KR20050026355A

KR20050026355A - 제전방법 및 장치

Info

Publication number: KR20050026355A
Application number: KR1020040071644A
Authority: KR
Inventors: 후지와라노부히로; 코모리야시게루; 쿠사바노리아키; 스즈키사토시
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2003-09-09
Filing date: 2004-09-08
Publication date: 2005-03-15
Also published as: TW200514479A; CN100441064C; US20070097591A1; US20050052815A1; DE102004043605A1; KR100586682B1; CN1596059A

Abstract

한쌍의 전극침의 한쪽에 고전압을 인가하고, 다른 쪽을 어스(ground)해서, 어스된 그라운드플레이트의 필요를 없앤 제전(除電)방법 및 그 장치를 제공한다.

절연재료로 이루어진 유지부재(5) 안에, 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침(6a,6b)을 대향 배치한 단일 또는 복수의 전극을 구비한다. 상기 전극침의 한쪽에 플러스 또는 마이너스의 고전압을 인가하는 동시에, 다른쪽의 전극침을 어스에 접속하는 통전상태와, 상기 고전압을 인가하고 있던 전극침을 어스에 접속하는 동시에, 상기 어스에 접속되어 있던 전극침에 상기 고전압과는 플러스ㆍ마이너스가 반대인 고전압을 인가하는 통전상태를 단주기로 교대로 바꾸고, 상기 전극침의 고전압에 근거해서 생성되는 플러스 및 마이너스의 이온을 제전대상물에 작용시켜서 그 제전을 행한다.

Description

제전방법 및 장치{STATIC ELIMINATING METHOD AND APPARATUS THEREFOR}

본 발명은, 플러스성 혹은 마이너스성의 전하에 의해 대전되어 있는 각종 대전물, 예를 들면, 반도체 관련의 즉, 제전대상물에 대한 제전을 행하기 위한 제전방법 및 그 장치에 관한 것이다.

종래 부터, 제전대상물의 대전량을 제로에 가깝게 하기 위한 수단으로서, 전극침에 고전압 발생부로부터의 직류 고전압 또는 교류 고전압을 인가하고, 코로나 방전을 발생시켜서, 상기 전극침에 의해 플러스 또는 마이너스의 이온을 출력시켜서, 이 이온을 대전체에 분사시키도록 한 것이 알려져 있다.

또한, 전극침에 플러스ㆍ마이너스의 고전압을 인가함으로써, 제전을 위한 플러스ㆍ마이너스의 이온을 발생시킬 때, 전극침의 근방에 어스된 그라운드플레이트를 설치해 두고, 이온의 방출을 촉진시키는 것이 통례이지만(예를 들면, 특허문헌1 참조), 상기한 그라운드플레이트를 설치하면, 이들의 배치에 관련되는 장치의 설계에 있어서 자유도가 저하되고, 유지ㆍ보수에도 수고를 필요로 하고, 특히 단일의 전극침에 플러스 및 마이너스의 고전압을 인가할 경우에는 전극침의 손모(損耗)도 현저하기 때문에, 유지ㆍ보수에 부담을 끼치게 된다.

또한, 플러스ㆍ마이너스의 고전압을 인가하는 전극침이 어느 정도 떨어진 위치에 있으면, 이들의 전극침의 주위에서 생성된 이온이 확산 방출되는 각각의 영역에 위치적인 어긋남이 생기기 때문에, 제전 편차가 발생한다는 문제가 있다.

또, 제전대상물의 표면전위를 상기 대상물로부터 방출되는 이온량 등에 의해 검출하고, 검출한 대상물의 대전극성과 대전량에 근거해서 전극침에 인가하는 전압을 제어하는 제전기술도 제안되어 있다 (예를 들면, 특허문헌2 참조).

