KR20040069432A

KR20040069432A - 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법

Info

Publication number: KR20040069432A
Application number: KR1020030005814A
Authority: KR
Inventors: 안종석
Original assignee: 미래산업 주식회사
Priority date: 2003-01-29
Filing date: 2003-01-29
Publication date: 2004-08-06
Also published as: KR100522089B1

Abstract

본 발명은 공정에 따라 보조버퍼를 탈/부착할 수 있는 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법에 관한 것이다.

본 발명은 메인프레임과; 메인프레임의 일측에 설치되어 디바이스가 채워진 트레이가 로딩되는 로딩부와; 로딩부의 타측에 설치되어 빈트레이가 언로딩되는 언로딩부와; 로딩/언로딩부의 사이에 설치된 DC테스트부와, DC테스트부의 하부에 설치되는 로딩버퍼와, DC테스트부의 일측에 설치된 BIB와, BIB의 일측에 설치된 언로딩버퍼와, 로딩버퍼의 일측에 설치된 소팅부로 이루어진 테스트부와; 로딩/언로딩부의 상부에 설치되며, 로딩/언로딩로봇과 인서트/리무브로봇이 설치되어 있는 슬라이더와, 슬라이더의 일측에 설치되며 소팅로봇이 설치되어 있는 X-Y축으로 이루어진 이송부로 구성되며, 상기 BIB의 상부에 탈/부착될 수 있는 보조버퍼가 더 포함되어 구성된다. 이와 같이 구성된 본 발명은 보조버퍼의 탈/부착에 의해 1대의 장비를 이용하여 디바이스의 다양한 테스트를 수행할 수 있다.

Description

번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법{Sorting Handler for Burn-In-Tester and A Controlling Method Thereof}

본 발명은 생산 완료된 반도체 디바이스(Device)의 전기적인 특성을 테스트시에 사용되는 소팅(Sorting) 핸들러(Handler)에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 번인 테스터(burn-in-tester)용 소팅 핸들러에서 디바이스의 테스트공정에 따라 보조버퍼를 탈/부착할 수 있는 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법에 관한 것이다.

도 1은 종래 번인 테스터용 소팅 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 2는 종래의 번인 테스터용 핸들러에서 이송수단의 동작을 설명하기 위한 개략도로서, 그 구성을 설명하면 다음과 같다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본체(1)의 상부 일측에 번인보드로더부(2)와, 번인보드 언로더부(3)가 설치되어 있고, 그 일측에는 DC리젝트부(4)와, 트레이 로더부(5) 및 DC테스트부(6)가 설치되어 있으며, 그 일측 저면에는 90°회전하는 턴리턴 장치부(7)가 설치된 Y테이블(8)이 설치되어 있고, 그 일측에는 빈포켓부(9) 및 트레이 언로더부(10) 그리고, 소팅부(11)가 차례로 설치되어 있다.

그리고, DC리젝트부(4)와 트레이 로더부(5) 및 DC테스트부(6)의 상부에는 서보모터에 의해 좌, 우, 상, 하로 작동하는 1번툴(12)이 설치되어 있고, DC테스트부(6)와 턴리턴 장치부(7)가 설치된 Y테이블(8)의 상측에는 그 간격사이에서 작동되는 2번툴(13)이 설치되어 있다.

또한, Y테이블(8)과 빈포켓부(9) 및 트레이 언로더부(10)의 상부에는 그 간격 사이에서 작동되는 3번툴(14)이 설치되어 있고, 빈포켓부(9)와 소팅부(11)의 상측에는 그 간격사이에서 작동되는 4번툴(15)이 설치되어 있다.

따라서, 번인 테스트할 디바이스(미도시됨)가 채워진 트레이(미도시됨)를 트레이 로더부(5)에 놓은 다음 번인보드 로더부(2)에는 번인 테스트 완료된 디바이스가 테스트소켓(미도시됨)에 삽입되어 있는 번인보드(미도시됨)를 놓는다.

상기와 같이 번인보드 로더부(2)에 번인보드가 위치되면 번인보드는 Y테이블(8)의 상부에 설치되어 있는 회전판(미도시됨)에 위치됨과 동시에 핸들러의 컨넥터에 결합된 상태가 되므로, Y테이블(8)로 이송되는 턴리턴장치부(7)에 의해 90°회전하게 된다.

상기한 바와 같이, 회전판이 90°회전하면 서보모터에 의해 볼스크류가 회전하게 되므로 Y테이블(8)은 1,2,3번툴(12,13,14)이 작동하는 프로세스라인까지 이동하게 된다.

