KR100900381B1 - Conveyer for sheet material and method for conveying sheet material - Google Patents

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가부시키가이샤 니혼 셋케이 고교
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Abstract

초대형 크기의 유리 기판 등의 박판 형상 재료를 에어 테이블에 의해 반송할 때, 유리 기판이 만곡하지 않도록 하는 것으로, 박판 형상 재료 반송 장치(10)는 패스 라인(P)의 폭 방향으로 배열된 에어 테이블 유닛(14A~14D) 상을 공급되는 공기의 부상력을 사용하여 반송하지만, 각 에어 테이블 유닛에서의 정압 발생 장치(24A~24D)의 공기 공급량을, 미리 공급량 제어 장치(23A~23D)에 의해 유리 기판(12)의 패스 라인(P)으로부터의 높이가 균일해지도록 조정해 두는 것을 특징으로 한다.

Figure R1020070072121

When conveying thin plate-shaped materials, such as a glass substrate of a super large size, with an air table, the glass substrate does not bend, and the thin plate-shaped material conveying apparatus 10 arranges the air table arrange | positioned in the width direction of the pass line P. Although the unit 14A-14D image is conveyed using the floating force of the air supplied, the air supply amount of the positive pressure generators 24A-24D in each air table unit is previously supplied by supply amount control apparatus 23A-23D. It adjusts so that the height from the path line P of the glass substrate 12 may become uniform.

Figure R1020070072121

Description

박판 형상 재료 반송 장치와 방법{CONVEYER FOR SHEET MATERIAL AND METHOD FOR CONVEYING SHEET MATERIAL}Thin-shaped material conveying apparatus and method {CONVEYER FOR SHEET MATERIAL AND METHOD FOR CONVEYING SHEET MATERIAL}

본 발명은 액정 디스플레이(LCD) 패널, 플라즈마 디스플레이(PDP) 등의 평판 패널 디스플레이(FPD)에 사용하는 대형이고 얇은 유리 기판과 같은 박판 형상 재료를 비접촉으로 반송하기 위한 박판 형상 재료 반송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a thin plate material conveying apparatus for non-contact conveying thin plate-like materials such as large and thin glass substrates used in flat panel displays (FPD) such as liquid crystal display (LCD) panels and plasma displays (PDP). .

액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 등의 평판 패널 디스플레이의 유리 기판은 약간의 스크래치나 먼지에도 품질에 크게 영향을 받으므로, 이와 같은 유리 기판의 반송에서는 유리 기판의 표면에 스크래치가 발생하거나 이물질이 부착되지 않도록 유리 기판을 평면에 가까운 형상으로 유지하면서 소정의 반송면(패스 라인)을 따라서 매끄럽게 반송하는 것이 요구된다.Glass substrates of flat panel displays, such as liquid crystal displays and plasma displays, are greatly affected by quality due to slight scratches and dust. Therefore, the glass substrate may not be scratched or adhered to the surface of the glass substrate during transportation of such glass substrates. It is required to convey smoothly along a predetermined conveyance surface (pass line), keeping a board | substrate in the shape near a plane.

한편, 액정 디스플레이용 유리 기판은 크기가 점점 대형화되고 있고, 예를 들어 제 8 세대에서는 W2200㎜×L2500㎜, 제 9 세대에서는 W2400㎜×L2800㎜라는 크기이고, 이에 비해 두께가 0.5~0.7㎜ 정도로 매우 얇다. 이 때문에, 유리 기판을 수평으로 반송할 때 그 외주 단부 뿐만 아니라 이보다도 내측의 부분도 지지하지 않으면 중앙부가 크게 처지게 된다.On the other hand, the size of glass substrates for liquid crystal displays is becoming larger and larger, for example, W2200 mm × L2500 mm in the eighth generation, and W2400 mm × L2800 mm in the ninth generation. Very thin For this reason, when conveying a glass substrate horizontally, a center part will sag large unless it supports not only the outer periphery end but a part of inner side.

그래서, 유리 기판의 반송 장치는 유리 기판을 전면(全面)에서 가능한 균등하게 지지하고, 평면에 가까운 형상으로 유지하여 반송하도록 연구되어 있고, 이와 같은 반송 장치 중 하나로서 상면부에 다수의 급기 구멍이 형성된 에어 테이블을 사용하여 유리 기판을 부상시키면서 에어의 압력으로 구동하여 비접촉으로 반송하는 반송 장치가 알려져 있다(예를 들어 일본 공개특허공보 평10-139160호, 일본 공개특허공보 평11-268830호, 일본 공개특허공보 평11-268831호 참조).Therefore, the conveying apparatus of a glass substrate is researched to support a glass substrate as uniformly as possible on the whole surface, to hold | maintain and convey in a shape near a plane, and one of such conveying apparatuses has many air supply holes in an upper surface part. A conveying apparatus is known which is driven at a pressure of air while conveying a glass substrate using a formed air table and conveyed in a non-contact manner (for example, JP-A-10-139160, JP-A-11-268830, See Japanese Patent Laid-Open No. 11-268831).

또한, 유리 기판의 폭 방향의 중앙 근방에는 에어 테이블을 설치하여 유리 기판의 중앙부의 처짐을 억제하고 유리 기판에서의 반송 방향에 수직인 폭 방향의 양단 근방을 복수의 롤러로 지지하여 유리 기판을 소정의 반송 방향으로 구동하도록 한 반송 장치가 알려져 있다(예를 들어, 일본 공개특허공보 2003-63643호, 일본 공개특허공보 2005-29359호 참조).Moreover, an air table is provided in the vicinity of the center of the width direction of a glass substrate, and the sagging of the center part of a glass substrate is suppressed, and both sides of the width direction perpendicular | vertical to the conveyance direction in a glass substrate are supported by several rollers, and a glass substrate is prescribed | regulated. The conveying apparatus which drive to the conveyance direction of is known (for example, refer Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-63643, Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-29359).

또한, 에어 테이블에는 공장의 클린 에어 설비나 송풍기를 구비하는 급기 설비로부터 가압된 공기가 배관을 통하여 공급된다.In addition, the pressurized air is supplied to the air table from the clean air facility of a factory or the air supply facility provided with a blower through piping.

이와 같이, 유리 기판을 비접촉으로 지지하는 에어 테이블을 사용함으로써, 소음, 먼지, 유리 기판의 표면의 결손 등의 문제가 발생하기 어렵고, 부품수가 적은 반송 장치를 실현할 수 있다.Thus, by using the air table which supports a glass substrate non-contactly, troubles, such as a noise, dust, a defect of the surface of a glass substrate, hardly arise, and a conveyance apparatus with few components can be implement | achieved.

