KR20040088454A - 마크로 조명 장치 - Google Patents

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KR20040088454A KR10-2004-7001014A KR20047001014A KR20040088454A KR 20040088454 A KR20040088454 A KR 20040088454A KR 20047001014 A KR20047001014 A KR 20047001014A KR 20040088454 A KR20040088454 A KR 20040088454A
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Abstract

광원(23)과, 이 광원(23)으로부터 출력된 조명광을 수속시키는 프레넬 렌즈(24)와, 조명광을 산란시키거나 또는 그대로 통과시킬지의 절환을 실시하는 액정 산란판(25)과, 광화이버(26)의 출사단과 프레넬 렌즈(24)를 조명상자(22)에 수납하여 일체적으로 이동시켜 유리 기판(3) 면상의 마크로 조명 영역(W)을 이동시키는 조명 영역 이동 기구(28)를 구비하였다.

Description

마크로 조명 장치{MACRO ILLUMINATION APPARATUS}
도 16은 일본국 특원 2002-521961호(최선 기초 출원 번호 특원 2000-253924호, 최선 기초 출원일 2000년 8월 24일에 미공개)에 기재된 마크로 조명 장치의 구성도이다. 이 미공지의 장치 본체(1)의 내부에 홀더(2)가 마련되어 있다. 이 홀더(2)상에 LCD등의 FPD에 이용되는 유리 기판(3)이 보호 유지되어 있다. 이 유리 기판(3)은 대형의 FPD를 예를 들면 4면 모따기나 6면 모따기를 할 수 있는 1000mm를 넘는 크기의 것이 출현하고 있다. 홀더(2)는 중심부에서 회전 가능하게 지지되고, 이 지지부를 중심으로 하여 소정 각도의 범위에서 요동 또는 반전 가능하게 되어 있다.
장치 본체의 윗쪽에는 조명 광학계를 구성하는 복수개, 예를 들면 전후 좌우에 합계 4개의 각 조명 광원(4)이 마련되어 있다. 이들 조명 광원(4)에 대응하여 복수개, 예를 들면 전후 좌우에 합계 4개의 각 반사 미러(5)가 소정의 각도만 경사지게 배치되어 있다.
이들 반사 미러(5)의 반사 광로상에는 4분할된 각 집광광학계(6R, 6F)가 배치되어 있다. 이들 집광광학계(6R, 6F)는 제 1 및 제 2의 프레넬 렌즈(61, 62)로 이루어지고, 장치 본체(1)의 전후방향에 2열로 병설되어 있다.
장치 본체의 윗쪽에는 각 조명 광원(4, 8)이 각각 복수 배치되어 있다. 이들 조명 광원(4)으로부터 출력된 각 조명광은 각각 각 반사 미러(5)에서 반사되고, 4개의 각 집광광학계(6R, 6F)에 입사한다. 이들 집광광학계(6R, 6F)는 각 조명광을 각 수속광(收束光)(7)에 성형하고, 대형 유리 기판(3)의 전 영역에 균일하게 조사한다. 이것에 의하여, 유리 기판(3)은 각 수속광(7)에서 조명되고, 표면상의 흠집이나 더러운 것 등이 목시에 의하여 마크로 검사된다.
그렇지만, 예를 들면 4면 모따기나 6면 모따기용의 1000mm를 넘는 대형의 유리 기판(3)의 전면을 마크로 조명하려면 예를 들면 합계 4개의 각 조명 광원(4)과 각 집광광학계(6)를 필요로 한다. 또한, 유리 기판(3)의 대형화에 따라 각 조사 영역이 커지면, 조명 광학계의 광로가 길어진다. 이 때문에, 조명 광학계를 한정된 장치 본체(1)의 공간내에 배치하는 것이 곤란하게 된다.
각 조명 광원(4)과 각 집광광학계(6R, 6F)와의 사이에 각 반사 미러(5)를 배치할 필요가 있다. 이 때문에, 각 반사 미러(5)의 면적은 장치 본체(1)의 크기와의 관계 등으로부터 크게 할 수가 없다.
본 발명은 예를 들면 반도체 웨이퍼나 플랫 패널 디스플레이(이하, FPD라고 칭한다)의 유리 기판 등의 대상물의 마크로 검사시에 조명을 행하는 마크로 조명 장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 1의 실시 형태를 적용한 마크로 검사 장치의 외관 구성도이며,
도 2는 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 기본 개념의 구성도이며,
도 3은 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 1의 실시 형태를 도시한 구체적인 구성도이며,
도 4는 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 1의 실시 형태에 있어서의조명 영역 이동 기구를 윗쪽에서 본 구성도이며,
도 5는 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 1의 실시 형태에 있어서의4면 모따기의 유리 기판에 대한 마크로 조사 영역을 도시한 도면이며,
도 6은 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 1의 실시 형태에 있어서의6면 모따기의 유리 기판에 대한 마크로 조사 영역을 도시한 도면이며,
도 7은 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 2의 실시 형태에 있어서의조명상자의 구성도이며,
도 8은 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 3의 실시 형태에 있어서의조명상자의 구성도이며,
도 9는 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 4의 실시 형태에 있어서의조명상자의 구성도이며,
도 10은 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 5의 실시 형태에 있어서의광원군 및 조명상자의 구성도이며,
도 11은 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 5의 실시 형태에 있어서의변형예를 도시한 구성도이며,
도 12는 동 장치의 변형예에 있어서의 회전판상의 각 필터의 배치를 도시한 도면이며,
도 13은 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 5의 실시 형태에 있어서의 변형예를 도시한 구성도이며,
도 14는 동 장치의 변형예에 있어서의 회전판상의 ND필터를 도시한 도면이며,
도 15는 본 발명에 관련된 마크로 조명 장치의 제 6의 실시 형태를 도시한 구성도이며,
도 16은 종래의 마크로 조명 장치의 구성도이다.
본 발명의 주요한 관점에 의하면, 조명광을 출력하는 광원부와 광원부로부터 출력된 조명광을 수속(收束)시키는 수속 렌즈와 수속 렌즈로부터의 수속광을 산란시켜 대상물에 조사시키거나, 또는 수속 렌즈로부터의 수속광을 통과시켜 대상물에 조사시키는 수속·산란 전환부와, 적어도 광원과 수속 렌즈를 일체적으로 2차원 이동시켜, 대상물상에 있어서 산란광 또는 수속광에 의한 조명 영역을 이동하는 조명 영역 이동 기구를 구비한 마크로 조명 장치가 제공된다.