따라서, 번인 테스트가 끝난 상태로 번인보드의 테스트소켓에 꽃혀 있던 4개의 디바이스는 상부에 설치되어 있는 3번툴(14)에 의해 동시에 꺼내져 등급에따라 빈포켓부(9)나 트레이 언로더부(10)로 이송되며, 불량으로 판정된 디바이스는 4번툴(15)에 의해 빈포켓부(9)에서 소팅부(11)로 이송된다.

한편, 상기한 바와 같은 작동으로 번인보드의 테스트소켓에 삽입되어 있던 번인 테스트 완료된 디바이스가 빠져나가면 트레이 로더부(5)의 트레이에 있는 4개의 디바이스를 1번툴(12)이 작동하여 DC테스트부(6)로 이송하여 DC테스트를 실시하게 되는데, 그 이전에 DC테스트부에 있던 디바이스는 2번툴(13)에 의해 번인보드상의 테스트소켓에 삽입된다.

즉, 번인보드의 테스트소켓에 꽂혀져 있던 디바이스는 번인 테스트가 완료된 것으로, 그 등급별로 3번툴(14)과 4번툴(15)에 의해 이송되어 분류되고, 3번툴(14)과 4번툴(15)에 의해 테스트소켓으로부터 디바이스가 빠져나가면 그 빈 공간에 1, 2번툴(12)(13)이 작동하여 DC테스트를 실시하여 양품으로 판정된 디바이스를 삽입하므로써 디바이스의 로딩 및 언로딩작업이 이루어지게 되는 것이다.

그러나, 반도체 공정을 살펴보면, 각 공정(FAB공정, 테스트공정 등)의 작업이 순차적으로 진행되어야만 효율적인 생산성을 계획대로 진행할 수 있다.

즉, FAB공정은 빠르게 진행되어 생산량이 많으나, 테스트공정이 늦게 진행되어 정체가 발생된다면 FAB공정이 아무리 빠르게 진행되더라도 최종 생산되는 디바이스의 양이 적어지게 되는 폐단이 발생된다.

따라서, 각 공정간의 작업량을 조절하기 위해 번인 테스트공정에서는 통상 월초에 번인보드에 번인 테스트할 디바이스를 로딩하는 공정만을 진행하고, 월말에는 번인 테스트가 완료된 디바이스를 번인보드로부터 언로딩하여 트레이에 담는 공정만을 진행하게 된다.

그러나, 종래의 소팅 핸들러는 작업흐름이 일방향, 즉, 로더부(5)에서 언로더부(10)측으로만 작업이 이루어지므로 인해 DC테스트 완료된 디바이스를 번인보드내에 신속하게 로딩하지 못하거나, 테스트 완료된 디바이스를 번인보드로부터 언로딩하지 못하게 되므로 반도체(디바이스) 생산에 따른 전체적인 생산 공정을 계획대로 진행하는데 커다란 문제점을 대두되었다.

즉, 번인보드내의 디바이스를 로딩시에는 1, 2번툴(12)(13)만 사용하고 3, 4번툴(14)(15)은 사용하지 않고, 이와는 반대로 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 디바이스를 언로딩시에는 3, 4번툴(14)(15)만 사용하고 1, 2번툴(12)(13)은 사용하지 않게 되므로 생산량을 증대시키기 위해서는 많은 대수의 장비가 필요하게 되고, 많은 대수의 장비를 설치하기 위해서는 많은 면적의 공간을 필요로 하게 되므로 설비의 증설로 인한 비용 부담이 가중되었다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 번인테스터용 소팅 핸들러에 적용되는 보조버퍼를 탈/부착할 수 있어, 이에 의해 공정에 따라 1대의 장비로 2대의 장비의 작업능률을 얻을 수 있는 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법을 제공하는 점에 있다.

도 1은 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도,

도 2는 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러에서 이송수단의 동작을 설명하기 위한 개략도,

도 3은 본 발명이 적용된 번인테스터용 소팅 핸들러,

도 4는 본 발명이 적용된 번인테스터용 소팅 핸들러의 일부를 확대하여 나타낸 사시도,

도 5는 본 발명에 적용된 DC테스트부와 로딩버퍼를 나타낸 사시도,

도 6은 본 발명의 보조버퍼를 나타낸 사시도,

도 7은 본 발명에서 DC테스트부와 BIB와 언로딩버퍼에 의한 DC테스트와 BIB에 디바이스 로딩/소팅이 함께 이루어지는 과정을 나타낸 순서도,

도 8은 DC테스트 과정을 나타낸 순서도이다.

