KR20060055578A - Panel manufacturing apparatus - Google Patents

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KR20060055578A KR1020040093879A KR20040093879A KR20060055578A KR 20060055578 A KR20060055578 A KR 20060055578A KR 1020040093879 A KR1020040093879 A KR 1020040093879A KR 20040093879 A KR20040093879 A KR 20040093879A KR 20060055578 A KR20060055578 A KR 20060055578A
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Abstract

본 발명은, 패널제조장치에 관한 것으로서, 패널을 제조하기 위한 공정유닛과; 상기 공정유닛으로 패널을 공급하도록 패널을 이송하는 제1스테이지와, 상기 공정유닛으로부터 패널을 배출하도록 패널을 이송하는 제2스테이지와, 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 이동가능하게 지지하는 스테이지가이드를 갖는 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 패널의 공급과 배출을 동시에 진행할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 패널제조장치를 제공할 수 있다.The present invention relates to a panel manufacturing apparatus, comprising: a processing unit for manufacturing a panel; A first stage for transferring the panel to supply the panel to the processing unit, a second stage for transferring the panel to discharge the panel from the processing unit, and a stage for movably supporting the first stage and the second stage It characterized in that it comprises a transfer unit having a guide. As a result, it is possible to provide a panel manufacturing apparatus capable of simultaneously supplying and discharging panels and improving productivity.

Description

패널제조장치 {PANEL MANUFACTURING APPARATUS}Panel Manufacturing Equipment {PANEL MANUFACTURING APPARATUS}

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 패널제조장치의 정면도,1 is a front view of a panel manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 패널제조장치의 평면도,2 is a plan view of a panel manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention;

도 3 내지 도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 패널제조장치의 작동 평면도,3 to 6 are operation plan views of the panel manufacturing apparatus according to the first embodiment of the present invention,

도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 패널제조장치의 정면도이다.7 is a front view of a panel manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 패널제조장치 5 : 패널1 panel manufacturing apparatus 5 panel

10 : 공정유닛 11 : 공정플레이트10: process unit 11: process plate

15 : 작업대 16 : 패널지지대15: workbench 16: panel support

21 : 제1스테이지 23 : 스테이지가이드21: Stage 1 23: Stage guide

31 : 제2스테이지 41 : 위치제어유닛31: second stage 41: position control unit

43 : 검출부 51 : 제1핸들러43: detector 51: first handler

61 : 제2핸들러 70 : 베이스61: second handler 70: base

본 발명은 패널제조장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 패널의 생산성을 향상시키도록 구조를 개선한 패널제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a panel manufacturing apparatus, and more particularly to a panel manufacturing apparatus having an improved structure to improve the productivity of the panel.

일반적으로, 패널은 PDP(PLASMA DISPLAY PANEL), TFT-LCD(THIN FILM TRANSISTOR - LIQUID CRYSTAL DISPLAY) 및 유기ELD(ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY)와 같은 평면디스플레이에 장착되어 화상을 형성하는 디스플레이패널을 총칭한다. 이러한 디스플레이패널은 유리기판에 다양한 전자부품을 부착하는 등의 제조공정이 마련된 패널제조장치에 의해 제조된다.In general, a panel is a general term for a display panel which is mounted on a flat panel display such as a plasma display panel (PDP), thin film transformer (liquid crystal display), and an organic ELD (ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY) to form an image. The display panel is manufactured by a panel manufacturing apparatus provided with a manufacturing process such as attaching various electronic components to a glass substrate.

이러한 종래의 패널제조장치는 패널을 제조하도록 마련된 공정유닛과, 이러한 공정유닛으로 패널을 이송하기 위해 이송유닛을 구비한다.Such a conventional panel manufacturing apparatus includes a process unit provided to manufacture a panel, and a transfer unit for transferring the panel to the process unit.

이송유닛은 패널을 공정유닛으로 이송하기 위한 스테이지와, 공정유닛 및 스테이지를 지지하는 베이스를 포함한다.The transfer unit includes a stage for transferring the panel to the process unit, and a base for supporting the process unit and the stage.

이러한 스테이지는 패널을 지지하여 제조 공정상의 공정유닛으로 공급하며 공정유닛에서 제조공정이 완료된 패널을 배출하도록 이송한다. 즉, 스테이지는 투입된 패널을 제조공정이 수행되어 배출될 때까지 연속적으로 지지하도록 하나로 마련된다.This stage supports the panel and supplies it to the process unit in the manufacturing process, and transports the process unit to discharge the finished panel. That is, the stage is provided as one to continuously support the input panel until the manufacturing process is performed and discharged.

이에, 종래의 패널제조장치는 하나의 스테이지를 마련하고 있어, 하나의 패널이 공정유닛을 완료하여 완전히 배출될 때까지 다음 패널을 투입시킬 수 없으므로 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.Thus, the conventional panel manufacturing apparatus is provided with one stage, there is a problem that the productivity is low because the next panel can not be added until one panel completes the process unit and is completely discharged.

