KR20040111088A - 광선 형성 장치 - Google Patents

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헨처-리쏘췐코 파텐트페어발퉁스 게엠베하 운트 코. 카게
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Abstract

본 발명은 광선 형성 장치에 관한 것으로서, 형성하는 광선(21)의 확산방향(Ausbreitungsrichtung)(Z)으로 앞뒤로 정렬되어 있어서 상기 광선(21)이 적어도 두개의 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25, 26, 27)을 통해서 차례로 통과(hindurchtreten)할 수 있는, 적어도 두개의 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25, 26, 27) 및 적어도 상기 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25, 26, 27)의 하나 위에 정렬되어 있고 굴절 또는 회절하는 사상요소들의 두 그룹을 포함하여 이루어지고, 여기서 상기 그룹들 가운데 적어도 하나의 그룹 안에서는 상기 사상(寫像)요소(Abbildungselemente) 가운데 적어도 두개의 서로 다른 특성(Eigenschaft)이 개시되어 있다.

Description

광선 형성 장치{An apparatus for forming beam of light}
본 발명은 광선 형성 장치에 관한 것으로서, 형성하는 광선의 확산방향으로 앞뒤로 정렬되어 있어서 상기 광선이 적어도 두개의 광학적으로 동작하는 경계면을 통해서 차례로 통과할 수 있는, 적어도 두개의 광학적으로 동작하는 경계면 및 적어도 상기 광학적으로 동작하는 경계면의 하나 위에 정렬되어 있고 굴절 또는 회절하는 사상요소들의 두 그룹을 포함하여 이루어진다.
앞서말한 종류의 장치는 예를 들어서 레이저광선(Laserstrahlen), 특히 엑시머레이저(Excimerlasern)의 레이저광선을 균질화(homogenisieren)하는데 사용된다. 예를 들어서 DE 199 15 000 A1으로부터 엑시머레이저광선의 균질화 장치가 개시되어 있고, 이것은 구형(sphaerischen) 실린더렌즈로된 두개의 렌즈배열을 포함하고 있다. 이 렌즈배열은 서로 마주보고(zueinander) 돌출하여(beabstandete) 광학적으로 동작하는 경계면을 형성하고, 이 경계면을 통해 형성되는 광선이 차례로(nacheinander) 통과할 수 있다. 더욱이 이 실린더렌즈는 두개의 서로 마주보고 돌출하여 광학적으로 동작하는 경계면 위에 순차적으로 정렬되어 있고, 본질적으로(im wesentlich) 제 1의 광학적으로 동작하는 경계면 위에 수직으로(senkrecht) 발생하는 부분광선이 제 1의 광학적으로 동작하는 경계면의 실린더 렌즈를 통해 통과하고, 제 2의 광학적으로 동작하는 경계면의 이 실린더렌즈와 일직선으로 늘어선(fluchten) 실린더렌즈를 통해 잇달아(anschliessend) 통과한다. 두개의 광학적으로 동작하는 경계면을 통해 통과하는 부분광선은 하나의 현상면(Bearbeitungsebene)에서 푸리에렌즈(Fourierlinse)로서 제조된(ausgebildet)볼록렌즈(Sammellinse)를 통해 겹칠(ueberlagern) 수 있다. 이 장치의 장점으로 구형 실린더렌즈가 서로 나란히(nebeneinander) 정렬되어 있고, 이들 사이에 정해진과도영역(Uebergangsbereich)이 없고, 이 과도영역 위에 나타나는(auftreten) 빛을 통해서는 제어되지 않거나 또는(beziehungsweise) 산란(streuen)된다는 것이 밝혀졌다(erweist sich, dass).
한편으론(einerseits) 레이저광선의 강도의 분산이 불리하게도(nachteilich) 그것을 통해서 영향을 받고(beeinflusst) 다른 한편으론 레이저광선의 형성을 위해 광학적으로 동작하는 경계면의 전체면(komplette Flaeche)이 사용될 수 없다(genutzt).
US 6,239,913 B1으로부터 처음에 언급한 기술의 장치가 개시되어 있고, 이 장치에서는 두개의 광학적으로 동작하는 경계면 위에 하나의 볼록한 실린더렌즈 그룹과 하나의 오목한 실린더렌즈 그룹이 언제나 정렬되어 있다. 볼록한 실린더렌즈 및 오목한실린더렌즈는 서로(einander) 곁에(dabei) 교대로(abwechseln) 위치하고 있어서 볼록한 렌즈구조 및 오목한 렌즈구조를 통해 전체 경계면이 커버된다(abgedeckt). 이 미국특허에 따라 가능한 장치는 도 1a, 도 1b 및 도 2a로부터 명백하다(ersichtlich). 이들 도면에서 보다 나은 전망을 위해 데카르트 좌표계가 사용되었다.
