KR200477667Y1 - 바텀 플레이트를 구비한 cmp 장비 - Google Patents

바텀 플레이트를 구비한 cmp 장비 Download PDF

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Abstract

본 고안은 바텀 플레이트를 구비한 CMP(Chemical Mechanical Polishing)장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 CMP장비의 내부에 바텀 플레이트 장착하여 CMP 공정 중 내부에서 발생하는 탈 이온수와 슬러리가 구동부와 접촉하지 않게 차단하며, 미립자가 플래튼으로 떨어지는 것을 방지하는 기능을 갖는 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비에 관한 것이다.

Description

바텀 플레이트를 구비한 CMP 장비{Chemical Mechanical Poilsher having BOTTOM PLATE}
본 고안은 바텀 플레이트를 구비한 CMP(Chemical Mechanical Polishing)장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 CMP장비의 내부에 바텀 플레이트 장착하여 CMP 공정 중 내부에서 발생하는 탈이온수와 슬러리가 구동부와 접촉하지 않게 차단하며, 미립자가 플래튼으로 떨어지는 것을 방지하는 기능을 갖는 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼(기판) 상에 제조되는 반도체 소자의 집적도가 증가됨에 따라 다층 배선 공정이 실용화되고 있다.
그 결과, 다층 배선 사이의 층간 절연막에 대한 단차가 증가함에 따라, 이에 대한 평탄화 작업이 더욱 중요한 이슈로 부각되고 있으며 웨이퍼 표면을 평탄화하기 위한 제조 기술로서 웨이퍼를 연마시키는 연마부와 연마부를 구동시키는 구동부가 구비된 CMP장비가 사용되고 있다.
CMP장비는 연마패드(polishing pad) 위에 슬러리(slurry) 용액을 공급하면서 웨이퍼의 표면을 기계적 및 화학적으로 연마하는 장비로서, 통상 CMP장비는 하부의 원형 플래튼에 연마패드를 부착하고, 연마패드 상단의 소정 영역에 연마제, 즉 액체 상태의 슬러리(slurry)를 공급하는 슬러리 암, 회전하는 원심력에 의해 슬러리를 도포시키면서 연마패드의 상부에서 연마헤드에 고정된 웨이퍼가 연마패드의 표면에 밀착되어 회전함으로써 그 마찰 효과에 의해 웨이퍼의 표면이 평탄화 되는 원리로 작동된다.
최근 들어 이러한 CMP장비의 연마부인 플래튼, 연마패드, 연마헤드 및 슬러리 암이 원형배열의 복수단위로 제안되었으며, 각각의 연마부가 회전형 크로스를 중심으로 장착되어 구성되어질 수 있다.
공개특허 제10-2010-0044988호
본 고안이 해결하고자 하는 과제는 CPM장비의 크로스의 하부에 바텀 플레이트를 장착하되, 바텀 플레이트는 단차가 형성된 'ㄴ'자 형상의 한 쌍의 리어 바텀 플레이트와 이와 결합되는 'ㄱ'자 형상의 4개의 프론트 바텀 플레이트를 포함하며, 결합 시 견고히 고정 결합하여, 변형이 발생하지 않고, 탈 이온수와 슬러지가 구동부에 접촉하는 것을 방지할 수 있으며, 바텀 플레이트의 마모를 최소화하여 미립자가 발생하지 않도록 하며, 발생하더라도 미립자가 연마패드가 부착된 플래튼에 떨어지는 것을 방지하는 버텀 플레이트를 구비한 CMP 장비를 제공하는 것이다.
본 고안이 해결하고자 하는 다른 과제는 프론트 바텀 플레이트에 유로를 형성함으로써, 탈 이온수와 슬러지가 배출될 수 있도록 하는 바텀 플레이트를 구비한 CMP 장비를 제공하는 것이다.
