KR20060016314A - 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블 - Google Patents

칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블 Download PDF

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Abstract

본 발명은 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블에 관한 것으로, 척 테이블의 분리 및 조립 작업을 신속하게 진행할 수 있도록, 척 테이블 블록의 가장자리 부분이 밀착되는 베이스 블록의 가장자리 부분에 진공 라인을 형성하여 진공 흡착 방식으로 척 테이블 블록을 베이스 블록에 고정시키는 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블을 제공한다.
칩 스케일 패키지, 분리, 쏘잉, 조립, 척 테이블

Description

칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블{Chuck table of Apparatus for cutting and sorting chip scale package}
도 1은 종래기술에 따른 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 분리부의 척 테이블의 결합 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블을 보여주는 결합 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 설명 *
121 : 베이스 블록 123 : 척 테이블 블록
124 : 구동 테이블 125 : 진공 라인
126 : 척 테이블 127 : 제 1 진공 흡착 구멍
129 : 제 2 진공 흡착 구멍
본 발명은 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 분리부의 척 테이블의 조립 및 분리 작업을 쉽게 진행할 수 있도록 진공 흡착 방식으로 설치된 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블에 관한 것이다.
칩 스케일 패키지(Chip Scale Package; CSP)는 제조시 인쇄회로기판 또는 테이프 배선기판과 같은 배선기판에 다수개를 일괄적으로 제조하게 되는데, 솔더 볼을 형성하는 공정 이후에 배선기판에 형성된 CSP를 CSP 분리 및 분류 장치를 이용하여 개별 CSP로 분리한 다음 분류 공정을 진행한다.
도 1은 종래기술에 따른 CSP 분리 및 분류 장치(50)를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, CSP 분리 및 분류 장치(50)는 다수개의 CSP가 일괄적으로 형성된 배선기판(13; 이하, "프레임"이라 한다)을 공급하는 프레임 공급부(10)와, 프레임 공급부(10)에서 공급된 프레임(13)을 개별 CSP(15; 이하, "단품"이라 한다)로 분리하는 분리부(20)와, 분리부(20)에서 언로딩된 단품(15)을 분류하는 분류부(30)를 포함한다.
프레임 공급부(10)는 다수개의 프레임(13)이 적재된 공급용 트레이(12)와, 공급용 트레이(12)에서 공급된 프레임(13)이 탑재되는 공급 테이블(14)과, 공급 테이블(14)에 공급된 프레임(13)을 분리부(20)로 로딩하고, 분리 공정이 완료된 단품(15)들을 분류부(30)로 언로딩하는 이송기(16)를 포함한다. 이송기(16)는 프레임(13)을 흡착하여 이송하는 프레임 피커(17)와, 단품(19)들을 흡착하여 이송하는 단품 피커(19)를 갖는다. 이때, 공급 테이블(14)로 공급되는 프레임(13)은 분리 공정을 용이하게 진행할 수 있도록 솔더 볼과 같은 외부접속단자가 상부면을 향하도록 공급된다.
분리부(20)는 이송기(16)로 공급된 프레임(13)이 탑재되어 흡착되는 척 테이 블(26)과, 척 테이블(26) 아래에 설치되어 척 테이블(26)을 전후좌우 및 회전 운동시키는 구동 테이블(24)과, 척 테이블(26)에 탑재된 프레임(13)을 단품(15)으로 절단하는 분리기(22)를 포함한다. 분리기(22)는 단품 분리 공정과 더불어 단품 분리 공정에 사용되는 세정수로 빈 상태로 투입되는 척 테이블(26)을 세정하는 공정도 진행한다.
그리고 분류부(30)는 분리 공정이 완료된 단품(15)들이 이송기(16)에 의해 척 테이블(26)에서 언로딩되어 로딩되며, 로딩된 단품(15)들을 180도 반전시키는 역전 테이블(32)과, 역전 테이블(32)에서 180도 반전된 단품(15)들이 탑재되는 분류 테이블(34)과, 분류 테이블(34)에 탑재된 단품(15)들을 수납용 트레이(38)로 이송하는 분류기(36)를 포함한다. 이때, 척 테이블(26)에서 역전 테이블(32)로 언로딩되는 단품(15)들은 외부접속단자가 위를 향하고 있기 때문에, 역전 테이블(32)로 단품(15)의 외부접속단자가 아래를 향하도록 반전시킨 다음 분류 공정을 진행한다.
한편 분리부의 척 테이블(26)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 중심 부분에 다수개의 제 1 진공 흡착 구멍(27)이 형성된 베이스 블록(21)과, 베이스 블록(21) 위에 설치되며 개별 칩 스케일 패키지에 대응되게 제 2 진공 흡착 구멍(29)이 형성된 척 테이블 블록(23)을 포함한다. 이때 베이스 블록(21)의 가장자리 부분에 척 테이블 블록(23)의 가장자리 부분이 탑재되고, 제 1 진공 흡착 구멍(27)과 제 2 진공 흡착 구멍(29)이 서로 연결될 수 있도록, 제 1 진공 흡착 구멍(27)이 형성된 베이스 블록(29)의 상부면의 중심 부분은 포켓(28; pocket) 형태로 형성된다.