<주요부분에 대한 부호의 설명〉

100 : 메인프레임 200,300 : 로딩, 언로딩부

210,310 : 로딩, 언로딩위치 220,320 : 전방스택커

230,330 : 후방스택커 240,340 : 가이드레일

400 : 테스트부 410 : DC테스트부

420 : 로딩버퍼 430 : BIB

440 : 소팅부 450 : 언로딩버퍼

500 : 이송부 510 : 슬라이더

520 : X-Y축 530,540 : 로딩, 언로딩로봇

550 : 인서트로봇 560 : 리무브로봇

570 : 소팅로봇

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러는 메인프레임과; 상기 메인프레임의 일측에 설치되어 디바이스가 채워진 트레이가 로딩되는 로딩부와; 상기 로딩부의 타측에 설치되어 빈트레이가 언로딩되는 언로딩부와; 상기 로딩/언로딩부의 사이에 설치된 DC테스트부와, 상기 DC테스트부의 하부에 설치되는 로딩버퍼와, 상기 DC테스트부의 일측에 설치된 BIB와, 상기 BIB의 일측에 설치된 언로딩버퍼와, 상기 언로딩버퍼의 일측에 설치된 소팅부로 이루어진 테스트부와; 상기 로딩/언로딩부의 상부에 설치되며, 로딩/언로딩로봇과 인서트/리무브로봇이 X방향으로 이동가능하게 설치되어 있는 슬라이더와, 상기 슬라이더의 일측에 설치되며, 소팅로봇이 XY방향으로 이동가능하게 설치되어 있는 X-Y축으로 이루어진 이송부로 구성되며, 상기 BIB의 상부에 탈/부착될 수 있는 보조버퍼가 더 포함되어 구성된다.

상기 번인테스터용 소팅 핸들러는 DC테스트만 수행할 경우에는 BIB의 상부에 보조버퍼가 설치시킬 수 있고, DC테스트부와 BIB와 언로딩버퍼에 의한 로딩 및 소팅이 함께 이루어질 경우에는 상기 보조버퍼를 해제시킬 수 있다.

상기 번인 테스터용 소팅 핸들러는 DC테스트를 수행하지 않고, BIB에서 디바이스의 로딩 및 소팅을 수행할 경우 DC테스트부의 로딩버퍼를 선택적으로 사용할 수 있다.

상기 복수개의 테스트트레이가 설치된 소팅부는 불량 판정된 디바이스를 각각의 테스트트레이에 등급별로 나누어 순차적으로 적재할 수 있다.

상기 소팅부는 복수개의 테스트트레이 중 어느 하나만을 선택적으로 사용할 수 있다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 본 발명은 메인프레임의 양측에 디바이스가 채워진 트레이와 빈트레이를 로딩부와 언로딩부에 위치시키는 단계와; 로딩로봇에 의해 디바이스가 DC테스트부로 이송되어 DC테스트부에 의해 디바이스의 양/불이 판정되는 단계와; DC테스트부에서 양품으로 판정된 디바이스는 인서트로봇에 의해 BIB로 이송되고, 불량품으로 판정된 디바이스는 소팅로봇에 의해 등급별로 복수개의 테스트트레이에 순차적으로 채워지는 단계와; BIB에서 번인테스트된 디바이스가 리무브로봇에 의해 언로딩버퍼로 이동되어 양/불판정되는 단계와; 언로딩버퍼에서 양품으로 판정된 디바이스가 언로딩로봇에 의해 빈트레이에 채워지는 단계와; 언로딩버퍼에서 불량품으로 판정된 디바이스가 소팅로봇에 의해 등급별로 복수개의 테스트트레이에 순차적으로 채워지는 단계로 이루어진 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법을 제공한다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 본 발명은 번인테스터용 소팅 핸들러의 일측에 설치되어 있는 BIB의 상부에 보조버퍼를 설치하는 단계와; 메인프레임의 양측에 디바이스가 채워진 트레이와 빈트레이를 로딩부와 언로딩부에 위치시키는 단계와; 로딩로봇에 의해 디바이스가 DC테스트부로 이송되어, DC테스트부에 의해 디바이스의 양/불이 판정되는 단계와; DC테스트부에서의 디바이스를 인서트로봇에 의해 BIB의 상부에 설치된 보조버퍼로 이송되는 단계와; 보조버퍼에서 디바이스가 리무브로봇에 의해 언로딩버퍼로 이동되는 단계와; 언로딩버퍼에서 양품으로 판정된디바이스가 언로딩로봇에 의해 빈트레이에 채워지는 단계와; 언로딩버퍼에서 불량품으로 판정된 디바이스가 소팅로봇에 의해 복수개의 테스트트레이에 등급별로 순차적으로 적재되는 단계로 이루어진 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법을 제공한다.