본 고안은 상기 목적을 달성하기 위한 것으로, 웨이퍼를 연마하는 연마부와, 상기 연마부의 상부에 위치하여 상기 연마부를 구동시키는 구동부, 및 상기 연마부와 구동부 사이에 위치하여 상기 구동부를 지지하는 크로스를 포함하는 CMP장비에 있어서, 십자형상으로 이루어지며 상기 크로스의 하부에는 중심부에 형성되는 관통홈 및 십자형상의 각 면에서 상기 관통홈 방향으로 형성되는 트랙형 관통홈을 포함하는 바텀 플레이트가 부착되되, 상기 바텀 플레이트는 사각 판의 형상으로 이루어지고 중심부에는 형성되는 관통홈이 형성되는 베이스와, 상기 베이스의 외측면에서 연장되는 형태로 'ㄴ'자 형태의 단차를 가지며 돌출 형성되는 제1 결합부와, 상기 제1 결합부의 외측에는 상기 트랙형 관통홈의 일측 곡선을 이루도록 형성되는 제1 홈을 포함하며, 상기 관통홈의 중심부를 기준으로 절단되어 분리 및 결합 가능하도록 형성되는 한 쌍의 리어 바텀 플레이트; 상기 제1 결합부에 대응하게 결합되도록형상으로 형성되는 제2 결합부와, 상기 제1 결합부와 결합 시 상기 제1 홈과 맞닿아 상기 트랙형 관통홈이 형성되도록 직선과 곡선으로 이루어진 제2 홈을 포함하는 4개의 프론트 바텀 플레이트; 를 포함하며, 상기 리어 바텀 플레이트와 프론트 바텀 플레이트 결합 시 십자형상을 한다.
또한, 상기 리어 바텀 플레이트의 제1 결합부의 양 측면에는 소정간격을 두고 상기 제1 결합부와 단차를 이루며 하부로 침강되어 형성되는 제1 안착부를 형성하며, 상기 프론트 바텀 플레이트에는 상기 제1 안착부와 대응되는 돌출 형상의 제2 안착부를 형성한다.
그리고, 상기 프론트 바텀 플레이트와 상기 리어 바텀 플레이트가 접하는 부분에는, 분사되는 탈 이온수를 외부로 배출할 수 있는 유로가 형성된다.
상술한 바와 같이, 본 고안의 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비는 바텀 플레이트를 제공함으로써,
첫째, 한 쌍의 리어 바텀 플레이트와 이와 결합되는 4개의 프론트 바텀 플레이가 결합되는 면에 'ㄴ', 'ㄱ' 자 형상으로 결합부를 형성하여, 단차가 형성된 결합부가 서로 맞물리게 결합되어 사용주기가 길어져 변형되는 것을 방지할 수 있으며,
둘째, 마모되어 미립자가 발생하는 것을 최소화 할 수 있으며, 발생되는 미립자가 연마패드가 부착된 플래튼에 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
셋째, 리어 바텀 플레이트와 프론트 바텀 플레이트 결합을 위한 볼트 조임 시 볼트가 부러지는 것을 방지할 수 있다.
넷째, 좀 더 견고하게 결합되어 CMP 공정 중 발생하는 탈 이온수와 슬러지가 구동부에 접촉하는 것을 방지하여 장비가 원활하게 작동할 수 있으며,
다섯째, 프론트 바텀 플레이트에 유로를 형성하여 탈 이온수와 슬러지를 배출하게 됨으로써, CMP장비 내부의 온도와 습기를 조절하여 바텀 플레이트의 뒤틀림 현상을 방지하고 장시간 사용할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 고안의 CMP장비를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 CMP장비의 크로스를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3는 본 고안의 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비에서 리어 바텀 플레이트를 나타낸 도면이다.
도 4(a)는 본 고안의 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비에서 프론트 바텀 플레이트의 하부면을 나타내는 도면이며, 도4(b)는 상부면을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 고안의 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비에서 바텀 플레이트의 분해도를 나타낸 도면이다.
도 6(a)는 본 고안의 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비에서 바텀 플레이트의 상부면을 나타내는 도면이며, 도 6(b)는 하부면을 나타내는 도면이다.
도 1과 도 5의 리어 바텀 플레이트에 도시된 점선은 상기 리어 바텀플레이트의 베이스부와 제1 결합부를 단순히 구획하기 위해 도시된 것이다.
이하에서는, 첨부도면을 참고하여 본 고안에 따른 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하기로 한다.
