper alloy material. It can be wrapped with polyvinyl chloride (PVC).

상기 본체(11)의 외주면을 스테인레스 스틸재 또는 폴리염화비닐재로 감싸는 구조들은, 본체(11)의 외주면을 구리합금재로 먼저 감싼 후, 이 구리합금재의 외주면에 니켈,크롬합금재를 도금하는 구조와 동일하게 강성을 유지하면서도 처짐량과 하중을 현저히 감소시켜 기판의 안정된 이송 및 세정장비의 편리한 운송이 이루어지도록 하는 효과를 가진다.The structures surrounding the outer circumferential surface of the main body 11 with stainless steel or polyvinyl chloride material, first wrap the outer circumferential surface of the main body 11 with a copper alloy material, and then plate the nickel, chromium alloy material on the outer circumferential surface of the copper alloy material While maintaining the rigidity as in the structure, it significantly reduces the amount of deflection and load has the effect of making the stable transport of the substrate and convenient transportation of cleaning equipment.

특히, 본체(11)의 외주면을 스테인레스 스틸재로 감싸는 구조는 주로 세정존에서 사용되는 것이 바람직하며, 상기 본체(11)가 탄소섬유강화플라스틱으로 이루어질 경우, 세정존에 직접 노출된 본체(11)는 화학반응으로 인해 파티클이 발생하게 되는 문제점이 있는데, 본체(11)의 외주면을 스테인레스 스틸재로 감쌀 경우 상기한 문제점을 효과적으로 방지할 수 있는 장점이 있다.In particular, the structure surrounding the outer circumferential surface of the main body 11 with a stainless steel material is preferably used mainly in the cleaning zone, and when the main body 11 is made of carbon fiber reinforced plastic, the main body 11 directly exposed to the cleaning zone There is a problem that particles are generated due to a chemical reaction, there is an advantage that can effectively prevent the above problems when the outer peripheral surface of the main body 11 is wrapped with a stainless steel material.

아울러, 본체(11)의 외주면을 폴리염화비닐재로 감싸는 구조는 주로 강산을 취급하는 케미컬존에서 사용되는 것이 바람직하며, 상기 본체(11)가 탄소섬유강화플라스틱으로 이루어질 경우, 상기 언급한 바와 같이 케미컬존에서 강산에 직접 노출된 본체(11)는 화학반응으로 인해 파티클이 발생하게 되는 문제점이 있는데, 본체(11)의 외주면을 폴리염화비닐재로 감쌀 경우 상기한 문제점을 효과적으로 방지할 수 있는 장점이 있다.In addition, the structure surrounding the outer circumferential surface of the main body 11 with polyvinyl chloride is preferably used in a chemical zone mainly dealing with a strong acid, and when the main body 11 is made of carbon fiber reinforced plastic, as mentioned above The main body 11 directly exposed to the strong acid in the chemical zone has a problem in that particles are generated due to a chemical reaction. When the outer circumferential surface of the main body 11 is wrapped with polyvinyl chloride, the above problems are effectively prevented. have.

한편, 지지부재(20)는 본체(11)의 양단에 일체로 끼워지고, 기판 세정장치의 지지대에 회동가능하게 고정되는 것이다.On the other hand, the support member 20 is integrally fitted to both ends of the main body 11, and is rotatably fixed to the support of the substrate cleaning apparatus.

실시예에서, 지지부재(20)는 본체(11)에 끼워지는 끼움부(21)와, 상기 지지대에 회동 가능하게 고정되는 고정부(23)와, 상기 끼움부(21)와 고정부(23) 사이 외주면으로부터 돌출형성되는 걸림부(22)로 이루어진다.In the embodiment, the support member 20 has a fitting portion 21 to be fitted to the main body 11, a fixing portion 23 to be pivotally fixed to the support, the fitting portion 21 and the fixing portion 23 It consists of a locking portion 22 protruding from the outer circumferential surface between.