이하, 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법을 첨부된 도면을 이용하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명이 적용된 번인테스터용 소팅 핸들러이고, 도 4는 본 발명이 적용된 번인테스터용 소팅 핸들러의 일부를 확대하여 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명에 적용된 DC테스트부와 로딩버퍼를 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명의 보조버퍼를 나타낸 사시도이다.

먼저, 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러는 크게 메인프레임(100)과 로딩부(200)와 언로딩부(300)와 테스트부(400)와 이송부(500)로 구성되어 있다.

상기 로딩부(200)는 그 중앙에 트레이(미도시됨)가 로딩될 수 있는 로딩위치(210)가 형성되어 있고, 상기 로딩위치(210)의 전방에는 테스트될 디바이스(미도시됨)가 채워진 트레이가 적재될 수 있는 전방스택커(220)가 설치되어 있고, 상기 로딩위치(210)의 후방에는 상기 디바이스를 이송시키고 난 빈트레이가 적재될 수 있는 후방스택커(230)가 설치되어 있다.

상기 언로딩부(300)는 그 중앙에 트레이가 언로딩될 수 있는 언로딩위치(310)가 형성되어 있고, 상기 언로딩위치(310)의 후방에는 빈트레이가적재될 수 있는 후방스택커(330)가 설치되어 있고, 상기 언로딩위치(310)의 전방에는 상기 빈트레이에 양품의 디바이스가 채워진 트레이가 적재될 수 있는 전방스택커(320)가 설치되어 있다.

상기 로딩 및 언로딩부(200)(300)의 전방 및 후방에 설치되는 전방 및 후방스택커(220,320)(230,330)의 사이에는 트레이가 슬라이딩 되면서 이송될 수 있는 가이드레일(240)(340)이 설치되어 있다.

상기 테스트부(400)는 상기 메인프레임(100)의 일측에 설치되는 DC테스트부(410)와, 상기 DC테스트부(410)의 하부에 설치되는 로딩버퍼(420)와, 상기 DC테스트부(130)의 일측에 설치되는 BIB(430)와, 상기 BIB(430)의 일측에 설치되는 소팅부(440)와, 상기 소팅부(440)의 일측에 설치되는 언로딩버퍼(450)와, BIB(430)의 상부에 탈/부착될 수 있는 보조버퍼(460)(도 6참조)로 구성되어 있다.

상기 DC테스트부(410)(도 5참조)는 그 상부에 복수개의 디바이스가 채워질 수 있는 복수개의 소켓(411)이 형성되어 있고, 상기 DC테스트부(410)의 하부에는 베이스플레이트(412)가 설치되어 있다.

그리고, 상기 베이스플레이트(412)는 그 하부에 설치된 가이드레일(413)을 따라 슬라이딩 가능하게 되어 있고, 상기 베이스플레이트(412)는 그 일측에 설치된 제1실린더(414)와 제2실린더(415)에 의해 구동될 수 있으며, 상기 DC테스트부(410)는 그 하부에 설치된 제3실린더(416)의 구동에 의해 상/하 작동되면서 소켓(411)을 폐쇄/개폐 할 수 있다.

상기 로딩버퍼(420)는 그 상부에는 복수개의 디바이스를 로딩할 수 있는 복수개의 버퍼(421)가 형성되어 있다.

상기 DC테스트부(410)와 로딩버퍼(420)는 제2실린더(415)의 구동에 의해 전/후진되어 DC테스트 모드나, 로딩버퍼 모드 작업위치에 위치될 수 있고, DC테스트 모드시 테스트가 완료된 후에 불량으로 판정된 디바이스가 있을 시 제1실린더(414)가 구동하여 소팅로봇(570)에 의해 불량 디바이스가 소팅부(440)에 이송될 수 있도록 작업위치에 위치될 수 있다.

상기 BIB(430)는 복수개의 디바이스를 테스트할 수 있는 복수열의 소켓(431)이 형성되어 있다.

상기 소팅부(440)는 불량 판정된 디바이스를 등급별로 적재할 수 있는 복수개의 테스트트레이(441)가 설치되어 있다.