본 고안 설명에 앞서, 이하의 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 고안의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 고안의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 고안은 CPM장비의 크로스(40)의 하부에 리어 바텀 플레이트(100)와 프론트 바텀 플레이트(200)를 포함하는 바텀 플레이트(10)를 구비하고, 상기 리어 바텀 플레이트(100)와 프론트 바텀 플레이트(200)가 결합되어지는 부분에 대응되는 단차를 형성하여 맞물리게 결합되도록 하여 사용주기에 따른 변형을 방지할 수 있다.
또한, CMP공정 중 분사되는 탈 이온수와 슬러지가 구동부(30)에 접촉하는 것을 방지하며, 탈 이온수와 슬러지가 배출될 수 있는 유로(300)가 형성되므로, 내부 온도 및 습기가 조절되어 뒤틀림현상을 방지 하는 것을 가장 큰 특징으로 한다.
본 고안의 버텀 플레이트를 구비한 CMP 장비(1)는 웨이퍼를 잡고 회전하면서 연마하는 연마부(20)와, 상기 연마부(20)를 구동시키는 구동부(30) 사이에서 회전가능 하도록 크로스(40)가 설치되고, 상기 크로스(40) 하부에 바텀 플레이트(10)가 볼트결합 될 수 있으며, 볼트결합 된 상기 바텀 플레이트(10)와 상기 크로스(40)와 함께 회전하면서 CMP공정을 수행하게 된다.
우선, 도 1에 도시된 바와 같이 CMP 장비(1)는 연마부(20)와 구동부(30)로 이루어지고, 상기 연마부(20)는 연마패드가 부착되는 플래튼(23) 및 웨이퍼가 장착되어지는 다수의 연마헤드(27)로 이루어지며, 상기 구동부(30)는 상기 연마헤드(27) 및 플래튼(23)을 작동시키는 모터와 상기 연마부(20)의 제어를 위한 제어장치 및 전원 등으로 이루어 질 수 있으며, 구동부(30)는 일반적인 것이므로 자세한 설명은 생략 한다.
여기서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 연마부(20)와 상기 구동부(30) 사이에 상기 구동부(30)를 지지하여 주는 상기 크로스(40)가 위치할 수 있다.
이러한, 상기 크로스(40)는 십자형상을 하는 본체(41)가 구비될 수 있으며, 상기 본체(41)는 상기 연마헤드(27)를 회전시키는 회전축(미도시)이 삽입 장착되어 이동할 수 있도록 본체(41)의 길이방향을 따라 관통되어진 이동홈(42)이 형성될 수 있다.
그리고 상기 이동홈(42)의 양측 상부면에 상기 연마부(20)의 연마헤드(27)의 회전축을 고정시켜주는 연마운반대(43)를 구비하며, 상기 연마운반대(43)의 하부면와 상기 크로스(40)부의 상부면에 상기 연마운반대(43)를 이동시켜주는 연마운반대 미끄럼틀(44)이 구비될 수 있다.
또한, 상기 크로스(40)의 중앙부에는 플래튼(23)을 회전시키는 회전축이 삽입될 수 있도록 회전축(미도시)의 직경에 대응하는 플래튼(23) 회전축 관통구(45)가 형성될 수 있다.
아울러, 상기 연마운반대(43)에 상기 연마헤드(27)와 연결된 회전축이 각각 장착되어지고, 상기 연마운반대(43)에 장착된 상기 회전축이 회전하고 상기 연마운반대 미끄럼틀(44)을 통해 이동하면서, 회전하는 상기 플레튼과 상대적인 운동을 하면서 웨이퍼를 평탄화 하는 연마작업이 가능하게 할 수 있다.
이때, 슬러리 암(21)과 컨디셔너(25)에서 탈 이온수와 슬러리가 분사되면서 평탄화 작업을 하게 되는데, 먼저 상기 연마헤드(27)에 상기 웨이퍼(미도시)가 장착되어 상기 플래튼(23) 위에서 연마가 되고 상기 크로스(40)가 90°씩 회전하면서 2차, 3차 연마를 하며, 일련의 동작을 반복하게 되어 공정시간을 줄여 평탄화 작업을 완료하게 될 수 있다.
그리고, 도 3내지 도 4에 도시된 바와 같이, 위와 같은 CMP 장비(1)의 연마부(20)와 구동부(30)의 작동을 원활하게 할 수 있도록 상기 크로스(40)의 하부에 바텀 플레이트(10)가 장착되어질 수 있다.
