KR20050107461A - 상태 검출 장치 및 상태 검출 방법과 상태 검출용 프로그램및 정보 기록 매체 - Google Patents

상태 검출 장치 및 상태 검출 방법과 상태 검출용 프로그램및 정보 기록 매체 Download PDF

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Abstract

리니어 롤링 안내 장치에서의 현재의 동작 상태를 검출하는 상태 검출 장치로서, 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 복수의 볼 각각의 롤링 및 해당 볼 상호의 충돌에 적어도 기인하여 탄성적으로 발생하는 파동을 검출하고, 상기 검출한 파동에 대응하는 전기적인 검출 신호를 생성하는 AE 센서(1), 파형 정형부(2) 및 A/D 컨버터(3)와, 생성된 검출 신호 Sse에 기초하여, 동작 상태의 내용을 판정하는 신호 처리부(4)를 구비한다.

Description

상태 검출 장치 및 상태 검출 방법과 상태 검출용 프로그램 및 정보 기록 매체{CONDITION-DETECTING DEVICE, METHOD, AND PROGRAM, AND INFORMATION-RECORDING MEDIUM}
본 발명은 상태 검출 장치 및 상태 검출 방법과 상태 검출용 프로그램 및 정보 기록 매체의 기술 분야에 속하고, 보다 상세하게는, 리니어 롤링 안내 장치의 가동 중에서의 상기 리니어 롤링 안내 장치의 동작 상태를 검출하는 상태 검출 장치 및 상태 검출 방법과 상기 동작 상태 검출을 위한 상태 검출용 프로그램 및 상기 상태 검출용 프로그램이 컴퓨터로 판독 가능하게 기록된 정보 기록 매체의 기술 분야에 속한다.
종래, 레일과, 상기 레일 위를 그 길이 방향으로 이동하는 이동 블록과, 상기 레일과 상기 이동 블록 사이에 개재하고 그 자체가 회전(자전)하면서 순환(공전)하며 상기 이동 블록을 고정밀도로 이동시키는 복수의 볼(전동체)을 포함하는, 소위 리니어 롤링 안내 장치가 널리 일반화되어 있고, 구체적으로는, 공작 기계의 작업대의 3차원 운동이나, 진자 전차에서의 진자 운동을 지지하는 부재, 또한 건물의 면진 구조에까지 활용 범위가 확대되고 있다.
그리고, 이러한 활용 범위의 확대에 수반하여, 리니어 롤링 안내 장치에서의 고장 예방에 대해서도 요구가 높아지고 있고, 이를 위한 동작 상태의 진단법에 대해서도 고정밀도의 것이 요구되고 있다.
여기서, 리니어 롤링 안내 장치를 제외한 종래의 일반적인 기계 시스템(예를 들면, 볼 베어링을 포함하는 회전용 롤링 축받이 장치 등)에서의 동작 상태의 진단 방법으로서는, 그 기계 시스템에서의 진동의 발생 상태를 감시하여 동작 상태의 진단을 행하는 진동 검출법, 그 기계 시스템에 이용되고 있는 윤활유를 취출하고 그 질을 평가함으로써 동작 상태의 진단을 행하는 유(油) 평가법, 그 기계 시스템 내에서 윤활유를 통하여 구동되고 있는 부재 간의 전기 저항을 측정하여 동작 상태의 진단을 행하는 전기 저항법, 또는 그 기계 시스템 내에서 윤활유를 통하여 구동되고 있는 부재의 온도를 열 전도 등을 이용하여 측정하여 동작 상태의 진단을 행하는 온도 측정법 등이 있다.
그러나, 이들 진단 방법을 리니어 롤링 안내 장치에 적용하는 경우, 이하와 같은 문제점이 있었다.
즉, 진동 검출법을 이용한 경우에는, 리니어 롤링 안내 장치에서는 전동체로서의 볼이 스스로 자전하면서 순환부 내를 공전하므로, 이상(異常)을 나타내는 진동 이외의 진동 발생원이 많아, 본래 검출해야 할 진동을 정확하게 검출할 수 없다고 하는 문제점이 있었다.
또한, 유 평가법을 이용한 경우에는, 진단 대상인 리니어 롤링 안내 장치에서의 사용 전의 윤활유와 사용 후의 윤활유를 각각에 그 장치 자체로부터 취출하여 검사할 필요가 있어 진단 결과가 얻어지기까지 여분의 시간이 필요하게 됨과 함께, 리니어 롤링 안내 장치 자체를 일단 정지시켜 윤활유 취출 작업을 행할 필요가 있어 가동 효율이 저하된다는 문제점이 있었다.
또한, 전기 저항법 및 온도 측정법을 이용한 경우에는, 둘 다 전기적인 잡음에 대하여 취약함과 함께, 상기 이동 블록의 이동 속도가 느릴 때에는 측정을 할 수 없는 경우가 있다고 하는 문제점이 있었다.
따라서, 종래에는, 리니어 롤링 안내 장치의 동작 상태를 실시간으로 정확하게 진단하는 것은 곤란하였다.
그래서, 본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 과제는, 리니어 롤링 안내 장치에서의 동작 상태를 실시간으로 정확하게 검출함으로써, 상기 리니어 롤링 안내 장치에서의 고장의 발생 예지를 가능하게 하고, 또한, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 사용자에의 정비성을 향상시켜, 그 장기 수명화 및 상기 리니어 롤링 안내 장치를 조립한 장치 또는 기기의 품질 향상에 더욱 이바지하는 것이 가능한 상태 검출 장치 및 상태 검출 방법과 상기 동작 상태 검출을 위한 상태 검출용 프로그램 및 상기 상태 검출용 프로그램이 컴퓨터로 판독 가능하게 기록된 정보 기록 매체를 제공하는 것에 있다.
도 1은 본 발명의 원리를 설명하는 도면으로서, (a) 및 (b)는 실시 형태에 따른 확장 AE파의 발생을 도시하는 도면이고, (c)는 확장 AE파에 대응하는 포락선 검파 파형의 예를 도시하는 도면임.
도 2는 실시 형태의 상태 검출 장치의 구성을 도시하는 블록도.
도 3은 실시 형태의 AE 센서의 구성을 도시하는 종단면도.
도 4는 실시 형태의 AE 센서의 설치 양태를 도시하는 도면(Ⅰ)으로서, (a)는 이동 블록을 포함하는 LM 시스템의 구조를 도시하는 외부 사시도, (b)는 내부 사시도, (c)는 상기 LM 시스템에 AE 센서를 설치하는 경우의 위치의 예를 도시하는 외관 측면도.
도 5는 실시 형태의 이동 블록을 포함하는 LM 시스템의 측면도.
도 6은 실시 형태의 AE 센서의 설치 양태를 도시하는 도면(Ⅱ)으로서, (a)는 볼 나사를 포함하는 LM 시스템의 구조를 도시하는 사시도, (b)는 상기 LM 시스템에 AE 센서를 설치하는 경우의 위치의 예를 도시하는 외관 측면도.
도 7은 실시 형태의 동작 상태 검출 처리를 도시하는 플로우차트.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 1에 기재된 발명은, 리니어 롤링 안내 장치에서의 현재의 동작 상태를 검출하는 상태 검출 장치로서, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 복수의 전동체가 순환부 내를 공전할 때에 생기는, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 이동 부재 또는 궤도 부재와 상기 전동체와의 접촉 또는 충돌, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 전동면과 상기 전동체와의 접촉, 및 해당 전동체끼리의 충돌 중 어느 하나에 적어도 기인하여 탄성적으로 발생하는 파동을 검출하고, 상기 검출된 파동에 대응하는 전기적인 검출 신호를 생성하는 AE(Acoustic Emission) 센서 등의 검출 수단과, 상기 생성된 검출 신호에 기초하여, 상기 동작 상태의 내용을 판정하는 신호 처리부 등의 판정 수단을 구비한다.
