KR20040041003A

KR20040041003A - 히터가 부착된 포핏밸브

Info

Publication number: KR20040041003A
Application number: KR1020030068564A
Authority: KR
Inventors: 칸자카이쿠오; 후쿠다마모루
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2002-11-07
Filing date: 2003-10-02
Publication date: 2004-05-13
Also published as: TW200422546A; DE10350791B4; US20040089344A1; TWI228171B; JP2004156720A; CN1499109A; JP3994117B2; CN1328525C; KR100502786B1; DE10350791A1; US6805152B2

Abstract

본 발명은 밸브부재를 가열하기 위한 히터를 상기 밸브부재 이외의 장소에 설치하고, 상기 히터로 밸브부재를 개폐위치에 상관없이 항상 가열할 수 있도록 한 것을 목적으로 한다.

이를 위해, 메인포트(11,12) 간을 연결하는 유로(14) 중의 밸브시트(15)와, 이 밸브시트(15)를 개폐하는 밸브부재(13)와, 이 밸브부재(13)와 피스톤(21)을 연결하는 로드(16)를 갖는 밸브케이싱(10)의 내부에 원통형 발열부재(30)를 설치하여 제1히터(31)를 내장하고, 상기 발열부재(30)와 밸브부재(13)의 수열부재(33)를 신축가능한 전열부재(35)로 서로 연결함으로써 상기 밸브부재(13)가 그 개폐위치에 상관없이 상기 전열부재(35)를 통해서 항시 가열됨과 아울러 상기 밸브부재(13)의 개방시에는 상기 수열부재(33)가 발열부재(30)에 접촉하여 직접 가열되도록 구성한다.

Description

히터가 부착된 포핏밸브{POPPET VALVE WITH HEATER}

본 발명은 이화학기계 등에 있어서 반응가스 등의 작동유체의 공급에 직접 사용하거나 이와 같은 반응가스를 사용하는 진공챔버의 감압 등에 사용하는 포핏밸브에 관한 것이고, 더욱 상세하게는 상기 작동유체로부터의 생성물이 밸브부재 등에 부착되는 것을 히터로 방지하도록 구성한, 히터가 부착된 포핏밸브에 관한 것이다.

예컨대, 반도체의 제조장치에 있어서는 진공챔버 내에서 행해지는 에칭 등의 화학처리에 고온의 반응가스가 사용되고, 그 공급이나 진공챔버의 감압 등에 포핏밸브가 이용되고 있다. 그런데, 상기 반응가스는 저온화되면 생성물이 석출되기 쉽고, 그 생성물이 유로를 개폐하는 밸브부재에 부착되어 개폐 정밀도를 저하시키므로 이와 같는 포핏밸브에 있어서는 작동유체로부터의 생성물의 석출이나 밸브부재 로의 부착 등을 방지할 수 있도록 구성되어 있는 것이 중요하다.

이 때문에 종래로부터 케이싱의 내부나 밸브부재 등을 히터로 가열하여 생성물의 부착을 방지하도록 한 히터가 부착된 포핏밸브가 제안되고 있다. 일본 특허 제3005449호 공보에는 케이싱의 외면에 밴드히터를 감음과 아울러 유로를 개폐하는 밸브부재에 봉형상의 히터를 상기 밸브부재로부터 연장되는 중공로드의 내부를 통해서 설치한 것이 개시되어 있다. 또한, 일본 특허 제3012831호 공보에는 케이싱의 외면에 러버히터를 설치함과 아울러 밸브부재와 일체의 통형상을 한 유지체의 외주에 별도의 히터를 설치한 것이 개시되어 있다.

그러나, 상기 종래의 포핏밸브와 같이 가동부재인 밸브부재에 이 밸브부재를 단독으로 충분히 가열할 수 있을 정도로 열용량이 큰 대형 히터를 설치하면 이 히터에 의해서 밸브부재의 중량이 증가하므로 그만큼 개폐에 필요한 구동력을 크게 해야만 하고, 또한, 응답성도 저하하기 쉽다라는 문제도 생기므로 상기 히터를 밸브부재에 직접 설치하는 일없이 가능한한 밸브부재 이외의 장소에 설치하여 상기 히터로 상기 밸브부재를 동작위치에 상관없이 항상 가열할 수 있도록 하는 것이 요망되고 있다.

