KR20110080365A - Roll brush apparatus and brush cleaning apparatus comprising the same - Google Patents

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백정규
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Abstract

PURPOSE: A roll brush apparatus and a brush cleansing apparatus including the same are provided to perform multiple cleansing operations by installing plural roll brushes. CONSTITUTION: A plurality of brushes(217) are formed on an outer side of a roll brush device(210), cleanses the substrate and eliminates abnormal materials from the substrate. The roll brush device is supported by support parts(40a,40b). The support parts include fixing parts and bearings. The fixing parts are located within a process chamber. The bearings are inserted in support recesses of the fixing parts. The roll brush device is connected to a cleansing liquid supplier(410) via a cleansing liquid supply tube(440).

Description

롤 브러쉬 장치 및 이를 포함하는 브러쉬 세정 장치{Roll brush apparatus and Brush cleaning apparatus comprising the same}Roll brush apparatus and Brush cleaning apparatus comprising the same

본 발명은 롤 브러쉬 장치 및 이를 포함하는 브러쉬 세정 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 세정액을 공급할 수 있는 롤 브러쉬 장치 및 브러쉬 세정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a roll brush device and a brush cleaning device including the same, and more particularly, to a roll brush device and a brush cleaning device capable of supplying a cleaning liquid.

최근 영상을 표현하는 표시장치로서 액정 디스플레이(LCD) 소자와 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 소자 등이 종래의 브라운관(CRT)을 빠른 속도로 대체하여 오고 있다. 이러한 것들은 흔히 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)이라고 칭해지고, 대면적의 기판을 사용하고 있다.Recently, liquid crystal display (LCD) devices, plasma display panel (PDP) devices, and the like have been rapidly replacing conventional CRTs as display devices for displaying images. These are commonly referred to as flat panel displays (FPDs) and use large area substrates.

평판표시장치를 제작하기 위해서는 기판 제작공정, 셀 제작공정, 모듈 제작공정 등의 많은 공정을 수행하여야 한다. 특히, 기판 제작공정에 있어서, 기판 상에 패턴들을 형성하기 위해서는 세정을 시작으로 포토 레지스트 형성, 노광, 현상, 식각, 포토 레지스트 제거로 이루어지는 패터닝 공정을 수행하고 이후, 검사 공정까지 거쳐야 한다.In order to manufacture a flat panel display device, many processes such as a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module manufacturing process must be performed. In particular, in the substrate fabrication process, in order to form patterns on the substrate, a patterning process consisting of photoresist formation, exposure, development, etching, and photoresist removal must be performed, followed by an inspection process.

이 같은 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 공정 챔버에서 이루어지며, 이 같은 각각의 공정 챔버로 기판을 이송 또는 반송시키기 위한 이송 장치가 설치될 수 있다.Most of these processes are performed in a process chamber for performing a corresponding process, and a transfer device for transferring or transferring a substrate to each of these process chambers may be installed.

한편, 기판의 세정을 위한 방법으로는, 브러쉬를 사용한 세정 공정, 세정액을 사용한 세정 공정 등 다양한 세정 방법이 제공될 수 있다.Meanwhile, as a method for cleaning the substrate, various cleaning methods such as a cleaning process using a brush and a cleaning process using a cleaning liquid may be provided.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 멀티 세정이 가능한 롤 브러쉬 장치 및 이를 이용한 브러쉬 세정 장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a roll brush device capable of multi-cleaning and a brush cleaning device using the same.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상술한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 롤 브러쉬 장치의 일 양태는 내부에 회전축 방향으로 중공을 구비하며, 외부면에 다수의 브러쉬가 형성되고, 내부의 중공과 외부면을 연결하는 다수의 스프레이 홀을 포함하는 브러쉬 샤프트; 및 상기 중공에 기판 세정액을 공급하는 세정액 공급부를 포함한다. One aspect of the roll brush device of the present invention in order to achieve the above-described object is provided with a hollow in the rotation axis direction therein, a plurality of brushes are formed on the outer surface, a plurality of spray holes for connecting the inner hollow and the outer surface Brush shaft comprising a; And a cleaning solution supply unit supplying the substrate cleaning solution to the hollow.