따라서, 리니어 롤링 안내 장치의 가동에 의해 탄성적으로 발생하는 상기 파동을 검출하여 상기 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태를 검출하기 때문에, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 가동 중에, 실시간으로, 상기 리니어 롤링 안내 장치를 분해하지 않고, 상기 가동에 기인하는 진동의 영향을 배제하면서, 그 동작 상태를 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 상태 검출 장치로서, 상기 판정 수단은, 상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 신호 처리부 등의 주기성 판정 수단과, 상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 최대치를 검출하는 신호 처리부 등의 최대치 검출 수단과, 상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 신호 처리부 등의 최대치 판정 수단과, 상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 신호 처리부 등의 상태 판정 수단으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있다고 판정하고 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 윤활 불량 상태의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 상태 검출 장치로서, 상기 판정 수단은, 상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 신호 처리부 등의 주기성 판정 수단과, 상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호의 최대치를 검출하는 신호 처리부 등의 최대치 검출 수단과, 상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 신호 처리부 등의 최대치 판정 수단과, 상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 미만일 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 사상율을 검출하는 신호 처리부 등의 사상율 검출 수단과, 상기 검출된 사상율이 미리 설정된 사상율 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 신호 처리부 등의 사상율 판정 수단과, 상기 검출된 사상율이 상기 사상율 임계치 미만일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있을 가능성이 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 신호 처리부 등의 상태 판정 수단으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 검출 신호에서의 사상율이 사상율 임계치 미만일 때, 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있을 가능성이 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 윤활 불량 상태 발생의 가능성을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 상태 검출 장치로서, 상기 판정 수단은, 상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 신호 처리부 등의 주기성 판정 수단과, 상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호의 최대치를 검출하는 신호 처리부 등의 최대치 검출 수단과, 상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 신호 처리부 등의 최대치 판정 수단과, 상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 미만일 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 사상율을 검출하는 신호 처리부 등의 사상율 검출 수단과, 상기 검출된 사상율이 미리 설정된 사상율 임계치인지의 여부를 판정하는 신호 처리부 등의 사상율 판정 수단과, 상기 검출된 사상율이 상기 사상율 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치에서 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 신호 처리부 등의 상태 판정 수단으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 검출 신호에서의 사상율이 사상율 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치에서 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 플레이킹의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 상태 검출 장치로서, 상기 판정 수단은, 상기 검출된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 신호 처리부 등의 주기성 판정 수단과, 상기 주기성이 없다고 판정하였을 때, 상기 검출된 검출 신호의 실효치를 검출하는 신호 처리부 등의 실효치 검출 수단과, 상기 검출된 실효치가 미리 설정된 실효치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 신호 처리부 등의 실효치 판정 수단과, 상기 검출된 실효치가 상기 실효치 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치 내에 이물이 혼입되어 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 신호 처리부 등의 상태 판정 수단으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 없고, 또한, 상기 검출 신호에서의 실효치가 실효치 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치에 이물이 혼입되어 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 이물 혼입의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 상태 검출 장치로서, 상기 판정 수단은, 상기 검출된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 신호 처리부 등의 주기성 판정 수단과, 상기 주기성이 없다고 판정하였을 때, 상기 검출된 검출 신호의 실효치를 검출하는 신호 처리부 등의 실효치 검출 수단과, 상기 검출된 실효치가 미리 설정된 실효치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 신호 처리부 등의 실효치 판정 수단과, 상기 검출된 실효치가 상기 실효치 임계치 미만일 때, 상기 현재의 동작 상태가 정상이라고 판정하고, 그 취지를 고지하는 신호 처리부 등의 상태 판정 수단으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 없고, 또한, 상기 검출 신호에서의 실효치가 실효치 임계치 미만일 때, 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태가 정상이라고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 동작 상태가 정상인지의 여부를, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 7에 기재된 발명은, 리니어 롤링 안내 장치에서의 현재의 동작 상태를 검출하는 상태 검출 방법으로서, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 복수의 전동체가 순환부 내를 공전할 때에 생기는, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 이동 부재 또는 궤도 부재와 상기 전동체와의 접촉 또는 충돌, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 전동면과 상기 전동체와의 접촉, 및 해당 전동체끼리의 충돌 중 어느 하나에 적어도 기인하여 탄성적으로 발생하는 파동을 검출하고, 상기 검출된 파동에 대응하는 전기적인 검출 신호를 생성하는 검출 공정과, 상기 생성된 검출 신호에 기초하여, 상기 동작 상태의 내용을 판정하는 판정 공정을 포함한다.
따라서, 리니어 롤링 안내 장치의 가동에 의해 탄성적으로 발생하는 상기 파동을 검출하여 상기 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태를 검출하기 때문에, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 가동 중에, 실시간으로, 상기 리니어 롤링 안내 장치를 분해하지 않고, 상기 가동에 기인하는 진동의 영향을 배제하면서, 그 동작 상태를 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 7에 기재된 상태 검출 방법으로서, 상기 판정 공정은, 상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과, 상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 최대치를 검출하는 최대치 검출 공정과, 상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 최대치 판정 공정과, 상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 윤활 불량 상태의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 7에 기재된 상태 검출 방법으로서, 상기 판정 공정은, 상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과, 상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호의 최대치를 검출하는 최대치 검출 공정과, 상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 최대치 판정 공정과, 상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 미만일 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 사상율을 검출하는 사상율 검출 공정과, 상기 검출된 사상율이 미리 설정된 사상율 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 사상율 판정 공정과, 상기 검출된 사상율이 상기 사상율 임계치 미만일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있을 가능성이 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 검출 신호에서의 사상율이 사상율 임계치 미만일 때, 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있을 가능성이 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 윤활 불량 상태 발생의 가능성을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 10에 기재된 발명은, 청구항 7에 기재된 상태 검출 방법으로서, 상기 판정 공정은, 상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과, 상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호의 최대치를 검출하는 최대치 검출 공정과, 상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 최대치 판정 공정과, 상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 미만일 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 사상율을 검출하는 사상율 검출 공정과, 상기 검출된 사상율이 미리 설정된 사상율 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 사상율 판정 공정과, 상기 검출된 사상율이 상기 사상율 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치에서 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 검출 신호에서의 사상율이 사상율 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치에서 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 플레이킹의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 7에 기재된 상태 검출 방법으로서, 상기 판정 공정은, 상기 검출된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과, 상기 주기성이 없다고 판정하였을 때, 상기 검출된 검출 신호의 실효치를 검출하는 실효치 검출 공정과, 상기 검출된 실효치가 미리 설정된 실효치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 실효치 판정 공정과, 상기 검출된 실효치가 상기 실효치 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치 내에 이물이 혼입되어 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 없고, 또한, 상기 검출 신호에서의 실효치가 실효치 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치에 이물이 혼입되어 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 이물 혼입의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 12에 기재된 발명은, 청구항 7에 기재된 상태 검출 방법으로서, 상기 판정 공정은, 상기 검출된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과, 상기 주기성이 없다고 판정하였을 때, 상기 검출된 검출 신호의 실효치를 검출하는 실효치 검출 공정과, 상기 검출된 실효치가 미리 설정된 실효치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 실효치 판정 공정과, 상기 검출된 실효치가 상기 실효치 임계치 미만일 때, 상기 현재의 동작 상태가 정상이라고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정으로 구성되어 있다.
