KR20040044573A - 액정표시장치 제조방법 - Google Patents

액정표시장치 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20040044573A
KR20040044573A KR1020020072601A KR20020072601A KR20040044573A KR 20040044573 A KR20040044573 A KR 20040044573A KR 1020020072601 A KR1020020072601 A KR 1020020072601A KR 20020072601 A KR20020072601 A KR 20020072601A KR 20040044573 A KR20040044573 A KR 20040044573A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
seal line
substrate
forming
auxiliary seal
array substrate
Prior art date
Application number
KR1020020072601A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100709480B1 (ko
Inventor
박광섭
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020020072601A priority Critical patent/KR100709480B1/ko
Priority to US10/703,585 priority patent/US7214115B2/en
Publication of KR20040044573A publication Critical patent/KR20040044573A/ko
Priority to US11/723,159 priority patent/US7884915B2/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100709480B1 publication Critical patent/KR100709480B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 액정표시장치 어레이 기판 상에 인쇄되는 실 라인들의 높이를 일정하게 형성하여 균일한 셀 갭을 유지할 수 있는 액정표시장치 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명은 투명성 절연 기판 상에 게이트 버스 라인, 게이트 절연막, 액티브층 및 소오스/드레인 금속을 순차적으로 형성하는 단계; 상기 소오스/드레인 금속이 도포된 절연 기판 상에 연속적으로 습식 식각과 건식 식각을 하여 소오스/드레인 전극 및 채널 층을 형성하면서, 어레이 영역 외곽의 액정 주입구와 그에 대향되는 반대 영역에 각각 보호 금속 패턴을 형성하는 단계; 상기 소오스/드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호막과 화소 전극을 형성하여 어레이 기판을 완성하는 단계; 상기 어레이 기판의 가장자리를 따라 메인 실라인을 형성하고, 상기 어레이 기판과 외곽 영역에 형성되어 있는 상기 보호 금속 패턴들 사이에 제 1 보조 실라인을 형성하며, 일정한 거리를 두고 제 2 보조 실라인과 제 3 보조 실라인을 형성하는 단계; 및 상기 실라인이 형성되어 있는 어레이 기판 상에 컬러 필터 기판을 합착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시장치 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING LCD}
본 발명은 액정표시장치 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시장치의 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이의 셀 갭을 일정하게 하고, 실라인 영역에서 얼룩 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있는 액정표시장치 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 현대 사회가 정보 사회화되어 감에 따라 정보표시장치의 하나인 액정표시장치 모듈의 중요성이 점차로 증가되어 가고있다. 지금까지 가장 널리 사용되고 있는 CRT(cathode ray tube)는 성능이나 가격적인 측면에서 많은 장점을 갖고 있지만, 소형화 또는 휴대성 측면에서 많은 단점을 갖고 있다.
