DE102010053781B4 - Vorrichtung zur Umwandlung von Laserstrahlung in Laserstrahlung mit einem M-Profil - Google Patents
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Abstract
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Umwandlung von Laserstrahlung in Laserstrahlung mit einem M-Profil gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
- Definitionen: In Ausbreitungsrichtung der Laserstrahlung meint mittlere Ausbreitungsrichtung der Laserstrahlung, insbesondere wenn diese keine ebene Welle ist oder zumindest teilweise divergent ist. Mit Laserstrahl, Lichtstrahl, Teilstrahl oder Strahl ist, wenn nicht ausdrücklich anderes angegeben ist, kein idealisierter Strahl der geometrischen Optik gemeint, sondern ein realer Lichtstrahl, wie beispielsweise ein Laserstrahl, der keinen infinitesimal kleinen, sondern einen ausgedehnten Strahlquerschnitt aufweist. Mit M-Profil wird ein Intensitätsprofil von Laserstrahlung bezeichnet, deren Querschnitt in der Mitte eine geringere Intensität als in einem oder mehreren außermittigen Bereichen aufweist.
- Eine Vorrichtung der eingangs genannten Art ist aus der
US 4,961,622 A bekannt. Die darin beschriebene Vorrichtung dient als Faserkoppler und teilt das von einer ersten Lichtleitfaser ausgehende Licht auf eine Mehrzahl von zweiten Lichtleitfasern auf. Dazu wird in dem Strahlengang ein aus mehreren Linsensegmenten bestehendes Bauteil verwendet, das einen rechteckigen Umriss und in der Mitte einen konkaven Scheitelpunkt aufweist. Von diesem Scheitelpunkt gehen vier Linsensegmente aus, deren Konkavität zum Rand des Bauteils abnimmt. Durch dieses Bauteil und eine optional dahinter angeordnete Fokussierungslinse wird die eingehende Laserstrahlung in eine Intensitätsverteilung überführt, die im Bereich der Eintrittsflächen der zweiten Lichtleitfasern die Form des Umfangs eines Quadrats aufweist. Auf diesem Umfang sind die zweiten Lichtleitfasern angeordnet, in die die Laserstrahlung eintritt. - Eine weitere Vorrichtung zur Umwandlung von Laserstrahlung in Laserstrahlung mit einem M-Profil ist beispielsweise aus der
US 7,692,864 B2 bekannt. Die darin beschriebene Vorrichtung umfasst eine Laservorrichtung zur Erzeugung von Laserstrahlung, die durch ein Linsenarray und eine Phasenmaske hindurchtritt, bevor sie von einem optischen System auf einen zu bearbeitenden polykristallinen Siliziumfilm auftrifft. Durch das Linsenarray und die Phasenmaske ergeben sich auf dem Siliziumfilm Intensitätsverteilungen, die jeweils in der Mitte eine geringere Intensität als in einem außermittigen Bereich aufweisen. - Eine weitere Vorrichtung zur Umwandlung von Laserstrahlung in Laserstrahlung mit einem M-Profil ist beispielsweise aus der
WO 93/14430 A1 - Als nachteilig hierbei erweist sich die schlechte Strahlqualität in der Arbeitsebene, insbesondere wenn die in die Lichtleitfaser eingekoppelte Laserstrahlung von einem Laserdiodenbarren oder einer Mehrzahl von Laserdiodenbarren erzeugt wird.
- Das der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Problem ist die Schaffung einer Vorrichtung der eingangs genannten Art, die Laserstrahlung mit einem M-Profil in besserer Strahlqualität erzeugen kann.
- Dies wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 erreicht. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung.
- Gemäß Anspruch 1 ist vorgesehen, dass die Vorrichtung derart gestaltet ist, dass im Betrieb der Vorrichtung die mindestens zwei Teilstrahlen zumindest teilweise so in die Lichtleitfaser eintreten, dass sich am Ausgang der Lichtleitfaser eine Laserstrahlung mit einem M-Profil ergibt. Auf diese Weise entsteht im Querschnitt der Laserstrahlung insbesondere mittig ein Bereich geringerer Intensität oder ein Loch. Dieser Bereich geringerer Intensität oder dieses Loch kann auf die Eintrittsfläche einer Lichtleitfaser übertragen werden. Dadurch ergibt sich am Ausgang der Lichtleitfaser eine Laserstrahlung mit M-Profil und guter Strahlqualität.
