KR100552246B1 - 플라즈마 차폐 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 플라즈마 처리장치 내에서, 전극 주위를 플라즈마로부터 보호하는 플라즈마 차폐장치에 있어서,상기 전극은,상부 전극 또는 하부 전극이거나 상부 전극 및 하부 전극이고,상기 플라즈마 차폐장치는,상기 전극의 표면 가장자리를 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수평방향 차폐 수단;상기 전극의 측면과 그 연장면을 감싸는 복수개의 조각으로 이루어진 수직방향 차폐수단; 을 포함하여 구성되고,상기 수평방향 차폐수단과 수직방향 차폐수단을 밀착되도록 결합시켜서 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제1항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,복수개의 제1 모서리부 조각과 복수개의 제1 변부 조각의 조합으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제2항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,상기 제1 모서리부 조각과 제1 변부 조각의 결합면 또는 제1 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제2항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,상기 제1 모서리부 조각과 제1 변부 조각의 결합면 또는 제1 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 꺽인 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제2항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,상기 제1 모서리부 조각과 제1 변부 조각의 결합면 또는 제1 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 돌출부와 홈부가 인접하여 형성된 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제2항에 있어서, 상기 수평방향 차폐수단은,상기 제1 모서리부 조각과 제1 변부 조각의 결합면 또는 제1 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 두께 방향으로 한번 단차진 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제1항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,복수개의 제2 모서리부 조각과 복수개의 제2 변부 조각의 조합으로 이루어지 는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제7항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,상기 제2 모서리부 조각과 제2 변부 조각의 결합면 또는 제2 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 두께 방향으로 한번 단차진 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제7항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,상기 제2 모서리부 조각과 제2 변부 조각의 결합면 또는 제2 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제7항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,상기 제2 모서리부 조각과 제2 변부 조각의 결합면 또는 제2 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 꺽인 사선 형상으로 형성시켜 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제7항에 있어서, 상기 수직방향 차폐수단은,상기 제2 모서리부 조각과 제2 변부 조각의 결합면 또는 제2 변부 조각간의 결합면의 단면 형상을 돌출부와 홈부가 인접하여 형성된 형상으로 형성시켜 결합되 도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전극은,가장자리 소정 영역이 단차진 형상으로 형성되며,상기 플라즈마 차폐장치는,상기 전극의 단차진 영역에 밀착 결합되어 상기 전극의 단차진 수평면 가장자리를 감싸도록 구비되는 상기 수평방향 차폐수단의 외측단과 상기 전극의 측면 및 그 연장면을 감싸도록 구비되는 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착되도록 결합시켜 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제12항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,상기 수평방향 차폐수단의 외측단을 상기 전극의 측단보다 소정 길이만큼 돌출되게 형성시키고,상기 수직방향 차폐수단의 말단이 상기 수평방향 차폐수단의 돌출된 부분의 저면 및 측면과 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성됨으로써,상기 수평방향 차폐수단의 외측단과 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착, 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제12항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,상기 수직방향 차폐수단의 말단을 상기 전극의 단차진 부분의 수평면보다 소정 길이만큼 돌출되게 형성시키고,상기 수평방향 차폐수단의 외측단이 상기 수직방향 차폐수단의 돌출된 부분의 측면 및 상부면과 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성됨으로써,상기 수평방향 차폐수단의 외측단과 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착, 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제12항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,상기 수직방향 차폐수단을 상기 전극의 단차진 부분의 수평면 보다 상기 수평방향 차폐수단의 두께 만큼 돌출되도록 형성시키되, 그 돌출된 부분 중 소정 부분을 단차지게 형성시키며,상기 수평방향 차폐수단을 상기 전극의 단차진 영역에 삽입될 수 있도록 형성시키되, 그 외측단이 상기 수직방향 차폐수단의 단차진 부분과 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성시킴으로써,상기 수평방향 차폐수단의 외측단과 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착, 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제12항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,상기 수평방향 차폐수단을 상기 전극의 단차진 부분의 측면보다 소정 길이만큼 돌출되게 형성시키되, 상기 돌출된 부분 중 소정 부분을 단차진 형상으로 형성 시키며,상기 수직방향 차폐수단을 상기 전극의 측면에 결합시키되, 상기 수평방향 차폐수단의 외측단에 형성된 단차진 부분과 결합될 수 있도록 단차진 형상으로 형성됨으로써,상기 수평방향 차폐수단의 외측단과 수직방향 차폐수단의 말단이 밀착, 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제2항 또는 제7항에 있어서,상기 제1 모서리부 조각 또는 상기 제2 모서리부 조각은 그 횡단면의 형상이 'ㄱ'자 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제1항에 있어서, 상기 플라즈마 차폐장치는,내플라즈마성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
- 제1항에 있어서,상기 하부 전극 가장자리에 구비되는 수평방향 차폐수단은 상기 하부 전극보다 소정 높이 만큼 높게 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치.
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