KR200478214Y1 - 진공 홀드-다운 장치 - Google Patents

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KR200478214Y1
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Abstract

본 고안의 선호 실시예에서는, 다양한 형태 및/또는 크기를 가진 워크피스들과 함께 이용하기 위한 진공 홀드-다운 시스템이 제공되며, 상기 진공 홀드-다운 시스템은, 지지면 상에 진공관들의 어레이를 배열하는 진공 홀드-다운 테이블과, 서로 상호 이격된 구멍들의 두개 이상의 어레이를 형성하는 진공 테이블 마스크를 포함하며, 구멍들의 두개 이상의 어레이 각각은 상기 진공관들의 어레이 내 일부 진공관들과 함께 등록가능하고, 구멍들의 두개 이상의 어레이 내 각각의 구멍은 상기 워크피스들 중 한개 이상의 워크피스 아래에 놓이도록 구성된다.

Description

진공 홀드-다운 장치{VACUUM HOLD-DOWN APPARATUS}
본 고안은 진공 홀드-다운 장치에 관한 고안으로서, 특히, 진공 홀드-다운 장치를 이용하는 검사 시스템에 관한 고안이다.
미국특허 제5,671,910호, 5,709,023호, 6,422,548호, 7,469,886호는 당 업계의 현재 상태를 나타낸다고 판단된다.
본 고안은 진공 홀드-다운 장치를 제공하고자 한다.
따라서, 본 고안의 선호 실시예에서는, 다양한 형태 및/또는 크기를 가진 워크피스들과 함께 이용하기 위한 진공 홀드-다운 시스템이 제공되며, 상기 진공 홀드-다운 시스템은, 지지면 상에 진공관들의 어레이를 배열하는 진공 홀드-다운 테이블과, 서로 상호 이격된 구멍들의 두개 이상의 어레이를 형성하는 진공 테이블 마스크를 포함하며, 구멍들의 두개 이상의 어레이 각각은 상기 진공관들의 어레이 내 일부 진공관들과 함께 등록가능하고, 구멍들의 두개 이상의 어레이 내 각각의 구멍은 상기 워크피스들 중 한개 이상의 워크피스 아래에 놓이도록 구성된다.
본 고안의 선호 실시예에서는, 다양한 형태 및/또는 크기를 가진 워크피스들과 함께 이용하기 위한 진공 홀드-다운 시스템이 제공되며, 상기 진공 홀드-다운 시스템은, 지지면 상에 구멍들의 어레이를 배열하면서 상기 워크피스들 중 한개 이상의 워크피스 아래에 놓이도록 구성되는 진공 테이블 마스크와, 서로 상호 이격된 진공관들의 두개 이상의 어레이를 형성하는 진공 홀드-다운 테이블을 포함하며, 진공 테이블 마스크의 구멍들 중 일부는 상기 진공관들의 두개 이상의 어레이 내 각 어레이의 진공관들과 함께 등록가능하다.
바람직한 경우, 각각의 구멍의 단면적은 각 진공관의 단면적보다 약간 크다. 추가적으로, 진공 테이블 마스크는 진공 홀드-다운 테이블에 대해 선택가능한 두개의 위치에 배치가능하다. 추가적으로, 선택가능한 네개의 위치가 진공 홀드-다운 테이블의 코너들에 의해 구획된다.
바람직한 경우에, 상기 진공 테이블 마스크는 진공 홀드-다운 테이블 위에 배치된다. 대안으로서, 진공 테이블 마스크가 진공 홀드-다운 테이블 내부에 배치된다.
본 고안의 선호 실시예에 따르면, 두개 이상의 어레이의 영역들이 부분적으로 겹쳐진다.
본 고안의 선호 실시예에서는 다양한 형태 및/또는 크기를 가진 워크피스들과 지지면 상에 진공관들의 어레이를 배열한 진공 홀드-다운 테이블과 함께 이용하기 위한 진공 테이블 마스크가 제공된다. 상기 진공 테이블 마스크는 기판을 포함하고, 상기 기판 상에는 서로 상호 이격된 구멍들의 두개 이상의 어레이가 형성되며, 구멍들의 두개 이상의 어레이 각각은 진공관들의 어레이 내 일부 진공관들과 함께 등록가능하다.
본 고안의 선호 실시예에 따르면, 구멍들의 두개 이상의 어레이 내 각 구멍의 단면적이 진공관들의 어레이 내 각 진공관의 단면적보다 약간 크다.
