KR20060052418A - 임피던스 정합장치 - Google Patents

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KR20060052418A
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가부시키가이샤 다이헨
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    • H03H7/00—Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
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Abstract

임피던스 정합장치(3)는, 입력단(3a)에 있어서의 진행파 전압(Vfi) 및 반사파 전압(Vri)과, 미리 측정함으로써 취득된, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 가변값에 관한 정보와, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 가변값에 관한 정보에 대응하는 임피던스 정합장치(3)의 T파라미터에 의거하여, 출력단(3b)에 있어서의 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)을 산출한다. 임피던스 정합장치(3)는, 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)과, T파라미터에 의거하여, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 가변값에 관한 정보에 대한 입력단(3a)에 있어서의 입력반사계수(Γi)를 산출한다. 임피던스 정합장치(3)는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 가변값에 대한 입력반사계수의 절대값｜Γi｜ 중, 최소 값을 선정하고, 이 값에 의거하여, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 임피던스를 조정한다.
임피던스 정합장치

Description

임피던스 정합장치{IMPEDANCE TRANSFORMING EQUIPMENT}
도 1은 본 발명의 실시예 1에 관계되는 임피던스 정합장치가 적용되는 고주파 전력공급 시스템의 구성과, 임피던스 정합장치의 회로 블록을 나타낸 도이다.
도 2는 EEPROM에 기억되는, 가변 커패시터의 조정위치마다의 S파라미터의 데이터를 나타낸 도이다.
도 3은 임피던스 정합장치의 S파라미터를 측정할 때의 구성도이다.
도 4는 제어부의 기능 블록을 나타낸 도이다.
도 5는 임피던스 정합장치의 동작을 나타낸 플로차트이다.
도 6은 가변 커패시터 조정위치의 조합을 모식적으로 나타낸 도이다.
도 7은 본 발명의 실시예 2에 관계되는 임피던스 정합장치에 있어서 제어부의 기능 블록을 나타낸 도이다.
도 8은 본 발명의 실시예 2에 관계되는 임피던스 정합장치의 동작을 나타낸 플로차트이다.
도 9는 출력반사계수에 최단 반사계수를 선정할 경우의 uv좌표를 나타낸 도이다.
도 10은 종래의 임피던스 정합장치가 적용되는 고주파 전력공급 시스템의 구성을 나타낸 도이다.
본 발명은, 고주파전원과 부하 사이에 설치되어 고주파전원의 임피던스와 부하의 임피던스를 정합시키는 임피던스 정합장치에 관한 것이다.
반도체나 플랫 패널 디스플레이 등을 제조할 때의 프로세스 중 하나로, 플라즈마 프로세스가 있다. 이 플라즈마 프로세스에서 사용하는 플라즈마 프로세스 챔버에는, 예를 들어 100㎑~300㎒의 무선주파대역의 고주파전압을 인가하는 것이 있다.
고주파전원과 부하로 이루어지는 플라즈마 프로세스 챔버의 사이에는 임피던스 정합장치가 설치된다. 이 임피던스 정합장치는, 고주파전원의 임피던스와, 부하로서의 플라즈마 프로세스 챔버의 임피던스를 정합시킴으로서, 부하로부터 고주파전원으로의 반사전력을 최소로 하여 부하로의 공급전력을 최대로 할 수 있다.
도 10은 일본 특개평 5-63604호 공보에 기재된, 임피던스 정합장치를 사용한 고주파 전력공급 시스템의 구성을 나타낸 도이다. 상기 공보에 개시된 임피던스 정합장치에는, 그 입력측에 고주파전원(41)이 접속되고, 그 출력측에 부하(42)가 접속되어 있다. 임피던스 정합장치에는, 입력측 검출기(44)와, 인덕터(L2, L3) 및 임피던스 가변소자로서의 가변 커패시터(VC3, VC4)로 이루어지는 정합회로가 설치되어 있다.
입력측 검출기(44)는, 무선주파대역의 고주파전압(V), 고주파전류(I), 및 고 주파전압(V)과 고주파전류(I)의 위상차(θ)를 검출하는 것이다. 검출된 고주파전압(V), 고주파전류(I) 및 그들의 위상차(θ)는, 임피던스 정합회로(43)와는 별도로 설치된 A/D 컨버터(45)를 개재하여 컴퓨터(46)에 입력된다.
컴퓨터(46)는, 입력측 검출기(44)로부터의 검출결과(고주파전압(V), 고주파전류(I), 위상차(θ))에 의거하여, 임피던스 정합회로(43)의 입력 임피던스(Zi), 즉 임피던스 정합회로(43)의 입력단(43a)으로부터 부하(42)측을 본 임피던스(Zi)를 연산한다.
가변 커패시터(VC3, VC4)는, 컴퓨터(46)로부터 출력되는 제어신호가 구동전압 공급수단(47)에 송신됨으로써, 모터(M)가 구동되고, 가변 커패시터(VC3, VC4)에 설치된 조정부(도시 생략)가 제어되어, 그 커패시턴스의 값을 조정 가능하게 되어 있다. 컴퓨터(46)는, 가변 커패시터(VC3, VC4)의 조정위치를 검출함으로써, 임피던스 가변소자로서의 가변 커패시터(VC3, VC4)의 임피던스(Zc3, Zc4)를 연산한다.
컴퓨터(46)는, 입력 임피던스(Zi)와, 임피던스 가변소자의 임피던스(Zc3, Zc4)에 의거하여, 임피던스 정합회로(43)의 출력단(43b)으로부터 부하(42)측을 본 부하회로측 임피던스(Zo)를 연산한다.
컴퓨터(46)는, 산출된 부하회로측 임피던스(Zo)에 의거하여, 입력 임피던스(Zi)가 고주파전원(41)측의 출력 임피던스(Zp)(예를 들어 50Ω)와 일치하도록, 가변 커패시터(VC3, VC4)의 조정위치를 변화시켜, 고주파전원(41)과 부하(42)의 임피던스를 정합시킨다.
상기 공보에 개시된 임피던스 정합회로(43)에서는, 입력측 검출기(44)에서 검출된 고주파전압(V), 고주파전류(I) 및 그들의 위상차(θ)로부터 구해진 입력 임피던스(Zi)와, 가변 커패시터(VC3, VC4)의 조정위치에 의거하여 컴퓨터(46)에서 검출된 해당 가변 커패시터(VC3, VC4)의 임피던스(Zc3, Zc4)에 의거하여, 부하회로측 임피던스(Zo)를 취득하고, 정합시켜야하는 가변 커패시터(VC3, VC4)의 조정위치를 구하고 있다.
그러나, 취급하는 주파수가 고주파인 경우에 있어서는, 임피던스 정합회로(43)의 정합회로로서 기능하는 회로소자에는, 가변 커패시터(VC3, VC4) 및 인덕터(L2, L3)뿐만 아니라, 이들 부품과 케이스간의 부유용량 성분이나, 이들 부품을 접속하기 위한 동판 혹은 도파관 등의 부품의 인덕턴스 성분도 포함되어, 이들의 임피던스 성분이 임피던스 정합 동작에 미치는 영향을 무시할 수 없게 된다.
상기 공보에 개시된 임피던스 정합회로(43)의 임피던스 제어방법은, 가변 커패시터(VC3, VC4) 및 인덕터(L2, L3)만으로 구성되는 회로를 정합회로로 하고, 가변 커패시터(VC3, VC4)의 현 시점의 조정위치에 있어서의 임피던스값(Zc3, Zc4)과 인덕터(L2, L3)의 임피던스값(Zl3,Zl4)에 의거하여 현 시점의 조정위치에 있어서 정합회로의 정합특성을 구하는 방법이다. 그 때문에, 상기 부유용량 등의 임피던스 성분은, 엄밀하게는 정합회로에 포함되어 있지 않아, 정합회로의 실제 정합동작에 있어서 상기 부유용량 등의 임피던스 성분을 반영시켜 임피던스 정합을 실행하는 것으로 되어 있지는 않다. 이 때문에, 특히 고주파영역에 있어서는, 정합정밀도가 저하되는 등의 문제점이 있었다.