본 출원인은 예를 들어 일본 특허출원 2006-276392호에 의해 비공지이기는 하지만, 유리 기판의 패스 라인을 따라서 그 길이 방향 및 폭 방향으로 복수의 에어 테이블을 설치하고, 이들의 에어 테이블의 상면으로부터 공급되는 공기에 의해, 유리 기판을 부상시키고, 또한 패스 라인의 폭 방향 양측에 배치한 이송 롤러에 대 해서는 유리 기판의 폭 방향 양단을, 하방으로부터 기류를 흡입하는 흡인부에 의해 흡인하고, 이에 의해 유리 기판의 폭 방향 양단을 이송 롤러에 접촉시켜 반송하도록 한 박판 형상 재료 반송 장치를 제안하고 있다. The present applicant, for example, is not known by Japanese Patent Application No. 2006-276392, but installs a plurality of air tables in the longitudinal direction and the width direction along the pass line of the glass substrate, and supplies them from the upper surface of these air tables. The air which floats raises a glass substrate, and with respect to the conveyance roller arrange | positioned at the width direction both sides of a pass line, the both ends of the width direction of a glass substrate are aspirated by the suction part which sucks airflow from below, There is proposed a thin plate material conveying apparatus in which both ends of the width direction of the substrate are brought into contact with the conveying roller for conveyance.

상기와 같은 본 출원인이 제안한 박판 형상 재료 반송 장치는 유리 기판 크기가 제 5~제 7 세대의, 대형이 아닌 경우에는 문제가 없었지만, 제 8 세대 또는 제 9 세대의 초대형 크기의 유리 기판의 반송시에, 유리 기판의 패스 라인 중앙부가 크게 상방으로 부상하거나 처지는 만곡이 현저해지는 경우가 있었다.The thin plate material conveying apparatus proposed by the present applicant as described above has no problem when the glass substrate size is not large, of the fifth to seventh generations, but at the time of conveyance of the large-sized glass substrates of the eighth or ninth generations. On the other hand, the curvature of the pass line center part of a glass substrate to float upward or sagging may become remarkable.

한편, FPD의 생산성을 높이기 위해서는 유리 기판의 반송 속도를 점점 고속화하는 것이 요구되어, 최근에는 분속 50m가 되고 있다. 이와 같은 고속 반송하에서 유리 기판이 만곡한 상태로 이동하면, 양력(揚力)이나 하강력을 받아 소위 연날리기 현상(Kite Flying Effect)를 발생시키고, 전술한 바와 같이 유리 기판이 0.5㎜로 얇은 경우에는 매우 파손되기 쉬운 상태가 된다는 문제점이 발생했다.On the other hand, in order to increase the productivity of FPD, it is required to speed up the conveyance speed of a glass substrate gradually, and it has become 50m per minute in recent years. When the glass substrate moves in a curved state under such a high-speed conveyance, a so-called kite flying effect is generated due to lift or lowering force, and as described above, when the glass substrate is thin to 0.5 mm, There is a problem that it becomes very fragile.

본 발명은 초대형 크기의 유리 기판을 고속 반송하는 경우에도 패스 라인 폭 방향 중앙부가 크게 만곡하는 것을 억제할 수 있도록 한 박판 형상 재료 반송 장치 및 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.This invention makes it a subject to provide the thin-material material conveying apparatus and the method which were able to suppress large curvature of a pass line width direction center part, even when carrying out a high speed glass substrate at high speed.

본 발명자 등은 폭 방향으로 복수 배치된 에어 테이블 유닛에서의 적어도 폭 방향 중앙 위치의 에어 테이블 유닛으로부터의 에어 공급량을 조절함으로써, 상기와 같은 유리 기판의 큰 만곡을 억제할 수 있는 것을 발견했다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM This inventor discovered that the big curvature of the said glass substrate can be suppressed by adjusting the air supply amount from the air table unit of the width direction center position at least in the air table unit arrange | positioned in the width direction at least.

즉, 이하의 각 실시예에 의해 상기 과제를 해결할 수 있다.That is, the said subject can be solved by each of the following examples.

(1) 복수의 에어 테이블 유닛을 박판 형상 재료의 패스 라인 방향 및 패스 라인과 직교하는 폭 방향으로 병설하여 설치하고, 상기 에어 테이블 유닛은 상기 박판 형상 재료의 하면에 대해서 기체를 공급하여 상기 박판 형상 재료를 비접촉으로 지지하기 위한 에어 테이블과, 상기 에어 테이블에 상기 정압의 기체를 공급하기 위한 정압 발생 장치를 구비하여 이루어지고, 상기 복수의 에어 테이블 유닛 중, 적어도 패스 라인 폭 방향 중앙 위치의 에어 테이블 유닛은 상기 정압 발생 장치로부터의 기체 공급량을 조절하는 공급량 제어 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송 장치.(1) A plurality of air table units are provided in parallel in the pass line direction of the thin plate-like material and in the width direction orthogonal to the pass lines, and the air table unit supplies gas to the lower surface of the thin plate-shaped material to form the thin plate shape. An air table for supporting a material in a non-contact manner, and a positive pressure generating device for supplying the gas of the positive pressure to the air table, the air table of at least a path line width direction center position of the plurality of air table units The unit is provided with a sheet-shaped material conveying apparatus, characterized by comprising a supply amount control device for adjusting a gas supply amount from the static pressure generating device.

(2) 상기 공급량 제어 장치를 구비한 에어 테이블 유닛 중 적어도 일부의 상방 위치에서의, 반송 중의 상기 박판 형상 재료의 상기 패스 라인으로부터의 높이 방향의 오차량을 검출하는 높이 센서를 설치하고, 상기 공급량 제어 장치는 상기 높이 센서의 검출 신호에 기초하여 상기 높이 방향의 오차량을 감소시키도록, 기체 공급량을 조절하도록 된 것을 특징으로 하는 (1)에 기재된 박판 형상 재료 반송 장치.(2) A height sensor for detecting an error amount in a height direction from the pass line of the thin plate-like material during conveyance at an upper position of at least a portion of the air table unit provided with the supply amount control device, wherein the supply amount is provided. The control apparatus is a thin plate-shaped material conveying apparatus as described in (1) characterized by adjusting a gas supply amount so that the error amount of the said height direction may be reduced based on the detection signal of the said height sensor.

(3) 상기 높이 센서를 상기 에어 테이블 유닛에서의, 패스 라인 폭 방향의 측면에 부착한 것을 특징으로 하는 (2)에 기재된 박판 형상 재료 반송 장치.(3) The thin plate-shaped material conveying apparatus according to (2), wherein the height sensor is attached to a side surface of a pass line width direction in the air table unit.

