KR20050078000A - An apparatus for conveying the glass substrate using fluid - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유리 기판 표면과 구동 롤러의 물리적 접촉이 없고, 반송 중에 유체 부상 테이블로부터 상방으로 분사되는 유체흐름이 유리 기판 하부 면을 지지하는 유리 기판 반송 장치에 관한 것으로, 유리 기판의 측면에 접촉하는 사이드 구동 롤러, 유체를 분사시켜 반송중인 유리 기판을 부상시키는 유체 부상 테이블; 및 반송 방향에 수직방향으로 직선 왕복운동에 의하여 부양된 유리 기판을 상기 사이드 구동 롤러로 도입시키는 사이드 가이드 롤러를 포함한다.The present invention relates to a glass substrate conveying apparatus in which there is no physical contact between the surface of the glass substrate and the driving roller, and the fluid flow sprayed upward from the fluid floating table during conveyance supports the glass substrate lower surface. A side drive roller, a fluid floatation table for ejecting a fluid to float the glass substrate being conveyed; And a side guide roller for introducing the glass substrate supported by the linear reciprocating motion in the direction perpendicular to the conveying direction to the side drive roller.

Description

유체를 이용한 유리 기판 반송 장치{An apparatus for conveying the glass substrate using fluid}An apparatus for conveying the glass substrate using fluid}

본 발명은 유리 기판 반송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 구동 롤러를 유리 기판 표면과 물리적으로 접촉시키지 않으며, 유체를 이용하여 유리 기판 표면을 지지하여 유리 기판을 반송시키는 유리 기판 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate conveying apparatus, and more particularly, to a glass substrate conveying apparatus which conveys a glass substrate by supporting a glass substrate surface using a fluid without physically contacting a driving roller with the glass substrate surface. .

디스플레이 분야의 기술이 발전함에 따라 액정 표시 패널(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 및 유기 전계 발광 소자(유기 EL) 등의 디스플레이 패널의 크기가 점차 대형화 되고 있으며, 이들에 사용되는 유리 기판도 그 두께는 더욱 얇아지는 반면 폭이나 길이 등 그 크기는 점차 대형화되고 있다.As the technology of the display field develops, the size of display panels such as liquid crystal display panels (LCDs), plasma display panels (PDPs), and organic electroluminescent elements (organic ELs) is gradually increasing, and the glass substrates used for them are While the thickness is getting thinner, the size such as width and length is getting bigger.

LCD와 유기 EL의 제조 공정에는 필수적으로 유리 기판 반송 시스템을 포함한다. 도 1에 종래의 기술에 따른 유리 기판 반송 장치를 도시하였다. 유리 기판을 반송하는 종래의 방법은 구동 모터에 의해 회전하는 다수의 구동 롤러(10) 상부와 유리 기판(20)의 하부 면을 접촉시켜 이동시키거나, 경우에 따라 소자 형성 영역인 상부 면을 이동 롤러(10)와 접촉시키는 방법을 채택하였다. 그러나 이러한 방법에 의하면 필연적으로 유리 기판 상부 면 또는 하부 면과 구동 롤러가 물리적으로 접촉하여 구동 롤러와 접촉하는 접촉면에 이물이 잔류하게 되어 오염원으로 작용할 수 있다. 비록 하부 면이 오염되는 경우 제품의 성능에 크게 영향을 미치지 않을 수는 있으나, 하부 면이 오염된 경우에도 유리 기판이 카세트(cassette)에 적재되어 이동하는 경우 오염된 기판 아래 층에 적재된 또 다른 유리 기판 상부 면에 오염원이 떨어져 상부 면을 오염시킬 수 있다. The manufacturing process of LCD and organic EL consists essentially of a glass substrate conveyance system. The glass substrate conveyance apparatus which concerns on prior art was shown in FIG. In the conventional method of conveying the glass substrate, the upper surface of the plurality of driving rollers 10 rotated by the drive motor and the lower surface of the glass substrate 20 are brought into contact with each other, or in some cases, the upper surface, which is an element formation region, is moved. The method of contacting with the roller 10 was adopted. According to this method, however, foreign matters may remain on the contact surface where the upper surface or the lower surface of the glass substrate and the driving roller are in physical contact with the driving roller, thereby acting as a pollution source. Although contamination of the lower side may not significantly affect the performance of the product, even if the lower side is contaminated, if the glass substrate is transported in a cassette and moved, another layer is placed in the layer below the contaminated substrate. Contaminants can fall on the upper surface of the glass substrate to contaminate the upper surface.

