TWI797885B - 晶圓的承載結構 - Google Patents

Abstract

一種晶圓的承載結構，用於承載晶圓且包括：一載體、至少三個限位柱以及至少三個支撐柱。各限位柱直立配置於載體上，每一限位柱具有一限位斜面，各限位柱以限位斜面抵靠於晶圓的外周緣而限位；各支撐柱直立配置於載體上，每一支撐柱具有一支撐尖端，各支撐柱以支撐尖端頂在晶圓的底面而支撐。藉此，可達成既能以最簡單的結構對晶圓限位且還能以最小的接觸面積來支撐晶圓的效果。

Description

晶圓的承載結構

本申請與晶圓的承載有關，特別是指一種兼具支撐與限位功能的晶圓的承載結構。

關於晶圓的承載，現有承載結構雖能承載晶圓，然而現有承載結構卻有如下缺失有待加以解決。

現有承載結構即使具有限位構件，其結構卻較為複雜，導致成本較高且易於故障。

現有承載結構即使具有支撐構件，其結構對晶圓的接觸面積卻偏大，導致晶圓受到支撐結構影響的範圍也較大，進而對晶圓在後續製程產生影響。

因此，如何設計出一種可改善上述缺失的本申請，乃為本申請創作人所亟欲解決的一大課題。

本申請的目的之一在於提供一種晶圓的承載結構，能以最簡單的結構對晶圓限位，且能以最小的接觸面積支撐晶圓。

本申請的目的之二亦在提供一種晶圓的承載結構，能讓各支撐柱的支撐尖端對晶圓底面的影響減至最低。

為了達成上述目的之一，本申請提供一種晶圓的承載結構，用於承載晶圓且包括：一載體；至少三個限位柱，直立配置於該載體上，每一該限位柱具有一限位斜面，各該限位柱以該限位斜面抵靠於所述晶圓的外周緣而限位；以及至少三個支撐柱，直立配置於該載體上，每一該支撐柱具有一支撐尖端，各該支撐柱以該支撐尖端頂在所述晶圓的底面而支撐。

為了達成上述目的之二，本申請亦提供一種晶圓的承載結構，其中各該支撐柱和各該限位柱係組成至少三支撐限位組，每一該支撐限位組包含有該支撐柱和該限位柱各一個，各該支撐限位組對應所述晶圓的外周緣配置。

相較於先前技術，本申請具有以下功效：既能以最簡單的結構對晶圓限位，還能以最小的接觸面積支撐晶圓；較佳則還能讓各支撐柱的支撐尖端對晶圓底面的影響減至最低。

有關本申請的詳細說明和技術內容，配合圖式說明如下，然而所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本申請。

如圖1至圖3所示，本申請提供一種晶圓的承載結構，用於承載一晶圓900，本申請晶圓的承載結構(以下簡稱：承載結構100)包括：一載體1、至少三個支撐柱2以及至少三個限位柱3。

各限位柱3皆直立配置於載體1上。每一限位柱3皆具有一限位斜面311，本申請能以最簡單的結構：限位柱3的限位斜面311來抵接於晶圓900的外周緣9而限位。本申請並不限定如可形成限位斜面311，於本實施例中則以本段後述為例進行說明：限位柱3的一端具有一限位錐體31，限位斜面311則形成於限位錐體31的側面。限位錐體31可為如圖所示的圓錐體，也可為圖中未示的角錐體，本申請對此亦未限定。

各支撐柱2亦皆直立配置於載體1上。每一支撐柱2皆具有一支撐尖端211，支撐尖端211能以最小的接觸面積(僅為一個點)支撐在晶圓900的底面。本申請並不限定如可形成支撐尖端211，於本實施例中則以本段後述為例進行說明：支撐柱2的一端具有一支撐錐體21，支撐尖端211則形成於支撐錐體21的頂點。支撐錐體21可為如圖所示的圓錐體，也可為圖中未示的角錐體，本申請對此亦未限定。

藉此，在承載晶圓900時，各限位柱3以其限位斜面311抵靠於晶圓900的外周緣9，使能以最簡單的結構對晶圓900限位；各支撐柱2以其支撐尖端211頂在晶圓900的底面，使能以最小的接觸面積支撐晶圓900。

再者，本申請僅需在載體1上配置多數支結構相同的柱體(包含：支撐柱2和限位柱3)，就能同時達成支撐和限位兩種效果，支撐柱2和限位柱3僅在高度和配置位置略有不同，結構上完全相同，因此易於製造。

值得說明的是，本申請前述的各支撐柱2和各限位柱3係共同組成至少三組支撐限位組M，且由於能以各限位柱3對晶圓900限位，因此能將晶圓900限位在正確的位置上，進而能將各支撐柱2的支撐尖端211頂在晶圓900底面的鄰近外周緣9(見圖2和圖3)處，因此本申請具有能讓支撐尖端211對晶圓900底面的影響減至最低的效果。其中，每一支撐限位組M包含一根支撐柱2和一根限位柱3，如圖2所示，此時各支撐限位組M對應晶圓900的外周緣9配置。