그러나, 상기 종래의 제전장치에 있어서는, 제전대상물에 대하여 그 대전극성이나 대전량을 검지하는 센서가 거리적으로 떨어진 위치에 배치되는 경우가 많고, 그 경우에는 제전대상물의 대전극성 및 대전량을 정확하게 검지하는 것이 곤란해져, 전극침에 있어서 제전대상물의 대전극성과 대전량에 따른 이온 발생이 불가능하다는 문제가 발생하여, 그 해결이 요구되어지고 있다.

[특허문헌1] 일본 특허공개 2002-216995호 공보

[특허문헌2] 일본 특허공개 평11-345697호 공보

본 발명의 기술적 과제는 상기 전극침의 근방에 어스된 그라운드플레이트를 배치할 필요를 없애고, 그것에 의해서 제전장치의 설계에 자유도를 갖게 하고, 제조 및 유지ㆍ보수를 용이하게 한 제전방법 및 그 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 기술적 과제는 플러스ㆍ마이너스의 고전압을 인가하는 전극침을 이용하면서도 생성된 이온이 확산 방출되는 영역에 위치적인 어긋남이 발생하는 일이 없고, 그것에 의해서 제전 편차가 발생하지 않도록 한 제전방법 및 그 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 기술적 과제는 제전대상물에 있어서의 역치에 도달하지 않는 대전이나, 제전에 의해 역치보다 저하된 대전을 무시하고, 제전처리를 위한 시간을 가급적으로 단축하도록 한 제전방법 및 그 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 기술적 과제는 플러스ㆍ마이너스의 고전압을 인가하는 한쌍의 전극침을 이용하여, 하나의 전극침을 플러스 및 마이너스의 고전압 인가용으로 공용하는 경우에 비하여, 전극침의 손모를 최소한으로 함과 아울러, 고전압 회로의 에너지손실을 개선하여, 에너지 절약화를 꾀하고, 또한 유지ㆍ보수 기간을 연장하여, 유지ㆍ보수의 수고도 저감시키도록 한 제전방법 및 그 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 과제는 제전대상물에 대하여, 그 대전극성이나 대전량을 검지하는 센서를 거리적으로 근접한 위치에 배치하고, 제전대상물의 대전극성 및 대전량을 정확하게 검지할 수 있게 한 제전방법 및 그 장치를 제공하는데 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제1의 제전방법은 절연재료로 이루어진 유지부재 내에, 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침을 대향 배치한 단일 또는 복수의 전극을 구비하고, 상기 전극침의 한쪽에 플러스 또는 마이너스의 고전압을 인가함과 아울러, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하는 통전상태와, 상기 고전압을 인가하고 있었던 전극침을 어스에 접속함과 아울러, 상기 어스에 접속하고 있었던 전극침에 상기 고전압과는 플러스ㆍ마이너스가 반대인 고전압을 인가하는 통전상태를 단주기로 교대로 바꾸고, 상기 전극침의 고전압에 근거해서 생성되는 플러스 및 마이너스의 이온을 제전대상물에 작용시켜서 그 제전을 행하는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제2의 제전방법은 절연 재료로 이루어진 유지부재 내에, 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침을 대향 배치한 단일 또는 복수의 전극을 구비하고, 상기 제전대상물의 근방에 배치된 센서에 의해 상기 대상물의 대전극성과 대전량을 검출해서, 그 대전량이 미리 설정된 역치를 넘고 있는 경우에, 상기 대전극성과는 역극성의 고전압을 인가하는 전극침에 상기 고전압을 인가함과 아울러, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하는 것에 의해, 상기 전극침의 고전압에 근거해서 플러스 또는 마이너스의 이온을 생성시켜서 대상물의 제전을 행하고, 상기 센서에 의해 대전량이 역치 이하에 달한 것이 검출되었을 때, 상기 고전압의 인가를 끊거나, 전극침으로의 인가 전압의 제어에 의해 상기대상물에 있어서의 대전량을 저감시키는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 제2의 제전방법의 바람직한 실시형태에 있어서는, 센서에 의해 대전량이 역치 이하에 달한 것이 검출되었을 때, 고전압을 인가하고 있었던 전극침과는 반대의 전극침에, 역대전을 억제하기 위한 제어된 전압이 인가된다.