따라서, 생성된 검출 신호에 주기성이 없고, 또한, 상기 검출 신호에서의 실효치가 실효치 임계치 미만일 때, 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태가 정상이라고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 동작 상태가 정상인지의 여부를, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 13에 기재된 발명은, 리니어 롤링 안내 장치에서의 현재의 동작 상태를 검출하는 상태 검출 장치로서, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 복수의 전동체가 순환부 내를 공전할 때에 생기는, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 이동 부재 또는 궤도 부재와 상기 전동체와의 접촉 또는 충돌, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 전동면과 상기 전동체와의 접촉, 및 해당 전동체끼리의 충돌 중 어느 하나에 적어도 기인하여 탄성적으로 발생하는 파동을 검출하고, 상기 검출된 파동에 대응하는 전기적인 검출 신호를 생성하는 검출 수단을 구비하는 상태 검출 장치에 포함되는 컴퓨터를, 상기 생성된 검출 신호에 기초하여, 상기 동작 상태의 내용을 판정하는 판정 수단으로서 기능시킨다.
따라서, 리니어 롤링 안내 장치의 가동에 의해 탄성적으로 발생하는 상기 파동을 검출하여 상기 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태를 검출하도록 컴퓨터가 기능하기 때문에, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 가동 중에, 실시간으로, 상기 리니어 롤링 안내 장치를 분해하지 않고, 상기 가동에 기인하는 진동의 영향을 배제하면서, 그 동작 상태를 검출할 수 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 14에 기재된 발명은, 청구항 13에 기재된 상태 검출용 프로그램이 상기 컴퓨터에 의해 판독 가능하게 기록되어 있다.
따라서, 상기 상태 검출용 프로그램을 컴퓨터로 판독하여 실행함으로써, 리니어 롤링 안내 장치의 가동에 의해 탄성적으로 발생하는 상기 파동을 검출하여 상기 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태를 검출하도록 상기 컴퓨터가 기능하기 때문에, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 가동 중에, 실시간으로, 상기 리니어 롤링 안내 장치를 분해하지 않고, 상기 가동에 기인하는 진동의 영향을 배제하면서, 그 동작 상태를 검출할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 적합한 실시 형태에 대하여, 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 이하에 설명하는 실시 형태는, 리니어 롤링 안내 장치(이하, 간단히 LM(Linear Motion) 시스템이라고 칭하고, 구체적으로는 소위 LM 가이드, 볼 스플라인 등의 직동(直動) 시스템을 포함하는 것으로 함)에서의 동작 상태의 검출 및 진단에 대하여 본 발명을 적용한 경우의 실시 형태이다.
(Ⅰ) 본 발명의 원리
우선, 본 발명의 실시 형태에 대하여 구체적으로 설명하기 전에, 본 발명의 원리에 대하여, 도 1을 이용하여 설명한다.
상술한 바와 같은 LM 시스템의 동작 상태의 진단 방법을 연구하는 데 있어서, 본 발명의 발명자는, 종래부터 회전용 롤링 축받이 장치에 대한 고장 진단 등에 이용되고 있는, 소위 AE 현상을, 상기 LM 시스템의 동작 상태의 진단에도 이용하는 것이 가능하다는 것을 발견하였다.
즉, LM 시스템에서 발생하는 각종 이상 동작 상태(구체적으로는, 윤활 불량, 플레이킹(즉, LM 시스템에 포함되는 전동체로서의 볼 표면 또는 그 볼이 접촉하는 궤도 부재로서의 가이드 표면에서의 박리 현상)의 발생 및 이물 혼입을 말함)의 각각에 대하여, 서로 다른 양태의 AE 현상이 일어나고, 이에 따라 각각의 이상 동작 상태가 발생한 경우에, 서로 다른 AE파가 발생하는 것을, 본 발명의 발명자는 실험적으로 확인한 것이다.
여기서, 상기 AE 현상에 대해서는, 종래에는, 「고체 재료의 파괴나 변형에 수반하여, 탄성 에너지가 해방되어 음파(AE파)가 발생하는 현상」 혹은 「재료 내부에서의 소성 변형 또는 크랙 등의 발생에 부수하여 탄성파가 발생하는 현상」이라고 정의지어져 있던 것이지만, 본 발명의 발명자는, 이들 외에 추가로, 볼 또는 가이드면에는 소성 변형이나 크랙 등이 발생하지 않지만, LM 시스템이 정상적으로 동작함으로써 일어나는 볼끼리의 충돌에만 의해서도 AE파가 발생하는 것을 확인하였다.
보다 구체적으로는, 이동 블록을 이용한 LM 시스템의 경우에 대하여 도 1의 (a)에 도시한 바와 같이, 이동 블록 C 내에 형성되어 있는 전주로(轉走路) 내를 볼 B가 자전하면서 공전하는 경우에, 그 볼 B끼리가 접촉 부위 P1에서 충돌하는 경우, 볼 B와 이동 블록 C가 접촉 부위 P2에서 충돌하는 경우, 및 볼 B와 전동면 G가 접촉 부위 P3에서 접촉하는 경우의 각각에서 AE파가 발생하는 것이 확인되었다. 또한, 도 1의 (b)에 도시한 바와 같이, 이동 블록을 이용한 LM 시스템의 경우에 대하여, 그 전주로 내에 볼 B 뿐만 아니라 소위 리테이너 R이 설치되어 있는 경우에도, 그 이동 블록 C 내의 전주로 내를 볼 B가 자전하면서 공전하는 경우에, 볼 B와 이동 블록 C가 접촉 부위 P5에서 충돌하는 경우 및 볼 B와 전동면 G가 접촉 부위 P4에서 접촉하는 경우의 각각에서 AE파가 발생하는 것이 확인되었다.
그리고, 본 발명의 발명자는, 이 AE파의 발생 양태가, 상술한 이상 동작 상태의 종류에 따라 서로 다르다는 것을 발견하였다.
또한, 상술한 바와 같이, 본 발명에서는, 종래로부터의 정의에 따른 AE 현상보다도 넓은 범위에서의 AE 현상의 발생을 전제로 하기 때문에, 이하의 설명에서는, 특히 본 발명에 적용되는 AE 현상을 확장 AE 현상이라고 칭하고, 상기 확장 AE 현상에 의해 발생하는 AE파를 확장 AE파라고 칭한다.
이 때, 확장 AE파에 대응하는 전기 신호는, LM 시스템이 동작할 때에 일반적으로 발생하는 진동보다도 높은 주파수를 갖는 것이기 때문에, 예를 들면 도 1의 (c)에 도시한 바와 같이, 소위 포락선 검파 방법에 의해 이것을 상기 진동으로부터 분리하여 검출하는 것이 가능하고, 이에 따라 LM 시스템의 가동 중에 실시간으로 그 동작 상태를 검출하는 것이 가능하게 된 것이다.
(Ⅱ) 실시 형태
다음으로, 상술한 원리에 기초한 본 발명의 실시 형태에 대하여, 구체적으로 도 2 내지 도 7을 이용하여 설명한다.
또한, 도 2는 실시 형태에 따른 상태 진단 장치의 개요 구성을 도시하는 블록도이고, 도 3은 실시 형태에 따른 확장 AE파를 검출하는 AE 센서의 개요 구성을 도시하는 종단면도이며, 도 4 내지 도 6은 본 발명이 적용되는 LM 시스템을 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 실시 형태에 따른 상태 진단 장치에서 실행되는 동작 상태의 검출 처리를 도시하는 플로우차트이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 실시 형태에 따른 상태 진단 장치 S는, AE 센서(1)와, BPF(Band Pass Filter)(2A) 및 포락선 검파부(2B)를 포함하는 파형 정형부(2)와, A/D(Analog/Digital) 컨버터(3)와, 주기성 판정 수단, 최대치 검출 수단, 최대치 판정 수단, 상태 판정 수단, 사상율 검출 수단, 사상율 판정 수단, 실행치 검출 수단 및 실행치 판정 수단으로서의 신호 처리부(4)와, 액정 디스플레이 등으로 이루어지는 표시부(5)로 구성되어 있다.