또, 부유용량 등의 임피던스 성분은, 임피던스 정합회로(43)의 케이스의 형 상, 임피던스 정합회로(43) 내의 가변 커패시터(VC3, VC4) 및 인덕터(L2, L3)의 그 밖의 부품, 또는 배선의 배치관계 등에 의해 용이하게 변화한다. 따라서, 부유용량 등의 임피던스 성분을 포함하는 정합회로는, 정합회로를 구성하는 가변 커패시터(VC3, VC4) 및 인덕터(L2, L3)가 동일해도, 내부구조가 다른 장치마다 다른 것이 되므로, 장치마다 정합정밀도가 달라진다는 문제도 있다.
본 발명은, 이러한 사정을 바탕으로 고안된 것으로서, 상기 종래의 문제점을 해소하는 것을 그 과제로 한다.
본 발명의 제 1측면에 의해 제공되는 임피던스 정합장치는, 고주파전원과 부하 사이에 설치되고, 임피던스 가변소자의 임피던스를 변화시킴으로써, 상기 고주파전원과 부하의 임피던스를 정합시키기 위한 임피던스 정합장치로서, 상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의, 상기 고주파전원으로부터 상기 부하측으로 진행하는 진행파에 관한 정보 및 상기 부하로부터 상기 고주파전원측으로 진행하는 반사파에 관한 정보를 검출하는 고주파 정보검출수단과, 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보를 검출하는 가변소자 정보검출수단과, 미리 측정함으로써 취득된, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 특성 파라미터를, 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와 대응관계를 갖게 하여 기억하는 제 1기억수단과, 상기 가변소자 정보검출수단에 의해 검출된 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와, 상기 제 1기억수단에 기억된 상기 특성 파라미터와, 상기 고주파 정보검출수단에 의해 검출된 진행파에 관 한 정보 및 반사파에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보를 산출하는 제 1산출수단과, 상기 제 1산출수단에 의해 산출된 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보와, 상기 제 1기억수단에 기억된 복수의 상기 특성 파라미터에 의거하여, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의 입력반사계수를 산출하는 제 2산출수단과, 상기 제 2산출수단에 의해 산출된 복수의 입력반사계수를, 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와 대응관계를 갖게 하여 기억하는 제 2기억수단과, 상기 제 2기억수단에 기억된 복수의 입력반사계수 중, 미리 설정된 소망의 목표 입력반사계수에 가장 근사한 입력반사계수를 선정하고, 선정한 입력반사계수에 대응하는 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보를 특정하는 제 1특정수단과, 상기 제 1특정수단에 의해 특정된 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 가변소자의 임피던스를 조정하는 조정수단을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.(청구항 1)
바람직하게는, 상기 제 2산출수단은, 상기 제 1산출수단에 의해 산출된 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보와, 상기 제 1기억수단에 기억된 복수의 상기 특성 파라미터에 의거하여, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보를 산출하고, 이 산출된 상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파 에 관한 정보에 의거하여, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 입력반사계수를 산출한다.(청구항 2)
바람직하게는, 상기 소망의 목표 입력반사계수를 설정하는 설정수단이 추가로 설치되어 있다.(청구항 3)
바람직하게는, 상기 특성 파라미터는, S파라미터, 또는 이 S파라미터로부터 변환됨으로써 취득된 T파라미터이다.(청구항 4)
본 발명의 제 2측면에 의해 제공되는 임피던스 정합장치는, 고주파전원과 부하 사이에 설치되고, 임피던스 가변소자의 임피던스를 변화시킴으로써, 상기 고주파전원과 부하의 임피던스를 정합시키기 위한 임피던스 정합장치로서, 상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의, 상기 고주파전원으로부터 상기 부하측으로 진행하는 진행파에 관한 정보 및 상기 부하로부터 상기 고주파전원측으로 진행하는 반사파에 관한 정보를 검출하는 고주파 정보검출수단과, 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보를 검출하는 가변소자 정보검출수단과, 미리 측정함으로써 취득된, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 특성 파라미터를, 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와 대응관계를 갖게 하여 기억하는 제 1기억수단과, 상기 가변소자 정보검출수단에 의해 검출된 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와, 상기 제 1기억수단에 기억된 상기 특성 파라미터와, 상기 고주파 정보검출수단에 의해 검출된 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보를 산출하는 제 1산출수단과, 상기 제 1산출수단에 의해 산출된 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 반사계수를 산출하는 제 3산출수단과, 미리 설정된 소망의 목표 입력반사계수와, 상기 제 1기억수단에 기억된 복수의 특성 파라미터에 의거하여, 상기 제 1기억수단에 기억된, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 반사계수를 산출하는 제 4산출수단과, 상기 제 4산출수단에 의해 산출된 복수의 반사계수를, 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와 대응관계를 갖게 하여 기억하는 제 3기억수단과, 상기 제 3기억수단에 기억된 복수의 반사계수 중, 상기 제 3산출수단에 의해 산출된 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 반사계수에 가장 근사한 반사계수를 선정하고, 선정한 입력반사계수에 대응하는 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보를 특정하는 제 2특정수단과, 상기 제 2특정수단에 의해 특정된 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 가변소자의 임피던스를 조정하는 조정수단을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.(청구항 5)
바람직하게는, 상기 소망의 목표 입력반사계수를 설정하는 설정수단이 추가로 설치되어 있다.(청구항 6)
바람직하게는, 상기 특성 파라미터는, S파라미터, 또는 이 S파라미터로부터 변환됨으로써 취득된 T파라미터이다.(청구항 7)
본 발명의 다른 특징 및 이점은, 이하에 있어서 바람직한 실시예의 설명으로 보다 명료해질 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서, 첨부도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 1은, 본 발명의 실시예 1에 관계되는 임피던스 정합장치가 적용되는 고주파 전력공급 시스템의 구성 및 임피던스 정합장치의 회로 블록을 나타낸 도이다.
이 고주파 전력공급 시스템은, 반도체 웨이퍼 또는 액정기판 등의 피가공물에 대해 고주파를 공급하여, 예를 들어 플라즈마 에칭 등의 가공처리를 실행하는 것이다. 이 고주파 전력공급 시스템은, 고주파전원(1), 전송선로(2), 임피던스 정합장치(3), 부하접속부(4) 및 플라즈마 처리장치(플라즈마 프로세스 챔버)로 이루어지는 부하(5)에 의해 구성되어 있다.
고주파전원(1)은, 부하(5)에 대해서 소정 주파수(예를 들어 13.56㎒ 또는 200㎒)를 갖는 고주파전력을 공급하기 위한 장치이다. 고주파전원(1)에는, 예를 들어 동축케이블로 이루어지는 전송선로(2)를 개재하여 임피던스 정합장치(3)가 접속되어 있다. 임피던스 정합장치(3)에는, 예를 들어 전자파의 누설을 억제하기 위해, 차폐된 동판으로 이루어지는 부하접속부(4)가 접속되고, 부하접속부(4)에는, 부하(5)가 접속되어 있다.
부하(5)는, 반도체 웨이퍼 또는 액정기판 등의 피가공물을 에칭 또는 CVD 등의 방법을 사용하여 가공하기 위한 플라즈마 처리장치이다. 플라즈마 처리장치에서는, 피가공물의 가공목적에 따라 각종 가공 프로세스가 실행된다. 예를 들어, 피가공물에 대해서 에칭을 실행하는 경우에는, 그 에칭에 따른 가스 종류, 가스 압력, 고주파전력의 공급전력값, 및 고주파전력의 공급전력값, 및 고주파전력의 공급시간 등이 적절하게 설정된 가공 프로세스가 실행된다. 플라즈마 처리장치에서는, 피가공물이 배치되는 용기(도시 생략) 내에 플라즈마 방전용 가스를 도입하고, 그 플라즈마 방전용 가스를 방전시켜 비플라즈마 상태로부터 플라즈마 상태로 하고 있다. 그리고, 플라즈마 상태가 된 가스를 사용하여 피가공물을 가공하고 있다.
임피던스 정합장치(3)는, 그 입력단(3a)에 접속되는 고주파전원(1)과 출력단(3b)에 접속되는 부하(5)의 임피던스를 정합시키는 것이다. 보다 구체적으로는, 예를 들어 입력단(3a)으로부터 고주파전원(1)측을 본 임피던스(출력 임피던스)가 50Ω으로 설계되고, 특성 임피던스가 50Ω인 전송선로(2)에 의해, 고주파전원(1)이 임피던스 정합장치(3)의 입력단(3a)에 접속되어 있다고 하면, 임피던스 정합장치(3)는, 해당 임피던스 정합장치(3)의 입력단(3a)으로부터 부하(5)측을 본 임피던스를 가급적 50Ω으로 자동 조정한다. 또한, 본 실시예에서는 특성 임피던스를 50Ω으로 하고 있지만, 특성 임피던스는 50Ω으로 한정되는 것은 아니다.