따라서, 본 발명의 목적은, 생산성을 향상시킬 수 있는 패널제조장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a panel manufacturing apparatus capable of improving productivity.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 패널제조장치에 있어서, 패널을 제조하기 위한 공정유닛과; 상기 공정유닛으로 패널을 공급하도록 패널을 이송하는 제1스테이지와, 상기 공정유닛으로부터 패널을 배출하도록 패널을 이송하는 제2스테이지와, 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 이동가능하게 지지하는 스테이지가이드를 갖는 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널제조장치에 의해 달성된다.According to the present invention, there is provided a panel manufacturing apparatus, comprising: a process unit for manufacturing a panel; A first stage for transferring the panel to supply the panel to the processing unit, a second stage for transferring the panel to discharge the panel from the processing unit, and a stage for movably supporting the first stage and the second stage It is achieved by a panel manufacturing apparatus comprising a transfer unit having a guide.

여기서, 상기 이송유닛은, 상기 스테이지가이드의 일측에 마련되어 상기 제1스테이지에 패널을 안착하는 제1핸들러와, 상기 스테이지가이드의 타측에 마련되어 상기 제2스테이지에 안착된 패널을 배출하는 제2핸들러를 더 포함할 수 있다.The transfer unit may include a first handler provided at one side of the stage guide and seating the panel on the first stage, and a second handler provided at the other side of the stage guide and discharging the panel seated on the second stage. It may further include.

상기 이송유닛은 상기 제1핸들러 및 상기 제2핸들러를 이동가능하게 지지하는 핸들러가이드를 더 포함할 수 있다.The transfer unit may further include a handler guide for movably supporting the first handler and the second handler.

상기 제1스테이지는 안착된 패널을 다축방향으로 이동가능하게 마련되며,The first stage is provided to move the seated panel in a multi-axial direction,

상기 이송유닛은 상기 제1스테이지에 안착된 패널의 위치정보를 검출하는 검출부와, 상기 검출부로부터 검출된 위치정보를 이용하여 상기 제1스테이지에 안착된 패널을 정렬하도록 상기 제1스테이지를 제어하는 제어부를 갖는 위치제어유닛을 더 포함할 수 있다.The transfer unit is a control unit for detecting the position information of the panel seated on the first stage and the control unit for controlling the first stage to align the panel seated on the first stage by using the position information detected from the detection unit It may further include a position control unit having a.

상기 검출부는 상기 제1스테이지에 안착된 패널을 촬영하도록 적어도 하나의 카메라를 포함할 수 있다.The detection unit may include at least one camera to photograph the panel seated on the first stage.

상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지 사이에 마련되어 상기 제1스테이지에 의해 이송된 패널을 전달받아 상기 공정유닛에 대해 승강가능하게 지지하며 상기 공정유닛에 의해 공정이 완료된 패널을 상기 제2스테이지로 전달가능하게 마련된 작업대를 더 포함할 수 있다.A panel provided between the first stage and the second stage receives the panel transferred by the first stage to support the process unit in a liftable manner, and transfers the panel completed by the process unit to the second stage. The worktable may be further provided.

상기 공정유닛은 복수개로 마련되며, 상기 이송유닛은 상기 각 공정유닛 사이에 마련되어 상기 앞 공정유닛으로부터 패널을 전달받아 상기 후 공정유닛으로 공급하는 제3스테이지를 더 포함할 수 있다.The process unit may be provided in plural, and the transfer unit may further include a third stage provided between the process units to receive a panel from the front process unit and to supply the process unit to the post process unit.

상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지 사이에 마련되어 상기 제1스테이지 및 제3스테이지 중 하나에 의해 이송된 패널을 전달받아 상기 각 공정유닛에 대해 승강가능하게 지지하며 상기 각 공정유닛에 의해 공정이 완료된 패널을 상기 제3스테이지 및 상기 제2스테이지 중 하나로 전달가능하게 마련된 복수의 작업대를 더 포함할 수 있다.The panel is provided between the first stage and the second stage to receive the panel conveyed by one of the first stage and the third stage to support the lifting and lowering for each of the process units, the process is completed by each process unit The apparatus may further include a plurality of worktables provided to be able to transfer the panel to one of the third stage and the second stage.

상기 제1스테이지 및 제3스테이지는 안착된 패널을 다축방향으로 이동가능하게 마련되며, 상기 이송유닛은 상기 제1스테이지 및 상기 제3스테이지에 각각 안착된 패널의 위치정보를 검출하는 검출부와, 상기 검출부로부터 검출된 위치정보를 이용하여 상기 제1스테이지 및 상기 제3스테이지에 각각 안착된 패널을 정렬하도록 상기 제1스테이지 및 제3스테이지를 제어하는 제어부를 갖는 복수의 위치제어유닛을 더 포함할 수 있다.The first stage and the third stage is provided to move the seated panel in the multi-axial direction, the transfer unit is a detection unit for detecting the position information of the panel seated on the first stage and the third stage, respectively, The apparatus may further include a plurality of position control units having a control unit for controlling the first stage and the third stage to align the panels seated on the first stage and the third stage by using the position information detected by the detector. have.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 하다.Prior to the description, in various embodiments, components having the same configuration will be representatively described in the first embodiment using the same reference numerals, and in other embodiments, only the configuration different from the first embodiment will be described. Do.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제1실시예First embodiment

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 패널제조장치(1)는 패널(5)을 제조하도록 마련된 공정유닛(10)과, 공정유닛(10)으로 패널(5)을 공급 및 배출하기 위한 이송유닛을 포함한다. 본 발명의 제1실시예에 따른 패널제조장치(1)는 공정유닛(10) 및 이송유닛을 지지하는 베이스(70)를 더 포함한다.As shown in FIGS. 1 to 6, the panel manufacturing apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention includes a process unit 10 provided to manufacture the panel 5, and a panel (with a process unit 10). And 5) a transfer unit for supplying and discharging. The panel manufacturing apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention further includes a process unit 10 and a base 70 supporting the transfer unit.