상기 끼움부(21)는 본체(11) 내부에 결합되고, 상기 걸림부(22)는 끼움부(21)가 본체(11)에 결합된 상태에서 본체(11)의 양측면을 차단하여 밀폐시킨다. 그리고 고정부(23)는 외주면에 베어링이 끼워진 상태에서 상기 베어링과 더불어 지지대에 형성된 고정구멍에 회동가능하게 삽입된다.The fitting portion 21 is coupled to the inside of the main body 11, and the locking portion 22 seals and seals both sides of the main body 11 while the fitting portion 21 is coupled to the main body 11. And the fixing part 23 is rotatably inserted into the fixing hole formed in the support stand with the said bearing in the state which the bearing was fitted in the outer peripheral surface.

상기와 같이 지지부재(20)의 걸림부(22)가 본체(11)의 양측면을 차단하여 확실히 밀폐시킴으로써, 기판 세정 공정 중에 화학물질이나 DI Water가 샤프트(10)의 본체(11) 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있으며, 이로 인해 종래와 달리 샤프트(10)의 부식을 방지할 수 있는 장점이 있다.As described above, the locking portion 22 of the supporting member 20 blocks and secures both sides of the main body 11 so that chemicals or DI water flow into the main body 11 of the shaft 10 during the substrate cleaning process. It can be prevented, because of this there is an advantage that can prevent the corrosion of the shaft 10 unlike the conventional.

아울러, 본 실시예에서는 별도로 도시되지 않았지만, 상기 본체(11)의 양단에는 상기 지지부재(20)와의 수밀 또는 기밀 유지용 밀봉수단을 적어도 하나 구비할 수도 있다. 이 밀봉수단은 엔드캡(End cap) 또는 오-링부재인 것이 바람직하다.In addition, although not shown separately in this embodiment, both ends of the main body 11 may be provided with at least one sealing means for watertight or hermetic holding with the support member 20. This sealing means is preferably an end cap or an o-ring member.

도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치용 샤프트의 다른 실시예를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing another embodiment of a shaft for a substrate transfer device according to the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치용 샤프트(10')는 도 2의 실시예와 마찬가지로 섬유강화플라스틱으로 이루어지는 관형의 본체(11')와, 상기 본체(11')의 양단에 끼워지고 상기 지지대에 회동가능하게 고정되는 지지부재(20')로 이루어 진다.As shown in FIG. 3, the shaft 10 ′ for the substrate transfer device is fitted to both ends of the tubular body 11 ′ made of fiber-reinforced plastics and to both ends of the body 11 ′ as in the embodiment of FIG. 2. It consists of a support member (20 ') is rotatably fixed to the support.

실시예에서, 본체(11')는 섬유강화플라스틱 중 탄소섬유강화플라스틱으로 이루어진다. 본체(11')가 섬유강화플라스틱으로 이루어지므로써 발생되는 효과는 이미 상기한 실시예에서 상세하게 기재하고 있으므로 여기서는 그 구체적인 효과는 생략한다.In the embodiment, the main body 11 'is made of carbon fiber reinforced plastic among the fiber reinforced plastics. Since the effect generated by the main body 11 'made of fiber-reinforced plastic has already been described in detail in the above-described embodiment, the specific effect thereof is omitted here.

이 본체(11')의 외주면에는 테프론(Teflon)재(31)가 감싼다. 본체(11')와 테프론재(31)의 결속은 가열을 통한 융착 등의 방법으로 이루어진다.Teflon material 31 is wrapped around the outer circumferential surface of the main body 11 '. The binding of the main body 11 'and the Teflon material 31 is made by a method such as fusion through heating.

이 테프론재(31)는 본체(11')가 화학물질이나 DI Water의 접촉에 의한 화학반응으로 부식되지 않도록 하며, 이와 동시에 섬유강화플라스틱으로 이루어진 본체(11')에서 쉽게 발생할 수 있는 파티클(particle)을 미연에 방지한다.The Teflon material 31 prevents the main body 11 'from being corroded by a chemical reaction by contact with chemicals or DI water, and at the same time, particles (particles) that can easily occur in the main body 11' made of fiber-reinforced plastic. ) In advance.

하지만, 본체(11')의 외주면에 테프론(Teflon)재(31)를 감싸는 구조를 대신하여 본체(11)의 외주면을 스테인레스 스틸재 또는 폴리염화비닐재로 감싸도 무방하다.However, instead of the structure surrounding the Teflon material 31 on the outer circumferential surface of the main body 11 ', the outer circumferential surface of the main body 11 may be wrapped with stainless steel or polyvinyl chloride.

