KR100763807B1 - The rooler for cleaning board - Google Patents

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KR100763807B1
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KR
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roller
cleaning
support shaft
motor
substrate
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KR1020070064459A
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박경식
최재혁
김철현
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(주)다사로봇
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Abstract

A roller for cleaning a substrate is provided to reduce cleaning costs by reducing an inner space of a cleaning bath using an improved arrangement of a motor. A roller for cleaning a substrate includes a cleaning roller, a driving unit, a driving packing, and a support shaft. The cleaning roller(1) is used for cleaning a planar display. A first cavity(1a) is formed in the cleaning roller. The driving unit(2) is installed in the first cavity of the cleaning roller. The driving packing(3) is attached to the cleaning roller to prevent the slip of power of the driving unit. The support shaft(5) is inserted into the first cavity to be connected with both sides of the cleaning roller. One side of the support shaft has a second cavity used as a path of a cable.

Description

기판세척롤러{The Rooler For Cleaning Board}Substrate Cleaning Roller {The Rooler For Cleaning Board}

도 1a 및 도b는 종래의 발명인 기판의 처리 장치,1a and b is a substrate processing apparatus of a conventional invention,

도 2는 본 발명인 기판세척롤러의 단면도 및 작용도,2 is a cross-sectional view and a functional diagram of the substrate cleaning roller of the present invention;

도 3은 본 발명인 기판세척롤러 방수케이스의 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view of the present invention substrate cleaning roller waterproof case.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1:세척롤러 1a:중공부1: washing roller 1a: hollow part

1b:브러시 2:모터 1b: Brush 2: Motor

3:구동패킹 3a:구동 패킹 구동축3: Drive Packing 3a: Drive Packing Drive Shaft

3b:패킹부 4:동력 전달용 커플링 3b: Packing part 4: Coupling for power transmission

5:지지축 5a:중공부 5: support shaft 5a: hollow part

6:베어링 7:방수케이스 6: bearing 7: waterproof case

8:모터케이블 9:씰8: motor cable 9: seal

본 발명은 기판세척장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 중공부가 형성된 세척롤러의 내측에 동력원을 설치하여 세정장치의 크기를 혁신적으로 줄일 수 있고 모터에 대한 추가적인 방수처리가 필요치 않아 세정장치의 구조 및 비용절감 효과를 제공하는 기판세척롤러에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate washing apparatus, and more particularly, by installing a power source inside the washing roller in which the hollow part is formed, the size of the washing apparatus can be drastically reduced, and additional waterproof treatment for the motor is not required. The present invention relates to a substrate cleaning roller that provides a cost saving effect.

액정 표시 장치용 유리기판, 플라즈마 디스플레이용 유리기판, 전자 디바이스 기판 등의 기판에 회로패턴이 형성된다. 회로패턴을 형성하는 일련의 공정을 복수회 반복하는 과정에서 기판에 부착한 파티클, 유기 화합물, 금속이온 등의 여러가지 오염물질들이 기판에 부착되는 경우가 매우 빈번하게 발생된다. 이 오염물질들을 제거하기 위하여 세척액에 의한 세정공정이 필수적으로 진행되어야 한다. 하지만, 오염물질들 중 단지 세척액을 분사하는 것만으로는 확실하게 제거할 수 없는 것이 있다. 이와 같은 경우에는 세척액을 공급하면서 기판의 판면을 브러시나 스폰지로 마찰하면서 세정하는 것이 행해진다. 이러한 브러시나 스폰지가 부착되는 세척롤러와 세척롤러의 구동방식이 종래에 개발되었다.Circuit patterns are formed on substrates such as glass substrates for liquid crystal displays, glass substrates for plasma displays, and electronic device substrates. In a process of repeating a series of processes of forming a circuit pattern, various contaminants such as particles, organic compounds, and metal ions attached to the substrate are frequently attached to the substrate. In order to remove these contaminants, a cleaning process with a cleaning liquid must be carried out. However, some of the contaminants cannot be removed by simply spraying the cleaning liquid. In such a case, cleaning is performed while rubbing the plate surface of the substrate with a brush or a sponge while supplying a cleaning liquid. The driving method of the cleaning roller and the cleaning roller to which such a brush or sponge is attached has been developed in the past.