다음으로, 동작을 설명한다.
우선, AE 센서(1)는, 진단 대상으로 되는 LM 시스템의 임의의 장소, 예를 들면, 레일의 말단부 또는 이동 부재로서의 이동 블록 위 등에 설치되는 것으로, 후술하는 접촉부를 상기 장소 중 어느 하나의 장소에 접촉시켜 배치된다. 그리고, 상기 LM 시스템의 동작에 의해 발생하는 상기 확장 AE파를 검출하고, 이것을 아날로그 신호인 검출 신호 Sae로 변환하여 파형 정형부(2)에 출력한다.
다음으로, 파형 정형부(2) 내의 BPF(2A)는 상기 검출 신호 Sae로부터 확장 AE파 이외의 주파수 성분을 제거하고, 포락선 검파부(2B)에 출력한다. 여기서, 상기 BPF(2A)에서의 검출 신호 Sae에 대한 통과 주파수 대역으로서, 구체적으로는, 예를 들면 100㎑ 이상 1㎒ 이하의 주파수 성분을 통과시키는 BPF를, BPF(2A)로서 이용하는 것이 바람직하다.
그리고, 포락선 검파부(2B)는, 상기 검출 신호 Sae에 기초하여 그 포락선 성분을 추출하여 포락선 신호 Sw를 생성하고, AD 컨버터(3)에 출력한다.
다음으로, AD 컨버터(3)는, 아날로그 신호인 포락선 신호 Sw를 디지털화하여 디지털 포락선 신호 Sdw를 생성하고, 신호 처리부(4)에 출력한다.
그리고, 신호 처리부(4)는, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에 기초하여 도 7에 도시하는 후술하는 동작 상태 검출 처리에 의해 진단 대상의 LM 시스템에서의 현재의 동작 상태를 판정하고, 그 결과를 나타내는 판정 신호 Sdp를 생성하여 표시부(5)에 출력한다.
이에 의해, 표시부(5)는, 상기 판정 신호 Sdp에 기초하여 그 내용을 나타내는 표시를 행한다. 이 표시에 의해, LM 시스템의 사용자가 그 동작 상태를 파악하는 것이 가능하게 된다.
다음으로, 상기 AE 센서(1)의 구조 등과, 진단 대상인 LM 시스템에의 그 설치 양태에 대하여, 구체적으로 도 3 내지 도 6을 이용하여 설명한다.
우선, AE 센서(1)의 내부 구조에 대하여, 도 3을 이용하여 설명한다.
도 3에 도시한 바와 같이, AE 센서(1)는, 전체로서는 원통 형상을 이루고 있고, 구체적으로는, LM 시스템 내의 레일 LM 등에 접촉하여 배치되는 접촉부(10)와, 케이스(11)와, 피에조 소자 등으로 이루어지는 압전 소자(13)와, 상기 압전 소자(13)의 상면 및 하면에 형성된 은 증착막(12 및 14)과, 상기 검출 신호 Sae를 도통하여 파형 정형부(2)에 출력하는 외부선(15)으로 구성되어 있다.
그리고, LM 시스템 내에서 발생한 확장 AE파가 접촉부(10) 및 은 박막(14)을 통하여 압전 소자(13)에 전송되면, 상기 확장 AE파에 의해 압전 소자(13)의 형상이 미소하게 변형되고, 이에 따라, 은 박막(12 및 14) 사이에 전위 차가 발생함으로써 외부선(15) 상에 상기 검출 신호 Sae가 발생하게 된다.
다음으로, 도 3에 도시하는 내부 구조를 구비하는 AE 센서(1)의 LM 시스템에의 설치 양태에 대하여, 도 4 내지 도 6을 이용하여 설명한다. 또한, 도 4 및 도 5는 진단 대상인 LM 시스템으로서 이동 블록이 이용되고 있는 LM 시스템에 AE 센서(1)를 설치하는 경우의 그 양태를 도시하는 도면이고, 도 6은 진단 대상인 LM 시스템으로서 소위 볼 나사가 이용되고 있는 LM 시스템에 AE 센서(1)를 설치하는 경우의 그 양태를 도시하는 도면이다.
처음에, 이동 블록을 이용한 LM 시스템에 대하여 AE 센서(1)를 설치하는 경우에 대해, 도 4 및 도 5를 이용하여 설명한다.
도 4의 (a) 및 (b)에 도시하는 LM 시스템은, 길이 방향을 따라 후술하는 볼(22)을 전주시키는 볼 전주홈(20a 및 20b)이 형성된 레일(20)과, 다수의 상기 볼(22)을 통하여 이 레일(20)에 결합함과 함께 내부에 볼(22)의 무한 순환로를 구비한 이동 블록(21)과, 이 이동 블록(21)의 이동 방향의 전후 양단면에 장착됨과 함께 레일(20)의 상면 및 양측면에 밀착하는 시일 부재(23)로 구성되어 있고, 이러한 볼(22)의 순환에 수반하여 상기 이동 블록(21)이 레일(20) 위를 왕복 운동하도록 구성되어 있다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 상기 레일(20)의 단면은 대략 사각 형상으로 형성되어 있고, 고정 볼트를 삽입 관통시키기 위한 부착 구멍(24)이 길이 방향으로 적절하게 간격을 두고 관통 형성되어 있다. 또한, 레일(20)의 상면에는 상기 부착 구멍(24)을 끼우도록 하여 2조의 볼 전주홈(20a)이 형성되는 한편, 양측면에도 2조의 볼 전주홈(20b)이 각각 형성되어 있고, 이들 4조의 볼 전주홈은 볼(22)의 구면의 곡율보다도 약간 큰 곡율로 깊은 홈 형상으로 형성되어 있다.
한편, 상기 이동 블록(21)은, 후술하는 테이블(30) 등의 가동체의 부착면(25)을 구비한 블록 본체(26)와, 이 블록 본체(26)의 전후 양단면에 고정된 한쌍의 엔드 플레이트(27)로 구성되어 있고, 궤도 레일(20)의 상부가 느슨하게 끼이는 오목소를 하면측에 갖추어, 단면이 대략 새들 형상으로 형성되어 있다.
이 때, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 블록 본체(26)는, 상기 부착면(25)이 형성된 기초부 및 이 기초부의 양단으로부터 수직으로 내리는 한쌍의 스커트부를 구비하여, 단면이 대략 새들 형상으로 형성되어 있으며, 각 스커트부의 내측면 및 기초부의 하면측에는 레일(20)의 볼 전주홈(20a 및 20b)과 각각 대향하는 4조의 부하 전주홈(28)이 형성되어 있다. 볼(22)은 이 부하 전주홈(28)과 레일(20)의 볼 전주홈(20a 및 20b) 사이에서 하중을 부하하면서 전주하고, 이에 의해서 이동 블록(21)이 레일(20) 위를 이동하게 된다.
다음으로, 도 4의 (a) 및 (b)로 되돌아가, 블록 본체(26)의 기초부 및 각 스커트부에는 각 부하 전주홈(28)에 대응하는 볼 복귀 구멍(29)이 각각 형성되어 있고, 이들 볼 복귀 구멍(29)은 상기 엔드 플레이트(27)에 형성된 대략 U자형의 방향 전환로(도시 생략)에 의해서 부하 전주홈(28)과 연통 연결되어 있다. 즉, 이 방향 전환로는 블록 본체(26)의 부하 전주홈(28)을 전주 종료한 볼(22)을 들어올려 상기 볼 복귀 구멍(29)으로 보내어 넣는 한편, 이 볼 복귀 구멍(29)으로부터 부하 전주홈(28)으로 볼(22)을 내보내도록 구성되어 있다. 따라서, 이들 엔드 플레이트(27)를, 부착 볼트(27a)를 이용하여 블록 본체(26)에 고정함으로써, 상기 이동 블록(21)에 볼(22)의 무한 순환로가 형성되도록 되어 있다.