(4) 상기 정압 발생 장치는 팬의 회전 속도가 가변의 송풍기로 이루어지고, 상기 공급량 제어 장치는 상기 송풍기 회전 속도 조절 스위치로 이루어진 것을 특징으로 하는 (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 박판 형상 재료 반송 장치.(4) The thin plate according to any one of (1) to (3), wherein the constant pressure generator includes a fan having a variable rotation speed of the fan, and the supply amount control device includes a blower rotation speed adjustment switch. Shape material conveying device.

(5) 에어 테이블의 상면으로부터 정압으로 공기를 공급하고, 박판 형상 재료를 상기 에어 테이블의 상면으로부터 부상시킨 상태에서 패스 라인을 따라서 반 송하는 박판 형상 재료의 반송 방법으로, 상기 패스 라인의 폭 방향 중 적어도 중앙 위치에서, 상기 박판 형상 재료의 상기 패스 라인으로부터의 높이의 오차량을 검출하는 공정과, 검출된 상기 오차량에 기초하여 상기 공기의 공급량을 증감하고, 상기 오차량을 감소시키는 공정을 구비하여 이루어진 박판 형상 재료의 반송 방법. (5) The conveying method of the thin plate-shaped material which supplies air from the upper surface of an air table by positive pressure, and conveys along a pass line in the state which made the thin plate material float from the upper surface of the said air table, The width direction of the said pass line A step of detecting an error amount of the height from the pass line of the thin plate material at at least a central position, and increasing or decreasing the supply amount of the air based on the detected error amount, and reducing the error amount. The conveying method of the thin plate-shaped material provided.

(6) 상기 패스 라인 상의 박판 형상 재료의 반송 방향에 대해서 직교하는 폭 방향의 양단 근방 부분을 부압에 의해 하방으로부터 흡인하여, 이송 롤러에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 (5)에 기재된 박판 형상 재료의 반송 방법.(6) The thin plate-like material according to (5), wherein portions near both ends in the width direction orthogonal to the conveying direction of the thin plate-like material on the pass line are sucked from below by contact with the conveying roller. Bounce method.

본 발명에 의하면 초대형 크기의 유리 기판이어도, 패스 라인 폭 방향 중앙부의 큰 부상이나 처짐을 억제하여 그 만곡을 방지할 수 있다. 따라서, 고속 반송이 가능해진다.According to this invention, even if it is a glass substrate of a very large size, large floating and deflection can be suppressed and curvature can be prevented. Therefore, high speed conveyance is attained.

이하 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of this invention is described in detail with reference to drawings.

도 1, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시형태에 관한 박판 형상 재료 반송 장치(10)는 예를 들어 대형의 LCD용 유리 기판(박판 형상 재료)(12)를 비접촉으로 부상 지지하기 위한 복수의 에어 테이블 유닛(14)(Ⅱ-Ⅱ선을 따라서 4기: 14A~14D)과, 패스 라인(반송면)(P)의 폭 방향 양단에서 유리 기판(12)의 하면에 접촉하여 유리 기판(12)을 소정의 반송 방향으로 구동하기 위한 복수의 이송 롤러(구동 부재)(16)를 갖는 구동 유닛(18)과, 이송 롤러(16)의 근방에 배치되고 유 리 기판(12)의 하면에 부압을 공급하여 유리 기판(12)을 이송 롤러(16)의 방향으로 부세하기 위한 흡인 유닛(20)과, 상기 에어 테이블 유닛(14) 중, 에어 테이블 유닛(14A~14C)에 부착된 높이 센서(21)(21A~21C), 기체 공급량 제어 장치(23)(23A~23C; 도 3 참조)를 구비하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 1, FIG. 2, the thin-plate-shaped material conveying apparatus 10 which concerns on 1st Embodiment of this invention floats the large-size LCD glass substrate (thin-shaped material) 12 non-contacted, for example. A plurality of air table units 14 (four units along the line II-II: 14A to 14D) for supporting contact the lower surface of the glass substrate 12 at both ends in the width direction of the pass line (carrying surface) P. And a driving unit 18 having a plurality of conveying rollers (driving members) 16 for driving the glass substrate 12 in a predetermined conveying direction, and in the vicinity of the conveying rollers 16, ) To the air table units 14A to 14C of the suction unit 20 and the air table unit 14 among the air table unit 14 for supplying a negative pressure to the lower surface of the bottom surface to bias the glass substrate 12 in the direction of the transfer roller 16. The attached height sensor 21 (21A-21C) and the gas supply amount control apparatus 23 (23A-23C; see FIG. 3) are comprised.

도 2에 도시된 바와 같이, 에어 테이블(22)은 상면부(26)가 대략 평탄한 거의 직방체의 상자 형상체로 유리 기판(12)의 하면에 대해서 공기를 공급하기 위한 복수의 급기 구멍(26A)이 상면부(26)에 형성된 구조로 되어 있다.As shown in FIG. 2, the air table 22 has a plurality of air supply holes 26A for supplying air to the lower surface of the glass substrate 12 in a substantially rectangular parallelepiped box body whose upper surface portion 26 is substantially flat. It is a structure formed in the upper surface part 26.

또한, 에어 테이블(22)은 패스 라인(P) 방향으로 긴 거의 직방체로 되어 있다. 상기 실시형태에서는 8기의 에어 테이블 유닛(14)이 패스 라인(P)의 방향으로 2열, 폭 방향으로는 4열로 배치되어 있다. 여기에서, 폭 방향으로 배치된 4기의 에어 테이블 유닛(14)을 변별하기 위해, 도 2에서 좌측으로부터 우측 방향으로 에어 테이블 유닛 "14A", "14B", "14C", "14D"로 부호를 붙이고, 또한 이에 대응하는 높이 센서는 "21A~21C"(에어 테이블 유닛(14D)에는 높이 센서가 설치되어 있지 않다), 기체 공급량 제어 장치는 "23A~23D", 정압 발생 장치는 "24A~24D"로서 설명한다.In addition, the air table 22 is a substantially rectangular parallelepiped which is long in a pass line P direction. In the above embodiment, eight air table units 14 are arranged in two rows in the direction of the pass line P and in four rows in the width direction. Here, in order to discriminate the four air table units 14 arranged in the width direction, reference is made to the air table units "14A", "14B", "14C", and "14D" from left to right in FIG. And the corresponding height sensor is "21A-21C" (the height sensor is not installed in the air table unit 14D), the gas supply amount control device is "23A-23D", and the constant pressure generator is "24A- 24D ".