임피던스 정합장치(3)는, 방향성 결합기(6), 제어부(9), 인덕터(L1), 및 임피던스 가변소자로서의 가변 커패시터(VC1, VC2)를 구비하고 있다. 이들 인덕터(L1) 및 가변 커패시터(VC1, VC2)는, 정합회로를 구성하고 있다.
방향성 결합기(6)는, 고주파전원(1)으로부터 부하(5)측으로 진행하는 고주파(이하, 진행파라 함)와, 부하(5)측으로부터 반사되어 오는 고주파(이하, 반사파라 함)를 분리하여 검출하는 것이다. 방향성 결합기(6)는, 예를 들어 1개의 입력포트(6a)와 3개의 출력포트(6b, 6c, 6d)를 갖고, 입력포트(6a)에는 고주파전원(1)이 접 속되고, 제 1출력포트(6b)에는 가변 커패시터(VC1, VC2)가 접속되어 있다. 또, 제 2출력포트(6c) 및 제 3출력포트(6d)는, 제어부(9)에 접속되어 있다. 또한, 방향성 결합기(6)는, 본 발명의 고주파 정보검출수단의 일부로서 기능한다.
입력포트(6a)로부터 입력되는 진행파는, 제 1출력포트(6b)로부터 출력되고, 제 1출력포트(6b)로부터 입력되는 반사파는, 입력포트(6a)로부터 출력된다. 진행파는, 적절한 레벨까지 감쇠되어 검출되고, 제 2출력포트(6c)로부터 출력된다. 반사파는, 적절한 레벨까지 감쇠되어 검출되고, 제 3출력포트(6d)로부터 출력된다.
또한, 방향성 결합기(6) 대신에, 입력측 검출기가 사용되어도 된다. 입력측 검출기는, 예를 들어 고주파전원(1)으로부터 입력단(3a)에 입력되는 고주파전압, 고주파전류, 및 그들의 위상차를 검출하는 것이다. 입력측 검출기에 의해 검출된 고주파전압, 고주파전류 및 위상차는, 제어부(9)에 입력된다.
제어부(9)는, 이 임피던스 정합장치(3)의 제어중추가 되는 것으로, 도시하지 않은 CPU, RAM, 및 ROM 등을 갖고 있다. 제어부(9)는, 방향성 결합기(6)의 출력 등에 의거하여, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 커패시턴스(C1,C2)를 변화시켜, 임피던스 정합장치(3)의 자동 정합동작을 제어하는 것이다.
제어부(9)는, 고주파전원(1)과 부하(5)의 임피던스를 매칭시키기 위해, 가변 커패시터(VC1, VC2)에 제어신호를 출력한다. 가변 커패시터(VC1, VC2)는, 제어부(9)로부터 송신되는 제어신호에 의거하여 대향전극(도시 생략)의 면적을 변화시켜, 각각의 커패시턴스(C1, C2)를 가변시키는 것이다. 구체적으로는, 가변 커패시터(VC1, VC2)에는, 커패시턴스(C1, C2)를 변경하기 위한 조정부(11, 12)가 각각 설치 되어 있다.
조정부(11, 12)는, 상기 대향전극의 구동부재로서의 스테핑모터 및 모터구동회로(모두 도시 생략)에 의해 구성된다. 제어부(9)는, 그 스테핑모터의 회전량을 제어함으로써, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 커패시턴스(C1, C2)를 변경한다. 본 실시예에서는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 커패시턴스(C1, C2)는, 각각 예를 들어 1000단계 스텝형상으로 가변되어 있다. 또한, 조정부(11, 12)는, 본 발명의 조정수단으로서 기능한다.
가변 커패시터(VC1, VC2)에는, 조정부(11, 12)에 의해 변경되는 조정위치를 검출하기 위한 위치검출부(13, 14)가 설치되어 있다. 위치검출부(13, 14)에 의해 검출된 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보는, 제어부(9)로 송신되어, 제어부(9)에 있어서 인식되도록 되어 있다.
또한, 위치검출부(13, 14)는, 본 발명의 가변소자 정보검출수단으로서 기능한다. 또, 본 발명의 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보란, 가변 커패시터(VC1, VC2) 등의 임피던스 가변소자의 가변값을 특정할 수 있는 것이다.
본 실시예에서는, 스테핑모터의 위치정보를 임피던스 가변소자의 가변값으로 하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 서보모터 등의 다른 방식의 모터를 사용하여, 그 위치정보를 임피던스 가변소자의 가변값으로 해도 된다. 또, 그 위치정보는, 스테핑모터와 같이, 스텝수로 표시되는 것이라도 되고, 펄스수 또는 전압 등의 다른 형식으로 표시되는 것이라도 된다. 이와 같이, 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보는, 임피던스 가변소자의 가변값을 직접적 또는 간접적으 로 특정할 수 있는 정보로 하면 된다.
제어부(9)에는, EEPROM(15)이 접속되어 있다. 이 EEPROM(15)에는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 각 조정위치에 있어서의 임피던스 정합장치(3)의 S파라미터(Scattering Parameter)의 데이터가 기억된다. 가변 커패시터(VC1, VC2)의 각 조정위치에 있어서의 S파라미터의 데이터는, 제품출하 전에 미리, 예를 들어 공장내에서 측정되어 기억된 것이다. 또한, 이들 데이터는, EEPROM(15) 대신에 플래시 메모리 등의 다른 비휘발성 메모리에 기억시키도록 해도 된다. 또한, EEPROM(15)은, 본 발명의 제 1기억수단으로서 기능한다.
여기에서, S파라미터란, 주지된 바와 같이, 소정의 4단자 회로망의 입력단자 및 출력단자에 특성 임피던스(예를 들어 50Ω)의 선로를 접속한 고주파 신호를 입력했을 때의 4단자 회로망에 있어서의 전송특성을 나타낸 것이다. 구체적으로, S파라미터는, 식(1)에 나타낸 바와 같이, 입력측의 전압 반사계수(S11), 순방향 전압의 전달계수(S12), 역방향 전압의 전달계수(S12), 출력측의 전압 반사계수(S22)의 각 파라미터로 구성되는 행렬로 표시되는 것이다. 본 실시예에서는, 임피던스 정합장치(3)를 4단자 회로망으로서 취급하여, 임피던스 정합장치(3)에 있어서의 S파라미터를 산출하도록 하고 있다.
Figure 112005063145176-PAT00001
EEPROM(15)에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 S파라미터가 가변 커패시터 (VC1, VC2)의 조정위치마다 기억된다. 이 도 2에 의하면, S파라미터는, 「SXY(X=0,1,‥,999,Y=0,1,‥,999)」로 표시되고, 예를 들어 가변 커패시터(VC1)의 조정위치가 「0」의 위치이고, 가변 커패시터(VC2)의 조정위치가 「0」의 위치인 경우에, S파라미터는 「S00」이다.
이 데이터「S00」은, 식(1)에 나타낸 바와 같이, 입력측의 전압 반사계수(S11), 순방향 전압의 전달계수(S21), 역방향 전압의 전달계수(S12), 출력측의 전압 반사계수(S22)의 각 파라미터로 구성된다. 각 파라미터의 값은, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치마다 고유의 값을 갖고 있다.
제어부(9)는, EEPROM(15)에 기억된 S파라미터로부터 변환된 T파라미터(Transmission Parameter)와 방향성 결합기(6)의 출력(상세하게는, 후술할 벡터화부(21)에 있어서 벡터정보로 한 것)에 의거하여, 임피던스 정합장치(3)의 출력단(3b)에 있어서의 진행파 전압(Vfo)과 반사파 전압(Vro)을 산출한다.
제어부(9)는, 이들 출력단(3b)에 있어서의 진행파 전압(Vfo)과 반사파 전압(Vro)에 의거하여, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 각 조정위치의 조합에 대한, 입력단(3a)에 있어서의 입력반사계수(Γi)의 절대값｜Γi｜을 산출한다. 제어부(9)는, 입력반사계수(Γi)의 절대값｜Γi｜ 중, 최소의 입력반사계수(Γi)의 절대값｜Γi｜을 선정하고, 최소의 입력반사계수(Γi)의 절대값｜Γi｜에 의거하여 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치를 결정한다. 이들 제어의 상세한 내용은, 후술한다.
