KR20060054218A - 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기를 개시한다.

본 발명의 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기는 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 반입출 챔버가 구비되고 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착 및해당 공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버가 교차 배치되는 증착장치 및 봉지장치를 구비하고, 증착장치에서 증착이 완료된 증착기판은 로봇에 의해 카세트에 수납적층되고, 이 카세트는 증착장치와 봉지장치를 연결하는 테이블 트랙상에 구비되는 반송기에 의해 이동되는 구성을 포함하는 유기전계 발광소자 제조장치에 있어서, 상기 반송기는 증착장치 또는 봉지장치의 각 로봇중 어느 일측에 근접하게 배치되어 선택적으로 상부에 카세트가 탑재된 상태에서 소정 각도로 회전하여 방향을 절환하는 로테이터와, 상기 증착장치와 봉지장치의 각 로봇의 일측에 양단이 위치되게 일직선상으로 배치되며 이 구간을 왕복 이동하는 이송체를 구비한 액츄에이터와, 상기 이송체의 상측에 일체로 구비되어 일체로 연동되며 선택적으로 상기 로테이터상의 카세트를 들어올리는 리프트 트레이를 더 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기는 직각 로테이터에 의해 카세트의 이송 방향이 전환되므로 협소한 공간에서의 안정되고 신뢰성 높은 운용을 가능하게 하는 효과가 있다. 따라서, 유기전계 발광소자를 생산하기 위한 클린룸 시설의 설계 자유도를 한층 높일 수 있을 뿐만 아니라 카세트의 신속하고 안정된 이송을 보장하며 특히 반송기의 반송경로가 짧으므로 작업자의 모니터링이 용이해지는 이점이 있는 것이다.

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Description

유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기{cassette mover structure of organic electroluminescent devices}

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이 소자 증착장치의 구성을 설명하기 위한 평면도,

도 2는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치의 전체적인 구성을 설명하기 위한 계통 구성도,

도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기의 구성을 설명하기 위한 구성도,

도 4 내지 도 9는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기의 동작과정을 설명하기 위한 평면도,

도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기에서 승강실린더의 동작과정을 설명하기 위한 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 증착장치 2 : 이송 챔버

3 : 장입챔버 4 : 반출챔버

5 : 공정 챔버

본 발명은 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치에서 글라스 기판을 적층하여 봉지장치로 이송하는 카세트 반송기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공간활용성을 높이면서 신속하고 안정되게 카세트를 이송할 수 있도록 한 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 디스플레이 장치들이 개발되고 있으며, 이러한 평판 디스플레이 장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)와, 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 일루미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다.

여기서, 상기 PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있으며, 상기 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화가 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점과 더불어 LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 문제점이 있었다. 이에 비하여, EL 표시소자는 유기 EL과 무기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이때, 유기 EL인 유기전계 발광 디스플레이 소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.

일반적으로 유기전계 발광 디스플레이 소자는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 또한 전력이 소모가 비교적 적은 것을 특징으로 하는 소자이다.

즉, 유기전계 발광 디스플레이 소자는 유기재료의 적층 박막에 직류전압을 인가하면, 전기에너지가 빛에너지로 변화하여 발광하는 현상을 이용한 평판디스플레이이다.

최근까지 제품화되어 있는 유기EL디스플레이는 저 분자계의 분체 유기발광 재료가 사용되고 있고, 이 저분자 유기발광재료는 수분이나 고에너지 입자에 약하기 때문에 유기발광층이나 음극 금속전극의 박막형성은 섀도우 마스크(Shadow Mask)를 사용한 진공 증착에 의하여 패턴을 형성하고 있다.

이러한 유기 EL(electroluminesecence)디스플레이 소자의 제작 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 절연성 및 투명성을 갖는 글라스 기판 상부면에 ITO(indium Tin Oxide)로 이루어진 투명도전막이 형성되는 양극을 형성한다. 그리고, 상기 양극 상부면에 정공 주입층을 형성하고, 상기 정공 주입층 상부면에 정공수송층을 증착한다. 그리고 정공 수송층 상부면에 윳기 발광층을 형성한다. 이때 필요에 따라 상기 유기 발광층에 일종의 불순물인 도펀트(dopant)를 첨가한다. 이어 전자 주입층 상부면에 금속 화합물층 알칼리 금속 또는 알카리토 금속을 얇게 증착하여 전자의 주 입을 좋게 한다. 그리고 마지막으로 상기금속층 위에 금속을 이용하여 음극을 형성한다.

