KR20040101666A - 초임계 세정장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 초임계 유체를 이용하여 반도체 웨이퍼 등을 세정하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 저압의 세정조 내에서 노즐을 통해 초임계 상태의 세정매체를 피세정물로 분사하여 세정을 실시하며 세정도중 노즐과 피세정물의 간격을 조절하여 세정매체의 상변이를 촉진하고 세정매체의 충격력을 효과적으로 이용하여 세정 효율을 향상시킨다. 또한, 피세정물을 세정한 세정매체는 저압의 세정조 내에서 감압되어 기화되면서 오염물과 분리되고, 오염물과 별도의 배출구를 통해 회수되어 재사용된다.

Description

초임계 세정장치 및 방법{Apparatus and Method for Supercritical Cleaning}
본 발명은 초임계 유체를 이용하여 반도체 웨이퍼 등을 세정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
알려져 있는 바와 같이, 초임계 유체는 임계 온도와 압력 이상에 있는 유체로서 일반 기체나 액체와 상이한 물성을 나타낸다. 예를 들면, 초임계 유체는 확산력에 있어서는 기체와 비슷하여 표면장력이 0이므로 얇은 관이나 미세한 홈에 침투할 수 있으며, 또한 용해력에 있어서는 액체와 비슷하고 밀도가 높아 미세한 입자들을 용해시킬 수 있다.
예를 들어, 이산화탄소(CO2)의 경우 31℃, 73기압 이상의 초임계 상태에서기체의 침투력 및 액체의 용해성을 함께 지니게 된다. 이에 따라 다공성 물질이나 미세 패턴을 가진 물체를 세정하는데, 특히 반도체 분야의 세정에서 초임계 유체가 매우 유용하게 사용될 수 있다.
오토클레이브 엔지니어링 주식회사(Autoclave Engineerings, Ltd.)의 미국특허 5,355,901은 초임계 유체를 이용한 세정장치의 일 예를 개시하고 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 미국특허 5,355,901의 세정장치는 크게 세정조(16), 분리조(22), 저장조(10), 예열히터(14), 가압펌프(12), 및 응축기(26) 등을 포함하고 있다. 저장조(10)에 저장된 액체 이산화탄소는 가압펌프(12) 및 예열히터(14)에 의해 초임계 상태로 가압, 가열되어 세정조(16)로 공급된다. 고압 용기로 된 세정조(16) 내에서 세정물에 부착된 오염물은 초임계 상태의 CO2에 용해되어 세정물로부터 분리되고, 세정이 완료되고 나면 오염물이 용해된 CO2는 분리조로 이송된다. 분리조(22)에서는 압력이 저하되면서 CO2가 초임계 상태에서 기체 상태로 변화된다. 이에 따라, 기체 상태의 CO2는 응축기(26)에서 액화되어 다시 저장조(10)로 복귀되고, 오염물은 분리조(22)의 하부를 통해 외부로 배출된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 초임계 세정장치는 세정이 이루어지는 세정조 내부를 임계압력 이상으로, 통상적으로는 200기압 정도로 유지해야 하므로 고압용기가 필요하다. 이에 따라, 기밀성 문제등 고압으로 인한 기술상의 문제 및 위험성이 있고, 장비 가격이 비싸며, 많은 가압 및 감압에 많은 시간이 소요되어 세정효율이 낮은 단점이 있다.
한편, 휴즈항공사(Hughes Aircraft Company)의 미국특허5,482,211은 압력 용기를 사용하지 않고 노즐을 통해 초임계 유체를 세정물로 분사하여 세정하는 기술을 개시하고 있다. 그러나, 이 특허에 개시된 장치는 고압용기가 필요없는 장점은 있으나 분사된 다음 기체 상태로 변화되는 CO2가 대기 중으로 사라져버리기 때문에 CO2를 재사용할 수 없는 단점이 있다.