具體而言，每一支撐柱2的一端具有一支撐錐體21，支撐尖端211形成於支撐錐體21的頂點；每一限位柱3的一端具有一限位錐體31，限位斜面311形成於限位錐體31的側面。需說明的是，支撐錐體21可為圓錐體或角錐體，於本實施例中則以圓錐體為例進行說明；限位錐體31亦可為圓錐體或角錐體，於本實施例中則亦以圓錐體為例進行說明。

本申請的每一支撐柱2可為圖中未示的固定式結構，也可為如圖4所示的組卸式結構；其中，固定式結構是指各支撐柱2直接直立於或直接焊接於載體1的一面上，組卸式結構則如下段起所述。本申請的每一限位柱3可為圖中未示的固定式結構，也可為如圖4所示的組卸式結構；其中，固定式結構是指各限位柱3直接直立於或直接焊接於載體1的一面上，組卸式結構則亦如下段起所述。

如圖4和圖5所示具有組卸式結構的支撐柱2，每一支撐柱2包含可彼此組合的一上段構件S1和一下段構件S2，上段構件S1的一端具有一支撐錐體21，支撐尖端211形成於支撐錐體21的頂點。載體1開設有對應於各支撐柱2的至少三個固定孔11。各上段構件S1和各下段構件S2經由穿過各固定孔11而彼此組合，且載體1被夾置於各上段構件S1與各下段構件S2之間。

本申請並不限定上段構件S1與下段構件S2的組合方式，於本實施例中則以彼此螺接組合為例進行說明如後：每一下段構件S2具有一螺柱S21，螺柱S21具有外螺紋(未標示元件符號)，每一上段構件S1具有一螺套S11，螺套S11內具有對應於前述外螺紋的內螺紋(未標示元件符號)，螺套S11與螺柱S21彼此螺接組合。

至於具有組卸式結構的限位柱3，其結構相同於具有組卸式結構的支撐柱2而亦包含可彼此組合的一上段構件S1和一下段構件S2，上段構件S1的一端具有一限位錐體31，限位斜面311形成於限位錐體31的側面；載體1則另需開設有對應於各限位柱3的其它固定孔11。

此外，本申請承載結構100可為靜止不動的靜態結構，也可為如圖6至圖8所示能用於搬運晶圓900的可活動結構，本申請對此並未限定。

如圖6至圖8所示，例如可將前述載體1連接於一能夠搬運晶圓900的搬運機構(圖中未示，例如機械手臂等)上，如此就能讓本申請承載結構100成為能用於搬運晶圓900的可活動結構。如此一來，欲搬運晶圓900時，晶圓900先利用各支撐限位組M的支撐與限位效果而如圖6所示承載在載體1上的正確位置。

接著，如圖6所示控制搬運機構帶動載體1將晶圓900搬運至一晶圓承載裝置500附近，再控制搬運機構帶動載體1如圖7所示將晶圓900改承載於晶圓承載裝置500上。

最後，如圖8所示，控制搬運機構帶動載體1移回原始位置，如此完成將晶圓900搬運並改承載至晶圓承載裝置500上的動作。

另需說明的是，本申請中的載體1可為如圖所示具有缺口13的結構體，也可為圖中未示不具有缺口的結構體，於本實施例中則以具有缺口13的結構體為例進行說明。

如圖1和圖2所示，載體1具有一橫部11和彼此間隔相對的二縱部12，二縱部12的一端(例如：內端)連接於橫部11的一邊，缺口13即形成於二縱部12與橫部11之間。

當前述支撐限位組M的數量設置為四組時，如圖2所示，其中兩組支撐限位組M分別配置於二縱部12的靠近前述一端(例如：後端)處，至於所剩的另外兩組支撐限位組M則分別配置於二縱部12的靠近另一端(例如：前端)處。在圖中未繪示的其它實施例中，當載體1係為圖中未示不具有缺口的結構體時，四組支撐限位組M的配置位置相同於在具有缺口13的載體1上的配置位置，不同處僅在有沒有缺口13而已。

當前述支撐限位組M的數量設置為三組(圖中未示)時，其中兩組支撐限位組M分別配置於二縱部12的靠近前述另一端(例如：前端)處，至於所剩的最後一組支撐限位組M則配置於橫部11上。在圖中未繪示的其它實施例中，當載體1係為圖中未示不具有缺口的結構體時，三組支撐限位組M的配置位置相同於在具有缺口13的載體1上的配置位置，不同處僅在有沒有缺口13而已。

如圖6至圖8所示，本申請承載結構100也可以是靜止不動的靜態結構，只要將前述承載結構100設置於前述晶圓承載裝置500上即可，使晶圓承載裝置500上亦直立配置有多數組支撐限位組(未標示元件符號)，每一支撐限位組亦包含一根支撐柱2a和一根限位柱3a，且支撐柱2a相同於前述支撐柱2，限位柱3a相同於前述限位柱3。