베이스(70)는 공정유닛(10) 및 이송유닛을 지지하도록 하부영역에 마련되며, 그 양측에는 패널(5)을 외부에서 공급 및 외부로 배출하도록 카세트(7)가 마련된다.The base 70 is provided in the lower region to support the process unit 10 and the transfer unit, and cassettes 7 are provided at both sides thereof to supply and discharge the panel 5 from the outside.

패널(5)은 PDP(PLASMA DISPLAY PANEL), TFT-LCD(THIN FILM TRANSISTOR - LIQUID CRYSTAL DISPLAY) 및 유기ELD(ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY)와 같은 평면디스플레이에 장착되어 화상을 형성하는 디스플레이패널을 총칭하며, 판 형상의 유리기판에 IC 및 인쇄회로기판과 같은 전자부품들이 부착되어 형성된다.The panel 5 collectively refers to a display panel that is mounted on a flat panel display such as a plasma display panel (PDP), thin film transformer (liquid crystal display), and an organic ELD (ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY) to form an image. Electronic components such as ICs and printed circuit boards are attached to a glass substrate having a shape.

공정유닛(10)은 패널(5)을 제조하기 위해 마련된 장치로써, 패널(5)상에 IC 및 인쇄회로기판과 같은 전자부품들을 부착하기 위한 장치이다. 공정유닛(10)은 제작되는 패널(5)의 종류 등에 따라 하나 혹은 복수개로 마련될 수 있다. 공정유닛(10)에는 후술할 작업대(15)에 의해 승강하는 패널(5)에 전자부품을 접합하기 위한 공정플레이트(11)와, 공정플레이트(11)를 지지하는 유닛지지대(13)가 마련된다. 공정유닛(10)의 하측에는 패널(5)을 지지하여 승강시키는 작업대(15)가 마련된다.The process unit 10 is a device provided for manufacturing the panel 5, and is a device for attaching electronic components such as an IC and a printed circuit board on the panel 5. The process unit 10 may be provided in one or a plurality according to the type of the panel 5 to be manufactured. The process unit 10 is provided with a process plate 11 for joining electronic components to the panel 5 which is lifted and lowered by the work table 15 to be described later, and a unit support 13 for supporting the process plate 11. . On the lower side of the process unit 10 is provided a work table 15 for supporting and lifting the panel 5.

유닛지지대(13)는 공정플레이트(11)를 지지하도록 베이스(70)에 대해 기립 설치된다.The unit support 13 is erected with respect to the base 70 so as to support the process plate 11.

작업대(15)는 후술할 제1스테이지(21)와 제2스테이지(31) 사이에 마련되어 제1스테이지(21)에 의해 이송된 패널(5)을 전달받아 공정유닛(10)에 대해 승강가능하게 지지하며 공정유닛(10)에 의해 공정이 완료된 패널(5)을 제2스테이지(31)로 전달가능하게 마련된다. 작업대(15)는 제1스테이지(21)에 의해 이송된 패널(5)을 지지하도록 패널지지대(16)가 마련된다. 작업대(15)에는 작업대(15)를 상하로 승강가능하게 지지하는 작업대승강부(18)가 마련된다.The work table 15 is provided between the first stage 21 and the second stage 31 to be described later to receive the panel 5 transferred by the first stage 21 to be able to lift and lower the process unit 10. It is provided to support the panel 5, the process is completed by the process unit 10 to the second stage (31). The work table 15 is provided with a panel support 16 to support the panel 5 conveyed by the first stage 21. The work platform 15 is provided with a work platform lifting unit 18 for supporting the work platform 15 to be able to lift up and down.

패널지지대(16)는 패널(5)의 하부면과 접촉하여 지지한다. 패널지지대(16)는 패널(5)의 전후방향 하부면 가장자리를 지지하도록 작업대(15)의 전후방향에 한 쌍으로 마련된다. 패널지지대(16)에는 패널(5)의 하부면을 진공으로 흡착하도록 다수의 흡착홀(17)이 마련될 수 있다.The panel support 16 contacts and supports the lower surface of the panel 5. The panel support 16 is provided in pairs in the front and rear directions of the work table 15 to support the front and rear lower edges of the panel 5. The panel support 16 may be provided with a plurality of adsorption holes 17 to adsorb the lower surface of the panel 5 by vacuum.

작업대승강부(18)는 작업대(15)의 하부영역에 마련되어 작업대(15)를 승강시킨다. 작업대승강부(18)는 실린더형상으로 마련되나, 실린더형상에 한정되지 않고 작업대(15)를 승강시키도록 다양한 형상으로 마련될 수 있다. 작업대승강부(18)는 베이스(70)에 대해 결합되어 지지된다.The work platform lifting unit 18 is provided in the lower region of the work bench 15 to elevate the work bench 15. The work table lifting unit 18 may be provided in a cylindrical shape, but may be provided in various shapes to elevate the work table 15 without being limited to the cylinder shape. The platform lifting unit 18 is coupled to and supported by the base 70.