본 발명의 목적은 고압용기를 사용하지 않으면서도 세정매체를 재사용할 수 있는 초임계 세정장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 신속하고도 우수한 세정 성능을 가지는 초임계 세정장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또다른 목적은 상술한 목적들을 달성할 수 있는 초임계 세정방법을 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초임계 세정장치의 구성을 도시한 블록도.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 초임계 세정장치에서 초임계 유체를 분사하는데 사용되는 노즐의 일 예를 도시한 도면.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 초임계 세정장치에서 초임계 유체를 분사하는데 사용되는 노즐의 다른 예를 도시한 도면.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 초임계 세정장치에서 초임계 유체를 분사하는데 사용되는 노즐의 또다른 예를 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 초임계 세정장치에서 노즐과 세정물 사이의 거리를 변화시키기 위한 간격조정기구의 구성을 도시한 단면도.
도 6은 노즐로부터의 거리에 따른 세정매체의 압력 변화 및 이에 따른 상변화를 도시한 그래프.
도 7은 노즐로부터 분사된 후 시간의 경과에 따른 세정매체의 압력 변화 및 이에 따른 상변화를 도시한 그래프.
도 8은 종래의 초임계 세정장치의 일 예를 도시한 블록도.
*도면의 주요한 부호에 대한 설명 *
110 : 저장조 120 : 변환기구
130 : 세정조 132 : 세정매체 배출구(급속배기밸브)
140 : 노즐 150 : 스핀척
151 : 스핀척의 회전축 152 : 모터
160 : 응축기 172 : 혼합탱크
174 : 공용매 저장조 180 : 간격조정기구(액츄에이터)
182 : 샤프트 184 : 베어링
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 초임계 세정장치는 액상의 세정매체를 저장하는 저장조; 가압 펌프와 히터를 가지며, 저장조로부터 공급되는 세정매체를 초임계 상태로 변화시키는 변환기구; 피세정물을 지지하는 지지기구; 변환기구에 의해 공급되는 초임계 세정매체를 피세정물의 표면으로 분사하기 위한 노즐; 노즐과 피세정물이 지지된 지지기구를 기밀적으로 수용하며, 피세정물을 세정한 다음 기화되는 세정매체를 배출하기 위한 세정매체 배출구와, 기화된 세정매체로부터 분리된 오염물을 배출하기 위한 오염물 배출구를 가지는 세정조; 세정매체 배출구를 통해 세정조로부터 배출되는 세정매체를 응축시켜 저장조로 공급하는 응축기를 포함한다. 바람직하게는, 지지기구는 스핀척이다. 이에 따르면, 피세정물의 세정 및 세정매체와 오염물의 분리가 저압의 세정조 내에서 이루어지게 되므로 고압의 용기가 없이 저렴하고 간단하게 초임계 세정장치를 구성할 수 있다.
본 발명의 다른 목적은 상기의 구성에 노즐과 피세정물의 간격을 조절하기 위한 조절기구를 더 포함하는 초임계 세정장치에 의해 달성될 수 있다. 간격조절기구는 스핀척을 상하이동시키는 액츄에이터로서, 액츄에이터는 그 샤프트가 스핀척의 회전축 하단에 베어링을 통해 연결된 실린더고, 스핀척의 회전축에 스플라인 결합된 풀리와 벨트 연결된 모터에 의해 스핀척으로 회전력이 전달된다. 대안적으로, 간격조절기구는 노즐을 상하이동시키도록 구성될 수도 있다. 이에 따르면, 세정 도중 노즐과 피세정물의 간격이 소정 패턴으로 조정되는 것에 의해 세정매체의 상변이가 촉진되고 세정매체의 충격력을 효과적으로 이용할 수 있어 세정 시간이 단축되고 세정 효율이 향상될 수 있다.
상술한 구성들의 세정장치에 있어서, 바람직하게는 노즐은 디퓨저 형상을 가진다. 더 바람직하게는, 노즐은 피세정물의 면적보다 크거나 같은 분사 면적을 가진다.
또한, 세정매체 배출구는 세성조의 상면에 설치되는 하나 이상의 급속배기밸브를 가진다.
