KR20040028484A - 반송 장치 - Google Patents

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KR20040028484A
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동경 엘렉트론 주식회사
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Abstract

본 발명은 반송 아암의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도 반송 아암의 신장시의 길이를 길게 할 수 있는 반송 장치를 제공한다.
동축 또는 평행한 2축으로 이루어지는 회전축(5, 6)의 각각에 한 쌍의 제 1 아암(7, 8)의 각각의 일단부를 각각 고정하고, 상기 한 쌍의 제 1 아암(7, 8)의 각각의 타단부에 한 쌍의 제 2 아암(10, 11)의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 2 아암(10, 11)의 각각의 타단부에 피처리체(w)를 유지하는 유지부(14)를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암(17)을 구비한 반송 장치(4)에 있어서, 상기 제 2 아암(10, 11)을 서로 교차시켜 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

반송 장치{TRANSFER APPARATUS}
본 발명은 소위 프로그 레그형(frog-leg type)의 반송 아암을 갖는 반송 장치의 개량에 관한 것이다.
예컨대 반도체 장치의 제조에 있어서는, 피처리체, 예를 들면 반도체 웨이퍼를 반송하는 반송 장치가 이용되고 있고, 그 일례로서 프로그 레그(개구리의 다리)형의 반송 아암을 갖는 반송 장치가 일본 특허 공개 제 1992-129685 호 공보(전자), 일본 특허 공개 제 1994-15592 호 공보(후자) 등에서 개시되어 있다.
전자의 공보에 기재된 반송 장치는, 대회전축으로 간격을 두고 설치되는 동시에 상이한 방향으로 회전하는 평행한 2축으로 이루어지는 한 쌍의 소회전축으로 제 1 아암의 일단부를 각각 고정하고, 그 제 1 아암의 타단부에 제 2 아암의 일단부를 각각 핀 연결하고, 그 제 2 아암의 타단부에 웨이퍼를 유지하는 픽(pick)을 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비하고 있다. 또한, 상기 제 1 아암의 타단부에는 제 2 아암과 반대 방향을 향한 제 3 아암의 일단부가 각각 핀 연결되고, 그 제 3 아암의 타단부에 웨이퍼를 유지하는 픽이 핀 연결되어 있다.
후자의 공보에 기재된 반송 장치는, 중앙 허브(hub)와, 이 허브에 대하여 동축에서 회전하도록 배치된 한 쌍의 아암과, 서로 180°떨어진 2개의 픽과, 이들 각 픽을 상기 아암의 일단에 연결하는 관절 링크 장치와, 상기 아암을 역방향으로 회전시켜 픽의 하나 또는 다른 하나를 중앙 허브로부터 반경 방향으로 신장시켜 상기 아암을 동일한 방향으로 회전시켜 픽을 동축상에서 회전시키는 구동 장치를 구비하고 있다. 상기 반송 장치는 예컨대 반송실의 중앙부에 설치되어, 반송실의 주위에 배치된 처리실 및 로드 로크실 등에 대해, 반송 아암을 수축시킨 상태에서의 회전과 반송 아암의 신장 및 수축의 조합에 의해 웨이퍼의 이동 반송하도록 이루어져 있다.
그러나, 상기 어떠한 반송 장치에 있어서도 반송 아암의 수축시의 크기에 비해, 반송 아암의 신장시의 길이를 길게 할 수 없었다. 바꾸어 말하면, 반송 아암의 신장시의 길이가 길어지도록 각 아암의 길이를 길게 하면, 반송 아암의 수축시의 크기가 커져, 나아가서는 반송 아암을 수축 상태로 회전 가능하게 수용하는 반송실이 대형화 될 수밖에 없다는 문제가 있다.
본 발명은 상기 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 반송 아암의 수축시의 크기를 크게 하지 않고 반송 아암의 신장시의 길이를 길게 할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제 1 실시예에 따르면, 반송 장치 는 동축 또는 평행한 2축으로 이루어지는 회전축의 각각에 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 일단부를 각각 고정하고, 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 아암을 서로 교차시켜 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 1 실시예에 있어서, 반송 장치는 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에, 상기 제 2 아암과 반대 방향을 향하는 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 제 2 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 제 2 반송 아암을 더 포함하며, 상기 제 3 아암을 서로 교차시켜 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 평행한 2축으로 이루어지는 회전축의 각각에 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 일단부를 