추가적으로, 또는, 대안으로서, 진공 테이블 마스크는 구멍들의 네개의 어레이를 포함한다. 추가적으로, 또는 대안으로서, 두개 이상의 어레이의 영역들이 부분적으로 겹쳐진다.
본 고안의 선호 실시예에 따르면, 지지면 상에 진공관들의 어레이를 배열한 진공 홀드-다운 테이블에, 다양한 형태 및/또는 크기를 가진 워크피스들의 진공 홀드-다운을 제공하는 방법이 또한 제공되며, 상기 방법은, 진공 홀드-다운 테이블의 지지면 상에, 서로 상호 이격된 구멍들의 두개 이상의 어레이를 형성한 진공 테이블 마스크를 배치하는 단계로서, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 각각은 상기 진공관들의 어레이 내 일부 진공관들과 함께 등록가능하고, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 각각은 상기 워크피스들 각각 아래에 놓이도록 구성되는 단계와, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 중 한개의 어레이가 상기 진공관들의 어레이 내 일부 진공관들과 함께 등록되도록, 상기 지지면 상에 상기 진공 테이블 마스크를 배치하는 단계와, 상기 진공 홀드-다운 테이블 상에 다양한 형태 및/또는 크기를 가진 상기 워크피스들 중 제 1 크기 및/또는 형태의 워크피스를 배치하되, 상기 진공 테이블 마스크의 일부분 위에 배치하고, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 중 한 개의 어레이 위에 배치하며, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 중 한개의 어레이는 상기 진공관들의 어레이 내 일부 진공관들과 함께 등록되는 단계를 포함한다.
바람직한 경우에, 상기 방법은, 상기 진공 홀드-다운 테이블로부터 제 1 크기 및/또는 형태의 워크피스를 제거하는 단계와, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 내 또다른 어레이가 상기 진공관들의 어레이의 일부 진공관들과 함께 등록되도록 상기 지지면 상에 마스크를 재배치하는 단계와, 상기 진공 홀드-다운 테이블 상에 제 2 크기 및/또는 형태의 워크피스를 배치하되, 상기 진공 테이블 마스크의 일부분 위에 배치하고, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 내 상기 또다른 어레이 위에 배치하며, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 내 상기 또다른 어레이는 상기 진공관들의 어레이 내 일부 진공관들과 함께 등록되는 단계를 추가로 포함한다.
추가적으로, 상기 두개 이상의 어레이의 영역들이 부분적으로 겹쳐진다.
본 고안은 아래와 같은 첨부 도면과 연계하여 다음의 상세한 설명으로부터 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 고안의 다양한 실시예에 따라 구성되고 동작하는 진공 홀드-다운 장치를 이용하는 검사 시스템의 단순화된 도면.
도 2는 서로 상호 이격된 구멍들의 복수의 어레이를 표면에 형성한, 본 고안의 진공 홀드-다운 장치에 유용한 전형적인 진공 테이블 마스크의 단순화된 평면도.
도 3A 및 3B는 제 1 상호 등록 배열로 본 고안의 일 실시예의 진공 홀드-다운 장치에 보유된 제 1 크기의 제 1 평면형 워크피스의 평면도 및 단면도로서, 도 3B는 도 3A의 선 A-A로부터 취해진 단면도.
도 4A 및 4B는 제 1 상호 등록 배열로 본 고안의 일 실시예의 진공 홀드-다운 장치에 보유된 제 2 크기의 제 2 평면형 워크피스의 평면도 및 단면도로서, 도 4B는 도 4A의 선 A-A로부터 취해진 단면도.
도 5A 및 5B는 제 3 상호 등록 배열로 본 고안의 일 실시예의 진공 홀드-다운 장치 상에 보유된 제 3 크기의 제 3 평면형 워크피스의 평면도 및 단면도로서, 도 5B는 도 5A의 선 A-A를 따라 취한 단면도.
도 6A 및 6B는 제 4 상호 등록 배열로 본 고안의 일 실시예의 진공 홀드-다운 장치 상에 보유된 제 4 크기의 제 4 평면형 워크피스의 평면도 및 단면도로서, 도 6B는 도 6A의 선 A-A를 따라 취한 단면도.
도 1은 본 고안의 선호 실시예에 따라 구성 및 동작하는 진공 홀드-다운 장치를 이용하는 검사 시스템의 단순화된 도면이다.
