KR101486102B1 - 현미경 조명 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 광빔(1)을 방출하는 적어도 하나의 레이저 광원, 동공면과 필드면과 같은, 식별면들로 조명 빔경로를 생성하기 위한 빔-가이드 광학 요소들, 및 강도에 관하여 균질화되고 관찰될 표본상으로 지향될 광계를 형성하기 위한 균질화 배열을 포함하는 현미경 조명 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 상기 타입의 현미경 조명 장치에는, 상기 조명 빔 경로의 복수의 연속적인 섹션들(4, 5, 6)내에서, 레이저 광의 코히어런스를 감소시키고, 상기 조명 빔 경로의 동공면(2)에서의 광빔(1)의 강도를 균질화시키며, 또한, 상기 조명 빔 경로의 필드면(3)에서의 광빔(1)의 강도를 균질화시키는 광학 요소들이 있는 균질화 배열이 설치되며, 그 다음으로의 균질화된 광빔(1)을 상기 표본상으로 이미징하기 위한 광학 시스템이 상기 균질화 배열의 하류에 배치된다.

Description

현미경 조명 시스템 {MICROSCOPE ILLUMINATION SYSTEM}

본 발명은, 광빔을 방출하는 적어도 하나의 레이저 광원, 동공면(pupil plane)과 필드면(field plane)과 같은, 식별면들(distinguished planes)로 조명 빔 경로를 생성하기 위한 빔-가이드 광학 요소(beam-guiding optical element)들, 및 강도(intensity)에 관하여 균질화되고 관찰될 표본상으로 지향될 광계(luminous field)를 형성하기 위한 균질화 배열을 포함하는 현미경 조명 장치에 관한 것이다.

레이저 광원으로부터 오는 광빔(light beam)의 단면내의 방사 강도(radiation intensity)를 균질화하기 위한 그리고 현미경에 의해 검사될 표본을 조명하기 위해 구비되는 배열은 그 자체가 주지되어 있다. 상기 표본 조명은 표본의 고-품질 및 고-콘트라스트(high-contrast)의 이미지를 획득할 수 있도록 하기 위해 필요하다.

균질화 배열과 관련하여, 균질화의 관점에서 강도 분포의 교번(alternation)을 명백히 일으키는, 조명 빔 경로내로 확산 스크린(diffusing screen)을 두는 것이 알려져 있다; 하지만, 균질화는 상당히 낮은 효율과 지나치게 큰 광 전도 값(light conductance value)으로 불리하게 달성된다. 비스듬한 입사각에 의해 유발되는 커플링-인 수차(coupling-in aberration)는 확산 스크린에 의해서는 교정될 수 없다.

본 사례에서, 지나치게 작은 광의 값(light value)만이 부적당한 범위로 획득될 수 있고 커플링-인 수차가 회피되거나 교정될 수 없을지라도, 균질화의 용도를 위해 회절 광학 요소(diffractive optical element; “DOE”)를 사용하는 것이 마찬가지로 알려져 있다.

더욱이, 회전 회절 광학 요소가 사용되면, 광의 높여진 0차 회절과 관련된 문제가 일어나는데, 왜냐하면, 광빔이 회절 광학 요소를 통과한 후에, 상기 회절 차수가 유용한 차수의 영역의 광학축상에 놓임으로써, 0차수의 영향을 교란시키지 않고서는 광학축상의 강도를 평균화시키는 것이 가능하지 않거나, 상기 차수가 광학축상에 놓이고 유용한 차수가 광학축에 나란히 놓여서, 균질화 동안에 효율 상실을 초래하기 때문인데, 왜냐하면, 회전하게끔 된 회절 광학 요소를 광빔이 통과한 후에는, 강도 분포가 광학축의 주위를 이동하기 때문이다.

후자의 상황은, 특히, 특정의 비균질성이, 광계의 코히어런트(coherent) 레이저 광의 간섭 효과에 의해 유발됨에 따라, 얼룩의 조명에 관하여 불리한 방식으로 명백해질 것이다.

조명 방사 경로의 단면에서의 방사 강도를 균질화시키기 위한 마이크로렌즈 어레이의 사용이 또한 알려져 있다. 본 콘텍스트(context)에 있어서, 마이크로렌즈 어레이에 관한, 단점은, 균질적으로 분포된 방사 강도가 식별면들 중 하나, 필드면 또는 동공면에서만 나타나고, 분배된 방사 강도가 다른 면에서 나타난다는 사실에 있다.