도 3은, 임피던스 정합장치(3)의 S파라미터 데이터를 취득하기 위한 측정회 로의 구성을 나타낸 도이다. 이 측정회로의 구성은, 제품출하 전에 미리, 예를 들어 공장내에서 완료되는 것이다.
이 도 3에 의하면, 임피던스 정합장치(3)의 S파라미터 데이터는, 예를 들어 입출력 임피던스가 50Ω인 네트워크 애널라이저(20)를 사용하여 취득된다. 즉, 임피던스 정합장치(3)의 입력단(3a)에, 네트워크 애널라이저(20)의 제 1입출력단자(20a)가 접속되고, 임피던스 정합장치(3)의 출력단(3b)에, 네트워크 애널라이저(20)의 제 2입출력단자(20b)가 접속된다. 또, 임피던스 정합장치(3)의 제어부(9)에, 네트워크 애널라이저(20)의 제어단자(20c)가 접속된다.
이 측정회로에서는, 이하의 순서로 S파라미터의 데이터가 취득된다.
가변 커패시터(VC1, VC2)는, 상술한 바와 같이 다단계로 조정 가능하게 되어 있어, 임피던스 정합장치(3)의 S파라미터는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치를 각각 1단씩 변화시키면서 네트워크 애널라이저(20)에 있어서 취득된다.
구체적으로는, 우선, 제어부(9)에 의해 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치가, 예를 들어 (0,0)에 설정된다. 이어서, 네트워크 애널라이저(20)의 제 1입출력단자(20a)로부터, 예를 들어 13.56㎒ 또는 200㎒ 등의 고주파가 임피던스 정합장치(3)의 입력단(3a)에 입력된다. 또한, 이 고주파의 주파수는, 고주파 전력공급 시스템에 있어서 고주파전원(1)으로부터 부하(5)에 공급되는 고주파전력의 주파수이다.
네트워크 애널라이저(20)로부터 출력된 고주파(입사파)는, 임피던스 정합장치(3)의 입력단(3a)에서 일부는 반사되고(이하, 이 반사된 파(波)를 「반사파」라 함), 제 1입출력단자(20a)로부터 네트워크 애널라이저(20)에 입력된다. 입사파의 나머지는, 임피던스 정합장치(3) 내를 투과하고(이하, 이 투과한 파를 「투과파」라 함), 출력단(3b)으로부터 출력되어 제 2입출력단자(20b)로부터 네트워크 애널라이저(20)에 입력된다.
이들 반사파 및 투과파는, 네트워크 애널라이저(20)의 내부에서 각각 검출되고, 입사파, 반사파 및 투과파를 사용하여, S파라미터 중 입력측의 전압 반사계수(S11), 순방향 전압의 전달계수(S21)가 측정된다. 즉, 입사파, 반사파 및 투과파를 각각 a1, b1, b2로 하면, S11=b1/a1, S21=b2/a1의 연산처리를 실행함으로써, 전압 반사계수(S11), 순방향 전압의 전달계수(S21)가 측정된다.
다음으로, 네트워크 애널라이저(20)의 제 2입출력단자(20b)로부터 동일한 고주파가 임피던스 정합장치(3)의 출력단(3b)에 입력된다. 네트워크 애널라이저(20)로부터 출력된 고주파(입사파)는, 임피던스 정합장치(3)의 출력단(3b)에서 일부는 반사되고, 제 2입출력단자(20b)로부터 네트워크 애널라이저(20)에 입력된다. 입사파의 나머지는 임피던스 정합장치(3) 내를 투과하고, 입력단(3a)으로부터 출력되어 제 1입출력단자(20a)로부터 네트워크 애널라이저(20)에 입력된다.
이들 반사파 및 투과파는, 네트워크 애널라이저(20)의 내부에서 각각 검출되고, 입사파, 반사파 및 투과파를 사용하여, S파라미터 중 역방향 전압의 전달계수(S12), 출력측의 전압 반사계수(S22)가 측정된다. 즉, 입사파, 반사파 및 투과파를 각각 a2, b2, b1으로 하면, S12=b1/a2, S22=b2/a2의 연산처리를 실행함으로써, 전압 반사계수(S12), 순방향 전압의 전달계수(S22)가 측정된다.
그 후, 제어부(9)에 의해 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치가 1단씩 변경되고, 그 변경된 조정위치에 있어서의 S파라미터가 같은 방법으로 각각 측정된다.
네트워크 애널라이저(20)는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치와 S파라미터를 1조로 하는 다수 조의 데이터를 제어부(9)에 출력한다. 제어부(9)는, 그들 데이터를 EEPROM(15)에 순차 저장한다. 그 때문에, EEPROM(15)에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치와 S파라미터가 대응관계를 이루며 기억된다.
또한, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 커패시턴스(C1, C2)를 가변시키기 위한 스테핑모터의 위치정보 대신에, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 커패시턴스(C1, C2)를 S파라미터와 함께 EEPROM(15)에 기억시켜도 된다. 또, 스테핑모터 대신에 서보모터 등을 사용할 경우는, 그 서보모터 등의 위치정보와 S파라미터를 대응관계를 갖게 하여 EEPROM(15)에 기억시켜도 된다.
이 측정회로에 있어서의 데이터의 취득수는, 임피던스 정합장치(3)에 설치된 임피던스 가변소자, 즉 가변 커패시터(VC1, VC2) 조정범위의 전(全) 조합수가 된다. 본 실시예에서는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 각 가변수가 1000개이기 때문에, 100만조(1000×1000조)의 데이터가 취득된다. 또한, 측정주파수가 2 이상인 경우에는, 각 주파수에 대해서 100만조의 데이터가 취득된다.
S파라미터의 데이터는, 네트워크 애널라이저(20)의 모니터(도시 생략), 임피 던스 정합장치(3)의 외부에 설치된 디스플레이, 또는 프린터(모두 도시 생략) 등에 출력되도록 해도 된다. 물론, 아날로그 신호의 형식으로 파형 표시 기능을 갖는 외부의 각종장치(도시 생략)에 출력해도 되고, 시리얼 통신 등을 사용하여 외부의 정보처리장치(도시 생략) 등에 출력해도 된다.
이와 같이 해서, 임피던스 정합장치(3)의 S파라미터가 취득되면, 임피던스 정합장치(3)는, 예를 들어 공장에서 출하되어, 현지에 있어서 도 1에 나타낸 바와 같은 접속상태로 고주파 전력공급 시스템에 조립되어, 실제로 사용된다.
다음으로, 고주파 전력공급 시스템으로서 실제로 사용되는 임피던스 정합장치(3)의 동작을, 도 4에 나타낸 제어부(9)의 기능 블록도, 및 도 5에 나타낸 플로차트를 참조하여 설명한다. 또한, 제어부(9)는, 기능상, 도 4에 나타낸 바와 같이, 벡터화부(vector化部)(21), 진행파 반사파 산출부(22), 제 1T파라미터 참조부(23), 가상 입력반사계수 산출부(24), 제 2T파라미터 참조부(25), 메모리(26), 및 최소 반사계수 특정부(27)에 의해 구성된다.
진행파 반사파 산출부(22) 및 제 1T파라미터 참조부(23)로 구성되는 부분은 본 발명의 제 1산출수단으로, 가상 입력반사계수 산출부(24) 및 제 2T파라미터 참조부(25)로 구성되는 부분은 제 2산출수단으로, 최소 반사계수 특정부(27)는 제 1특정수단으로, 메모리(26)는 제 2기억수단으로서 각각 기능한다. 또, 벡터화부(21)는, 고주파 정보검출수단의 일부로서 기능한다(상술한 바와 같이, 방향성 결합기(6)도, 본 발명의 고주파 정보검출수단의 일부로서 기능한다. 즉, 방향성 결합기(6) 및 벡터화부(21)에 의해 구성되는 부분은, 고주파 정보검출수단으로서 기능한 다).