상기 언로딩버퍼(450)는 복수개의 버퍼블럭(451)이 형성되어 있고, 이는 BIB에서 번인 테스트된 디바이스가 리무브로봇에 의해 언로딩버퍼(450)에 이송되면, 양으로 판정된 디바이스는 언로딩로봇(540)에 의해 빈트레이에 채워지고, 불량으로 판정된 디바이스는 소팅로봇(570)에 의해 소팅부(440)에 이동될 수 있도록 각각의 버퍼블럭(451)이 위치하게 된다.

상기 보조버퍼(460)(도 6참조)는 복수개의 버퍼블럭(461)이 형성되어 있으며, 상기 보조버퍼(460)는 BIB(430)의 상부에 체결부재(462)에 의해 설치 및 분리될 수 있다.

상기 이송부(500)에는 상기 메인프레임(100)의 상부에 X방향으로 슬라이더(510)가 설치되어 있고, 상기 슬라이더(510)로부터 소정거리 이격되어 X축방향으로 X-Y축(520)이 설치되어 있다.

상기 슬라이더(510)에는 로딩 및 언로딩로봇(530)(540)이 X축방향으로 이동가능하게 설치되고, 상기 로딩 및 언로딩로봇(530)(540)의 사이에는 인서트로봇(550)과 리무브로봇(560)이 X축방향으로 동시 또는 각각 이동가능하게 설치되어 있다.

상기 인서트로봇(550)이 상기 DC테스트부(410)나 로딩버퍼(420)에서 디바이스를 로딩할 때, 상기 리무브로봇(560)은 상기 BIB(430)에서 소팅할 디바이스를 로딩할 수 있고, 그리고, 인서트로봇(550)이 BIB(430)에 번인테스트할 디바이스를 로딩할 때, 상기 리무브로봇(560)은 BIB(430)에서 언로딩버퍼(450)로, 번인테스트 후 소팅할 디바이스를 이송할 수 있다.

상기 X-Y축(520)에는 소팅로봇(570)이 X-Y방향으로 이동가능하게 설치되어 있으며, 상기 소팅로봇(570)은 불량 판정된 디바이스를 소팅부(440)의 테스트트레이(441)에 순차적으로 적재시킬 수 있다.(도 3참조)

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 로딩부(200)의 전방에 설치된 전방스택커(220)에서 디바이스가 채워진 트레이가 로딩위치(210)로 위치되고, 이때, 로딩부(200)의 타측에 설치된 언로딩부(300)에서도 후방스택커(330)에서 빈트레이가 언로딩위치(310)로 위치된다.

그리고, 슬라이더(510)에 설치된 로딩로봇(530)에 의해 디바이스가 테스트부(400)로 이송되며, 이때, 트레이에 채워져 있던 디바이스가 전부 이송되면빈트레이는 메인프레임(100)의 후방에 설치된 후방스택커(230)나 혹은 언로딩부(300)의 후방스택커(330), 혹은 언로딩부(300)의 전방스택커(320)로 이송되어 적재된다.

또한, 언로딩위치(310)에 위치되어 있던 빈트레이에 테스트가 완료된 디바이스가 전부 채워지면 디바이스가 채워진 트레이는 메인프레임(100)의 전방에 설치된 전방스택커(320)로 이송되어 적재된다.

상기 로딩로봇(530)에 의해 이송된 디바이스는 DC테스트부(410)로 이송되고, DC테스트부(410)의 소켓(411)에서 디바이스는 테스트되어 양/불 판정된다.

그리고, 상기 디바이스가 DC테스트를 하지 않을 경우, 상기 DC테스트부(410)가 후진하여 로딩버퍼(420)의 상부를 개방시키면 로딩버퍼(420)에서 디바이스가 인서트로봇(550)에 의해 이송된다.

그리고, DC테스트부(410)에서 양품 판정된 디바이스는 인서트로봇(550)에 의해 BIB(430)로 이송되고, 불량품 판정된 디바이스는 상기 DC테스트부(410)가 전진하여 소팅로봇(570)에 의해 소팅부(440)로 이송되어 소팅부(440)의 테스트트레이(441)에 등급별로 나뉘어서 적재된다.

상기 BIB(430)로 이송된 디바이스는 테스트된 후, 리무브로봇(560)에 의해 언로딩버퍼(450)로 이송되어, 언로딩버퍼(450)의 각각의 버퍼블럭(451)에 삽입된다. 그리고, BIB(430)에서 기 테스트되어진 디바이스의 양/불에 따라 소팅할 수 있게 한다.