이하, 본 발명의 제 1의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.　도 1은 마크로 검사 장치의 외관도이다. 장치 본체(20)내에는 요동 가능한 홀더(2)가 마련되어 있다. 이 홀더(2)상에는 예를 들면 4면 모따기나 6면 모따기용의 대형유리 기판(3)이 보호 유지되어 있다. 도 1에 있어서 홀더(2)는 검사원(Q)측으로 일어나 있다.
장치 본체(20)의 상부에는 도 2에 도시한 기본 개념의 마크로 조명 장치(21)가 마련되어 있다. 케이스인 조명상자(22)내에는 광원(23)이 마련되어 있다. 이 조명상자(22)는 xy평면내로 이동 가능하다. 이 조명상자(22)의 개구부에는 수속 렌즈로서 프레넬 렌즈(24)가 마련되어 있다. 수속 렌즈로서는 프레넬 렌즈 이외에 대구경의 볼록 렌즈나 소구경의 볼록 렌즈를 복수 매트릭스 형상으로 배열한 것 이라도 좋다. 이 프레넬 렌즈(24)는 광원(23)으로부터 출력된 조명광을 수속시키는 광학 작용을 가지는 것이면, 하나라도 좋고, 또한 평행 광속(光束)과 수속 광속으로 성형하는 2장짜리 세트(組)라도 좋다.
조명상자(22)의 하부에는 산란 수단으로서 투과형의 액정 산란판(25)이 마련되어 있다. 이 액정 산란판(25)은 xy평면과 거의 평행하게 배치되어 있다. 이 액정 산란판(25)은 반투명인 상태로 하여 조명상자(22)로부터 출력된 수속광(c)을 산란시킨 산란광(s)을 유리 기판(3)에 조사시키는 동작과 투명한 상태로 하여 수속광(c)을 산란시키는 작용을 해제하여 수속광(c)을 그대로 통과시켜 유리 기판(3)에 조사시키는 동작을 교체 가능하다.
이러한 마크로 조명 장치(21)이면, 액정 산란판(25)은 조명상자(22)로부터 출력된 수속광(c)을 산란시키거나, 또는 수속광(c)을 그대로 통과시키는가로 교체된다.
조명상자(22)는 유리 기판(3)상의 마크로를 검사하고 싶은 영역에 산란광(s)또는 수속광(c)을 조사하기 위해서 xy방향으로 이동한다. 이것에 의하여, 유리 기판(3)상이 산란광(s) 또는 수속광(c)에 의하여 마크로 조명되고, 유리 기판(3) 표면상의 흠집이나 더러운 것 등이 검사원(Q)의 목시에 의하여 마크로 검사된다.
다음에, 마크로 조명 장치(21)의 구체적인 구성에 대하여 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. 또한, 도 2와 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고 그 자세한 설명은 생략한다.
광원(23)은 1개 내지 복수개 마련된다. 도시한 예에서는 광원(23)을 1개 탑재한 예를 도시한다. 광원(23)은 도 1에 도시한 장치 본체(20)에 있어서 교환하기 쉬운 개소, 예를 들면 장치 본체(20)에 있어서의 후측 또는 전측의 하부에 마련된다.
또한, 광원(23)은 동일 종류의 것을 복수 구비하고, 사용중의 광원(23)이 수명 또는 사용 불능이 되었을 때에 신품의 예비 광원(23)으로 전환하여도 좋다. 또한, 복수의 광원(23)을 구비하고, 이들 광원(23)을 동시에 점등하여도 무관하다. 더욱이 복수 종류의 광원(23)을 구비하고, 이들 광원(23)을 개개로 선택하거나, 복수 종류를 동시에 선택하여 점등시켜도 좋다.
광화이버(26)의 일단이 광원(23)에 접속됨과 함께, 타단이 조명상자(22)에 접속되어 있다. 광화이버(26)의 타단은 조명상자(22)내에 삽입되어 있다. 광화이버(26)의 타단의 출사구에는 렌즈(27)가 마련되어 있다. 광화이버(26)의 조명상자(22)내에 삽입되어 있는 부분은 출사구의 위치가 어긋나지 않도록 고정되어 있다.
조명 영역 이동 기구(28)는 조명상자(22)를 xy평면내로 이동시키는 XY스테이지 기능을 가진다. 베이스(29)에 개구부(30)가 형성되어 있다. 이 개구부(30)의 모서리에 단차(31)가 형성되어 있다. 이 단차(31)상에 액정 산란판(25)이 마련되어 있다.
베이스(29)에 개구부(30)가 형성되어 있다. 2개의 직선 가이드(32, 33)가 베이스(29)의 개구부(30)의 대향하는 각변을 따라 y방향으로 서로 평행하게 마련되어 있다. 이들 직선 가이드(32, 33)상에는 각 가동부(34, 35)를 개재하여 Y스테이지(36)가 y방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다.
또한, 베이스(29)상에는 한쪽의 직선 가이드(33)에 대하여 평행하게 볼 나사(37)가 마련되어 있다. 볼 나사(37)의 양단부는 각 지지부(38, 39)에 의하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 볼 나사(37)에는 나합 지지부(40)를 개재하여 Y스테이지(36)가 연결되어 있다.
볼 나사(37)의 일단부는 y방향 모터(41)의 축이 연결되어 있다. 이 y방향 모터(41)는 볼 나사(37)를 정회전·역회전시킨다. 이 y방향 모터(41)에 로터리 엔코더(42)가 마련되어 있다. 이 로터리 엔코더(42)는 y방향 모터(41)의 회전에 따른 펄스 신호(py)를 출력한다.
Y스테이지(36)에 사변형의 개구부(43)가 형성되어 있다. 이 개구부(43)는 적어도 x방향의 길이가 베이스(29)상의 개구부(30)의 x방향의 길이보다 길게 형성되어 있다.
2개의 직선 가이드(44, 45)가 Y스테이지(36)의 개구부(43)의 대향하는 2변을따라 x방향으로 서로 평행하게 마련되어 있다. 이들 직선 가이드(44, 45)상에는 각 가동부(46, 47)를 개재하여 x스테이지(48)가 x방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다.
또한, Y스테이지(36)상에는 한쪽의 직선 가이드(44)에 대하여 평행하게 볼 나사(49)가 마련되어 있다. 볼 나사(49)의 양단부는 각 지지부(50, 51)에 의하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 볼 나사(49)에는 나합 지지부(52)를 개재하여 x스테이지(48)가 연결되어 있다. 볼 나사(49)의 일단부에는 x방향 모터(53)의 축이 연결되어 있다. 이 x방향 모터(53)에 로터리 엔코더(54)가 마련되어 있다. 이 로터리 엔코더(54)는 x방향 모터(53)의 회전에 따른 펄스 신호(px)를 출력한다.