더욱이, 레이저 광의 코히어런스(coherence)는, 또한, 균질화의 품질에 불리한 영향을 준다.

종래 기술에 있어서, 망원경이 요구에 따라 광빔의 단면 형태를 적합시키는데 사용되지만, 레이저 광의 코히어런스 길이는 본 사례에 있어서 확대 비율(magnification factor)로 스케일링된다(scaled).

이러한 종래 기술로부터 나아가서, 본 발명은, 종래 기술보다 높은 효율과 품질을 가진, 레이저 광의 코히어런스에 의해 유발되는 간섭 효과의 최대 가능 범위로의 평균화와 더불어 0차 회절을 포함하는 광 강도의 분포를 달성하는, 균질화 배열을 포함하는 현미경 조명 장치를 제공하는 목적에 기반한다.

상기 목적은, 본 발명에 따른, 조명 빔 경로의 복수의 연속적인 섹션들내에서, 레이저 광의 코히어런스를 감소시키고, 상기 조명 빔 경로의 제1 식별면에서의 광빔의 강도를 균질화시키며, 또한, 상기 조명 빔 경로의 제2 식별면에서의 광빔의 강도를 균질화시키는 광학 요소들이 있는 균질화 배열이 설치되며, 그 다음으로의 균질화된 광빔을 상기 표본상으로 이미징하기 위한 광학 시스템이 상기 균질화 배열의 하류에 배치되는, 도입부에서 기술된 타입의 현미경 조명 장치에 의해 달성된다.

이러한 식으로 실시되는 현미경 조명 장치에 있어서, 조명 빔 경로는 레이저 광원으로부터 나오는 광빔으로부터 단계적으로 모양을 가지며, 그 조명 빔 경로는, 그 단면의 형태에 관하여 그리고 또한 상기 단면내의 강도 분포에 관하여, 본 발명이 기반하는 목적을 충족하고, 따라서 현대 현미경의 요구를 채운다.

본 발명의 하나의 본질적인 장점은, 강도 분포가, 필드에 걸치어, 즉 필드면에서의, 그리고 각도에 걸치어, 즉 동공면에서의, 양쪽에서 균질하다는 것이다.

후술되는 본 발명의 특정 구성에 있어서, 프리즘이 조명 빔 경로의 제1 섹션(section)에 배열되어 있다. 프리즘의 광 입사 표면 및 광 출사 표면은 서로 각도 α를 이루며, 그 각도는 광 입사각과 광 출사각의 비율을 그것에 의해 사전에 규정하며, 직사각형 단면 형태를 가진 광빔 입사의 경우에, 단면의 짧은 측부 길이는, 다시 프리즘으로부터 실질적으로 정사각형 단면을 가진 광빔이 나오도록, 연장된다.

동시에, 프리즘이 이루어진 재질의 분광으로 인해, 광빔 단면의 짧은 측부 길이의 연장과 더불어 레이저 광의 스펙트럼이 산개되며(fanned out), 따라서 코히어런스 길이(coherence length)가 또한 이러한 단면의 방향에 있어서 감소된다.

단면을 변화시키고 코히어런스를 감소시키는 상기한 효과들을 달성하기 위해, 상기 제1 섹션내의 하나의 프리즘 대신 복수의 프리즘이 구비될 것이 또한 생각될 수 있고 본 발명의 권리 범위에 속한다.

상기 조명 빔 경로의 상기 제1 섹션내의 프리즘의 사용에 대한 대안으로서, 하나 또는 복수의 광학 격자의 사용이 또한 원칙적으로 생각될 수 있다. 하지만, 본 사례에 있어서는, 빔 팽창과 코히어런스 감소의 경우에 있어서 동일한 효율을 달성하는 것이 어렵다.

조명 빔 경로의 제2 섹션에 있어서, 균질화 배열은, 제1 식별면, 예컨대, 동공면에서의 광빔의 강도를 균질화시키기 위한 광학 요소들을 갖는다. 이러한 용도를 위해, 적어도 하나의 마이크로-광학적 활성 요소 및 또한 상기 마이크로-광학적 활성 요소의 하류에 배치되는 수렴 렌즈가 구비되며, 상기 수렴 렌즈는 상기 마이크로-광학적 활성 요소의 원거리 필드(far field)를 그 이미지-측 초점면내로 이미징한다.