- Es besteht die Möglichkeit, dass die Separiermittel mindestens ein Substrat umfassen, das zumindest teilweise transparent ist und eine Eintrittsfläche sowie eine Austrittsfläche für die Laserstrahlung aufweist, wobei auf der Eintrittsfläche und/oder der Austrittsfläche das mindestens eine Linsenarray angeordnet ist.
- Bei einer einfachen Ausführungsform ist vorgesehen, dass das mindestens eine Linsenarray konkave Linsen aufweist und auf der Austrittsfläche des mindestens einen Substrats angeordnet ist und dass auf der Eintrittsfläche des mindestens einen Substrats eine einzelne konvexe Linse vorgesehen ist. Mit dieser Ausführungsform kann beispielsweise die Laserstrahlung eines Laserdiodenbarrens in eine Lichtleichtfaser eingebracht werden, wobei dann am Ausgang der Lichtleitfaser Laserstrahlung mit einem M-Profil austritt.
- Bei einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Separiermittel mindestens ein erstes Linsenarray und mindestens ein zweites Linsenarray mit jeweils mindestens zwei Linsen umfassen, wobei auf der Eintrittsfläche des mindestens einen Substrats das mindestens eine erste Linsenarray und auf der Austrittsfläche des mindestens einen Substrats das mindestens eine zweite Linsenarray angeordnet ist. Diese Ausführungsform ist insbesondere geeignet, wenn die Laserstrahlung einer Mehrzahl von Laserdiodenbarren umgewandelt werden soll.
- Es kann dabei vorgesehen sein, dass durch die Eintrittsfläche und die Austrittsfläche des mindestens einen Substrats ein Galilei-Teleskop beziehungsweise eine Mehrzahl von Galilei-Teleskopen gebildet wird. Dadurch kann erreicht werden, dass bei entsprechend gewählter Verkleinerung des Teleskops eine Mehrzahl von Teilstrahlen erzeugt werden, die die Divergenz der eintretenden Laserstrahlung beibehalten.
- Es kann vorgesehen sein, dass die Linsen des mindestens einen Linsenarrays Zylinderlinsen sind.
- Weiterhin kann vorgesehen sein, dass die Eintrittsfläche und/oder die Austrittsfläche mindestens zwei unterschiedliche Segmente aufweisen, wobei die Zylinderachsen der Linsen in einem ersten der Segmente unterschiedlich zu den Zylinderachsen der Linsen in einem zweiten der Segmente ausgerichtet sind. Durch die unterschiedlichen Segmente mit unterschiedlichen Ausrichtungen der Zylinderachsen kann eine bessere Auffüllung einer Lichtleitfaser erreicht werden.
- Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigen
-
1 ein Vergleich eines beispielhaften Profils eines Laserstrahls vor und nach dem Hindurchtritt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung, wobei die Intensität in willkürlichen Einheiten gegen den Radius in willkürlichen Einheiten aufgetragen ist; -
2 eine beispielhafte Darstellung einer Intensitätsverteilung eines meridionalen Strahls in einer Lichtleitfaser; -
3 eine beispielhafte Darstellung einer Intensitätsverteilung eines sagittalen Strahls in einer Lichtleitfaser; -
4 eine beispielhafte Darstellung einer Intensitätsverteilung eines anderen sagittalen Strahls in einer Lichtleitfaser; -
5 eine dreidimensionale Darstellung eines typischen M-Profils einer Laserstrahls, wobei die Lichtintensität vertikal gegen den Radius in zwei zueinander senkrechten Richtungen aufgetragen ist; -
6 eine Seitenansicht einer ersten Ausführungsform von Separiermitteln einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; -
7 schematisch die Aufteilung eines Laserstrahls durch die Separiermittel gemäß6 ; -
8 eine Seitenansicht einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit den Separiermitteln gemäß6 ; -
9 die von der Vorrichtung gemäß8 auf der Eintrittsfläche einer Lichtleitfaser erzeugte Intensitätsverteilung; -
10 die Intensitätsverteilung gemäß9 nach Hindurchtritt des Laserlichts durch die Lichtleitfaser; -
11 eine Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit beispielhaften Strahlengängen; -
12 eine schematische Ansicht gemäß dem Pfeil XII in11 ; -
13 eine12 entsprechende Ansicht auf eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; -
14 schematisch die Separierung des Laserstrahls durch die dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; -
15 ein Detail der in14 dargestellten Separierung; -
16 die Überlagerung der Intensitätsprofile der nach der Separierung auf die Eintrittsfläche der Lichtleitfaser auftreffenden Anteile der Laserstrahlung. - In den Figuren sind gleiche und funktional gleiche Teile, Strahlen oder Pfeile mit gleichen Bezugszeichen versehen.