도 1은 종래기술에 따른 세척롤러를 나타낸 것이다. 도면에 도시한 바와 같이, 종래의 기판의 처리 장치는 기판이 통과되는 처리조(100), 처리조의 내부에 위치하는 반송기구(110), 처리조의 내부에 위치하는 세척롤러(120), 세척롤러의 양측으로 구비되는 지지축(121), 커플링(122)에 의해 일측의 지지축과 연결되고 처리조의 외측에 설치된 모터(123)로 구성된다.Figure 1 shows a washing roller according to the prior art. As shown in the drawings, a conventional substrate processing apparatus includes a processing tank 100 through which a substrate passes, a conveying mechanism 110 located inside the processing tank, a washing roller 120 located inside the processing tank, and a cleaning roller. The support shaft 121, which is provided on both sides of the coupling 122 is connected to the support shaft on one side and consists of a motor 123 installed on the outside of the treatment tank.

처리조(100)는 기판이 들어올 수 있는 반입구가 형성되고 타단에는 같은 높이의 반출구가 형성된다. 기판이 반송될 수 있는 반송기구(110)를 구비한다. The treatment tank 100 is formed with an inlet through which a substrate can enter and an outlet of the same height is formed at the other end. It is provided with the conveyance mechanism 110 by which a board | substrate can be conveyed.

반송기구(110)는 처리조내(100)에 소정 간격으로 이격되게 배치된 복수개의 반송용 샤프트(111)를 가진다. 반송용 샤프트(111)에 의해 반송되는 기판 상하면 을 세정하기 위한 상하 한 쌍의 세척롤러(120)가 기판의 반송방향에 대하여 소정간격으로 이격되게 위치한다. The conveyance mechanism 110 has the several conveyance shaft 111 arrange | positioned at predetermined intervals in the process tank 100. A pair of upper and lower washing rollers 120 for cleaning the upper and lower surfaces of the substrate conveyed by the conveying shaft 111 are positioned at predetermined intervals with respect to the conveying direction of the substrate.

세척롤러(120)는 처리조(100)에 위치하며 양측으로 지지축(121)이 고정된다. 세척롤러(120)의 표면에는 롤브러시, 스폰지등의 세정도구들이 부착된다. 세척롤러의 위쪽에 세척액이 공급되는 노즐체가 위치한다.The washing roller 120 is located in the treatment tank 100 and the support shaft 121 is fixed to both sides. Cleaning tools such as roll brushes and sponges are attached to the surface of the cleaning roller 120. The nozzle body to which the cleaning liquid is supplied is located above the cleaning roller.

지지축(121)은 세척롤러(120)의 양측에 고정된다. 그 중 일측의 지지축(121)은 커플링(122)과 결합되어 모터(123)에 연결된다. 세척롤러(120)와 지지축(121)은 세정시에 사용되는 오존수나 불화수소산 과산화수소 등의 처리액등에 대하여 내성을 가지는 금속재료, 예를 들면 스테인레스강에 의해 형성되어 있다.The support shaft 121 is fixed to both sides of the washing roller 120. One side of the support shaft 121 is coupled to the coupling 122 and connected to the motor 123. The washing roller 120 and the support shaft 121 are formed of a metal material, for example, stainless steel, which is resistant to treatment liquids such as ozone water, hydrofluoric acid and hydrogen peroxide used in washing.

모터(123)는 처리조(100)의 외측에 마련되고 커플링(122)에 의해 지지축(121)과 연결된다.The motor 123 is provided outside the treatment tank 100 and is connected to the support shaft 121 by the coupling 122.

상술한 기판세척롤러의 작동상태를 살펴보면, 기판이 처리조(100)내로 들어오게 되면 반송기구(110)에 의해 이동된다. 이 경우 노즐에 의해서 세척액이 분사되고 세척롤러(120)의 접촉압력, 세척롤러(120)의 회전속도, 기판의 이동속도에 따라 기판에 부착된 파티클, 유기화합물 등의 오염물질들이 세정되어 깨끗한 평판디스플이가 마련된다. Looking at the operation state of the above-described substrate cleaning roller, the substrate is moved by the transport mechanism 110 when it enters into the processing tank (100). In this case, the cleaning liquid is sprayed by the nozzle, and contaminants such as particles and organic compounds attached to the substrate are cleaned according to the contact pressure of the cleaning roller 120, the rotational speed of the cleaning roller 120, and the moving speed of the substrate. The display is provided.