도 1a와 도 1b에서는 형성되는 레이저광선(1)이 명백하고, 이는 양의 Z방향으로 움직인다(bewegt). 레이저광선(1)은 두개의 렌즈배열(2, 3)을 통해 통과하고,이들 배열은 언제나(jeweils) 입사면(Eintrittsflaeche) 위에서 광학적으로 동작하는 경계면(4, 5)과 출사면(Austrittsflaeche) 위에서 광학적으로 동작하는 경계면(6, 7)을 명시한다(aufweisen). 렌즈배열(2, 3)을 통해 통과하는 레이저광선은 푸리에렌즈로서 사용되고 양쪽이 볼록한렌즈(Bikonvexlinse)로서 제조된(ausbilden) 렌즈수단(Linsenmittel)(8)을 통해서 통과하고, 현상면(Bearbeitungsebene)(9)에 이것에 의해 집속된다(fokussiert). 현상면(9)에는 레이저광선(1) 가운데 몇개의(einzelne) 부분광선이 겹친다. 도 1a와 도 1b로부터 명백한 것은, 입사면 위에서 광학적으로 동작하는 경계면(4, 5)이 실린더렌즈를 닮은 구조를 명시하고 있고, 이것의 축은 X방향으로 뻗어있고, 이에반해 렌즈배열(2, 3)의 출사면 위에서 광학적으로 동작하는 경계면(6, 7)이 실린더렌즈를 닮은 구조를 명시하고, 이것의 실린더축은 Y방향으로 뻗어있다.
도 2a로부터 레이저광선(1)의 광선형성은 X방향에 대해서(hinsichtlich) 광학적으로 동작하는 경계면(6, 7)을 통해 렌즈배열(2, 3)의 출사면 위에서 보다 또렷하고(deutlicher) 분명하다(ersichtlich). 특히 렌즈배열(2, 3)에 의해 단지 출사면만 묘사된다(abgebildet). 도 2a로부터 추측할(entnehmen) 수 있는 것은, 광학적으로 동작하는 경계면(6, 7)이 출사면 위에서 언제나 교대하는 볼록한 실린더렌즈(10, 11)와 오목한 실린더렌즈(12, 13)를 명시한다는 점이다. 실례로(beispielhaft) 기입된(eingezeichnet) 부분광선(14a, 14b, 15a, 15b)에 따라(anhand) 명백한 것은, 제 1의 렌즈배열(2)의 볼록한 실린더렌즈(10)에 상응하는장소 위에 나타나는(auftreffen) 부분광선(14a, 14b 또는 15a, 15b)은 같은 출사각(Austrittswinkeln)도 하에서 볼록한 실린더렌즈(10)를 떠나고(verlassen) 제 2 렌즈배열(3)의 일직선으로된(fluchtend) 상응하는 실린더렌즈(11)를 볼록한 실린더렌즈(10)와 함께 언제나 통과한다는 점이다. 제 2 렌즈배열(3)의 볼록한 실린더렌즈(11)로부터 출사되는 부분광선(14a, 14b 또는 15a, 15b)은 이 볼록한 실린더렌즈(11)를 같은 각도하에서 떠나서, 이들은 푸리에렌즈로서 쓰이는 렌즈수단(8)에 의해 현상면(9)의 같은 장소로 집속된다. 이것은 도 2a에서 우측면에서 명백하게 나타난다. 따라서(somit) 푸리에렌즈를 통해 서로 다른 볼록렌즈(10, 11)을 통해 통과한 부분광선의 중첩이 가능하다.