X스테이지(48)에 개구부(55)가 형성되어 있다. 이 개구부(55)의 상부에 조명상자(22)가 마련되어 있다.
장치 본체(20)의 전측에는 조작 패널(56)이 마련되어 있다. 이 조작 패널(56)에는 유리 기판(3)에 대한 각 조명 모드를 설정하기 위한 조작 스위치군(SW1)과, 광원(23)의 점등 또는 소등을 지시하기 위한 조작 스위치(SW2)와 액정 산란판(25)을 반투명의 상태(수속광(c)을 산란) 또는 투명한 상태(수속광(c)을 그대로 통과)의 어느 쪽으로 교체하는 지시를 부여하기 위한 조작 스위치(SW3)를 구비한다.
조작 스위치군(SW1)는 미리 설정된 유리 기판(3)상에 마크로 조명의 영역을 자동적으로 스캔시키기 위한 자동 스캔 스위치(ASW)와, 이 자동 스캔의 기구를 정지하기 위한 정지 스위치(GW)와, 마크로 조명의 영역을 xy평면내의 4방향(x방향, -x방향, y방향, -y방향)의 스캔 이동시키기 위한 4방향 스위치(FSW)와, 유리 기판(3)상의 마크로 조명 영역을 복수, 예를 들면 9개의 스포트 포지션에 할당하여 임의의 스포트 포지션으로 자동적으로 이동시키는 포지션 스위치(PSW)와, 유리 기판(3)상에 마크로 조명의 영역을 매뉴얼 조작하기 위한 죠이스틱(JS), 트랙볼(TB), 마우스(M)를 구비한다.
구동 제어부(57)는 조작 패널(56)에 있어서의 조작 스위치군(SW1)의 자동 스캔 스위치(ASW), 정지 스위치(GW), 4방향 스위치(FSW), 9 포지션 스위치(PSW), 또는 죠이스틱(JS), 트랙볼(TB), 마우스(M)의 조작 지시에 따라 x방향 모터(53) 및 y방향 모터(41)에 각 구동 제어 신호를 출력한다.
이 구동 제어부(57)는 조작 스위치군(SW1)에 의하여 지시된 유리 기판(3)상의 마크로 조명 영역을 마크로 조명 하는 경우, 각 로터리 엔코더(54, 42)로부터의 각 출력 펄스 신호(px, py)를 각각 카운트 하고, 이들 카운트치로부터 현재의 유리 기판(3)상의 마크로 조명 영역을 구하고, 조작 지시받은 마크로 조명 영역으로 이동시키는 각 구동 제어 신호를 x방향 모터(53) 및 y방향 모터(41)로 출력한다.
또한, 구동 제어부(57)는 조작 스위치(SW2)의 지시 조작에 따라 광원(23)을 점등 또는 소등하고, 조작 스위치(SW3)의 지시 조작에 따라 액정 산란판(25)을 반투명의 상태(수속광(c)을 산란) 또는 투명한 상태(수속광(c)을 그대로 통과)의 어느 쪽인가로 교체하는 동작을 한다.
다음에, 상기와 같이 구성된 장치의 동작에 대하여 설명한다.
장치 본체(20)내의 홀더(2)상에 예를 들면 도 5에 도시한 4면 모따기 또는 도 6에 도시한 6면 모따기의 대형 유리 기판(3)이 보호 유지된다.
조작 패널(56)에 있어서의 검사원(Q)의 조작 스위치(SW2)에 대한 조작에 의하여 광원(23)의 점등 지시가 되고, 또한 죠이스틱(JS)에 대한 매뉴얼 조작에 의하여 유리 기판(3)상의 마크로 조명 영역이 지시되면, 이들 조작 지시는 구동 제어부(57)에 보내진다.
이 구동 제어부(57)는 죠이스틱(JS)에 대한 매뉴얼 조작에 따라 x방향 모터(53) 및 y방향 모터(41)에 각 구동 제어 신호를 출력한다. 이것에 의하여, x방향 모터(53) 또는 y방향 모터(41)의 어느쪽이든 한쪽 또는 양쪽 모두가 구동하고, 이것에 응동하여 X스테이지(48)가 x방향, Y스테이지(36)가 y방향으로 각각 이동한다.
이들 X스테이지(48) 및 Y스테이지(36)의 각 이동에 의하여 조명상자(22)는 죠이스틱(JS)의 조작에 의하여 지시된 유리 기판(3)상의 마크로 조명 영역의 윗쪽으로 이동한다.
이 조명상자(22)가 이동할 때, 광원(23)과 조명상자(22)와의 사이는 유연하고 휨이 가능한 광화이버(26)에 의하여 접속되고 있으므로, 조명상자(22)의 이동에 영향을 주는 일은 없다.
이것과 함께 조작 패널(56)의 조작 스위치(SW2)에 대한 조작에 의하여광원(23)의 점등 지시가 되고 있으므로, 구동 제어부(57)는 광원(23)을 점등한다. 이 광원(23)으로부터 출력된 조명광은 광화이버(26)를 전송하여 조명상자(22)내의 렌즈(27)에 도달하고, 이 렌즈(27)를 개재하여 프레넬 렌즈(24)의 유효 면적에 대하여 효율적으로 조사된다.
이 프레넬 렌즈(24)에 조사된 조명광은 해당 프레넬 렌즈(24)에 의하여 수속되고, 도 2에 도시한 수속광(c)으로서 x스테이지(48)의 개구부(55) 및 Y스테이지(36)의 개구부(43)를 통과하여 액정 산란판(25)에 입사한다.
여기서, 조작 패널(56)의 조작 스위치(SW3)에 대하여 검사원(Q)에 의하여 수속광(c)을 산란하는 변환 지시를 부여하면, 구동 제어부(57)는 액정 산란판(25)을 반투명의 상태로 교환하는 동작을 한다.
이것에 의하여 액정 산란판(25)은 입사한 수속광(c)을 산란하여 출사한다. 이 산란광(s)은 도 2에 도시한 바와 같이 유리 기판(3)의 면상에 조사된다. 이 상태에서, 검사원(Q)은 유리 기판(3)으로부터의 빛을 관찰하여 유리 기판(3)의 면상의 마크로 검사를 행한다.