[특허문헌1]

일본 특허 제3005449호 공보

[특허문헌2]

일본 특허 제3012831호 공보

본 발명의 기술적 과제는 밸브부재를 가열하기 위한 히터를 구비한 포핏밸브에 있어서 상기 히터를 밸브부재에 직접 설치하는 일없이 이 밸브부재 이외의 장소에 설치하여 상기 히터로 밸브부재를 개폐위치에 상관없이 항상 가열할 수 있도록 구성하는 것에 있다.

도 1은 본 발명에 관한 포핏밸브의 일실시예를 나타내는 밸브폐쇄상태의 단면도이다.

도 2는 도 1의 포핏밸브의 밸브개방상태를 나타내는 단면도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

10 … 밸브케이싱 11 … 제1메인포트

12 … 제2메인포트 13 … 밸브부재

14 … 유로 15 … 밸브시트

16 … 로드 17 … 칸막이벽

20 … 실린더 21 … 피스톤

30 … 발열부재 30a … 전열면

31 … 제1히터 33 … 수열(受熱)부재

33a … 수열면 35 … 전열부재

36 … 벨로즈(bellows) 41 … 제2히터

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의하면 제1메인포트 및 제2메인포트와, 이들 양 메인포트를 연결하는 유로와, 이 유로 중에 설치된 밸브시트를 갖는 밸브케이싱; 상기 밸브케이싱에 연결된 실린더; 상기 밸브케이싱 내에 설치되어 상기 밸브시트를 개폐하는 포핏식 밸브부재; 상기 밸브부재에 선단부가 연결되고, 반대측의 기단부가 상기 실린더의 내부까지 연장되는 로드; 상기 실린더의 내부에 슬라이딩가능하게 배치됨과 아울러 상기 로드의 기단부에 연결되어 있는 피스톤; 상기 밸브케이싱 내의 정위치에 배치되고, 선단부에 상기 밸브부재가 밸브개방위치에서 접촉하는 전열면을 구비한 발열부재; 상기 발열부재와 밸브부재 사이에 상기 밸브부재의 동작에 따라서 신축가능하도록 끼워장착되고, 상기 발열부재로부터의 열을 밸브부재에 항시 전달하는 전열부재; 및 상기 발열부재에 설치된 제1히터를 갖는 것을 특징으로 하는 히터가 부착된 포핏밸브가 제공된다.

상기 구성을 갖는 본 발명의 포핏밸브에 있어서는 밸브케이싱 내의 정위치에 발열부재를 설치하여 이 발열부재에 제1히터를 설치하고, 상기 발열부재와 밸브부재를 신축가능한 전열부재로 서로 연결함과 아울러 상기 밸브부재의 개방시에 이들 발열부재와 밸브부재가 서로 접촉하도록 구성한 것이므로 상기 밸브부재가 밸브폐쇄위치이던가 또는 개폐동작 도중에 있어서 상기 발열부재로부터 떨어져 있을 때에도 상기 밸브부재가 상기 전열부재를 통해서 항상 가열되어 작동유체로부터의 생성물의 부착이 확실하게 방지된다. 또한, 상기 밸브부재가 개방위치에 있어서 유로를 대량의 작동유체가 유통할 때는 상기 밸브부재가 상기 발열부재에 접촉하여 상기 발열부재에 의해 더욱 직접가열되므로 가열효율이 상승하고, 생성물의 부착방지효과도 향상한다.