제 1 렌즈배열(2)의 오목한 실린더렌즈(12)를 통해 통과한 부분광선(16a, 16b 또는 17a, 17b)은 문제점이 있는 것으로서 판명된다. 오목한 렌즈(12)들의 하나를 통해 통과한 부분광선(17a, 16b)들이 제 2의 렌즈배열(3)에 다른 볼록한 실린더렌즈(11)를 통해 통과하여, 현상면(9) 위의 다른 장소에 충돌한다(auftreffen). 물론 인접한(benachbart) 제 1 렌즈배열(2)의 오록한 실린더렌즈(12)들의 같은 장소에 충돌하는 부분광선(17a, 17b)이 도 2a의 우측면으로부터 분명하듯이 렌즈배열(3)에 같은 각도하에서 들어오고 현상면(9)의 같은 장소에 중첩된다. 제 1 렌즈배열(2)의 오목한 실린더렌즈(12)를 통해 통과한 부분광선(16a, 16b 또는 17a, 17b)은 본질적으로 이 영역의 가장자리에(am Rand) 충돌하며, 이 영역내에서 현상면(9)에서 레이저광선은 서로 중첩되는 모습이다. 도 2b로부터 명백하듯이 이로부터 이 현상면(9)에 강도분산이 생긴다(ergeben sich). 이 강도분산에는 중앙에(mittig) 비교적(vergleichsweise) 평평한(eben) 고원(Plateau)(18)과 두개의 외부 강도분산(19)이 있고, 이것은 고원(18)의 수평면(Niveau) 위에서 위쪽으로 돌출하여있다(hinausragen). 외부 강도분산(19)에 바깥쪽 측면(Flanke)(20)이 언제나 연결되어 있다(anschliessen). 이 외부 강도분산(19)은 여러가지 사용시 심하게 방해받는다(stoeren)는 것이 밝혀졌다. 특별히 바람직(wuenschenwert)한 것은, 비교적 균등한(gleichmaessig) 강도분산, 특히 달성할 강도분산이 강도의 정점(Intensitaetsspitzen)(19)에서는 충돌하지 않는 것이다.
앞의 발명의 기초가 되는(zugrundeliegend) 문제는 처음에(eingans) 언급한 기술의 장치의 창조이고, 이는 광학적으로 동작하는 경계면의 비교적 완전한(vollstaendig) 활용(Ausnutzung)시 더 잘 이용할 수 있는 강도분산이 창조(generieren)될 수 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점들을 해결하기 위한 광선 형성 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
발명의 장점과 이점은 첨부하는 도면(Abbildungen)과 관련하여(unter Bezugnahme auf) 바람직한 실시예(bevorzugter Ausfuehrungsbeispiele)에 대한 다음의 기술에 따라 명백해질 것이다.
도 1a는 종래 기술에 따른 장치와 본 발명에 따른 장치 각각의 도식화된 측면도이고;
도 1b는 도 1a의 화살 lb에 따른 도면이고;
도 2a는 종래 기술에 따른 광선의 형성 장치의 도식화된 측면도이고;
도 2b는 도 2a에 따른 장치로 달성할 수 있는 강도의 분산(Intensitaetsverteilung)도이고;
도 3a는 본 발명에 다른 장치의 상세 측면도이고;
도 3b는 도 3a에 따른 장치로 달성할 수 있는 강도의 분산도이다.
이것은 청구항 1에서 특징지워지는(kennzeichnen)부분의 장점을 갖는 처음에언급한 기술의 장치를 통해서 발명에 따라 달성된다. 특권을 받은(bevorzugt) 종속항(Unteansprueche)은 이 발명의 완성(Ausbildung)과 관계가 있다(betreffen).
발명에 따르면 이 그룹의 적어도 하나의 내부에는 적어도 두개의 사상요소가 서로다른 속성을 명시하고 있다. 서로 다른 속성을 통해 적어도 두개, 특히 다수의 사상요소들이 하나의 그룹 내에서, 예를 들어서 하나의 강도분산의 주변영역에서 이런 종류의 부분광선이 중첩되는 것과 방해받는 강도의 정점이 생기는(entstehen) 것을 피할(vermeiden) 수 있다. 이런 방법으로 발명에 따른 장치가 작업영역에서 강도분산이 창조될 수 있고, 이것은 많은 이용을 위해 도 2b로부터 명백한 종래기술의 강도분산보다 적당하다(geeignet). 본 발명에 따른 장치는 예를 들어서 석판인쇄(Lithografie)에 적당하다.
회절하는 사상요소로서 사상요소의 형성시 예로서 이 격자모양 구조로서의 주기적인 굴절률 변화 또는 그와 같은 것이 만들어질 수 있다.
굴절하는 사상요소로서 사상요소의 형성시 이것은 렌즈로서 형성될 수 있고, 여기서 이 렌즈는 특히 실린더렌즈 또는 실린더형렌즈로서 만들어질 수 있다.
