KR20040079124A - 스피너와 노광장치가 결합된 인라인 설비 - Google Patents

스피너와 노광장치가 결합된 인라인 설비 Download PDF

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Abstract

스피너와 노광장치가 결합된 인라인 설비를 제공한다. 이 설비는 웨이퍼에 도포와 현상공정을 수행하는 스피너와 스피너와 일정한 간격을 두고 배치된 스테퍼를 포함한다. 스피너와 스테퍼 사이에는 양 설비간 웨이퍼 이송을 하여주는 인터페이스가 설치되고, 인터페이스와 상기 스테퍼 사이에는 웨이퍼를 정렬하는 예비정렬장치가 설치된다.

Description

스피너와 노광장치가 결합된 인라인 설비{IN-LINE EQUIPMENT COBINED EXPOSURE APPARATUS AND SPINNER}
본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 더 구체적으로 웨이퍼 상에 약액을 도포하는 스피너와, 레티클을 투영 노광하는 노광장치가 결합된 인라인 설비에 관한 것이다.
반도체 제조 설비는 웨이퍼에 도포와 현상공정을 수행하는 스피너(spinner), 상기 도포 공정을 마친 웨이퍼에 노광 공정을 하는 스테퍼(stepper)로 구성되어 있다. 또한, 상기 스피너와 스테퍼 설비간의 웨이퍼를 이송하여 주는 인터페이스, 상기 웨이퍼를 로더(loader)로 로딩/언로딩하고 상기 웨이퍼의 이송이 이루어지는 트랙(track), 웨이퍼를 적재하는 로더(loader)로 구성되어 있다. 그리고, 상기 트랙의 내부에는 웨이퍼 이송을 위한 로봇아암을 갖는다.
도 1은 스피너와 스테퍼가 결합된 종래의 인라인 설비를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 인라인 설비는 스테퍼(10)과 스피너(20)가 결합되어 구성된다. 스테퍼(10)는 웨이퍼가 로딩되어 노광공정이 원활하게 이루어질 수 있도록 대기하는 웨이퍼 운반 장치(16)와, 상기 웨이퍼 운반 장치(16)로 부터 웨이퍼를 전달 받아 웨이퍼의 위치 및 방향을 정렬하는 예비 정렬장치(14)와, 상기 예비 정렬장치(16)에서 정렬된 웨이퍼가 전달되어 웨이퍼 상에 패턴을 형성하는 노광장치(12)로 구성된다. 또한, 상기 스피너(20)는 웨이퍼가 로딩되어 대기하는 인터페이스(22)와 상기 인터페이스(22)로 부터 전달된 웨이퍼 상에 약액을 도포하는 스피너 장치(24)로 구성된다.
독립된 스피너(20) 및 스테퍼(10)에서는 공정 진행을 원활하게 하기 위하여 웨이퍼가 대기하는 버퍼영역이 요구되기 때문에, 각각 웨이퍼 운반 장치(16) 및 인터페이스(22)가 필요하다. 따라서, 종래의 인라인 설비는 기존의 독립된 스피너(20) 및 스테퍼(10)를 단순히 결합함으로써, 웨이퍼 운반 장치(16) 및 인터페이스(22) 두가지 버퍼영역을 갖추고 있다. 따라서, 웨이퍼를 스테퍼(10) 및 스피너 간에 이송하기 위하여 2단계의 전달과정이 필요하여 웨이퍼 이송 시간이 길어지고, 설비가 불필요한 영역을 차지하는 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼의 이송시간이 짧은 인라인 설비를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 웨이퍼의 이송시간이 짧고, 점유영역이 작은 인라인 설비를 제공하는데 있다.
도 1은 스피너와 스테퍼가 결합된 종래의 인라인 설비를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 노광장치 및 스피너를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 인라인 설비를 나타낸 도면이다.
상기 기술적 과제들은 스피너 장치와 노광 장치 사이에 하나의 버퍼영역을 갖는 인라인 설비에 의해 달성되어질 수 있다. 이 설비는 웨이퍼에 도포와 현상공정을 수행하는 스피너와 상기 스피너와 일정한 간격을 두고 배치된 스테퍼를 포함한다. 상기 스피너와 상기 스테퍼 사이에는 양 설비간 웨이퍼 이송을 하여주는 인터페이스가 설치되고, 상기 인터페이스와 상기 스테퍼 사이에는 웨이퍼를 정렬하는 예비정렬장치가 설치된다. 상기 인터페이스 및 상기 예비정렬장치는 직접 결합되는 것이 바람직하다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스피너 및 스테퍼를 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스피너는 종래의 스피너의 구성과 동일하다. 종래의 스피너와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스피너(60)는 웨이퍼가 로오딩되어 대기하는 인터페이스(62)와 상기 인터페이스(62)에서 이송된 웨이퍼의 표면에 약액을 도포하는 스피너 장치(64)를 포함한다. 상기 스피너 장치(64)는 사진 평판 공정을 수행하기 위하여 웨이퍼의 표면에 감광액을 도포하거나, 감광액이 도포된 웨이퍼를 노광한 후 이를 현상하는 동작을 수행한다. 상기 인터페이스(62)는 스피너 장치(64)에 웨이퍼가 로딩되어 있을 때 후순위 웨이퍼가 대기하고, 도포 또는 현상공정이 완료된 웨이퍼가 언로딩될 때후순위 웨이퍼가 스피너 장치(64)에 원활하게 로오딩될 수 있도록 하는 버퍼기능을 한다.