고주파전원(1)에 의해 고주파가 공급되면, 방향성 결합기(6)에 의해 진행파 및 반사파가 분리되어 검출되고, 벡터화부(21)로 출력된다. 벡터화부(21)에서는, 방향성 결합기(6)의 출력을 입력하고, 입력신호를 소정의 간격으로 샘플링하고, 진행파의 크기 및 위상정보를 포함하는 벡터정보로 하여 진행파 전압(Vfi) 및 반사파 전압(Vri)을 취득한다(S1).
또한, 이 실시예에 관계되는 임피던스 정합장치에서는, 방향성 결합기(6)의 출력을 디지털 정보로 변환하기 위해, A/D 컨버터(도시 생략)가 설치되어 있다. 방향성 결합기(6) 등을 대신하여 입력측 검출기를 사용하는 경우도, 입력측 검출기의 출력을 디지털 정보로 변환하기 위해, A/D 컨버터(도시 생략)가 설치되어 있고, 주지의 방법에 의해, 입력측 검출기로부터 입력된 정보에 의거하여, 진행파 전압(Vfi) 및 반사파 전압(Vri)이 구해진다.
이어서, 현 시점에 있어서의 진행파 전압(Vfi) 및 반사파 전압(Vri)이 벡터화부(21)로부터 출력되면, 그들은 진행파 반사파 산출부(22)에 입력된다(S2).
한편, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치검출부(13, 14)에서는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 현 시점에서 있어서의 조정위치가 검출되고, 그들의 위치정보는, 제 1T파라미터 참조부(23)에 입력된다.(S3)
제 1T파라미터 참조부(23)에서는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 현 시점에 있어서의 위치정보에 의거하여, EEPROM(15)에 저장되어 있는, 가변 커패시터(VC1, VC2) 조정위치 조합마다의 S파라미터(도 2 참조)의 데이터 중, 상기 위치정보(조정 위치)에 대응하여 기억된 S파라미터의 데이터가 판독된다(S4). 제 1T파라미터 참조부(23)에서는, 그 판독된 S파라미터가 T파라미터로 변환되고(S5), 변환된 T파라미터는, 진행파 반사파 산출부(22)로 출력된다.
T파라미터는, 식(2)에 나타낸 바와 같은 행렬식을 사용하여 S파라미터로부터 변환 가능하고, 제 1T파라미터 참조부(23)에서는, 식(2)에 의거한 연산이 실행된다. 일반적으로, 4단자 회로망에 있어서는, 그 전송특성을 측정할 때에는 S파라미터를 사용하는 것이 간편하고, 연산을 실행할 때에는 T파라미터를 사용하는 것이 간편하다고 되어 있다. 그 때문에, 본 실시예에서는, S파라미터를 변환시켜 연산이 간편한 T파라미터를 사용하도록 하고 있다.
Figure 112005063145176-PAT00002
또한, T파라미터는, 예를 들어 제품출하 전에 임피던스 정합장치(3)의 S파라미터가 측정될 때에 변환된 후, EEPROM(15)에 미리 저장되어 있어도 된다. 이 경우, 제 1T파라미터 참조부(23)에서는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 현 시점에 있어서의 위치정보에 의거하여, EEPROM(15)에 저장되어 있는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치에 대응하는 T파라미터를 판독하고, 그 판독한 T파라미터를 진행파 반사파 산출부(22)에 출력한다.
또, 제 1T파라미터 참조부(23)에 있어서의 처리 대신에, S파라미터로부터 T파라미터로의 변환처리를 먼저 실행하고, 변환한 T파라미터 중에서, 현 시점에 있 어서의 위치정보(조정위치)에 대응된 T파라미터를 선정하고, 선정한 T파라미터를 출력하도록 해도 된다.
진행파 반사파 산출부(22)에서는, 스텝(S2)에 있어서 현 시점에 있어서의 입력단(3a)의 진행파 전압(Vfi) 및 반사파 전압(Vri)이 입력되어 있어, 그들과, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 현 시점의 조정위치에 있어서의 T파라미터의 데이터에 의거하여, 출력단(3b)에 있어서의 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)이 산출된다(S6).
이 경우, 하기에 나타낸 식(3)에 의해 현 시점의 출력단(3b)에 있어서의 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)이 산출된다. 또한, 현 시점의 출력단(3b)에 있어서의 반사파 전압(Vfo)을 진행파 전압(Vro)으로 나누면, 부하 반사계수(Γo)를 산출할 수 있다.
Figure 112005063145176-PAT00003
Figure 112005063145176-PAT00004
여기에서, T11′, T21′, T12′, T22′는, 현 시점의 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치에 있어서의 T파라미터의 각 파라미터이다. 현 시점의 출력단(3b)에 있어서의 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)은, 가상 입력반사계수 산출부(24)에 출력된다.
한편, 제 2T파라미터 참조부(25)에서는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합(도 6 참조)마다, EEPROM(15)에 기억되어 있는 S파라미터의 데이터가 판독되고, 각 S파라미터의 데이터가 각각 T파라미터로 변환된다. 변환된 T파라미터는, 대응하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보(조정위치의 조합정보)와 함께 가상 입력반사계수 산출부(24)에 출력된다.
또한, 제 2T파라미터 참조부(25)로부터 출력되는 T파라미터의 순서가 미리 정해져 있어, T파라미터와 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보의 대응관계가 가상 입력반사계수 산출부(24)에 있어서 식별 가능한 경우에는, T파라미터에 대응하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보를 생략하고, T파라미터만을 출력하도록 해도 된다.
또, 상술한 바와 같이, T파라미터가 EEPROM(15)에 미리 저장되어 있는 경우에, 제 2T파라미터 참조부(25)에서는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대응하는 T파라미터의 데이터를 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보(조정위치의 조합정보)와 함께 EEPROM(15)으로부터 판독하여, 가상 입력반사계수 산출부(24)에 출력하도록 해도 된다.
혹은, 제 2T파라미터 참조부(25)를 생략하고, 가상 입력반사계수 산출부(24)에, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대응하는 T파라미터의 데이터를, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보(조정위치의 조합정보)와 함께 EEPROM(15)으로부터 판독하는 기능을 부가해도 된다.
가상 입력반사계수 산출부(24)에서는, 현 시점의 출력단(3b)에 있어서의 진 행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)에 의거하여, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대한 가상의 입력반사계수(Γi)(이하, 「가상 입력반사계수(Γi)」라 함)가 산출된다(S7).
구체적으로는, 우선, 하기에 나타낸 행렬식(식(4) 참조)이 사용되고, 현 시점의 출력단(3b)에 있어서의 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)과, 제 2T파라미터 참조부(25)로부터 출력된, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 각 조정위치의 조합(도 6 참조)에 대한 T파라미터로부터, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 각 조정위치의 조합에 대한, 입력단(3a)에 있어서의 진행파 전압(Vfi′) 및 반사파 전압(Vri′)이 산출된다.
Figure 112005063145176-PAT00005
여기에서, T11″, T21″, T12″, T22″는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 각 조정위치에 대한 T파라미터의 각 파라미터이다. 즉, 가상 입력반사계수 산출부(24)에서는, 현 시점의 출력단(3b)에 있어서의 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)을 T파라미터(T11″, T21″, T12″, T22″)의 역행렬식을 사용해서 역연산하여, 입력단(3a)에 있어서의 진행파 전압(Vfi′) 및 반사파 전압(Vri′)을 산출하고 있다.
다음으로, 가상 입력반사계수 산출부(24)에서는, 식(5)에 나타낸 바와 같이, 반사파 전압(Vri′)을 진행파 전압(Vfi′)으로 나눔으로써, 가상 입력반사계수(Γi)가 산출된다. 가상 입력반사계수(Γi)는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정 위치의 조합에 대해서 각각 산출된다, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대한 가상 입력반사계수(Γi)는, 대응하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보와 함께, 메모리(26)에 순차 송신되어, 메모리(26)에 일단 기억된다.
Figure 112005063145176-PAT00006
또한, 가상 입력반사계수 산출부(24)로부터 출력되는 가상 입력반사계수(Γi)의 순서가 미리 정해져 있어, 가상 입력반사계수(Γi)와 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보의 대응관계가 메모리(26)에 있어서 식별 가능한 경우에는, 가상 입력반사계수(Γi)에 대응하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보를 생략하고, 가상 입력반사계수(Γi)만을 출력하도록 해도 된다.