예시적인 실시예를 기초로 매우 상세히 더 후술되는, 하나의 특히 유리한 구성에 있어서, 마이크로-광학적 능등 요소로서의 2개의 마이크로렌즈 어레이 및 수렴 렌즈가 또한 조명 빔 경로의 방향으로 연속적으로 구비되고 서로 거리를 두어 위치됨으로써, 제2 마이크로렌즈 어레이 및 수렴 렌즈가 제1 마이크로렌즈 어레이를 제1 식별면내로, 예컨대, 동공면내로 이미징한다.

이러한 방식으로 유리하게 달성되는 것은, 회절 또는 비스듬한 입사각에 의해 유발되는 비균일성이 교정된다는 것이다.

또한, 이러한 사례에 있어서는, 적절히 실시된 마이크로렌즈 어레이의 기하도형적 배열(geometry)이 주어지면 매우 작은 광의 값이 획득되고 0차 회절이 나타나지 않는다. 현미경의 광 전도 값이 매우 작기 때문에, 큰 광 전도 값을 제공하는 것이 마땅치 않은데, 그 이유는 후자가 현미경의 식별면들 중 하나에서 다듬어질 것이기 때문이며, 그것은 광 손실과 효율 감소의 원인이 될 것이다.

본 콘텍스트에 있어서, 개개의 렌즈들이 곡률 반경 R = 28 mm, 300 ㎛의 직경(피치) 및 f = 50 mm의 초점 길이를 갖도록, 마이크로렌즈 어레이를 실시하는 것이 권장된다.

본 사례에 있어서, 광 전도 값은, 조명되는 필드의 측부 범위와 이 필드가 조명되는 최대 각도의 곱에 대응된다.

조명 빔 경로의 제2 섹션의 균질화 과정에서의 작은 광 전도 값의 추가적인 장점은, 조명 빔 경로의 - 본 발명에 따라 구비되는 - 제3 섹션으로의 큰 입사각의 회피로부터 초래되며, 상기 제3 섹션은, 상기 조명 빔 경로의 제2 식별면, 예컨대, 필드면에서의 광빔의 강도를 균질화시키기 위한 광학 요소들을 포함한다.

이러한 사례에 있어서, 제2 섹션으로부터의 입사각 스펙트럼은, 상기 제3 섹션으로부터의 회절각 스펙트럼과 컨볼루션된다(convolved). 작은 입사각은 이러한 포인트에서 제2 식별면에서의 둥글게 된 강도 프로파일(intensity profile)의 회피를 일으킨다.

상기 회절 광학 요소(DOE) 및 상기 회절 광학 요소의 하류에 배치된 수렴 렌즈는 상기 제2 식별면의 광빔의 강도를 균질화시키기 위한 광학 요소로서 유리하게 구비되며, 상기 수렴 렌즈는 DOE의 원거리 필드를 그것의 이미지-측 초점면내로 이미징한다. 이러한 사례에 있어서, 이미지-측 초점 면의 강도 분포는, DOE로부터 무한 거리에서 나타나는 것과 같은 강도 분포에 대응된다.

회절 광학 요소는, 강도가 균질화 배열의 제2 섹션에서의 상기 광학 요소에 의해 이미 더욱 균일하게 만들어진, 제1 식별면의 부근에 위치된다. 이러한 콘텍스트에 있어서의 부근은, 제1 식별면으로부터 ±1 레일리(Rayleigh) 길이 범위의 거리인 것으로 간주된다.

회절 광학 요소가 조명 빔 경로의 광학축에 나란히 지향되는 회전축에 대해 회전하게끔 됨으로써, 이러한 회전 때문에, 광빔이 회절 광학 요소를 통과한 후에, 여전히 존재하는 비균질성이 최대 가능한 범위로 제거된다.

그것은, 마찬가지로 회전하게끔 된, 웨지 판(wedge plate)이 회절 광학 요소의 상류에 배치되는 경우에, 특히 유리하다. 이러한 사례에 있어서, 웨지 판의 회전 방향과 회전 속도는 회절 광학 요소의 회전 방향과 회전 속도에 대응되어야 한다.

회절 광학 요소의 그리고 웨지 판의 공통 회전 때문에, 광 필드가 광학축에 대해 회전함으로써, 광빔이 회절 광학 요소를 통과할 때 나타나는, 0차 회절이 마찬가지로 형성되는 유용한 차수로부터 분리된다.