그러나, 종래의 방식에 의하면 모터가 동력전달용 커플링과 결합되어 외부로 돌출되어 있어 디스플레이의 크기 외에 외부로 돌출된 모터가 차지하는 부피만큼 세정 베스의 공간이 커져 청정을 유지하는 데 비용이 많이 드는 문제점이 있다.However, according to the conventional method, the motor is coupled to the power transmission coupling and protrudes outward, which increases the space of the cleaning bath by the volume occupied by the motor protruding outward from the size of the display, which is expensive to maintain the cleanness. There is a problem.

또한, 기판이동시 노즐에 의해서 분사되는 세척액이 지지축을 따라서 처리조 의 외부로 흘러나오게 되면 모터에 스며든다. 이를 방지하기 위해 고가의 방수형 모터를 사용하거나 추가적인 모터 방수구조가 필요하여 금전적 추가비용이 발생하는 문제점이 있다.In addition, when the cleaning liquid sprayed by the nozzle during the substrate movement flows out of the treatment tank along the support shaft, it penetrates the motor. In order to prevent this, there is a problem in that an additional cost is generated by using an expensive waterproof motor or an additional motor waterproof structure.

따라서 본 발명의 목적은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로 중공부가 형성된 세척롤러를 구비하고 모터를 세척롤러의 내부에 설치하여 모터가 차지하는 부피만큼의 세정 베스 공간을 줄이는 기판세척롤러를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate cleaning roller having a cleaning roller having a hollow portion and installing a motor inside the cleaning roller to reduce the cleaning bath space by the volume occupied by the motor. do.

또한, 모터를 세척롤러의 내부에 구비하여 세정장치를 혁신적으로 줄일 수 있으며 모터에 대한 추가적인 방수처리를 하는 것이 불필요하여 제조단가를 낮추는 기판세처롤러를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, it is an object of the present invention to provide a substrate capture roller which can reduce the manufacturing cost by providing a motor inside the cleaning roller to reduce the cleaning device innovatively and it is unnecessary to further waterproof the motor.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명인 기판세척롤러는 평판 디스플레이를 세척하며 내부에 중공부가 형성된 세척롤러, 상기 세척롤러의 중공부에 마련되는 구동부, 상기 구동부의 동력이 슬립이 일어나지 않게 세척롤러에 밀착되는 구동패킹, 상기 세척롤러 양측 중공부에 삽입 결합되는 지지축을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 일측의 지지축은 케이블의 통로가 되는 중공부가 형성된 것을 특징으로 한다. 상기 세척롤러에 삽입 결합된 지지축 부분을 제외한 나머지 지지축의 외주면을 따라서 마련되는 방수케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The substrate cleaning roller of the present invention for achieving the above object is to wash the flat panel display and the washing roller having a hollow portion therein, the driving portion provided in the hollow portion of the washing roller, the driving unit is in close contact with the washing roller so that the driving force does not slip Drive packing is characterized in that it comprises a support shaft inserted into the washing roller both sides hollow. The support shaft of one side is characterized in that the hollow portion that is a passage of the cable is formed. It further comprises a waterproof case provided along the outer circumferential surface of the remaining support shaft except for the support shaft portion inserted into the washing roller.

이하, 본 발명인 기판세척롤러에 대하여 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명 한다. Hereinafter, the substrate cleaning roller of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명인 기판세척롤러의 단면도이다. 도면에 도시한 바와 같이, 기판세척롤러는 기판의 오염물질을 닦아내는 브러시가 부착되며 중공부(1a)가 형성된 세척롤러(1), 세척롤러(1)의 중공부인 내측에 마련되는 모터(2), 모터의 구동력을 전달받는 구동패킹(3), 세척롤러(1)의 양측 중공부(1a)에 세척롤러(1)를 회전가능하게 지지하도록 삽입되는 지지축(5), 양측 지지축(5) 외부로 마련되는 방수케이스(7)와 씰(9)로 구성된다.2 is a cross-sectional view of the substrate cleaning roller of the present invention. As shown in the drawing, the substrate cleaning roller is attached to a brush for wiping off the contaminants of the substrate, the washing roller (1) having a hollow portion (1a), the motor (2) provided inside the hollow portion of the washing roller (1) ), A driving packing 3 receiving the driving force of the motor, a support shaft 5 inserted to rotatably support the washing roller 1 at both hollow portions 1a of the washing roller 1, and both supporting shafts ( 5) It is composed of a waterproof case (7) and the seal (9) provided to the outside.