또한, 본 발명에 따른 세정장치는 변환기구로부터 상기 노즐로 공급되는 초임계 세정매체에 공용매를 첨가하기 위한 공용매 첨가부를 더 포함할 수도 있다. 공용매 첨가부는 변환기구로부터 노즐로 세정매체를 공급하는 라인상에 설치되는 혼합탱크와, 혼합탱크로 공용매를 공급하기 위한 공용매 저장조와, 공용매 저장조로부터 혼합탱크로 공급되는 공용매를 가압하기 위한 압축기를 가진다. 그리고, 세정 매체는 이산화탄소 또는 아르곤이다.
상기의 또다른 목적은, 세정매체를 초임계 상태로 변환시키고 이 초임계 세정매체를 이용하여 세정조 내의 피세정물을 세정한 다음 세정매체의 압력을 낮추는 것에 의해 오염물과 분리하여 회수하는 초임계 세정방법에 있어서, 세정조 내에서 노즐을 통해 세정매체를 피세정물로 분사하는 것에 의해 피세정물의 세정을 실시하는 것을 특징으로 하는 본 발명에 따른 초임계 세정방법에 의해 달성된다.
바람직하게는, 피세정물의 세정 도중 노즐과 피세정물의 간격을 소정 패턴으로 증감한다. 더욱 바람직하게는, 세정매체의 감압에 의한 세정매체와 오염물의 분리를 세정조 내에서 실시한다. 이에 따라, 피세정물의 세정 및 세정매체와 오염물의 분리가 저압의 세정조 내에서 이루어지게 되므로 고압의 용기가 없이 저렴하고 간단하게 초임계 세정장치를 구성할 수 있고, 세정 도중 노즐과 피세정물의 간격이 소정 패턴으로 조정되는 것에 의해 세정매체의 상변이가 촉진되고 세정매체의 충격력을 효과적으로 이용할 수 있어 세정 시간이 단축되고 세정 효율이 향상될 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초임계 세정장치의 구성을 도시한다. 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 초임계 세정장치는 저장조(110), 초임계 변환기구(120), 세정조(130), 노즐(140), 스핀척(150), 응축기(160)를 포함한다.
저장조(110)에는 액상의 세정매체가 저장된다. 본 실시예에서는 약 40기압, 0℃의 이산화탄소(CO2)가 저장조(110)에 저장된다. CO2의 온도를 유지하기 위해 저장조(110)는 냉각기(미도시)를 구비한다.
변환기구(120)는 압축기(122)와 히터(124)를 가지며, 저장조(110)로부터 공급되는 세정매체를 약 100기압, 40℃ 이상의 초임계 유체로 변환한다.
세정조(130)는 내부에 노즐(140)과 스핀척(150)을 수용한다. 스핀척(150)에 피세정물이 회전가능하게 지지되며, 변환기구(120)로부터 공급되는 초임계 세정매체는 노즐(140)을 통해 스핀척(150)에 지지된 피세정물로 분사된다.
변환기구(120)로부터 노즐(140)로 초임계 세정매체가 이송되는 도중 초임계 CO2에 공용매가 혼합될 수도 있다. 이를 위하여, 변환기구(120)로부터 노즐(140)로 이어지는 세정매체 이송관의 도중에 혼합탱크(172)가 설치되고, 공용매 저장조(174)에 저장되는 공용매가 가압펌프(176)를 통해 가압되어 혼합탱크(172)로 공급된다. 여기서, 공용매는 초임계 CO2의 오염물 용해력을 향상시키기 위한 것으로서, 통상의 공용매, 계면활성제, 또는 유기용매를 포함한다.