회절 광학 요소와 웨지 판이 상호 작용하는, 본 발명에 따른 현미경 조명 장치의 이러한 구성에 있어서, 특히 유효한 방식으로 얼룩과 같은 간섭 효과의 평균화가 달성되며 광빔 단면의 주변쪽으로의 방사 강도의 감소가 보상된다.

회절 광학 요소의 유용한 차수가, 추가적인 빔 경로에 있어서, 렌즈와 거울과 같은, 광학 요소의 위치를 변경하는 것에 의해 광학축을 조정하는 것으로 적합한 광학축상에 놓이는 한, 추가적인 장점이 여기 주어진다.

회절 광학 요소는 광 출사 표면상에 구성된 석영 판으로서 바람직하게 실시될 수 있다. 회절 광학 요소의 특정 실시예로서 컴퓨터 생성 홀로그램(computer generated hologram; “CGH”)의 사용이 생각될 수 있고 본 발명의 개념에 포함된다.

본 발명에 따른 배열의 추가 도달 구성에 있어서, 조명 빔 경로의 광학축에 대해 회전하는 반사 프리즘이, 식별면들, 즉, 동공면 또는 필드면 중 하나의 상류 또는 하류에 배치될 수 있다. 이러한 사례에 있어서, 반사 프리즘의 회전으로, 상기 프리즘에 의해 생성되는 레이저 광원의 이미징이 2중 각속도(doubled angular velocity)로 회전하도록, 반사 프리즘은 조명 빔 경로의 광학축에 나란히 지향되는 빗변 표면을 가져야 하며, 그것은, 회전 대칭이 그에 따라서 생성되기 때문에, 광계의 단면에서의 강도 분포의 최대 가능성 있는 범위로의 균질화를 이끈다.

이에 관련하여, 회전 도브 프리즘(rotating Dove prism)을 제3 섹션의 동공면의 하류에 배치되는 수렴 렌즈와 동공면의 사이에 배열하는 것이 권장된다.

본 발명은, 종래 기술보다 높은 효율과 품질을 가진, 레이저 광의 코히어런스에 의해 유발되는 간섭 효과의 최대 가능 범위로의 평균화와 더불어 0차 회절을 포함하는 광 강도의 분포를 달성하는, 균질화 배열을 포함하는 현미경 조명 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 레이저 광원으로부터 들어오는 레이저 빔을 나타낸다.

본 발명은 예시적인 실시예에 기초하여 매우 상세히 후술될 것이다. 도 1은 설명의 목적을 위해 사용된다.

도 1은 레이저 광원(도면에서는 예시되지 않음)으로부터 들어오는 레이저 빔(1)을 나타내며, 상기 광빔은, 표본이 현미경 디바이스에 의해 관찰될 때, 표본을 조명하기 위해 구비된다. 이에 관하여, 예컨대, 동공면(2)과 필드면(3)과 같은, 식별면과 조명 빔 경로를 형성하도록 광빔(1)을 적합시키는 광학 요소가 구비된다.

조명 빔 경로를 적합시키기 위한 그리고 조명 빔 경로내에 식별면을 형성하기 위한 광학 요소는, 종래 기술로부터 충분히 알려져 있으며, 그래서 더욱 상세한 설명은 이 명세서에서 생략될 수 있다.

따라서, 상기 광학 요소에 의해 형성되는 동공면(2)과 필드면(3)만이 도 1에 나타내어진다. 이러한 사례에 있어서, 조명 빔 경로의 진행 방향에 있어서, 필드면(3)은 동공면(2)의 하류에 배치된다. 필드면(3)의 하류에, 표본상에 광계를 생성하기 위한 또는 표본상으로 광빔을 이미징하기 위한 광학 요소가 구비되며, 그것은 마찬가지로 그 자체가 종래 기술로부터 알려져 있으며 이 명세서에서 도면에서는 예시되지 않는다.

조명되는 표본 영역의 고-콘트라스트 이미징을 달성하기 위한 또는 고 이미징 품질을 달성하기 위한 선행 조건은, 균질화된 강도로, 관찰될 표본상으로 최대 가능성 있는 범위로 지향되는 광계이다.