에어 테이블(22)에서의 상면부(26)는 구체적으로는 두께가 0.5~3㎜의 판재이다. 상면부(26)의 재료로서는 스테인레스, 알루미늄, 각종 합금 등을 사용할 수 있다.The upper surface part 26 in the air table 22 is specifically a board | plate material of 0.5-3 mm in thickness. As a material of the upper surface part 26, stainless steel, aluminum, various alloys, etc. can be used.

정압 발생 장치(24)는 팬(28) 및 모터(29)를 구비하고 있는 송풍기로, 에어 테이블(22)의 하측에 설치되고, 에어 테이블(22)에 직결되어 있다. 또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 본 제 1 실시형태에서는 각 에어 테이블(22)에 대해서 2대의 정압 발생 장치(24)가 반송 방향으로 이간하여 설치되어 있다.The positive pressure generator 24 is a blower provided with a fan 28 and a motor 29, which is provided below the air table 22, and is directly connected to the air table 22. In addition, as shown in FIG. 4, in this 1st Embodiment, two static pressure generators 24 are provided with respect to each air table 22 in the conveyance direction.

에어 테이블(22)의 상면부(26)와 정압 발생 장치(24) 사이에는 필터(30)가 설치되어 있다. 보다 상세하게는 필터(30)는 에어 테이블(22) 중에서의 상면부(26)의 하방 근방에 설치되어 있다. 필터(30)의 재료로서는 예를 들어 클린룸의 공기 여과용 HEPA(High Efficiency Particulate Air Filter)나 ULPA(Ultra Low Penetration Air Filter)와 동일한 재료를 사용할 수 있다.The filter 30 is provided between the upper surface part 26 of the air table 22 and the positive pressure generator 24. More specifically, the filter 30 is provided in the vicinity of the upper surface portion 26 in the air table 22. As the material of the filter 30, the same material as the HEPA (High Efficiency Particulate Air Filter) and ULPA (Ultra Low Penetration Air Filter) for clean air can be used, for example.

에어 테이블(22) 중에서의 상면부(26)와 필터(30) 사이에는 메시 부재(32)가 설치되어 있다. 메시 부재(32)는 선 직경이 0.1~1.5㎜의 바늘형상 또는 실형상의 부재가 소정의 피치로 편성된 구성이다. 메시 부재(32)의 재료로서는 구체적으로는 스테인레스, 알루미늄, 각종 합금, 수지 등을 사용할 수 있다.A mesh member 32 is provided between the upper surface portion 26 and the filter 30 in the air table 22. The mesh member 32 is a structure in which a needle-like or thread-shaped member having a line diameter of 0.1 to 1.5 mm is knitted at a predetermined pitch. As a material of the mesh member 32, stainless steel, aluminum, various alloys, resin, etc. can be used specifically ,.

흡인 유닛(20)은 패스 라인(P)의 폭 방향 양단의 에어 테이블 유닛(14)의 외측에 구비되어 있다.The suction unit 20 is provided outside the air table unit 14 at both ends of the pass line P in the width direction.

각 흡인 유닛(20)은 상면부(34)가 거의 평탄한 상자 형상체이고 유리 기판(12)의 하면에 대해서 부압을 공급하기 위한 복수의 흡인 구멍(34A)이 상면부(34)에 형성되고, 상자 내에는 예를 들어 팬으로 이루어진 부압 발생 장치(20A)가 설치된 구조이고, 상면부(34)가 폭 방향 양측의 에어 테이블 유닛(14)의 상면부(26)와 구동 유닛(18)의 이송 롤러(16) 사이에 배치되도록 설치되어 있다.Each suction unit 20 is a box-shaped body whose upper surface portion 34 is substantially flat, and a plurality of suction holes 34A for supplying negative pressure to the lower surface of the glass substrate 12 are formed in the upper surface portion 34, In the box, for example, a negative pressure generating device 20A made of a fan is provided, and the upper surface portion 34 transfers the upper surface portion 26 of the air table unit 14 and the drive unit 18 on both sides in the width direction. It is provided so that it may be arrange | positioned between the rollers 16.

구동 유닛(18)은 유리 기판(12)의 폭 방향의 양단에서 접촉하도록 8대의 에어 테이블 유닛(14)의 폭 방향 양측에 한쌍 구비되어 있다.The pair of drive units 18 is provided in the width direction both sides of the eight air table units 14 so that it may contact at the both ends of the width direction of the glass substrate 12. As shown in FIG.

이송 롤러(16)는 반송 방향으로 적절한 피치로 복수 설치되어 있다. 각 이송 롤러(16)는 유리 기판(12)의 하면에 접촉하는 롤러부(16A) 및 이보다도 폭 방향 외측에 설치된 플랜지부(16B)를 구비하고, 도시하지 않은 회전 구동원에 연결되어 있다. 또한, 본 제 1 실시형태에서는 구동 유닛(18)은 이송 롤러(16)의 롤러부(16A)의 상단이 에어 테이블(22)의 상면부(26)의 상면보다도 유리 기판(12)의 부상량만큼 수 ㎜ 정도 높아지도록 설치되어 있다. 이 높이가 패스 라인(P)의 높이의 기준이 된다.The conveyance roller 16 is provided in multiple numbers by a suitable pitch in a conveyance direction. Each feed roller 16 is provided with the roller part 16A which contact | connects the lower surface of the glass substrate 12, and the flange part 16B provided in the width direction outer side more than this, and is connected to the rotation drive source which is not shown in figure. In the first embodiment, in the drive unit 18, the upper end of the roller portion 16A of the transfer roller 16 is higher than the upper surface of the upper surface portion 26 of the air table 22. It is provided so that it may become several mm high. This height serves as a reference for the height of the pass line P. FIG.

높이 센서(21A~21C)는 대응하는 에어 테이블(22A~22C)의, 도 2에서 우측의 측면 상부에 부착된 광센서로서, 그 바로 위의 위치에서의 반송 중의 유리 기판(12)의 하면의 높이, 예를 들어 패스 라인(P)으로부터의 높이의 오차량 또는 에어 테이블(22)의 상면부(26)로부터의 높이를 검출할 수 있도록 되어 있다.The height sensors 21A-21C are optical sensors attached to the upper side of the right side of FIG. 2 of the corresponding air table 22A-22C, and the lower surface of the lower surface of the glass substrate 12 during conveyance in the position immediately above it is shown. The height, for example, the error amount of the height from the pass line P or the height from the upper surface portion 26 of the air table 22 can be detected.