반면에 액정표시장치는 가격 측면에서 다소 비싸지만 소형화, 경량화, 박형화, 저 전력, 소비화 등의 장점을 갖고 있어, CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로 주목되고 있다.
상기 액정표시장치는 박막 트랜지스터가 배열된 어레이 기판과, 레드(Red), 그린(Green), 블루(Blue) 컬러 필터층이 형성된 컬러 필터 기판이 액정을 사이에 두고 합착된 구조를 하고 있다.
일반적인 액정표시장치의 어레이 기판의 제조공정은 다음과 같다.
먼저, 투명한 유리 기판 상에 금속막을 증착하고, 식각 하여 게이트 버스 라인과 게이트 전극을 형성하는 제 1 마스크 공정, 계속해서 게이트 절연막, 비정질 실리콘막, 도핑된 비정질 실리콘막을 도포하여 채널층을 형성하는 제 2 마스크 공정, 상기 채널층이 형성되어 있는 기판 상에 소오스/드레인 금속막을 증착한 다음, 식각 하여 소오스/드레인 전극과 데이터 버스 라인을 형성하는 제 3 마스크 공정, 소자 보호를 위하여 보호막을 도포한 다음 콘택홀을 형성하는 제 4 마스크 공정, 상기 보호막이 형성된 기판 상에 ITO 투명 금속막을 증착하고 식각 하여 화소전극을 형성하는 5마스크 공정으로 제조된다.
일반적으로 액정표시장치의 어레이 기판을 제조하는데는, 5, 6, 7, 8마스크 공정을 사용하였으나, 마스크 공정의 증가는 액정표시장치의 제조 단가를 상승시키는 원인이 되므로, 최근에는 마스크 공정을 줄이는 연구가 활발히 진행되어 채널층과 소오스/드레인 전극을 동시에 형성하는 4마스크 공정이 행해지는 추세이다.
상기에서와 같이 어레이 기판이 완성되면, 컬러 필터 기판과의 합착 후 액정 주입을 위하여 컬러 필터 기판 또는 어레이 기판 상에 실라인 형성을 위하여 자외선 경화제인 실런트(sealant)를 인쇄한다.
상기와 같이 실라인을 형성하기 위한 방법은 스크린 인쇄법 또는 디스펜스 인쇄법 등이 있는데, 상기 스크린 인쇄법은 마스크와 같은 스크린을 대고 실런트가 발라진 롤러에 의하여 실라인을 형성하는 방법이고, 상기 디스펜스 인쇄법은 실런트를 튜브 속에 넣고 상기 어레이 기판을 따라 튜브를 짜서 실라인을 형성하는 방법이다.
또한, 상기 어레이 기판 외부로 액정들이 노출되는 것을 방지하면서, 컬러필터 기판과의 견고한 합착을 위하여 상기 어레이 기판 외부에 보조 실라인을 형성한다.
상기와 같이 어레이 기판 상에 실 라인이 인쇄되면 컬러 필터 기판 상에 스페이서를 산포한 후, 두 기판을 합착한다. 합착한 후 자외선을 조사하여 실 라인을 경화시킴으로써 두 개의 기판을 견고히 합착시킨다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치의 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 투명성 절연 기판으로된 하부 기판(1a) 상에 게이트 버스 라인과 데이터 버스 라인이 수직으로 교차 배열하여 단위 화소 영역을 한정하며, 상기 단위 화소 영역 상에 투명 금속으로 형성된 화소 전극(2)이 매트릭스 형태로 형성되어 있다. 상기 화소 전극(2)이 형성된 하부 기판(1a) 상에는 보호막(3)이 형성되어 액정표시장치의 어레이 기판을 완성한다.
상기 어레이 기판과 대응되는 컬러 필터 기판은 투명성 상부 기판(1b) 상에 블랙 매트릭스가 형성되어 있고, 상기 블랙 매트릭스 상에 R, G, B 컬러 필터층(9)을 형성한다. 상기 R, G, B 컬러 필터층(9)이 형성되어 있는 상부 기판(1b) 상에 보호막(7)과 공통 전극(6)을 형성한다.
상기 컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에는 액정층(5)이 개재되어 있는데, 상기 액정층(5)이 봉입 될 수 있도록 상기 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이에 실라인(10)을 형성한 다음 자외선을 조사하여 두 기판을 합착한다.
도 2는 종래 기술에 따라 액정표시장치 어레이 기판 상에 실라인을 도포한 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 액정표시장치의 어레이 공정에 따라 투명성 절연 기판(20) 상에 다수개의 화소 영역에 형성되어 있는 엑티브 영역과 상기 화소 영역으로부터 인출되는 게이트 버스 라인과 데이터 버스 라인의 신호인가 영역인 패드 영역을 형성하여 어레이 기판(21)을 완성한다.
상기 어레이 기판(21)은 상기 투명성 절연 기판(20) 상에 크기에 따라 4개 또는 6개의 어레이 기판(20)이 동시에 형성된다.