이것에 관하여 한 그룹의 적어도 두개의 렌즈가 그들의 구경에 대해서 서로다를 가능성이 있다. 추가적으로(zusaetzlich) 또는 선택적으로 한 그룹의 적어도두개의 렌즈가 그들의 촛점거리에 대해서 서로 다를 가능성이 있다. 선택적으로 또는 추가적으로 한 그룹의 적어도 두 렌즈는 그들의 광학적으로 동작하는 면의 형태에 대해서 서로 다를 가능성이 있다. 선택적으로 또는 추가적으로 한 그룹의 적어도 두개의 렌즈가 그들의 구경의 수치에 대해서 서로 다를 가능성이 있다. 앞에 언급한 방책(Massnahmen)들의 전부(saemtlich)와 함께 이 광학적으로 동작하는 경계면위에 충돌하는 현상면에 형성되는 광선들의 부분광선들이 중첩되지 않는 것과, 강도분산에서 방해를 하는 강도의 정점이 생기는 것이 달성된다(erreichen).
예를 들어서, 상기 두 그룹의 제 1은 볼록렌즈를 포함하고, 제 2는 오목렌즈를 포함할 가능성이 있다. 특히 이것에 관하여 오목한 실린더렌즈로서의 오목렌즈와 볼록한 실린더렌즈로서의 볼록렌즈가 형성될 수 있다. 이와 동시에(dabei) 오목한 실린더렌즈와 볼록한 실린더렌즈가 서로 교대로 배열되는 것을 예측할(vorsehen) 수 있고, 여기서 오목한 실린더렌즈뿐만 아니라 볼록한 실린더렌즈의 실린더축이 같은 방향으로 뻗어나간다.
앞에 기술한 발명의 바람직한 실시형태에 따라 이 그룹들의 적어도 하나 안에서 언제나 사상요소의 다수와 함께 두 종류가 예상되고, 여기서 제 1 종류의 사상요소들의 각각이 제 2 종류의 사상요소들의 각각과 함께 비교되어 명시된다. 예를 들어서, 이와 동시에 광학적으로 동작하는 경계면의 적어도 하나 위에 언제나 서로나란히(nebeneinander) 제 1 종류의 볼록한 실린더렌즈, 오목한 실린더렌즈,제 2 종류의 볼록한 실린더렌즈 및 오목한 실린더렌즈가 교대로 배열되어 있다. 이런종류의 배열을 통해 광선의 확산방향에 수직인 방향에서 제 1의 광학적으로 동작하는 경계면의 오목한 실린더렌즈의 정점선이 제 2의 광학적으로 동작하는 경계면의 오목한 렌즈의 정점선에 반대방향으로 배치를 바꿀(versetzt) 가능성이 있다. 예로서, 제 1의 광학적으로 동작하는 경계면의 인접하고 오목한 실린더렌즈와 같은 영역에서 제 2의 광학적으로 동작하는 경계면을 통해 충돌하는 부분광선이 이들이 현상면에서 중첩되지 않는다는 것을 통해서 방향을 돌릴(abgelenkt) 수 있다. 이런 방법으로 도 2a와 도 2b와 관련하여(unter Bezugnahme auf) 기술된 강도의 정점은 많은 이용시 방해일으킨다고(stoeren) 판명된(erweisen sich) 것으로서 발생되지(erzeugen) 않는다.
본 발명에 따르면 실린더렌즈의 실린더축은 실제로 제 1의 광학적으로 동작하는 경계면 위에서 제 2의 광학적으로 동작하는 경계면 위의 실린더렌즈의 실린더축에 평행할 가능성이 있다.
그리고 이 장치는 사상요소를 갖는 제 3 및 제 4의 광학적으로 동작하는 경계면을 명시하고 있음이 예측가능하다. 특히 이와 동시에 제 3 및 제 4의 광학적으로 동작하는 경계면 위에서 배열될 수 있고, 그의 실린더축은 서로 나란하고 제 1 및 제 2의 광학적으로 동작하는 경계면 위의 실린더렌즈의 실린더축에 수직하다. 이와 동시에 이렇게(derart) 제 3 및 제 4의 광학적으로 동작하는 경계면은더우기(weiterhin) 예를 들어 두개의 서로 다른 종류의 볼록한 실린더렌즈를 설치해주고(ausstatten), 또한 확산방향에 수직인 제 2의 방향에 대해서 예로서 오목한 실린더렌즈를 통해 통과하는 부분광선의 중첩은 현상면에서 계속해서 피하여지고, 그래서 또한 제 2의 방향에 대해서는 현상면에서 강도의 분산에서 강도의 정점이 나타나지(auftreten) 않는다.
본 발명에 따르면 또한 적어도 두개의 광학적으로 동작하는 경계면 뒤에 형성되는 광선의 확산방향에서 푸리에렌즈로서 서비스되는 렌즈수단이 배열되고, 하나의 현상면에 형성되는 광선의 부분광선이 중첩될 수 있고, 이 부분광선은 하나의 사상요소를 통해 통과될 가능성도 있다.