상술한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 브러쉬 세정 장치의 일 양태는 소정의 브러쉬 세정 공정이 수행되는 공정 챔버; 및 상기 공정 챔버 내에서 세정액 공급 및 브러쉬에 의하여 기판을 세정하는 브러쉬 샤프트를 포함하며, 상기 브러쉬 샤프트는 내부에 중공을 구비하고, 상기 중공에 공급된 세정액을 외부로 공급하는 다수의 스프레이 홀이 형성된다. One aspect of the brush cleaning apparatus of the present invention to achieve the above object is a process chamber in which a predetermined brush cleaning process is performed; And a brush shaft for cleaning the substrate by a cleaning liquid supply and a brush in the process chamber, wherein the brush shaft has a hollow therein, and a plurality of spray holes for supplying the cleaning liquid supplied to the hollow to the outside are formed. do.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 브러쉬 장치를 포함하는 브러쉬 세정 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 브러쉬 장치의 사시도이다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 브러쉬 장치의 단면을 개략적으로 보여주는 도면이다.1 is a view schematically showing a brush cleaning device including a roll brush device according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a roll brush device according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic cross-sectional view of a roll brush device according to an embodiment of the present invention.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 브러쉬 장치를 포함하는 브러쉬 세정 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 브러쉬 장치의 사시도이다. 도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 브러쉬 장치의 단면을 개략적으로 보여주는 도면이다.1 is a view schematically showing a brush cleaning device including a roll brush device according to an embodiment of the present invention. 2 is a perspective view of a roll brush device according to an embodiment of the present invention. 3 is a schematic cross-sectional view of a roll brush device according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 브러쉬 장치를 포함하는 브러쉬 세정 장치는 공정 챔버(100), 롤 브러쉬 장치(210), 및 기판 이송부(150)를 포함한다.1 to 3, a brush cleaning device including a roll brush device according to an embodiment of the present invention includes a process chamber 100, a roll brush device 210, and a substrate transfer part 150.

공정 챔버(100)는 브러쉬 세정 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 롤 브러쉬(170)는 외부 표면에는 브러쉬를 장착하여, 회전에 의하여 기판 상의 이물질을 털어 내거나 쓸어내는 역할을 한다. 롤 브러쉬(170)는 기판 상면 및 하면에 브러쉬가 맞닿아 기판의 이물질을 제거하며, 기판 상면 및 하면에 각각 복수개가 설치될 수 있다.The process chamber 100 provides a space in which a brush cleaning process is performed. The roll brush 170 is equipped with a brush on the outer surface, serves to shake off or wipe off the foreign matter on the substrate by rotation. The roll brush 170 removes foreign substances from the substrate by contacting the brushes with the upper and lower surfaces of the substrate, and a plurality of roll brushes 170 may be installed on the upper and lower surfaces of the substrate.

기판 이송부(150)는 이송 샤프트(미도시) 및 이송 샤프트에 설치된 이송 롤러(미도시)를 포함할 수 있다. 기판 이송부(150)는 이송 샤프트를 구동부(미도시)에 의해 회전시켜, 이송 롤러(미도시)를 회전시킴으로써 기판을 이송시킬 수 있다.The substrate transfer part 150 may include a transfer shaft (not shown) and a transfer roller (not shown) installed on the transfer shaft. The substrate transfer unit 150 may rotate the transfer shaft by a driving unit (not shown) to rotate the transfer roller (not shown) to transfer the substrate.

롤 브러쉬 장치(210)는 샤프트 형상으로, 내부에 회전축 방향으로 중공(220)이 구비된다. 중공(220)에는 세정액이 공급될 수 있다. 세정액은 기판(P)을 세정하기 위한 탈 이온수 또는 약액 등일 수 있으며, 또는 DI일 수도 있다. 롤 브러쉬 장치(210)에는 내부의 중공(220)과 외부면을 연결하는 다수의 스프레이 홀(215)이 구비된다. 세정액은 스프레이 홀(215)을 통해 기판(P) 표면으로 공급되며, 롤 브러쉬 장치(210)가 회전됨에 따라, 회전축에서 멀어지는 방향으로 힘을 받아 분사될 수 있다. 또는, 스프레이 홀(215)이 개폐가능 하도록 형성되어, 중공(220) 내부의 세정액을 외부로 공급하는 것을 제어할 수도 있다. 도 3에는 세정액이 도면부호 219로 도시된다. The roll brush device 210 has a shaft shape and is provided with a hollow 220 in a rotation axis direction therein. The cleaning solution may be supplied to the hollow 220. The cleaning liquid may be deionized water or a chemical liquid for cleaning the substrate P, or may be DI. The roll brush device 210 is provided with a plurality of spray holes 215 for connecting the inner hollow 220 and the outer surface. The cleaning liquid is supplied to the surface of the substrate P through the spray hole 215, and as the roll brush device 210 is rotated, the cleaning liquid may be injected by a force in a direction away from the rotation axis. Alternatively, the spray hole 215 may be formed to be openable and closed, thereby controlling supply of the cleaning liquid inside the hollow 220 to the outside. 3, the cleaning liquid is shown at 219.