최소 반사계수 특정부(27)에서는, 가상 입력반사계수 산출부(24)에서 산출되고 메모리(26)에 기억된, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대한 가상 입력반사계수(Γi) 중, 그 절대값이 최소가 되는 가상 입력반사계수의 절대값｜Γimin｜을 선정하고, 선정된 가상 입력반사계수의 절대값 ｜Γimin｜에 대응하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치가 목표위치로서 특정된다. 예를 들어, 도 6에 나타낸 A점에 있어서, 최소의 가상 입력반사계수의 절대값｜Γimin｜이 선정된 경우, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치(4,3)가 목표위치로서 특정된다.
즉, 최소의 가상 입력반사계수의 절대값｜Γimin｜에 대응하는 조정위치에 가변 커패시터(VC1, VC2)가 조정된 경우에, 입력단(3a)에 있어서의 반사파가 최소 가 되므로, 적절한 임피던스 정합이 실행된다.
또한, 본 실시예에서는, 최소 반사계수 특정부(27)에 있어서, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대한 가상 입력반사계수(Γi) 중, 그 절대값이 최소인 가상 입력반사계수의 절대값｜Γimin｜을 선정하고 있다. 이것은, 목표가 되는 입력반사계수(이하 「목표 입력반사계수(Γ′)」라 함)가 0이고, 이 목표 입력반사계수(Γ′)에 가장 근사한 가상 입력반사계수(Γi)를 선정하는 것과 대략 같은 의미이다. 반사계수가 0이라는 것은, 반사계수를 실수부와 허수부의 합으로 나타냈을 때에, 실수부 및 허수부가 모두 0인 것을 나타낸다.
목표 입력반사계수(Γ′)는 0으로 한정되지 않으며, 0 이외에 미리 설정해 두어도 된다. 이 경우, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대한 가상 입력반사계수(Γi) 중, 목표 입력반사계수(Γ′)에 가장 근사한 것을 선정하면 된다. 또, 목표 입력반사계수(Γ′)를 설정하기 위한 설정부가 설치되고, 이 설정부에 있어서 목표 입력반사계수(Γ′)를 수시로 변경할 수 있도록 해도 된다.
최소의 가상 입력반사계수의 절대값｜Γimin｜을 선정하는 방법으로서는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대한 가상 입력반사계수(Γi) 중에서, 최소의 가상 입력반사계수의 절대값｜Γimin｜을 선정하는 것이 아니라, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합을 복수개의 그룹으로 나누고, 어떤 그룹 내에 존재하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치의 조합에 대한 가상 입력반사계수(Γi) 중에서, 최소의 가상 입력반사계수의 절대값｜Γimin｜을 선정하도록 해도 된다.
또, 어떤 그룹 내에 존재하는 가변 커패시터(VC1, VC2) 조정위치의 조합 중에서 선정된 최소의 가상 입력반사계수의 절대값｜Γimin｜이 소정의 문턱값을 하회하지 않을 때에는, 다른 그룹 내에 존재하는 가변 커패시터(VC1, VC2) 조정위치의 조합 중에서 최소의 가상 입력반사계수의 절대값｜Γimin｜을 선정하도록 해도 된다.
최소 반사계수 특정부(27)에 있어서 선정된 가변 커패시터(VC1, VC2)의 목표 위치정보는, 조정부(11, 12)에 송신되고(S8), 이에 따라, 가변 커패시터(VC1, VC2)는, 스테핑모터 등에 의해, 특정된 조정위치로 변이된다. 즉, 가상 입력반사계수(Γi)가 최소가 되는 위치로 가변 커패시터(VC1, VC2)가 조정된다.
이에 의해, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 커패시턴스(C1, C2)는 변화하고, 임피던스 정합장치(3)의 입력단(3a)에 접속되는 고주파전원(1)의 임피던스와 출력단(3b)에 접속되는 부하(5)의 임피던스가 정합되어, 부하(5)에 대해 최대의 고주파전력이 공급되게 된다.
이와 같이, 이 실시예에 의하면, 임피던스 정합장치(3) 전체를 전송장치로서 취급하여, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정 가능한 범위에 대해서 이 전송장치의 전송특성을 S파라미터 및 T파라미터의 정보로서 취득해 두고, 이들 정보를 사용하여 임피던스 정합을 실행하므로, 종래의 임피던스 정합방법에 비해 높은 정밀도로 임피던스 정합을 실행할 수 있다.
즉, 상기의 S파라미터 및 T파라미터는, 임피던스 정합장치(3) 내부에 있어서의 부유용량 및 임피던스 성분을 포함한 정합회로에 대한 전송특성을 나타낸 것이 다. 그 때문에, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 커패시턴스(C1, C2)를 이 전송특성에 의거하여 산출한 최소의 가상 입력반사계수에 대응하는 커패시턴스로 조정함으로써, 종래의 구성에 비해, 보다 정확하면서도 정밀도 높은 임피던스 정합을 실행할 수 있다.
상기 실시예에서는, 인덕터(L1) 및 가변 커패시터(VC1, VC2)로 이루어지는 정합회로가 설치된 임피던스 정합장치(3)에 대해서 임피던스 정합이 실행되는 경우에 대해서 설명했지만, 종래의 구성에서는, 그 정합회로의 구성이 다르면, 회로구성에 따라 임피던스의 연산방법을 변경할 필요성이 있다. 그러나, 본 실시예에서는, 정합회로의 구성요소가 달라도 그것을 포함하는 임피던스 정합장치(3) 전체로서의 S파라미터 및 T파라미터를 측정, 산출하도록 하였으므로, 그 때마다, 연산방법을 변경할 필요가 없다.
도 7은, 본 발명의 실시예 2에 관계되는 임피던스 정합장치 제어부(9A)의 기능 블록을 나타낸 도이다. 이 실시예 2에 관계되는 임피던스 정합장치에서는, 미리 소망의 입력반사계수(Γ′)를 설정하고, 그것과 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치 조합마다의 T파라미터의 데이터에 의거하여, 가상의 출력반사계수(Γo′)를 산출하여, 그 중에서 현 시점의 출력반사계수(Γo)에 가장 근사한 가상의 출력반사계수(Γo″)를 선정하고, 선정한 가상의 출력반사계수(Γo″)에 의거하여 임피던스를 조정하는 점에서 실시예 1의 임피던스 정합장치와 다르다.
이하, 임피던스 정합장치(3)의 동작을, 도 7에 나타낸 제어부(9A)의 기능 블록도, 및 도 8에 나타낸 플로차트를 참조하여 설명한다. 실시예 2에 관계되는 제어 부(9A)는, 벡터화부(21), 진행파 반사파 산출부(22), 제 1T파라미터 참조부(23), 출력반사계수 산출부(31), 제 2T파라미터 참조부(25), 가상 출력반사계수 산출부(32), 메모리(33), 및 반사계수 특정부(34)에 의해 구성된다. 상기 구성에 있어서, 실시예 1과 동일한 기호를 부여한 부분에 대해서는, 동일한 기능을 갖는 것으로 한다. 그 밖의 구성에 대해서는, 실시예 1의 구성과 대략 같다.
또한, 출력반사계수 산출부(31)는 본 발명의 제 3산출수단으로, 가상 출력반사계수 산출부(32) 및 제 2T파라미터 참조부(25)로 구성되는 부분은 제 4산출수단으로, 메모리(33)는 제 3기억수단으로, 반사계수 특정부(34)는 제 2특정수단으로서 각각 기능한다.
이 실시예 2에서는, 도 8에 나타낸 스텝(S11)~스텝(S16)에 대해서, 실시예 1의 동작을 나타낸 도 5의 스텝(S1)~스텝(S6)과 같기 때문에, 이하에서는, 스텝(S17) 이후의 동작에 대해서 설명한다. 제어부(9A)는, 진행파 반사파 산출부(22)에 있어서, 현 시점의 출력단(3b)에 있어서의 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)이 산출되면(도 8의 S16 참조), 그들 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)을 출력반사계수 산출부(31)에 출력한다.
출력반사계수 산출부(31)에 있어서는, 진행파 반사파 산출부(22)로부터 출력된, 진행파 전압(Vfo) 및 반사파 전압(Vro)에 의거하여, 현 시점의 출력단(3b)에 있어서의 출력반사계수(Γo)를 산출한다(S17). 출력단(3b)에 있어서의 출력반사계수(Γo)는, 이하에 나타낸 식(6)에 의해 산출된다.