이러한, 상기 바텀 플레이트(10)는 십자형상으로 이루어지며, 상기 크로스(40)의 하부에 장착되는 면을 상부면으로 그 반대면을 하부면으로 구분할 수 있다.
상기 바텀 플레이트(10)의 중심부에 관통홈(111)이 형성될 수 있고, 십자형상의 각 면에는 상기 관통홈(111) 방향으로 길게 형성되는 트랙형 관통홈(270)이 형성될 수 있다.
그리고, 상기 바텀 플레이트(10)의 재질은 상기 리어 바텀 플레이트(100)와 상기 프론트 바텀 플레이트(200)가 연결되는 부분이 휘거나 말리는 것을 방지하기 위하여 알루미늄 또는 합성수지재로 이루어지는 것이 바람직하며, 이에 제한을 하지 않는다.
또한, 바텀 플레이트(10)를 알루미늄 또는 합성수지 재질로 함으로써, 가벼워 상기 크로스(40)에 탈부착을 원활히 할 수 있고, 기계적 성질이 우수하여 쉽게 변형이 되거나 파괴되지 않으며, 상기 연마헤드(27)의 회전에 의해 발생할 수 있는 마모도 줄일 수 있다.
아울러, 내식성이 강하여 공기 중의 산소와 반응하면 오히려 아주 치밀한 보호막을 형성하고, 그 보호막이 알루미늄 재질의 바텀 플레이트(10)가 부식이 되는 것을 막아 줄 수 있으며, 탈 이온수와 슬러리가 접촉되어도 부식되지 않을 수 있다.
뿐만 아니라, 알루미늄 또는 합성수지 재질로 이루어진 상기 바텀 플레이트(10)에 내식성을 좀 더 강화하기 위해 다른 요소를 첨가할 수 있으며, 이에 제한을 하지 않는다.
이러한, 상기 바텀 플레이트(10)는 중심부분을 이루는 2개의 리어 바텀 플레이트(100) 및 십자형상을 이루기 위하여 상기 리어 바텀 플레이트(100)와 연결되는 4개의 프론트 바텀 플레이트(200)로 분리될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 리어 바텀 플레이트(100)는 사각 판의 형상으로 이루어지고 중심부에는 형성되는 관통홈(111)이 형성되는 베이스(110)를 포함하며, 상기 베이스(110)의 외측면에서 연장되는 형태로 돌출되어 형성되되, 하부면과 'ㄴ'자 형태의 단차를 가지는 제1 결합부(120)가 돌출 형성될 수 있다.
이러한, 상기 베이스(110)와 상기 제1 결합부(120)는 일체로 형성되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 제1 결합부(120)는 상기 베이스(110)의 외측면 일측에서 일정간격 이격된 지점까지 돌출되어 형성될 수 있다. 다시 말해 일측으로 쏠린 형태로 돌출되어 이루어 질 수 있으며, 상기 제1 결합부(120)가 서로 맞닿지 않도록 상기 관통홈(111)의 중심부를 기준으로 원형 패턴을 이루며 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 결합부(120)의 외측에는 상기 트랙형 관통홈(270)의 일측 곡선을 이루는 제1 홈(130)이 형성될 수 있으며, 이러한 상기 리어 바텀 플레이트(100)는 상기 관통홈(111)의 중심부를 기준으로 절단되어 분리 및 결합 가능하도록 형성될 수 있다.
그리고, 도 4에 나타난 바와 같이 상기 제1 결합부(120)에 대응하게 결합되도록 상부면과 'ㄱ'형상의 단차를 갖는 제2 결합부(220)가 형성되며, 상기 제1 결합부(120)와 결합 시 상기 제1 홈(130)과 맞닿아 상기 트랙형 관통홈(270)이 형성되도록 직선과 곡선으로 이루어진 제2 홈(230)을 포함할 수 있다.
이렇게, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 리어 바텀 플레이트(100)의 사면에 'ㄴ'자 형상으로 돌출 형성된 상기 제1 결합부(120)와 상기 프론트 바텀 플레이트(200)에 마련된 'ㄱ'자 형상의 상기 제2 결합부(220)가 맞물려 결합될 수 있다.