상기 제1 및 제2의 제전방법의 바람직한 실시형태에 있어서는, 대향 배치된 한쌍의 전극침 사이에, 제전대상물 쪽으로 공기류를 분출하는 공기 분출구를 개구시켜, 전극침에 고전압을 인가함과 아울러 상기 공기 분출구에서 공기류를 분출시켜서 제전이 행하여진다.

또, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제1의 제전장치는 절연재료로 이루어진 유지부재 내에, 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침을 대향 배치한 단일 또는 복수의 전극과, 상기 전극침에 인가하는 전압을 제어하는 제어장치를 구비하고, 상기 제어장치는 상기 전극침의 한쪽에 플러스 또는 마이너스의 고전압을 인가함과 아울러, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하는 통전상태와, 상기 고전압을 인가하고 있었던 전극침을 어스에 접속함과 아울러, 상기 어스에 접속하고 있었던 전극침에 상기 고전압과는 플러스ㆍ마이너스가 반대인고전압을 인가하는 통전상태를 단주기로 교대로 바꾸는 제어를 행하는 것으로 한 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제2의 제전방법은 절연재료로 이루어진 유지부재 내에, 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침을 대향배치한 단일 또는 복수의 전극과, 상기 제전대상물의 배치 위치의 근방에 배치되어, 상기 대상물의 대전극성과 대전량을 검출하는 센서와, 상기 센서의 출력에 근거해서 전극침에 인가하는 전압을 제어하는 제어장치를 구비하고, 상기 제어장치는 센서로 검출한 제전대상물의 대전량이 미리 설정된 역치를 넘고 있는 경우에, 상기 대전극성과는 역극성의 고전압을 인가하는 전극침에 상기 고전압을 인가함과 아울러, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하고, 상기 전극침의 고전압에 근거해서 제전을 위한 플러스 또는 마이너스의 이온을 생성시켜, 상기 센서에 의해 대전량이 역치 이하에 달한 것이 검출되었을 때, 상기 고전압의 인가를 끊거나, 전극침으로의 인가 전압을 대전량의 저감을 위해 제어하는 것으로 한 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 제1 및 제2의 제전방법의 바람직한 실시형태에 있어서는, 대향 배치된 한쌍의 전극침 사이에, 제전대상물 쪽으로 공기류를 분출하는 공기 분출구를 개구시켜, 그곳으로부터 공기류가 분출된다.

상기 구성을 갖는 제1 및 제2의 제전방법 및 그 장치와 같이, 한쌍의 플러스ㆍ마이너스의 전극침을 대향 배치해서 설치하고, 한쪽의 전극침에 고전압을 인가하고 있을 때에, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하고, 그것에 의해 상기 다른 쪽의 전극침을 어스로서 이용하면, 상기의 어스된 그라운드플레이트를 설치할 필요를 없애면서, 상기 전극침으로의 고전압의 인가에 의해 플러스 또는 마이너스의 이온을 효율적으로 생성시켜 제전을 행할 수 있다.

그 결과, 전극침의 배치 등에 관한 장치 설계의 자유도가 확대하고, 또한, 플러스ㆍ마이너스 전극침에 개별적으로 플러스 및 마이너스의 고전압을 인가하기 때문에, 전극침의 손모를 최소한으로 그치게 하고, 유지ㆍ보수 기간을 연장시킬 수 있고, 상기 그라운드플레이트를 배제한 것과 더불어, 유지ㆍ보수의 수고를 현저하게 저감시킬 수 있다.

또한, 플러스ㆍ마이너스의 고전압을 인가하는 한쌍의 전극침을 사용하고 있기 때문에, 하나의 전극침을 플러스 및 마이너스의 고전압 인가용으로 공용하는 경우에 비하여, 고전압 회로의 에너지 손실도 개선되어, 에너지 절약화를 꾀할 수 있다.