상기와 같은 문제를 해결하기 위해 구동 롤러(10)와 유리 기판(20)의 접촉을 최소화하는 방안으로 유리 기판(20)의 양측 가장자리부를 지지하여 회전하는 구동 롤러(10)를 사용하고 있으나, 도 2에 도시된 바와 같이 유리 기판(20)이 대형화되면서 자중에 의해 유리 기판(20)의 중앙부가 휘어지는 단점이 있다. 이러한 휘어짐을 방지하기 위하여 중심선에 롤러를 추가할 수 있으나, 이 경우 오염을 증대시키는 효과가 있다. 또한 상기의 방법은 구동 롤러(10)와 유리 기판(20)의 접촉을 최소화하기는 하였지만 유리 기판의 양측 가장자리부와 구동 롤러(10)가 접촉하여 오염원을 근본적으로 제거할 수는 없어, 이에 대한 개선이 요구되고 있다. In order to solve the above problems, the driving roller 10 is used to rotate by supporting both edges of the glass substrate 20 in a way to minimize the contact between the driving roller 10 and the glass substrate 20. As shown in FIG. 2, as the glass substrate 20 is enlarged, a central portion of the glass substrate 20 may be bent due to its own weight. A roller may be added to the center line to prevent such bending, but in this case, there is an effect of increasing contamination. In addition, although the above method minimizes the contact between the driving roller 10 and the glass substrate 20, the two sides of the glass substrate and the driving roller 10 do not come into contact with each other to fundamentally remove the contaminant. Improvement is needed.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 유리 기판 표면과 구동 롤러의 물리적 접촉이 없고, 반송 중에 유체 부상 테이블로부터 상방으로 분사되는 유체흐름이 유리 기판 하부 면을 지지하는 유리 기판 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has no physical contact between the surface of the glass substrate and the driving roller, and a glass substrate conveying apparatus in which a fluid flow sprayed upward from the fluid floating table during conveyance supports the glass substrate lower surface. The purpose is to provide.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 유리 기판 반송 장치에 있어서,In order to achieve the above object, the present invention provides a glass substrate transfer device,

유리 기판 반송 방향에 대해 수직 방향인 유리 기판 양 측면에 위치하여 유리 기판의 측면에 접촉하는 사이드 구동 롤러; 및Side drive rollers positioned on both sides of the glass substrate perpendicular to the glass substrate conveyance direction and in contact with the side surfaces of the glass substrate; And

상부 면에 유체 배출구(101) 및 하부 면에 유체 유입구(102)를 가지고 그 내부에 상기 상부 면의 유체 배출구와 상기 하부 면의 유체 유입구를 관통하여 양자를 연결시키는 유로(103)를 가지며 상기 양 사이드 구동 롤러(10) 사이에 설치되는 유체 부상 테이블(100)을 포함하는 유리 기판 반송 장치를 제공한다.It has a fluid outlet 101 on the upper surface and a fluid inlet 102 on the lower surface and has a flow path 103 therein for connecting both through the fluid outlet of the upper surface and the fluid inlet of the lower surface therein. Provided is a glass substrate conveying apparatus including a fluid floating table 100 provided between side drive rollers 10.

상기 장치의 개략적인 단면도를 도 3에 도시하였다. A schematic cross sectional view of the device is shown in FIG. 3.

본 발명의 반송 장치에 의해 반송되는 유리 기판의 무게는 구동 롤러(120)에 의해서 지지되지 않고 유체 부상 테이블(100)에서 분사된 유체에 의해서만 지지되기 때문에, 상기 사이드 구동 롤러(120)는 유리 기판의 하부 면이 아닌 측면에만 접촉하여 유리 기판을 반송시킬 수 있어 유리 기판 표면의 오염을 최소화 시킬 수 있다.Since the weight of the glass substrate conveyed by the conveying apparatus of this invention is not supported by the drive roller 120 but only by the fluid sprayed from the fluid floating table 100, the said side drive roller 120 is a glass substrate. The glass substrate may be transported by contacting only the side of the glass substrate, not the bottom surface thereof, thereby minimizing contamination of the glass substrate surface.