이때, 외측면에서 돌출 형성되는 제1 결합부(120)가 낮은 단차를 갖는 것이 바람직하며, 상기 제1홈의 양 측에서 일정간격 이격된 부분은 상기 제1 결합부(120)와 같이 단차가 형성되지 않고 상기 외측면과 동일한 높이로 돌출되어 형성될 수 있으며, 이에 제한을 하지 않는다.
아울러, 상기 제1 결합부(120)의 양 측면에서 소정간격을 두고 상기 제1 결합부(120)와 단차를 이루며 하부로 침강되어 형성되는 제1 안착부(140)를 형성하며, 구체적으로는 상기 제1 안착부(140)와 상기 제1 결합부(120)는 계단의 형태로 이루어 질 수 있다.
또한, 상기 프론트 바텀 플레이트(200)에는 상기 제1 안착부(140)와 대응되도록 돌출 형성되는 제2 안착부(240)가 형성될 수 있다. 즉, 'ㄴ'자 형상의 상기 제1 결합부(120)에 상기 제1 안착부(140)를 형성하고, 'ㄱ'자 형상의 상기 제2결 합부에 상기 제1안착부에 대응하는 제2 안착부(240)를 형성하여 견고하고 단단하게 볼트결합 되어 짐에 따라, 사용주기가 길어지더라도 상기 바텀 플레이트(10)의 변형과 손상을 방지할 수 있으며, 결합과 분리 시 바텀 플레이트(10)가 변형되어 볼트가 부러지는 등의 문제를 방지할 수 있다.
뿐만 아니라, 웨이퍼 연마 시 상기 바텀 플레이트(10)의 일부분을 마모시켜 두께가 달라지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 6를 참조하면, 상기 크로스(40) 하부면에 맞닿는 상기 바텀 플레이트(10)의 상부면에는 상기 프론트 바텀 플레이트(200) 및 이와 결합되는 제1 결합부(120)로 이루어진 십자부분 전체에 걸쳐 탈 이온수와 슬러지가 구동부(30)와 연마부(20)에 떨어지지 않도록 일시적으로 머물 수 있는 이물질받침홈부(400)가 형성될 수 있다.
이러한, 상기 이물질받침홈부(400)는 상기 바텀 플레이트(10)의 상부면보다 낮게 형성되며, 십자 부분에 사각의 형태의 홈으로 이루어 질 수 있다.
또한, 상기 이물질받침홈부(400)가 형성된 상기 바텀 플레이트(10)의 상부면의 상기 트랙형 관통홈(270) 둘레에는 이물질이 상기 트랙형 관통홈(270)을 통해 하부로 떨어지는 것을 방지하기 위하여 일정높이로 돌출되는 제1 차단돌기(150)와 제2 차단돌기(250)가 형성될 수 있다.
여기서, 제1 차단돌기(150)는 제1 홈(130)부에 형성될 수 있으며, 상기 제2 차단돌기(250)는 제2 홈(230)부에 형성될 수 있다.
또한, 상기 이물질받침홈부(400) 중 상기 리어 바텀 플레이트(100)와 상기 프론트 바텀 플레이트(200)가 맞닿아 결합되는 부분에 일정깊이 침강되어 유로(300)가 형성될 수 있으며, 상기 이물질받침홈부(400)에 있는 탈 이온수 및 슬러리가 상기 유로(300)를 통해 상기 제1 결합부(120)와 상기 제2 결합부(220)가 결합된 부분의 틈을 따라서 배출될 수 있다.
이렇게, 상기 탈 이온수와 슬러지가 배출될 수 있는 유로(300)를 형성함으로써 탈 이온수나 슬러지가 상기 구동부(30)에 접촉되는 것을 방지하고, 또한 미립자가 상기 플래튼(23)에 떨어지는 것을 방지할 수 있고, CMP 장비(1)의 내부 온도 및 습도 조절이 가능하게 되었으며, 높은 온도와 습기로 인해 발생하는 바텀 플레이트(10)의 뒤틀림 및 부식을 방지할 수 있다.
이러한, 상기 한 쌍의 리어 바텀 플레이트(100)와 상기 4개의 프론트 바텀 플레이트(200)의 상기 제1 결합부(120)와 상기 제2 결합부(220)에 의해 결합되어져 상기 크로스(40)와 동일한 십자형상을 할 수 있다.