이송유닛은 공정유닛(10)으로 패널(5)을 공급하도록 패널(5)을 이송하는 제1스테이지(21)와, 공정유닛(10)으로부터 패널(5)을 배출하도록 패널(5)을 이송하는 제2스테이지(31)와, 제1스테이지(21) 및 제2스테이지(31)를 이동가능하게 지지하는 스테이지가이드(23)를 포함한다. 이송유닛은 스테이지가이드(23)의 일측에 마련되어 제1스테이지(21)에 패널을 안착하는 제1핸들러(51)와, 스테이지가이드(23)의 타 측에 마련되어 제2스테이지(31)에 안착된 패널을 배출하는 제2핸들러(61)를 더 포함한다. 이송유닛은 제1핸들러(51) 및 제2핸들러(61)를 이동가능하게 지지하는 핸들러가이드(53)를 더 포함한다. 이송유닛은 제1스테이지(21)에 안착된 패널(5)의 위치정보를 검출하여 패널(5)을 정렬하는 위치제어유닛(41)을 더 포함한다.The transfer unit transfers the first stage 21 for transferring the panel 5 to supply the panel 5 to the process unit 10, and the panel 5 for discharging the panel 5 from the process unit 10. And a second stage 31, and a stage guide 23 for movably supporting the first stage 21 and the second stage 31. The transfer unit is provided on one side of the stage guide 23 to seat the panel on the first stage 21 and the second stage 31 provided on the other side of the stage guide 23. It further comprises a second handler 61 for discharging the panel. The transfer unit further includes a handler guide 53 for movably supporting the first handler 51 and the second handler 61. The transfer unit further includes a position control unit 41 for detecting position information of the panel 5 seated on the first stage 21 and aligning the panel 5.

제1스테이지(21)의 상부는 패널(5)을 안착가능하게 판 형상으로 마련되며, 그 하부는 스테이지가이드(23)를 따라 슬라이딩 가능하게 마련된다. 제1스테이지(21)는 스테이지가이드(23)의 일측에서 공정유닛(10)이 마련된 작업대(15)까지 왕복 슬라이딩가능하게 마련된다. 제1스테이지(21)의 상부는 패널(5)의 크기보다 다소 작게 마련된다. 제1스테이지(21)는 안착된 패널(5)을 다축방향으로 이동가능하게 마련된다. 즉, 제1스테이지(21)는 스테이지가이드(23)의 길이방향인 좌우방향과(X), 좌우방향의 수직방향인 전후방향(Y)과, 제1스테이지(21)의 판면에 대해 상하방향(Z) 및 상하방향을 중심으로 회전하는 방향(θ)으로 이동가능하게 마련된다(도 1 및 도 2참조). 그러나, 제1스테이지(21)는 이에 한정되지 않고 다른 방향으로 패널(5)을 정렬가능하게 이동시킬 수 있다. 이에, 제1스테이지(21)는 제1핸들러(51)에 의해 카세트(7)로부터 패널(5)을 전달받아 위치제어유닛(41)의 제어부에 의해 패널(5)을 이동시켜 패널(5)을 기준위치로 정렬시킬 수 있다. 그리고, 제1스테이지(21)는 스테이지가이드(23)를 따라 작업대(15)의 상측으로 이동하여 하강하며 패널(5)을 작업대(15)의 패널지지대(16)에 안착시킬 수 있다.An upper part of the first stage 21 is provided in a plate shape to seat the panel 5, and a lower part thereof is provided to be slidable along the stage guide 23. The first stage 21 is slidably reciprocated from one side of the stage guide 23 to the work table 15 provided with the process unit 10. The upper part of the first stage 21 is provided somewhat smaller than the size of the panel 5. The first stage 21 is provided to move the seated panel 5 in the multi-axial direction. That is, the first stage 21 has a horizontal direction (X) in the longitudinal direction of the stage guide 23, a front-rear direction Y in the vertical direction in the left-right direction, and an up-down direction with respect to the plate surface of the first stage 21. (Z) and the direction (θ) which rotates about a vertical direction are provided so that a movement is possible (refer FIG. 1 and FIG. 2). However, the first stage 21 is not limited thereto and may move the panel 5 in a different direction so as to be aligned. Accordingly, the first stage 21 receives the panel 5 from the cassette 7 by the first handler 51 and moves the panel 5 by the control unit of the position control unit 41 to move the panel 5. Can be aligned to the reference position. In addition, the first stage 21 moves downward along the stage guide 23 and moves downwards, and the panel 5 may be seated on the panel support 16 of the work bench 15.

제2스테이지(31)는 상부는 패널(5)을 안착가능하게 판 형상으로 마련되며, 그 하부는 스테이지가이드(23)를 따라 슬라이딩 가능하게 마련된다. 제1스테이지 (21)의 상부는 패널(5)의 크기보다 다소 작게 마련된다. 제2스테이지(31)는 공정유닛(10)이 마련된 작업대(15)에서 스테이지가이드(23)의 타측에서 왕복 슬라이딩가능하게 마련된다. 제2스테이지(31)는 제2스테이지(31)의 판면에 대해 상하방향(Z) 승강가능하게 마련된다. 이에, 제2스테이지(31)는 작업대(15)에 지지된 패널(5)의 하측으로 이동하여 상승하며 패널(5)을 안착시켜 스테이지가이드(23)의 타측으로 이송할 수 있다.The upper stage of the second stage 31 is provided in a plate shape to seat the panel 5, and the lower stage of the second stage 31 is slidable along the stage guide 23. The upper part of the first stage 21 is provided somewhat smaller than the size of the panel 5. The second stage 31 is provided to reciprocally slide on the other side of the stage guide 23 on the work table 15 provided with the process unit 10. The second stage 31 is provided to be capable of lifting up and down in a direction Z with respect to the plate surface of the second stage 31. Accordingly, the second stage 31 may move to the lower side of the panel 5 supported by the work table 15 and ascend to the other side of the stage guide 23 by seating the panel 5.