- Die durchgezogene Kurve
1 in1 zeigt ein Beispiel für das Intensitätsprofil von Laserstrahlung, die beispielsweise von einem Laserdiodenbarren ausgeht und mit einer typischen Optik kollimiert wurde. Ein derartiges Intensitätsprofil weist in der Mitte der Laserstrahlung ein Maximum2 auf, wohingegen die Intensität von der Mitte zu den Rändern hin abfällt. - Die gestrichelte Kurve
3 in1 zeigt demgegenüber ein Intensitätsprofil, das aus der Laserstrahlung gemäß der durchgezogenen Kurve1 nach Hindurchtritt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung erzeugt werden kann. Das durch die gestrichelte Kurve3 verdeutlichte Intensitätsprofil ist ein Beispiel für ein M-Profil. Das M-Profil weist in der Mitte des Strahls ein lokales Minimum4 auf, wohingegen außerhalb der Mitte Maxima5 der Intensität vorhanden sind. Beispielsweise ist ein derartiges M-Profil rotationssymmetrisch zur Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls oder der Laserstrahlung. -
2 verdeutlicht einen sogenannten meridionalen Strahl beziehungsweise eine sogenannte meridionale Mode in einer Lichtleitfaser. Eine meridionale Mode hat ein deutliches Intensitätsmaximum6 auf der Längsachse der Lichtleitfaser. Die3 und4 zeigen sogenannte sagittale Strahlen beziehungsweise sogenannte sagittale Moden, die im Bereich der Längsachse der Lichtleitfaser jeweils ein Intensitätsminimum7 aufweisen. - Wenn am Ausgang einer Lichtleitfaser ein Laserstrahl mit einem M-Profil austreten soll, sollten somit der oder die in die Lichtleitfaser eintretenden Strahlen möglichst nur zu sagittalen Moden führen oder eventuelle meridionale Moden in sagittale Moden überführen können.
5 zeigt ein Beispiel eines Laserstrahls mit einem M-Profil am Ausgang einer Lichtleitfaser. Das tiefe lokale Minimum8 im Zentrum des Laserstrahls ist deutlich ersichtlich. -
6 zeigt eine erste Ausführungsform von Separiermitteln9 einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Die Separiermittel9 werden durch ein transparentes Substrat10 gebildet, das eine Eintrittsfläche11 und eine Austrittsfläche12 für den Laserstrahl oder die Laserstrahlung aufweist. - Auf der Eintrittsfläche
11 ist eine konvexe Linse13 , insbesondere eine konvexe Zylinderlinse mit sich in die Zeichenebene der6 hineinerstreckender Zylinderachse ausgebildet. Die Linse13 ist durch einen Kreisbogen gebildet, dessen Radius durch den Pfeil14 und dessen Ursprung durch den Punkt15 angedeutet ist. - Auf der Austrittsfläche
12 ist ein Linsenarray16 mit zwei konkaven Linsen17a ,17b , insbesondere zwei konkaven Zylinderlinsen mit sich in die Zeichenebene der6 hineinerstreckenden Zylinderachsen ausgebildet. Die Linsen17a ,17b sind jeweils durch einen Kreisbogen gebildet, deren Radien durch die Pfeile18a ,18b und deren Ursprünge durch die Punkte19a ,19b angedeutet sind. Die Ursprünge der Kreisbögen zu den Linsen17a ,17b sind in einer Richtung senkrecht zur optischen Achse20 beabstandet zueinander. - Die Tiefe T des Substrats
10 (siehe6 ) kann beispielsweise 2,127 mm betragen. Der Radius der konvexen Linse13 kann beispielsweise 2,0575 mm groß sein. Die Radien der konkaven Linsen17a ,17b können jeweils 1,097 mm groß sein. Der Abstand zwischen den Ursprüngen der Radien der konkaven Linsen17a ,17b beträgt 0,2 mm in einer Richtung, die sich in6 von oben nach unten erstreckt. -
7 zeigt, wie Laserstrahlung21 durch die Separiermittel9 in zwei Teilstrahlen22 ,23 aufgespalten wird, die sich auseinander bewegen. - Die Separiermittel
9 sind insbesondere für die von einem Laserdiodenbarren ausgehende Laserstrahlung geeignet. -