이때, 유기 발광층은 일반적으로 파이 전자를 갖고 있기 때문에 물분자와 상호작용을 하게 된다. 따라서 공기중의 수분, 또는 이미 기판 등에 부착된 수분은 소자를 구동하지 않고 단순히 보관만 할 경우에도 서서히 전극 및 유기박막을 공격하여 흑점을 만들게 된다.

이와 같이 유기전계 발광 디스플레이 소자의 최대 과제는 내구성의 개선에 있으며, 그 중 상기 흑점이라 불리는 비 발광부의 발생과 그 성장의 방지가 가장 큰 과제로 되어 있다.

따라서, 유기전계 발광 디스플레이 소자를 양산하기 위해서는 재료에 어떠한 영향이 없도록 정제 처리하는 것이 매우 중요하며, 이를 위하여 유기전계 발광 디스플레이 소자는 챔버내에 밀봉한 후 진공 상태에서 각 물질을 성막함으로써 공기와 최대한 차단하도록 하고 있다.

이러한 이유로 한번 로딩된 ITO기판은 증착공정은 모두 진공에서 진행되어지고 봉지공정을 진행하는 동안에도 수분, 산소가 배제된 불활성 가스 분위기내에서 가공되어 진다. 이를 위해 현재는 하나의 이송 챔버를 중심으로 프로세서 챔버가 부착되어 있는 인공위성형의 장비가 주를 이루고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치의 일례를 보여주는 평면 계통도이다.

이에 나타내 보인 바와 같이 기판 보관실(100)에 보관되어 있던 유리기판을 중앙에 위치한 반송실(200)로부터 진공 반송로봇(300)에 의하여 인출하여 전처리실(400)로 급송하고, 전처리실(400)에서는 진공 증착을 수행하기전에 전처리를 수행한 다음, 다시 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 이를 인출하여 여러 증착실(500,600,700,800)로 분배 급송하고, 이들 각각의 증착실(500,600,700,800)에서는 유리기판상에 여러 적층박막을 성형하고자 진공 증착 과정을 수행하고 진공 증착 과정이 완료되면 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 다음공정을 수행하기 위하여 급송실(900)로 공급하게 된다.

또한, 이러한 종래의 증착방식은 여러 증착실(500,600,700,800)내부에서 유리기판상에 진공 증착하는 경우, 이들 증착실(500,600,700,800)은 섀도우 마스크를 장착한 유리기판을 단일의 스테이지에 투입 고정하고 여러 단계에 걸쳐 순차적으로 진공 증착 과정을 거치게 되는데, 이와 같이 진공 증착이 이루어지는 과정은 독립적이면서 단일 스테이지 형태인 증착실(5,6,7,8) 각각의 내부에서 진공 증착이 이루어지고 있다.

그러나, 상술한 바와같은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 이송 챔버간의 연결시 불필요한 부가 챔버를 설치하거나 이송 챔버에 공정 챔버를 부착하는 것이 불가능한 면이 발생하며, 이로 인하여 설비 비용의 상승과 생산 속도가 저하되는 문제점이 있었다.

둘째 공정의 변화 및 생산량 증대를 위한 챔버의 추가가 사실상 불가능한 단점이 있으며, 이는 하나의 이송 챔버에 여러 공정 챔버를 부착할 경우 이송 챔버가 과도하게 커지고, 이송 로봇의 아암이 길어져야 하는 문제가 있으며, 이송 챔버를 추가할 경우 각각의 이송 챔버에 이송 로봇이 소요되어 비용이 상승되는 폐단이 있었다.

셋째 각 공정 챔버가 이송 챔버와 가까이 붙어 있으므로 생산시 공정의 모니터링이 용이치 못하며, 유지 보수시 많은 시간이 소용되고 이송 챔버에 이상 발생시 작업이 용이치 않은 문제점이 있었다.

상기의 문제점을 개선하기 위하여 인라인 크로스 타입이 제안된 바 있으며, 이러한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치는 일직선상으로 배치되는 길이재의 이송 챔버를 사이에 두고 양측으로 증착 및 봉지 공정을 수행하는 공정 챔버와, 이들 공정 챔버의 대향하는 위치에 구비되어 이송 챔버상의 소자를 해당 챔버로 장입 또는 반입시키는 트랜스퍼 챔버가 배치되는 구조이다.

상기와 같이 구성되는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치에서 증착공정이 완료된 증착기판은 카세트에 다수개가 순차적으로 적층되어 봉지장치측으로 이동된다.