스테이지가이드(23)는 제1 및 제2스테이지(21,31)를 안내하도록 좌우방향으로 길게 형성된다. 스테이지가이드(23)는 제1 및 제2스테이지(21,31)를 동시에 안내하도록 하나로 마련되나, 제1 및 제2스테이지(21,31)를 각각 안내하도록 한 쌍으로 마련되어 길이방향으로 배치될 수도 있다.The stage guide 23 is elongated in the left and right directions to guide the first and second stages 21 and 31. The stage guide 23 is provided as one to guide the first and second stages 21 and 31 at the same time, but may be provided in pairs to guide the first and second stages 21 and 31, respectively, and arranged in the longitudinal direction. have.

제1핸들러(51)는 스테이지가이드(23)의 일측에 근접하여 마련된 카세트(7)로부터 스테이지가이드(23)의 일측에 위치한 제1스테이지(21)에 패널(5)을 안착시킬 수 있도록 마련된다. 제1핸들러(51)는 패널(5)의 상부면에 접촉하여 진공으로 흡착하여 패널(5)을 이동시키게 된다.The first handler 51 is provided to seat the panel 5 on the first stage 21 located on one side of the stage guide 23 from the cassette 7 provided near one side of the stage guide 23. . The first handler 51 is in contact with the upper surface of the panel 5 to be adsorbed in a vacuum to move the panel (5).

제2핸들러(61)는 스테이지가이드(23)의 타측에 위치한 제2스테이지(31)에 안착된 패널(5)을 스테이지가이드(23)의 타측에 근접하여 마련된 카세트(7)로부터 이동시킬 수 있도록 마련된다. 제2핸들러(61)는 패널(5)의 상부면에 접촉하여 진공으로 흡착하여 패널(5)을 이동시키게 된다.The second handler 61 moves the panel 5 seated on the second stage 31 positioned on the other side of the stage guide 23 from the cassette 7 provided near the other side of the stage guide 23. Prepared. The second handler 61 is in contact with the upper surface of the panel 5 to be sucked in a vacuum to move the panel (5).

핸들러가이드(53)는 제1 및 제2핸들러(51,61)가 이동가능하게 스테이지가이드(23)의 길이방향으로 길게 형성된다. 핸들러가이드(53)와 제1 및 제2핸들러 (51,61)사이에는 제1 및 제2핸들러(51,61)를 핸들러가이드(53)에 대해 슬라이딩 가능하게 연결하는 핸들러슬라이더(55)가 마련된다.The handler guide 53 is formed long in the longitudinal direction of the stage guide 23 so that the first and second handlers 51 and 61 are movable. A handler slider 55 is provided between the handler guide 53 and the first and second handlers 51 and 61 to slidably connect the first and second handlers 51 and 61 with respect to the handler guide 53. do.

위치제어유닛(41)은 제1스테이지(21)에 안착된 패널(5)의 위치정보를 검출하는 검출부(43)와, 검출부(43)로부터 검출된 위치정보를 이용하여 제1스테이지(21)에 안착된 패널을 정렬하도록 제1스테이지(21)를 제어하는 제어부를 포함한다. 위치제어유닛(41)은 스테이지가이드(23)의 일측에 마련되어 검출부(43)를 지지하는 검출부지지대(45)를 더 포함한다.The position control unit 41 detects the position information of the panel 5 seated on the first stage 21, and the first stage 21 using the position information detected by the detection unit 43. It includes a control unit for controlling the first stage 21 to align the panel seated on the. The position control unit 41 further includes a detection unit support 45 provided at one side of the stage guide 23 to support the detection unit 43.

검출부(43)는 제1스테이지(21)에 안착된 패널(5)을 촬영하도록 적어도 하나의 카메라로 마련된다. 검출부(43)는 본 발명의 일예로 스테이지가이드(23)의 일측에 마련되어 제1스테이지(21)에 안착된 패널(5)의 얼라인마크(미도시)를 촬영할 수 있도록 마련된다. 검출부(43)는 제1스테이지(21)에 안착된 패널(5)의 얼라인마크(미도시)를 하측에서 상측으로 촬영할 수 있도록 패널(5)의 하측에 위치하도록 마련된다. 검출부(43)는 상호 이격되어 한 쌍으로 마련되나, 패널(5)의 적어도 두지점을 촬영할 수 있도록 하나로 이동가능하게 마련될 수도 있다.The detector 43 is provided with at least one camera to photograph the panel 5 seated on the first stage 21. The detector 43 is provided on one side of the stage guide 23 as an example of the present invention so as to photograph an alignment mark (not shown) of the panel 5 seated on the first stage 21. The detector 43 is provided to be positioned below the panel 5 so that the alignment mark (not shown) of the panel 5 mounted on the first stage 21 can be photographed from the lower side to the upper side. The detectors 43 are provided in pairs spaced apart from each other, but may be provided to be movable as one so that at least two points of the panel 5 can be photographed.