또한, 플러스ㆍ마이너스의 고전압을 인가하는 전극침을 이용하면서도, 항상 이들의 전극침 사이에서 플러스 또는 마이너스의 이온을 생성시키므로, 생성된 이온이 확산 방출되는 영역에 위치적인 어긋남이 발생되지 않고, 그것에 의해서 제전 편차가 생기는 것을 억제할 수 있다.

또한, 상기 구성을 갖는 제2의 제전방법 및 그 장치에 있어서는, 센서로 검출된 대상물의 대전량이 미리 설정된 역치를 넘고 있는 경우에는, 제어장치에 있어서, 대향 배치된 한쌍의 전극침에 검출된 대전극성(예를 들면, 마이너스)과는 역극성(플러스)의 고전압을 제1의 전극침에 인가함과 아울러, 제2의 전극침을 어스에 접속하고, 또한, 검출된 대전극성이 상기와 반대(플러스)의 경우에는, 제2의 전극침에 마이너스의 고전압을 인가함과 동시에 제1의 전극침을 어스에 접속하고, 그것에 의해, 상기 전극침의 고전압에 근거해서 플러스 또는 마이너스의 이온을 생성시켜서 대상물의 제전이 행하여진다. 그리고, 상기 센서에 의해 대전량이 역치 이하에 달한 것이 검출되었을 때, 상기 고전압의 인가를 끊거나, 고전압을 인가하고 있었던 전극침과는 반대의 전극침에, 역대전을 억제하기 위한 제어된 전압이 인가되어, 대상물에 있어서의 대전량이 역대전하지 않고 저감된다.

이 제전에 있어서는, 상기 역치를 제전대상물에 요구되는 적절한 값으로 설정하는 것에 의해, 제전대상물에 있어서의 역치에 달하지 않는 대전이나, 제전에 의해 역치보다 저하된 대전을 무시하고, 제전처리를 위한 시간을 가급적으로 단축할 수 있다.

또, 제전대상물에 대하여, 그 대전극성이나 대전량을 검지하는 센서를 거리적으로 근접한 위치에 배치하고, 제전대상물의 대전극성 및 대전량을 정확하게 검지할 수 있도록 하고 있으므로, 상기 센서의 출력의 피드백에 의해, 대전물과 역극성의 고전압을 전용의 전극침에 인가해서, 신속하고 확실한 제전이 가능하게 된다. 또한, 플러스ㆍ마이너스 중, 어느 하나의 이온 만을 방출하기 때문에, 장거리에 있어서도 이온이 도달하기 쉽고, 전극침의 설치에도 자유도가 주어진다.

도1 및 도2는, 본 발명에 관한 제전장치의 구성을 나타내고 있다.

이 제전장치는 반송 라인을 따라 이송되는 제전대상물(1)에 대하여, 복수의 전극(3)을 대향하도록 설치된 전극 유닛(2)을 구비하고 있다. 상기 전극(3)은, 단일의 것으로 할 수 있는데, 도시한 바와 같이, 제전대상물(1)의 반송 방향 혹은 그것과 직교하는 방향으로 그 복수를 배열 설치할 수 있다.

상기 전극(3)은, 도2에 나타낸 바와 같이, 절연 재료로 이루어진 유지부재(5)에 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침(6a,6b)이 대향 배치된 것이며, 이들의 전극침(6a,6b)은 각각 전원장치에 접속되어 있다. 후술하는 제어장치에 있어서는, 이들의 전극침 중, 제1의 전극침(6a)에는 예를 들면, 플러스의 고전압을 인가하고, 제2의 전극침(6b)에는 그것과 역극성의 마이너스의 고전압을 인가하도록 제어되어, 원칙적으로는 어느 한쪽의 전극침에 고전압을 인가하고, 다른쪽의 전극침은 어스에 접속된다.