세척롤러(1)는 처리조내에 위치하고 내측에 중공부(1a)를 형성하며 외주면에는 브러시가(1b) 부착된다. 세척롤러(1)의 재질은 세정시에 사용되는 오존수나 불화수소산 과산화수소 등의 처리액등에 대하여 내성을 가지는 금속 재료, 예를 들면 스테인레스강으로 형성된다. 브러시가 부착되는 외주면에는 세척액에 대해 내성을 가지는 수지, 예를 들면 폴리 염화비닐, 폴리 테트라 플루오르 에틸렌, 폴리 불화 비닐리덴 등이 일정한 두께로 구비된다.The washing roller 1 is located in the treatment tank to form a hollow portion 1a inside, and a brush 1b is attached to the outer circumferential surface. The material of the washing roller 1 is formed of a metal material, for example, stainless steel, which is resistant to treatment liquids such as ozone water, hydrofluoric acid and hydrogen peroxide used in washing. The outer circumferential surface to which the brush is attached is provided with a resin having a resistance to the cleaning liquid, for example, polyvinyl chloride, polytetrafluoroethylene, polyvinylidene fluoride, and the like at a constant thickness.

모터(2)는 세척롤러(1)의 중공부(1a)의 내부에 마련된다. 모터(2)는 세척롤러(1)의 내측에 마련되므로 별도의 방수처리가 요구되지 않는다. 모터(2)는 작고 가벼우면서 큰 힘을 낼 수 있는 서보모터(2)를 사용한다. 서보모터(2)는 전기식, 유압식, 공기식이 있다. 전기식 서보모터(2)는 빠른 응답과 넓은 속도제어의 범위를 가진 제어용 전동기로 본 발명의 모터(2)에 사용된다. 모터(2)의 구동력은 커플링(4)에 의해 구동패킹(3)에 전달된다. 서보모터(2)에 전원을 인가하기 위하여 모터케이블(8)은 외부로부터 지지축(5)의 중공부(5a)를 통과하여 모터(2)에 연결된 다. The motor 2 is provided inside the hollow part 1a of the washing roller 1. Since the motor 2 is provided inside the washing roller 1, no additional waterproofing is required. The motor 2 uses the servomotor 2 which is small and light and can exert a big force. The servomotor 2 is electric, hydraulic or pneumatic. The electric servomotor 2 is used in the motor 2 of the present invention as a control electric motor having a range of fast response and wide speed control. The driving force of the motor 2 is transmitted to the drive packing 3 by the coupling 4. In order to apply power to the servomotor 2, the motor cable 8 is connected to the motor 2 through the hollow portion 5a of the support shaft 5 from the outside.

구동패킹(3)은 세척롤러(1)의 중공부(1a)에 위치하고 모터(2)의 구동력을 커플링(3)에 의해 전달받고 이 구동력을 세척롤러(1)에 전달한다. 구동패킹(3)은 구동 패킹 고정축(3a)과 패킹부(3b)로 구성된다. 세척롤러(1)가 서보모터(2) 구동력의 손실을 최소화하면서 회전하기 위해 패킹부(3)는 일정한 면압으로 세척롤러(1)의 내측에 밀착하여 슬립이 일어나지 않도록 마련된다. 패킹부(3)는 구동 패킹 고정축(3a)의 외주면을 따라 결합된다. 구동 패킹 고정축(3a)이 결합된 동력 전달용 커플링(4)이 모터축과 연결된다. 구동패킹(3)을 중심으로 세척롤(1)의 중공부(1a) 양측으로 지지축(5)이 삽입된다. 밀착을 위하여 패킹부(3)의 재질은 합성 수지 계열로 한다. The driving packing 3 is located in the hollow portion 1a of the washing roller 1 and receives the driving force of the motor 2 by the coupling 3 and transmits the driving force to the washing roller 1. The drive packing 3 is composed of a drive packing fixed shaft 3a and a packing part 3b. In order for the washing roller 1 to rotate while minimizing the loss of the driving force of the servomotor 2, the packing part 3 is provided in close contact with the inside of the washing roller 1 at a constant surface pressure so that slip does not occur. The packing part 3 is coupled along the outer circumferential surface of the drive packing fixed shaft 3a. The power transmission coupling 4 coupled with the drive packing fixed shaft 3a is connected to the motor shaft. The support shaft 5 is inserted into both sides of the hollow part 1a of the cleaning roll 1 around the driving packing 3. For the close contact, the material of the packing part 3 is made of synthetic resin.