이러한 구성에 의해, 본 발명의 제1실시예에 따른 패널제조장치(1)의 제조과정을 살펴보면 다음과 같다.With this configuration, the manufacturing process of the panel manufacturing apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention is as follows.

우선, 스테이지가이드(23)의 일측에 근접한 카세트(7)에 패널(5)을 위치시키다. 그리고, 제1스테이지(21)는 스테이지가이드(23)의 일측에 위치한 상태에서 제1핸들러(51)에 의해 카세트(7)로부터 패널(5)을 전달받는다(도 3참조). 그리고, 제1스테이지(21)는 위치제어유닛(41)의 제어부에 의해 패널(5)을 이동시켜 패널(5) 을 기준위치로 정렬시키게 된다. 그런 후 제1스테이지(21)는 스테이지가이드(23)를 따라 작업대(15)의 상측으로 이동한다(도 4참조). 그리고, 제1스테이지(21)는 하강하여 패널(5)을 작업대(15)의 패널지지대(16)에 안착시킨 후 다시 스테이지가이드(23)의 일측으로 이동하여 초기 상태로 상승하게 된다(도 5참조). 그리고, 작업대(15)는 공정유닛(10)에 의해 공정작업이 수행되도록 지지된 패널(5)을 승강시키며, 공정작업이 완료된 패널(5)을 하강시킨다. 그러면, 제2스테이지(31)는 작업대(15)로 이동하여 공정유닛(10)에 의해 공정작업이 완료되어 작업대(15)에 지지된 패널(5)을 안착시키게 된다(도 5참조). 이때, 제2스테이지(31)는 작업대(15)의 패널(5) 하측으로 이동한 후, 상승하여 패널(5)을 안착시키게 된다. 그리고, 제2스테이지(31)는 스테이지지지대()의 타측으로 이송하게 되며, 제2핸들러(61)에 의해 제2스테이지(31)에 안착된 패널(5)을 카세트(7)로 배출하게 된다(도 6참조). 그리고, 제2스테이지(31)가 패널(5)을 스테이지지지대()의 타측으로 이송하여 배출할 때, 제1핸들러(51) 및 제1스테이지(21)에 의해 다른 패널(5)이 공정유닛(10)을 공급될 수 있다.First, the panel 5 is placed in a cassette 7 proximate to one side of the stage guide 23. The first stage 21 receives the panel 5 from the cassette 7 by the first handler 51 in a state located at one side of the stage guide 23 (see FIG. 3). Then, the first stage 21 moves the panel 5 by the control unit of the position control unit 41 to align the panel 5 to the reference position. Thereafter, the first stage 21 moves upwardly along the stage guide 23 along the stage guide 23 (see FIG. 4). Then, the first stage 21 is lowered to seat the panel 5 on the panel support 16 of the work table 15, and then moves to one side of the stage guide 23 again to rise to an initial state (FIG. 5). Reference). Then, the work bench 15 lifts and lowers the panel 5 supported by the process unit 10 to perform the process work, and lowers the panel 5 on which the process work is completed. Then, the second stage 31 moves to the work bench 15 to complete the process work by the process unit 10 to seat the panel 5 supported on the work bench 15 (see FIG. 5). At this time, the second stage 31 moves to the lower side of the panel 5 of the work table 15, and ascends to seat the panel 5. Then, the second stage 31 is transferred to the other side of the stage support (), and the panel 5 seated on the second stage 31 by the second handler 61 is discharged to the cassette 7. (See Figure 6). Then, when the second stage 31 transfers the panel 5 to the other side of the stage supporter and discharges, the other panel 5 is processed by the first handler 51 and the first stage 21. 10 can be supplied.

이와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 패널제조장치는 패널을 제조하기 위한 공정유닛과; 공정유닛으로 패널을 공급하도록 패널을 이송하는 제1스테이지와, 공정유닛으로부터 패널을 배출하도록 패널을 이송하는 제2스테이지와, 제1스테이지 및 제2스테이지를 이동가능하게 지지하는 스테이지가이드를 갖는 이송유닛을 마련하여 패널의 공급과 배출을 동시에 진행할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.As such, the panel manufacturing apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a process unit for manufacturing a panel; A transport having a first stage for transporting the panel to supply the panel to the processing unit, a second stage for transporting the panel to eject the panel from the processing unit, and a stage guide for movably supporting the first stage and the second stage The unit can be provided to simultaneously supply and discharge the panel, improving productivity.

제2실시예Second embodiment

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 패널제조장치(100)는 제1실시예와 달리 공정유닛(10,110)이 복수개로 마련되며, 이송유닛은 각 공정유닛(10,110) 사이에 마련되어 앞 공정유닛(10)으로부터 패널(5)을 전달받아 후 공정유닛(110)으로 공급하는 제3스테이지(131)를 더 포함한다. 그리고, 제2실시예에 따른 패널제조장치(100)는 복수의 공정유닛(10,110)에 대응하여 복수의 작업대(15,115)를 더 포함한다. 또한, 제2실시예에 따른 패널제조장치(1)는 제1스테이지(21)뿐만 아니라 제3스테이지(131)에 안착된 패널(5)을 각각 정렬하도록 복수의 위치제어유닛(41,141)을 포함한다.As shown in FIG. 7, unlike the first embodiment, the panel manufacturing apparatus 100 according to the second embodiment of the present invention is provided with a plurality of process units 10 and 110, and the transfer units are each process unit 10 and 110. It is further provided between the third stage 131 to receive the panel 5 from the front process unit 10 is supplied to the process unit 110. The panel manufacturing apparatus 100 according to the second embodiment further includes a plurality of work benches 15 and 115 corresponding to the plurality of process units 10 and 110. In addition, the panel manufacturing apparatus 1 according to the second embodiment includes a plurality of position control units 41 and 141 to align not only the first stage 21 but also the panel 5 seated on the third stage 131. do.