노즐(140)은 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 바닥면에 다수의 분사공이 형성된 대략 원뿔형의 디퓨저 형상으로 이루어진다. 이와 같이, 노즐(140)이 디퓨저 형태를 가짐으로써 노즐(140)로부터 분사되는 세정매체에 의한 피세정물의 손상이 최소화될 수 있다. 또한, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 원뿔형 대신 원통 형상으로 이루어진 노즐을 사용할 수도 있다. 대안적으로, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 하나의 분사공을 가진 통상의 형태를 가지는 노즐을 사용할 수도 있다. 바람직하게는, 노즐(140)의 면적은 피세정물의 면적보다 크거나 같다. 이에 따라 노즐(140)로부터 분사되는 세정매체가 피세정물의 전면에 균일한 압력으로 분사될 수 있다. 또한 바람직하게는, 노즐(140)로부터 초임계 세정매체가 분사될 때 초임계 세정매체가 급격하게 팽창되는 것에 의해 노즐(140)이 냉각되는 것을 방지하도록 노즐(140) 주위에 노즐(140)을 일정한 온도로 가열하기 위한 히터(미도시)가 구비된다. 도면에서 미설명 부호 142는 노즐을 개폐하는 밸브며, 도면처럼 별도의 밸브(142)를 사용하지 않고 노즐(140) 내에 내장된 토출밸브를 사용할 수도 있다.
노즐(140)로부터 분사되는 세정매체에 의해 세정되는 피세정물을 회전가능하게 지지하는 스핀척(150)은 간격조정기구(180)에 의해 상하이동가능하다. 도 5는 스핀척(150)과 간격조정기구(180)의 구성을 보다 구체적으로 도시한다.
도 5에 상세하게 도시된 바와 같이, 간격조정기구(180)는 스핀척(150)의 하부에서 스핀척(150)을 지지하는 액츄에이터(180)로서, 그 샤프트(182)의 상단이 베어링(184)을 통해 스핀척(150)의 회전축(151) 하단과 결합된다. 그리고,스핀척(150)에 회전을 위한 구동력을 제공하는 모터(152)는 스핀척(150)의 회전축(151) 근처에 설치되고 벨트풀리(154)를 통해 회전축(151)과 연결된다. 여기서, 회전축(151)에 설치되는 풀리(155)는 회전축(151)에 대해 스플라인 결합된다. 이에 따라, 모터(152)의 구동력은 벨트풀리(154)를 통해 회전축(151)으로 전달되고, 액츄에이터(180)의 샤프트(182)가 상하로 이동하는 것에 의해 스핀척은 상하이동된다. 액츄에이터(180)에 의해 스핀척(150)이 상하이동하는 것에 의해 노즐과 스핀척에 지지된 피세정물의 간격은 변화된다.
이러한 구성을 가지는 간격조정기구(180)는 노즐(140)과 피세정물의 간격을 조정하기 위한 것으로, 상술한 바와 같이 스핀척(150)을 상하이동시키는 대신 노즐(140)을 상하이동시키는 것에 의해서도 동일한 작용, 효과를 얻을 수 있다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 노즐(140)과 피세정물의 간격(d)을 변화시키 위해 도 5에 도시된 구체예에 한정되지 않고도 얼마든지 다양하게 구성할 수 있을 것이다.
세정조(130)의 일측 상단에는 세정매체 배출구(132)가 설치되며 이 배출구(132)는 이송관을 통해 응축기(160)로 연결된다. 세정매체 배출구(132)에는 세정매체를 신속하게 배출하여 세정조(130) 내부를 저압으로 유지하기 위한 급속배기밸브가 설치된다. 세정매체를 보다 신속하게 배출하도록 급속배기밸브는 다수개가 설치될 수 있다. 또한, 세정조(130)의 하부에는 세정매체에 의해 피세정물로부터 제거된 오염물과 공용매를 배출하기 위한 오염물 배출구(134)가 구비된다.
응축기(160)는 냉각기를 구비하며, 세정조(130)로부터 배출된 세정매체를 냉각하여 액상으로 변화시켜 다시 저장조(110)로 복귀시킨다. 바람직하게는, 응축기(160)에서 냉각된 액상의 세정매체를 저장조(110)에서 세정매체가 저장되는 압력인 약 40기압 근처로 가압하는 압축기(192)가 응축기(160)와 저장조(110) 사이에 구비된다.