한편, 조작 패널(56)의 조작 스위치(SW3)에 대하여 검사원(Q)에 의하여 수속광(c)을 그대로 통과시키는 절환 지시를 부여하면, 구동 제어부(57)는 액정 산란판(25)을 투명한 상태로 교환 동작한다.
이것에 의하여, 수속광(c)은 액정 산란판(25)을 그대로 통과하여 유리 기판(3)의 면상에 조사된다. 이 상태에서, 검사원(Q)은 유리 기판(3)으로부터의빛을 관찰해 유리 기판(3)의 면상의 마크로 검사를 행한다.
또한, 유리 기판(3)에 대하여 산란광(s) 또는 수속광(c)을 조사하여 마크로 검사할 때에, 유리 기판(3)을 보호 유지하는 홀더(2)를 검사원(Q)을 향하여 일어나는 방향으로 요동시키면, 유리 기판(3)에 대한 산란광(s) 또는 수속광(c)의 조사 각도를 가변할 수 있다. 이것에 의하여, 유리 기판(3)상의 결함부를 검사하기 쉬워진다.
죠이스틱(JS) 또는 트랙볼(TB)에 의한 매뉴얼 조작에 의하여 도 5에 도시한 4면 모따기의 유리 기판(3) 또는 도 6에 도시한 6면 모따기의 유리 기판(3)을 마크로 검사하는 경우에 대하여 설명한다. 또한, 이들 도면에 있어서 W는 산란광(s)에 의한 마크로 조사 영역을 도시한다.
도 5에 도시한 4면 모따기의 유리 기판(3)을 마크로 검사할 때는 검사원(Q)에 의한 죠이스틱(JS)의 매뉴얼 조작에 의하여 X스테이지(48) 및 Y스테이지(36)를 이동 구동시켜 조명상자(22)를 이동하고, 마크로 조사 영역(W)을 예를 들면 각 모따기 영역(3a1내지 3a4)의 순서로 이동한다. 이 경우, 마크로 조사 영역(W)의 중심 위치를 각 모따기 영역(3a1내지 3a4)의 중심 위치에 일치시키도록 죠이스틱(JS)을 매뉴얼 조작한다.
도 6에 도시한 6면 모따기의 유리 기판(3)을 마크로 검사할 때도 마찬가지로, 검사원(Q)에 의한 죠이스틱(JS)의 매뉴얼 조작에 의하여 마크로 조사 영역(W)을 예를 들면 각 모따기 영역(3a1내지 3a6)의 순서로 이동한다.
이들 죠이스틱(JS)의 매뉴얼 조작에 의한 마크로 검사는, LCD 제조 라인에 흐르고 있는 유리 기판(3)을 임의로 빼내어, 이 유리 기판(3)에 대하여 실시할 수 있다.
죠이스틱(JS)의 매뉴얼 조작의 경우, 마크로 조사 영역(W)은 예를 들면 4면 모따기의 유리 기판(3)의 각 모따기 영역(3a1내지 3a4)의 순서로 이동하는데 한정하지 않고, 마크로 검사하고 싶은 임의의 모따기 영역, 예를 들면 모따기 영역(3a1)에만 이동하고, 마크로 검사하고 싶은 모따기 영역만을 마크로 검사할 수 있다.
또한, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이 4면 모따기와 6면 모따기와의 각 유리 기판(3)에서는 그 사이즈가 다르다. 이것에 의하여, 4면 모따기의 유리 기판(3)에 있어서의 각 모따기 영역(3a1내지 3a4)의 사이즈는 6면 모따기의 유리 기판(3)에 있어서의 각 모따기 영역(3a1내지 3a6)의 사이즈보다 크다.
이 경우, 제일 큰 4면 모따기의 유리 기판(3)에 있어서의 각 모따기 영역(3a1내지 3a4)의 사이즈보다 마크로 조사 영역(W)의 사이즈를 크게하면, 4면 모따기 및 6면 모따기의 각 유리 기판(3)의 각 모따기 영역(3a1내지 3a4), (3a1내지 3a6)에 대하여 마크로 조사 영역(W)을 조사할 수 있다.
6면 모따기의 유리 기판(3)에서는 4면 모따기의 유리 기판(3)에 비교하여 1개의 모따기 영역(3a)의 사이즈가 작아진다. 이 때문에, 도 6에 도시한 바와 같이 예를 들면 모따기 영역(3a1)의 대략 중심으로 마크로 조사 영역(W)을 이동하였을 경우, 아래의 모따기 영역(3a4)에도 마크로 조명광이 조사되는 경우가 있다. 이 경우, 주목하는 6면 모따기 영역(3a1)의 전면에 마크로 조명광이 조명되고 있으면 마크로 검사에 영향은 없다.
다음에, 조작 스위치군(SW1)의 자동 스캔 스위치(ASW)를 조작했을 경우에 대하여 설명한다.
유리 기판(3)상에 마크로 조명광을 자동 스캔하는 스캔 경로는 4면 모따기 또는 6면 모따기의 각 유리 기판(3)에 대하여 미리 설정되어 있다. 예를 들면, 4면 모따기의 유리 기판(3)에 대한 자동 스캔 경로는 도 5에 도시한 바와 같이 각 모따기 영역(3a1내지 3a4)의 순서이며, 6면 모따기의 유리 기판(3)에 대하여서는 도 6에 도시한 바와 같이 각 모따기 영역(3a), 내지 3a. 의 순서인 이들 자동 스캔 경로는 임의로 설정 변경 가능하다.
또한, 마크로 조사 영역(W)을 이동시키는 각 모따기 영역(3a1내지 3a4)(3a1내지 3a6)의 중심 위치는 4면 모따기 또는 6면 모따기의 각 유리 기판(3)의 사이즈와 4면 모따기 또는 6면 모따기의 정보에 의하여 결정할 수 있다.
따라서, 검사원(Q)이 자동 스캔 스위치(ASW)를 조작하면, 4면 모따기의 유리 기판(3)에 대하여 마크로 조사 영역(W)이 각 모따기 영역(3a1내지 3a4)의 순서로 이동하고, 6면 모따기의 유리 기판(3)에 대해서는 각 모따기 영역(3a1내지 3a6)의 순서로 이동한다.
이 마크로 조사 영역(W)의 자동 스캔에서는 광원(23)을 점등시키면서, 유리 기판(3)상에 마크로 조명 영역(W)을 스캔 경로를 따라 연속적으로 저속도로 이동할 수 있다.