이에 관하여, 본 발명에 따른 현미경 조명 장치는, 조명 빔 경로를 형성하도록 적합된 광빔(1)의 3개의 연속적인 섹션들(4, 5, 6)내에서,

- 레이저 광의 코히어런스를 감소시키고,

- 제1 식별면, 여기서는 예컨대 동공면(2)의 레이저 빔의 강도를 균질화시키며,

- 제2 식별면, 여기서는 예컨대 필드면(3)의 레이저 광의 강도를 균질화시키는, 광학 요소를 포함하는, 균질화 배열을 포함한다.

먼저, 광빔(1)의 진행 방향에 있어서, 그 광 입사 표면(8)과 광 출사 표면(9)이 서로 각도 α를 이루는, 프리즘(7)을 갖는, 제1 섹션(4)이 구비된다. 광빔(1)이, 광 입사 표면(8)내로의 입사시에, 더 작은 측부의 길이 a가 도 1의 도면의 면에 놓이는 것으로 의도되는, 직사각형 단면을 갖는 것으로 가정되어야 한다.

이로부터 나아가보면, 각도 α는, 광빔이 광 출사 표면(9)으로부터 나온 후에 원래의 측부 길이 a가 측부 길이 b로 연장되도록 하는 치수를 나타내어야 하며, 측부 길이 b가 또한 도면의 면에 직각인 단면의 범위에 대응함으로써, 광빔(1)이 이제 정사각형 단면을 갖는 것으로 가정되어야 한다. 이것은, 예컨대 각도 α = 70°에서의, 프리즘 재질의 굴절률에 좌우되는 방식으로 달성된다.

광빔(1)이 프리즘(7)을 통과할 때, 더욱이, 레이저 광의 코히어런스는 프리즘이 이루어지는 재질의 분광에 좌우되는 방식으로 감소된다. 이러한 코히어런스 길이의 감소는, 섹션(5)에서의 균질화의 부구경(subaperture)의 부분파의 인코히어런트 슈퍼임포지션(incoherent superimposition)을 일으키며, 그에 의해 여기서 선택된 예시적인 실시예에 있어서 동공면(2)인, 제1 식별면에서의 방사 강도의 균질화에 대해서 중요한 선행 조건이 충족된다.

2개의 마이크로렌즈 어레이(10, 11) 및 마이크로렌즈 어레이(10, 11)의 하류에 배치되는 수렴 렌즈(12)는 섹션(5)에 구비된다.

마이크로렌즈 어레이(10, 11) 및 수렴 렌즈(12)는, 제2 마이크로렌즈 어레이(11)와 수렴 렌즈(12)가 제1 마이크로렌즈 어레이(10)를 제1 식별면, 여기서는 동공면(2)내로 이미징하도록, 서로에 대해 위치된다.

수렴 렌즈(12)가 2개의 마이크로렌즈 어레이(10, 11)의 원거리 필드를 그 이미지-측 초점면내로, 본 사례에 있어서는 동공면(2)내로, 이미징한다는 사실에 의해, 동공면(2)에서의 광빔(1)의 방사 강도의 균질화가 달성된다.

회절 또는 비스듬한 입사각에 의해 유발되는 비균질성은, 본 사례에서 교정된다. 또한, 본 사례에 있어서, 0차 회절이 일어나지 않으며, 마이크로렌즈 어레이(10, 11)의 개개의 렌즈들이, 예컨대, 곡률 반경 R = 28 mm, 300 ㎛의 피치, 초점 길이 f = 50 mm로 실시되면, 매우 작은 광의 값이 획득된다.

조명 빔 경로의 다음 섹션(6)의 입구에서의 큰 각도는 이러한 방식으로 유리하게 회피될 수 있다. 여기서 선택된 예시적인 실시예에서는 필드면(3)인, 제2 식별면에서, 광빔의 강도를 균질화시키기 위한 광학 요소가, 섹션(6)에 존재한다.

동공면(2)이 동시에 조명 빔 경로의 섹션(6)으로의 입구를 형성한다. 균질화를 위한 광학 요소로서, 섹션(6)이, 회절 광학 요소(13) 및 회절 광학 요소(13)의 하류에 배치되는 수렴 렌즈(14)를 갖는다. 회절 광학 요소(13)는 광빔(1)의 그리고 따라서 조명 빔 경로의 광학축(16)에 나란히 지향되는 회전축에 대해 회전하게끔 된다.