도 1a와 도 1b는 이들이 도 2a에 따른 종래기술의 장치뿐만 아니라 도 3a에 따른 본 발명의 장치도 서술할(darstellen) 수 있을 정도로 도식화된다(schematisiert). 도 1a과 도 1b에 서술된 부분들(Bauteil)은 한자리수(einstellig)의 관계표시(Bezugszeichen)(1 내지 9)를 하나의 부분에게 제공하고(versehen), 이것은 도 2a에 따른 종래기술에 대한 기술(Beschreibung)에서 설명되었다(erlaeutern). 게다가 같은 부분은 두자리수의 관계표시(21 내지 29)가 제공되고, 도 3a에 따른 본 발명 장치의 하나의 부분 곁에 표시를 한다. 특히 도 1a 및 도 1b에서 본 발명에 따라 레이저광선(21)이 렌즈배열(22, 23)을 통해 양의 Z방향으로 지나가고(laeuft) 푸리에렌즈로서 동작하는 렌즈수단(28)에 의해 연결되어 현상면929) 위에 집속된다. 렌즈배열(22, 23)은 종래기술과 비슷하게 그들의 입사면 위에서는 광학적으로 동작하는 면(24, 25)을 그리고 출사면 위에서는 광학적으로 동작하는 면(26, 27)을 명시한다.
도 3a로부터 종래기술과의 차이점이 분명히 상세하게 설명된다. 도 3a는 또(wiederrum) 해당하는(entsprechend) 도 2a를 단지 XZ영역만을 나타내고, 그래서 단지 출사면위에 정렬되어 있는 광학적으로 동작하는 경계면(26, 27)만을 식별할 수 있다(erkennbar). 입사면위에 정렬된 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25)은 하지만 경계면(26, 27)처럼 유사하게 구조화될 수 있다.
제 2의 렌즈배열(23)의 광학적으로 동작하는 경계면(27)은 실제로 도 2a에 따른 제 2의 렌즈배열(3)의 광학적으로 동작하는 경계면(7)에 상응한다. 여기서는 또한 볼록한 실린더렌즈(31)가 오목한 실린더렌즈(33)와 교체될 것으로 예측된다. 특히 이와동시에 전부 볼록한 실린더렌즈(31)이 같은 폭이고, 즉 X방향에서 길이(Erstreckung) a는 볼록한 실린더렌즈(31)의 각각에 대해 같은 크기이다. 그리고 또한 하나하나의 볼록한 실린더렌즈들(31) 사이에서 정렬된 오목한 실린더렌즈들(33)은 전체적으로 같은 크기이고, 즉 이들은 전체적으로 X방향으로 같은 크기의 길이 b를 갖는다(besitzen).
렌즈배열(22)은 도 2a에 따른 종래기술에 여러가지로(unterschiedlich) 반대된다. 출사면에 정렬된 광학적으로 동작하는 경계면(26) 위에는 두 종류의 X방향으로 폭의 차이가 나는 볼록한 실린더렌즈(30, 30')가 있다. 실린더렌즈(30)의 폭의 종류는 X방향으로 길이 a+Δx를 나타내고, a보다 Δx만큼 더 크다. 두 종류의 실린더렌즈(30')의 작은 것은 X방향으로 a-Δx를 나타내고, 이는 X방향으로 a보다 Δx만큼 더 작다. 이들 실린더렌즈(30, 30')의 정점(Scheitelpunkt)은 Z방향으로 볼록한 실린더렌즈(31)의 정점과 함께 일적선으로 늘어서있다(fluchten). 그리고 제 1 종류의 볼록한 실린더렌즈(30)의 와 제 2 종류의 오목한 실린더렌즈(32) 사이에 정렬되어 있고, 여기서 가각의 이들 오목한 실린더렌즈들(32)의 하나의 크기 b는 같은 크기이고 두번째 렌즈배열(23)의 오목한 실린더렌즈들(33)의 크기 b는 이에 상응한다.
이들 크기 a+Δx, a-Δx 및 b의 선택을 통해서 언제나 제 1 렌즈배열(22)의 오목한 실린더렌즈들(32)의 정점은 X방향에서 제 2 렌즈배열(23)의 오목한 실린더렌즈들(33)의 해당하는 정점의 반대편으로 움직여진다(verschieben).