지지축(5)의 일측은 내부에 중공부(5a)가 마련되고 타측은 중공부가 형성되지 않은 것으로 이루어진다. 중공부(5a)를 형성한 지지축은 모터케이블(8)의 통로가 되고 세척롤러(1)가 회전가능 하도록 베어링(6)의 내륜에 결합되어 고정된다. 중공부(5a)가 형성되지 않은 지지축(5)은 중공부(5a)가 형성된 지지축(5)과 대응되게 위치하고 베어링(6)의 내륜에 결합되어 고정된다. 양측의 지지축(5)은 세척롤러(1)가 회전가능하도록 베어링(6)에 고정된다. 한편, 베어링(6)은 세척롤러(1) 내부 양측에 대응되게 마련된다. 베어링(6)에 지지축(5)이 결합되어 세척롤러(1)가 회전하는 경우 지지축(5)은 고정상태를 유지한다. 지지축(5)이 세척롤러(1)에 삽입된 부분을 제외한 나머지 지지축(5)의 외주면에는 방수케이스(7)가 마련된다.One side of the support shaft 5 is provided with a hollow portion 5a therein, and the other side is made of a hollow portion not formed. The support shaft forming the hollow portion 5a becomes a passage of the motor cable 8 and is fixedly coupled to the inner ring of the bearing 6 so that the washing roller 1 is rotatable. The support shaft 5, in which the hollow portion 5a is not formed, is positioned to correspond to the support shaft 5 in which the hollow portion 5a is formed, and is coupled to and fixed to the inner ring of the bearing 6. Support shafts 5 on both sides are fixed to the bearing 6 so that the cleaning roller 1 is rotatable. On the other hand, the bearing 6 is provided to correspond to both sides of the washing roller (1). When the support shaft 5 is coupled to the bearing 6 so that the washing roller 1 rotates, the support shaft 5 remains fixed. The waterproof case 7 is provided on the outer circumferential surface of the remaining support shaft 5 except for the portion in which the support shaft 5 is inserted into the washing roller 1.

도 3은 본 발명인 기판세척롤러의 방수케이스와 씰을 나타낸 것이다. 도면 에 도시한 바와 같이, 방수케이스(7)는 세척롤러(1)에 삽입 결합된 지지축(5)을 제외한 나머지 지지축(5)의 외주면을 따라서 마련된다. 씰(9)은 방수케이스(7)의 상면에 처리조와 접하는 부위에 위치하여 세척액에 대한 부식을 방지하는 역할을 한다.Figure 3 shows the waterproof case and the seal of the present invention substrate cleaning roller. As shown in the figure, the waterproof case 7 is provided along the outer circumferential surface of the remaining support shaft 5 except for the support shaft 5 inserted and coupled to the cleaning roller 1. Seal 9 is located in the contact with the treatment tank on the upper surface of the waterproof case (7) serves to prevent corrosion to the cleaning liquid.

