KR20050056028A - 플라즈마 차폐 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마 처리장치내에 설치되는 전극 및 설비를 플라즈마로부터 보호하기 위하여 전극 주위에 구비되는 플라즈마 차폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상기 전극의 수평면 가장자리를 감싸도록 형성되는 수평방향 차폐수단과 상기 전극의 측면 및 그 연장면을 감싸도록 형성되는 수직방향 차폐수단을 조합하여 모든 방향으로부터 접근하는 플라즈마를 효과적으로 차폐하는 플라즈마 차폐장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 플라즈마 차폐장치는, 플라즈마 처리장치 내에서 전극 주위를 플라즈마로부터 보호하는 플라즈마 차폐장치에 있어서, 상기 전극은, 상부 전극 또는 하부 전극이거나 상부 전극 및 하부 전극이고, 상기 플라즈마 차폐장치는, 상기 전극의 표면 가장자리를 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수평방향 차폐 수단; 상기 전극의 측면과 그 연장면을 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수직방향 차폐수단;을 포함하여 구성되고, 상기 수평방향 차폐수단과 수직방향 차폐수단을 밀착되도록 결합시켜서 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

플라즈마 차폐 장치{shieldring device in plasma processing apparatus}
본 발명은 플라즈마 처리장치내에 설치되는 전극 및 설비를 플라즈마로부터 보호하기 위하여 전극 주위에 구비되는 플라즈마 차폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상기 전극의 수평면 가장자리를 감싸도록 형성되는 수평방향 차폐수단과 상기 전극의 측면 및 그 연장면을 감싸도록 형성되는 수직방향 차폐수단을 조합하여 모든 방향으로부터 접근하는 플라즈마를 효과적으로 차폐하는 플라즈마 차폐장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시소자 제조장치 중 건식 식각장치 등 플라즈마를 이용하여 기판에 특정한 처리를 실시하는 플라즈마 처리장치에는 상부 및 하부 전극이 챔버 내부에 설치된다. 이러한 플라즈마 처리장치는 상부 전극에 고주파 전력을 인가하여 처리실내의 처리 가스를 플라즈마화함으로써, 하부 전극상에 위치되어 있는 피처리체에 플라즈마 처리를 실시하는 것이다.
그런데 상기 상부 전극과 하부 전극 내부 및 전극 주위에는 여러가지 설비 및 장치가 구비되어 있어서, 플라즈마 처리시 플라즈마로부터 공격을 받는 경우 손상되는 문제점이 있으며, 그러한 손상에 의하여 발생하는 파티클 등은 처리되는 기판에 나쁜 영향을 미쳐서 생산되는 기판의 품질을 저하시키는 문제점이 있다.
따라서, 상기 상부 전극 및 하부 전극 주위에는 플라즈마의 공격으로부터 설비 및 장치를 보호하기 위한 플라즈마 차폐수단이 강구될 것이 요구되고 있다.
더구나 최근에는 플라즈마 처리장치에 의하여 처리되는 기판이 2m×2m 정도의 크기까지 대형화되면서 플라즈마 처리장치의 규모 및 상기 상부 전극 및 하부 전극의 크기도 대형화되는 추세에 있으므로, 상기 전극 주위를 감싸는 플라즈마 차폐수단 전체를 하나의 조각으로 형성시키는 것이 곤란하기 때문에, 플라즈마 차폐수단을 여러개의 조각으로 형성시켜 각 조각간의 결합면을 적절한 방법으로 연결시키는 방법이 요구되고 있다.
종래에는 도 1에 도시된 바와 같이, 수평방향 차폐수단(20)만으로 수직방향으로 침투하는 플라즈마와 측면에서 침투하는 플라즈마를 모두 차폐하기 위해서, 상기 수평방향 차폐수단(20)에 2단의 단차를 형성시킴으로써 그 가공이 매우 어려워 플라즈마 차폐수단의 단가가 높아지는 문제점이 있다.