이렇게 하여 본 발명의 포핏밸브에 의하면 밸브부재 가열용 히터를 상기 밸브부재 이외의 장소에 설치한 구성이면서 상기 히터로 상기 밸브부재를 그 개폐위치에 상관없이 항시 가열할 수 있다. 또한, 히터를 밸브부재에 직접 설치한 종래품과 같은, 밸브부재의 중량의 증가에 의해서 개폐시의 구동력이 크게 되거나 응답성이 악화되는 일이 없다.

본 발명의 구체적인 구성예에 의하면 상기 밸브부재의 배면에 상기 로드를 둘러싸는 통형상을 한 전열성 수열부재가 설치되고, 이 수열부재의 선단에 상기 발열부재의 전열면이 접촉하는 수열면이 형성됨과 아울러 상기 수열부재와 상기 발열부재에 상기 전열부재가 연결되어 있다.

본 발명의 다른 구체적인 구성예에 의하면 상기 발열부재는 원통형상을 하고 있으며 상기 로드의 둘레에 동심상으로 설치되고, 상기 발열부재의 내부에 상기 제1히터가 내장되어 있다.

본 발명에 있어서 상기 전열부재는 벨로즈형상 또는 코일형상을 하고 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 또다른 구체적인 구성예에 의하면 상기 밸브케이싱의 단부의 칸막이벽과 밸브부재 사이에 상기 로드를 둘러싸도록 벨로즈가 설치되고, 이 벨로즈의 내부에 상기 발열부재와 수열부재와 전열부재가 수용되어 있다.

또한, 본 발명에 있어서는 상기 밸브케이싱에 제2히터를 설치할 수 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명에 관한 히터가 부착된 포핏밸브의 바람직한 하나의 실시예를 나타낸 것이다. 이 포핏밸브는 반도체 제조장치에 있어서의 진공챔버의 감압에 사용하기 위해 적합한 것이며, 밸브부재(13)로 유체유로(14)를 개폐하도록 구성된 밸브개폐부(1)와, 상기 밸브부재(13)를 구동하기 위한 실린더 조작부(2)와, 이들 밸브개폐부(1)와 실린더 조작부(2) 사이에 끼워설치된 단열부(3)를 갖고 있어서 상기 밸브개폐부(1)에는 제1 및 제2의 2조의 가열기구(4,5)가 설치되어 있다.

상기 밸브개폐부(1)는 스테인레스강(SUS) 등의 소재로 형성된 사각기둥형상의 밸브케이싱(10)을 갖고 있다. 이 밸브케이싱(10)은 상기 진공챔버 및 진공펌프 중 어느 한쪽에 접속하기 위한 제1메인포트(11)와, 다른쪽에 접속하기 위한 제2메인포트(12)를 서로 90도 다른 방향으로 구비함과 아울러 이들 양 메인포트(11,12)를 연결하는 상기 유로(14)와, 이 유로(14) 중에 설치된 원고리형상의 밸브시트 (15)를 구비하고 있다.

상기 밸브케이싱(10)의 내부에는 상기 밸브시트(15)를 개폐하는 포핏식의 상기 밸브부재(13)가 설치되어 있다. 이 밸브부재(13)는 원반형상을 한 기재(13a)의 하면 외주에, 상기 밸브시트(15)에 접촉이간하는 고무제 환상 시일부재(13b)를 설치하여 형성한 것이다. 상기 밸브부재(13)의 배면 중앙에는 구동용 로드(16)의 선단부가 설치되고, 이 로드(16)의 기단부는 밸브케이싱(10)의 단부의 칸막이벽(17) 및 상기 단열부(3)를 관통하여 상기 실린더 조작부(2)까지 연장되어 피스톤(21)에 연결되어 있다.