여기서, 상기 카세트는 반송기에 의해 이송되는데, 이때의 반송기는 탑재된 글라스 기판을 안전하고 신속하게 이동시키는 신뢰성이 요구될 뿐만 아니라 공간 활용도를 높일 수 있는 구조로 제공되어야 한다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 협소한 공간에서의 안정된 동작을 가능하게 하여 공간활용에 대한 설계상의 자유도를 높임과 동시에 카세트의 신속한 이송을 보장할 수 있는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기는, 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 반입출 챔버가 구비되고 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착 및해당 공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버가 교차 배치되는 증착장치 및 봉지장치를 구비하고, 증착장치에서 증착이 완료된 증착기판은 로봇에 의해 카세트에 수납적층되고, 이 카세트는 증착장치와 봉지장치를 연결하는 테이블 트랙상에 구비되는 반송기에 의해 이동되는 구성을 포함하는 유기전계 발광소자 제조장치에 있어서,

상기 반송기는 증착장치 또는 봉지장치의 각 로봇중 어느 일측에 근접하게 배치되어 선택적으로 상부에 카세트가 탑재된 상태에서 소정 각도로 회전하여 방향을 절환하는 로테이터와; 상기 증착장치와 봉지장치의 각 로봇의 일측에 양단이 위치되게 일직선상으로 배치되며 이 구간을 왕복 이동하는 이송체를 구비한 액츄에이터와; 상기 이송체의 상측에 일체로 구비되어 일체로 연동되며 선택적으로 상기 로테이터상의 카세트를 들어올리는 리프트 트레이를 더 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 로테이터는 卍 자형상으로 구비되며 90도 각도로 회전되게 구비되는 것에 있다.

본 발명의 바람직한 다른 특징으로서, 상기 로테이터는 카세트가 안착되는 상부면을 사분할하고, 이 사분할된 상면에는 일정간격을 두고 복수개의 위치결정돌기가 돌출 형성되며, 이 위치결정돌기는 카세트의 저면에 형성된 위치결정홀에 삽입되어 카세트의 위치를 정위치에 위치되게 하는 구성인 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 이송체 상에는 로드를 승강시키는 승강실린더가 배치되고, 이 승강실린더의 로드는 리프트 트레이에 형성된 관통구멍을 통과하여 카세트의 저면에 선택적 으로 접촉되어 지지력을 작용하는 구성인 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 테이블 트랙은 외부로부터 차폐되면서 그 내부를 육안으로 모니터링 할 수 있도록 투명한 플라스틱재로 된 커버에 의해 밀폐되는 구성인 것에 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기의 바람직한 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치의 전체적인 구성을 설명하기 위한 계통 구성도이고, 도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기의 구성을 설명하기 위한 구성도이다.

그리고, 도 4 내지 도 9는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기의 동작과정을 설명하기 위한 평면도이고, 도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기에서 승강실린더의 동작과정을 설명하기 위한 도면이다.

먼저, 도 2에 나타내 보인 바와 같이, 본 발명의 이송 챔버 확장구조는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치(1)에 실시된다.

즉, 도면에서 보는 바와 같이 본 발명이 적용 실시되는 유기전계 발광 디스플레이소자 제조장치는 크게 글라스 기판에 대해 증착을 실시하는 증착파트와 증착기판을 글라스캔에 흡습제와 함께 합착시키는 봉지파트로 대별된다.

증착파트는 글라스 기판에 대한 증착공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 기판을 이송하는 증착 이송 챔버(2)를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 증착 이송 챔버(2)의 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 증착 장입챔버(3)와 증착 반출 챔버(4)를 구비시키고, 상기 증착 이송 챔버(2)의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 증착용 공정 챔버(5)를 교차 배치한 구성이다.

여기서, 상기 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진 공상태가 유지되며, 다만 기판을 장입 및 반출하는 증착 장입챔버(3) 및 증착 반출 챔버(4)는 선택적으로 진공상태가 유지되는 구성이다.

한편, 봉지파트는 상기 증착파트의 반출 챔버(4)와 글로브 박스(6)로 연결되어 로봇(r)에 의해 증착기판을 제공받는다.

이러한 봉지파트는 증착파트와 마찬가지로 증착기판에 대한 봉지공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 캔을 이송하는 봉지 이송 챔버(2')를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 봉지 이송 챔버(2')의 양 끝에 글라스 캔의 장입과 발광기판의 반출을 위한 봉지 장입챔버(3')와 봉지 반출 챔버(4')를 구비시키고, 상기 봉지 이송 챔버(2')의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 봉지 공정 챔버(5')를 교차 배치한 구성이다. 이때, 상기 봉지 공정 챔버(5') 상에는 증착파트로부터 증착기판을 제공받아 봉지 이송 챔버(2')로 제공하기 위한 봉지 기판 장입챔버(7)가 부가 구성된다.