그리고, 도 4의 (a) 및 (b)에 도시한 LM 시스템에 대하여 실시 형태의 AE 센서(1)를 설치하는 경우에는, 도 4의 (c)에 그 외관 측면도를 도시한 바와 같이, 예를 들면 궤도 레일(20) 위를 직선 운동하는 복수의 이동 블록(21) 상에 상기 테이블(30)이 설치되어 있을 때, 그 궤도 레일(20)에서의 이동 블록(21)의 이동 범위 외의 위치에 설치된다.
다음으로, 볼 나사를 이용한 LM 시스템에 대하여 AE 센서(1)를 설치하는 경우에 대하여, 도 6을 이용하여 설명한다.
도 6의 (a)에 도시한 바와 같이, 볼 나사(40)는, 외주면에 나선 형상의 볼 전주홈(41a)을 갖는 나사 축(41)과, 내주면에 볼 전주홈(41a)과 대향하는 나선 형상의 부하 전주홈(42a)을 갖는 너트 부재(42)와, 볼 전주홈(41a)과 부하 전주홈(42a) 사이를 전동하는 볼(43), …을 구비한다. 나사 축(41)의 볼 전주홈(41a)과 너트 부재(42)의 부하 전주홈(42a) 사이에서 부하 전주로가 구성된다. 너트 부재(42)에는, 예를 들면 2개의 순환 부품으로서의 리턴 파이프(44)가 부착된다. 리턴 파이프(44)는, 부하 전주로의 일단과 타단을 연결하여 무부하 복귀 통로를 구성한다. 리턴 파이프(44)는 대략 문형으로 형성되고, 중앙부(44a)와 중앙부(44a)의 양측에 설치된 한쌍의 다리부(44b, 44b)를 갖는다. 한쌍의 다리부(44b, 44b)는 부하 전주로 내에 수 피치의 간격을 두고, 끼워 넣어진다. 리턴 파이프(44)는, 볼트(45) 등의 결합 수단에 의해서 너트 부재(42)에 고정된다.
나사 축(41)에는, 그 주위에 나선 형상의 일정한 리드를 구비한 대략 단면이 반원 형상인 볼 전주홈(41a)이 연삭 가공 또는 전조 가공 등에 의해서 형성된다. 너트 부재(42)는 대략 원통 형상을 이루고, 그 단부면에 볼 나사(40)를 기계 등에 부착하기 위한 플랜지(46)를 갖는다. 너트 부재(42)의 내주면에는, 나사 축(41)의 볼 전주홈(41a)에 대향하는 대략 단면이 반원 형상인 부하 전주홈(42a)이 형성된다. 너트 부재(42)에는, 그 상면이 일부 평평하게 취해진 평면부(47)가 형성된다. 평면부(47)에는, 리턴 파이프(44)의 다리부(44b, 44b)가 삽입되는 리턴 파이프 끼워 맞춤 구멍이 수개소 뚫어져 있다.
그리고, 도 6의 (a)에 도시한 LM 시스템에 대하여 실시 형태의 AE 센서(1)를 설정하는 경우에는, 도 6의 (b)에 그 외측 측면도를 도시한 바와 같이, 예를 들면 대(49)에 회전 가능하게 지지된 나사 축(41)이 모터(48)에 의해 회전되는 볼 나사(40)에 대하여 브래킷(50)을 통하여 테이블(51)이 고정되어 있을 때, 그 볼 나사(40)에서의 상기 플랜지(46)의, 볼 나사(40)의 중심축에 수직인 면에 설치된다.
다음으로, 주로 신호 처리부(4)를 중심으로 하여 실행되는 실시 형태에 따른 동작 상태 검출 처리에 대하여, 도 1 및 도 2와 도 7을 이용하여 설명한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 진단 대상인 LM 시스템의 가동 중에서 실시 형태에 따른 동작 상태 검출 처리를 실행하는 경우에는, 처음에, 필요한 초기 설정 처리 등을 행하고, 다음으로, AE 센서(1)에서 상기 LM 시스템의 가동 중에 발생하는 확장 AE 현상에 기인하여 발생하는 확장 AE파를 검출하고(단계 S1), 이에 대응하는 검출 신호 Sae를 파형 정형부(2)에서 파형 정형하며(단계 S2), 상기 포락선 신호 Sw를 생성하여 A/D 컨버터(3)를 통하여 디지털 포락선 신호 Sdw로서 신호 처리부(4)에 출력한다. 그 후, 상기 확장 AE파의 검출 처리(단계 S1) 및 파형 정형 처리(단계 S2)를 필요한 검사 시간만큼 반복하여 상기 디지털 포락선 신호 Sdw의 값(데이터)을 신호 처리부(4) 내의 도시하지 않은 메모리에 축적하고(단계 S3), 그 축적한 데이터에 기초하여 후술하는 각 판단에 이용하는 파라미터를 연산하고, 상기 메모리 내에 축적한다(단계 S4).
여기서, 상기 파라미터로서, 구체적으로는, 디지털 포락선 신호 Sdw의 값에서의 주기성의 유무, 진단 대상인 LM 시스템에 포함되어 있는, 예를 들면 이동 블록의 왕복 운동에서의 일 방향의 이동 거리와 그 이동 속도에 따라 미리 설정된 검출 기간 내에서의 디지털 포락선 신호 Sdw의 값의 최대치, 상기 검출 기간 내에서의 실효치, 및 상기 검출 기간 내에서의 사상율의 4개의 파라미터가 이용된다.
보다 구체적으로는, 디지털 포락선 신호 Sdw의 값에서의 주기성이란, LM 시스템의 동작에 수반하여 볼이 공전하는 경우에 레일면에의 접촉과 레일면로부터의 이탈을 반복하는 주기를 주파수 해석 방법에 의해 검출하는 것이고, LM 시스템의 동작 상태를 검출하는 경우에 독특한 것이다.
또한, 상기 실효치는, 디지털 포락선 신호 Sdw의 값을 그 검출 기간에 대하여 자승 평균함으로써 구해진다.
또한, 상기 사상율은, 디지털 포락선 신호 Sdw의 값이 미리 설정된 임계치이상으로 된 횟수가 상기 1 검출 기간 내에 몇회 있었는지를 나타내는 파라미터이다.
각 파라미터의 연산 및 그 축적이 종료하면, 다음으로, 신호 처리부(4)에서, 디지털 포락선 신호 Sdw의 값에 대한 주기성이 있는지의 여부가, 미리 설정되어 있는 주파수 해석치를 기준으로 하여 판정된다(단계 S5).
단계 S5의 판정에서 주기성이 검출되지 않을 때에는(단계 S5; "아니오"), 다음으로, 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 실효치를 상기 메모리로부터 호출한다(단계 S6).
그리고, 그 호출된 실효치가, 이물이 혼입되어 있는지 또는 정상적으로 동작하고 있는지를 판정하기 위해 미리 실험적으로 설정된 임계치인 실효치 임계치 이상인지의 여부가 판정된다(단계 S7).