상기 어레이 기판(20) 상에 컬러 필터와의 합착을 위하여 실라인을 형성하였는데, 상기 어레이 기판(20) 가장자리 내부 둘레를 따라 메인 실라인(23)을 형성하고, 컬러 필터 기판과의 일정한 셀 갭 유지와 견고한 합착을 위하여 상기 어레이 기판의 액정 주입구 외곽과 대향되는 반대 영역에 세 개의 보조 실라인(25a, 25b, 25c)을 형성한다.
도면에서 도시한 상기 어레이 기판(20)은 4 마스크 공정에 따라 제조된 어레이 기판을 나타내는 것인데 상기 보조 실라인들(25a, 25b, 25c)이 형성되어 있는 영역의 점선 부분은 소오스/드레인 전극과 채널층을 동시에 형성할 때, 외부로부터 상기 어레이 기판(20)의 모서리 영역을 손상시키는 것을 방지하기 위하여 보호 금속 패턴(27)을 형성한 것이다.
상기 보호 금속 패턴(27)은 소오스/드레인 전극을 형성할 때 동시에 패터닝되는 것으로서, 상기 보조 실라인 중에서 제 1 보조 실라인(25a)이 오버랩 된다.
제 2 보조 실라인(25b)은 상기 보호 금속 패턴(27)과 오버랩 되는 영역이 있지만 대부분 오버랩 되지 않고, 제 3 보조 실라인(25c)은 상기 보호 금속 패턴(27)이 존재하지 않는 영역 상에 형성된다.
도 3은 종래 기술에 따라 셀 공정에서 실 라인에 의하여 셀 갭(cell gap)이 유지되는 모습을 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 도 2의 어레이 기판 상에 형성되어 있는 메인 실라인(23), 제 1 보조 실라인(25a), 제 2 보조 실라인(25b), 제 3 보조 실라인(25c) 하부에 적층된 구조를 도시하였다.
상기 메인 실라인(23) 하부에는 투명성 절연 기판(20) 상에 게이트 전극 금속층(31)과 상기 게이트 전극 금속층(31) 상에 게이트 절연막(32)이 적층되어 있고, 상기 게이트 절연막(32) 상에 보호막(33)이 적층되어 있는 구조이다.
상기 게이트 전극 금속층(31)의 두께는 2500Å 이고, 상기 게이트 절연막(32)의 두께는 4000Å이고, 상기 보호막(33)의 두께는 2000Å이여서, 상기 투명성 절연 기판(20)보다 8500Å의 단차를 갖는다.
상기 제 1 보조 실라인(25a) 하부에는 상기 투명성 절연 기판(20) 상에 게이트 절연막(32)이 적층되어 있고, 상기 게이트 절연막(32) 상에 액티브층(35)이 적층되어 있고, 상기 액티브층(35) 상에는 소오스/드레인 금속막(37)이 적층되어 있고, 상기 소오스/드레인 금속막(37) 상에는 보호막(33)이 적층되어 있는 구조이다.
상기 게이트 절연막(32)의 두께는 4000Å이고, 상기 액티브층(35)의 두께는 2000Å이고, 상기 소오스/드레인 금속막(37)의 두께와 보호막(33)은 각각 2000Å 두께를 가지므로 상기 투명성 절연 기판(20)과 10000Å의 단차를 갖게 된다.
상기 제 2 보조 실라인(25b)과 제 3 보조 실라인(25c) 하부에는 상기 투명성절연 기판(20) 상에 상기 게이트 절연막(32)이 적층되어 있고, 상기 게이트 절연막(32) 상에 보호막(33)이 적층되어 있어, 총6000Å의 단차를 갖는다.
상기와 같이 어레이 기판 상에 실라인들(23, 25a, 25b, 25c)이 형성된 후에는 컬러 필터 기판이 합착되는데, 상기 컬러 필터 기판은 상기 제 1 보조 실라인(25a)에 먼저 합착되어 액정 셀을 형성하게 된다.
그러나, 상기와 같이 4마스크 공정에 따라 액정표시장치 어레이 기판이 제조될 때, 상기 어레이 기판 상에 형성되어 있는 배선들의 에칭에 의한 손상을 줄이기 위하여 상기 어레이 기판의 외곽 영역에 보호 금속 패턴을 형성하는데, 이로 인하여 상기 어레이 기판 상의 메인 실 라인 높이와 제 1 보조 실라인의 높이가 달라지는 문제가 있다.
이와 같이 상기 어레이 기판 상에 형성되는 메인 실라인 보다 상기 어레이 기판 외곽에 형성되어 있는 제 1 보조 실라인의 높이가 1500Å정도 더 높아 실제적으로 상기 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이에 일정한 셀 갭을 유지시키는데 문제가 있다.
상기와 같이 메인 실 라인보다 보조 실 라인이 높음으로써 액정주입시 액정이 외부로 노출되거나, 상기 메인 실라인 영역에서 얼룩이 발생하게 된다.
본 발명은, 액정표시장치의 어레이 기판 상에 형성되는 메인 실라인의 높이와 보조 실라인의 높이를 동일하게 유지하도록 하여 기판의 합착시 일정한 셀 갭을 유지할 수 있도록 한 액정표시장치 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치의 단면도.