한편, 상기 실린더 조작부(2)는 밸브케이싱(10)의 일단부에 상기 단열부(3)를 통해서 연결된 실린더(20)를 갖고 있다. 이 실린더(20)의 단열부(3)측의 단부는 상기 칸막이벽(17)에 의해서 폐쇄되고, 실린더(20)의 반대측의 단부는 덮개체(23)에 의해서 폐쇄되어 있고, 상기 실린더(20) 내부에는 상기 피스톤(21)이 시일부재 (22)를 통해서 슬라이딩가능하게 수용되어 있다. 또한, 상기 칸막이벽(17)의 중앙부를 상기 로드(16)가 사일부재(28) 및 가이드부재(29)를 통해서 슬라이딩가능하게 관통하고, 상기 피스톤(21)에 까지 이르고 있다. 또한, 이 피스톤(21)의 양측에는상기 제1압력실(24a) 및 제2압력실(24b)이 형성되고, 이들 압력실(24a,24b)이 실린더(20)의 측면에 개구하는 제1조작포트(25a) 및 제2조작포트(25b)에 각각 접속되어 있다.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 상기 제1조작포트(25a)에 의해 제1압력실 (24a)을 개방하여 제2조작포트(25b)로부터 압축공기 등의 압력유체를 제2압력실 (24b) 내에 공급하면 상기 피스톤(21) 및 로드(16)가 전진하기 때문에 이 로드(16)의 선단의 밸브부재(13)도 전진하고, 밸브시트(15)에 접촉하여 상기 밸브시트(15)를 폐쇄한다. 또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 제2조작포트(25b)를 개방함과 아울러 제1조작포트(25a)로부터 압력유체를 제1압력실(24a) 내에 공급하면 상기 피스톤(21) 및 로드(16)가 후퇴하기 때문에 밸브부재(13)도 후퇴하고, 밸브시트 (15)로부터 떨어져서 이 밸브시트(15)를 개방한다.

또한, 상기 제1가열기구(4)는 밸브케이싱(10)의 내부에 상기 로드(16)를 따라서 배치된 발열부재(30)와, 이 발열부재(30)의 내부에 설치된 제1히터(31)를 구비하고 있다. 상기 발열부재(30)는 알루미늄과 같은 전열성이 우수한 금속소재에 의해 원통형상으로 형성된 것이므로 상기 로드(16)의 둘레에 아주 작은 갭을 유지하여 동심상으로 배치되고, 상기 칸막이벽(17)에 볼트 등으로 고정함으로써 밸브케이싱 (10) 내의 정위치에 부동상태로 설치되어 있다. 또한, 상기 발열부재(30)의 두께부분 내에는 히터 설치구멍(30b)이 상기 로드(16)와 평행하게 1개 또는 복수개 형성되고, 각 히터 설치구멍(30b) 내에 각각 봉형상을 한 전기저항발열식 상기 제1히터(31)가 내장되어 있다. 또한, 상기 발열부재(30)의 선단부는 환상 전열면(30a)으로 되어 있어서 이 전열면(30a)이 상기 밸브부재(13)의 개방시에 상기 밸브부재(13)의 배면에 형성된 수열면(33a)에 접촉하고, 밸브개방위치에 있는 상기 밸브부재(13)에 열을 직접 전달하도록 되어 있음으로써 상기 발열부재(30)는 상기 밸브부재(13)를 가열하는 수단과 이 밸브부재(13)의 밸브개방위치를 규정하는 스토퍼를 겸하는 것이다.

또한, 상기 제1히터(31)는 온도센서(32)를 갖고 있어서 이 온도센서(32)로부터 연장되는 리드선(32a)이 제1히터(31)로부터 연장되는 리드선(31a)과 함께 묶여져서 외부로 연장되고, 도시하지 않은 히터제어회로에 접속된다.

상기 밸브부재(13)의 수열면(33a)은 상기 밸브부재(13)의 배면에 설치된 수열부재(33)의 단면에 형성되어 있다. 즉, 상기 밸브부재(13)의 배면에는 알루미늄 등의 전열성이 우수한 소재에 의해 원통형상으로 형성된 상기 수열부재(33)가 상기 로드(16)를 둘러싸도록 설치되고, 상기 수열부재(33)의 선단면이 상기 수열면(33a)으로 되어 있다. 상기 수열부재(33)의 기단부의 상기 밸브부재(13)에 접촉하는 부분은 플랜지형상의 대경부(33b)로 되어 있어서 이 대경부(33b)와 상기 발열부재 (30) 사이에 신축가능한 전열부재(35)가 끼워설치되어 있다. 이 전열부재 (35)는 알루미늄 등의 전열성 소재에 의해서 벨로즈형상이나 코일형상 등의 신축가능한 형태로 형성되어 있어서 그 양단을 상기 수열부재(33)의 대경부(33b)와 발열부재(30)에 접촉시키던가 또는 연결한 상태로 이들 양부재(30,33) 간에 배치되어 상기 발열부재(30)로부터의 열을 밸브부재(13)에 항시 전달하는 것이다.