이런방법으로 달성되는 것은, 그러나 렌즈수단(28)의 현상면(29)에서는 같은 장소에 집속되지 않음에도 불구하고 같은 각도하에서 제 1 렌즈배열(22)의 인접한 오목한 실린더렌즈들(32)의 같은 구간(Abschnitte) 위에서 충돌하는 레이저광선(21)의 부분광선(34a, 34b)이 결국(zwar) 같은 각도하에서 이것을 떠나는 것이다. 이들이 제 1 렌즈배열(22)의 오목한 실린더렌즈들(32)의 정점선의 움직임의 근거로 제 2 렌즈배열(23)의 상응하는 오목한 실린더렌즈들(33)의 반대편에 제 2 렌즈배열들(23)의 볼록한 실린더렌즈들(31)로 해당 장소에서 들어오지 않는다는 데에 이것은 그 이유(Grund)가 있다. 이런 이유로부터 그들은 서로 다른 각도하에서 제 2의 렌즈배열(23)로부터 출사하고, 그래서 그들은 푸리에렌즈로서 동작하는 렌즈수단(28)에 의해 서로다른 점에 집속된다. 이것은 도 3a에서 오른쪽에 분명하게 나타나있다.
오목한 실린더렌즈들(32)을 통해 통과하는 광선이 현상면(29)의 같은 장소에 중첩되지 않기 때문에, 도 2a에 따른 장치의 근거에 따라 이것은 도 2b로부터 명백한 것 같이 고원(18)과 경사진(abfallend) 측면(20) 사이에는 바깥쪽 강도의 정점(19)이 생기지(ergeben) 않는다. 오히려(vielmehr) 도 3b에 따른 강도의 분산은 본 발명에 따른 장치에 의하여(mittels) 이야기되고(erzaehlen), 이것은 직접적으로 연결되는 경사진 측면(36)에 중간으로부터 바깥으로 향해가는 고원(35)이 명시된다. 사정에 따라서는(unter Umstaenden) 경사진 측면(36)이 도 2b에 따른 강도의 분산의 경사진 측면(20)보다 약간 덜 가파르게(steil) 형성된다. 그럼에도 불구하고 도 3b로부터 명백한 많은 이용을 위한 강도의 분산은 도 2b에 따른 강도의 분산보다 명백히 더 알맞다.
본 발명에 따르면 제 1의 렌즈배열(22)에서는 두 종류의 서로다른 볼록한 실린더렌즈들(30, 30')이 아니고, 예로서 세개 또는 네개 또는 그 이상의 서로다른종류들이 예정될(vorsehen) 가능성이 있다. 이런 종류의 볼록한 실린더렌즈의 전부는 예로서 a+Δx, a-Δx, a+2Δx, a-2Δx, a+3Δx, a-3Δx 등과 같이 서로 다른 폭이 예정될 수 있다. 이런 방법으로 세개 또는 그 이상의 서로다른 종류의 움직임이 오목한 실린더렌즈(32)의 정점선의 움직임에 의해 오목한 실린더렌즈(33)의 정점선과 반대방향으로 생긴다. 이것으로부터 두개가 아닌 세개 또는 그 이상의 부분광선의 서로다른 충돌점이 비롯되고, 이들 부분광선들은 같은 각도하에서 서로 다른 오목한 실린더렌즈들(32)의 같은 장소위에서 충돌한다. 서로 다른 종류의 볼록한 실린더렌즈들(30, 30')를 통해 그리고 더욱이 강도의 분산의 형태는 본 발명에 따른 장치와 함께 달성될 수 있고(erzielbar) 상응하여 수행될 수 있어서(erfuellbar) 이에 상응하는 사전기준(Vorgabe)을 변경한다(modifizieren).
더욱기 본 발명에 따르면 볼록한 실린더렌즈(30, 30')의 X방향으로의 길이(Erstreckung)가 변화할뿐만 아니라, 오목한 실린더렌즈들(32)의 X방향으로의 길이도 변화할 가능성도 있다. 그리고 제 2의 렌즈배열에서 서로 다른 크기의 볼록 또는 오목한 실린더렌즈들(31, 33)이 이용될 가능성도 있다. 그리고 또한 렌즈배열(22, 23)의 입사면에서 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25) 위에서 서로 다른 종류의 볼록한 실린더렌즈들 및/또는 오목한 실린더렌즈들이 X방향에서처럼 Y방향에서 비슷한 효과를 달성하기 위해 예견될 가능성도 있다.