또한, 상기 어스에 접속되는 전극침은 제전대상물(1) 놓여져 있는 프레임과 같은 그랜드 레벨로 유지된다.

그리고, 유지부재(5) 내에 있어서 대향 배치된 한쌍의 전극침(6a,6b)사이에는, 제전대상물(1) 쪽으로 공기류를 분출하는 공기 분출구(7)를 개구시켜, 그것을 도시하지 않은 송풍기 등에 접속해서 공기류를 분출할 수 있도록 하고 있다. 이러한 공기 분출구(7)를 설치하면, 한쌍의 전극침(6a,6b)사이에서 생성된 플러스 또는 마이너스의 이온을 단일의 공기 분출구(7)로부터의 공기류에 의해 제전대상물(1)의 부근에 보내어, 고능률적으로 제전할 수 있다.

또한, 이 제전장치에 있어서는 전극침에 고전압을 인가하는 것에 의해 생성되는 이온을 효율적으로 제전대상물의 부근에 보내기 위해서, 상기 공기 분출구(7) 외에, 임의수단을 부설할 수 있다.

또, 상기 제전장치에 있어서는 제전대상물(1)의 설치 위치의 근방에 설치되어, 상기 대상물(1)의 표면 전위에 근거해서 그 대전극성과 대전량을 검출하는 센서(8)를 구비하고 있다. 이 센서(8)는 그 출력에 근거하여 전극침(6a,6b)에 인가하는 전압을 제어하기 위해서, 제어장치에 접속되어 있다.

본 발명의 제1의 제전장치에 있어서는 상기 제어장치가 상기 전극침(6a,6b)의 한쪽에 플러스 또는 마이너스의 고전압을 인가함과 아울러, 다른 쪽의 전극침(6b,6a)을 어스에 접속하는 통전상태와, 상기 고전압을 인가하고 있었던 전극침을 어스에 접속함과 동시에, 상기 어스에 접속되어 있었던 전극침에 상기 고전압과는 플러스,마이너스가 반대인 고전압을 인가하는 통전상태를 예를 들면, 33Hz나 22Hz등의 수십Hz 오더의 단주기로 교대로 바꾸는 제어를 행하는 것으로서 구성된다. 이 경우, 상기 센서(8)는 설치할 필요가 없다.

이러한 제어장치에 의해 전극침에 인가하는 고전압의 제어를 행하면, 플러스 및 마이너스의 이온이 제전대상물에 작용하지만, 이들의 이온 중에서 제전대상물의 대전극성과 역극성의 이온 만이 상기 대상물에 흡인되어서 그 제전에 유효하게 작용하고, 이하에 서술하는 제2의 제전장치의 경우보다 제전속도에 있어서 약간 뒤떨어지는 경우는 있지만, 역극성에 대전하거나 하지는 않고, 유효한 제전을 행할 수 있다.

한편, 본 발명의 제2의 제전장치에 있어서의 상기 제어장치는 센서(8)로 검출된 제전대상물(1)의 대전량이 미리 설정된 역치를 넘고 있는 경우에, 상기 대전극성과는 역극성의 고전압을 인가하는 전극침에 상기 고전압을 인가함과 동시에, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하고, 상기 전극침(6a 또는 6b)의 고전압에 근거해서 제전을 위한 플러스 또는 마이너스의 이온을 생성시키고, 또한, 이들의 이온에 의한 제전의 결과, 상기 센서(8)에 의해 대전량이 역치 이하에 달한 것이 검출되었을 때에, 상기 고전압의 인가를 끊도록 전원장치를 제어하는 것이다.