따라서, 상기 제1가열기구(4)에 있어서 상기 밸브부재(13)가 도 1과 같이 밸브폐쇄위치에 있던가 또는 개폐동작 도중에 있을 때는 상기 밸브부재(13)의 수열면 (33a)과 발열부재(30)의 전열면(30a)은 서로 떨어져 있으므로 상기 밸브부재(13)는 상기 전열부재(35)를 통해서 발열부재(30)에 의해 가열되고, 상기 밸브부재 (13)가 도 2와 같이 밸브개방위치에 있을 때는 상기 수열면(33a)과 전열면(30a)이 서로 접촉하기 때문에 상기 밸브부재(13)는 상기 발열부재(30)와 전열부재(35) 양쪽에서 가열되게 된다.

상기 밸브케이싱(10)의 칸막이벽(17)과 밸브부재(13) 사이에는 신축가능한 벨로즈(36)가 설치되고, 이 벨로즈(36)의 내부에 상기 발열부재(30)와 수열부재 (33)와 전열부재(35)가 각각 수용되어 있다.

또한, 상기 제2가열기구(5)는 밸브케이싱(10)의 외면에 설치되고, 이하와 같이 구성되어 있다. 즉, 상기 제2가열기구(5)는 상기 밸브케이싱(10)에 그 외주면 전체를 둘러싸도록 덮여져 부착된 각기둥형상의 전열커버(40)를 갖고 있다. 이 전열커버(40)는 알루미늄과 같은 전열성이 우수한 경질의 소재에 의해서 어느 정도의 두께를 갖도록 형성되어 있고, 상기 밸브케이싱(10)의 외면에 밀착한 상태로 설치되어 있다. 상기 전열커버(40)는 전체를 일체로 형성하여도 좋지만 복수인 부분, 예컨대, 밸브케이싱(10)의 4개의 측면마다 분할된 것을 조합시켜서 형성하여도 좋다.

상기 전열커버(40)의 두께부분 내에는 복수의 히터 설치구멍(40a)이 밸브케이싱(10)의 축선과 평행하게 뚫려 형성되고, 각 히터 설치구멍(40a) 내에 봉형상을 이루는 제2히터(41)가 1개씩 삽입되어 있다. 또한, 이들 제2히터(41)로부터의 열이전열커버(40)를 통해서 균등하게 분산되고, 밸브케이싱(10) 전체에 균등하게 전달되도록 되어 있다. 상기 제2히터(41)도 온도센서(42)를 갖고 있어서 이들 제2히터 (41) 및 온도센서(42)로부터 연장되는 리드선(41a,42a)이 함께 묶여져서 외부로 연장되고, 도시하지 않은 히터제어회로에 접속된다.

상기 제2히터(41)의 설치위치는 전열커버(40)의 네구석이여도 각 측면의 중앙부이여도 좋다. 또한, 상기 제2히터(41)의 수도 4개로 한정되는 것은 아니고, 3개이하이여도, 5개이상이여도 좋고, 가열조건에 따라서는 1개만 설치할 수도 있다.