Figure 112005063145176-PAT00007
출력반사계수 산출부(31)에 있어서 산출된, 출력단(3b)에 있어서의 출력반사계수(Γo)는, 반사계수 특정부(34)에 출력된다.
한편, 제 2T파라미터 참조부(25)에서는, EEPROM(15)에 기억되어 있는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치 조합마다의 S파라미터의 데이터가 각각 판독되고, 각 S파라미터의 데이터가 각각 T파라미터로 변환된다. 변환된 T파라미터는, 대응하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보(조정위치의 조합정보)와 함께 가상 출력반사계수 산출부(32)에 출력된다.
또한, 제 2T파라미터 참조부(25)로부터 출력되는 T파라미터의 순서가 미리 정해져 있어, T파라미터와 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보의 대응관계가 가상 출력반사계수 산출부(32)에 있어서 식별 가능한 경우에는, T파라미터에 대응하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보를 생략하고 T파라미터만을 출력하도록 해도 된다.
또, 이들 T파라미터는, 예를 들어 제품출하 전에 임피던스 정합장치(3)의 S파라미터가 측정될 때에 T파라미터로 변환된 후에, EEPROM(15)에 미리 저장되어 있어도 된다.
T파라미터가 EEPROM(15)에 미리 저장되어 있는 경우, 제 2T파라미터 참조부(25)에서는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대응하는 T파라미터의 데이터를 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보(조정위치의 조합정보)와 함께 EEPROM(15)으로부터 판독하여, 가상 출력반사계수 산출부(32)에 출력하도록 해도 된다.
혹은, 제 2T파라미터 참조부(25)를 생략하고, 가상 출력반사계수 산출부(32)에, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대응하는 T파라미터의 데이터를 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보(조정위치의 조합정보)와 함께 EEPROM(15)으로부터 판독하는 기능을 부가해도 된다.
여기에서, 가상 출력반사계수 산출부(32)에서는, 미리 목표가 되는 입력반사계수(Γ′)(이하 「목표 입력반사계수(Γ′)」라 함)가 설정되어 있다(통상, 입력단(3a)에 있어서 반사파가 최소가 되는 입력반사계수(Γ′)가 설정된다.). 이 목표 입력반사계수(Γ′)는, 식(7)에 의해 나타낼 수 있다.
Figure 112005063145176-PAT00008
식(7)에 있어서, Zin은 목표 임피던스로서, 실수부 Rin 및 허수부 Xin의 합인 Zin=Rin+jXin으로 표시된다. 또, Zo는 특성 임피던스이다. 또한, 가상 출력반사계수 산출부(32)에서는, 목표 입력반사계수(Γ′)가 직접적으로 설정되는 대신에, 상기 목표 임피던스(Zin) 및 특성 임피던스(Zo)가 미리 설정되고, 이들이 목표 입력반사계수(Γ′)로 변환되어 설정되도록 해도 된다.
가상 출력반사계수 산출부(32)에서는, 설정된 목표 입력반사계수(Γ′)와, 제 2T파라미터 참조부(25)로부터 출력되는 T파라미터에 의거하여, 출력단(3b)에 있 어서의 가상의 출력반사계수(Γo′)(이하 「가상 출력반사계수(Γo′)」라 함.)가 산출된다(S18).
구체적으로는, 가상 출력반사계수(Γo′)는, 식(8)에 의해 산출된다. 가상 출력반사계수(Γo′)는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합마다의 S파라미터(또는 T파라미터)에 대해서 각각 산출된다.
Figure 112005063145176-PAT00009
여기에서, T11″, T21″, T12″, T22″는, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 각 조정위치에 대한 T파라미터의 각 파라미터이다.
또한, 식(8)은, 이하와 같이 하여 유도할 수 있다. 가상 출력반사계수(Γo′)는, 출력단에 있어서의 반사파 전압(Vro)을 진행파 전압(Vfo)으로 나눈 몫으로 표시되어,Γo′=Vro/Vfo가 된다. 반사파 및 진행파 전압(Vro, Vfo)은, 식(3)을 참조하고 T파라미터를 고려하면, Vfo=T11″·Vfi+T12″·Vri, Vro=T21″·Vfi+T22″·Vri로 표시된다(Vfi, Vri는, 출력단(3b)에 있어서의 진행파 및 반사파 전압). 따라서,Γo′=(T21″·Vfi+T22″·Vri)/(T11″·Vfi+T12″·Vri)가 된다. 여기에서, 입력반사계수(Γ′)는 Γ′=Vri/Vfi이므로, Γo′={T21″·Vfi+T22″·(Γ′·Vfi)}/(T11″·Vfi+T12″·(Γ′·Vfi)}=(T21″+T22″·Γ′)/(T11″+T12″·Γ′)가 된다.
가상 출력반사계수 산출부(32)에 있어서 산출된, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대한 가상 출력반사계수(Γo′)는, 대응하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보(조정위치의 조합정보)와 함께 순차, 메모리(33)로 출력되어, 메모리(33)에 일단 기억된다(S19).
또한, 가상 출력반사계수 산출부(32)로부터 출력되는 가상 출력반사계수(Γo′)의 순서가 미리 정해져 있어, 가상 출력반사계수(Γo′)와 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보의 대응관계가 메모리(33)에 있어서 식별 가능한 경우에는, 가상 출력반사계수(Γo′)에 대응하는 가변 커패시터(VC1, VC2)의 위치정보를 생략하고 가상 출력반사계수(Γo′)만을 출력하도록 해도 된다.
반사계수 특정부(34)에서는, 가상 출력반사계수 산출부(32)에서 산출되어 메모리(33)에 기억된, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대한 가상 출력반사계수(Γo′) 중, 출력반사계수 산출부(31)로부터 출력된 출력단(3b)에 있어서의 출력반사계수(Γo)에, 가장 근사한 가상 출력반사계수(Γo″)가 선정된다.
예를 들어, 반사계수는, 실수부와 허수부의 합(실수부를 u, 허수부를 v로 하면, 반사계수(Γ)는, Γ=u+jv로 나타낼 수 있다.)에 의해 표시되기 때문에, uv좌표상에 있어서의 반사계수간의 거리는 용이하게 구할 수 있다. 즉, 도 9에 나타낸 바와 같이, 출력반사계수(Γo)를 uo+jvo, 어떤 가상 출력반사계수(Γ1)를 u1+jv1로 하면, uv좌표상에 있어서의 양자의 거리(L1)는, L1=√{(uo-u1)2+(vo-v1)2}로 구할 수 있다.
또, 가상 출력반사계수(Γ1)와는 다른 가상 출력반사계수(Γ2)(u2+jv2)와, 출력반사계수(Γo)의 거리(L2)는, L2=√{(uo-u2)2+(vo-v2)2}로 구할 수 있다. 따라서, 거리(L1, L2) 중 짧은 쪽의 거리에 대응하는 가상 출력반사계수(이 경우 Γ2)를, 출력반사계수(Γo)에 가장 근사한 가상 출력반사계수(Γo″)로서 선정하면 된다.
다음으로, 반사계수 특정부(34)에서는, 선정된 가상 출력반사계수(Γo″)에 대응된 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치가 목표위치로서 특정된다. 선정된 가상 출력반사계수(Γo″)가, 예를 들어 도 6에 나타낸 A점에 있어서의 조정위치를 갖고 있는 경우, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정위치(4,3)가 목표위치로서 특정된다.
즉, 출력단(3b)에 있어서의 출력반사계수(Γo)에 가장 근사한 가상 출력반사계수(Γo″)에 대응하는 조정위치에 가변 커패시터(VC1, VC2)가 조정된 경우에, 반사계수는 미리 설정된 목표 입력반사계수(Γ′)에 가장 근사하게 된다. 목표 입력반사계수(Γ′)는 통상은 최소치, 즉 0(목표 입력반사계수(Γ′)를 실수부와 허수부의 합으로 표시한 경우, Γ′=0+j0)이므로, 상술한 바와 같이 하여 가변 커패시터(VC1, VC2)를 조정하면, 입력단(3a)에 있어서의 반사파가 최소가 되는 임피던스 정합을 실행할 수 있다. 물론, 실시예 1에서 설명한 바와 같이, 목표 입력반사계수(Γ′)를 0 이외로 설정해도 된다. 또, 목표 입력반사계수(Γ′)를 설정하기 위한 설정부가 설치되어, 이 설정부에 있어서 목표 입력반사계수(Γ′)를 수시로 변경할 수 있도록 해도 된다.