8 zeigt eine mit den Separiermitteln9 aufgebaute erfindungsgemäße Vorrichtung. Die Vorrichtung kann die Laserstrahlung eines Laserdiodenbarrens24 in eine Lichtleitfaser25 einbringen, die beispielsweise 50 mm lang ist. Die Lichtleitfaser25 kann auch länger oder kürzer sein. Dazu umfasst die Vorrichtung Optikmittel26 , die die beiden aus den Separiermitteln9 austretenden Teilstrahlen auf die Eintrittsfläche der Lichtleitfaser25 fokussieren können. Die Optikmittel26 weisen zueinander gekreuzte, als Fokussiermittel dienende Zylinderlinsen27 ,28 ,29 auf. Zusätzlich oder an Stelle dieser als Fokussierlinsen dienenden Zylinderlinsen27 ,28 ,29 können als Homogenisatormittel dienende Linsenarrays vorgesehen sein. -
8 zeigt dabei den Laserdiodenbarren24 und eine Optik30 zur Kollimierung und gegebenenfalls Drehung der von den einzelnen Emittern des Laserdiodenbarrens ausgehenden Laserstrahlung. Eine vergleichbare Optik ist in derEP 1 006 382 A1 beschrieben und wird hiermit durch Bezugnahme zum Teil der vorliegenden Offenbarung gemacht. - Auf die Eintrittsfläche der Lichtleitfaser werden durch die Optikmittel
26 zwei zueinander beabstandete Streifen31 der Laserstrahlung aufgebracht. Nach Hindurchtritt durch die Lichtleitfaser25 entsteht am Ausgang der Lichtleitfaser25 ein Laserstrahl mit einem M-Profil32 , das ersichtlich in der Mitte des Laserstrahls ein Intensitätsminimum33 aufweist. - Die aus
11 ersichtliche Vorrichtung ist zur Einbringung von Laserlicht, das von mehr als einem Laserdiodenbarren, beispielsweise von fünf oder zehn Laserdiodenbarren ausgeht, in eine Lichtleitfaser geeignet. Die Vorrichtung umfasst Separiermittel34 , die durch ein transparentes Substrat35 gebildet werden, das eine Eintrittsfläche36 und eine Austrittsfläche37 für die Laserstrahlung aufweist. Weiterhin umfasst die Vorrichtung Optikmittel38 , die insbesondere zur Homogenisierung der Laserstrahlung dienen. - Auf der Eintrittsfläche
36 ist ein erstes Linsenarray39 mit konkaven Linsen40 , insbesondere konkaven Zylinderlinsen mit sich in die Zeichenebene der11 hineinerstreckender Zylinderachsen ausgebildet. Auf der Austrittsfläche37 ist ein zweites Linsenarray41 mit konvexen Linsen42 , insbesondere konvexen Zylinderlinsen mit sich in die Zeichenebene der11 hineinerstreckenden Zylinderachsen ausgebildet. Es ist jeweils eine Linse40 des ersten Linsenarrays39 gegenüber einer Linse42 des zweiten Linsenarrays41 angeordnet. - Die Tiefe T des Substrats
35 (siehe11 ) kann beispielsweise etwa 5 mm betragen. Insbesondere kann die Tiefe T des Substrats zwischen der Eintrittsfläche und der Austrittsfläche durch folgende Gleichung gegeben sein:T = |f1 – f2|·n 40 des ersten Linsenarrays39 , f2 die Brennweite der Linsen42 des zweiten Linsenarrays41 und n der Brechungsindex des mindestens einen Substrats35 ist. - Insgesamt bilden die einzelnen über die Tiefe T des Substrats
35 einander gegenüberliegenden Linsen40 ,42 eine Mehrzahl von Galilei-Teleskopen. Dabei beträgt die Vergrößerung beim Durchgang des Lichts von links nach rechts in11 etwa zwischen 0,7 und 0,9. - Es findet also eine Verkleinerung des Querschnitts statt, die dazu führt, dass die beispielhaft in
11 eingezeichnete, von links eintretende Laserstrahlung21 nach dem Hindurchtritt durch die Separiermittel34 in zwei Teilstrahlen22 ,23 aufgespalten ist. - Die Optikmittel
38 umfassen zwei zueinander beabstandete Substrate43 ,44 , auf denen jeweils ein Linsenarray45 ,46 aus Linsen47 ,48 , vorzugsweise aus Zylinderlinsen vorgesehen ist. Dabei erstrecken sich die Zylinderachsen der Linsen47 ,48 in die Zeichenebene der11 hinein. Die Linsenarrays45 ,46 sind in einem Abstand zueinander angeordnet, der gleich der Brennweite der Linsen48 des Linsenarrays46 ist. Die Linsenarrays45 ,46 wirken somit in bekannter Weise als Homogenisatormittel. - Am Ausgang der von den Linsenarrays