또한 상기 전극(10)의 측면 및 그 하부도 일부 플라즈마에 의하여 공격받게 되므로 상기 전극(10)의 측면 및 그 하부에 대한 플라즈마 차폐수단(20)이 강하게 요구되며, 상기 수평방향 차폐수단(20)과 조합되어 모든 방향으로부터의 플라즈마를 차폐할 수 있는플라즈마 차폐장치가 요구된다.
본 발명의 목적은 대형기판을 처리하기 위한 플라즈마 처리장치 내에서 플라즈마를 효과적으로 차폐할 수 있는 플라즈마 차폐장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 플라즈마를 효과적으로 차폐하면서도 그 가공이 용이한 플라즈마 차폐장치를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 플라즈마 차폐장치가 손상되는 경우에 그 보수작업이 용이한 플라즈마 차폐장치를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 열팽창계수가 다른 전극과 결합되어도 깨지지 않는 플라즈마 차폐장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플라즈마 차폐장치는, 플라즈마 처리장치 내에서 전극 주위를 플라즈마로부터 보호하는 플라즈마 차폐장치에 있어서, 상기 전극은, 상부 전극 또는 하부 전극이거나 상부 전극 및 하부 전극이고, 상기 플라즈마 차폐장치는, 상기 전극의 표면 가장자리를 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수평방향 차폐 수단; 상기 전극의 측면과 그 연장면을 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수직방향 차폐수단;을 포함하여 구성되고, 상기 수평방향 차폐수단과 수직방향 차폐수단을 밀착되도록 결합시켜서 형성되는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 플라즈마 차폐장치(600)는 플라즈마 처리장치(100) 내에 설치되어 있는 상부 전극(200) 또는 하부 전극(300)의 표면 가장자리를 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수평방향 차폐수단(400), 상기 상부 전극(200) 또는 하부 전극(300)의 측면과 그 연장면을 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수직방향 차폐수단(500)으로 구성되고, 상기 수평방향 차폐수단(400)과 수직방향 차폐수단(500)을 밀착되도록 결합시켜서 형성된다. 이때 상기 플라즈마 차폐장치(600)는 내플라즈마성 재료로 형성된다. 상기 내플라즈마성 재료로는 세라믹(Ceramic) 또는 베스펠(Vespel) 등이 바람직하다.
도 2에 도시된 바와 같이 상기 플라즈마 차폐장치(600)는 상부 전극(200) 및 하부 전극(300)에 공통적으로 적용될 수 있는 것이다. 이때, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 하부 전극(300) 가장자리에 구비되는 수평방향 차폐수단(400b)은 상기 하부 전극(300)보다 소정 높이 만큼 높게 구비되는 것이 바람직하다. 이는 상기 하부 전극(300) 상에 위치되어 플라즈마 처리되는 기판의 두께를 감안하여 상기 수평방향 차폐수단(400b)을 하부 전극(300)보다 약간 높게 형성시켜 상기 하부 전극(300) 상에 위치된 상기 기판의 측면 및 배면이 플라즈마에 의하여 공격받는 것을 방지하기 위함이다. 이때 상기 수평방향 차폐수단(400b)이 하부 전극(300)보다 돌출되는 높이는 약 2mm 정도가 바람직하다.
먼저 상기 수평방향 차폐수단(400)은 상기 상부 전극(200)과 하부 전극(300) 사이에서 발생하는 플라즈마가 전극 표면 방향으로 직접 공격하는 것을 차폐하는 역할을 한다. 이때 상기 수평방향 차폐수단(400)은 전체를 하나의 조각으로 형성시키는 것이 기판의 대형화 경향으로 인해 곤란하므로, 도 3에 도시된 바와 같이 복수개의 제1 모서리부 조각(410)과 복수개의 제1 변부 조각(420)을 조합하여 구성된다. 상기 제1 모서리부 조각(410)은 상기 전극(200, 300)의 모서리 부분 근처의 가장자리를 감싸도록 형성되는 조각을 말하며, 상기 제1 변부 조각(420)은 상기 전극(200, 300)의 4변의 가장자리를 감싸도록 형성되는 조각을 말한다. 이때 상기 제1 모서리부 조각(410)은 'ㄱ'자 형상으로 이루어지며, 상기 제1 변부 조각(420)은 긴 직사각형 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 수평방향 차폐수단(400)을 구성하는 복수개의 제1 모서리부 조각(410) 및 제1 변부 조각(420)은 밀착되도록 결합된다. 이하에서는 상기 제1 모서리부 조각(410)과 제1 변부 조각(420) 사이 또는 상기 제1 변부 조각(420) 상호 간의 결합방법에 대한 실시예를 설명한다.