또한 본 발명에 따른 유리 기판 반송 장치는 유리 기판(20)이 자중에 의하여 휘어지는 것을 방지하기 위하여 양 사이드 구동 롤러(10) 사이에 위치하는 유체 부상 테이블(100)을 제공한다.In addition, the glass substrate conveying apparatus according to the present invention provides a fluid floating table 100 positioned between both side drive rollers 10 in order to prevent the glass substrate 20 from being bent by its own weight.

상기 유체 부상 테이블(100)은 상부 면에 유체가 분사되는 유체 배출구(101)를 가지고 있고 그 하부 면에 유체를 공급하는 유체 유입구(102)를 가지고 있으며 상기 배출구(101)와 유체 유입구(102)는 유체 테이블(100) 내부를 관통하는 유로(103)에 의하여 연결되어 있다.The fluid floatation table 100 has a fluid outlet 101 through which a fluid is injected on an upper surface thereof, and has a fluid inlet 102 for supplying a fluid to a lower surface thereof, and the outlet 101 and a fluid inlet 102 thereof. Is connected by a flow path 103 penetrating the inside of the fluid table 100.

상기 유체 부상 테이블(101)은 반송되는 유리 기판(20) 전체 면을 지지하기 위해 다수의 유체 배출구(101)를 형성할 수 있으며, 유체 부상 테이블(100)의 가장자리 보다 그 중심부에 더 많은 유체 배출구(101)를 형성할 수 있다.The fluid floatation table 101 may form a plurality of fluid outlets 101 to support the entire surface of the glass substrate 20 to be conveyed, and more fluid outlets at the center of the fluid floatation table 100 than at the edges of the fluid floatation table 100. 101 can be formed.

또한 본 발명에 따른 유체 부상 테이블(100)에는 그 상부 면에 일정 형상의 유체 유도홈을 형성하는 것이 바람직하다. 이러한 유체 유도홈(104)의 일 실시예를 도 4에 도시하였다. 도 4에 도시된 바와 같이 유체 유도홈(104)은 구성 표면을 나선형으로 형성함으로 유체가 와류 형태로 분사되어 유리 기판 하부 전체 면을 효율적으로 지지하게 할 수 있다. 또한 상기 유도홈(104)은 유체 배출구(101)로부터 시작하여 유체 부상 테이블(100)의 양 측면의 말단부까지 형성되어 있어 유체 배출구로부터 분사된 유체가 유체 부상 테이블(100) 측면으로 배기되도록 할 수 있다.In addition, it is preferable to form a fluid guide groove of a predetermined shape in the upper surface of the fluid levitating table 100 according to the present invention. One embodiment of such a fluid guide groove 104 is shown in FIG. 4. As shown in FIG. 4, the fluid guide groove 104 spirally forms a constituent surface so that the fluid may be sprayed in a vortex to efficiently support the entire lower surface of the glass substrate. In addition, the guide groove 104 may be formed starting from the fluid outlet 101 to the distal ends of both sides of the fluid flotation table 100 to allow the fluid injected from the fluid outlet to be exhausted to the side of the fluid flotation table 100. have.

본 발명에 따른 유체 부상 테이블(101) 하부 면에 형성된 유체 유입구(102)는 유체 공급 수단(110)으로부터 일정한 압력의 유체를 공급 받는다. 이러한 유체 공급 수단(110)은 유체를 저장하고 있는 유체 공급원, 유체를 압축하기 위한 압축기, 유체 유입구(102)로 이송하기 위한 펌프, 또는 유리 기판(20)의 부유 정도를 조절하기 위한 유체의 압력 조절기 및 유량 조절기를 포함할 수 있다. 또한 상기 유체 공급 수단(110)은 유리 기판(20)이 불순물에 의해 오염되는 것을 방지하기 위하여 공급되는 유체를 정제할 수 있는 정제부를 추가적으로 포함하는 것이 바람직하다. 본 발명에 사용하는 유체는 공기 또는 질소와 같은 기체나 물 또는 기타 화학용액을 사용할 수 있으며, 기체를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 압축기, 압력 조절기, 유량 조절기 및 정제부에 대하여 특별한 제한이 없으며, 사용하는 유체에 따라 선택할 수 있는 각 수단은 당업자에게 자명한 것이다.The fluid inlet 102 formed on the lower surface of the fluid levitation table 101 according to the present invention receives a fluid of a constant pressure from the fluid supply means 110. The fluid supply means 110 is a fluid source for storing the fluid, a compressor for compressing the fluid, a pump for transporting to the fluid inlet 102, or the pressure of the fluid to adjust the degree of floating of the glass substrate 20 It may include a regulator and a flow regulator. In addition, the fluid supply means 110 preferably further includes a purification unit capable of purifying the fluid supplied to prevent the glass substrate 20 from being contaminated by impurities. As the fluid used in the present invention, a gas such as air or nitrogen, water or other chemical solution may be used, and a gas is preferably used. There is no particular limitation on the compressor, the pressure regulator, the flow regulator, and the refiner, and each means that can be selected according to the fluid to be used will be apparent to those skilled in the art.