언로딩버퍼(450)에서 양품으로 판정된 디바이스는 언로딩로봇(540)에 의해언로딩위치(310)에 위치되어 있는 빈트레이에 채워지게 되고, 양품의 디바이스가 채워진 트레이는 전방스택커(320)에 적재된다.

또한, 언로딩버퍼(450)에서 불량품으로 판정된 디바이스는 소팅로봇(570)에 의해 소팅부(440)에 설치되어 있는 테스트트레이(441)에 등급별로 나뉘어서 채워지게 된다.

이와 같이, 구성된 본원 발명에 의하면 DC테스트와 BIB에 디바이스 로딩/소팅 등의 작업을 동시에 혹은 각각 실시할 수 있다.

한편, DC테스트만을 수행할 경우에는 다음과 같다.

먼저, BIB보드(430)의 상부에 체결부재(462)를 이용하여 보조버퍼(460)를 설치한다.

그리고, DC테스트부(410)의 하부에 설치된 실린더(415)가 구동하여 상기 DC테스트부(410)가 전진하면서 그 하부에 설치되어 있는 로딩버퍼(420)를 폐쇄함과 동시에 DC테스트부(410)는 테스트준비를 완료한다.

이때, 로딩부(200)의 전방에 설치된 전방스택커(220)에서 디바이스가 채워진 트레이가 로딩위치(210)로 위치되고, 이때, 로딩부(200)의 타측에 설치된 언로딩부(300)에서도 후방스택커(330)에서 빈트레이가 언로딩위치(310)로 위치된다.

그리고, 슬라이더(510)에 설치된 로딩로봇(530)에 의해 디바이스가 DC테스트부(410)로 이송되며, 이때, 트레이에 채워져 있던 디바이스가 전부 이송되면 빈트레이는 메인프레임(100)의 후방에 설치된 언로딩부(300)의 후방스택커(330)로 이송되어 적재된다.

또한, 언로딩위치(310)에 위치되어 있던 빈트레이에 DC테스트가 완료된 디바이스가 전부 채워지면 디바이스가 채워진 트레이는 메인프레임(100)의 전방에 설치된 전방스택커(320)로 이송되어 적재된다.

상기 디바이스는 DC테스트부(410)에서 테스트된다. 그리고, DC테스트부(410)에서 테스트된 디바이스는 인서트로봇(550)에 의해 BIB(430)의 상부에 설치된 보조버퍼(460)로 이송된다.

상기 보조버퍼(460)로 이송된 디바이스는 리무브로봇(560)에 의해 언로딩버퍼(450)로 이송되고, 언로딩버퍼(450)에서 양품으로 판정된 디바이스는 언로딩로봇(540)에 의해 언로딩위치(310)에 위치되어 있는 빈트레이에 채워지게 되고, 양품의 디바이스가 채워진 트레이는 전방스택커(320)에 적재된다.

상기와 같이, 구성된 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같이 이루어진다.

도 7은 본 발명에서 DC테스트부와 BIB와 언로딩버퍼에 의한 DC테스트와 BIB에 디바이스 로딩/소팅이 함께 이루어지는 과정을 나타낸 순서도이다.

먼저, 도 7에 도시된 바와 같이, DC테스트와 BIB(430)와 언로딩버퍼(450)에 의한 DC테스트와 BIB(430)에 디바이스 로딩/소팅이 함께 이루어질 경우의 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법은 다음과 같다.

메인프레임(100)의 양측의 로딩부(200)와 언로딩부(300)에 복수개의 디바이스가 채워진 트레이와 복수개의 디바이스가 채워질 빈트레이가 각각의 가이드레일(240)(340)을 따라 이송장치(미도시됨)에 의해 이송되어 로딩위치(210)와 언로딩위치(310)에 위치된다.(S1)

이때, 메인프레임(100)의 상부에 X축방향으로 설치된 슬라이더(510)에 설치되어 X축방향으로 이동 가능한 로딩로봇(530)에 의해 복수개의 디바이스가 로딩부(200)의 트레이에서 DC테스트부(410)로 이송되어 DC테스트부(410)에 의해 디바이스는 테스트되어 양/불 판정된다.(S2)

그리고, DC테스트부(410)에서 양품으로 판정된 디바이스는 상기 슬라이더(510)에 설치되며, 상기 로딩로봇(530)의 일측에 위치된 인서트로봇(550)에 의해 BIB(430)로 이송되어 상기 BIB(430)에 형성된 복수열의 소켓(431)에 순차적으로 채워진다.