본 발명에 따른 스테퍼(50)는 노광전 웨이퍼를 미리 정렬하는 예비정렬장치(54) 및 웨이퍼에 패턴을 전사하는 노광장치(52)를 포함한다. 종래의 스테퍼(50)와는 달리 웨이퍼가 대기하는 웨이퍼 운반 장치(도 1의 16)는 구비되어 있지 않다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 인라인 설비를 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 인라인 설비는 웨이퍼의 표면에 감광액을 도포하거나, 노광이 완료된 웨이퍼를 현상하는 스피너 장치(86)와, 상기 스피너 장치(86)로 부터 일정 거리 이격되어 배치되어 감광액이 도포된 웨이퍼 상에 패턴을 전사하는 노광장치(80)를 포함한다. 상기 스피너 장치(86)와 상기 노광장치(80) 간의 웨이퍼의 이송을 위한 버퍼영역으로써, 상기 스피너 장치(86)와 상기 노광장치(80) 사이에 인터페이스(84)가 설치된다.
상기 노광장치(80)에 웨이퍼가 이송되기 전에 웨이퍼의 정렬을 위한 예비정렬장치(82)가 본 인라인 설비에 갖추어져 있다. 상기 예비정렬장치(82)는 상기 인터페이스(84)와 상기 노광장치(80) 사이에 설치된다. 상기 예비정렬장치(82)에서 정렬된 웨이퍼를 곧바로 상기 노광장치(80)에 전달하기 위하여 상기 예비정렬장치(82)는 상기 노광장치(80)에 인접하여 설치된다.
상기 인터페이스(84)에는 도시하지는 않았지만, 웨이퍼가 안착되어 운반되는 로봇 아암과 상기 로봇 아암의 이동경로인 트랙이 구비되어 있다. 또한, 상기 인터페이스(84)는 상기 스피너 장치에 결합된다. 일반적으로 독립된 스피너에서 상기 로봇 아암은 웨이퍼의 가장자리를 지지하는 구조를 가진다. 그러나, 상기 로봇 아암은 상기 웨이퍼의 중앙을 지지하는 구조로 개선하여 주변장치와의 간격을 유지할 수 있다.
본 발명에 따른 인라인 설비는 먼저 인터페이스(84)에 대기하는 웨이퍼가 상기 스피너 장치(86)로 전송되어 감광액이 도포되고, 감광액이 도포된 웨이퍼는 다시 상기 인터페이스(84)로 이송된다. 상기 인터페이스(84)로부터 감광액이 도포된 웨이퍼는 상기 예비 정렬 장치(82)에 전달되어 정렬되고, 상기 정렬된 웨이퍼는 상기 노광장치(80)로 전달되어 패턴이 전사된다. 노광공정이 완료된 웨이퍼는 다시 상기 인터페이스(84)로 전달되어 인라인 설비 외부에 설치된 포트에 대기하는 카세트로 옮겨진다.
상술한 것과 같이 본 발명에 따른면, 스피너와 스테퍼가 결합된 인라인 설비에 있어서, 스피너 장치와 노광 장치 사이에 불필요한 버퍼 영역을 축소함으로써 웨이퍼의 이송시간을 줄일 수 있다. 뿐만 아니라, 웨이퍼의 이송 시스템이 단순화되어 로오딩 및 언로딩 불량이 발생할 가능성을 줄일 수 있다.
인라인 설비를 구성하는 목적은 공정들간의 웨이퍼 이송시간을 줄이는 것 뿐만 아니라 설비가 차지하는 점유영역을 줄이는 것도 중요하다. 따라서, 본 발명과 같이 불필요한 버퍼영역을 줄임으로써 인라인 설비의 점유영역을 줄일 수 있다.

Claims (3)

  1. 웨이퍼에 도포와 현상공정을 수행하는 스피너;
    상기 스피너와 일정한 간격을 두고 배치된 스테퍼;
    상기 스피너와 상기 스테퍼 사이에 위치하고, 양 설비간 웨이퍼 이송을 하여주는 인터페이스;및
    상기 인터페이스와 상기 스테퍼 사이에 위치하며, 웨이퍼를 정렬하는 예비정렬장치를 포함하는 인라인 설비.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 인터페이서와 상기 예비정렬장치는 인접하여 결합된 것을 특징으로 하는 인라인 설비.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 인터페이서와 상기 예비정렬장치 상호간에 웨이퍼를 전달하기 위한 로봇 아암을 더 포함하되, 상기 로봇 아암은 웨이퍼의 중앙을 지지하는 것을 특징으로 하는 인라인 설비.
KR1020030014053A 2003-03-06 2003-03-06 스피너와 노광장치가 결합된 인라인 설비 KR20040079124A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100683382B1 (ko) * 2004-12-28 2007-02-15 동부일렉트로닉스 주식회사 반도체 노광 장비 및 이를 이용한 반도체 제조 방법

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