수렴 렌즈(14)는, 마이크로-광학적 활성 요소의 원거리 필드를, 제2 식별면, 선택된 본 예에서는 필드면(3)에 대응하는, 그 이미지-측 초점면내로 이미징한다. 필드면(3)에서의 강도의 최대 가능성 있는 범위로의 균질화가, 따라서 달성된다.

이러한 사례에 있어서, 섹션(5)로부터의 입사각 스펙트럼은 섹션(6)으로부터의 회절각 스펙트럼과 컨볼루션되며, 그 외의 불리하게 둥글게 된, 제2 식별면, 필드면(3)의 강도 프로파일이 그에 의해 회피된다.

필드면(3)의 하류의 이미징 시스템(도면에서는 예시되지 않음)은, 광계로서 균질화된 광 분포를 표본 면내로 그리고 따라서 상기 면에 위치되는 표본 상으로 이미징한다.

선택적으로, 조명 빔 경로의 광학축(16)에 대해 마찬가지로 회전하게끔 된 웨지 판이 회절 광학 요소(13)의 상류에 배치될 수 있으며, 웨지 판의 회전 속도 및 회전 방향은 회절 광학 요소(13)의 회전 속도 및 방향에 바람직하게 대응한다.

그에 따라 달성되는 것은, 회절 광학 요소(13)에서 회절된 광의 유용한 회절 차수가 광학축(16)의 주위에 형성되고, 0차 회절이 광학축 외측의 유용한 차수로부터 분리되는 방식으로 놓인다는 것이다.

유용한 차수로부터의 이러한 0차수의 분리 때문에, 회절 광학 요소가 균질화 용도를 위해 사용되는, 기존의 기술적 해결책과 비교하여 보면, 0차수는 사용되는 필드에서 회피된다.

선택적으로, 조명 빔 경로의 광학축에 대해 회전하는 반사 프리즘은, 식별면들 중 하나의 상류 또는 하류에 또한 배치될 수 있다. 이러한 사례에 있어서, 반사 프리즘은 도브 프리즘으로서 바람직하게 실시되며, 동공면(2)과 수렴 렌즈(14) 사이에 위치된다.

도 1의 광학 편향 요소(17)는 이 명세서에 기술된 예시적인 실시예에서의 빔 편향을 위해서, 빔 가이드를 위해서만 소용이 되며, 균질화에 대해 기능적인 중요성을 갖지 않는다.

1: 광빔 2: 동공면
3: 필드면 4, 5, 6: 섹션
7: 프리즘 8: 광 입사 표면
9: 광 출사 표면 10, 11: 마이크로렌즈 어레이
12: 수렴 렌즈 13: 회절 광학 요소
14: 수렴 렌즈 15: 회전축
16: 광학축 17: 광학 편향 요소
a, b: 측부 길이 α: 각도

Claims (21)