다음으로, 단계 S7의 판정에서, 그 호출된 실효치가 상기 실효치 임계치 미만일 때에는(단계 S7; "아니오"), 진단 대상으로 되어 있는 LM 시스템은 현재는 정상적으로 동작하고 있다고 판정하고(단계 S8), 표시부(5)를 이용하여 그 취지를 표시하며(단계 S10), 일련의 동작 상태 검출 처리를 종료한다.
한편, 단계 S7의 판정에서, 그 호출된 실효치가 상기 실효치 임계치 이상일 때에는(단계 S7; "예"), 진단 대상으로 되어 있는 LM 시스템에는 현재 이물이 혼입되어 있다고 판정하고(단계 S9), 표시부(5)를 이용하여 그 취지를 표시하며(단계 S10), 일련의 동작 상태 검출 처리를 종료한다.
한편, 단계 S5의 판정에서, 주기성이 검출되었을 때에는(단계 S5; "예"), 다음으로, 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 최대치를 상기 메모리로부터 호출하고(단계 S11), 그 호출된 최대치가, 윤활 불량이 현실에 발생하여 있는지의 여부를 판정하기 위해 미리 실험적으로 설정된 임계치인 최대치 임계치 이상인지의 여부가 판정된다(단계 S12).
그리고, 그 호출된 최대치가 상기 최대치 임계치 이상일 때에는(단계 S12; "예"), 진단 대상으로 되어 있는 LM 시스템에서 현재 윤활 불량이 발생하여 있다고 판정하고(단계 S13), 표시부(5)를 이용하여 그 취지를 표시하며(단계 S10), 일련의 동작 상태 검출 처리를 종료한다.
다음으로, 단계 S12의 판정에서, 호출된 최대치가 상기 최대치 임계치 미만일 때에는(단계 S12; "아니오"), 다음으로, 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 사상율을 상기 메모리 내로부터 호출한다(단계 S14).
그리고, 그 호출된 사상율이, 진단 대상의 LM 시스템에서 플레이킹이 발생하여 있는지 또는 윤활 불량의 가능성이 있는지를 판정하기 위해 미리 실험적으로 설정된 임계치인 사상율 임계치 이상인지의 여부가 판정된다(단계 S15).
다음으로, 단계 S15의 판정에서, 그 호출된 사상율이 상기 사상율 임계치일 때에는(단계 S15; "아니오"), 진단 대상으로 되어 있는 LM 시스템에서는 현재 윤활 불량이 발생하여 있을 가능성이 높다고 판정하고(단계 S17), 표시부(5)를 이용하여 그 취지를 표시하며(단계 S10), 일련의 동작 상태 검출 처리를 종료한다. 또한, 단계 S17에서 판정되는 윤활 불량의 정도는 상술한 단계 S13에서 판정된 윤활 불량의 정도와는 상이한 것으로서, 전자(단계 S17의 경우)는 윤활 불량 발생의 가능성으로서만 판정할 수 있는 것이고, 한편, 후자(단계 S13의 경우)는 실제로 확실하게 윤활 불량이 발생하여 있다고 판정할 수 있는 것이다.
한편, 단계 S15의 판정에서, 그 호출된 사상율이 상기 사상율 임계치 이상일 때에는(단계 S15; "예"), 진단 대상으로 되어 있는 LM 시스템에서 현재 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고(단계 S16), 표시부(5)를 이용하여 그 취지를 표시하며(단계 S10), 일련의 동작 상태 검출 처리를 종료한다.
또한, 상술한 일련의 동작 상태의 검출 결과에 대해서는, 이를 표시함과 함께, 신호 처리부(4) 내의 상기 메모리에 축적하여 통계적으로 처리함으로써, 동작 상태의 악화를 검출하여 고장의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 실시 형태에 따른 상태 진단 장치 S의 동작에 따르면, LM 시스템의 동작에 의해 발생하는 확장 AE파를 검출하여 상기 LM 시스템의 현재의 동작 상태를 검출하기 때문에, 상기 LM 시스템의 가동 중에, 실시간으로, 상기 LM 시스템을 분해하지 않고, 상기 가동에 기인하는 진동의 영향을 배제하면서, 그 동작 상태를 검출할 수 있다.
따라서, LM 시스템에서의 고장의 발생을 예지할 수 있는 것으로도 되어, 상기 LM 시스템의 사용자에의 정비성이 향상됨과 함께, 그 장기 수명화 및 상기 LM 시스템을 이용하여 제조된 장치 또는 기기의 품질 향상에 이바지하는 것도 가능하다.
또한, 생성된 디지털 포락선 신호 Sdw에 주기성이 있고, 또한, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 최대치가 최대치 임계치 이상일 때, LM 시스템이 현재 윤활 불량 상태에 빠져 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, LM 시스템에서의 윤활 불량 상태의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 생성된 디지털 포락선 신호 Sdw에 주기성이 있고, 또한, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 사상율이 사상율 임계치 미만일 때, LM 시스템이 윤활 불량 상태에 빠져 있을 가능성이 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, LM 시스템에서의 윤활 불량 상태 발생의 가능성을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 생성된 디지털 포락선 신호 Sdw에 주기성이 있고, 또한, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 사상율이 사상율 임계치 이상일 때, LM 시스템에서 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, LM 시스템에서의 플레이킹의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 생성된 디지털 포락선 신호 Sdw에 주기성이 없고, 또한, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 실효치가 실효치 임계치 이상일 때, LM 시스템에 이물이 혼입되어 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, LM 시스템에서의 이물 혼입의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 생성된 디지털 포락선 신호 Sdw에 주기성이 없고, 또한, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 상기 실효치가 실효치 임계치 미만일 때, LM 시스템의 현재의 동작 상태가 정상이라고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 동작 상태가 정상인지의 여부를, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 상기 도 7에 도시하는 플로우차트에 대응하는 프로그램을, 플렉시블 디스크 또는 하드디스크 등의 정보 기록 매체에 기록해 놓거나, 인터넷 등의 네트워크를 통하여 취득하여 기록해 놓고, 범용의 마이크로컴퓨터에 의해 이들을 판독하여 실행함으로써, 상기 마이크로컴퓨터를 실시 형태의 신호 처리부(4)로서 기능시키는 것도 가능하다. 이 경우에는, 상기 AE 센서(1), 파형 정형부(2), 및 A/D 컨버터(3)는, 상기 마이크로컴퓨터에 대하여 외장 장치로 구성되게 된다.
또한, 상술한 실시 형태에서는, 도 2에 도시하는 구성의 상태 검출 장치 S를 하나의 장치로서 구성하는 경우에 대하여 설명하였지만, 이 실시 형태는, 구체적으로는 상기 상태 진단 장치 S를 진단 대상인 LM 시스템이 설치·사용되고 있는 공장 등에 휴대하여, 그 자리에서 그 LM 시스템의 동작 상태를 검출하고 진단하는 경우에 적용되는 것이다.
그리고, 실시 형태의 상태 검출 장치 S는, 상술한 양태 이외에, 상태 진단 장치 S를 그 진단 대상으로 되는 LM 시스템이 설치·사용되고 있는 공장 등에 상비하고, 그 상태 진단 장치 S를 전화 회선 등에 의해 진단원이 이격한 장소로부터 원격 조작함으로써, 상기 LM 시스템의 동작 상태의 검출 및 그 진단을 행하는 경우에 적용할 수도 있다.
또한, 상태 진단 장치 S를 그 진단 대상으로 되는 LM 시스템이 설치·사용되고 있는 공장 등에 상비하고, 그 상태 진단 장치 S에서 자동적으로 진단 대상의 LM 시스템의 동작 상태의 검출 및 그 진단을 행하며, 이것과 병행하여 그 검출 결과를 다른 장소에 전송하여 축적하고, 누적적인 고장 진단을 그 축적한 검출 결과를 바탕으로 행하는 경우에 본 발명을 적용하는 것도 가능하다.