45 ,46 gebildeten Homogenisatormittel soll die Laserstrahlung vergleichsweise dicht gepackt sein, um möglichst viel Helligkeit beispielsweise in eine Lichtleitfaser einbringen zu können. Dazu sollte die Brennweite der Linsen48 des Linsenarrays46 kleiner als der Quotient aus dem Pitch (Mittenabstand) der Linsen40 des ersten Linsenarrays39 und der Divergenz der eintretenden Laserstrahlung21 sein. - Beispielsweise kann die Divergenz der eintretenden Laserstrahlung
21 ungefähr gleich 0,01 rad sein. Weiterhin kann der Pitch der Linsen40 des ersten Linsenarrays39 etwa gleich 1 mm sein. Dann sollte die Brennweite der Linsen48 des Linsenarrays46 ungefähr zwischen 70 mm und 100 mm groß sein. - Der Abstand zwischen dem Substrat
35 und dem Substrat43 kann etwa gleich dem Doppelten des Pitches sein, also etwa 1 mm bis 3 mm betragen. - Es besteht durchaus die Möglichkeit, dass die Optikmittel
38 hinter den als Homogenisatormitteln dienenden Linsenarrays45 ,46 oder auch an Stelle der als Homogenisatormitteln dienenden Linsenarrays45 ,46 Fokussiermittel aufweisen, wie beispielsweise die als Fokussiermittel dienenden Zylinderlinsen27 ,28 ,29 gemäß8 . - Die Eintrittsfläche
36 der Separiermittel34 kann so aussehen, wie dies in12 abgebildet ist. Dort ist die einfallende Laserstrahlung21 durch ein Rechteck angedeutet. - Es besteht aber gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auch die Möglichkeit, die Eintritts- und die Austrittsfläche der Separiermittel zu segmentieren, wie dies in
13 abgebildet ist. -
13 zeigt eine Ausführungsform, bei der die Eintrittsfläche49 und die nicht abgebildete Austrittsfläche der Separiermittel50 in acht Segmente unterteilt ist. Auf jedem dieser Segmente der Eintrittsfläche49 und der Austrittsfläche ist jeweils ein Linsenarray51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h von Linsen52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h angeordnet, die vorzugsweise als Zylinderlinsen ausgebildet sind. Dabei können die Linsen52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h der Eintrittsfläche und die nicht abgebildeten Linsen der Austrittsfläche wie diejenigen der11 ausgebildet und zueinander beabstandet sein. - Die Zylinderachsen benachbarter Linsen
52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h schließen dabei jeweils einen Winkel von α = 45° miteinander ein. Durch derart segmentierte Separiermittel50 lässt sich die Laserstrahlung einer größeren Anzahl von Laserdiodenbarren in ein und die selbe Lichtleitfaser einbringen. Auch in13 ist die einfallende Laserstrahlung21 durch ein Rechteck, insbesondere ein Quadrat angedeutet. Die Seiten dieses Quadrats schließen mit den Zylinderachsen der Linsen52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h jeweils einen Winkel von β = 67,5° ein. - Es besteht durchaus die Möglichkeit, mehr oder weniger als acht Segmente vorzusehen. Es besteht auch die Möglichkeit, den Winkel β zwischen den Seiten des Quadrats, das der einfallenden Laserstrahlung
21 entspricht und den Zylinderachsen der Linsen52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h anders vorzusehen. Beispielsweise könnte der Winkel β auch 0° und/oder 45° und/oder 90° sein. -
14 verdeutlicht schematisch, wie durch die Segmentierung hinter den Separiermitteln50 eine Mehrzahl von Teilstrahlen22a ,22b ,22c ,22d ,22e ,22f ,22g ,22h ,23a ,23b ,23c ,23d ,23e ,23f ,23g ,23h entstehen.15 zeigt die von den Linsenarrays51a eines Segments gebildeten Teilstrahlen22a ,22b , die auf die Eintrittsfläche53 einer Lichtleitfaser auftreffen. -