정압 발생 장치(24A~24D)에서의 팬(28)을 구동하기 위한 모터(29)는 회전 속도 가변으로 되고, 상기 공급량 제어장치(23A~23D)는 높이 센서(21A~21C) 상방 위치에서의 패스 라인(P)으로부터의 유리 기판 높이 신호 또는 외부로부터의 수동 조작에 의해, 예를 들어 팬의 회전수를 단계적으로 미약, 약, 중, 강, 최강 등으로 변경할 수 있는 송풍기 회전 속도 조절 스위치로 구성되어 있다.The motor 29 for driving the fan 28 in the constant pressure generators 24A to 24D is variable in rotational speed, and the supply amount control devices 23A to 23D are located at positions above the height sensors 21A to 21C. By the glass substrate height signal from the pass line P or manual operation from the outside, for example, with a blower rotational speed control switch that can change the fan speed step by step, weak, weak, medium, strong, strongest, etc. Consists of.

이들 공급량 제어장치(23A~23D)는 박판 형상 재료 반송 장치(10)의 외측면, 여기에서는 구동 유닛(18)의 외측면에, 패스 라인(P)의 폭 방향으로 배열된 4기의 에어 테이블 유닛마다 정리하여 설치되어 있다.These supply amount control apparatuses 23A-23D are four air tables arranged in the width direction of the pass line P on the outer surface of the thin-shaped material conveying apparatus 10 here, and the outer surface of the drive unit 18 here. It is arranged in a unit for each unit.

다음에, 박판 형상 재료 반송 장치(10)에 의해 유리 기판(12)을 반송하는 과 정에 대해서 설명한다.Next, the process of conveying the glass substrate 12 by the thin plate-shaped material conveyance apparatus 10 is demonstrated.

우선, 공급량 제어 장치(23)를 높이 센서(21)로부터의 출력 신호가 유리 기판(12)의 패스 라인(P)보다도 높은 경우에는, 대응하는 정압 발생 장치(24)에서의 팬의 회전 속도를 억제하고, 또한 그 반대로 패스 라인(P)보다도 낮은 경우에는 회전 속도를 증대하도록 설정해 둔다.First, in the case where the output signal from the height sensor 21 is higher than the pass line P of the glass substrate 12, the supply speed controller 23 adjusts the rotational speed of the fan in the corresponding constant pressure generator 24. If it is lower than the pass line P, on the contrary, the rotation speed is set to increase.

박판 형상 재료 반송 장치(10)에 의해 유리 기판(12)을 반송할 때, 각 높이 센서(21A~21C)는 그 바로 위의 유리 기판(12)의 하면의 높이를 검출하고, 그 검출 신호를 공급량 제어 장치(23A~23C)에 출력한다.When conveying the glass substrate 12 by the thin-shaped material conveying apparatus 10, each height sensor 21A-21C detects the height of the lower surface of the glass substrate 12 directly above, and detects the detection signal. Output to supply amount control apparatuses 23A-23C.

또한, 공급량 제어 장치(23D)는 미리 유리 기판(12)이 흡인 유닛(20)에 의해 흡인되었을 때, 구동 유닛(18)에서의 이송 롤러(16)에 접촉할 수 있는 정도의 공기 공급량으로 설정해 둔다.In addition, the supply amount control device 23D is set to an air supply amount such that the glass substrate 12 can be brought into contact with the feed roller 16 in the drive unit 18 when the glass substrate 12 is sucked by the suction unit 20 in advance. Put it.

상기와 같이 공급량 제어 장치(23A~23C)는 높이 센서(21A~21C)가 유리 기판(12)의 패스 라인(P)으로부터의 높이가 너무 크다는 신호를 출력했을 때에는, 대응하는 정압 발생 장치(24A~24C)의 공기 공급량을 억제하고, 그 반대의 경우는 공기 공급량을 증대하므로, 반송되는 유리 기판(12)은 패스 라인(P)의 폭 방향으로 거의 균일한 높이, 즉 직평면 상태가 유지되어 반송된다.As described above, when the height sensors 21A to 21C output a signal that the height from the pass line P of the glass substrate 12 is too large, the supply amount control devices 23A to 23C correspond to the corresponding constant pressure generator 24A. Since the air supply amount of ˜24C) is suppressed, and vice versa, the air supply amount is increased, so that the glass substrate 12 to be conveyed has a substantially uniform height in the width direction of the pass line P, that is, a flat plane state is maintained. Is returned.

특히, 상기 실시형태에서 유리 기판(12)의 패스 라인(P)의 폭 방향 양단부가 흡인 유닛(20)의 부압에 의해 흡인되어 이송 롤러(16)에 부세되어 있으므로, 폭 방향 양단부의 높이가 일정하고, 이를 기준으로 하여 유리 기판(12)의 패스 라인(P) 중앙 위치 근방의 반송시에서의 높이를 균일하게 함으로써, 단순히 유리 기판(12) 을 직평면 상태로 반송할 뿐만 아니라, 그 반송 높이를 일정하게 할 수 있다는 이점이 있다.In particular, since the width direction both ends of the pass line P of the glass substrate 12 in the said embodiment are attracted by the negative pressure of the suction unit 20, and are biased by the feed roller 16, the height of the width direction both ends is constant. By making the height at the time of conveyance near the center line of the pass line P of the glass substrate 12 on the basis of this, not only conveying the glass substrate 12 to a linear plane state, but also the conveyance height There is an advantage that can be made constant.

또한, 박판 형상 재료 반송 장치(10)는 에어 테이블 유닛(14)이 정압 발생 장치(24)를 구비하고 있으므로, 클린 에어 설비나 송풍기를 구비하는 급기 설비 등의 외부의 급기 설비와의 배관이 불필요하고, 정압 발생 장치(24)가 에어 테이블(22)에 직결되어 있으므로, 정압 발생 장치(24)와 에어 테이블(22)을 연결하기 위한 배관도 불필요하고, 또한 정압 발생 장치(24)로부터 공급되는 공기를 에어 테이블(22)의 상방으로 효율 좋게 보낼 수 있다.In addition, since the air table unit 14 includes the positive pressure generator 24, the thin plate-shaped material conveying apparatus 10 does not require piping with external air supply facilities such as a clean air facility or an air supply facility having a blower. Since the positive pressure generator 24 is directly connected to the air table 22, piping for connecting the positive pressure generator 24 and the air table 22 is also unnecessary and is supplied from the constant pressure generator 24. Air can be efficiently sent above the air table 22.

따라서, 설비를 위한 공간이 작다. 또한, 공장의 클린 에어를 사용하지 않으므로 러닝코스트의 감소에 기여한다.Thus, the space for the installation is small. In addition, it does not use clean air of the factory, which contributes to the reduction of running cost.