이러한 구성을 가지는 본 발명에 따른 초임계 세정장치는 상술한 종래의 미국특허 5,355,901의 세정장치와 유사하게 저장조(110)로부터 공급되는 세정매체가 초임계 유체로 변환된 다음 세정조(130)에서 피세정물을 세정한 다음 오염물과 분리되어 다시 저장조(110)로 복귀되는 방식으로 피세정물을 세정한다. 그러나, 본 발명에 있어서 종래와 상이한 점은 초임계 유체가 세정조(130) 내에서 노즐(140)을 통해 피세정물로 분사되며, 또한 세정조(130) 내부에서 오염물과 분리되어 별도의 분리조가 필요없을 뿐만 아니라 세정조(130) 내부를 고압으로 유지할 필요가 없으므로 세정조(130)를 구조가 간단하고 저렴한 저압 용기를 사용할 수 있다는 점이다.
구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 초임계 세정장치의 작용, 즉 본 발명에 따른 초임계 세정방법은 다음과 같다.
저장조(110)에서 약 40기압, 0℃ 근처로 유지되는 세정매체, 즉 CO2는 변환기구(120)에서 약 100기압, 40℃ 이상의 초임계 유체로 변환된다. 그리고, 혼합탱크(172)에서 공용매와 혼합된 다음 세정조(130)로 공급되어 노즐(140)을 통해 스핀척(150)에 의해 회전지지되고 있는 피세정물로 분사된다.
도 6 및 도 7은 각각 노즐(140)로부터의 거리 및 분사된 다음의 시간의 경과에 따른 CO2의 상변화를 도시한 그래프다. 노즐(140)로부터 분사된 초임계 CO2는 짧은 시간동안 초임계 상태를 유지하고, 이후 액화된 다음 다시 기화된다. 이로 인해 확산력이 강한 초임계 상태에서 CO2는 피세정물에 침투하며, 이 상태에서는 표면장력이 없고 침투력이 강하므로 CO2는 피세정물의 미세한 홈으로 침투하여, 이 상태에서 간격(d)이 증가되면 CO2는 초임계상태에서 액상으로 변화되며 액상에서는 용해력이 더욱 증가되므로 오염물 입자를 용해시킨다. 이후 간격(d)을 더 증가시키거나 분사구의 압력을 변화시키면, CO2는 기상으로 변화되면서 부피가 팽창되어 오염물과 함께 피세정물의 미세한 홈 외부로 배출된 다음 원심력에 의해 세정물 외부로 밀려나오며, 이는 스핀척(150)의 회전에 의해 일어난다. 스핀척(150)은 대략 1000 내지 6000RPM으로 회전하며, 이에 따라 초임계 상태 또는 액상의 CO2와 오염물 입자가 피세정물로부터 분리된다.
이와 같이, 세정 도중 간격조정기구(180)에 의해 노즐(140)과 피세정물의 간격(d)을 반복적으로 증가 또는 감소시키는 것에 의해 CO2의 상변화를 촉진하고 CO2의 충격력을 더 효과적으로 이용하여 세정 효율을 향상시킬 수 있다. 간격조절 패턴과 시간 등은 피세정물과 세정 환경에 따라 달라질 수 있으므로 그에 맞추어 실험을 통해 결정한다.
스핀척(150)의 회전에 따른 원심력에 의해 오염물 입자를 용해한 상태로 피세정물 외부로 밀려나온 세정매체는 세정조(130) 내에서 감압되는 것에 의해 오염물과 분리된다. 분리된 기상의 세정매체는 급속배기밸브(132)를 통해 배출되어 응축기(160)에서 응축된 다음 저장조(110)로 회수되고, 오염물은 오염물 배출구(134)를 통해 외부로 배출되어 폐기된다.
정리하면, 초임계 세정매체는 세정조(130) 내에서 노즐(140)을 통해 피세정물로 분사되며, 이 과정에서 노즐(140)과 피세정물의 간격(d)을 소정 패턴으로 조정하는 것에 의해 세정 능력이 향상되고 세정 시간이 단축될 수 있다. 그리고, 세정매체는 저압의 세정조(130) 내에서 감압되어 오염물과 분리되어 오염물과 별도로 세정조 외부로 배출되고 응축기(160)에 의해 응축된 다음 저장조(110)로 회수된다.