도 1에 도시되는 바와 같이, 광학적 검사 시스템과 같은 검사 시스템(100)이 제공된다(예를 들어, 이스라엘, Yavne에 소재한 Orbotech Ltd. 사 제품인 Orbotech DiscoveryTM 8000 AOI 시스템). 검사 시스템(100)은 지지면(106) 상에 배열된, 진공관(104)들의 어레이를 구비한 진공 홀드-다운 테이블(102)을 포함하며, 상기 진공 홀드-다운 테이블(102)은 광학적 검사 중 평면형 워크피스(108)같은 워크피스들을 보유하도록 작동한다.
"진공관"이라는 용어는 종래의 이용예보다 조금 더 넓은 범위의 의미로 본 고안에서 사용된다. Orbotech DiscoveryTM 8000 AOI 시스템에서는 평면형 테이블 표면에 형성된 구멍들이 진공관이다. "탑리스 진공 홀드-다운 테이블"이라고 하는 미국특허 제7,259,777호의 도 15 및 도 16에 도시된 타입의 진공 홀드-다운 테이블과 관련하여, 이 테이블의 모든 돌출하지 않은 부분들이 진공관이라고 간주된다.
본 고안의 선호 실시예에 따르면, 진공 홀드-다운 장치는 진공 홀드-다운 테이블(102)에 부가하여, 구멍들의 두개 이상의 어레이를 형성하는 진공 테이블 마스크(110)를 포함하며, 구멍들의 두개 이상의 어레이 내 구멍들은 서로 상호 이격되고, 각각의 어레이는 일부 진공관(104)들과 함께 등록될 수 있다. 즉 상기 두개 이상의 어레이 내 구멍들이 일부 진공관(104)과 일치하여 함께 관통할 수 있다. 바람직한 경우, 이 구멍들의 단면적이 진공관(104)들의 단면적보다 약간 크다. 또한, 마스크 구멍들의 단면 구조가 마스크의 서로 반대편 평면형 표면들 간에 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 구멍의 면적이, 워크피스와 마주하는 마스크 표면에서 상대적으로 크고, 진공 홀드-다운 테이블과 마주하는 마스크 표면에서 상대적으로 작을 수 있다.
본 고안의 작동의 특별한 특징은 다음과 같다.
- 제 1 크기의 워크피스를 검사하고자 할 때, 마스크(110)가 진공 홀드-다운 테이블(102)에 대해 제 1 위치에 배치되어, 구멍들의 제 1 어레이가 진공 홀드-다운 테이블(102)의 진공관(104)들 중 일부와 함께 등록되고, 제 1 어레이의 모든 구멍들이 제 1 크기의 워크피스 아래에 놓이며, 나머지 진공관(104)들이 마스크(110)에 의해 차단되어, 모든 진공관(104)들을 통한 공기의 자유로운 흐름을 방지한다.
- 제 2 크기의 워크피스를 검사하고자 할 때, 마스크(110)가 진공 홀드-다운 테이블(102)에 대해 제 1 위치와는 다른 제 2 위치에 배치되어, 제 2 어레이의 구멍들이 진공 홀드-다운 테이블(102)의 진공관(104)들 중 일부와 함께 등록되고, 제 2 어레이의 모든 구멍들이 제 2 크기의 워크피스 아래에 놓이며, 나머지 진공관(104)들은 마스크(110)에 의해 차단되어, 모든 진공관(104)들을 통한 공기의 자유로운 흐름을 방지하게 된다.
도 1의 확대도 A는, 마스크(110)가 구멍들의 네개의 어레이들을 포함하고, 마스크가 진공 홀드-다운 테이블(102)에 대해 네개의 선택가능한 위치에 배치될 수 있는 실시예를 도시하고 있다. 어레이들은 I, II, III, IV로 표시되고 있고, 각각의 어레이에 속한 구멍들이 이와 같이 식별된다. 선택가능한 네개의 위치들은 진공 홀드-다운 테이블(102)의 주변 벽체(112)의 네개의 코너에 의해 구획되며, 이 코너들은 마스크 배치 지정자 P-I, P-II, P-III, P-IV로 표시된다. 마스크 배치 지정자 P-I, P-II, P-III, 또는 P-IV로 지정되는 주어진 코너와 연동하여 마스크(110)의 주어진 코너를 배치함으로써, 대응하는 어레이 I, II, III, 또는 IV의 구멍들이 검은 동그라미로 표시되는 진공 홀드-다운 테이블(102)의 적절한 진공관(104)들과 함께 등록되도록 배치된다.