또한, 에어 테이블(22)의 상면부(26)와 정압 발생 장치(24) 사이에 필터(30)가 설치되어 있으므로, 유리 기판(12)의 하면에 이물질이 제거된 청정한 공기를 공급할 수 있다. 특히, 필터(30)가 에어 테이블(22) 중에서의 상면부(26)의 하측 근방에 설치되어 있으므로, 이물질이 제거된 직후의 청정한 공기가 유리 기판(12)의 하면에 확실하게 공급된다.Moreover, since the filter 30 is provided between the upper surface part 26 of the air table 22 and the positive pressure generator 24, the clean air from which the foreign material was removed can be supplied to the lower surface of the glass substrate 12. FIG. In particular, since the filter 30 is provided near the lower side of the upper surface part 26 in the air table 22, clean air immediately after the foreign material is removed is reliably supplied to the lower surface of the glass substrate 12. As shown in FIG.

또한, 박판 형상 재료 반송 장치(10)는 유리 기판(12)을 이송 롤러(16)의 방향으로 부세하기 위한 흡인 유닛(20)을 구비하고 있으므로, 유리 기판(12)과 이송 롤러(16)의 접촉력을 높이고, 유리 기판(12)과 이송 롤러(16)의 마찰력을 증대시킬 수 있다. 이에 의해, 유리 기판(12)과 이송 롤러(16)의 슬립을 억제할 수 있다.Moreover, since the thin plate-shaped material conveying apparatus 10 is equipped with the suction unit 20 for biasing the glass substrate 12 in the direction of the conveyance roller 16, the thin substrate conveyance apparatus 10 of the glass substrate 12 and the conveyance roller 16 is carried out. The contact force can be raised and the friction force of the glass substrate 12 and the conveyance roller 16 can be increased. Thereby, slip of the glass substrate 12 and the conveyance roller 16 can be suppressed.

따라서, 에어 테이블(22) 상에서 부상하는 유리 기판(12)의 하면의 높이와 이송 롤러(16)의 롤러부(16A)의 상단이 동등한 높이가 되도록 구동 유닛(18)을 설치하고, 유리 기판(12)을 평면에 가까운 형상으로 유지해도 유리 기판(12)과 이송 롤러(16)의 슬립이 억제되고, 유리 기판(12)과 이송 롤러(16)의 마찰력이 크므로, 이송 롤러(16)의 회전 가속도 및 감속도를 그만큼 크게 설정할 수 있고, 반송효율의 향상에 기여한다.Therefore, the drive unit 18 is provided so that the height of the lower surface of the glass substrate 12 which floats on the air table 22, and the upper end of the roller part 16A of the feed roller 16 are equal height, and the glass substrate ( Even if 12 is maintained in a shape close to a plane, the slip of the glass substrate 12 and the conveying roller 16 is suppressed, and the frictional force of the glass substrate 12 and the conveying roller 16 is large. Rotational acceleration and deceleration can be set so large that it contributes to the improvement of conveyance efficiency.

또한, 박판 형상 재료 반송 장치(10)는 구동 유닛(18)이 유리 기판(12)의 하면에 접촉하여 유리 기판(12)을 반송 방향으로 구동하므로, 공기의 압력만으로 구동력을 부여하는 반송 장치와 비교하면, 유리 기판(12)을 지지할만큼 공기를 공급하는 것만으로 충분하므로 장치의 제조비용의 감소에 기여함과 동시에 공기의 공급량이 적어도 충분하므로 클린룸 내의 공기의 흐트러짐이 억제된다. 또한, 에어의 복잡한 제어가 불필요하므로, 구조가 간단하다.Moreover, since the thin-plate material conveying apparatus 10 drives the glass substrate 12 to a conveyance direction by contacting the lower surface of the glass substrate 12, the conveying apparatus which gives a driving force only by the pressure of air, In comparison, only supplying air enough to support the glass substrate 12 contributes to the reduction of the manufacturing cost of the apparatus, and at the same time, the supply amount of air is at least sufficient, so that the disturbance of the air in the clean room is suppressed. In addition, since complicated control of air is unnecessary, the structure is simple.

상기 실시형태에서 에어 테이블 유닛(14A~14C)의 측면에 높이 센서(21A~21C)를 설치한 구성으로 되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 높이 센서를, 패스 라인(P)의 폭 방향 중앙부 중 적어도 1기(홀수기의 경우; 짝수기의 경우에는 중앙의 2기)의 에어 테이블 유닛에만 설치해도 좋고 또한 높이 센서를 설치하지 않는 경우에도 적용되는 것이다.Although the height sensor 21A-21C was provided in the side surface of air table unit 14A-14C in the said embodiment, this invention is not limited to this, The height sensor is a width | variety of the pass line P. It may be provided only in the air table unit of at least one of the direction center parts (in the case of odd number; in the case of even number) in the middle, and also when the height sensor is not provided.

즉, 본 발명에 관한 박판 형상 재료 반송 장치의 설정시에, 눈으로 보아 유리 기판(12)의 반송시의 높이가 균일해지도록, 공급량 제어 장치(23A~23D)를 조정하여 설정하고, 그 후에 유리 기판(12)의 두께나 크기의 변경이 없는 한은 정압 발생 장치(24A~24D)의 공기 공급량을 거의 설정시와 동일하게 유지할 수 있기 때문이 다.That is, at the time of setting the thin-film material conveying apparatus which concerns on this invention, supply quantity control apparatuses 23A-23D are adjusted and set so that the height at the time of conveyance of the glass substrate 12 may become uniform visually, and after that, This is because the air supply amount of the constant pressure generators 24A to 24D can be maintained almost the same as when the glass substrate 12 has no change in thickness or size.

단, 정압 발생 장치(24)를 구동하는 전원의 전압의 변동이나, 팬을 구동하기 위한 모터(29)의 출력 변동 등이 발생하기 쉬운 경우에는 상기와 같이 높이 센서(21)를 설치하여 조정하면 좋다.However, when a change in the voltage of the power source for driving the constant pressure generator 24 or a change in the output of the motor 29 for driving the fan is likely to occur, the height sensor 21 may be installed and adjusted as described above. good.

또한, 상기의 높이 센서(21)는 유리 기판(12)의 높이를 검출하는 것이지만, 높이 센서(21)를 유리 기판(12)의 유무의 검출 센서로 하여, 박판 형상 재료 반송 장치(10)의 에너지 절감 운전에 이용할 수 있다.In addition, although the said height sensor 21 detects the height of the glass substrate 12, using the height sensor 21 as a detection sensor of the presence or absence of the glass substrate 12, It can be used for energy saving operation.