앞에서의 기술은 도 3a에 따라(anhand) 설명되는 수정이 서로 다른 종류의실린더렌즈들의 서로 다른 구경과 관련이 있다. 이 서로다른 구경들을 통해 특별히 정점선의 이동이 서로 분류된(zuordnen) 실린더렌즈들에 도달된다(erreichen). 하지만 본 발명에 다르면 이 렌즈들의 다른 속성이 바뀔 가능성도 있다. 예로서 제 1 렌즈배열(22)의 출사면에서 광학적으로 동작하는 경계면(26) 위에서 두 종류의 볼록한 실린더렌즈들 및/또는 두 종류의 오목한 실린더렌즈들을 예견하기 위해, 서로 다른 촛점거리(Brennweit)가 명시될 가능성도 있다. 또한 이 방법으로 예로서 두개의 이웃한 볼록한 실린더렌즈들을 통해서 현상면(29)에 통과된 부분광선은 한점에 집속되지 않는다는 것이 보증될 수 있다(gewaehrleitet). 그리고 실린더렌즈들의 형태가 변화할(variieren) 가능성도 있다. 특히 실린더렌즈들은 비구형(asphaerische Formen)을 명시할 수 있다. 서로 다른 비구형을 나타내는 두 종류의 볼록한 실린더렌즈들을 창조할 가능성도 있다. 그리고 서로 다른 비구형을 나타내는 두 종류의 오목한 실린더렌즈들이 창조될 수도 있다.
그리고 서로 다른 수의 구경을 명시하는 두 종류의 오목 및/또는 볼록한 실린더렌즈를 예견할 가능성도 있다.
언제나 한종류의 오목한 또는 볼록한 실린더렌즈에서 하나의 실린더렌즈들의 한정된 형태의 변화가 이웃한 대응하는 실린더렌즈들과 반대일 가능성도 있다.
전술한 방책들의 전체를 통해서, 본 발명에 따른 장치와 함께 설명될 수 있는 강도의 프로필(Intensitaetsprofil)이 상응하는 사전기준에 따라 한정되게 나타난다.
그리고 굴절하는 사상요소에 선택적으로 또는 추가적으로 광학적으로 동작하는 경계면 위에서 회절하는 사상요소를 이용할 가능성도 있다. 광학적으로 동작하는 경계면들(24, 25, 26, 27) 위에서 볼록하고 오목한 실린더렌즈들(30, 31, 32, 33)은 굴절하는 사상요소로서 간주되어야 한다. 예를 들어서 회절하는 사상요소들로서 격자모양의 구조 또는 주기적으로 굴절률변화 또는 그와같은 것을 이용할 수 있을 것이다. 또한 두개의 회절하는 사상요소 그룹이 예견될 가능성도 있고 이때 언제나 적어도 이 그룹들의 하나의 안에서는 적어도 사상요소들의 두개가 서로 다른 속성들을 나타낸다. 또한 이러한 방법으로 본 발명에 따른 장치와 함께 도달될 수 있는 강도분산이 영향을 받는다고(beeinflusst) 설명될 수 있다.
본 발명에 따른 장치는 석판인쇄(Lithografie)에 적당하고, 본 발명에 따른 장치는 작업영역에서 강도분산이 가능하고, 회절하는 사상요소로서 사상요소의 형성시 예로서 이 격자모양 구조로서의 주기적인 굴절률 변화가 가능하다. 또한 굴절하는 사상요소로서 사상요소의 형성시 이것은 렌즈로서 형성될 수 있고, 여기서 이 렌즈는 특히 실린더렌즈 또는 실린더형렌즈로서 만들어질 수 있다.