지금부터는 상술한 기판세척롤러의 작동에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.The operation of the substrate cleaning roller described above will now be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 기판세척롤러의 작동상태를 도시한 것이다. 도면에 도시한 바와 같이, 전원이 모터케이블(8)을 통해서 모터(2)에 인가 되면 모터(2)의 구동력은 커플링(4)을 통해서 구동 패킹 고정축(3a)에 전달된다. 세척롤러(1)의 중공부(1a)에 밀착된 패킹부(3b)는 구동 패킹 고정축(3a)에 연결되어 있어 구동력은 구동 패킹 고정축(3a)에서 패킹부(3b)로 이동되고 패킹부(3b)에 의해 세척롤러(1)에 전달된다. 세척롤러(1)의 회전으로 브러시(1b)가 기판의 파티클, 유기물등의 오염물질들을 제거한다. 이 때 사용자는 회전을 빠르게 할 것인지 적절히 할 것인지를 오염물질의 상태에 따라 서보모터(2)를 이용하여 속도를 조절할 수 있다. 세척롤러(1)가 고속으로 회전하므로 세척액이 많이 튀고 외부로 나와 구성요소를 부식시킬 수 있는 것을 방수케이스(7)와 씰(9)이 방지한다. 세척롤러(1)의 구동시에 노즐에 의해서 뿜어져 나오는 세척액은 모터(2)에 스며들지 못하고 방수케이스(7)와 씰(9)에 의해 구성요소를 부식시키지 못한다. 또한 세척롤러(1)가 회전시 중공부(5a)가 형성된 지지축(5)이 고정되어 있어 모터케이블(8)의 꼬임이 방지된다.Figure 2 shows the operating state of the substrate cleaning roller according to the present invention. As shown in the figure, when power is applied to the motor 2 via the motor cable 8, the driving force of the motor 2 is transmitted to the driving packing fixed shaft 3a through the coupling 4. The packing part 3b in close contact with the hollow part 1a of the washing roller 1 is connected to the drive packing fixed shaft 3a, so that the driving force is moved from the drive packing fixed shaft 3a to the packing part 3b and packed. It is delivered to the washing roller 1 by the portion 3b. Rotation of the cleaning roller 1 causes the brush 1b to remove contaminants such as particles and organic matter on the substrate. At this time, the user can adjust the speed by using the servomotor 2 according to the state of the pollutant to speed up or appropriately. Since the cleaning roller 1 rotates at a high speed, the waterproof case 7 and the seal 9 prevent the cleaning solution from splashing out and corroding the components. The cleaning liquid spouted by the nozzle when driving the cleaning roller 1 does not penetrate the motor 2 and does not corrode the components by the waterproof case 7 and the seal 9. In addition, when the washing roller 1 rotates, the support shaft 5 on which the hollow portion 5a is formed is fixed, thereby preventing the motor cable 8 from being twisted.

본 발명의 권리범위는 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 변형할 수 있는 범위까지 본 발명의 청구 범위 내에 있다는 것이 이해될 것이다The scope of the present invention is not limited to the above embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood that those of ordinary skill in the art to which the invention pertains may fall within the scope of the claims without departing from the gist of the invention as claimed in the claims.

상기한 바와 같이 본 발명은 중공부가 형성된 세척롤러를 구비하고 모터를 세척롤러의 내부에 설치하여 모터가 차지하는 부피만큼의 세정 베스 공간을 줄여 비용을 절감하는 효과가 있다.As described above, the present invention has a cleaning roller having a hollow portion and installs the motor inside the cleaning roller, thereby reducing the cost of the washing bath space by the volume occupied by the motor.

또한, 모터를 세척롤러의 내부에 구비하여 세정장치를 혁신적으로 줄일 수 있으며 모터에 대한 추가적인 방수처리를 하는 것이 불필요하여 제조단가를 낮추는 효과가 있다.In addition, by providing a motor inside the cleaning roller, the cleaning device can be innovatively reduced, and it is unnecessary to perform additional waterproofing on the motor, thereby reducing the manufacturing cost.

Claims (3)

평판 디스플레이 세정장치에 있어서,In the flat panel display cleaning apparatus, 평판 디스플레이를 세척하며 내부에 중공부가 형성된 세척롤러;A washing roller having a hollow portion formed therein to wash the flat panel display; 상기 세척롤러의 중공부에 마련되는 구동부;A driving unit provided in the hollow portion of the washing roller; 상기 구동부의 동력이 슬립이 일어나지 않게 세척롤러에 밀착되는 구동패킹;A driving packing in which power of the driving unit is in close contact with the cleaning roller to prevent slippage; 상기 세척롤러 양측 중공부에 삽입 결합되는 지지축을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세척롤러.And a support shaft inserted into and coupled to both sides of the washing roller. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 일측의 지지축은 케이블의 통로가 되는 중공부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판세척롤러.The support shaft on one side of the substrate cleaning roller, characterized in that the hollow portion that is a passage of the cable is formed. 제1항 및 제2항에 있어서,The method according to claim 1 and 2, 상기 세척롤러에 삽입 결합된 지지축 부분을 제외한 나머지 지지축의 외주면을 따라서 마련되는 방수케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세척롤러.Substrate washing roller further comprises a waterproof case provided along the outer circumferential surface of the remaining support shaft other than the support shaft portion inserted into the cleaning roller.
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