< 실시예 1 >
먼저 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1 모서리부 조각(410)과 제1 변부 조각(420)간 또는 상기 제1 변부 조각(420) 상호간의 결합면은 상기 제1 모서리부 조각(410)과 제1 변부 조각(420)의 결합면 또는 제1 변부 조각(420)간의 결합면의 단면 형상을 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것이 바람직하다. 이는 각 조각 간 결합면이 수평면에 수직인 형상으로 형성되는 경우에는, 직선 방향으로 침투하는 플라즈마의 특성상 상기 상부 전극(200)과 하부 전극(300) 사이에서 주로 발생하는 플라즈마가 직선방향으로 침투하여 상기 플라즈마 처리장치(100) 하부 전극 등의 구조물이 플라즈마에 의하여 손상될 가능성이 높으므로 플라즈마의 통과 경로를 직선에서 사선으로 변경하여 플라즈마를 효과적으로 차폐하기 위한 것이다. 따라서 실시예 1에 의하여 각 조각의 결합면을 가공하여 결합시키는 경우에는 그 가공이 매우 용이하여 가공시간과 단가가 절약되면서도 플라즈마를 효과적으로 차폐할 수 있는 장점이 있다.
< 실시예 2 >
또한 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1 모서리부 조각(410)과 제1 변부 조각(420)의 결합면 또는 제1 변부 조각(420) 간의 결합면의 단면 형상을 꺽인 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것이 바람직하다. 이때 꺽인 사선 형상이라 함은 실시예 1에서와 같이 사선 형상의 결합면을 그 중간부분에서 한번 꺽어준 형상을 말하는 것으로써 플라즈마가 그 경로를 통과할 가능성을 더욱 낮게 하는 것이다. 따라서 실시예 2에 의하여 상기 각 조각을 결합시키는 경우, 실시예 1에 의하는 경우보다는 그 가공시간이 조금 더 소요되지만, 플라즈마의 차폐는 더욱 확실해지는 장점이 있다.
< 실시예 3 >
또한 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1 모서리부 조각(410)과 제1 변부 조각(420)의 결합면 또는 제1 변부 조각(420) 간의 결합면의 단면 형상을 돌출부(A)와 홈부(B)가 인접하여 형성된 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것이 바람직하다. 도 6에 도시된 바와 같이 상기 각 조각을 결합하는 경우에는, 각 조각의 결합면이 대칭적으로 형성되어 결합됨으로써 플라즈마의 통과 경로를 여러번 변경시켜 플라즈마의 통과 가능성을 원천적으로 봉쇄하며, 상기 돌출부(A)와 홈부(B)가 서로 맞물리는 구조로 결합되기 때문에 상기 플라즈마 차폐장치(600)가 장기간 플라즈마 처리장치(100)내에서 운용되는 과정에서 외력 등에 의하여 결합된 조각 사이에 장력이 작용하여도 양 조각 사이의 결합면이 이격되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
< 실시예 4 >
또한 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1 모서리부 조각(410)과 제1 변부 조각(420)의 결합면 또는 제1 변부 조각(420) 간의 결합면의 단면 형상을 두께 방향으로 한번 단차진 형상으로 형성시켜 결합될 수도 있다. 이 경우에도 플라즈마의 통과 경로를 변경시켜줌으로써 플라즈마를 차폐하도록 하는 것이다.