도 1의 확대도 B는 마스크(110)가 구멍들의 다섯개의 어레이들을 포함하고, 마스크가 진공 홀드-다운 테이블(102)에 대해 선택가능한 다섯개의 위치에 배치될 수 있는 실시예를 도시하고 있다. 어레이들은 I, II, III, IV, V로 표시되고 있고, 각각의 어레이에 속한 구멍들도 이와 같이 식별된다. 선택가능한 다섯개의 위치들은 진공 홀드-다운 테이블(102)의 주변 벽체(112)의 마스크 배치 지정자 P-I, P-II, P-III, P-IV로 식별되는 네개의 코너에 의해, 그리고, 마스크 배치 지정자 P-V에 의해, 구획된다. 마스크 배치 지정자 P-I, P-II, P-III, P-IV, P-V 중 임의의 지정자로 표시되는 주어진 위치에 마스크(110)의 주어진 부분을 배치함으로써, 대응하는 어레이 I, II, III, IV, 또는 V의 구멍들이 진공 홀드-다운 테이블(102)의 적절한 진공관(104)들과 함께 등록되도록 배치된다(검은 동그라미 참조).
도 2는 본 고안의 진공 홀드-다운 장치에 유용한, 전형적인 진공 테이블 마스크(110)의 단순화된 도면으로서, 마스크(110) 상에는 서로 상호 이격된 구멍들의 복수의 어레이들이 형성되어 있다. 도 2는 구멍들의 네개의 어레이들을 포함하며, 이들은 서로 이격되어 있다. 진공 테이블 마스크의 대안의 구조는 이보다 많은 수의 구멍들을 포함할 수도 있고, 적은 수의 구멍들을 포함할 수도 있다.
구멍들의 제 1 어레이는 가장 작은 워크피스에 적합하며 네개의 구멍들을 포함한다. 각각의 구멍은 I로 표시된다.
구멍들의 제 2 어레이는 그 다음으로 작은 워크피스에 적합하며 9개의 구멍들을 포함한다. 각각의 구멍은 II로 표시된다.
구멍들의 제 3 어레이는 가장 작은 워크피스에 적합하며 16개의 구멍들을 포함한다. 각각의 구멍은 III으로 표시된다.
구멍들의 제 4 어레이는 가장 작은 워크피스에 적합하며 25개의 구멍들을 포함한다. 각각의 구멍은 IV로 표시된다.
각 어레이의 구멍들은 진공관(104)의 상호 간격과 동일한 간격으로 상호 이격된다.
마스크 배치 지정자 P-I으로부터 마스크 배치 지정자 P-II까지 마스크(110)가 이격된 방향으로 마스크 배치 지정자 P-I로부터 마스크 배치 지정자 P-II까지 마스크(110)가 이격된 거리와 같은 거리만큼, 구멍 II들이 대응하는 구멍 I들로부터 이격된다.
마스크 배치 지정자 P-I으로부터 마스크 배치 지정자 P-III까지 마스크(110)가 제 1 방향으로 이격된 거리와 같은 제 1 거리만큼, 그리고, 마스크 배치 지정자 P-I으로부터 마스크 배치 지정자 P-III까지 마스크(110)가 제 1 방향과는 수직인 제 2 방향으로 이격된 거리와 같은 제 2 거리만큼, 구멍 III들이 대응하는 구멍 I들로부터 이격된다.
마스크 배치 지정자 P-III로부터 마스크 배치 지정자 P-IV까지 마스크(110)가 이격된 방향으로 마스크 배치 지정자 P-III로부터 마스크 배치 지정자 P-IV까지 마스크(110)가 이격된 거리와 같은 거리만큼 구멍 IV들이 대응하는 구멍 III들로부터 이격된다.
상술한 바와 같이, 구멍 I, II, III, IV들의 상대적 이격과 간격은, 구멍들의 네개의 어레이들에 대응하는 네가지 크기의 워크피스들에 대한 진공-효율적인 홀드 다운 및 검사를 위해 진공 홀드-다운 테이블(102)에 대한 마스크(110)의 작동 위치에 대응한다.