롤 브러쉬 장치(210)의 외부면에는 다수의 브러쉬(217)가 형성되는데, 브러쉬(217)는 기판(P)을 세정하여 이물질을 제거하기 위함이다. A plurality of brushes 217 are formed on the outer surface of the roll brush device 210, and the brushes 217 are used to clean the substrate P to remove foreign substances.

롤 브러쉬 장치(210)는 지지부(40a, 40b)에 의해 지지된다. 지지부(40a, 40b)는 각각 공정 챔버 내부(110)에 고정되는 고정부(41a, 41b) 및 상기 고정부의 지지홈에 삽입되고 상기 샤프트(210)가 고정되는 각 베이링(42a, 42b)을 포함할 수 있다. The roll brush device 210 is supported by the support parts 40a and 40b. The support portions 40a and 40b are respectively fixed portions 41a and 41b fixed to the process chamber 110 and respective bearings 42a and 42b inserted into the support grooves of the fixed portion and the shaft 210 is fixed. It may include.

롤 브러쉬 장치(210)의 내부는 세정액 공급관(440)을 통해 세정액을 공급하는 세정액 공급부(410)와 연결된다. 세정액 공급부(400)는 롤 브러쉬 장치(210)의 일단에 연결되어, 샤프트(210) 롤 브러쉬 장치(210) 내부로 세정액을 공급한다. The inside of the roll brush device 210 is connected to the cleaning solution supply unit 410 that supplies the cleaning solution through the cleaning solution supply pipe 440. The cleaning solution supply unit 400 is connected to one end of the roll brush device 210 to supply the cleaning solution to the inside of the roll brush device 210 of the shaft 210.

세정액 공급부(400)과 연결된 세정액 공급관(440)에는 밸브(430), 및 회전 체결부(450)가 구비된다. 밸브(430)는 세정액의 흐름을 열거나 닫는 역할을 한다. 밸브(430)는 밸브의 개폐 정도를 조정하여 롤 브러쉬 장치(210) 내부로 공급되는 세정액의 양을 제어할 수도 있다. The cleaning solution supply pipe 440 connected to the cleaning solution supply unit 400 includes a valve 430 and a rotation coupling unit 450. The valve 430 serves to open or close the flow of the cleaning liquid. The valve 430 may control the amount of the cleaning liquid supplied into the roll brush device 210 by adjusting the opening and closing degree of the valve.

회전 체결부(450)는 세정액 공급관(440) 및 롤 브러쉬 장치(210)의 상대적인 이동을 허용하는 역할을 한다. 예를 들어, 세정액 공급관(440)은 회전하지 아니하고 롤 브러쉬 장치(210)가 회전하는 경우에 회전 체결부(450)가 그 사이에서 롤 브러쉬 장치(210)의 회전을 허용하여 세정액 공급관(440) 및 롤 브러쉬 장치(210)의 상대적인 운동을 허용할 수 있다. The rotation fastening part 450 serves to allow relative movement of the cleaning liquid supply pipe 440 and the roll brush device 210. For example, the cleaning solution supply pipe 440 does not rotate, but when the roll brush device 210 rotates, the rotation fastening unit 450 allows the rotation of the roll brush device 210 therebetween to allow the cleaning solution supply pipe 440 to rotate. And relative movement of the roll brush device 210.

구동부(미도시됨)는 롤 브러쉬 장치(210)를 회전시킨다. 구동부는 롤 브러쉬 장치(210)에 회전력을 제공하는 구동 모터와, 각각의 반송 샤프트 일단에 결합되어 회전력을 전달하는 풀리 및 각각의 샤프트에 결합된 풀리들을 연결하는 벨트를 포함할 수 있다. 다른 예로서, 기어 또는 체인 등에 의하여 반송 샤프트들을 회전시키는 회전력을 전달할 수도 있다. 또 다른 예로서, 자기력에 의하는 마그네틱 기어 등에 의하여 회전력을 전달할 수도 있다. The drive unit (not shown) rotates the roll brush device 210. The driving unit may include a driving motor for providing rotational force to the roll brush device 210, a pulley coupled to one end of each conveying shaft to transmit rotational force, and a belt connecting the pulleys coupled to each shaft. As another example, the rotational force for rotating the conveying shafts by a gear or chain or the like may be transmitted. As another example, the rotational force may be transmitted by a magnetic gear or the like by magnetic force.