즉, 정압 발생 장치(24)는 유리 기판(12)을 반송하고 있지 않을 때에는 정지시켜 두는 것이 에너지 절감상 바람직하지만, 팬모터를 사용하고 있으므로, 유리 기판(12)의 반송을 재개했을 때 정지 상태로부터 일정 속도로 회전이 올라갈 때까지 지연(타임 래그)을 발생시킨다.That is, it is preferable for the energy saving to stop the static pressure generator 24 when not transporting the glass substrate 12. However, since the fan motor is used, the static pressure generator 24 is stopped when the transport of the glass substrate 12 is resumed. Delay (time lag) is generated until the rotation increases at a constant speed.

상기 실시형태의 정압 발생 장치(24)는 유리 기판(12)을 반송하고 있지 않을 때에 최저의 회전 속도로 해 두고 에너지 절감을 도모하고, 높이 센서(21)에 의해 유리 기판(12)의 선단을 검출했을 때 상용 회전 속도로 높이는 것으로 하면, 타임 래그가 거의 발생하지 않는다.When the static pressure generator 24 of the said embodiment is not conveying the glass substrate 12, it aims at the lowest rotational speed, and aims at energy saving, and the height sensor 21 makes the front-end | tip of the glass substrate 12 the same. When it makes it raise at a commercial rotational speed, a time lag hardly arises.

또한, 도 1의 실시형태에서는 공급량 제어 장치(23A~23D)는 박판 형상 재료 반송 장치(10)의 패스 라인(P) 양측 위치의 구동 유닛(18)의 외측면에 일괄적으로 설치된 구성으로 되어 있지만, 공급량 제어 장치(23A~23D)의 조작을 빈번하게 할 필요가 없는 경우에는 대응하는 에어 테이블 유닛(14A~14D)에 설치해도 좋다.In addition, in embodiment of FIG. 1, supply amount control apparatuses 23A-23D are collectively provided in the outer surface of the drive unit 18 of the pass line P both positions of the thin-plate-shaped material conveying apparatus 10, and are collectively provided. However, when operation | movement of supply amount control apparatuses 23A-23D does not need to be frequent, you may install in corresponding air table unit 14A-14D.

또한, 상기 실시형태에서 박판 형상 재료 반송 장치(10)는 에어 테이블 유 닛(14)을 8기 구비하고 있지만, 유리 기판(12)의 길이, 폭 등에 대응하여 7기 이하의 에어 테이블 유닛을 구비하는 구성으로 해도 좋고, 9기 이상의 에어 테이블 유닛을 구비하는 구성으로 해도 좋다.In addition, although the thin plate-shaped material conveying apparatus 10 is equipped with eight air table units 14 in the said embodiment, it is equipped with seven air table units or less corresponding to the length, width, etc. of the glass substrate 12. It is good also as a structure provided, and it is good also as a structure provided with nine or more air table units.

또한, 에어 테이블 유닛(14)은 반송 방향으로 긴 형상이지만, 유리 기판(12)의 길이, 폭 등에 따라서 예를 들어, 에어 테이블 유닛(14)은 반송 방향의 길이와 폭 방향의 길이가 동등한 형상으로 해도 좋고, 폭 방향으로 긴 형상으로 해도 좋다.In addition, although the air table unit 14 is a shape long in a conveyance direction, for example, the air table unit 14 is a shape in which the length of a conveyance direction is equal to the length of the width direction according to the length, width, etc. of the glass substrate 12. It may be used, or may be a shape long in the width direction.

또한, 에어 테이블 유닛(14)은 각각 2대의 정압 발생 장치(24)를 구비하고 있지만, 예를 들어 에어 테이블 유닛의 형상 등에 따라서 각 에어 테이블 유닛에 정압 발생 장치를 1대만 구비해도 좋고, 3대 이상의 정압 발생 장치를 구비해도 좋다.In addition, the air table unit 14 is provided with two static pressure generators 24, respectively, For example, only one static pressure generator may be provided in each air table unit according to the shape of an air table unit, etc. The positive pressure generator described above may be provided.

또한, 상기 실시형태에서 정압 발생 장치(24), 부압 발생 장치(20A)는 팬을 구비하는 구조이기는 하지만, 정압 발생 장치, 부압 발생 장치의 구조는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 원심형 등의 다른 터보형 구조나 용적형 구조의 정압 발생 장치, 부압 발생 장치를 채용해도 좋다.In addition, although the positive pressure generating device 24 and the negative pressure generating device 20A in the above embodiment have a structure having a fan, the structures of the positive pressure generating device and the negative pressure generating device are not particularly limited, and for example, centrifugal type or the like. You may employ | adopt the positive pressure generator and the negative pressure generator of another turbo type | mold structure, a volume type structure.

또한, 상기 실시형태에서 박판 형상 재료 반송 장치(10)는 복수의 이송 롤러(구동 부재)(16)를 갖는 구동 유닛(18)을 구비하고 있지만, 예를 들어 벨트(구동 부재)를 갖는 구동 유닛을 구비하는 구성으로 해도 좋다. 또한, 구동용 롤러와 벨트가 병설된 구동 유닛을 구비하는 구성으로 해도 좋다.In addition, in the said embodiment, although the thin-plate-shaped material conveying apparatus 10 is equipped with the drive unit 18 which has the some conveyance roller (drive member) 16, it is a drive unit which has a belt (drive member), for example. It is good also as a structure provided with. Moreover, it is good also as a structure provided with the drive unit in which the drive roller and the belt were provided in parallel.

또한, 구동 유닛을 생략하고 반송 방향으로 공기를 분사하도록 에어 테이블 의 급기 구멍을 기울여 상면판에 형성하고, 에어 테이블이 분사하는 공기로 피반송물을 구동하도록 해도 좋다. 또한, 에어 테이블이 공급하는 공기로 피반송물을 구동하는 경우에는 흡인 유닛은 생략해도 좋다.In addition, the air supply hole of the air table may be inclined to be formed on the upper surface plate so as to inject air in the conveying direction without the driving unit, and the object to be conveyed may be driven by the air injected by the air table. In addition, when driving a to-be-carried object with the air supplied from an air table, a suction unit may be abbreviate | omitted.

또한, 에어 테이블 유닛(14)으로부터 유리 기판(12)의 하면에 공급하는 기체는 공기이지만, 예를 들어 질소 가스, 희가스 등의 다른 기체를 유리 기판(12)의 하면에 공급해도 좋다.In addition, although the gas supplied from the air table unit 14 to the lower surface of the glass substrate 12 is air, you may supply other gases, such as nitrogen gas and a rare gas, to the lower surface of the glass substrate 12, for example.