도 2는 종래 기술에 따라 액정표시장치 어레이 기판 상에 실라인을 도포한 도면.
도 3은 종래 기술에 따라 셀 공정에서 실라인에 의하여 셀갭이 유지되는 모습을 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치 어레이 기판 상에 실라인을 도포한 도면.
도 5는 상기 도 4 에서 실라인에 의하여 셀갭이 유지되는 모습을 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치 셀 공정에서 실 라인(seal line)에 의하여 셀 갭(cell gap)이 유지되는 모습을 도시한 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
40: 투명성 절연 기판41: 어레이 기판
43: 메인 실라인45a: 제 1 보조 실라인
45b: 제 2 보조 실라인45c: 제 3 보조 실라인
51: 게이트 전극 금속층52: 게이트 절연막
53: 보호막
상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 액정표시장치 제조방법은,
투명성 절연 기판 상에 게이트 버스 라인, 게이트 절연막, 액티브층 및 소오스/드레인 금속을 순차적으로 형성하는 단계;
상기 소오스/드레인 금속이 도포된 절연 기판 상에 연속적으로 습식 식각과 건식 식각을 하여 소오스/드레인 전극 및 채널 층을 형성하면서, 어레이 영역 외곽의 액정 주입구와 그에 대향되는 반대 영역에 각각 보호 금속 패턴을 형성하는 단계;
상기 소오스/드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호막과 화소 전극을 형성하여 어레이 기판을 완성하는 단계;
상기 어레이 기판의 가장자리를 따라 메인 실 라인을 형성하고, 상기 어레이 기판과 외곽 영역에 형성되어 있는 상기 보호 금속 패턴들 사이에 제 1 보조 실 라인을 형성하며, 일정한 거리를 두고 제 2 보조 실라인과 제 3 보조 실 라인을 형성하는 단계; 및
상기 실 라인이 형성되어 있는 어레이 기판 상에 컬러 필터 기판을 합착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제 1 보조 실라인의 하부 층은 상기 보호막과 게이트 절연막이 적층된 구조이고, 상기 메인 실라인의 하부 층은 상기 게이트 버스 라인의 금속막과 게이트 절연막, 보호막이 적층되어 있는 구조이며, 상기 메인 실라인의 높이가 상기 제 1 보조 실라인, 제 2 보조 실라인 및 제 3 보조 실 라인보다 높은 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 실시 예에 의한 액정표시장치 제조방법은.
투명성 절연 기판 상에 게이트 버스 라인 및 게이트 전극을 형성하고, 어레이 영역 외곽의 액정 주입 영역과 그에 대향되는 반대 영역에 게이트 전극 금속층을 형성하는 단계;
상기 게이트 버스 라인이 형성된 절연 기판 상에 게이트 절연막, 액티브층 및 소오스/드레인 금속을 순차적으로 형성하는 단계;
상기 소오스/드레인 금속이 도포된 절연 기판 상에 연속적으로 습식 식각과 건식 식각을 하여 소오스/드레인 전극 및 채널 층을 형성하면서, 어레이 영역 외곽의 액정 주입구와 그에 대향되는 반대 영역에 각각 보호 금속 패턴을 형성하는 단계;
상기 소오스/드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호막과 화소 전극을 형성하여 어레이 기판을 완성하는 단계;
상기 어레이 기판의 가장자리를 따라 메인 실 라인을 형성하고, 상기 어레이 기판과 외곽 영역에 형성되어 있는 상기 게이트 금속 패턴과 오버 랩되도록 제 1 보조 실 라인을 형성하며, 일정한 거리를 두고 제 2 보조 실라인과 제 3 보조 실 라인을 형성하는 단계; 및
상기 실 라인이 형성되어 있는 어레이 기판 상에 컬러 필터 기판을 합착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제 1 보조 실라인의 하부 층은 상기 보호막과 게이트 절연막및 게이트 전극 금속층이 적층된 구조이고, 상기 메인 실라인의 하부 층은 상기 게이트 버스 라인의 금속막과 게이트 절연막, 보호막이 적층되어 있는 구조인 것을 특징으로 한다.