다음으로 상기 수직방향 차폐수단(500)은 상기 전극(200, 300)의 측면 방향으로 접근하는 플라즈마로부터 상기 전극(200, 300) 및 기타 설비를 보호하는 역할을 하는 플라즈마 차폐수단이다. 물론 플라즈마는 대부분 상기 상부 전극(200)과 하부 전극(300) 사이의 공간에서 발생하기 때문에 수평방향 차폐수단(400) 방향으로 침투하는 경우가 대부분이지만, 일부 플라즈마는 상기 상부 전극(200)과 하부 전극(300) 사이의 공간을 벗어나 상기 상부 전극(200) 또는 하부 전극(300)의 측면으로 이동하여 침투하는 경우가 있기 때문에 이를 차폐하여 상기 전극(200, 300)의 측면 및 상기 전극(200, 300) 하부에 설치되어 있는 여러가지 설비를 보호하고자 하는 것이다.
이때 상기 수직방향 차폐수단(500)은 상기 수평방향 차폐수단(400)과 마찬가지로 전체를 하나의 조각으로 형성시키는 것은 매우 곤란하므로 복수개의 조각을 결합시켜 형성시키는 것이 바람직하다. 따라서 도 3에 도시된 바와 같이 상기 수직방향 차폐수단(500)은 복수개의 제2 모서리부 조각(510)과 복수개의 제2 변부 조각(520)을 밀착되도록 결합시켜 이루어진다. 상기 제2 모서리부 조각(510)은 상기 전극(200, 300)의 측면 및 그 연장면 중 모서리 근처를 감싸도록 형성되는 조각을 말하는 것이며, 상기 제2 변부 조각(520)은 나머지 4변 부분을 감싸도록 형성되는 조각을 말하는 것이다. 이때 상기 제2 모서리부 조각(510)도 상기 제1 모서리부 조각(410)과 마찬가지로 'ㄱ'자 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다.
그리고 상기 제2 모서리부 조각(510)과 제2 변부 조각(520)은 상기 제1 모서리부 조각(410) 및 상기 제1 변부 조각(420)과 마찬가지로, 상기 제2 모서리부 조각(510)과 제2 변부 조각(520)의 결합면 또는 제2 변부 조각(520) 간의 결합면의 단면 형상을 두께 방향으로 한번 단차진 형상으로 형성시켜 결합되거나,
상기 제2 모서리부 조각(510)과 제2 변부 조각(520)의 결합면 또는 제2 변부 조각(520) 간의 결합면의 단면 형상을 사선 형상으로 형성시켜 결합되거나,
상기 제2 모서리부 조각(510)과 제2 변부 조각(520)의 결합면 또는 제2 변부 조각(520) 간의 결합면의 단면 형상을 꺽인 사선 형상으로 형성시켜 결합되거나,
상기 제2 모서리부 조각(510)과 제2 변부 조각(520)의 결합면 또는 제2 변부 조각(520) 간의 결합면의 단면 형상을 돌출부(A)와 홈부(B)가 인접하여 형성된 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것이 바람직하다.
다음으로 상술한 수평방향 차폐수단(400)과 수직방향 차폐수단(500)을 밀착되도록 결합시켜서 본 발명에 따른 플라즈마 차폐장치(600)를 완성한다. 즉, 상기 수평방향 차폐수단(400)은 수직방향으로 침투하는 플라즈마는 효과적으로 차폐할 수 있지만, 측면방향으로 침투하는 플라즈마를 차폐하지 못하는 단점이 있고, 상기 수직방향 차폐수단(500)은 측면방향으로 침투하는 플라즈마는 효과적으로 차폐할 수 있지만 수직방향으로 침투하는 플라즈마를 차폐하지 못하는 단점이 있으므로 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)과 상기 수직방향 차폐수단(500)의 말단(B)을 밀착되도록 결합시켜 모든 방향으로부터 침투하는 플라즈마를 차폐하는 것이다. 이때 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)이라 함은 상기 수평방향 차폐수단(400)의 양측단 중 전극(200, 300)과 접촉되지 않고, 챔버 벽 방향으로 설치되는 측단을 말하는 것이며, 상기 수직방향 차폐수단(500)의 말단(D)이라 함은 상기 수직방향 차폐수단(500)의 양단 중 상기 수평방향 차폐수단(400)과 만나는 부분을 말하는 것이다.