또한 구체적으로 설명하면, 상기 센서(8)로 검출한 대상물(1)의 대전량이 미리 설정된 역치를 넘고 있을 경우에는, 제어장치에 있어서 검출한 대전극성(예를 들면 마이너스)과는 역극성(플러스)의 고전압을 제1의 전극침(6a)에 인가함과 동시에, 제2의 전극침(6b)을 어스에 접속하고, 또한, 검출한 대전극성이 상기와 반대(플러스)의 경우에는, 제2의 전극침(6b)에 마이너스의 고전압을 인가함과 동시에 제1의 전극침(6a)을 어스에 접속하도록 제어되어, 그것에 의하여, 상기 전극침(6a 또는 6b)의 고전압에 근거해서 플러스 또는 마이너스의 이온을 생성시켜서 대상물(1)의 제전이 행하여진다.

그리고, 상기 이온의 생성에 의한 제전의 결과, 상기 센서(8)에 의해 대전량이 역치 이하에 달한 것이 검출되었을 때는, 제어장치에 있어서 상기 고전압의 인가를 끊도록 제어된다. 이 타이밍은 전극침(6a 또는 6b)이 인가한 고전압에 의한 제전의 결과, 제전대상물(1)이 역대전하지 않도록 고려해서 설정할 필요가 있는데, 그것에 의해 제어장치에 있어서의 고전압 인가의 제어를 단순화할 수 있고, 에너지의 절약면에서도 유효하다.

또, 여기서는 상기 제어장치에 있어서 대전량이 역치 이하로 되었을 때에 통전을 끊는 제어를 행하는 취지를 설명했는데, 상기 제어장치에 있어서 전극침(6a,6b)에의 인가 전압을 대전량의 저감을 위해 적당히 제어하는 것도 가능하다.

예를 들면, 제전완료 부근에 있어서, 역대전을 막기 위해, 센서(8)가 소정 역치에 도달한 부분에서 인가 전압을 PWM제어하거나, 또한, 인가 전압의 저하 등의 제어로 제전대상물을 접지 전위에 될 수 있는 한 가까이 하고, 혹은 인가하고 있었던 전극침과는 반대의 전극침에, 역대전을 억제하기 위해 제어된 전압을 인가할 수 도 있다.

또한, 상기 제어장치에 미리 설정되는 역치는 임의로 조정 가능하게 할 수 있다.

도3에 나타내는 플로우 챠트는, 상기 제2의 제어장치에 있어서의 제전의 제어의 형태를 나타내는 것이다. 도3에 대해서 설명하면, 우선, 제전대상물(1)의 근방에 배치된 센서(8)에 의해 상기 대상물(1)의 대전극성과 대전량이 검출되었을 때, 제어장치에 있어서는 그 대전량이 미리 설정된 역치를 넘고 있는가 아닌가를 판별하고, 역치를 넘고 있지 않을 경우에는, 그대로 제전을 종료하고, 한편, 제전대상물(1)의 대전량이 역치를 넘고 있을 경우에는, 대전극성의 판정을 행한 후, 검출한 대전극성과는 역극성의 고전압을 전극침(6a 또는 6b)에 인가함과 동시에, 다른쪽의 전극침을 어스에 접속한다. 이것에 의해, 상기 전극침의 고전압에 근거해서 플러스 또는 마이너스의 이온을 생성해서 대상물(1)의 제전이 행하여진다.

상기 센서(8)는 항상 대전극성과 대전량의 검출을 행해서 그 결과를 제어장치에 입력하고 있고, 이 검출에 의해 대전량이 역치 이하에 도달한 것이 판정되었을 때에는, 상기 고전압의 인가를 행하고 있는 전원을 차단하고, 제전을 종료한다.

상기한 제2의 제전방법 및 제전장치에 있어서는, 상기 역치를 제전대상물(1)에 요구되는 적절한 값으로 설정하는 것에 의해, 제전대상물에 있어서의 역치에 달하지 않은 대전이나, 제전에 의해 역치보다 저하된 대전을 무시하도록 하고 있기 때문에, 제전처리를 위한 시간을 가급적으로 단축하는 것이 가능하다.