반사계수 특정부(34)에 있어서 선정된 가변 커패시터(VC1, VC2)의 목표 위치정보는, 조정부(11, 12)로 송신되고(S20), 이것에 의해, 가변 커패시터(VC1, VC2)는, 특정된 조정위치로 변이된다.
이와 같이, 이 실시예 2에 의하면, 실시예 1과 마찬가지로, 임피던스 정합장치(3) 전체를 전송장치로서 취급하고, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 조정 가능한 범위에 대해서 이 전송장치의 전송특성을 S파라미터 또는 T파라미터의 정보로서 취득해 두고, 이들 정보를 사용하여 임피던스 정합을 실행하므로, 종래의 임피던스 정합방법에 비해 고정밀도로 임피던스 정합을 실행할 수 있다.
또, 미리 목표가 되는 입력반사계수(Γ′)를 설정하기 때문에, 시스템 가동 후에, 목표가 되는 입력반사계수(Γ′)의 값을 변경하지 않는 한, 가상 출력반사계수 산출부(32)에 있어서, 가변 커패시터(VC1, VC2)의 모든 조정위치의 조합에 대한 가상 출력반사계수(Γo′)의 산출연산은, 한번에 끝낼 수 있다. 실시예 1의 제어부(9)에서는, 부하 변동시마다, 가상 입력반사계수 산출부(24)에 있어서 입력단(3a)에 있어서의 진행파 전압(Vfi′) 및 반사파 전압(Vri′)의 산출연산을 몇 번이고 실행해야 하지만, 실시예 2에서는, 한번에 끝낼 수 있으므로, 산출부하를 큰 폭으로 저감할 수 있다. 또, 실시예 2에서는, 실시예 1과 같이 T파라미터의 역행렬식을 사용하는 일은 없기 때문에, T파라미터의 역행렬식이 기억되는 기억영역이 필요 없다는 이점이 있다.
물론, 이 발명의 범위는 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 실시예에서는, 단자회로망의 특성 파라미터로서 S파라미터나 T파라미터를 사 용했지만, 특성 파라미터로서는 이들로 한정하는 것은 아니다. 예를 들어 특성 파라미터로서는 Z파라미터나 Y파라미터라도 되고, 이 경우는, 이들 파라미터를 상술한 T파라미터로 변환하여 상술한 임피던스 정합처리를 실행하도록 해도 된다.
또, 상기 실시예에서는, 인덕터(L1) 및 가변 커패시터(VC1, VC2)로 이루어지는 역L형의 정합회로를 갖는 임피던스 정합장치(3)에 대해서 설명했지만, 정합회로의 구성도 상기 실시예의 구성으로 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 π형, T형, L형 등의 구성의 정합회로를 채용해도 된다. 또, 임피던스 가변소자로서 가변 커패시터 대신에, 가변 인덕터를 채용해도 된다.
본 발명에 대해서, 이상과 같이 설명했지만, 이것을 다른 다양한 형태로 수정할 수 있음은 분명하다. 이러한 수정은, 본 발명의 사상 및 범위로부터 일탈하는 것이 아니며, 당업자에게 자명한 모든 변경은, 이하의 청구범위에 포함되어야 한다.
본 발명에 따르면, 특히, 고주파영역에 있어서 고정밀도로 임피던스 정합을 실행할 수 있는 임피던스 정합장치가 제공될 수 있다.

Claims (7)

  1. 고주파전원과 부하 사이에 설치되고, 임피던스 가변소자의 임피던스를 변화시킴으로써, 상기 고주파전원과 부하의 임피던스를 정합시키기 위한 임피던스 정합장치로서,
    상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의, 상기 고주파전원으로부터 상기 부하측으로 진행하는 진행파에 관한 정보 및 상기 부하로부터 상기 고주파전원측으로 진행하는 반사파에 관한 정보를 검출하는 고주파 정보검출수단과,
    상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보를 검출하는 가변소자 정보검출수단과,
    미리 측정함으로써 취득된, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 특성 파라미터를, 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와 대응관계를 갖게 하여 기억하는 제 1기억수단과,
    상기 가변소자 정보검출수단에 의해 검출된 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와, 상기 제 1기억수단에 기억된 상기 특성 파라미터와, 상기 고주파 정보검출수단에 의해 검출된 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보를 산출하는 제 1산출수단과,
    상기 제 1산출수단에 의해 산출된 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보와, 상기 제 1기억수단에 기억된 복수의 상기 특성 파라미터에 의거하여, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의 입력반사계수를 산출하는 제 2산출수단과,
    상기 제 2산출수단에 의해 산출된 복수의 입력반사계수를, 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와 대응관계를 갖게 하여 기억하는 제 2기억수단과,
    상기 제 2기억수단에 기억된 복수의 입력반사계수 중, 미리 설정된 소망의 목표 입력반사계수에 가장 근사한 입력반사계수를 선정하고, 선정한 입력반사계수에 대응하는 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보를 특정하는 제 1특정수단과,
    상기 제 1특정수단에 의해 특정된 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 가변소자의 임피던스를 조정하는 조정수단,
    을 구비한 것을 특징으로 하는 임피던스 정합장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제 2산출수단은,
    상기 제 1산출수단에 의해 산출된 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보와, 상기 제 1기억수단에 기억된 복수의 상기 특성 파라미터에 의거하여, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보를 산출하고, 이 산출된 상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보에 의거하여, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 입력반사계수를 산출하는 임피던스 정합장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 소망의 목표 입력반사계수를 설정하는 설정수단이 추가로 설치된 임피던스 정합장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 특성 파라미터는, S파라미터, 또는 이 S파라미터로부터 변환됨으로써 취득된 T파라미터인 임피던스 정합장치.
  5. 고주파전원과 부하 사이에 설치되고, 임피던스 가변소자의 임피던스를 변화시킴으로써, 상기 고주파전원과 부하의 임피던스를 정합시키기 위한 임피던스 정합장치로서,
    상기 임피던스 정합장치의 입력단에 있어서의, 상기 고주파전원으로부터 상기 부하측으로 진행하는 진행파에 관한 정보 및 상기 부하로부터 상기 고주파전원측으로 진행하는 반사파에 관한 정보를 검출하는 고주파 정보검출수단과,
    상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보를 검출하는 가변소자 정보검출수단과,
    미리 측정함으로써 취득된, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 특성 파라미터를, 상기 임피던스 가변소자 의 가변값에 관한 정보와 대응관계를 갖게 하여 기억하는 제 1기억수단과,
    상기 가변소자 정보검출수단에 의해 검출된 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와, 상기 제 1기억수단에 기억된 상기 특성 파라미터와, 상기 고주파 정보검출수단에 의해 검출된 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보를 산출하는 제 1산출수단과,
    상기 제 1산출수단에 의해 산출된 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 진행파에 관한 정보 및 반사파에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 반사계수를 산출하는 제 3산출수단과,
    미리 설정된 소망의 목표 입력반사계수와, 상기 제 1기억수단에 기억된 복수의 특성 파라미터에 의거하여, 상기 제 1기억수단에 기억된, 복수의 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 대한 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 반사계수를 산출하는 제 4산출수단과,
    상기 제 4산출수단에 의해 산출된 복수의 반사계수를, 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보와 대응관계를 갖게 하여 기억하는 제 3기억수단과,
    상기 제 3기억수단에 기억된 복수의 반사계수 중, 상기 제 3산출수단에 의해 산출된 상기 임피던스 정합장치의 출력단에 있어서의 반사계수에 가장 근사한 반사계수를 선정하고, 선정한 반사계수에 대응하는 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보를 특정하는 제 2특정수단과,
    상기 제 2특정수단에 의해 특정된 상기 임피던스 가변소자의 가변값에 관한 정보에 의거하여, 상기 임피던스 가변소자의 임피던스를 조정하는 조정수단,
    을 구비한 것을 특징으로 하는 임피던스 정합장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 소망의 목표 입력반사계수를 설정하는 설정수단이 추가로 설치된 임피던스 정합장치.
  7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 특정 파라미터는, S파라미터, 또는 이 S파라미터로부터 변환됨으로써 취득된 T파라미터인 임피던스 정합장치.
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