여기서, 상기 증착파트와 봉지파트를 구성하는 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되는 구성이고, 이러한 각각의 챔버들의 진공을 위한 구조는 공지된 기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.

이와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치(1)의 특징은 진공 상태에서 글라스 기판 및 글라스 캔이 이송되는 트레이(2a,2a')를 구비한 일직선상으로 배치되는 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')와, 증착 및 봉지 공정이 진행되는 각각의 챔버들을 상기 일자형의 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')를 중심으로 좌,우측에 교차 배치하고 각각의 챔버(5,5')에 대향하는 위치 즉, 각 이송 챔버(2,2')를 사이에 두고 대향하는 위치에 상기 이송 챔버(2,2')상의 소재(유기전계 디스플레이 소자)를 각 챔버로 진입시키기 위한 실린더를 구비한 트랜스퍼 챔버(t)가 배치되는 것에 의해 이송 및 반송경로를 단순화하고 이송로봇 대신 트레이(2a,2a')와 메인 실린더(2b,2b')를 이용하여 글라스 기판 및 글라스캔, 증착기판의 신속한 이송 및 반송을 구현하는 것에 있다.

도 3은 본 발명에 따른 카세트 반송기가 설치된 증착장치의 일부 구성을 개략적으로 나타낸 구성도로서, 이에 나타내 보인 바와 같이 이송 챔버(2)상의 증착기판은 트랜스퍼 챔버(t)에 의해 반출챔버(4)로 이동되며, 이 반출챔버(4)의 일측으로는 증착된 기판을 카세트(c)에 적층시키는 로봇(r1)이 배치된다.

한편, 본 발명은 상술한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치에 적용 실시되는 것으로서, 도 4 내지 도 10에서와 보는 바와 같이 카세트 반송기는 테이블 트랙(tr) 상에 설치되는 것으로서, 크게 로테이터(10)와 액츄에이터(20) 그리고 리프트 트레이(30)로 구성된다.

상기 로테이터(10)는 증착장치 또는 봉지장치의 각 로봇중 어느 일측에 근접하게 배치되어 90도 각도로 회전되는 평판형의 부재이다.

이러한 로테이터(10)는 도면에서 보는 바와 같이 대략 卍 자형상으로 구비되 며 카세트(c)가 안착되는 상부면을 네 개로 분할하고, 이 사분할된 상면에는 일정 간격을 두고 복수개의 위치결정돌기(11)가 돌출 형성된다. 이때의 상기 위치결정돌기(11)는 카세트의 저면에 형성된 위치결정홀(c')에 삽입되도록 하는 것에 의해 상기 카세트(c)가 정위치에 위치되게 한다.

한편, 상기 로테이터(10)는 상부에 카세트가 탑재된 상태에서 90도 각도로 다단 회전하여 방향을 절환하며, 이때의 상기 로테이터(10)는 공지된 기술인 모터나 기타 구동장치에 의해 회전 가능하게 구성되므로 상세한 설명은 생략한다.

이와 같이 구성되는 로테이터(10)는 로봇으로부터 카세트를 제공받은 상태에서 90도 간격으로 회전하여 방향을 절환하여 액츄에이터(20)상의 리프트 트레이(30)로 전달하게 된다.

상기 액츄에이터(20)는 그 양단이 증착장치와 봉지장치의 각 로봇(r1,r2)의 일측에 양단이 위치되게 일직선상으로 배치되는 구조이며, 이 구간을 왕복 이동하는 이송체(21)를 구비하는 구조이다. 이러한 액츄에이터(20)는 다양한 구조를 통해 실현될 수 있으며 바람직하게는 로드리스(rod less) 실린더가 사용되는 것이 바람직하며, 이와 같은 로드리스 실린더가 사용되는 경우에는 기밀을 위하여 그 양단이 에어캡(ac)에 의해 밀봉되는 구조이다.

이와 같이 구성되는 액츄에이터(20)는 반출챔버(s)측에 위치한 로테이터(10)상에 탑재된 카세트(c)를 전달받아 반입챔버(e)측에 위치한 로봇(r2)측으로 이동시키게 된다.

상기 리프트 트레이(30)는 이송체(21)의 상측에 일체로 구비되어 일체로 연동되는 부재로서, 상기 로테이터(10) 상의 카세트(c)를 받치는 역할을 한다.

즉, 상기 이송체(21) 상에는 로드(31')를 승강시키는 승강실린더(31)가 설치되며, 이때의 상기 승강실린더(31)의 로드(31')는 리프트 트레이(30)에 형성된 관통구멍을 통과하여 카세트(c)의 저면에 선택적으로 접촉되어 상승 지지력을 작용한다.