공정유닛(10,110)은 본 발명의 제2실시예로 한 쌍으로 마련되며, 제3스테이지(131)는 한 쌍의 공정유닛(10,110) 사이에 배치되도록 하나로 마련된다. 그러나, 이러한 공정유닛은 3개 이상으로 마련될 수 있으며, 이러한 제3스테이지도 각 공정유닛 사이에 배치되어 2개 이상으로 마련될 수 있다. 제3스테이지(131)는 전술한 제1스테이지(21)와 같이 안착된 패널(5)을 다축방향으로 이동가능하게 마련된다.The process units 10 and 110 are provided in pairs according to the second embodiment of the present invention, and the third stage 131 is provided as one to be disposed between the pair of process units 10 and 110. However, three or more such processing units may be provided, and the third stage may be provided between two or more processing units. The third stage 131 is provided to move the panel 5 mounted like the first stage 21 described above in a multi-axial direction.

작업대(15,115)는 제1스테이지(21)와 제2스테이지(31) 사이에 마련되어 제1스테이지(21) 및 제3스테이지(131) 중 하나에 의해 이송된 패널(5)을 전달받아 각 공정유닛(10,110)에 대해 승강가능하게 지지하며 각 공정유닛(10,110)에 의해 공정작업이 완료된 패널(5)을 제3스테이지(131) 및 제2스테이지(31) 중 하나로 전달가능하게 한 쌍으로 마련된다.The work benches 15 and 115 are provided between the first stage 21 and the second stage 31 to receive the panel 5 transferred by one of the first stage 21 and the third stage 131 to each process unit. It is provided in a pair so as to be able to lift and lower the (10,110) and to transfer the panel 5, which has been completed by the process units 10 and 110, to one of the third stage 131 and the second stage 31. .

위치제어유닛(41,141)은 제1스테이지(21) 및 제3스테이지(131)에 각각 안착 된 패널(5)의 위치정보를 검출하는 검출부(43)와, 검출부(43)로부터 검출된 위치정보를 이용하여 제1스테이지(21) 및 제3스테이지(131)에 각각 안착된 패널(5)을 정렬하도록 제1스테이지(21) 및 제3스테이지(131)를 제어하는 제어부를 갖도록 한 쌍으로 마련된다.The position control units 41 and 141 detect the position information of the panel 5 mounted on the first stage 21 and the third stage 131, and the position information detected by the detection unit 43. It is provided in pairs to have a control unit for controlling the first stage 21 and the third stage 131 to align the panel 5 mounted on the first stage 21 and the third stage 131, respectively. .

이러한 구성에 의한 본 발명의 제2실시예에 따른 패널제조장치(1)의 제조과정은 전술한 제1실시예와 유사하므로 자세한 설명은 생략한다. 다만, 본 발명의 제2실시예에 따른 패널제조장치(1)는 동시에 제1핸들러(51) 및 제1스테이지(21)에 의해 공정유닛(10,110)으로 패널(5)을 공급하며, 제3스테이지(131)에 의해 공정유닛(10,110)에 패널(5)을 공급하고, 제2핸들러(61) 및 제2스테이지(31)에 의해 패널(5)을 카세트(7)로 배출할 수 있다.The manufacturing process of the panel manufacturing apparatus 1 according to the second embodiment of the present invention having such a configuration is similar to that of the first embodiment described above, and thus a detailed description thereof will be omitted. However, the panel manufacturing apparatus 1 according to the second embodiment of the present invention supplies the panel 5 to the processing units 10 and 110 by the first handler 51 and the first stage 21 at the same time. The panel 5 may be supplied to the process units 10 and 110 by the stage 131, and the panel 5 may be discharged to the cassette 7 by the second handler 61 and the second stage 31.

이에, 본 발명의 제2실시예에 따른 패널제조장치는 패널의 공급과 배출을 동시에 진행할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.Thus, the panel manufacturing apparatus according to the second embodiment of the present invention can proceed with the supply and discharge of the panel at the same time can improve the productivity.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 패널의 공급과 배출을 동시에 진행할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 패널제조장치를 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a panel manufacturing apparatus capable of simultaneously supplying and discharging panels and improving productivity.