當控制前述搬運機構帶動載體1將晶圓900搬運至亦具有多數組支撐限位組的晶圓承載裝置500附近時，如圖7所示，接著控制搬運機構再帶動載體1相對於晶圓承載裝置500下沈一段距離(從高位下沈至低位)，就能使晶圓900轉而被晶圓承載裝置500上的各支撐限位組所限位和支撐。

綜上所述，本申請晶圓的承載結構，確可達到預期的使用目的，並解決先前技術的缺失，完全符合發明專利申請要件，爰依專利法提出申請，敬請詳查並賜准本案專利，以保障本申請創作人之權利。

以上所述者，僅為本申請之較佳可行實施例而已，非因此即侷限本申請之專利範圍，舉凡運用本申請說明書及圖式內容所為之等效結構變化，均理同包含於本申請之權利範圍內，合予陳明。

100:承載結構 1:載體 11:橫部 12:縱部 13:缺口 2,2a:支撐柱 21:支撐錐體 211:支撐尖端 3,3a:限位柱 31:限位錐體 311:限位斜面 500:晶圓承載裝置 900:晶圓 9:外周緣 M:支撐限位組 S1:上段構件 S11:螺套 S2:下段構件 S21:螺柱

圖1為本申請承載結構於承載晶圓時的立體示意圖。

圖2為本申請依據圖1的局部俯視圖。

圖3為本申請依據圖1的局部側視圖。

圖4為本申請承載結構中的支撐柱於剖視時的分解示意圖。

圖5為本申請依據圖4的組合示意圖。

圖6為本申請承載結構將晶圓搬運給晶圓承載裝置時的立體示意圖。

圖7為本申請依據圖6於晶圓承載裝置已承載有晶圓時的剖視示意圖。

圖8為本申請依據圖6於已完成搬運並離開時的立體示意圖。

100:承載結構

1:載體

2:支撐柱

21:支撐錐體

211:支撐尖端

3:限位柱

31:限位錐體

311:限位斜面

900:晶圓

9:外周緣

Claims (10)

1. 一種晶圓的承載結構，用於承載晶圓且包括： 一載體； 至少三個限位柱，直立配置於該載體上，每一該限位柱具有一限位斜面，各該限位柱以該限位斜面抵靠於所述晶圓的外周緣而限位；以及 至少三個支撐柱，直立配置於該載體上，每一該支撐柱具有一支撐尖端，各該支撐柱以該支撐尖端頂在所述晶圓的底面而支撐。
2. 如請求項1所述之晶圓的承載結構，其中各該支撐柱和各該限位柱係組成至少三支撐限位組，每一該支撐限位組包含有該支撐柱和該限位柱各一個，各該支撐限位組對應所述晶圓的外周緣配置。
3. 如請求項1所述之晶圓的承載結構，其中每一該支撐柱的一端具有一支撐錐體，該每一該限位柱的一端具有一限位錐體，該支撐尖端形成於該支撐錐體的頂點，該限位斜面形成於該限位錐體的側面。
4. 如請求項3所述之晶圓的承載結構，其中該支撐錐體和該限位錐體係為一圓錐體或一角錐體。
5. 如請求項1所述之晶圓的承載結構，其中該載體開設有多數固定孔，每一該支撐柱和每一該限位柱皆包含有可彼此組合的一上段構件和一下段構件，各該上段構件分別具有該支撐尖端和該限位斜面，各該上段構件和各該下段構件經由穿過各該固定孔而彼此組合，該載體被夾置於各該上段構件與各該下段構件之間。
6. 如請求項5所述之晶圓的承載結構，其中每一該下段構件係具有一螺柱，該螺柱具有外螺紋，每一該上段構件具有一螺套，該螺套內具有內螺紋且螺接於該螺柱。
7. 如請求項1所述之晶圓的承載結構，其中該載體具有一橫部和彼此間隔相對的二縱部，該二縱部的一端連接於該橫部的一邊，該二縱部與該橫部之間形成一缺口。
8. 如請求項7所述之晶圓的承載結構，其中之支撐柱和其中之限位柱皆為三個設置且共同區分為三支撐限位組，每一該支撐限位組包含有該支撐柱和該限位柱各一個，該三支撐限位組的其中兩組分別配置於該二縱部上，該三支撐限位組中所剩的最後一組則配置於該橫部上。
9. 如請求項7所述之晶圓的承載結構，其中之支撐柱和其中之限位柱皆為四個設置且共同區分為四支撐限位組，每一該支撐限位組包含有該支撐柱和該限位柱各一個，該四支撐限位組的其中兩組分別配置於該二縱部的近該一端處，該四支撐限位組的其中另外兩組則分別配置於該二縱部的近另一端處。
10. 如請求項1所述之晶圓的承載結構，其中該各該支撐柱的該支撐尖端係頂在所述晶圓底面的鄰近所述外周緣處。

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