상기 전열커버(40)의 각 측면의 외측에는 이들 각 측면으로부터 외부로의 열전달을 방지하기 위한 단열커버(43)가 덮여져 있다. 이 단열커버(43)는 실리콘고무나 불소고무 또는 발포불소고무 등으로 이루어지는 평판형상을 한 단열판(43a)의 내측면에 상기 전열커버(40)로부터의 열을 확산시키는 기능을 가지는 얇은 열확산판(43b)을 설치함으로써 형성한 것이므로 상기 전열커버(40)의 각 측면에 스페이서 (41)를 개재시킴으로써 상기 전열커버(40)와의 사이에 일정한 공극(45)을 유지한 상태로 나사(46)에 의해 고정되어 있다. 이 경우, 일부의 단열커버(43)의 나사(46)는 그 선단을 상기 제2히터(41)에 접촉시킴으로써 이 제2히터(41)의 고정용으로서 겸용하는 것이 바람직하다.

상기 열확산판(43b)은 알루미늄 등의 전열성 소재로 형성할 수 있지만 이 이외의 소재이여도 좋다. 또한, 상기 단열커버(43)는 전열커버(40)의 각 측면에 대응하여 4개로 분할되어 있거나 전체가 일체이여도 좋다.

상기 제2가열기구(5)는 이와 같은 구성을 갖고 있으므로 제2히터(41)로부터의 발열은 상기 전열커버(40)를 타고 이동하여 상기 커버전체에 균등하게 분산하고, 밸브케이싱(10)의 외주면 전체에 균등하게 전달되게 된다. 이 결과, 상기 밸브케이싱(10)이 SUS와 같은 전열성이 그다지 좋지 않은 소재로 형성되어 있어도 그 외주면 전체를 값싼 봉형상 히터(41)에 의해 상기 전열커버(40)를 통해서 효율좋게 가열할 수 있고, 상기 밸브케이싱(10)의 내면으로의 반응물의 부착을 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 상기 단열부(3)는 복수의 통기구멍(48a)을 갖는 원통형상의 단열판 (48)으로 형성되어 있어서 이 단열판(48)이 상기 밸브케이싱(10)과 실린더(20) 사이에 상기 로드(16)를 둘러싸서 동심상으로 설치되고, 상기 단열판(48)의 내부를 유통하는 공기에 의해서 상기 로드(16)가 냉각되도록 되어 있다. 또한, 상기 단열판(48)의 일부의 통기구멍(48a) 또는 특별히 설치한 도출(導出)구멍으로부터는 상기 제1히터(31)의 리드선(31a)이 외부로 도출되어 있다.

상기 구성을 갖는 포핏밸브에 있어서는 밸브케이싱(10) 내의 정위치에 발열부재(30)를 설치하여 이 발열부재(30)에 제1히터(31)를 설치하고, 상기 발열부재 (30)와 밸브부재(13)를 전열부재(35)로 서로 연결함과 아울러 상기 밸브부재(13)의 개방시에 이들 발열부재(30)와 밸브부재(13)가 서로 접촉하도록 구성하고 있으므로 상기 밸브부재(13)가 밸브폐쇄위치이던가 또는 개폐동작 도중이여서 상기 발열부재 (30)로부터 떨어져 있을 때에도 상기 밸브부재(13)가 상기 전열부재(35)를 통해서 항시 가열되고, 작동유체로부터의 생성물의 부착이 확실하게 방지된다. 또한, 상기 밸브부재(13)가 개방위치에 있어 유로를 대량의 작동유체가 유통할 때는 상기 밸브부재(13)가 상기 발열부재(30)에 직접 접촉하여 상기 전열부재(35) 외에 상기 발열부재(30)에 의해서도 직접 가열되기 때문에 가열효율이 상승하고, 생성물의 부착방지효과도 향상한다.

또한, 상기 제1히터(31)는 상기 발열부재(30)에 설치됨으로써 밸브부재(13) 이외의 장소에 설치되어 있으므로 이와 같은 히터를 밸브부재에 직접 설치한 종래품과 같은, 밸브부재의 중량의 증가에 의해서 개폐시의 구동력이 크게 되거나 응답성이 나쁘게 된다라는 문제가 생기지 않는다. 또한, 히터로부터 연장되는 리드선의 진동이나 신축저항 등이 밸브부재의 개폐에 영향을 미치지도 않는다.