특히, 상기 메인 실라인의 높이는 상기 제 1 보조 실라인과 동일한 높이를 갖고, 상기 메인 실라인의 높이는 상기 제 2 보조 실라인 및 제 3 보조 실 라인보다 높은 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 액정표시장치 어레이 기판 가장자리를 따라 인쇄되는 메인 실라인과 상기 어레이 기판의 외곽에 형성되는 제 1 보조 실라인의 높이를 동일하게 하여 컬러 필터 기판이 합착될 때 균일한 셀 갭(cell gap)을 유지할 수 있도록 한 이점이 있다.
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명에 따라 액정표시장치 어레이 기판 상에 실 라인을 도포한 도면이고, 도 5는 상기 도 4 에서 실 라인(seal line)에 의하여 셀 갭(cell gap)이 유지되는 모습을 도시한 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 투명성 절연 기판(40) 상에 게이트 버스 라인, 게이트 절연막, 액티브층 및 소오스/드레인 금속을 순차적으로 형성한 다음, 상기 소오스/드레인 금속을 연속적으로 습식 식각과 건식 식각을 하여 소오스/드레인 전극 및 채널 층을 형성한다.
이때, 어레이 기판 액정 주입구 영역 외곽과 이에 대향되는 반대 영역에 각각 보호 금속 패턴(47)을 형성하는데, 상기 보호 금속 패턴(47)은 제 1 보조 실라인(45a)이 형성될 영역에는 형성되지 않도록 한다.
따라서, 상기 소오스/드레인 전극이 형성되고, 보호막과 화소 전극이 형성되면 어레이 기판(41)이 완성되는데, 상기 어레이 기판(41) 상에 실 라인(Seal Line)을 형성할 때, 제 1 보조 실 라인(45a)의 하부 층에는 종래와 달리 소오스/드레인 금속막과 액티브층이 존재하지 않게 된다.
상기 제 1 보조 실 라인(45a)이 형성될 때, 상기 어레이 기판(41) 내부에는 메인 실 라인(43)이 형성되고, 상기 제 1 보조 실 라인(45a) 외각으로 제 2 실 라인(45b)과 제 3 실 라인(45c)이 형성된다.
상기 제 2 실 라인(45b)은 상기 보호 금속 패턴(47)과 일정 부분 오버랩(overlap)되지만, 상기 제 3 보조 실 라인(45c)은 상기 보호 금속 패턴(47)과 오버 랩되지 않는다.
이와 같이, 상기 어레이 기판(41) 상에 실 라인(43)이 형성되면 컬러 필터 기판을 합착하여 액정 셀을 형성한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 도 4에서의 어레이 기판 상에 형성되어 있는 메인 실 라인(43), 제 1 보조 실 라인(45a), 제 2 보조 실 라인(45b), 제 3 보조 실 라인(45c) 하부에 적층된 구조를 도시하였다.
상기 메인 실 라인(43) 하부에는 투명성 절연 기판(40) 상에 게이트 전극 금속층(51)과 상기 게이트 전극 금속층(51) 상에 게이트 절연막(52)이 적층되어 있고, 상기 게이트 절연막(52) 상에 보호막(53)이 적층되어 있는 구조이다.
상기 게이트 전극 금속층(51)의 두께는 2500Å 이고, 상기 게이트 절연막(52)의 두께는 4000Å이고, 상기 보호막(53)의 두께는 2000Å이여서, 투명성 절연 기판(40)보다 8500Å의 단차를 갖는다.
상기 제 1 보조 실 라인(45a) 하부에는 상기 투명성 절연 기판(40) 상에 게이트 절연막(52)이 적층되어 있고, 상기 게이트 절연막(52) 상에 보호막(53)이 적층되어 있는 구조이다.
상기 제 1 보조 실 라인(45a)은 투명성 절연 기판(40)과 6000Å의 단차를 갖는 적층막 상에 형성된다.
상기 제 2 보조 실 라인(45b)과 제 3 보조 실 라인(45c) 하부에는 상기 투명성 절연 기판(40) 상에 상기 게이트 절연막(52)이 적층되어 있고, 상기 게이트 절연막(52) 상에 보호막(53)이 적층되어 있어, 총 6000Å의 단차를 갖는다.
상기와 같이 어레이 기판 상에 실 라인들(43, 45a, 45b, 45c)이 형성된 후에는 컬러 필터 기판이 합착되는데, 상기 컬러 필터 기판은 가장 높이가 높은 어레이 기판 상의 메인 실 라인(43) 상에 합착되어, 상기 어레이 기판과 컬러 필터 기판의 셀 갭 유지를 하도록 한다.
종래와 같이 4마스크 공정에 의하여 제조된 어레이 기판 상에 실 라인을 형성하면, 상기 제 1 보조 실 라인(45a)의 높이가 상기 메인 실 라인(43)의 높이보다 낮아 실질 적으로 일정한 셀 갭(cell gap)이 요구되는 어레이 기판과 컬러 필터 기판과의 셀 갭 유지가 좋지 않았다.