또한, 제전대상물(1)에 대하여, 그 대전극성이나 대전량을 검지하는 센서(8)를 거리적으로 근접한 위치에 배치하고, 제전대상물의 대전극성 및 대전량을 정확하게 검지할 수 있도록 하고 있기 때문에, 상기 센서(8)의 출력의 피드백에 의해, 대전물과 역극성의 고전압을 전극침에 인가하여, 신속하고 확실한 제전이 가능해진다. 또한, 플러스, 마이너스 중, 어느 하나의 이온 만을 방출하기 때문에, 장거리에 있어서도 이온이 도달하기 쉽고, 전극침의 설치에도 자유도가 주어진다.

또, 상기 제1 및 제2의 제전방법 및 장치에 있어서는, 한쌍의 플러스,마이너스의 전극침(6a,6b)을 대향 배치해서 설치하고, 한쪽의 전극침(6a 또는 6b)에 고전압을 인가하고 있을 때에, 다른 쪽의 전극침(6b 또는 6a)을 어스에 접속하고, 그것에 의해 고전압 인가를 하고 있지 않은 전극침을 어스로서 이용하기 때문에, 어스된 그라운드플레이트 등을 설치할 필요를 없애면서, 상기 전극침(6a,6b)으로의 고전압의 인가에 의해 플러스 또는 마이너스의 이온을 효율적으로 생성시켜, 제전을 행할 수 있다.

그 결과, 전극침(6a,6b)을 구비하는 전극(3)의 배치 등에 관한 장치 설계의 자유도가 확대되고, 또한, 전극침(6a,6b)에 개별적으로 플러스 및 마이너스의 고전압을 인가하기 때문에, 전극침의 손모를 최소한으로 하고, 유지ㆍ보수 기간을 연장시킬 수 있고, 상기 그라운드플레이트를 배제한 것과 더불어, 유지ㆍ보수의 수고를 현저하게 저감시킬 수 있다.

또한, 플러스,마이너스의 고전압을 인가하는 한쌍의 전극침(6a, 6b)을 이용하고 있기 때문에, 하나의 전극침을 플러스 및 마이너스의 고전압 인가용으로 공용하는 경우에 비하여, 고전압 회로의 에너지 손실도 개선되어, 에너지 절약화를 꾀할 수 있다.

또한, 플러스ㆍ마이너스의 고전압을 인가하는 전극침을 이용하면서도, 생성된 이온이 확산 방출되는 영역에 위치적인 어긋남이 발생하지 않고, 그것에 의해서 제전 편차가 생기는 것을 억제할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 한쌍의 플러스ㆍ마이너스의 전극침을 대향 배치해서 설치하고, 한쪽의 전극침에 고전압을 인가하고 있을 때에, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하고, 그것에 의해 상기 다른 쪽의 전극침을 어스로서 이용하면, 상기의 어스된 그라운드플레이트를 설치할 필요를 없애면서, 상기 전극침으로의 고전압의 인가에 의해 플러스 또는 마이너스의 이온을 효율적으로 생성시켜 제전을 행할 수 있다.

도1은 본 발명에 관한 제전장치의 실시예를 나타내는 구성도이다.

도2는 상기 실시예에 있어서의 전극침의 구성을 나타내는 확대 단면도이다.

도3은 본 발명에 있어서의 제전의 제어에 대해 설명하기 위한 플로우 챠트이다.

[부호의 설명]

1 … 제전대상물 3 … 전극 5 … 유지 부재

6a,6b … 전극침 7 … 공기 분출구 8 … 센서

Claims

절연재료로 이루어진 유지부재 내에, 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침을 대향 배치한 단일 또는 복수의 전극을 구비하고,

상기 전극침의 한쪽에 플러스 또는 마이너스의 고전압을 인가함과 동시에, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하는 통전상태와, 상기 고전압을 인가하고 있었던 전극침을 어스에 접속함과 동시에, 상기 어스에 접속하고 있었던 전극침에 상기 고전압과는 플러스ㆍ마이너스가 반대인 고전압을 인가하는 통전상태를 단주기로 교대로 바꾸고,