Claims (9)

패널제조장치에 있어서,In the panel manufacturing apparatus, 패널을 제조하기 위한 공정유닛과;A processing unit for manufacturing the panel; 상기 공정유닛으로 패널을 공급하도록 패널을 이송하는 제1스테이지와, 상기 공정유닛으로부터 패널을 배출하도록 패널을 이송하는 제2스테이지와, 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 이동가능하게 지지하는 스테이지가이드를 갖는 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널제조장치.A first stage for transferring the panel to supply the panel to the processing unit, a second stage for transferring the panel to discharge the panel from the processing unit, and a stage for movably supporting the first stage and the second stage Panel manufacturing apparatus comprising a transfer unit having a guide. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이송유닛은,The transfer unit, 상기 스테이지가이드의 일측에 마련되어 상기 제1스테이지에 패널을 안착하는 제1핸들러와, 상기 스테이지가이드의 타측에 마련되어 상기 제2스테이지에 안착된 패널을 배출하는 제2핸들러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널제조장치.A first handler provided on one side of the stage guide to seat the panel on the first stage, and a second handler provided on the other side of the stage guide to discharge the panel seated on the second stage; Panel manufacturing device. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 이송유닛은 상기 제1핸들러 및 상기 제2핸들러를 이동가능하게 지지하는 핸들러가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널제조장치.The transfer unit further comprises a handler guide for movably supporting the first handler and the second handler. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1스테이지는 안착된 패널을 다축방향으로 이동가능하게 마련되며,The first stage is provided to move the seated panel in a multi-axial direction, 상기 이송유닛은 상기 제1스테이지에 안착된 패널의 위치정보를 검출하는 검출부와, 상기 검출부로부터 검출된 위치정보를 이용하여 상기 제1스테이지에 안착된 패널을 정렬하도록 상기 제1스테이지를 제어하는 제어부를 갖는 위치제어유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널제조장치.The transfer unit is a control unit for detecting the position information of the panel seated on the first stage and the control unit for controlling the first stage to align the panel seated on the first stage by using the position information detected from the detection unit Panel manufacturing apparatus further comprises a position control unit having a. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 검출부는 상기 제1스테이지에 안착된 패널을 촬영하도록 적어도 하나의 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널제조장치.And the detection unit comprises at least one camera to photograph the panel seated on the first stage. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지 사이에 마련되어 상기 제1스테이지에 의해 이송된 패널을 전달받아 상기 공정유닛에 대해 승강가능하게 지지하며 상기 공정유닛에 의해 공정이 완료된 패널을 상기 제2스테이지로 전달가능하게 마련된 작업대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널제조장치.A panel provided between the first stage and the second stage receives the panel transferred by the first stage to support the process unit in a liftable manner, and transfers the panel completed by the process unit to the second stage. Panel manufacturing apparatus characterized in that it further comprises a worktable provided. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공정유닛은 복수개로 마련되며,The process unit is provided in plurality, 상기 이송유닛은 상기 각 공정유닛 사이에 마련되어 상기 앞 공정유닛으로부터 패널을 전달받아 상기 후 공정유닛으로 공급하는 제3스테이지를 더 포함하는 것 을 특징으로 하는 패널제조장치.And the transfer unit further comprises a third stage provided between the respective process units to receive the panel from the front process unit and to supply the panel to the after process unit. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지 사이에 마련되어 상기 제1스테이지 및 제3스테이지 중 하나에 의해 이송된 패널을 전달받아 상기 각 공정유닛에 대해 승강가능하게 지지하며 상기 각 공정유닛에 의해 공정이 완료된 패널을 상기 제3스테이지 및 상기 제2스테이지 중 하나로 전달가능하게 마련된 복수의 작업대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널제조장치.The panel is provided between the first stage and the second stage to receive the panel conveyed by one of the first stage and the third stage to support the lifting and lowering for each of the process units, the process is completed by each process unit And a plurality of worktables provided to be capable of transferring the panel to one of the third stage and the second stage. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제1스테이지 및 제3스테이지는 안착된 패널을 다축방향으로 이동가능하게 마련되며,The first stage and the third stage is provided to move the seated panel in the multi-axial direction, 상기 이송유닛은 상기 제1스테이지 및 상기 제3스테이지에 각각 안착된 패널의 위치정보를 검출하는 검출부와, 상기 검출부로부터 검출된 위치정보를 이용하여 상기 제1스테이지 및 상기 제3스테이지에 각각 안착된 패널을 정렬하도록 상기 제1스테이지 및 제3스테이지를 제어하는 제어부를 갖는 복수의 위치제어유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널제조장치.The transfer unit may be mounted on the first stage and the third stage by using a detector for detecting position information of a panel seated on the first stage and the third stage, and the position information detected by the detector. And a plurality of position control units having a control unit for controlling the first stage and the third stage to align the panels.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100811115B1 (en) * 2006-09-28 2008-03-06 (주)풍산시스템 Exhaust hole processing method for display panel
KR100811111B1 (en) * 2006-09-28 2008-03-07 (주)풍산시스템 Exhaust hole processing apparatus for display panel
KR101482928B1 (en) * 2013-11-29 2015-01-16 주식회사 트레이스 Vaccum bonding device with simultaneous moving

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100307582B1 (en) * 1997-08-28 2001-11-30 윤종용 System for attaching chips of liquid crystal panel
US6176668B1 (en) * 1998-05-20 2001-01-23 Applied Komatsu Technology, Inc. In-situ substrate transfer shuttle

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100811115B1 (en) * 2006-09-28 2008-03-06 (주)풍산시스템 Exhaust hole processing method for display panel
KR100811111B1 (en) * 2006-09-28 2008-03-07 (주)풍산시스템 Exhaust hole processing apparatus for display panel
KR101482928B1 (en) * 2013-11-29 2015-01-16 주식회사 트레이스 Vaccum bonding device with simultaneous moving

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