또한, 마크로 조사 영역(W)의 자동 스캔에서는 광원(23)을 점등 동작시키면서 각 모따기 영역(3a1내지 3a4(3a1내지 3a6))사이에 스텝적으로 이동할 수 있다.
자동 스캔중에 검사원(Q)이 정지 스위치(Gw)를 조작하면, 이 조작시에 자동 스캔은 정지한다. 이 상태이면, 상기 죠이스틱(JS)에 의한 매뉴얼 조작이 가능하다.
다음에, 4방향 스위치(FSW)를 조작했을 경우에 대하여 설명한다.
4방향 스위치(FSW)를 조작하면, 4면 모따기 또는 6면 모따기의 각 유리 기판(3)상에 대하여 마크로 조사 영역(W)이 x방향, -x방향, y방향 또는 -y방향으로 이동한다. 이것에 의하여, 4방향 스위치(FSW)를 조작하는 것에 의하여 마크로 조사 영역(W)을 유리 기판(3)상의 마크로를 검사하고 싶은 임의의 각 모따기 영역(3a1내지 3a4(3a1내지 3a6))으로 이동할 수 있다.
다음에, 포지션 스위치(PSW)를 조작했을 경우에 대하여 설명한다.
포지션 스위치(PSW)는 유리 기판(3)의 면상을 복수 영역으로 분할하고, 이들 영역 위치에 대하여 포지션 스위치를 할당한다. 또한, 도시예에서는 3×3의 9 포지션 스위치(PSW)를 채용하고 있고, 4면 모따기 또는 6면 모따기에 따라 4개 또는 6개의 각 포지션 스위치를 사용 가능하게 설정하여 각 모따기 영역(3a1내지3a4(3a1내지 3a6))의 위치를 할당하는 것이 좋다.
이러한 9 포지션 스위치(PSW)를 조작하면, 예를 들면 4면 모따기 또는 6면 모따기의 유리 기판(3)상에 있어서 마크로 검사를 소망하는 각 모따기 영역에 대응하는 포지션 스위치를 조작하는 것만으로, 마크로 조사 영역(W)을 소망하는 모따기 영역으로 자동적으로 이동할 수 있다. 포지션 스위치(PSW)는 유리 기판(3)의 모따기에 맞추어, 예를 들면 4면 모따기의 경우에는 2×2의 4 포지션 스위치를 6면 모따기의 경우에는 2×3의 6 포지션 스위치를 채용하여도 무관하다.
또한, 유리 기판(3)에 대한 마크로 조사 영역(W)의 이동은 산란광(s)에 한하지 않고, 수속광(c)에 대해서도 마찬가지로 적용할 수 있다.
이와 같이 상기 제 1의 실시 형태에 의하면, 마크로 조명광을 출사하는 조명상자(22)를 xy방향으로 이동시키는 조명 영역 이동 기구(28)를 x방향 및 y방향의 2축으로 했으므로 구성을 간단화할 수 있다. 또한, 대형 유리 기판(3)의 각 모따기 영역(3a1내지 3a4또는 3a1내지 3a6)을 조사하는 소형의 마크로 조명 광학계를 채용했으므로, 종래와 같이 넓은 범위를 조사하는 마크로 조명 광학계와 비교하여 조명 광로를 짧게 할 수 있고, 종래 이용한 반사 미러를 불필요하게 할 수 있다. 이것에 의하여, 마크로 조명 장치 전체를 소형화할 수 있다.
종래 이용한 반사 미러를 없애는 것만큼, 마크로 조명광의 조도를 감쇠하는 광학 요소가 없어지고, 또한 수차도 발생하지 않는다. 따라서, 마크로 조명광은 수속 렌즈(프로렐 렌즈(24))와 액정 산란판(25)을 통과할 뿐이므로, 유리 기판(3)상의 마크로 조명광의 조도를 높게 할 수 있다. 이것에 의하여, 유리 기판(3)상의 결함부의 검출이 용이하게 되어, 마크로 검사에 적정한 조명을 얻을 수 있다.
또한, 광원(23) 및 구동 제어부(57)를 장치 본체(20)에 있어서 후측 또는 전측의 하부, 특히 장치 본체(20)의 전측에 마련하면, 검사원(Q)에 의한 메인트넌스를 용이하게 할 수 있다.
유리 기판(3)을 마크로 검사할 때에, 조작 스위치군(SW1)의 자동 스캔 스위치(ASW), 포지션 스위치(PSW)의 조작 지시에 따라 유리 기판(3)상에 마크로 조명 영역(W)을 자동 스캔시키거나 죠이스틱(JS), 트랙볼(TB), 4방향 스위치(FSW)를 매뉴얼 조작하여 마크로 검사하고 싶은 임의의 각 모따기 영역상에 마크로 조명 영역(W)을 이동할 수 있다. 이것에 의하여, 예를 들면 LCD 제조 라인에서 결함부의 발생하는 빈도가 높은 영역만을 선정하여 마크로 검사할 수 있고, 마크로 검사하는 영역 선정의 자유도가 높아진다.
액정 산란판(25)을 반투명인 상태로 하여 수속광(c)을 산란 또는 투명한 상태로 하여, 수속광(c)을 그대로 통과시킬지의 어느 쪽으로 절환하는 동작을 하므로, 유리 기판(3)에 대하여 산란광(s) 또는 수속광(c)을 조사하여 마크로 검사하는 것에 의하여, 유리 기판(3)상의 결함부를 확실하게 검출할 수 있다.
또한, 상기 제 1의 실시 형태는 다음과 같이 변형하여도 무관하다. 예를 들면, 프레넬 렌즈(24)는 조명상자(22)에 마련하지 않고, 다른 위치에 마련하는 것 과 같은 설계로 하여도 무관하다. 또한, 광화이버(26)의 선단부의 렌즈(27)는 제거한 설계라도 무관하다.
조명상자(22)를 xy방향으로 이동시키는 조명 영역 이동 기구(28)는 리니어 모터 등의 다른 직동 액츄에 이터를 이용한 구성으로 하여도 무관하다.
수속 렌즈(프레넬 렌즈(24))는 각각 조사각이 다른 것을 복수개 준비한다. 그리고, 이들 수속 렌즈는 유리 기판(3)의 크기, 모따기 영역의 크기에 맞추어 교환한다. 이것에 의하여, 유리 기판(3)의 크기, 모따기 영역의 크기에 맞추어 마크로 조명 영역(W)의 크기를 적절하게 가변할 수 있다.
다음에, 본 발명의 제 2의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 도 3 및 도 4와 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고 그 자세한 설명은 생략 한다.