본 발명은 또한 유리 기판(20) 반송 방향에 대해 수직 방향인 유리 기판(20) 양 측면에 위치하여 유리 기판(20)의 측면에 접촉하는 사이드 구동 롤러(120);The present invention also includes a side drive roller 120 positioned on both sides of the glass substrate 20 perpendicular to the glass substrate 20 conveyance direction and in contact with the side surface of the glass substrate 20;

상부 면에 유체 배출구(101) 및 하부 면에 유체 유입구(102)를 가지고 그 내부에 상기 상부 면의 유체 배출구와 상기 하부 면의 유체 유입구를 관통하여 양자를 연결시키는 유로(103)를 가지며 상기 양 사이드 구동 롤러(120) 사이에 설치되는 유체 부상 테이블(100);It has a fluid outlet 101 on the upper surface and a fluid inlet 102 on the lower surface and has a flow path 103 therein for connecting both through the fluid outlet of the upper surface and the fluid inlet of the lower surface therein. A fluid floating table 100 installed between the side drive rollers 120;

유리 기판 반송 방향에 대해 수직인 방향으로 직선 왕복 운동하여 상기 유체 부상 테이블(100)의 유체 배출구(101)로부터 배출된 유체에 의해 부양된 유리 기판(20)의 양 측면에 접촉하여 상기 사이드 구동 롤러(120)로 유리 기판(20)을 이동시키는 사이드 가이드 롤러(121)를 포함하는 유리 기판 반송 장치를 제공한다.The side drive rollers come in contact with both sides of the glass substrate 20 supported by the fluid discharged from the fluid outlet 101 of the fluid floating table 100 by linear reciprocating motion in a direction perpendicular to the glass substrate conveying direction. The glass substrate conveyance apparatus containing the side guide roller 121 which moves the glass substrate 20 to 120 is provided.

상기 유체 이동 장치의 개략적인 평면도를 도 5에 도시하였다. 편의상 도 5에는 유체 부상 테이블을 도시하지 않았으나, 그 구성 및 기능은 도 3 및 도 4에 도시된 테이블과 동일하다. 최초 유리 기판(20)이 반송 장치의 유체 부상 테이블 상에 도입되면 유체 배출구에서 배출되는 유체에 의하여 유리 기판(20)은 일정 높이로 부상된다. 부상된 유리 기판(20)의 양 측면은 유리 기판 반송 방향에 대해 수직인 방향으로 직선 왕복 운동이 가능한 사이드 가이드 롤러(121)와 접촉하며, 사이드 가이드 롤러(121)의 회전에 의하여 사이드 구동 롤러(120)로 반송된다.A schematic plan view of the fluid transfer device is shown in FIG. 5. For convenience, the fluid floatation table is not shown in FIG. 5, but its configuration and function are the same as those shown in FIGS. 3 and 4. When the first glass substrate 20 is introduced onto the fluid floating table of the conveying apparatus, the glass substrate 20 is raised to a certain height by the fluid discharged from the fluid outlet. Both side surfaces of the floating glass substrate 20 are in contact with the side guide roller 121 capable of linear reciprocating motion in a direction perpendicular to the glass substrate conveyance direction, and is rotated by the side guide roller 121. 120).

또한 도 6에 도시한 바와 같이 상기 사이드 가이드 롤러(121) 및 사이드 구동 롤러(120)는 유리 기판의 이탈을 방지하기 위하여 그 상단부에 유리 기판 이탈 방지턱(122)을 형성하는 것이 바람직하다. In addition, as shown in FIG. 6, the side guide roller 121 and the side driving roller 120 preferably form a glass substrate detachment prevention jaw 122 at an upper end thereof in order to prevent separation of the glass substrate.