본 발명의 일 실시예에 따른 롤 브러쉬 장치 및 이를 포함하는 브러쉬 세정 장치에 의하면, 롤 브러쉬 장치(210)를 회전하면서 롤 브러쉬 장치(210)의 외면에 형성된 브러쉬로 기판(P) 표면을 세정한다. 또한, 롤 브러쉬 장치(210)에 형성된 스프레이 홀(215)에서 세정액이 분사되어 기판(P) 표면을 세정한다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 브러쉬 장치 및 이를 포함하는 브러쉬 세정 장치에 의하면, 롤 브러쉬 장치(210)로 브러쉬를 이용한 세정 및 세정액을 이용한 세정을 모두 수행할 수 있다. 따라서, 하나의 롤 브러쉬 장치(210)로 멀티 세정 공정을 진행할 수 있어, 생산성이 향상될 수 있으며, 비용이 절약될 수 있다. According to the roll brush device and the brush cleaning device including the same according to an embodiment of the present invention, the surface of the substrate P is cleaned with a brush formed on the outer surface of the roll brush device 210 while rotating the roll brush device 210. . In addition, the cleaning liquid is sprayed from the spray hole 215 formed in the roll brush device 210 to clean the surface of the substrate P. That is, according to the roll brush device and the brush cleaning device including the same according to an embodiment of the present invention, the roll brush device 210 may perform both the cleaning using the brush and the cleaning using the cleaning liquid. Therefore, the multi-cleaning process can be performed with one roll brush device 210, so that productivity can be improved and cost can be saved.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains have various permutations, modifications, and modifications without departing from the spirit or essential features of the present invention. It is to be understood that modifications may be made and other embodiments may be embodied. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

210: 롤 브러쉬 장치 215: 스프레이 홀
217: 브러쉬 219: 세정액
220: 중공 410: 세정액 공급부210: roll brush device 215: spray hole
217: brush 219: cleaning liquid
220: hollow 410: cleaning liquid supply part

Claims (5)

내부에 회전축 방향으로 중공을 구비하며, 외부면에 다수의 브러쉬가 형성되고, 내부의 중공과 외부면을 연결하는 다수의 스프레이 홀을 포함하는 브러쉬 샤프트; 및
상기 중공에 기판 세정액을 공급하는 세정액 공급부를 포함하는 롤 브러쉬 장치.A brush shaft having a hollow in a rotation axis direction therein, and having a plurality of brushes formed on an outer surface thereof, the brush shaft including a plurality of spray holes connecting the hollow and the outer surface thereof; And
Roll brush device comprising a cleaning liquid supply unit for supplying a substrate cleaning liquid to the hollow. 제 1항에 있어서, 상기 스프레이 홀을 통해 기판 세정액이 분사되는 롤 브러쉬 장치.The roll brush apparatus of claim 1, wherein a substrate cleaning liquid is injected through the spray hole. 제 1항에 있어서,
상기 브러쉬 샤프트 를 회전시키는 구동부를 더 포함하는, 롤 브러쉬 장치.The method of claim 1,
And a drive for rotating the brush shaft. 제 1항에 있어서,
상기 브러쉬 샤프트의 중공 및 상기 세정액 공급부를 연결시키는 세정액 공급관; 및
상기 세정액 공급관이 고정된 상태에서 상기 브러쉬 샤프트의 회전을 허용하는 회전 체결부를 더 포함하는, 롤 브러쉬 장치.The method of claim 1,
A cleaning liquid supply pipe connecting the hollow of the brush shaft and the cleaning liquid supply part; And
The roll brush device further comprises a rotation fastening portion for allowing the rotation of the brush shaft in a state where the cleaning liquid supply pipe is fixed. 소정의 브러쉬 세정 공정이 수행되는 공정 챔버; 및
상기 공정 챔버 내에서 세정액 공급 및 브러쉬에 의하여 기판을 세정하는 브러쉬 샤프트를 포함하며,
상기 브러쉬 샤프트는 내부에 중공을 구비하고, 상기 중공에 공급된 세정액을 외부로 공급하는 다수의 스프레이 홀이 형성된, 브러쉬 세정 장치.A process chamber in which a predetermined brush cleaning process is performed; And
A brush shaft for cleaning the substrate by a cleaning liquid supply and a brush in the process chamber,
The brush shaft has a hollow therein, and a plurality of spray holes for supplying the cleaning liquid supplied to the outside to the brush cleaning device.
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