도 7은 마크로 검사 장치에 있어서 조명상자(22)의 구성도이다. 이 조명상자(22)에는 프레넬 렌즈(24)의 하부에 액정 산란판(25)이 일체적으로 마련되어 있다.
이와 같은 조명상자(22)의 구성이면, 액정 산란판(25)을 수속광(c)의 산란 또는 수속광(c)을 그대로 통과시킬지의 어느 쪽으로 교환하는 것에 의하여, 조명상자(22)로부터 산란광(s) 또는 수속광(c)을 출사할 수 있다.
또한, 상기 제 1의 실시 형태에서 이용한 대형 액정 산란판(25)에 비하여 소형의 액정 산란판(25)을 이용할 수 있고, 장치 전체의 경량·소형화를 도모하는 것이 가능하게 된다.
조명상자(22)에 일체로 액정 산란판(25)을 마련하였기 때문에, 장치본체(20)의 윗쪽으로부터 다운 플로우(DF)를 흘릴 수 있다. 이 다운 플로우(DF)는 X스테이지(48)의 개구부(55)로부터 Y스테이지(36)의 개구부(43), 베이스(29)의 개구부(30)를 지나 유리 기판(3)의 면상에 흐른다. 이것에 의하여, 유리 기판(3) 면상의 티끌과 먼지 등을 떨어뜨릴 수 있다.
또한, 상기 제 2의 실시 형태는 다음과 같이 변형하여도 무관하다. 예를 들면, 액정 산란판(25)에 대신하여, 백색의 반투명인 산란판을 조명상자(22)로부터 출사되는 수속광(c)의 광로상에 대하여 삽탈 가능하게 마련하여도 좋다.
다음에, 본 발명의 제 3의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 도 7과 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고 그 자세한 설명은 생략 한다.
도 8은 마크로 검사 장치에 있어서의 조명상자(22)의 구성도이다. 광화이버(26)의 타단의 출사구에는 줌 렌즈(60)가 마련되어 있다. 또한, 광화이버(26)의 타단은 상하 기구로서 락 피니언(61)에 마련되어 있다. 이 락 피니언(61)은 광화이버(26)의 타단을 z방향으로 상하 이동한다.
줌 렌즈(60)는 락 피니언(61)에 의하여 광화이버(26)의 타단을 윗쪽으로 이동시키는 것에 따라 조명광의 방사각θ을 좁게 하고, 광화이버(26)의 타단을 아래쪽으로 이동시키는 것에 따라 조명광의 방사각θ을 넓힌다. 이것에 의하여, 유리 기판(3)상에 조사되는 마크로 조명 영역(W)의 크기를 조정할 수 있다.
따라서, 마크로 조명 영역(W)의 크기를 4면 모따기 또는 6면 모따기 등의 유리 기판(3)의 각 모따기 영역(3a1내지 3a4또는 3a1내지 3a6)의 크기로 맞출 수 있다.
다음에, 본 발명의 제 4의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 도 3 및 도 4와 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고, 그 자세한 설명은 생략한다.
도 9는 마크로 검사 장치에 있어서의 조명상자(22)의 구성도이다. 이 조명상자(22)에는 퇴피 공간(70)이 형성되어 있다. 이 퇴피 공간(70) 내와 광화이버(26)의 출사구로부터 출사되는 조명광의 광로상과의 사이에 슬라이드식 이동 기구(72)가 마련되어 있다. 이 슬라이드식 이동 기구(72)는 필터(71)를 조명광의 광로상에 출납한다. 이 필터(71)는 예를 들면 색필터 또는 ND필터이다.
이러한 구성이면, 조명상자(22)의 프레넬 렌즈(24)로부터 출사된 수속광(c)이 액정 산란판(25)에 입사하면, 액정 산란판(25)으로부터는 산란광(s) 또는 수속광(c)인 채로 유리 기판(3) 면상에 조사된다.
이 때에 필요에 따라서 조명상자(22)내의 광로상에 필터(71)가 삽입된다. 이것에 의하여, 유리 기판(3) 면상에의 조명광은 색필터에 의하여 소망의 색을 붙일 수 있거나, ND필터에 의하여 감광된다.
또한, 필터(71)는 각종 렌즈류 중 볼록 렌즈나 오목 렌즈, 이들 볼록 렌즈 및 오목 렌즈의 조합을 삽입하여도 좋다.
또한, 상기 제 4의 실시 형태는 다음과 같이 변형하여도 좋다. 조명상자(22)에는 액정 산란판(25)을 일체적으로 마련하고, 조명상자(22)로부터 산란광(s) 또는 수속광(c)을 출사하도록 해도 좋다. 이 경우, 산란광(s) 또는 수속광(c)에 대하여 색필터에 의하여 소망하는 색을 첨가하거나, ND필터에 의하여 감광 할 수 있다.
다음에, 본 발명의 제 5의 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 도 3 및 도 4와 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고 그 자세한 설명은 생략 한다.
도 1O은 마크로 검사 장치에 있어서의 광원군 및 조명상자(22)의 구성도이다. 광원군으로서 2개의 광원(23-1, 23-2)은 서로 동일 종류 또는 다른 종류이다. 여기에서는 동일 종류의 각 광원(23-1, 23-2)을 이용한다.
이들 광원(23-1, 23-2)과 조명상자(22)와의 사이에는 분기형 광화이버(26-1)가 마련되어 있다. 이 분기형 광화이버(26-1)는 2개의 광원(23-1, 23-2)에 각각 접속되는 각 분기 화이버(26a, 26b)와, 이들 분기 화이버(26a, 26b)를 합성한 광화이버(26c)로 이루어진다.
이들 광원(23-1, 23-2)은 어느 한쪽이 점등 하거나, 또는 양쪽 모두가 동시에 점등 한다.
조명상자(22)내에는 회전체(72)가 마련되어 있다. 이 회전체(72)에는 복수의 필터(71) 또는 각종 렌즈류와 빈 구멍이 동심원상에 마련되어 있다. 각 필터(71)는 예를 들면 색필터 또는 ND필터이다.
회전체(72)에는 모터(73)에 마련되어 있다. 이것에 의하여, 회전체(72)는 모터(73)의 구동에 의하여 필터(71) 또는 각종 렌즈류와 빈 구멍을 광화이버(26c)의 출사구로부터 출사되는 조명광의 광로상에 선택적으로 삽탈한다.