또한, DC테스트부(410)에서 불량품으로 판정된 디바이스는 상기 슬라이더(510)의 일측에 설치되어 있는 X-Y축(520)에 X축방향과 Y축방향으로 이동 가능하게 설치된 소팅로봇(570)에 의해 등급별로 나뉘어 소팅부(440)의 복수개의 테스트트레이(441)에 순차적으로 채워지게 된다.(S3)

BIB(430)에서 테스트된 복수개의 디바이스가 상기 인서트로봇(550)의 일측에설치된 리무브로봇(560)에 의해 언로딩버퍼(450)로 이송되어 상기 언로딩버퍼(450)의 버퍼블럭(451)에 채워진다.(S4)

언로딩버퍼(450)에서 양품으로 판정된 디바이스가 상기 리무브로봇(560)의 일측에 설치된 언로딩로봇(540)에 의해 언로딩부(300)의 언로딩위치(310)에 위치되어 있는 빈트레이에 채워지고, 빈트레이에 복수개의 디바이스가 전부채워지면 상기 트레이는 가이드레일(340)을 따라 전방스택커(320)에 적재된다.(S5)

한편, 로딩부(200) 로딩위치(210)에 위치된 트레이에서 디바이스가 모두 이송되면 상기 트레이는 가이드레일(240)을 따라 언로딩부(300)의 후방스택커(330)에 적재된다.

또한, 언로딩버퍼(450)에서 불량품으로 판정된 디바이스가 상기 언로딩버퍼(450)의 버퍼블럭(451)에서 X축방향과 Y축방향으로 이동 가능한 소팅로봇(570)에 의해 등급별로 나뉘어 소팅부(440)의 복수개의 테스트트레이(441)에 순차적으로 채워지게 된다.(S5)

한편, 디바이스에 대한 DC테스트만 이루어질 경우의 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.

도 8은 DC테스트만 이루어지는 과정을 나타낸 순서도이다.

먼저, 도 8에 도시된 바와 같이, 번인테스터용 소팅 핸들러의 일측에 설치되어 있는 BIB(430)의 상부에 복수개의 디바이스가 채워질 수 있는 복수개의 버퍼블럭(461)이 형성되어 있는 보조버퍼(460)를 체결부재(462)를 이용하여 설치한다.(S11)

메인프레임(100)의 양측의 로딩부(200)와 언로딩부(300)에 복수개의 디바이스가 채워진 트레이와 복수개의 디바이스가 채워질 빈트레이가 각각의 가이드레일(240)(340)을 따라 이송장치에 의해 이송되어 로딩위치(210)와 언로딩위치(310)에 위치된다.(S12)

이때, 메인프레임(100)의 상부에 X축방향으로 설치된 슬라이더(510)에 설치되어 X축방향으로 이동 가능한 로딩로봇(530)에 의해 복수개의 디바이스가 로딩부(200)의 트레이에서 DC테스트부(410)로 이송되어 DC테스트부(410)에 의해 디바이스는 테스트되어 양/불 판정된다.(S13)

그리고, DC테스트부(410)에서 양품으로 판정된 디바이스는 상기 슬라이더(510)에 설치되며, 상기 로딩로봇(530)의 일측에 위치된 인서트로봇(550)에 의해 BIB(430)의 상부에 설치된 보조버퍼(460)로 이송된다.(S14)

상기 보조버퍼(460)로 이송된 디바이스는 리부브로봇(560)에 의해 언로딩버퍼(450)로 이송된다.(S15)

상기 언로딩버퍼(450)에서 양품으로 판정된 디바이스가 상기 슬라이더(510)에 설치된 언로딩로봇(540)에 의해 빈트레이에 채워지고, 상기 디바이스가 모두 채워진 트레이는 가이드레일(340)을 따라 이송되어 전방스택커(320)에 적재된다.(S16)

상기 언로딩버퍼(450)에서 불량품으로 판정된 디바이스가 소팅로봇(570)에 의해 소팅부(440)에 설치된 복수개의 테스트트레이(441)에 등급별로 분류되어 순차적으로 채워진다.(S17)

이와 같이, 구성된 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법은 디바이스가 이송부에 의해 테스트부로 이송되어, 테스트부에 의해 테스트된 디바이스는 양/불 판정되어 디바이스 각각이 등급별로 나뉘어 적재될 수 있다.

본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법은 보조버퍼의 탈/부착이 용이하여 공정에 따른 장비를 추가적으로 구비하지 않고, 1대의 장비로 2대의 작업능률을 얻을 수 있는 이점이 있다.