하지만, 본 발명에서는 상기 어레이 기판 상에 형성되어 있는 상기 메인 실라인(43)의 높이가 가장 높아 셀 갭 균일한 셀 갭 유지와 액정 주입에 의한 얼룩이 발생하지 않게 된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치 셀 공정에서 실 라인(seal line)에 의하여 셀 갭(cell gap)이 유지되는 모습을 도시한 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 메인 실 라인(43)과 제 1 보조 실 라인(45a)의 높이를 동일하게 형성하기 위하여 게이트 버스 라인을 형성할 때, 상기 어레이 기판 외곽 영역에 게이트 전극 금속층(51)을 형성하였다.
즉, 투명성 절연 기판(40) 상에 게이트 금속막을 증착한 다음, 이를 식각 하여 어레이 기판 내에서는 게이트 버스 라인 및 게이트 전극을 형성하고, 어레이 영역 외곽의 액정 주입 영역과 대향되는 반대 영역에 각각 게이트 전극 금속층(51)을 형성하였다.
즉, 상기 게이트 전극 금속층(51)은 어레이 기판의 게이트 버스 라인을 형성하면서, 액정 주입 영역의 상기 제 1 보조 실 라인(45a)이 형성될 영역에 형성하였다.
이후, 공정에서는 게이트 절연막과 액티브층을 차례로 증착하고, 계속해서 소오스/드레인 금속막을 도포한다. 상기 소오스/드레인 금속막이 도포된 투명성 절연 기판(40) 상에 연속적으로 습식 식각과 건식 식각을 진행하여 소오스/드레인 전극 및 채널 층을 형성한다. 이때, 어레이 기판 외곽의 액정 주입구와 대향되는 반대 영역에 각각 보호 금속 패턴을 형성하데, 상기 보호 금속 패턴을 상기 제 1 보조 실 라인(45a)이 형성될 영역 상에는 형성되지 않도록 한다.
이후, 상기 소오스/드레인 전극과, 보호 금속 패턴이 형성된 기판 상에 보호막(53)과 화소 전극을 형성하여 어레이 기판을 완성한다.
그런 다음, 상기 어레이 기판의 가장자리를 따라 메인 실라인(43)을 형성하고, 상기 어레이 기판과 외곽 영역에 형성되어 있는 상기 게이트 전극 금속층(51) 과 오버 랩되도록 제 1 보조 실 라인(45a)을 형성하며, 일정한 거리를 두고 제 2 보조 실라인(45b)과 제 3 보조 실 라인(45c)을 형성하고, 상기 실 라인이 형성되어 있는 어레이 기판 상에 컬러 필터 기판을 합착하여 액정패널을 완성한다.
따라서, 상기 메인 실라인(43)과 제 1 보조 실 라인(45a)이 형성된 영역의 단면도를 보면, 상기 메인 실라인(43) 하부 층에는 투명성 절연 기판(40) 상에 게이트 전극 금속층(51)과 상기 게이트 전극 금속층(51) 상에 게이트 절연막(52)이 적층되어 있고, 상기 게이트 절연막(52) 상에 보호막(53)이 적층되어 있는 구조를 갖게된다.
상기 게이트 전극 금속층(51)의 두께는 2500Å 이고, 상기 게이트 절연막(52)의 두께는 4000Å이고, 상기 보호막(53)의 두께는 2000Å이여서, 투명성 절연 기판(40)보다 8500Å의 단차를 갖는다.
상기 제 1 보조 실라인(45a) 하부에는 상기 투명성 절연 기판(40) 상에 게이트 전극 금속층(51)과 상기 게이트 전극 금속층(51) 상에 게이트 절연막(52)이 적층되어 있고, 상기 게이트 절연막(52) 상에 보호막(53)이 적층되어 있는 구조이다.
즉, 상기 메인 실라인과 제 1 보조 실라인의 높이가 동일하여, 컬러 필터 기판이 합착될 때 두 개의 실 라인이 이중으로 지지하여 셀 갭을 유지하게 된다.
상기 제 2 보조 실라인(45b)과 제 3 보조 실라인(45c) 하부에는 상기 투명성 절연 기판(40) 상에 상기 게이트 절연막(52)이 적층되어 있고, 상기 게이트 절연막(52) 상에 보호막(53)이 적층되어 있어, 총 6000Å의 단차를 갖는다.
따라서, 본 발명에서는 어레이 기판 상에 형성되는 메인 실 라인이 셀 갭을 유지할 수 있도록 하거나, 상기 메인 실 라인과 제 1 보조 실 라인이 동시에 셀 갭을 유지하도록 하여 셀 갭 불량을 최소화하였다.
이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 액정표시장치의 어레이 기판 외곽 영역에 형성되는 보조 실라인의 높이를 상기 어레이 기판 내부에 형성되어 있는 메인 실라인의 높이를 동일하게 함으로써 기판 간에 일정한 셀 갭을 유지할 수 있도록 한 효과가 있다.
따라서, 어레이 기판 내부의 메인 실라인과 보조 실라인의 높이가 동일하여 기판을 합착할 때, 상하 기판이 평행하게 합착되어 액정 주입시 실라인 터짐이나 얼룩 발생을 방지할 수 있는 이점이 있다.
본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