상기 본체(11)의 외주면을 스테인레스 스틸재 또는 폴리염화비닐재로 감싸는 구조에 대한 효과는 상기한 실시예에서 언급한 바와 같다.The effect on the structure of surrounding the outer circumferential surface of the main body 11 with stainless steel or polyvinyl chloride is as mentioned in the above embodiment.

한편, 지지부재(20')는 도 2의 실시예와 마찬가지로, 본체(11')에 끼워지는 끼움부(21')와, 상기 지지대에 회동 가능하게 고정되는 고정부(23')와, 상기 끼움부(21')와 고정부(23') 사이 외주면으로부터 돌출형성되는 걸림부(22')로 이루어진다.On the other hand, as in the embodiment of Figure 2, the support member 20 ', the fitting portion 21' to be fitted to the main body 11 ', the fixing portion 23' fixedly rotatable to the support, and the It consists of a locking portion 22 'protruding from the outer peripheral surface between the fitting portion 21' and the fixing portion 23 '.

상기 끼움부(21')는 본체(11') 내부에 결합되고, 상기 걸림부(22')는 끼움부 (21')가 본체(11')에 결합된 상태에서 본체(11')의 양측면을 차단하여 밀폐시킨다. 이 걸림부(22')의 외주면은 테프론재(22')의 내부로 수용되며, 고정부(23')는 외주면에 베어링이 끼워진 상태에서 베어링과 더불어 상기 지지대에 형성된 끼움구멍에 회동가능하게 삽입된다.The fitting portion 21 ′ is coupled to the inside of the main body 11 ′, and the locking portion 22 ′ is provided at both sides of the main body 11 ′ with the fitting portion 21 ′ coupled to the main body 11 ′. Shut off and seal. The outer circumferential surface of the locking portion 22 'is accommodated inside the Teflon material 22', and the fixing portion 23 'is rotatably inserted into the fitting hole formed in the support with the bearing in a state where the bearing is fitted on the outer circumferential surface. do.

상기 본체(11')의 양단에는 상기 지지부재(20')와의 수밀 또는 기밀 유지용 밀봉수단을 적어도 하나 구비한다. 이 밀봉수단은 엔드캡(40)인 것이 바람직하다. 하지만, 도 4에 도시된 샤프트(10")와 같이 밀봉수단이 오-링부재(50)로 이루어져도 무방하다.Both ends of the main body 11 'are provided with at least one sealing means for watertight or hermetic holding with the support member 20'. This sealing means is preferably an end cap 40. However, the sealing means may be made of the O-ring member 50, such as the shaft 10 "shown in FIG.

이와 같이, 엔드캡(40) 또는 오-링부재(50)를 구비하여 본체(11')의 양측면을 확실히 밀폐시킴으로써, 기판 세정 공정 중에 화학물질이나 DI Water가 샤프트(10'.10")의 본체(11') 내부로 유입되는 것을 확실하게 방지할 수 있으며, 이로 인해 종래와 달리 샤프트(10',10")의 부식을 방지할 수 있다는 장점이 있다.In this way, the end cap 40 or the O-ring member 50 is provided to securely seal both sides of the main body 11 'so that the chemicals or DI water are removed from the shaft 10'.10 "during the substrate cleaning process. It can be reliably prevented from flowing into the body (11 '), which is an advantage that can prevent the corrosion of the shaft (10', 10 ") unlike the conventional.

본 발명은 기판 이송 장치용 샤프트에 관한 것으로, 샤프트의 본체가 섬유강화플라스틱으로 이루어지므로써, 샤프트의 길이가 길어지더라도 그에 따른 하중의 증가율은 종래의 샤프트에 비해 크게 낮기 때문에 자체 처짐량을 현저히 감소시킬 수 있고, 이로 인하여 기판 이송을 수행하는데 있어서 오작동 발생율을 감소시킬 수 있는 우수한 효과가 있다.The present invention relates to a shaft for a substrate transfer device, and since the main body of the shaft is made of fiber-reinforced plastic, even if the length of the shaft is longer, the increase rate of the resulting load is significantly lower than that of the conventional shaft, thereby significantly reducing the amount of self deflection. In this case, there is an excellent effect of reducing the occurrence of malfunction in performing the substrate transfer.