상기된 바와 같이, 본 발명에 의하면 저압의 세정조 내에서 피세정물의 세정 및 오염물과 세정매체의 분리를 함께 수행할 수 있으므로, 고압의 용기 및 별도의 분리조를 사용하지 않으므로 장치의 구성이 매우 간단해지고 저렴하게 구성할 수 있으면서도 세정매체를 재사용할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면 세정 도중 노즐과 피세정물의 간격을 주기적으로 변화시키는 것에 의해 세정매체의 상변화를 촉진하고 세정매체의 충격력을 효과적으로 이용할 수 있어 세정 효율이 향상되고 세정에 소요되는 시간도 저감할 수 있다.
이상에서는, 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에만 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진자라면 이하의 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상에 근거하여 얼마든지 다양하게 변경실시하거나 일부 구성을 균등물로 치환할 수 있을 것이며, 이러한 변경 내지 균등물로의 치환은 본 발명의 권리범위 내에 속한다.

Claims (15)

  1. 액상의 세정매체를 저장하는 저장조;
    가압 펌프와 히터를 가지며, 상기 저장조로부터 공급되는 세정매체를 초임계 상태로 변화시키는 변환기구;
    피세정물을 지지하는 지지기구;
    상기 변환기구에 의해 공급되는 초임계 세정매체를 피세정물의 표면으로 분사하기 위한 노즐;
    상기 노즐과 피세정물이 지지된 지지기구를 기밀적으로 수용하며, 피세정물을 세정한 다음 기화되는 세정매체를 배출하기 위한 세정매체 배출구와, 기화된 세정매체로부터 분리된 오염물을 배출하기 위한 오염물 배출구를 가지는 세정조;
    상기 세정매체 배출구를 통해 세정조로부터 배출되는 세정매체를 응축시켜 저장조로 공급하는 응축기를 포함하는 초임계 세정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 지지기구는 스핀척인 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 노즐과 피세정물의 간격을 조절하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 간격 조절 수단은 상기 스핀척을 상하이동시키는 액츄에이터인 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 액츄에이터는 그 샤프트가 상기 스핀척의 회전축 하단에 베어링을 통해 연결된 실린더고, 상기 스핀척의 회전축에 스플라인 결합된 풀리와 벨트 연결된 모터에 의해 상기 스핀척으로 회전력이 전달되는 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 간격 조절 수단은 상기 노즐을 상하이동시키는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐은 디퓨저 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  8. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 노즐은 피세정물의 면적보다 크거나 같은 분사 면적을 가지는 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 세정매체 배출구는 상기 세정조의 상면에 설치되는 하나 이상의 급속배기밸브를 가지는 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 변환기구로부터 상기 노즐로 공급되는 초임계 세정매체에 공용매를 첨가하기 위한 공용매 첨가부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 공용매 첨가부는 상기 변환기구로부터 노즐로 세정매체를 공급하는 라인상에 설치되는 혼합탱크와, 상기 혼합탱크로 공용매를 공급하기 위한 공용매 저장조와, 상기 공용매 저장조로부터 혼합탱크로 공급되는 공용매를 가압하기 위한 압축기를 가지는 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  12. 제 1 항에 있어서, 세정 매체는 이산화탄소 또는 아르곤인 것을 특징으로 하는 초임계 세정장치.
  13. 세정매체를 초임계 상태로 변환시키고, 이 초임계 세정매체를 이용하여 세정조 내의 피세정물을 세정한 다음, 세정매체의 압력을 낮추는 것에 의해 오염물과 분리하여 회수하는 초임계 세정방법에 있어서,
    세정조 내에서 노즐을 통해 세정매체를 피세정물로 분사하는 것에 의해 피세정물의 세정을 실시하는 것을 특징으로 하는 초임계 세정방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 피세정물의 세정 도중 노즐과 피세정물의 간격을 소정 패턴으로 증감하는 것을 특징으로 하는 초임계 세정방법.
  15. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서, 세정매체의 감압에 의한 세정매체와 오염물의 분리를 세정조 내에서 실시하는 것을 특징으로 하는 초임계 세정방법.
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