이하에서는 상기 수평방향 차폐수단(400)과 수직방향 차폐수단(500)을 결합시키는 방법을 몇가지 개시한다.
< 실시예 5 >
먼저 도 8에 도시된 바와 같이 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)을 상기 전극(200, 300)의 측단보다 소정 길이만큼 돌출되게 형성시키고, 상기 수직방향 차폐수단(500)의 말단(D)이 상기 수평방향 차폐수단(400)의 돌출된 부분의 저면 및 측면과 밀착하여 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성시킴으로써, 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)과 수직방향 차폐수단(500)의 말단(D)이 밀착, 결합되도록 한다. 실시예 5에 의하여 상기 수평방향 차폐수단(400)과 수직방향 차폐수단(500)을 결합시키면, 상기 수평방향 차폐수단(400)의 측면 방향으로 침투하는 플라즈마를 상기 수직방향 차폐수단(500)의 말단(D)이 차폐시키고, 상기 수직방향 차폐수단(500)의 수직방향으로 침투하는 플라즈마를 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)이 차폐시켜서 모든 방향으로부터의 플라즈마를 차폐시킬 수 있는 것이다.
< 실시예 6 >
또한 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 수직방향 차폐수단의 말단(D)을 상기 전극(200, 300)의 단차진 부분의 수평면보다 소정 길이만큼 돌출되게 형성시키고, 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)을 상기 수직방향 차폐수단(500)의 돌출된 부분의 측면 및 상부면과 밀착되어 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성시킴으로써, 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)과 수직방향 차폐수단(500)의 말단(D)이 밀착, 결합되도록 하는 것이 바람직하다. 이 경우에도 실시예 5와 마찬가지로 상기 수평방향 차폐수단(400)과 수직방향 차폐수단(500)이 상호 보완하여 모든 방향으로부터의 플라즈마를 차단할 수 있는 장점이 있다.
< 실시예 7 >
또한 도10에 도시된 바와 같이, 상기 수직방향 차폐수단(500)의 말단(D)을 상기 전극(200, 300)의 단차진 부분의 수평면 보다 상기 수평방향 차폐수단(400)의 두께 만큼 돌출되도록 형성시키되, 그 돌출된 부분 중 소정 부분을 단차지게 형성시키며, 상기 수평방향 차폐수단(400)을 상기 전극(200, 300)의 단차진 영역에 삽입될 수 있도록 형성시키되, 그 외측단(C)을 상기 수직방향 차폐수단(500)의 단차진 부분과 밀착되게 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성시킴으로써, 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)과 수직방향 차폐수단(500)의 말단(D)이 밀착, 결합되도록 하는 것이 바람직하다. 이 경우는 실시예 5, 6 의 경우보다 플라즈마의 통과 경로를 한번 더 꺽어 줌으로써 플라즈마가 침투할 가능성을 원천적으로 봉쇄하여 플라즈마의 차폐가 더욱 확실해지는 장점이 있다.
< 실시예 8 >
또한 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)을 상기 전극(200, 300)의 단차진 부분의 측면보다 소정 길이만큼 돌출되게 형성시키되, 상기 돌출된 부분 중 소정 부분을 단차진 형상으로 형성시키며, 상기 수직방향 차폐수단(500)을 상기 전극(200, 300)의 측면에 결합시키되, 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)에 형성된 단차진 부분과 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성시킴으로써, 상기 수평방향 차폐수단(400)의 외측단(C)과 수직방향 차폐수단(500)의 말단(D)이 밀착, 결합되도록 하는 것이 더욱 바람직하다. 이 경우도 실시예 7의 경우와 마찬가지로 플라즈마의 통과 경로를 한번 더 꺽어줌으로써 플라즈마 차폐가능성을 더욱 높인 장점이 있다.
특히, 실시예 6과 실시예 8에 의하여 개시된 방법은 상기 수평방향 차폐수단(400)과 상기 수직방향 차폐수단(500)의 결합면 중 플라즈마가 통과할 수 있는 경로가 대부분의 플라즈마가 존재하는 상부 전극(200)과 하부 전극(300) 사이의 공간을 향하여 형성되지 않고, 측면 방향으로 형성되어 있으므로 실시예 5와 실시예 7에 의하여 도시된 방법에 비하여 플라즈마의 침투 가능성이 훨씬 낮아지는 장점이 있으므로 더욱 바람직한 실시예라고 할 수 있다.