1. - 광빔(1)을 방출하는 레이저 광원,
   - 조명 빔 경로를 생성하기 위한 빔-가이드 광학 요소들 - 상기 조명 빔 경로는 동공면 및 필드면을 포함함 -, 및
   - 균질화된 강도(intensity)를 가지고 표본 상으로 지향되는 광계(luminous field)를 형성하기 위한 균질화 배열, 및
   - 상기 표본 상으로 균질화된 상기 광빔을 이미징하는, 상기 균질화 배열의 하류에 배치되는 광학 요소들을 포함하는 현미경 조명 장치로서,
   - 상기 균질화 배열은, 제1 섹션(4) 내에서 상기 레이저 광원으로부터 방출되는 광빔(1)의 코히어런스(coherence) 길이를 감소시키는 광학요소들, 제2 섹션(5) 내에서 제1 면에서의 광빔(1)의 강도를 균질화시키는 광학요소들 및 제3 섹션(6) 내에서 제2 면에서의 광빔(1)의 강도를 균질화시키는 광학 요소들을 포함하고,
   상기 제1 면은 상기 제2 면과 다르고, 상기 제1 면은 필드면 또는 동공면이고, 상기 제1 면이 동공면일 경우, 상기 제2 면은 필드면이고, 상기 제1면이 필드면일 경우, 상기 제2 면은 동공면이며,
   상기 제3 섹션 내에서의 광학 요소들은 회절 광학 요소 및 상기 회절 광학 요소의 하류에 배치되는 수렴 렌즈를 포함하고, 상기 제1 면은 상기 제2 섹션 및 상기 제3 섹션 사이에 배치되며,
   상기 회절 광학 요소의 원거리 필드는 상기 수렴 렌즈의 이미지-측 초점면 상에 이미징되도록 하는 것을 특징으로 하는, 현미경 조명 장치.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 균질화 배열은,
   - 상기 제1 섹션(4)내에서 프리즘(7)을 갖고, 상기 프리즘의 광 입사 표면(8)과 광 출사 표면(9)이 서로 각도 α를 이루며,
   - 방출 광빔(1)이 정사각형 단면을 갖고,
   - 상기 방출 광빔의 코히어런스 길이가 상기 프리즘 재질의 분광으로 인해 감소되는, 현미경 조명 장치.
3. 청구항 1에 있어서, 상기 제1 면은 동공면인, 현미경 조명 장치.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 균질화 배열은, 상기 동공면(2)에서의 상기 광빔의 강도를 균질화하는, 마이크로-광학적 활성 요소 및 상기 마이크로-광학적 활성 요소의 하류에 배치되는 수렴 렌즈(12)를 포함하는, 현미경 조명 장치.
5. 청구항 4에 있어서, 제1 마이크로렌즈 어레이(10) 및 제2 마이크로렌즈 어레이(11)를 더 포함하고, 제2 마이크로렌즈 어레이(11)는 제1 마이크로 렌즈 어레이(10)를 상기 동공면(2)내로 이미징하는, 현미경 조명 장치.
6. 청구항 1에 있어서, 상기 제2 면은 필드면인, 현미경 조명 장치.
7. 삭제
8. 청구항 1에 있어서, 상기 회절 광학 요소(13)는 동공면내에 위치되는, 현미경 조명 장치.
9. 청구항 1에 있어서, 상기 회절 광학 요소(13)는, 상기 조명 빔 경로의 광학축(16)에 나란한 회전축(15)에 대해 회전이 가능한, 현미경 조명 장치.
10. 청구항 9에 있어서, 회전축에 대해 회전이 가능한 웨지 판(wedge plate)이 상기 회절 광학 요소(13)의 상류(upstream)에 배치되는, 현미경 조명 장치.
11. 청구항 10에 있어서, 상기 웨지 판 및 상기 회절 광학 요소는, 상기 웨지 판의 회전 방향 및 회전 속도가 상기 회절 광학 요소(13)의 회전 방향 및 회전 속도에 대응되도록 구성되는, 현미경 조명 장치.
12. 청구항 1에 있어서, 상기 조명 빔 경로의 광학축(16)에 대해 회전하는 반사 프리즘이 동공면 또는 필드면의 상류 또는 하류에 배치되며, 상기 반사 프리즘은 상기 조명 빔 경로의 광학축(16)에 나란하게 지향되는 빗변 표면을 갖는, 현미경 조명 장치.
13. 청구항 12에 있어서, 상기 반사 프리즘은 상기 동공면(2)과 상기 수렴 렌즈(14) 사이에 구비되는 회전 도브 프리즘(rotating Dove prism)인, 현미경 조명 장치.
14. 청구항 2에 있어서, 상기 제1 면은 동공면인, 현미경 조명 장치.
15. 청구항 2에 있어서, 상기 제2 면은 필드면인, 현미경 조명 장치.
16. 청구항 2에 있어서,
    상기 조명 빔 경로의 광학축에 대해 회전하는 반사 프리즘이 상기 제1 면 또는 상기 제2 면의 상류 또는 하류에 배치되며, 상기 반사 프리즘은 상기 조명 빔 경로의 상기 광학축에 나란하게 지향되는 빗변 표면을 갖는, 현미경 조명 장치.