이와 같이 승강실린더(31)의 로드(31')가 상승하여 카세트(c)를 지지한 상태에서 이송체(21)와 일체로 이동을 이루게 된다.

한편, 테이블 트랙(tr)은 외부로부터 차폐되면서 그 내부를 작업자가 육안으로 용이하게 모니터링 할 수 있도록 투명한 플라스틱재로 된 커버(50)에 의해 밀폐되는 구조가 바람직하다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기의 동작과정을 첨부된 도면을 참조하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 4에서 보는 바와 같이 로테이터(10)의 일측으로 이송체(21)가 위치된 상태에서 로테이터(10)의 일측으로 카세트(c)가 반출챔버(s)측에 구비된 로봇(r1)에 의해 올려지면 상기 로테이터(10)는 도 6과 도 7의 과정을 거쳐 카세트(c)가 액츄에이터(20)와 일직선상으로 배치되게 회전된다.

이와 같은 상태에서 이송체(21)는 로테이터(10)의 회전시 위치간섭을 일으키지 않도록 도 7에서 보는 바와 같이 일정 거리 후퇴한 상태를 유지하며, 상기 로테이터(10)가 동작이 완료되는 시점에서는 도 8에서 보는 바와 같이 로테이터(10)의 저면측으로 이동하며, 이때의 이송체(21) 및 리프트 트레이(30)는 도 10에서와 같은 상태를 유지한다.

이어서, 상기 리프트 트레이(30)는 도 11에서와 같이 상승 이동되어 도 9에서 보는 바와 같이 반입챔버(e)측으로 이동하게 되면, 이 반입챔버(e)측에 위치된 로봇(r2)이 카세트(c)를 들어올려 반출시키는 것에 의해 카세트(c)의 반송작업이 완료된다.

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기는 직각 로테이터에 의해 카세트의 이송 방향이 전환되므로 협소한 공간에서의 안정되고 신뢰성 높은 운용을 가능하게 하는 효과가 있다.

따라서, 유기전계 발광소자를 생산하기 위한 클린룸 시설의 설계 자유도를 한층 높일 수 있을 뿐만 아니라 카세트의 신속하고 안정된 이송을 보장하며 특히 반송기의 반송경로가 짧으므로 작업자의 모니터링이 용이해지는 이점이 있는 것이 다.

Claims (5)

1. 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 반입출 챔버가 구비되고 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착 및해당 공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버가 교차 배치되는 증착장치 및 봉지장치를 구비하고, 증착장치에서 증착이 완료된 증착기판은 로봇에 의해 카세트에 수납적층되고, 이 카세트는 증착장치와 봉지장치를 연결하는 테이블 트랙상에 구비되는 반송기에 의해 이동되는 구성을 포함하는 유기전계 발광소자 제조장치에 있어서,

   상기 반송기는 증착장치 또는 봉지장치의 각 로봇중 어느 일측에 근접하게 배치되어 선택적으로 상부에 카세트가 탑재된 상태에서 소정 각도로 회전하여 방향을 절환하는 로테이터와;

   상기 증착장치와 봉지장치의 각 로봇의 일측에 양단이 위치되게 일직선상으로 배치되며 이 구간을 왕복 이동하는 이송체를 구비한 액츄에이터와;

   상기 이송체의 상측에 일체로 구비되어 일체로 연동되며 선택적으로 상기 로테이터상의 카세트를 들어올리는 리프트 트레이;

   를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기,
2. 제 1항에 있어서, 상기 로테이터는 卍 자형상으로 구비되며 90도 각도로 회 전되게 구비되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기.
3. 제 1항에 있어서, 상기 로테이터는 카세트가 안착되는 상부면을 사분할하고, 이 사분할된 상면에는 일정간격을 두고 복수개의 위치결정돌기가 돌출 형성되며, 이 위치결정돌기는 카세트의 저면에 형성된 위치결정홀에 삽입되어 카세트의 위치를 정위치에 위치되게 하는 구성인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기.
4. 제 1항에 있어서, 상기 이송체 상에는 로드를 승강시키는 승강실린더가 배치되고, 이 승강실린더의 로드는 리프트 트레이에 형성된 관통구멍을 통과하여 카세트의 저면에 선택적 으로 접촉되어 지지력을 작용하는 구성인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기.
5. 제 1항에 있어서, 상기 테이블 트랙은 외부로부터 차폐되면서 그 내부를 육안으로 모니터링 할 수 있도록 투명한 플라스틱재로 된 커버에 의해 밀폐되는 구성인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기.

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