16 verdeutlicht die Überlagerung sämtlicher Teilstrahlen22a ,22b ,22c ,22d ,22e ,22f ,22g ,22h ,23a ,23b ,23c ,23d ,23e ,23f ,23g ,23h auf der Eintrittsfläche53 der Lichtleitfaser. Dabei ist außen angedeutet, wie in den einzelnen Teilen53a ,53b ,53c ,53d ,53e ,53f ,53g ,53h der Eintrittsfläche53 die Teilstrahlen22a ,22b ,22c ,22d ,22e ,22f ,22g ,22h ,23a ,23b ,23c ,23d ,23e ,23f ,23g ,23h zu der Intensitätsverteilung beitragen. Es ist deutlich ersichtlich, dass bereits auf der Eintrittsfläche53 der Lichtleitfaser eine Intensitätsverteilung entsteht, die einem M-Profil entspricht. Insbesondere ist das Minimum54 in der Mitte der Eintrittsfläche53 deutlich ersichtlich. - Nach Hindurchtritt durch die Lichtleitfaser kann dieses M-Profil noch homogener sein.
Claims (12)
- Vorrichtung zur Umwandlung von Laserstrahlung (
21 ) in Laserstrahlung mit einem M-Profil, umfassend – Separiermittel (9 ,34 ,50 ), die im Betrieb der Vorrichtung die Laserstrahlung (21 ) in mindestens zwei Teilstrahlen (22 ;22a ,22b ,22c ,22d ,22e ,22f ,22g ,22h ;23 ;23a ,23b ,23c ,23d ,23e ,23f ,23g ,23h ) separieren, die sich zumindest abschnittsweise oder teilweise in unterschiedliche Richtungen bewegen oder versetzt zueinander angeordnet sind, wobei die Separiermittel (9 ,34 ,50 ) mindestens ein Linsenarray (16 ;39 ;41 ;51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h ) mit mindestens zwei Linsen (17a ,17b ;40 ;42 ;52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h ) umfassen, – eine Lichtleitfaser (25 ), sowie – Optikmittel (26 ,38 ), die im Betrieb der Vorrichtung die mindestens zwei Teilstrahlen (22 ;22a ,22b ,22c ,22d ,22e ,22f ,22g ,22h ;23 ;23a ,23b ,23c ,23d ,23e ,23f ,23g ,23h ) in eine Eintrittsfläche (53 ) der Lichtleitfaser (25 ) einbringen und/oder die mindestens zwei Teilstrahlen (22 ;22a ,22b ,22c ,22d ,22e ,22f ,22g ,22h ;23 ;23a ,23b ,23c ,23d ,23e ,23f ,23g ,23h ) in der Eintrittsfläche (53 ) der Lichtleitfaser (25 ) zumindest abschnittsweise überlagern, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung derart gestaltet ist, dass im Betrieb der Vorrichtung die mindestens zwei Teilstrahlen (22 ;22a ,22b ,22c ,22d ,22e ,22f ,22g ,22h ;23 ;23a ,23b ,23c ,23d ,23e ,23f ,23g ,23h ) zumindest teilweise so in die Lichtleitfaser (25 ) eintreten, dass sich am Ausgang der Lichtleitfaser (25 ) eine Laserstrahlung mit einem M-Profil ergibt. - Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Separiermittel (
9 ,34 ,50 ) mindestens ein Substrat (10 ,35 ) umfassen, das zumindest teilweise transparent ist und eine Eintrittsfläche (11 ,36 ,49 ) sowie eine Austrittsfläche (12 ,37 ) für die Laserstrahlung (21 ) aufweist, wobei auf der Eintrittsfläche (11 ,36 ,49 ) und/oder der Austrittsfläche (12 ,37 ) das mindestens eine Linsenarray (16 ;39 ;41 ;51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h ) angeordnet ist. - Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass – entweder auf der Eintrittsfläche (
11 ) des mindestens einen Substrats (10 ) das mindestens eine Linsenarray und auf der Austrittsfläche (12 ) des mindestens einen Substrats (10 ) eine plane Fläche oder eine einzelne Linse vorgesehen ist, – oder dass auf der Austrittsfläche (12 ) des mindestens einen Substrats (10 ) das mindestens eine Linsenarray (16 ) und auf der Eintrittsfläche (11 ) des mindestens einen Substrats (10 ) eine plane Fläche oder eine einzelne Linse (13 ) vorgesehen ist. - Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Linsenarray (
16 ) konkave Linsen (17a ,17b ) aufweist und auf der Austrittsfläche (12 ) des mindestens einen Substrats (10 ) angeordnet ist und dass auf der Eintrittsfläche (11 ) des mindestens einen Substrats (10 ) eine einzelne konvexe Linse (13 ) vorgesehen ist. - Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Separiermittel (