Claims (9)

  1. 투명성 절연 기판 상에 게이트 버스 라인, 게이트 절연막, 액티브층 및 소오스/드레인 금속을 순차적으로 형성하는 단계;
    상기 소오스/드레인 금속이 도포된 절연 기판 상에 연속적으로 습식 식각과 건식 식각을 하여 소오스/드레인 전극 및 채널 층을 형성하면서, 어레이 영역 외곽의 액정 주입구와 그에 대향되는 반대 영역에 각각 보호 금속 패턴을 형성하는 단계;
    상기 소오스/드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호막과 화소 전극을 형성하여 어레이 기판을 완성하는 단계;
    상기 어레이 기판의 가장자리를 따라 메인 실 라인을 형성하고, 상기 어레이 기판과 외곽 영역에 형성되어 있는 상기 보호 금속 패턴들 사이에 제 1 보조 실 라인을 형성하며, 일정한 거리를 두고 제 2 보조 실라인과 제 3 보조 실 라인을 형성하는 단계; 및
    상기 실 라인이 형성되어 있는 어레이 기판 상에 컬러 필터 기판을 합착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 보조 실라인의 하부층은 상기 보호막과 게이트 절연막이 적층된 구조인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인 실라인의 하부층은 상기 게이트 버스 라인의 금속막과 게이트 절연막, 보호막이 적층되어 있는 구조인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인 실라인의 높이가 상기 제 1 보조 실라인, 제 2 보조 실라인 및 제 3 보조 실 라인보다 높은 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  5. 투명성 절연 기판 상에 게이트 버스 라인 및 게이트 전극을 형성하고, 어레이 영역 외곽의 액정 주입 영역과 그에 대향되는 반대 영역에 게이트 전극 금속층을 형성하는 단계;
    상기 게이트 버스 라인이 형성된 절연 기판 상에 게이트 절연막, 액티브층 및 소오스/드레인 금속을 순차적으로 형성하는 단계;
    상기 소오스/드레인 금속이 도포된 절연 기판 상에 연속적으로 습식 식각과 건식 식각을 하여 소오스/드레인 전극 및 채널 층을 형성하면서, 어레이 영역 외곽의 액정 주입구와 그에 대향되는 반대 영역에 각각 보호 금속 패턴을 형성하는 단계;
    상기 소오스/드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호막과 화소 전극을 형성하여 어레이 기판을 완성하는 단계;
    상기 어레이 기판의 가장자리를 따라 메인 실 라인을 형성하고, 상기 어레이 기판과 외곽 영역에 형성되어 있는 상기 게이트 금속 패턴과 오버 랩되도록 제 1 보조 실라인을 형성하며, 일정한 거리를 두고 제 2 보조 실라인과 제 3 보조 실 라인을 형성하는 단계; 및
    상기 실 라인이 형성되어 있는 어레이 기판 상에 컬러 필터 기판을 합착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 보조 실라인의 하부층은 상기 보호막과 게이트 절연막 및 게이트 전극 금속층이 적층된 구조인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 메인 실라인의 하부층은 상기 게이트 버스 라인의 금속막과 게이트 절연막, 보호막이 적층되어 있는 구조인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 메인 실라인의 높이는 상기 제 1 보조 실라인과 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 메인 실라인의 높이는 상기 제 2 보조 실라인 및 제 3 보조 실 라인보다 높은 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
KR1020020072601A 2002-11-21 2002-11-21 액정표시장치 제조방법 KR100709480B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020072601A KR100709480B1 (ko) 2002-11-21 2002-11-21 액정표시장치 제조방법
US10/703,585 US7214115B2 (en) 2002-11-21 2003-11-10 Method of manufacturing liquid crystal display device
US11/723,159 US7884915B2 (en) 2002-11-21 2007-03-16 Method of manufacturing liquid crystal display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020072601A KR100709480B1 (ko) 2002-11-21 2002-11-21 액정표시장치 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040044573A true KR20040044573A (ko) 2004-05-31
KR100709480B1 KR100709480B1 (ko) 2007-04-18