이와 동시에, 본 발명에 따른 샤프트들은 자체 하중이 가볍기 때문에 본 샤프트를 설치한 이송 장치가 장착된 기판 세정장비의 하중을 상당히 감소시킬 수 있 으므로, 기판 세정장비를 손 쉽게 운송할 수 있다는 장점이 있다.At the same time, the shafts according to the present invention have an advantage that the substrate cleaning equipment can be easily transported since the load of the substrate cleaning equipment equipped with the conveying device installed with the shaft can be significantly reduced because the shafts according to the present invention are light. .

또한, 본 발명에 따른 샤프트는 자체 하중이 가벼워서 샤프트와 지지대 상에 구비된 베어링의 마모를 종래에 비해 현저히 저하시킬 수 있는 장점이 있다.In addition, the shaft according to the present invention has the advantage that it is possible to significantly reduce the wear of the bearing provided on the shaft and the support compared to the conventional because of the light weight of the self.

아울러, 본 발명은 본체의 양단에 엔드캡 또는 오-링부재와 같은 별도의 기밀 또는 수밀 유지용 밀봉수단을 구비하므로써, 세정 공정 중에 화학물질이나 DI Water가 샤프트 내부로 유입되지 않기 때문에, 샤프트의 부식을 방지하여 샤프트를 장기간 사용할 수 있도록 하는 우수한 효과가 있다.In addition, the present invention has a separate airtight or watertight sealing means such as an end cap or an o-ring member at both ends of the main body, so that chemicals or DI water are not introduced into the shaft during the cleaning process. It has an excellent effect of preventing corrosion and allowing the shaft to be used for a long time.

Claims (8)

평판표시장치의 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 있어서,In the substrate transfer apparatus for transferring the substrate of the flat panel display device, 섬유강화플라스틱 재질로 구성되어 회전운동을 통해 기판을 일방향으로 이송시키는 관형의 본체와, 상기 본체의 양단에 끼워지고 상기 지지대에 회동가능하게 고정되는 지지부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치용 샤프트.Shaft for a substrate transfer device made of a fiber-reinforced plastic material consisting of a tubular body for transferring the substrate in one direction through a rotational movement, and a support member fitted to both ends of the body and rotatably fixed to the support . 제 1항에 있어서, 상기 섬유강화플라스틱은 탄소섬유강화플라스틱인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치용 샤프트.The shaft of claim 1, wherein the fiber reinforced plastic is carbon fiber reinforced plastic. 제 1항에 있어서, 상기 본체의 외주면은 스테인레스 스틸재로 감싸는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치용 샤프트.The shaft of a substrate transfer device according to claim 1, wherein an outer circumferential surface of the main body is wrapped with a stainless steel material. 제 1항에 있어서, 상기 본체의 외주면은 폴리염화비닐재로 감싸는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치용 샤프트.The shaft for substrate transfer apparatus of Claim 1 in which the outer peripheral surface of the said main body is wrapped with polyvinyl chloride material. 제 1항에 있어서, 상기 본체의 외주면에는 구리합금재로 감싸고, 상기 구리합금재의 외주면에는 니켈,크롬합금재를 도금한 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치용 샤프트.The shaft of a substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein an outer circumferential surface of the main body is wrapped with a copper alloy material, and a nickel and chromium alloy material is plated on an outer circumferential surface of the copper alloy material. 제 1항에 있어서, 상기 본체의 외주면은 테프론재로 감싸는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치용 샤프트.The shaft of a substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein the outer circumferential surface of the main body is wrapped with Teflon material. 제 1항에 있어서, 상기 본체의 양단에 상기 지지부재와의 수밀 또는 기밀 유지용 밀봉수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치용 샤프트.The shaft for substrate transfer apparatus according to claim 1, further comprising watertight or hermetic sealing means with the support member at both ends of the main body. 제 7항에 있어서, 상기 밀봉수단은 엔드캡 또는 오-링부재인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치용 샤프트.8. The shaft of claim 7, wherein the sealing means is an end cap or an o-ring member.
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