상기 바텀 플레이트(10) 중심에는 상기 플래튼(23)을 회전시키는 회전축이 삽입될 수 있는 상기 관통홈(111)이 형성되며, 상기 제1 결합부(120)에 형성된 상기 제1 홈(130)과 상기 프론트 바텀 플레이트(200)에 형성된 상기 제2 홈(230)이 결합하여 연마헤드(27)를 회전시키는 회전축이 회전하면서 이동할 수 있는 트랙형 관통홈(270)이 형성될 수 있다.
또한, 상기 바텀 플레이트(10) 상부면 중 십자 부분에 탈 이온수 및 슬러리를 전기적인 부품 또는 기계적인 부품에 접촉하지 않게 차단시키고 플래튼(23) 위로 이물질이 내부로 고일 수 있도록 하는 이물질받침홈부(400)가 형성될 수 있으며, 상기 이물질받침홈부(400)에 고인 이물질을 외부로 배출시킬 수 있는 유로(300)가 형성될 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 일 실시예를 설명하였지만, 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 고안이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
1 ; CMP장비
10 ; 바텀 플레이트 50 ; 크로스
100 ; 리어 바텀 플레이트 110 ; 베이스
130 ; 제1 홈 120; 제1 결합부
200 ; 프론트 바텀 플레이트
220 ; 제2 결합부 230 ; 제2 홈
270 ; 트랙형 관통홈 300 ; 유로

Claims (3)

  1. 웨이퍼를 연마하는 연마부와, 상기 연마부의 상부에 위치하여 상기 연마부를 구동시키는 구동부, 및 상기 연마부와 구동부 사이에 위치하여 상기 구동부를 지지하는 크로스를 포함하는 CMP장비에 있어서,
    십자형상으로 이루어지는 상기 크로스의 하부에 장착되도록 십자형상으로 이루어지며, 중심부에는 관통홈이 형성되고 십자형상의 각 면에는 상기 관통홈 방향으로 형성되는 트랙형관통홈을 포함하는 바텀플레이트가 부착되되,
    상기 바텀 플레이트는
    사각 판의 형상으로 이루어지고 중심부에는 상기 관통홈이 형성되는 베이스와, 상기 베이스의 외측면에서 연장되며 'ㄴ'자 형태의 단차를 가지며 돌출 형성되는 제 1결합부와, 상기 제 1결합부의 외측에는 상기 트랙형 관통홈의 일측 곡선을 이루도록 형성되는 제 1홈을 포함하며, 상기 관통홈의 중심부를 기준으로 절단되어 분리 및 결합 가능하도록 형성되는 한 쌍의 리어 바텀 플레이트;
    상기 제 1결합부에 대응하게 결합되도록 'ㄱ'형상으로 형성되는 제 2결합부와, 상기 제 1결합부와 결합 시 상기 제1홈과 맞닿아 상기 트랙형 관통홈이 형성되도록 직선과 곡선으로 이루어진 제 2홈을 포함하는 4개의 프론트 바텀 플레이트; 를 포함하며,
    상기 리어 바텀 플레이트와 상기 4개의 프론트 바텀 플레이트의 결합으로 십자형상을 이루는 바텀플레이트가 구비되는 것을 특징으로 하는 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 리어 바텀 플레이트의 제 1 결합부의 양 측면에는 소정간격을 두고 상기 제1결합부와 단차를 이루며 하부로 침강되어 형성되는 제1 안착부를 형성하며, 상기 프론트 바텀 플레이트에는 상기 제1 안착부와 대응되는 돌출 형상의 제2 안착부를 형성하는 것을 특징으로 하는 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 프론트 바텀 플레이트와 상기 리어 바텀 플레이트가 접하는 부분에는 분사되는 탈 이온수를 외부로 배출할 수 있는 유로가 형성된 것을 특징으로 하는 바텀 플레이트를 구비한 CMP장비.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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KR20060068109A (ko) * 2004-12-15 2006-06-21 동부일렉트로닉스 주식회사 화학 기계적 연마 공정의 이물질을 제거하는 반도체 소자제조 방법
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