상기 전극침의 고전압에 근거해서 생성되는 플러스 및 마이너스의 이온을 제전대상물에 작용시켜서 그 제전을 행하는 것을 특징으로 하는 제전방법.
절연재료로 이루어진 유지부재 내에, 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침을 대향 배치한 단일 또는 복수의 전극을 구비하고,

상기 제전대상물의 근방에 배치된 센서에 의해 상기 대상물의 대전극성과 대전량을 검출해서, 그 대전량이 미리 설정된 역치를 넘고 있는 경우에, 상기 대전극성과는 역극성의 고전압을 인가하는 전극침에 상기 고전압을 인가함과 동시에, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하는 것에 의해, 상기 전극침의 고전압에 근거해서 플러스 또는 마이너스의 이온을 생성시켜서 대상물의 제전을 행하고,

상기 센서에 의해 대전량이 역치 이하에 달한 것이 검출되었을 때, 상기 고전압의 인가를 끊거나, 전극침으로의 인가 전압의 제어에 의해 상기 대상물에 있어서의 대전량을 저감시키는 것을 특징으로 하는 제전방법.
제2항에 있어서, 센서에 의해 대전량이 역치 이하에 달한 것이 검출되었을 때, 고전압을 인가하고 있었던 전극침과는 반대의 전극침에, 역대전을 억제하기 위한 제어된 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 제전방법.
제1항 내지 제3항 중, 어느 한 항에 있어서, 대향 배치된 한쌍의 전극침 사이에, 제전대상물 쪽으로 공기류를 분출하는 공기 분출구를 개구시켜, 전극침에 고전압을 인가함과 동시에 상기 공기 분출구로부터 공기류를 분출시켜서 제전을 행하는 것을 특징으로 하는 제전방법.
절연재료로 이루어진 유지부재 내에, 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침을 대향 배치한 단일 또는 복수의 전극과, 상기 전극침에 인가하는 전압을 제어하는 제어장치를 구비하고,

상기 제어장치는 상기 전극침의 한쪽에 플러스 또는 마이너스의 고전압을 인가함과 동시에, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하는 통전상태와, 상기 고전압을 인가하고 있었던 전극침을 어스에 접속함과 동시에, 상기 어스에 접속하고 있었던 전극침에 상기 고전압과는 플러스ㆍ마이너스가 반대인 고전압을 인가하는 통전상태를 단주기로 교대로 바꾸는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 제전장치.
절연재료로 이루어진 유지부재 내에, 플러스 및 마이너스의 고전압이 개별적으로 인가되는 한쌍의 전극침을 대향 배치한 단일 또는 복수의 전극과, 상기 제전대상물의 설치 위치의 근방에 배치되어, 상기 대상물의 대전극성과 대전량을 검출하는 센서와, 상기 센서의 출력에 근거해서 전극침에 인가하는 전압을 제어하는 제어장치를 구비하고,

상기 제어장치는 센서로 검출된 제전대상물의 대전량이 미리 설정된 역치를 넘고 있는 경우에, 상기 대전극성과는 역극성의 고전압을 인가하는 전극침에 상기 고전압을 인가함과 동시에, 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하고, 상기 전극침의 고전압에 근거해서 제전을 위한 플러스 또는 마이너스의 이온을 생성시켜, 상기 센서에 의해 대전량이 역치 이하에 달한 것이 검출되었을 때, 상기 고전압의 인가를 끊거나, 전극침으로의 인가 전압을 대전량의 저감을 위해 제어하는 것으로 한 것을 특징으로 하는 제전장치.
제5항 또는 제6항에 있어서, 대향 배치된 한쌍의 전극침 사이에, 제전대상물 쪽으로 공기류를 분출하는 공기 분출구를 개구시킨 것을 특징으로 하는 제전장치.