이러한 구성이면, 2개의 광원(23-1, 23-2)으로부터 각각 출사된 각 조명광은 분기형 광화이버(26-1)에 의하여 합쳐져 출사구로부터 출사된다. 이 조명광은 수속 렌즈(프레넬 렌즈(24))에 의하여 수속광(c)이 되고, 액정 산란판(25)에 입사한다. 그리고, 수속광(c)은 액정 산란판(25)에 의하여 산란광(s) 또는 수속광(c)인 채로 유리 기판(3) 면상에 조사된다.
이 때의 유리 기판(3) 면상의 밝기는 2개의 광원(23-1, 23-2)을 이용하는 것에 의하여 밝게 할 수 있다. 또한, 2개의 광원(23-1, 23-2)의 한쪽을 점등시켜, 수명에 달하였다면 다른 쪽의 신품의 광원으로 전환하도록 하여도 된다.
모터(73)의 회전 구동에 의하여 필요에 따라 조명상자(22)내의 광로상에 필터(71)가 삽입된다. 이것에 의하여, 유리 기판(3) 면상에의 조명광은 색필터에 의하여 소망하는 색을 부가하거나 ND필터에 의하여 감광된다. 또한, 각종 렌즈류중 볼록 렌즈나 오목 렌즈, 이들 볼록 렌즈 및 오목 렌즈의 조합을 삽입하여도 좋다.
이와 같이 상기 제 5의 실시 형태에 있어서는 2개의 광원(23-1, 23-2)으로부터 각각 출사된 각 조명광을 분기형 광화이버(26-1)에 의하여 맞추어 조명상자(22)에 보내므로, 유리 기판(3) 면상의 밝기를 밝게 할 수 있다. 또한, 유리 기판(3) 면상의 밝기를 제어하기 위해서 조명상자(22)내에서 ND필터를 삽입하면, 유리 기판(3)의 마크로 검사에 맞는 밝기로 효율적으로 조정할 수 있다. 유리 기판(3) 면상의 밝기의 조정은 2개의 광원(23-1, 23-2)중 어느 한쪽 또는 양쪽 모두를 점등 하는 것에 의하여 행하여도 된다.
또한, 2개의 광원(23-1, 23-2)을 마련하는 것에 의하여, 통상은 어느 한쪽의광원(23-1 또는 23-2)을 점등하고, 이 광원(23-1 또는 23-2)이 고장났을 때에 다른 쪽의 광원(23-2 또는 23-1)을 점등하여 백업하는 사용 방법도 가능하다.
또한, 상기 제 5의 실시 형태는 다음과 같이 변형하여도 무관하다.
도 11에 도시한 바와 같이 모터(73)의 회전축에는 회전판(74)이 마련되어 있다. 이 회전판(74)에는 도 12에 도시한 바와 같이 복수의 필터(75 내지 78)가 마련되어 있다. 이들 필터(75 내지 78)는 각각 예를 들면 색필터(적색, 청색, 오렌지색 등)이다. 또한, 회전판(74)의 모두에 색필터를 마련하지 않고, 예를 들면 1개소는 아무것도 마련하지 않고 통로로 하거나 ND필터 등의 다른 필터를 마련하여도 된다.
또한, 도 13에 도시한 바와 같이 회전판(74)에는 다른 회전판(79)를 대면하여 마련하여도 좋다. 이 회전판(79)은 모터(80)에 접속하여 회전시켜도 무관하다. 이 경우, 한쪽의 회전판(74)에는 적색, 청색, 오렌지색 등의 색필터(75 내지 78)를 마련하여 다른 쪽의 회전판(79)에는 도 14에 도시한 ND필터(81)를 마련한다. 이 ND필터(81)는 원주 방향을 따라 ND값(0% 내지 100%)가 연속적으로 변화한다.
이러한 구성이면, 각 색필터(75 내지 78)와 ND필터(81)의 ND값을 선택적으로 조합할 수 있다. 또한, 조명상자(22)에 대하여 프레넬 렌즈(24) 및 액정 산란판(25)을 일체화함과 함께, 적색, 청색, 오렌지색 등의 색필터(75 내지 78)나 각 ND값을 가지는 ND필터(81)를 일체화할 수 있다. 더욱이 광원(23)은 2개에 한하지 않고, 복수 마련하여도 좋다.
다음에, 본 발명의 제 6의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 15는 마크로 조명 장치의 구성도이다. 조명상자(90)의 하부에는 개구부(91)가 형성되어 있다. 이 개구부(91)에는 프레넬 렌즈(24)가 마련되어 있다. 그리고, 이 프레넬 렌즈(24)의 아래쪽에 액정 산란판(25)이 마련되어 있다. 이 액정 산란판(25)은 조명상자(90)에 일체로 마련하여도 좋고, 도 3에 도시한 조명 영역 이동 기구(28)에 마련하여도 좋다.
조명상자(90)내에는 반사 미러(92)가 경사하여 마련되어 있다.
조명상자(90)의 측면에는 제 1의 광원상자(93)가 형성되어 있다. 이 제 1의 광원상자(93)는 개구부를 반사 미러(92) 측을 향하여 형성되어 있다. 이 제 1의 광원상자(93)내에는 제 1의 광원(94)으로서 예를 들면 Na램프가 마련되어 있다.
또한, 조명상자(90)에 인접하여 제 2의 광원상자(95)가 조명상자(90)에 일체적으로 마련되어 있다. 이 제 2의 광원상자(95)내에는 제 2의 광원(96)으로서 예를 들면 할로겐 램프가 마련되어 있다. 이 제 2의 광원(96)으로부터 방사되는 조명광의 광로상에는 각 회전판(74, 79)이 마련되어 있다. 회전판(74)에는 적색, 청색, 오렌지색 등 복수의 필터(75 내지 78)가 마련되어 있다. 회전판(79)에는 ND필터(81)가 마련되어 있다.
제 2의 광원상자(95)와 조명상자(90)와의 사이에는 광화이버(26)가 접속되어 있다. 이 광화이버(26)는 제 2의 광원(96)으로부터 방사된 조명광을 조명상자(90)에 전송하고, 이 조명상자(90)내의 반사 미러(92) 측을 향하여 방사한다.
이러한 구성이면, 제 1의 광원(94)인 Na램프가 점등하면, 이 Na램프로부터 방사된 조명광은 반사 미러(92)에서 반사하고, 프레넬 렌즈(24), 액정 산란판(25)을 개재하여 유리 기판(3)상에 조사된다.