본 발명에 의한 플라즈마 차폐장치는 복수개의 조각을 결합하여 형성됨으로써 대형기판을 처리하는 플라즈마 처리 장치에 설치되기에 적합한 장점이 있다.
또한 본 발명에 의한 플라즈마 차폐장치는 복수개의 조각을 결합하는 경우 각 결합면의 가공을 용이하게 구성함으로써 플라즈마 차폐장치의 가공시간을 단축하여 단가를 낮추는 장점이 있다.
또한 본 발명에 의한 플라즈마 차폐장치는 수평방향 차폐수단과 수직방향 차폐수단을 결합시켜 가공이 용이하면서도 모든 방향으로부터의 플라즈마를 차폐할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명에 의한 플라즈마 차폐장치는 복수개의 조각으로 구성됨으로써 전극과의 열팽창율 차이로 인한 플라즈마 차폐장치의 파손이 발생하지 않는 장점이 있다. 즉, 일반적으로 열팽창율이 큰 알루미늄으로 제조되는 전극과 열팽창이 거의 없는 세라믹으로 제조된 플라즈마 차폐장치를 결합시킨 후 고온과 저온 상태를 반복적으로 오가면서 플라즈마 처리를 하는 경우 전극과 플라즈마 차폐장치의 열팽창율 차이로 인하여 플라즈마 차폐장치가 파손될 위험이 있으나, 플라즈마 차폐장치를 여러 조각을 결합시켜 형성시키는 경우에는 그 결합부분이 어느 정도 이격될 수 있으므로 열팽창율 차이로 인하여 깨지는 등의 파손 가능성이 없어지는 것이다.
또한 본 발명에 의한 플라즈마 차폐장치는 복수개의 조각으로 구성됨으로써 플라즈마 차폐장치의 일부분 즉, 어느 한 조각이 손상되더라도 손상된 조각만 교체하면 보수가 완료되므로 보수작업이 용이한 장점이 있다.
도 1은 종래의 수평방향 플라즈마 차폐수단의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 플라즈마 차폐장치가 플라즈마 처리장치 내에 설치된 구조를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 플라즈마 차폐장치의 구조를 나타내는 분해사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1에 따른 수평방향 차폐수단의 각 조각간 결합면의 형상을 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 2에 따른 수평방향 차폐수단의 각 조각간 결합면의 형상을 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 3에 따른 수평방향 차폐수단의 각 조각간 결합면의 형상을 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예 4에 따른 수평방향 차폐수단의 각 조각간 결합면의 형상을 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예 5에 따른 수직방향 차폐수단과 수평방향 차폐수단 간의 결합방법을 나타내는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예 6에 따른 수직방향 차폐수단과 수평방향 차폐수단 간의 결합방법을 나타내는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 실시예 7에 따른 수직방향 차폐수단과 수평방향 차폐수단 간의 결합방법을 나타내는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 실시예 8에 따른 수직방향 차폐수단과 수평방향 차폐수단 간의 결합방법을 나타내는 단면도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 >
100 : 플라즈마 처리장치 200 : 상부 전극
300 : 하부 전극 400 : 수평방향 차폐수단
410 : 제1 모서리부 조각 420 : 제1 변부 조각
500 : 수직방향 차폐수단 510 : 제2 모서리부 조각
520 : 제2 변부 조각

Claims (19)

  1. 플라즈마 처리장치 내에서, 전극 주위를 플라즈마로부터 보호하는 플라즈마 차폐장치에 있어서,
    상기 전극은,
    상부 전극 또는 하부 전극이거나 상부 전극 및 하부 전극이고,
    상기 플라즈마 차폐장치는,
    상기 전극의 표면 가장자리를 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수평방향 차폐 수단;
    상기 전극의 측면과 그 연장면을 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수직방향 차폐수단; 을 포함하여 구성되고,
    상기 수평방향 차폐수단과 수직방향 차폐수단을 밀착되도록 결합시켜서 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,
    복수개의 제1 모서리부 조각과 복수개의 제1 변부 조각의 조합으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,
    상기 제1 모서리부 조각과 제1 변부 조각의 결합면 또는 제1 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,
    상기 제1 모서리부 조각과 제1 변부 조각의 결합면 또는 제1 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 꺽인 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,
    상기 제1 모서리부 조각과 제1 변부 조각의 결합면 또는 제1 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 돌출부와 홈부가 인접하여 형성된 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,
    상기 제1 모서리부 조각과 제1 변부 조각의 결합면 또는 제1 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 두께 방향으로 한번 단차진 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,