또한, 상술한 실시 형태에서는, 하나의 AE 센서(1)에 대하여 파형 정형부(2), AD 컨버터(3), 신호 처리부(4), 및 표시부(5)를 각각 하나씩 이용하여 상태 검출 장치 S를 구성하는 경우에 대하여 설명하였지만, 그 이외에, 복수의 AE 센서(1)로부터의 검출 신호 Sae를 스위칭 회로를 통하여 하나의 파형 정형부(2)에 입력시키고, 복수의 AE 센서(1)로부터의 검출 신호 Sae를 각각 하나의 파형 정형부(2), AD 컨버터(3), 신호 처리부(4), 및 표시부(5)를 이용하여 처리하도록 구성할 수도 있다. 이 경우에는, 파형 정형부(2), AD 컨버터(3), 신호 처리부(4), 및 표시부(5)를 이용한 검출 처리의 실행 타이밍과, 대응하는 AE 센서(1)로부터의 검출 신호 Sae의 입력 타이밍을 동기시키는 것이 필요하게 된다.
(실시예)
다음으로, 도 7에 도시하는 플로우차트에서의 단계 S5, S7, S12 및 S15에서의 판정의 기준으로 되는 상기 주파수 해석치, 상기 실효치 임계치, 상기 최대치 임계치 및 상기 사상율 임계치의 각각에 대하여, 구체적인 예를 나타낸다.
또한, 이하에 기재하는 각 임계치의 실시예는, AE 센서(1)가 설치되는 LM 가이드로서 출원인의 제조에 의한 코드 번호 SNS55LR형을 이용하고, 이동 블록에 대한 외부 가중을 0.1C(14kN)로 하며, 이동 블록의 이동 거리인 스트로크를 250㎜로 하고, 그 이동 속도를 24m/분으로 하며, 윤활제로서 모빌 석유 유한 회사제 DTE26형 윤활유를 정량 간헐 급유하고, 검출 신호 Sae에 대한 샘플 레이트를 1O 킬로헤르쯔로 하며, 계측 시간으로서 0.4초 계측한 경우의 실시예이다.
상기 각 조건에 따를 때, 상기 주파수 해석치의 예로서는, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw를 FFT 변환하여 주파수 해석(파워 스펙트럼)함으로써 얻어지는 자승 전압치(소위 V2치)가 1.0×10-9(V2)을 초과했을 때에는 주기성이 있다고 판정하고, 이것을 초과할 때에는 주기성이 없다고 판정된다.
또한, 동일하게, 상기 실효치 임계치의 예로서는, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 실효치로서 1.0×10-4(V2)이 적절하다.
또한, 동일하게, 상기 최대치 임계치의 예로서는, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서의 최대치로서 2.0×10-3(V2)이 적절하다.
마지막으로, 동일하게, 상기 사상율 임계치의 예로서는, 상기 디지털 포락선 신호 Sdw에서 5.0× 10-4(V)보다 높은 값을 나타내는 횟수가 5 내지 7개인 것이 적절하다.
또한, 상술한 실시예에서의 각 값은, 구체적으로는, 상기한 각 조건으로부터 이동 블록에 대한 하중 및 이동 블록의 스트로크를 제외한 조건의 변화에 따라 변화하는 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 청구항 1에 기재된 발명에 따르면, 리니어 롤링 안내 장치의 가동에 의해 탄성적으로 발생하는 상기 파동을 검출하여 상기 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태를 검출하기 때문에, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 가동 중에, 실시간으로, 상기 리니어 롤링 안내 장치를 분해하지 않고, 상기 가동에 기인하는 진동의 영향을 배제하면서, 그 동작 상태를 검출할 수 있다.
따라서, 리니어 롤링 안내 장치에서의 고장의 발생을 예지할 수 있는 것으로도 되어, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 사용자에의 정비성이 향상됨과 함께, 그 장기 수명화 및 상기 리니어 롤링 안내 장치를 이용하여 제조된 장치 또는 기기의 품질 향상에 이바지하는 것도 가능하다.
청구항 2에 기재된 발명에 따르면, 청구항 1에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 윤활 불량 상태의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 3에 기재된 발명에 따르면, 청구항 1에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 검출 신호에서의 사상율이 사상율 임계치 미만일 때, 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있을 가능성이 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 윤활 불량 상태 발생의 가능성을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 4에 기재된 발명에 따르면, 청구항 1에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 검출 신호에서의 사상율이 사상율 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치에서 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 플레이킹의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 5에 기재된 발명에 따르면, 청구항 1에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 없고, 또한, 상기 검출 신호에서의 실효치가 실효치 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치에 이물이 혼입되어 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 이물 혼입의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 6에 기재된 발명에 따르면, 청구항 1에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 없고, 또한, 상기 검출 신호에서의 실효치가 실효치 임계치 미만일 때, 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태가 정상이라고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 동작 상태가 정상인지의 여부를, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 7에 기재된 발명에 따르면, 리니어 롤링 안내 장치의 가동에 의해 탄성적으로 발생하는 상기 파동을 검출하여 상기 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태를 검출하기 때문에, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 가동 중에, 실시간으로, 상기 리니어 롤링 안내 장치를 분해하지 않고, 상기 가동에 기인하는 진동의 영향을 배제하면서, 그 동작 상태를 검출할 수 있다.
따라서, 리니어 롤링 안내 장치에서의 고장의 발생을 예지할 수 있는 것으로도 되어, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 사용자에의 정비성이 향상됨과 함께, 그 장기 수명화 및 상기 리니어 롤링 안내 장치를 이용하여 제조된 장치 또는 기기의 품질 향상에 이바지하는 것도 가능하다.
청구항 8에 기재된 발명에 따르면, 청구항 7에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 윤활 불량 상태의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 9에 기재된 발명에 따르면, 청구항 7에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 검출 신호에서의 사상율이 사상율 임계치 미만일 때, 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있을 가능성이 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 윤활 불량 상태 발생의 가능성을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 10에 기재된 발명에 따르면, 청구항 7에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 있고, 또한, 상기 검출 신호에서의 최대치가 최대치 임계치 미만이고, 또한, 상기 검출 신호에서의 사상율이 사상율 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치에서 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 플레이킹의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 11에 기재된 발명에 따르면, 청구항 7에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 없고, 또한, 상기 검출 신호에서의 실효치가 실효치 임계치 이상일 때, 리니어 롤링 안내 장치에 이물이 혼입되어 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 이물 혼입의 발생을, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 12에 기재된 발명에 따르면, 청구항 7에 기재된 발명의 효과에 부가하여, 생성된 검출 신호에 주기성이 없고, 또한, 상기 검출 신호에서의 실효치가 실효치 임계치 미만일 때, 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태가 정상이라고 판정하고, 그 취지를 고지하기 때문에, 리니어 롤링 안내 장치에서의 동작 상태가 정상인지의 여부를, 그 가동 중에 실시간으로 간이하고 정확하게 검출할 수 있다.
청구항 13에 기재된 발명에 따르면, 상태 검출용 프로그램을 컴퓨터로 판독하여 실행함으로써, 리니어 롤링 안내 장치의 가동에 의해 탄성적으로 발생하는 상기 파동을 검출하여 상기 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태를 검출하도록 상기 컴퓨터가 기능하기 때문에, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 가동 중에, 실시간으로, 상기 리니어 롤링 안내 장치를 분해하지 않고, 상기 가동에 기인하는 진동의 영향을 배제하면서, 그 동작 상태를 검출할 수 있다.