제 2의 광원(96)인 할로겐 램프가 점등하면, 이 할로겐 램프로부터 방사된 조명광은 각 필터(75 내지 78) 및 ND필터(81)를 투과하여 광화이버(26)로 입사한다. 이 광화이버(26)내를 전송한 조명광은 렌즈(27)를 통하여 출사되고, 반사 미러(92)에서 반사하고, 프레넬 렌즈(24), 액정 산란판(25)을 개재하여 유리 기판(3)상에 조사된다.
제 1의 광원(94)으로부터 방사되는 조명광과 제 2의 광원(96)으로부터 방사되는 조명광은 서로 파장이 다르다. 이것에 의하여, 이들 조명광을 유리 기판(3)상에 조사하여 마크로 검사하면, Na 램프에 의한 조명에 의하여 검출되는 결함부와 할로겐 램프에 의한 조명에 의하여 검출되는 결함부가 있다. 따라서, 결함부의 종류에 따라 Na램프 또는 할로겐 램프를 점등시키면, 목적의 결함부를 검출할 수 있다.
할로겐 램프로부터 방사되는 조명광은 각 필터(75 내지 78)에 의하여 소망의 색을 첨가하거나 ND필터(81)에 의하여 감광할 수 있다.
또한, 조명상자(90)에 인접하여 제 2의 광원상자(95)를 마련하므로, 광화이버(26)의 길이를 짧게 할 수 있다.
본 발명은 반도체 웨이퍼, 액정 디스플레이나 플라스마 디스플레이 패널 등의 플랫 패널 디스플레이의 유리 기판을 마크로 검사할 때의 마크로 조명에 이용할 수 있다.

Claims (13)

  1. 조명광을 출력하는 광원부와,
    상기 광원부로부터 출력된 상기 조명광을 수속시키는 수속 렌즈와,
    상기 수속 렌즈로부터의 상기 수속광을 산란시켜 대상물에 조사시키는, 또는 상기 프레넬 렌즈로부터의 상기 수속광을 통과시켜 상기 대상물에 조사시키는 수속·산란 전환부와,
    적어도 상기 광원과 상기 프레넬 렌즈를 일체적으로 2차원 이동시켜, 상기 대상물상에 있어서의 상기 산란광 또는 상기 수속광에 의한 조명 영역을 이동하는 조명 영역 이동 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원부는 상기 조명광을 출사하는 광원과,
    상기 광원으로부터 출사된 상기 조명광을 전송하는 광화이버와,
    상기 광화이버의 출사단을 접속함과 함께 상기 수속 렌즈를 마련하고, 상기 광화이버의 출사단으로부터 출사된 상기 조명광을 상기 수속 렌즈에 의하여 수속하여 출사하는 케이스를 가지는 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원부는 상기 광원을 복수 가지고, 선택적으로 점등 또는 교환 가능한것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원부는 상기 조명광의 광로상에 색필터 또는 ND필터의 어느 한쪽 또는 양쪽 모두를 가지는 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원부는 상기 조명광을 출사하는 광원과,
    상기 광원으로부터 출사된 상기 조명광을 전송하는 광화이버와,
    상기 광화이버의 출사단을 접속함과 함께 상기 수속 렌즈를 마련하고, 상기 광화이버의 출사단으로부터 출사된 상기 조명광을 상기 수속 렌즈에 의하여 수속하여 출사하는 케이스를 가지고,
    상기 조명 영역 이동 기구는 상기 케이스를 2차원 이동시키는 XY스테이지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원부는 상기 조명광을 출사하는 광원과,
    상기 광원으로부터 출사된 상기 조명광을 전송하는 광화이버와,
    상기 광화이버의 출사단에 마련된 줌 렌즈와,
    상기 광화이버의 출사단을 접속하고, 상기 광화이버의 출사단으로부터 출사된 상기 조명광을 상기 줌 렌즈를 통하여 출사하는 케이스와,
    상기 케이스내에 있어서 상기 광화이버의 출사단을 상기 케이스에 있어서의 상기 조명광의 출사구에 대하여 상하 이동시키는 상하 기구를 가지고,
    상기 줌 렌즈는 상기 상하 기구에 의한 상기 광화이버의 출사단의 상하 이동에 따라 출사하는 상기 조명광의 방사각을 가변하는 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원부는 각각 조명광을 출사하는 복수의 광원과,
    상기 복수의 광원으로부터 각각 출사된 상기 각 조명광을 맞추어 전송하는 분기형의 광화이버와,
    상기 광화이버의 출사단을 접속함과 함께 상기 프레넬 렌즈를 마련하고, 상기 광화이버에 의하여 합쳐지고 상기 출사단으로부터 출사된 상기 조명광을 상기 프레넬 렌즈에 의하여 수속하여 출사하는 케이스를 가지는 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 수속·산란 전환부는 상기 조명광을 산란시키는, 또는 상기 조명광을 통과시키는 기능을 절환 가능하게 하는 투과형 액정 산란판인 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  9. 제 5 항, 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 케이스에는 상기 수속 렌즈로부터의 상기 수속광을 산란시키는, 또는 상기 수속 렌즈로부터의 상기 수속광을 그대로 통과시키는 투과형 액정 산란판을 마련한 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 수속·산란 전환부는 상기 조명광의 광로상에 대하여 산란판을 삽탈 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원부는 조명광을 출력하는 제 1의 광원과,
    상기 제 1의 광원으로부터 출력된 조명광을 수속하는 수속 렌즈와,
    상기 제 1의 광원 및 상기 수속 렌즈를 마련한 제 1의 케이스와,
    조명광을 출력하는 제 2의 광원과,
    상기 제 1의 케이스에 인접하여 마련되고, 상기 제 2의 광원을 수납하는 제 2의 케이스와,
    상기 제 1과 제 2의 케이스 사이에 마련되고, 상기 제 2의 광원으로부터 출력된 조명광을 상기 제 1의 케이스내에 전송하는 광화이버를 가지고,
    상기 제 1의 케이스로부터는 상기 제 1의 광원으로부터 출사된 상기 조명광을 상기 수속 렌즈에 의하여 수속하여 출사하고, 또는 상기 광화이버를 전송하여 온 상기 제 2의 광원으로부터의 조명광을 출사하는 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1과 제 2의 광원은 서로 다른 파장의 상기 각 조명광을 출력하는 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 조명 영역 이동 기구에 대하여 상기 대상물상에 있어서의 상기 조명 영역의 위치를 자동 스캔 시키는, 또는 매뉴얼에 의하여 조작 지시하기 위한 조작 패널을 갖춘 것을 특징으로 하는 마크로 조명 장치.
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