또한, 상기 실시형태는 유리 기판(12)을 반송하기 위한 것이지만, 면적에 비교하여 판 두께가 얇은, 소위 박판 형상 재료이면 다른 재료의 반송에도 본 발명은 적용 가능하다. 예를 들어, 금속 박판 형상 재료, 수지 박판 형상 재료 등의 휨을 발생시키기 쉬운 재료의 반송의 경우에 적용 가능하다.In addition, although the said embodiment is for conveying the glass substrate 12, this invention is applicable also to conveyance of another material as long as it is what is called a thin plate-shaped material with thin plate thickness compared with an area. For example, it is applicable in the case of conveyance of the material which is easy to produce curvature, such as a metal lamination material and a resin lamination material.

본 발명은 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 등의 평판 패널 디스플레이에 사용하는 대형이고 얇은 유리 기판과 같은 박판 형상 재료의 반송에 사용할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for conveying a thin plate-like material such as a large and thin glass substrate for use in flat panel displays such as liquid crystal displays and plasma displays.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 박판 형상 재료 반송 장치의 전체 구성의 개요를 도시한 사시도,BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows the outline | summary of the whole structure of the thin plate material conveying apparatus which concerns on embodiment of this invention,

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 확대 단면도,2 is an enlarged cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1;

도 3은 박판 형상 재료 반송 장치의 제어 계통을 도시한 블럭도, 및3 is a block diagram showing a control system of the sheet-shaped material conveying apparatus, and

도 4는 도 1의 Ⅳ-Ⅳ선을 따른 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 1.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10: 박판 형상 재료 반송 장치 12: 유리 기판(박판 형상 재료)10: thin plate material conveying device 12: glass substrate (thin plate material)

14, 14A~14D: 에어 테이블 유닛 16: 이송 롤러14, 14A ~ 14D: Air Table Unit 16: Feed Roller

18: 구동 유닛 20: 흡인 유닛18: drive unit 20: suction unit

20A: 부압 발생 장치 21(21A~21C): 높이 센서20 A: Negative pressure generator 21 (21 A to 21 C): Height sensor

22(22A~22D): 에어 테이블 23(23A~23D): 공급량 제어 장치22 (22A-22D): Air Table 23 (23A-23D): Supply Control Device

24(24A~24D): 정압 발생 장치 29: 모터24 (24A to 24D): Positive pressure generator 29: Motor

Claims (6)

복수의 에어 테이블 유닛을 박판 형상 재료의 패스 라인 방향 및 패스 라인과 직교하는 폭 방향으로 병설하여 설치하고,A plurality of air table units are provided in parallel in the pass line direction of the thin plate-like material and in the width direction orthogonal to the pass line, 상기 에어 테이블 유닛은 상기 박판 형상 재료의 하면에 대해서 기체를 공급하여 상기 박판 형상 재료를 비접촉으로 지지하기 위한 에어 테이블과, 상기 에어 테이블에 상기 정압의 기체를 공급하기 위한 정압 발생 장치를 구비하여 이루어지고,The air table unit includes an air table for supplying gas to the lower surface of the thin plate-shaped material to support the thin plate-shaped material in a non-contact manner, and a constant pressure generating device for supplying the gas of the positive pressure to the air table. under, 상기 복수의 에어 테이블 유닛 중, 적어도 패스 라인 폭 방향 중앙 위치의 에어 테이블 유닛은 상기 정압 발생 장치로부터의 기체 공급량을 조절하는 공급량 제어 장치를 구비하고,Among the plurality of air table units, at least an air table unit at a path line width direction center position includes a supply amount control device that adjusts a gas supply amount from the static pressure generating device, 상기 패스 라인의 폭 방향 양단의 에어 테이블 유닛의 외측에는 상면부가 평탄한 상자체 형상체이고 상기 박판 형상 재료의 하면에 대해 부압을 공급하기 위한 흡인 구멍이 상면부에 형성된 흡인 유닛이 설치된 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송 장치.An outer side of the air table unit at both ends in the width direction of the pass line, and a suction unit having an upper surface portion having a flat box shape and a suction hole having a suction hole for supplying negative pressure to the lower surface of the thin plate-shaped material is provided on the upper surface portion; Thin plate material conveying device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공급량 제어 장치를 구비한 에어 테이블 유닛 중 적어도 일부의 상방 위치에서의, 반송 중의 상기 박판 형상 재료의 상기 패스 라인으로부터의 높이 방향의 오차량을 검출하는 높이 센서를 설치하고,The height sensor which detects the error amount of the height direction from the said path line of the said thin plate-shaped material in conveyance in the upper position of at least one part of the air table unit provided with the said supply amount control apparatus, 상기 공급량 제어 장치는 상기 높이 센서의 검출 신호에 기초하여 상기 높이 방향의 오차량을 감소시키도록, 기체 공급량을 조절하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송 장치.And the supply amount control device is configured to adjust the gas supply amount so as to reduce the error amount in the height direction based on the detection signal of the height sensor. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 높이 센서를 상기 에어 테이블 유닛에서의, 패스 라인 폭 방향의 측면에 부착한 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료 반송 장치.The said height sensor was attached to the side surface of the pass line width direction in the said air table unit, The thin plate-shaped material conveying apparatus characterized by the above-mentioned. 삭제delete 에어 테이블의 상면으로부터 정압으로 공기를 공급하고, 박판 형상 재료를 상기 에어 테이블의 상면으로부터 부상시킨 상태에서 패스 라인을 따라서 반송하는 박판 형상 재료의 반송 방법에 있어서,In the conveying method of the thin plate-shaped material which supplies air from the upper surface of an air table by static pressure, and conveys along a pass line in the state which made the thin plate material float from the upper surface of the said air table, 상기 패스 라인의 폭 방향의 적어도 중앙 위치에서, 상기 박판 형상 재료의 상기 패스 라인으로부터의 높이의 오차량을 검출하는 공정과,Detecting an error amount of a height from the pass line of the thin plate-shaped material at at least a center position in the width direction of the pass line; 검출된 상기 오차량에 기초하여 상기 공기의 공급량을 증감하고, 상기 오차량을 감소시키는 공정을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료의 반송 방법.And a step of increasing or decreasing the supply amount of air based on the detected error amount and reducing the error amount. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 패스 라인 상의 박판 형상 재료의 반송 방향에 대해서 직교하는 폭 방 향의 양단 근방 부분을 부압에 의해 하방으로부터 흡인하여 이송 롤러에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 박판 형상 재료의 반송 방법.The conveyance method of the thin-plate-shaped material characterized by drawing the vicinity of the both ends of the width direction orthogonal to the conveyance direction of the thin-plate-shaped material on the said pass line from below by a negative pressure, and making it contact a conveyance roller.
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