34 ,50 ) mindestens ein erstes Linsenarray (39 ;51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h ) und mindestens ein zweites Linsenarray (41 ) mit jeweils mindestens zwei Linsen (40 ;42 ;52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h ) umfassen, wobei auf der Eintrittsfläche (36 ,49 ) des mindestens einen Substrats das mindestens eine erste Linsenarray (39 ;51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h ) und auf der Austrittsfläche (37 ) des mindestens einen Substrats (35 ) das mindestens eine zweite Linsenarray (41 ) angeordnet ist. - Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine erste Linsenarray (
39 ;51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h ) konkave Linsen (40 ;52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h ) aufweist und dass das mindestens eine zweite Linsenarray (41 ) konvexe Linsen (42 ) aufweist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Tiefe (T) des Substrats (
35 ) zwischen der Eintrittsfläche (36 ,49 ) und der Austrittsfläche (37 ) durch folgende Gleichung gegeben ist:T = |f1 – f2|·n 40 ;52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h ) des mindestens einen ersten Linsenarrays (39 ;51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h ), f2 die Brennweite der Linsen (42 ) des mindestens einen zweiten Linsenarrays (41 ) und n der Brechungsindex des mindestens einen Substrats (35 ) ist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Eintrittsfläche (
11 ,36 ,49 ) und die Austrittsfläche (12 ,37 ) des mindestens einen Substrats (10 ,35 ) ein Galilei-Teleskop beziehungsweise eine Mehrzahl von Galilei-Teleskopen gebildet wird. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Linsen (
17a ,17b ;40 ;42 ;52a ,52b ,52c ,52d ,52e ,52f ,52g ,52h ) des mindestens einen Linsenarrays (16 ;39 ;41 ;51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h ) Zylinderlinsen sind. - Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Eintrittsfläche (
49 ) und/oder die Austrittsfläche mindestens zwei unterschiedliche Segmente aufweisen, wobei die Zylinderachsen der Linsen (51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h ) in einem ersten der Segmente unterschiedlich zu den Zylinderachsen der Linsen (51a ,51b ,51c ,51d ,51e ,51f ,51g ,51h ) in einem zweiten der Segmente ausgerichtet sind. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Optikmittel (
38 ) Homogenisiermittel umfassen. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Optikmittel (
26 ) Fokussiermittel umfassen, die im Betreib der Vorrichtung die mindestens zwei Teilstrahlen (22 ;22a ,22b ,22c ,22d ,22e ,22f ,22g ,22h ;23 ;23a ,23b ,23c ,23d ,23e ,23f ,23g ,23h ) auf die Eintrittsfläche (53 ) der Lichtleitfaser (25 ) ablenken und/oder fokussieren.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010053781.0A DE102010053781B4 (de) | 2010-12-08 | 2010-12-08 | Vorrichtung zur Umwandlung von Laserstrahlung in Laserstrahlung mit einem M-Profil |
PCT/EP2011/072203 WO2012076651A1 (de) | 2010-12-08 | 2011-12-08 | Vorrichtung zur umwandlung von laserstrahlung in laserstrahlung mit einem m-profil |
US13/992,234 US9448410B2 (en) | 2010-12-08 | 2011-12-08 | Device for converting laser radiation into laser radiation having an M profile |
KR1020137014796A KR101873194B1 (ko) | 2010-12-08 | 2011-12-08 | 레이저 방사선을 m-프로파일을 갖는 레이저 방사선으로 변환하는 장치 |
JP2013542543A JP5916751B2 (ja) | 2010-12-08 | 2011-12-08 | 強度分布が中央において最大となるレーザビームをmプロファイルを有するレーザビームに変換するための装置 |
CN201180064417.9A CN103299219B (zh) | 2010-12-08 | 2011-12-08 | 用于将激光辐射转换成带有m形轮廓的激光辐射的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010053781.0A DE102010053781B4 (de) | 2010-12-08 | 2010-12-08 | Vorrichtung zur Umwandlung von Laserstrahlung in Laserstrahlung mit einem M-Profil |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102010053781A1 DE102010053781A1 (de) | 2012-06-14 |
DE102010053781B4 true DE102010053781B4 (de) | 2018-03-01 |
Family
ID=45491530