Claims

메인프레임과;

상기 메인프레임의 일측에 설치되어 디바이스가 채워진 트레이가 로딩되는 로딩부와;

상기 로딩부의 타측에 설치되어 빈트레이가 언로딩되는 언로딩부와;

상기 로딩/언로딩부의 사이에 설치된 DC테스트부와, 상기 DC테스트부의 하부에 설치되는 로딩버퍼와, 상기 DC테스트부의 일측에 설치된 BIB와, 상기 BIB의 일측에 설치된 언로딩버퍼와, 상기 언로딩버퍼의 일측에 설치된 소팅부로 이루어진 테스트부와;

상기 로딩/언로딩부의 상부에 설치되며, 로딩/언로딩로봇과 인서트/리무브로봇이 X방향으로 이동가능하게 설치되어 있는 슬라이더와, 상기 슬라이더의 일측에 설치되며, 소팅로봇이 XY방향으로 이동가능하게 설치되어 있는 X-Y축으로 이루어진 이송부로 구성되며,

상기 BIB의 상부에 탈/부착될 수 있는 보조버퍼가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 번인테스터용 소팅 핸들러.
제 1 항에 있어서,

상기 번인테스터용 소팅 핸들러는 DC테스트만 수행할 경우에는 BIB의 상부에 보조버퍼가 설치시킬 수 있고, DC테스트부와 BIB와 언로딩버퍼에 의한 로딩 및 소팅이 함께 이루어질 경우에는 상기 보조버퍼를 해제시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 번인테스터용 소팅 핸들러.
제 1 항에 있어서,

상기 번인 테스터용 소팅 핸들러는 DC테스트를 수행하지 않고, BIB에서 디바이스의 로딩 및 소팅을 수행할 경우 DC테스트부의 로딩버퍼를 선택적으로 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 번인테스터용 소팅 핸들러.
제 1 항에 있어서,

상기 복수개의 테스트트레이가 설치된 소팅부는 불량 판정된 디바이스를 각각의 테스트트레이에 등급별로 나누어 순차적으로 적재할 수 있는 것을 특징으로 하는 번인테스터용 소팅 핸들러.
제 4 항에 있어서,

상기 소팅부는 복수개의 테스트트레이 중 어느 하나만을 선택적으로 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 번인테스터용 소팅 핸들러.
메인프레임의 양측에 디바이스가 채워진 트레이와 빈트레이를 로딩부와 언로딩부에 위치시키는 단계와;

로딩로봇에 의해 디바이스가 DC테스트부로 이송되어 DC테스트부에 의해 디바이스의 양/불이 판정되는 단계와;

DC테스트부에서 양품으로 판정된 디바이스는 인서트로봇에 의해 BIB로 이송되고, 불량품으로 판정된 디바이스는 소팅로봇에 의해 등급별로 복수개의 테스트트레이에 순차적으로 채워지는 단계와;

BIB에서 번인테스트된 디바이스가 리무브로봇에 의해 언로딩버퍼로 이동되어 양/불판정되는 단계와;

언로딩버퍼에서 양품으로 판정된 디바이스가 언로딩로봇에 의해 빈트레이에 채워지는 단계와;

언로딩버퍼에서 불량품으로 판정된 디바이스가 소팅로봇에 의해 등급별로 복수개의 테스트트레이에 순차적으로 채워지는 단계로 이루어진 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법.
번인테스터용 소팅 핸들러의 일측에 설치되어 있는 BIB의 상부에 보조버퍼를 설치하는 단계와;

메인프레임의 양측에 디바이스가 채워진 트레이와 빈트레이를 로딩부와 언로딩부에 위치시키는 단계와;

로딩로봇에 의해 디바이스가 DC테스트부로 이송되어, DC테스트부에 의해 디바이스의 양/불이 판정되는 단계와;

DC테스트부에서의 디바이스를 인서트로봇에 의해 BIB의 상부에 설치된 보조버퍼로 이송되는 단계와;

보조버퍼에서 디바이스가 리무브로봇에 의해 언로딩버퍼로 이동되는 단계와;

언로딩버퍼에서 양품으로 판정된 디바이스가 언로딩로봇에 의해 빈트레이에 채워지는 단계와;

언로딩버퍼에서 불량품으로 판정된 디바이스가 소팅로봇에 의해 복수개의 테스트트레이에 등급별로 순차적으로 적재되는 단계로 이루어진 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법.