Claims (18)

  1. 형성하는 광선(21)의 확산방향(Ausbreitungsrichtung)(Z)으로 앞뒤로 정렬되어 있어서 상기 광선(21)이 적어도 두개의 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25, 26, 27)을 통해서 차례로 통과(hindurchtreten)할 수 있는, 적어도 두개의 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25, 26, 27); 및
    적어도 상기 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25, 26, 27)의 하나 위에 정렬되어 있고 굴절 또는 회절하는 사상요소들의 두 그룹을 포함하여 이루어지고,
    상기 그룹들 가운데 적어도 하나의 그룹 안에서는 상기 사상(寫像)요소(Abbildungselemente) 가운데 적어도 두개의 서로 다른 특성(Eigenschaft)이 명시되는(aufweisen) 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 격자모양(gitteraehnlich) 구조로서의 상기 회절하는(diffraktiv) 사상요소가 주기적인 굴절률(Brechungindex) 변화 또는 그와 같은 것을 만들어내는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 굴절하는(refraktiv) 사상요소는 렌즈(Linse)로서 제조되는(ausbilden) 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 렌즈는 실린더렌즈(30, 30', 31, 32, 33) 또는 실린더형 렌즈로서 제조되는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 한 그룹의 적어도 두개의 렌즈들은 그들의 구경(Apertur)에 대해서(hinsichtlich)는 서로 다른 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  6. 제 3 항 내지 제 5 항 가운데 어느 한 항에 있어서, 한 그룹의 적어도 두개의 렌즈들은 그들의 촛점거리(Brennweite)에 대해서는 서로 다른 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  7. 제 3 항 내지 제 6 항 가운데 어느 한 항에 있어서, 한 그룹의 적어도 두개의 렌즈들은 그들의 광학적으로 작용하는 면의 형태에 대해서는 서로 다른 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  8. 제 3 항 내지 제 7 항 가운데 어느 한 항에 있어서, 한 그룹의 적어도 두개의 렌즈들은 그들의 구경의 수량에 대해서는 서로 다른 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  9. 제 3 항 내지 제 8 항 가운데 어느 한 항에 있어서, 상기 두 그룹의 하나는 볼록렌즈(konvexe Linzen)를 포함하고(umfassen), 상기 두 그룹의 다른 하나는 오목렌즈(konkave Linzen)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 오목한 실린더렌즈(32, 33)로서의 오목렌즈와 볼록한 실린더렌즈(30, 30', 31)로서의 볼록렌즈가 제조되는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 오목한 실린더렌즈(32, 33)와 볼록한 실린더렌즈(30, 30', 31)가 주기적으로(abwech1selnd) 서로 마주보고 배열되어 있고(angeordnet), 이때 오목한 실린더뿐만 아니라 볼록한 실린더(30, 30', 31, 32, 33)의 실린더축(Zylinderachsen)도 같은 방향(X, Y)으로 뻗어있는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 가운데 어느 한 항에 있어서, 적어도 상기 그룹들 가운데 하나의 범위 안에서 두 종류(Arten)의 사상요소들이 언제나 다수(Mehrzahl)를 갖추고 있고, 이때 제 1 종류의 사상요소의 각각의 서로다른 성질은 제 2 종류의 사상요소의 성질과 비교되어(verglichen) 명시되어 있는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25, 26, 27)의 적어도 하나 위에는 언제나 제 1 종류의 서로 이웃한 볼록한 실린더렌즈(30), 오목한 실린더렌즈(33), 제 2 종류의 볼록한 실린더렌즈(30') 및 오목한 실린더렌즈(32)가 주기적으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  14. 제 13 항에 있어서, 광학적으로 동작하는 제 1의 경계면(26)이 한 방향(X)에서 광선(21)의 확산방향(Ausbreitungsrichtung)(Z)에 수직하게(senkrecht), 제 2의 광학적으로 동작하는 경계면(27)의 오목렌즈(33)의 정점선(Scheitellinien)의 반대쪽에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  15. 제 5 항 내지 제 14 항에 있어서, 제 1의 광학적으로 동작하는 경계면(26) 위에 있는 실린더렌즈(30, 30', 32)의 실린더축(Zylinderachsen)은 실제로 제 2의 광학적으로 동작하는 경계면(27) 위의 실린더렌즈(31, 33)의 실린더축에 평행한 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  16. 제 1 항 내지 제 15 항 가운데 어느 한 항에 있어서, 제 3 및 제 4의 광학적으로 동작하는 경계면들이 사상요소와 함께 명시되는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  17. 제 16 항에 있어서, 제 3 및 제 4의 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25) 위에 실린더렌즈들이 정렬되어 있고, 이 실린더렌즈들의 실린더축들은 서로 평행하며 제 1 및 제 2의 광학적으로 동작하는 경계면(26, 27) 위에 있는 실린더렌즈(30,30', 31, 32, 33)의 실린더축에 수직한 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
  18. 제 1 항 내지 제 17 항 가운데 어느 한 항에 있어서, 적어도 두개의 광학적으로 동작하는 경계면(24, 25, 26, 27) 뒤에서 형성하는 광선(21)의 확산방향(Ausbreitungsrichtung)(Z)으로 푸리에렌즈(Fourierlinse)로서 서비스하는 렌즈수단(Linsenmittel)(28)이 정렬되어 있고, 이것은 하나의 사상요소를 통해 현상면(Bearbeitungsebene)에 형성되는 광선(21)의 통과하는(hindurchtreten) 부분광선(Teilstrahlen)이 겹칠(ueberlagern) 수 있는 것을 특징으로 하는, 광선 형성 장치.
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