    복수개의 제2 모서리부 조각과 복수개의 제2 변부 조각의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,
    상기 제2 모서리부 조각과 제2 변부 조각의 결합면 또는 제2 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 두께 방향으로 한번 단차진 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,
    상기 제2 모서리부 조각과 제2 변부 조각의 결합면 또는 제2 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,
    상기 제2 모서리부 조각과 제2 변부 조각의 결합면 또는 제2 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 꺽인 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,
    상기 제2 모서리부 조각과 제2 변부 조각의 결합면 또는 제2 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 돌출부와 홈부가 인접하여 형성된 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전극은,
    가장자리 소정 영역이 단차진 형상으로 형성되며,
    상기 플라즈마 차폐장치는,
    상기 전극의 단차진 영역에 밀착 결합되어 상기 전극의 단차진 수평면 가장자리를 감싸도록 구비되는 상기 수평방향 차폐수단의 외측단과 상기 전극의 측면 및 그 연장면을 감싸도록 구비되는 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착되도록 결합시켜 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,
    상기 수평방향 차폐수단의 외측단을 상기 전극의 측단보다 소정 길이만큼 돌출되게 형성시키고,
    상기 수직방향 차폐수단의 말단이 상기 수평방향 차폐수단의 돌출된 부분의 저면 및 측면과 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성됨으로써,
    상기 수평방향 차폐수단의 일측단과 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착, 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  14. 제12항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,
    상기 수직방향 차폐수단의 말단을 상기 전극의 단차진 부분의 수평면보다 소정 길이만큼 돌출되게 형성시키고,
    상기 수평방향 차폐수단의 외측단이 상기 수직방향 차폐수단의 돌출된 부분의 측면 및 상부면과 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성됨으로써,
    상기 수평방향 차폐수단의 외측단과 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착, 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  15. 제12항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,
    상기 수직방향 차폐수단을 상기 전극의 단차진 부분의 수평면 보다 상기 수평방향 차폐수단의 두께 만큼 돌출되도록 형성시키되, 그 돌출된 부분 중 소정 부분을 단차지게 형성시키며,
    상기 수평방향 차폐수단을 상기 전극의 단차진 영역에 삽입될 수 있도록 형성시키되, 그 외측단이 상기 수직방향 차폐수단의 단차진 부분과 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성시킴으로써,
    상기 수평방향 차폐수단의 외측단과 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착, 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  16. 제12항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,
    상기 수평방향 차폐수단을 상기 전극의 단차진 부분의 측면보다 소정 길이만큼 돌출되게 형성시키되, 상기 돌출된 부분 중 소정 부분을 단차진 형상으로 형성시키며,
    상기 수직방향 차폐수단을 상기 전극의 측면에 결합시키되, 상기 수평방향 차폐수단의 외측단에 형성된 단차진 부분과 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성됨으로써,
    상기 수평방향 차폐수단의 외측단과 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착, 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  17. 제2항 또는 제7항에 있어서,
    상기 제1 모서리부 조각 또는 상기 제2 모서리부 조각은 그 횡단면의 형상이 'ㄱ'자 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  18. 제1항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,
    내플라즈마성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
  19. 제1항에 있어서,
    상기 하부 전극 가장자리에 구비되는 수평방향 차폐수단은 상기 하부 전극보다 소정 높이 만큼 높게 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
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