따라서, 리니어 롤링 안내 장치에서의 고장의 발생을 예지할 수 있는 것으로도 되어, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 사용자에의 정비성이 향상됨과 함께, 그 장기 수명화 및 상기 리니어 롤링 안내 장치를 이용하여 제조된 장치 또는 기기의 품질 향상에 이바지하는 것도 할 수 있다.
청구항 14에 기재된 발명에 따르면, 청구항 13에 기재된 상태 검출용 프로그램이 컴퓨터에 의해 판독 가능하게 기록되어 있기 때문에, 상기 상태 검출용 프로그램을 컴퓨터로 판독하여 실행함으로써, 리니어 롤링 안내 장치의 가동에 의해 탄성적으로 발생하는 상기 파동을 검출하여 상기 리니어 롤링 안내 장치의 현재의 동작 상태를 검출하도록 상기 컴퓨터가 기능하기 때문에, 상기 리니어 롤링 안내 장치의 가동 중에, 실시간으로, 상기 리니어 롤링 안내 장치를 분해하지 않고, 상기 가동에 기인하는 진동의 영향을 배제하면서, 그 동작 상태를 검출할 수 있다.

Claims (14)

  1. 리니어 롤링 안내 장치에서의 현재의 동작 상태를 검출하는 상태 검출 장치로서,
    상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 복수의 전동체가 순환부 내를 공전할 때에 생기는, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 이동 부재 또는 궤도 부재와 상기 전동체와의 접촉 또는 충돌, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 전동면과 상기 전동체와의 접촉, 및 해당 전동체끼리의 충돌 중 어느 하나에 적어도 기인하여 탄성적으로 발생하는 파동을 검출하고, 그 검출된 파동에 대응하는 전기적인 검출 신호를 생성하는 검출 수단과,
    상기 생성된 검출 신호에 기초하여, 상기 동작 상태의 내용을 판정하는 판정 수단
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 판정 수단은,
    상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 수단과,
    상기 주기성이 있다고 판정되었을 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 최대치를 검출하는 최대치 검출 수단과,
    상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 최대치 판정 수단과,
    상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 판정 수단은,
    상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 수단과,
    상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호의 최대치를 검출하는 최대치 검출 수단과,
    상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 최대치 판정 수단과,
    상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 미만일 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 사상율을 검출하는 사상율 검출 수단과,
    상기 검출된 사상율이 미리 설정된 사상율 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 사상율 판정 수단과,
    상기 검출된 사상율이 상기 사상율 임계치 미만일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있을 가능성이 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 판정 수단은,
    상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 수단과,
    상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호의 최대치를 검출하는 최대치 검출 수단과,
    상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 최대치 판정 수단과,
    상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 미만일 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 사상율을 검출하는 사상율 검출 수단과,
    상기 검출된 사상율이 미리 설정된 사상율 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 사상율 판정 수단과,
    상기 검출된 사상율이 상기 사상율 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치에서 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 판정 수단은,
    상기 검출된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 수단과,
    상기 주기성이 없다고 판정하였을 때, 상기 검출된 검출 신호의 실효치를 검출하는 실효치 검출 수단과,
    상기 검출된 실효치가 미리 설정된 실효치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 실효치 판정 수단과,
    상기 검출된 실효치가 상기 실효치 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치 내에 이물이 혼입되어 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 판정 수단은,
    상기 검출된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 수단과,
    상기 주기성이 없다고 판정하였을 때, 상기 검출된 검출 신호의 실효치를 검출하는 실효치 검출 수단과,
    상기 검출된 실효치가 미리 설정된 실효치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 실효치 판정 수단과,
    상기 검출된 실효치가 상기 실효치 임계치 미만일 때, 상기 현재의 동작 상태가 정상이라고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 장치.
  7. 리니어 롤링 안내 장치에서의 현재의 동작 상태를 검출하는 상태 검출 방법으로서,
    상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 복수의 전동체가 순환부 내를 공전할 때에 생기는, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 이동 부재 또는 궤도 부재와 상기 전동체와의 접촉 또는 충돌, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 전동면과 상기 전동체와의 접촉, 및 해당 전동체끼리의 충돌 중 어느 하나에 적어도 기인하여 탄성적으로 발생하는 파동을 검출하고, 상기 검출된 파동에 대응하는 전기적인 검출 신호를 생성하는 검출 공정과,
    상기 생성된 검출 신호에 기초하여, 상기 동작 상태의 내용을 판정하는 판정 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 판정 공정은,
    상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과,
    상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 최대치를 검출하는 최대치 검출 공정과,
    상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 최대치 판정 공정과,
    상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 판정 공정은,
    상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과,
    상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호의 최대치를 검출하는 최대치 검출 공정과,
    상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 최대치 판정 공정과,
    상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 미만일 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 사상율을 검출하는 사상율 검출 공정과,
    상기 검출된 사상율이 미리 설정된 사상율 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 사상율 판정 공정과,
    상기 검출된 사상율이 상기 사상율 임계치 미만일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치가 윤활 불량 상태에 빠져 있을 가능성이 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 판정 공정은,
    상기 생성된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과,
    상기 주기성이 있다고 판정하였을 때, 상기 생성된 검출 신호의 최대치를 검출하는 최대치 검출 공정과,
    상기 검출된 최대치가 미리 설정된 최대치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 최대치 판정 공정과,
    상기 검출된 최대치가 상기 최대치 임계치 미만일 때, 상기 생성된 검출 신호에서의 사상율을 검출하는 사상율 검출 공정과,
    상기 검출된 사상율이 미리 설정된 사상율 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 사상율 판정 공정과,
    상기 검출된 사상율이 상기 사상율 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치에서 플레이킹이 발생하여 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 판정 공정은,
    상기 검출된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과,
    상기 주기성이 없다고 판정하였을 때, 상기 검출된 검출 신호의 실효치를 검출하는 실효치 검출 공정과,
    상기 검출된 실효치가 미리 설정된 실효치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 실효치 판정 공정과,
    상기 검출된 실효치가 상기 실효치 임계치 이상일 때, 상기 리니어 롤링 안내 장치 내에 이물이 혼입되어 있다고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 방법.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 판정 공정은,
    상기 검출된 검출 신호에서의 주기성의 유무를 판정하는 주기성 판정 공정과,
    상기 주기성이 없다고 판정하였을 때, 상기 검출된 검출 신호의 실효치를 검출하는 실효치 검출 공정과,
    상기 검출된 실효치가 미리 설정된 실효치 임계치 이상인지의 여부를 판정하는 실효치 판정 공정과,
    상기 검출된 실효치가 상기 실효치 임계치 미만일 때, 상기 현재의 동작 상태가 정상이라고 판정하고, 그 취지를 고지하는 상태 판정 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 검출 방법.
  13. 리니어 롤링 안내 장치에서의 현재의 동작 상태를 검출하는 상태 검출 장치로서, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 복수의 전동체가 순환부 내를 공전할 때에 생기는, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 이동 부재 또는 궤도 부재와 상기 전동체와의 접촉 또는 충돌, 상기 리니어 롤링 안내 장치에 포함되는 전동면과 상기 전동체와의 접촉, 및 해당 전동체끼리의 충돌 중 어느 하나에 적어도 기인하여 탄성적으로 발생하는 파동을 검출하고, 상기 검출된 파동에 대응하는 전기적인 검출 신호를 생성하는 검출 수단을 구비하는 상태 검출 장치에 포함되는 컴퓨터를,
    상기 생성된 검출 신호에 기초하여, 상기 동작 상태의 내용을 판정하는 판정 수단으로서 기능시키는 것을 특징으로 하는 상태 검출용 프로그램.
  14. 제13항의 상태 검출용 프로그램이 상기 컴퓨터에 의해 판독 가능하게 기록된 정보 기록 매체.
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