17. 청구항 5에 있어서,
    상기 조명 빔 경로의 광학축에 대해 회전하는 반사 프리즘이 동공면 또는 필드면의 상류 또는 하류에 배치되며, 상기 반사 프리즘은 상기 조명 빔 경로의 상기 광학축에 나란하게 지향되는 빗변 표면을 갖는, 현미경 조명 장치.
18. - 광빔(1)을 방출하는 레이저 광원,
    - 조명 빔 경로를 생성하기 위한 빔-가이드 광학 요소들 - 상기 조명 빔 경로는 동공면 및 필드면을 포함함 -, 및
    - 균질화된 강도(intensity) 분포를 가지고 표본 상으로 지향되는 광계(luminous field)를 형성하기 위한 균질화 배열, 및
    - 상기 표본 상으로 균질화된 상기 광빔을 이미징하는, 상기 균질화 배열의 하류에 배치되는 광학 요소들을 포함하는 현미경 조명 장치로서,
    - 상기 균질화 배열은, 제1 섹션(4) 내에서 상기 레이저 광원으로부터 방출되는 광빔(1)의 코히어런스(coherence) 길이를 감소시키는 광학요소들, 제2 섹션(5) 내에서 균질화된 강도 분포를 생성하기 위하여 제1 면에서의 광빔(1)의 강도를 균질화시키는 광학요소들 및 제3 섹션(6) 내에서 균질화된 강도 분포를 생성하기 위하여 제2 면에서의 광빔(1)의 강도를 균질화시키는 광학 요소들을 포함하고,
    상기 제1 면은 상기 제2 면과 다르고, 상기 제1 면은 필드면 또는 동공면이고, 상기 제1 면이 동공면일 경우, 상기 제2 면은 필드면이고, 상기 제1면이 필드면일 경우, 상기 제2 면은 동공면이며,
    상기 제3 섹션 내에서의 광학 요소들은 회절 광학 요소 및 상기 회절 광학 요소의 하류에 배치되는 수렴 렌즈를 포함하고, 상기 제1 면은 상기 제2 섹션 및 상기 제3 섹션 사이에 배치되며,
    상기 회절 광학 요소는 상기 제1 면의 레일리(Rayleigh) 길이 내에 위치하는, 현미경 조명 장치.
19. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 면 내의 상기 광빔의 강도의 균질화는 상기 제1 면 내에서 상기 제1 면의 노광되는 부분에 걸쳐 상기 광빔의 부분파의 슈퍼임포지션(superimposing)하는 것을 포함하는, 현미경 조명 장치.
20. - 광빔(1)을 방출하는 레이저 광원,
    - 조명 빔 경로를 생성하기 위한 빔-가이드 광학 요소들 - 상기 조명 빔 경로는 동공면 및 필드면을 포함함 -, 및
    - 균질화된 강도(intensity)를 가지고 표본 상으로 지향되는 광계(luminous field)를 형성하기 위한 균질화 배열, 및
    - 상기 표본 상으로 균질화된 상기 광빔을 이미징하는, 상기 균질화 배열의 하류에 배치되는 광학 요소들, 및
    - 제1 마이크로렌즈 어레이 및 제2 마이크로렌즈 어레이 - 상기 제2 마이크로렌즈 어레이는 제1 마이크로 렌즈 어레이를 상기 동공면내로 이미징함 - 를 포함하는 현미경 조명 장치로서,
    - 상기 균질화 배열은, 제1 섹션(4) 내에서 상기 레이저 광원으로부터 방출되는 광빔(1)의 코히어런스(coherence) 길이를 감소시키는 광학요소들, 제2 섹션(5) 내에서 제1 면에서의 광빔(1)의 강도를 균질화시키는 광학요소들 및 제3 섹션(6) 내에서 제2 면에서의 광빔(1)의 강도를 균질화시키는 광학 요소들을 포함하고, 상기 제1 면은 상기 제2 면과 다르고, 상기 제1 면이 동공면일 경우, 상기 제2 면은 필드면이고,
    상기 균질화 배열은 마이크로-광학적 활성 요소 및 상기 동공면 내에서 상기 광빔의 강도를 균질화하기 위하여 상기 마이크로-광학적 활성 요소의 하류에 배치되는 수렴 렌즈를 포함하며,
    상기 광학 요소들은 상기 제3 섹션 내에서, 회절 광학 요소 및 상기 회절 광학 요소의 하류에 배치되는 수렴 렌즈를 포함하고, 상기 제1 면은 상기 제2 섹션 및 상기 제3 섹션 사이에 배치되며,
    상기 회절 광학 요소의 원거리 필드는 상기 수렴 렌즈의 이미지-측 초점면 상에 이미징되도록 하는, 현미경 조명 장치.
21. 청구항 20에 있어서,
    상기 회절 광학 요소는 상기 제1 면의 레일리(Rayleigh) 길이 내에 위치하고,
    상기 제1 면은 상기 균질화 배열의 상기 제2 섹션에서의 광학 요소들에 의해 더욱 균일하게 만들어진 강도를 갖는, 현미경 조명 장치.

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