본 발명에 따른 유리 기판 반송 장치를 사용하면, 유리 기판 표면과 반송 장치의 구동롤러가 물리적으로 접촉하지 않으므로 오염원이 발생하지 않으며, 반송 중에 연속적으로 유체 흐름이 유리 기판 하부 면을 지지하므로 유리 기판 유리 기판 처짐 현상이 발생하지 않는다.When the glass substrate conveying apparatus according to the present invention is used, since the glass substrate surface and the driving roller of the conveying apparatus are not in physical contact, no pollution source is generated, and since the fluid flow continuously supports the glass substrate lower surface during conveying, the glass substrate glass Substrate deflection does not occur.

도 1은 종래 장치에 의하여 유리 기판이 반송되는 과정을 도시한 사시도.1 is a perspective view showing a process in which a glass substrate is conveyed by a conventional apparatus.

도 2는 또 다른 종래 기술의 유리 기판 반송 방법의 일 실시예에 따른 단면도.2 is a cross-sectional view according to one embodiment of yet another prior art glass substrate conveying method.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 반송 장치의 단면도.3 is a cross-sectional view of a glass substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 반송 장치의 개략을 나타내는 사시도.4 is a perspective view showing an outline of a glass substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판 반송 장치의 평면도.5 is a plan view of a glass substrate transport apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 구동 롤러의 단면도.6 is a cross-sectional view of a drive roller according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10. 사이드 구동 롤러 20. 유리 기판10. Side driven roller 20. Glass substrate

100. 유체 부상 테이블 101. 유체 배출구100. Fluid Levitation Table 101. Fluid Outlet

102. 유체 유입구 103. 유로102. Fluid inlet 103. Flow path

104. 유체 유도홈 120. 사이드 구동 롤러104. Fluid guide groove 120. Side drive roller

121. 사이드 가이드 롤러 122. 유리 기판 이탈 방지턱121.Side guide roller 122.Glass substrate breakout bump

Claims (4)

유리 기판 반송 장치에 있어서, In a glass substrate conveying apparatus, 유리 기판 반송 방향에 대해 수직 방향인 유리 기판 양 측면에 위치하여 유리 기판의 측면에 접촉하는 사이드 구동 롤러; 및Side drive rollers positioned on both sides of the glass substrate perpendicular to the glass substrate conveyance direction and in contact with the side surfaces of the glass substrate; And 상부 면에 유체 배출구 및 하부 면에 유체 유입구를 가지고, 그 내부에 상기 상부 면의 유체 배출구와 상기 하부 면의 유체 유입구를 관통하여 양자를 연결시키는 유로를 가지며, 상기 양 사이드 구동 롤러 사이에 설치되는 유체 부상 테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.It has a fluid outlet on the upper surface and a fluid inlet on the lower surface, therein has a flow path for connecting both through the fluid outlet of the upper surface and the fluid inlet of the lower surface therebetween, and is installed between the both side drive rollers A glass substrate conveyance apparatus comprising a fluid floatation table. 제 1 항에 있어서, 유리 기판 반송 방향에 대해 수직인 방향으로 직선 왕복 운동하여 유체 부상 테이블의 배출구로부터 배출된 유체에 의해 부양된 유리 기판의 양 측면에 접촉하여 사이드 구동 롤러로 유리 기판을 이동시키는 사이드 가이드 롤러를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.The glass substrate of claim 1, wherein the glass substrate is moved by a side driving roller in contact with both sides of the glass substrate supported by the fluid discharged from the outlet of the fluid floating table by linearly reciprocating in a direction perpendicular to the glass substrate conveying direction. A glass substrate conveying apparatus, further comprising a side guide roller. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 유체 부상 테이블의 상부 면에 나선 형상의 유체 유도홈이 형성되어 있되, 상기 유체 유도홈은 상기 유체 배출구로부터 시작하여 유체 부상 테이블의 양 측면의 말단부까지 형성되어 있는 유리 기판 반송 장치.According to claim 1 or 2, wherein the fluid guide groove of the spiral shape is formed on the upper surface of the fluid flotation table, the fluid guide groove is formed from the fluid outlet to the end portions of both sides of the fluid flotation table Glass substrate transfer apparatus. 제 3 항에 있어서 상기 사이드 구동 롤러 및 사이드 가이드 롤러는 유리 기판 측면과 접촉하는 접촉부 상부에 유리 기판 이탈 방지턱을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.4. The glass substrate conveying apparatus of claim 3, wherein the side driving roller and the side guide roller have a glass substrate detachment prevention jaw on an upper portion of the contact portion in contact with the glass substrate side surface.
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