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102010053781.0A Active DE102010053781B4 (de) | 2010-12-08 | 2010-12-08 | Vorrichtung zur Umwandlung von Laserstrahlung in Laserstrahlung mit einem M-Profil |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9448410B2 (de) |
JP (1) | JP5916751B2 (de) |
KR (1) | KR101873194B1 (de) |
CN (1) | CN103299219B (de) |
DE (1) | DE102010053781B4 (de) |
WO (1) | WO2012076651A1 (de) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012012992A1 (de) * | 2012-06-29 | 2014-01-02 | Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg | Laservorrichtung sowie Vorrichtung und Verfahren zur Formung von Laserstrahlung |
EP2708935A1 (de) * | 2012-09-13 | 2014-03-19 | Fisba Optik Ag | Strahltransformationselement, Vorrichtung zur Transformation von elektromagnetischer Strahlung, Verfahren zur Herstellung eines Strahltransformationselements und Verfahren zur Transformation einer elektromagnetischen Emission |
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WO2015197811A1 (en) | 2014-06-26 | 2015-12-30 | Shell Internationale Research Maatschappij B.V. | Coating method and coated substrate |
EP3226064B1 (de) | 2016-03-31 | 2018-10-24 | Fisba AG | Vorrichtung und verfahren zur erzeugung eines lichtstrahls |
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TW200921007A (en) | 2007-11-15 | 2009-05-16 | Prodisc Technology Inc | An optics for reshaping the light shape and a light module for the same |
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-
2010
- 2010-12-08 DE DE102010053781.0A patent/DE102010053781B4/de active Active
-
2011
- 2011-12-08 JP JP2013542543A patent/JP5916751B2/ja active Active
- 2011-12-08 WO PCT/EP2011/072203 patent/WO2012076651A1/de active Application Filing
- 2011-12-08 US US13/992,234 patent/US9448410B2/en active Active
- 2011-12-08 CN CN201180064417.9A patent/CN103299219B/zh active Active
- 2011-12-08 KR KR1020137014796A patent/KR101873194B1/ko active IP Right Grant
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EP1447993A1 (de) | 2003-02-12 | 2004-08-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Optisches Beleuchtungssystem und optisches Projektionsanzeigesystem |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102010053781A1 (de) | 2012-06-14 |
KR101873194B1 (ko) | 2018-08-02 |
WO2012076651A1 (de) | 2012-06-14 |
KR20130124955A (ko) | 2013-11-15 |
CN103299219A (zh) | 2013-09-11 |
US9448410B2 (en) | 2016-09-20 |
JP2014505269A (ja) | 2014-02-27 |
US20130271830A1 (en) | 2013-10-17 |
CN103299219B (zh) | 2015-09-23 |
JP5916751B2 (ja) | 2016-05-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R163 | Identified publications notified | ||
R082 | Change of representative |
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|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: LIMO GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: LIMO PATENTVERWALTUNG GMBH & CO. KG, 36419 GERSTENGRUND, DE Effective date: 20120531 Owner name: LIMO PATENTVERWALTUNG GMBH & CO. KG, DE Free format text: FORMER OWNER: LIMO PATENTVERWALTUNG GMBH & CO. KG, 36419 GERSTENGRUND, DE Effective date: 20120531 |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: FRITZ PATENT- UND RECHTSANWAELTE PARTNERSCHAFT, DE Effective date: 20120531 Representative=s name: FRITZ PATENT- UND RECHTSANWAELTE, DE Effective date: 20120531 |
|
R012 | Request for examination validly filed |
Effective date: 20130614 |
|
R084 | Declaration of willingness to licence | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: LIMO GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: LIMO PATENTVERWALTUNG GMBH & CO. KG, 44319 DORTMUND, DE |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: FRITZ PATENT- UND RECHTSANWAELTE PARTNERSCHAFT, DE |
|
R020 | Patent grant now final |