Family

ID=32322273

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020072601A KR100709480B1 (ko) 2002-11-21 2002-11-21 액정표시장치 제조방법

Country Status (2)

Country Link
US (2) US7214115B2 (ko)
KR (1) KR100709480B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100751808B1 (ko) * 2006-02-22 2007-08-23 네오뷰코오롱 주식회사 평판 디스플레이 패널 및 평판 디스플레이 패널 제조 방법
US8933451B2 (en) 2010-10-27 2015-01-13 Samsung Display Co., Ltd. Organinc light emitting display device and method of manufacturing the same

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8416196B2 (en) 2008-03-04 2013-04-09 Apple Inc. Touch event model programming interface
KR101784434B1 (ko) 2010-12-21 2017-10-12 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
CN103149729B (zh) * 2013-03-01 2016-03-23 京东方科技集团股份有限公司 一种彩膜基板及其制作方法、显示装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5517344A (en) * 1994-05-20 1996-05-14 Prime View Hk Limited System for protection of drive circuits formed on a substrate of a liquid crystal display
JPH10268324A (ja) * 1997-03-27 1998-10-09 Kyocera Corp 液晶表示素子
JPH10268361A (ja) * 1997-03-27 1998-10-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JP3803510B2 (ja) * 1999-05-25 2006-08-02 日本電気株式会社 液晶表示パネル
KR100493870B1 (ko) * 1999-12-29 2005-06-10 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시장치의 씰 패턴 형성방법
JP2002072257A (ja) * 2000-09-05 2002-03-12 Fuji Xerox Co Ltd 表示素子
KR100771949B1 (ko) * 2001-11-07 2007-10-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 초박형 액정표시장치용 씰패턴
KR100698042B1 (ko) * 2002-07-29 2007-03-23 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 및 그 제조방법
TWI274220B (en) * 2003-08-19 2007-02-21 Hannstar Display Corp A liquid crystal display having thin cell gap and method of producing the same
KR101026832B1 (ko) * 2008-08-20 2011-04-04 대구텍 유한회사 절삭 인서트

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100751808B1 (ko) * 2006-02-22 2007-08-23 네오뷰코오롱 주식회사 평판 디스플레이 패널 및 평판 디스플레이 패널 제조 방법
US8933451B2 (en) 2010-10-27 2015-01-13 Samsung Display Co., Ltd. Organinc light emitting display device and method of manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
US7884915B2 (en) 2011-02-08
US7214115B2 (en) 2007-05-08
US20040102127A1 (en) 2004-05-27
KR100709480B1 (ko) 2007-04-18
US20070178797A1 (en) 2007-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7477345B2 (en) Liquid crystal display and method for manufacturing the same
KR100634919B1 (ko) 표시 장치용 배선 기판 및 그 제조 방법
US8400606B2 (en) Liquid crystal display apparatus and method of manufacturing the same
US6862069B2 (en) Liquid crystal display device and fabricating method thereof
US7527989B2 (en) Method for fabricating liquid crystal display panel
US20050285995A1 (en) Liquid crystal display device having black matrix in region outside of pixel region and method for fabricating the same
KR20070066909A (ko) 액정표시 소자
KR20010082161A (ko) 액정표시패널 및 그 제조방법
US6873391B2 (en) LCD panel and method for fabricating the same
JP2004004680A (ja) 表示装置用配線基板及びその製造方法
KR100763169B1 (ko) 기판 흡착용 진공 척 구조
JP2003186022A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
US7884915B2 (en) Method of manufacturing liquid crystal display device
US6967703B2 (en) Liquid crystal display device and method thereof
US6985203B2 (en) Sealing on alignment films of liquid crystal display device and fabricating method thereof
JP2010181474A (ja) 薄膜トランジスタアレイ基板、反射型液晶表示装置及びその製造方法
JP2000338506A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
KR20000066397A (ko) 티에프티 엘시디 판넬의 제작방법
JP3987522B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法
US20080149933A1 (en) Display panel
KR20070107206A (ko) 컬러필터 기판 및 이를 포함하는 액정 표시판
JPH07175088A (ja) 液晶パネル用基板とその製造方法
US8330929B2 (en) Display panel
KR20050004547A (ko) 액정표시패널
KR101108338B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120330

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130329

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160329

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170320

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190318

Year of fee payment: 13