도 3A 및 3B는 제 1 상호 등록 배열로 본 고안의 진공 홀드-다운 장치 상에 보유된 제 1 크기의 제 1 평면형 워크피스(120)의 평면도 및 단면도다. 도 3B의 단면도는 도 3A의 선 A-A를 따라 취한 것이다. 도 3A 및 3B에 도시되는 바와 같이, 마스크(110)는 마스크 배치 지정자 P-I에 의해 구획되는 제 1 위치에서 진공 홀드-다운 테이블(102) 상에 배치되어, 구멍들의 제 1 어레이의 구멍 I들이 대응하는 진공관(122, 124, 126, 128) 위에 놓이게 된다. 나머지 진공관(130, 132, 134, 136, 138, 140, 142, 144, 146, 148, 150, 152, 154, 156, 158, 160, 162, 164, 166, 168, 170)들은 마스크(110)에 의해 차단된다.
도 4A 및 4B는 제 2 상호 등록 배열로 본 고안의 진공 홀드-다운 장치 상에 보유된 제 2 크기의 제 2 평면형 워크피스(220)의 평면도 및 단면도다. 도 4B의 단면도는 도 4A의 선 A-A를 따라 취한 것이다. 도 4A 및 4B에 도시되는 바와 같이, 마스크(110)는 마스크 배치 지정자 P-II에 의해 구획된 제 2 위치에서 진공 홀드-다운 테이블(102) 상에 위치하여, 구멍들의 제 2 어레이의 구멍 II들이 대응하는 진공관(122, 124, 126, 128, 130, 132, 134, 136, 138) 위에 놓이게 된다. 나머지 진공관(140, 142, 144, 146, 148, 150, 152, 154, 156, 158, 160, 162, 164, 166, 168, 170)들은 마스크(110)에 의해 차단된다.
도 5A 및 5B는 제 3 상호 등록 배열로 본 고안의 진공 홀드-다운 장치 상에 보유된 제 3 크기의 제 3 평면형 워크피스(320)의 평면도 및 단면도다. 도 5B의 단면도는 도 5A의 선 A-A를 따라 취한 것이다. 도 5A 및 5B에 도시되는 바와 같이, 마스크(110)는 마스크 배치 지정자 P-III에 의해 구획된 제 3 위치에서 진공 홀드-다운 테이블(102) 상에 위치하여, 구멍들의 제 3 어레이의 구멍 III들이 대응하는 진공관(122, 124, 126, 128, 130, 132, 134, 136, 138, 140, 142, 144, 146, 148, 150, 152) 위에 놓이게 된다. 나머지 진공관(154, 156, 158, 160, 162, 164, 166, 168, 170)들은 마스크(110)에 의해 차단된다.
도 6A 및 6B는 제 4 상호 등록 배열로 본 고안의 진공 홀드-다운 장치 상에 보유된 제 4 크기의 제 4 평면형 워크피스(420)의 평면도 및 단면도다. 도 6B의 단면도는 도 6A의 선 A-A를 따라 취한 것이다. 도 6A 및 6B에 도시되는 바와 같이, 마스크(110)는 마스크 배치 지정자 P-IV에 의해 구획된 제 4 위치에서 진공 홀드-다운 테이블(102) 상에 위치하여, 구멍들의 제 4 어레이의 구멍 IV들이, 대응하는 진공관(122, 124, 126, 128, 130, 132, 134, 136, 138, 140, 142, 144, 146, 148, 150, 152, 154, 156, 158, 160, 162, 164, 166, 168, 170) 위에 놓이게 된다.
마스크는 다양한 방식으로 진공 홀드-다운 테이블과 상관될 수 있다. 도 1-6은 진공 홀드-다운 테이블 위에 위치한 마스크를 도시한다. 대안으로서, 마스크가 진공 홀드-다운 테이블의 내부에 배치될 수도 있다.
위 설명에서, 마스크는, 평면에 마스크를 선택적으로 배치함으로써 제 1, 2, 3, 4 위치에 배치된다. 대안으로서, 마스크가 다양한 위치 사이에서 변위하기 위해 다양한 방향으로 플리핑(flipping)되거나 회전할 수 있다.
본 명세서에서 특별하게 도시하고 설명한 것만으로 본 고안이 제한되는 것이 아님을 당 업자가 이해할 수 있을 것이다. 본 고안은 공지 기술을 제외한, 본 명세서에서 소개한 다양한 특징들의 결합 및 서브결합들 모두와, 앞서의 상세한 설명을 읽고 난 후 당 업자에게 나타날 수 있는 여러가지 개선점 및 변형들을 포함한다.