상기 실시예에서는 밸브케이싱(10)이 사각기둥형상인 것이 나타내져 있지만 밸브케이싱(10)의 형상은 이와 같은 사각기둥형상에 한정되지 않고, 원기둥형상이나 그 외의 형상을 하고 있어도 좋다. 이와 같은 경우에는 제2가열기구(5)에 있어서의 전열커버(40)나 단열커버(43)가 이들 형상에 적합하도록 형성되는 것은 말할 것도 없다.

또한, 상기 밸브부재(13)에는 히터가 설치되어 있지 않지만 상기 밸브부재 (13)의 개폐에 그다지 영향을 미치지 않을 정도로 소형의 히터를 보조적으로 설치할 수 있다. 또한, 상기 실린더 조작부(2)는 피스톤(21)의 구동을 왕복 모두에 유체압으로 행하는 복동형인 것이 나타내져 있지만 복귀동작을 스프링으로 행하는 단동형이여도 좋은 것은 물론이다.

이와 같이 본 발명에 의하면 밸브부재를 가열하기 위한 제1히터를, 상기 밸브부재 이외의 장소에 설치한 발열부재에 설치하여 이 발열부재와 상기 밸브부재를 신축가능한 전열부재로 연결함으로써 상기 전열부재를 통해서 밸브부재를 그 개폐동작위치에 상관없이 항시 가열할 수 있다. 또한, 밸브부재의 중량의 증가에 의해서 개폐시의 구동력이 크게 되거나 응답성이 나쁘게 되는 문제를 방지할 수 있다.

Claims

제1메인포트 및 제2메인포트와, 이들 양 메인포트를 연결하는 유로와, 이 유로 중에 설치된 밸브시트를 갖는 밸브케이싱;

상기 밸브케이싱에 연결된 실린더;

상기 밸브케이싱 내에 설치되어 상기 밸브시트를 개폐하는 포핏식 밸브부재;

상기 밸브부재에 선단부가 연결되고, 반대측의 기단부가 상기 실린더의 내부까지 연장되는 로드;

상기 실린더의 내부에 슬라이딩가능하게 배치됨과 아울러 상기 로드의 기단부에 연결되어 있는 피스톤;

상기 밸브케이싱 내의 정위치에 배치되고, 선단부에 상기 밸브부재가 밸브개방위치에서 접촉하는 전열면을 구비한 발열부재;

상기 발열부재와 밸브부재 사이에 상기 밸브부재의 동작에 따라서 신축가능하도록 끼워설치되고, 상기 발열부재로부터의 열을 밸브부재에 항시 전달하는 전열부재; 및

상기 발열부재에 설치된 제1히터를 갖는 것을 특징으로 하는 히터가 부착된 포핏밸브.
제1항에 있어서, 상기 밸브부재의 배면에 상기 로드를 둘러싸는 통형상을 한 전열성 수열부재가 설치되고, 이 수열부재의 선단에 상기 발열부재의 전열면이 접촉하는 수열면이 형성됨과 아울러 상기 수열부재와 상기 발열부재에 상기 전열부재가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 히터가 부착된 포핏밸브.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 발열부재는 원통형상을 하고 있으며 상기 로드의 둘레에 동심상으로 설치되고, 상기 발열부재의 내부에 상기 제1히터가 내장되어 있는 것을 특징으로 하는 히터가 부착된 포핏밸브.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전열부재는 벨로즈형상 또는 코일형상을 하고 있는 것을 특징으로 하는 히터가 부착된 포핏밸브.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 밸브케이싱의 단부의 칸막이벽과 밸브부재 사이에 상기 로드를 둘러싸도록 벨로즈가 설치되고, 이 벨로즈의 내부에 상기 발열부재와 수열부재와 전열부재가 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 히터가 부착된 포핏밸브.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 밸브케이싱은 제2히터를 갖는 것을 특징으로 하는 히터가 부착된 포핏밸브.