이때 척 테이블 블륵(23)에 대한 유지보수작업을 비롯한 칩 스케일 패키지의 품종에 따라서 교체할 수 있도록 베이스 블록(21)에 볼트 체결 방식으로 설치된다. 즉, 베이스 블록(21) 위에 척 테이블 블록(23)을 탑재시킨 상태에서, 베이스 블록(21)과 척 테이블 블록(23)의 가장자리 부분에 소정의 간격을 두고 8개의 볼트(25)로 체결하여 고정한다.
그런데 척 테이블 블록(23)을 교체하기 위해서는 8개의 볼트(25)를 풀고 조이는 작업을 반복해야 하기 때문에, 종래에는 척 테이블(26)의 분리 및 조립하는 데 시간이 많이 소요되었다.
따라서, 본 발명의 목적은 척 테이블의 분리 및 조립 작업을 신속하게 진행할 수 있도록 하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 척 테이블 블록의 가장자리 부분이 밀착되는 베이스 블록의 가장자리 부분에 진공 라인을 형성하여 진공 흡착 방식으로 척 테이블 블록을 베이스 블록에 고정시키는 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블을 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시 형태에 있어서, 중심 부분에 다수개의 제 1 진공 흡착 구멍이 형성되어 있는 베이스 블록과; 상기 베이스 블록의 가장자리 부분에 밀착되어 설치되고, 상기 제 1 진공 흡착 구멍들과 연결되며 개별 칩 스케일 패키지에 대응되게 제 2 진공 흡착 구멍이 형성된 척 테이블 블록;을 포함하며,
상기 척 테이블 블록의 가장자리 부분이 밀착되는 상기 베이스 블록의 가장 자리 부분에 진공 라인을 형성하여 진공 흡착 방식으로 상기 척 테이블 블록을 상기 베이스 블록에 고정시키는 것을 특징으로 하는 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블을 제공한다.
본 발명에 따른 진공 라인은 베이스 블록의 가장자리 부분을 따라서 연속적으로 또는 불연속적으로 형성할 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블(126)을 보여주는 결합 사시도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블(126)은 중심 부분에 다수개의 제 1 진공 흡착 구멍(127)이 형성되어 있는 베이스 블록(121)과, 베이스 블록(121)의 가장자리 부분에 밀착되어 설치되고, 제 1 진공 흡착 구멍들(127)과 연결되며 개별 칩 스케일 패키지에 대응되게 제 2 진공 흡착 구멍(129)이 형성된 척 테이블 블록(123)을 포함한다. 특히 척 테이블 블록(123)의 가장자리 부분이 밀착되는 베이스 블록(121)의 가장자리 부분에 진공 라인(125)이 형성되어 진공 흡착 방식으로 척 테이블 블록(123)을 베이스 블록(121)에 고정시킨다. 도면부호 124는 척 테이블(126)이 설치되는 구동 테이블을 나타낸다.
즉, 진공 라인(125)의 진공의 개폐로 베이스 블록(121) 위에서 척 테이블 블록(123)을 분리 또는 고정할 수 있기 때문에, 본 발명의 실시예에 따른 척 테이블 (126)의 분리 및 조립 작업은 종래의 볼트 체결 방식에 비해서 신속하게 진행할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 제 1 진공 흡착 구멍(127)과 진공 라인(125)은 독립적으로 진공을 제공되는 것이 바람직하다. 즉, 진공 라인(125)을 통한 척 테이블 블록(123)의 진공 흡착은 척 테이블 블록(123)의 교체 작업이 이루어지기 전까지 계속해서 이루어져야 하고, 반면에 제 1 진공 흡착 구멍(127)은 분리 공정을 진행할 프레임이 척 테이블 블록(123) 위에 탑재될 때만 진공 흡착이 이루어져야 하기 때문에, 진공 라인(125)과 제 1 진공 흡착 구멍(127)에는 독립적으로 진공이 제공된다.
그리고 본 발명의 실시예에서는 진공 라인(125)을 베이스 블록(121)의 가장자리 부분을 따라서 연속적으로 형성된 예를 개시하였지만, 불연속적으로 형성할 수도 있다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다. 예컨대, 베이스 블록에 척 테이블 블록을 탑재할 때 위치 정렬을 용이하게 진행할 수 있도록, 진공 라인의 외측의 베이스 블록의 상부면에 가이드 핀을 형성하고, 가이드 핀에 대응되게 척 테이블 블록에 가이드 구멍을 형성할 수도 있다.
따라서, 본 발명의 구조를 따르면 척 테이블 블록의 가장자리 부분이 밀착되는 베이스 블록의 가장자리 부분에 진공 라인이 형성되어 진공 흡착 방식으로 척 테이블 블록을 베이스 블록에 고정시키기 때문에, 종래의 볼트 체결 방식에 비해서 척 테이블의 분리 및 조립 작업을 신속하게 진행할 수 있다.

Claims (3)

  1. 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블로서,
    중심 부분에 다수개의 제 1 진공 흡착 구멍이 형성되어 있는 베이스 블록과;
    상기 베이스 블록의 가장자리 부분에 밀착되어 설치되고, 상기 제 1 진공 흡착 구멍들과 연결되며 개별 칩 스케일 패키지에 대응되게 제 2 진공 흡착 구멍이 형성된 척 테이블 블록;을 포함하며,
    상기 척 테이블 블록의 가장자리 부분이 밀착되는 상기 베이스 블록의 가장자리 부분에 진공 라인을 형성하여 진공 흡착 방식으로 상기 척 테이블 블록을 상기 베이스 블록에 고정시키는 것을 특징으로 하는 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 진공 라인은 상기 베이스 블록의 가장자리 부분을 따라서 연속적으로 형성된 것을 특징으로 하는 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 진공 라인은 상기 베이스 블록의 가장자리 부분을 따라서 불연속적으로 형성된 것을 특징으로 하는 칩 스케일 패키지 분리 및 분류 장치의 척 테이블.
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