Claims (17)

  1. 한개 이상의 형태 및 크기를 가진 워크피스들과 함께 이용하기 위한 진공 홀드-다운 시스템에 있어서, 상기 시스템은,
    지지면 상에 진공관들의 어레이를 배열한 진공 홀드-다운 테이블과,
    서로 상호 이격된 구멍들의 두개 이상의 어레이를 표면에 형성하는 진공 테이블 마스크로서, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 각각은 상기 진공관들의 어레이 중 일부 진공관들과 함께 등록가능하고, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 내 각각의 구멍은 상기 워크피스들 중 한개 이상의 워크피스 아래에 놓이도록 구성되며,
    마스크(110)가 진공 홀드-다운 테이블(102)에 대해 한 어레이로 배치되어, 한 어레이의 구멍들이 진공 홀드-다운 테이블(102)의 진공관(104)들 중 일부와 함께 등록되고, 다른 어레이 구멍들은 진공 홀드-다운 테이블(102)의 진공관(104)들과 등록되지 않도록 구성됨을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  2. 한개 이상의 형태 및 크기를 가진 워크피스들과 함께 이용하기 위한 진공 홀드-다운 시스템에 있어서, 상기 시스템은,
    지지면 상에 구멍들이 배열된 진공 테이블 마스크로서, 상기 진공 테이블 마스크는 상기 워크피스들 중 한개 이상의 워크피스 아래에 놓이는, 진공 테이블 마스크와,
    서로 상호 이격된 진공관들의 두개 이상의 어레이를 표면에 형성한 진공 홀드-다운 테이블로서, 진공 테이블 마스크의 구멍들 중 일부는 두개 이상의 어레이 내 각각의 진공관들과 등록가능한, 진공 홀드-다운 테이블로 구성되며,
    진공 홀드-다운 테이블의 진공관들이 마스크에 대해 한 어레이로 배치되어, 한 어레이의 진공관들이 마스크 구멍들 중 일부와 함께 등록되고, 다른 어레이 진공관들은 마스크 구멍들과 등록되지 않도록 구성됨을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 각 구멍의 단면적이 각 진공관의 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 진공 테이블 마스크가 상기 진공 홀드-다운 테이블에 대해 선택가능한 두개 이상의 위치에 배치가능한 것을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 진공 테이블 마스크가 구멍들의 네개의 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 진공 테이블 마스크가 상기 진공 홀드-다운 테이블에 대해 선택가능한 네개의 위치에 배치가능한 것을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 선택가능한 네개의 위치는 상기 진공 홀드-다운 테이블의 코너들에 의해 구획되는 것을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 진공 테이블 마스크가 진공 홀드-다운 테이블 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 진공 테이블 마스크가 진공 홀드-다운 테이블의 내부에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 두개 이상의 어레이의 영역들이 부분적으로 겹쳐지는 것을 특징으로 하는 진공 홀드-다운 시스템.
  11. 한개 이상의 형태 및 크기를 가진 워크피스와, 지지면 상에 진공관들의 어레이를 배열한 진공 홀드-다운 테이블과 함께 이용하기 위한 진공 테이블 마스크에 있어서, 상기 진공 테이블 마스크는 기판을 포함하고, 상기 기판에는 서로 상호 이격된 구멍들의 두개 이상의 어레이가 형성되며, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 각각은 상기 진공관들의 어레이 내 일부 진공관들과 함께 등록가능하고,
    마스크(110)가 진공 홀드-다운 테이블(102)에 대해 한 어레이로 배치되어, 한 어레이의 구멍들이 진공 홀드-다운 테이블(102)의 진공관(104)들 중 일부와 함께 등록되고, 다른 어레이 구멍들은 진공 홀드-다운 테이블(102)의 진공관(104)들과 등록되지 않도록 구성됨을 특징으로 하는 진공 테이블 마스크.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 구멍들의 두개 이상의 어레이 내 각 구멍의 단면적은 상기 진공관들의 어레이 내 각 진공관의 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는 진공 테이블 마스크.
  13. 제 11 항 또는 12 항에 있어서, 상기 진공 테이블 마스크가 구멍들의 네개의 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 테이블 마스크.
  14. 제 11 항 또는 12 항에 있어서, 상기 두개 이상의 어레이의 영역들이 부분적으로 겹쳐지는 것을 특징으로 하는 진공 테이블 마스크.
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