각각 고정하고, 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서, 상기 제 1 아암을 서로 교차시켜 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 실시예에 있어서, 반송 장치는 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에, 상기 제 2 아암과 반대 방향을 향하는 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 제 2 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 제 2 반송 아암을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 실시예에 있어서, 상기 하나의 제 1 아암이 상기 다른 하나의 제 1 아암의 회전축과의 간섭을 회피하기 위한 회피부(bypass portion)를 갖고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 서로 접근 이반 이동되는 한 쌍의 이동체의 각각에 한 쌍의 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서, 상기 아암을 서로 교차시켜 이루어지는 것을 특징으로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 관한 반송 장치를 구비한 처리 장치의 일례를 개략적으로 나타내는 구성도,
도 2는 도 1의 반송 장치의 평면도,
도 3은 도 2의 종단면도,
도 4는 픽(pick)의 베이스부에 핀 연결되는 한 쌍의 선단 링크(tip link)의 동기 반전 수단(synchronism inverting means)의 일례를 나타내는 평면도,
도 5는 반송 아암을 신장시킨 상태를 나타내는 평면도,
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 관한 반송 장치를 나타내는 평면도,
도 7은 도 6의 종단면도,
도 8은 반송 아암을 신장시킨 상태를 나타내는 평면도,
도 9는 종래의 반송 장치와 본 발명의 반송 장치의 반송 스트로크를 비교한 개략적 설명도,
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 관한 반송 장치를 개략적으로 나타내는 평면도.
＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞
w : 반도체 웨이퍼(처리 기판)4 : 반송 장치
5, 6 : 회동축7, 8 : 제 1 아암
10, 11 : 제 2 아암14 : 픽(제 1 유지부)
17 : 반송 아암(제 1 반송 아암)23, 24 : 제 3 아암
27 : 제 2 픽(유지부)30 : 제 2 반송 아암
50, 51 : 이동체52, 53 : 아암
59 : 반송 아암
이하에, 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 관한 반송 장치를 구비한 처리 장치의 일례를 개략적으로 나타내는 구성도이고, 도 2는 도 1의 반송 장치의 평면도이며, 도 3은 도 2의 종단면도이고, 도 4는 픽의 베이스부에 핀 연결되는 한 쌍의 제 2 아암의 동기 반전 수단의 일례를 나타내는 평면도이며, 도 5는 반송 아암을 신장시킨 상태를 나타내는 평면도이다.
도 1에 있어서, 참조부호(1)는 처리장치로서 예시한 진공 처리 장치를 나타내며, 이 진공 처리 장치(1)는 피처리체, 예컨대 반도체 웨이퍼(w)를 1장씩 수용하여 소정의 처리(예컨대, 성막 처리, 에칭 처리 등)를 실시하는 다수의 처리실(2)[본 실시예에서는 4개의 처리실(2a, 2b, 2c, 2d)]과, 웨이퍼(w)를 각 처리실(2a, 2b, 2c, 2d)과 후술하는 로드 로크실(3a, 3b)에 반송하는 반송 장치(4)를 구비한 반송실(5)과, 이 반송실(5)과 대기압의 외부와의 사이에서 웨이퍼(w)의 출입을 실행하기 위한, 예컨대 2개의 로드 로크실(3a, 3b)을 구비하고 있다.
상기 반송실(5)은 실질적으로 육각형의 평면 형상으로 형성되어 있고, 그 외주의 4개의 면에 처리실(2a, 2b, 2c, 2d)이 각각 게이트 밸브(G1 내지 G4)를 통해 접속되어 있다. 반송실(5)의 외주의 다른 2개의 면에는 반입용 또는 반출용으로서의 로드 로크실(3a, 3b)이 각각 게이트 밸브(G5, G6)를 통해 접속되어 있다. 로드 로크실(3a, 3b)의 외부를 향하여 형성된 웨이퍼의 출입구에는 이를 개폐하기 위한 게이트 밸브(G7, G8)가 설치되어 있다.
상기 반송실(5)을 중심으로 하여 그 주위에 처리실(2a, 2b, 2c, 2d) 및 로드 로크실(3a, 3b)이 반경방향으로 배치되고, 반송실(5)내의 중심부에 반송 장치(4)가 설치되어 있다. 이 반송 장치(4)는 동축 또는 평행한 2축(본 실시예에서는 동축인 경우임)으로 이루어지는 회전축(5, 6)에 제 1 아암(7, 8)의 일단부를 각각 고정하고, 상기 제 1 아암(7, 8)의 타단부에 제 2 아암(10, 11)의 일단부를 각각 핀 연결, 즉 핀(12, 13)을 통해 수평 회전 가능하게 연결하고, 상기 제 2 아암(10, 11)의 타단부에 피처리체 예컨대 반도체 웨이퍼(w)를 유지하는 유지부(제 1 유지부라고도 함), 예컨대 픽(제 1 픽이라고도 함)(14)을 핀 연결, 즉 핀(15, 16)을 통해 수평 회전 가능하게 연결하여 이루어지는 반송 아암(제 1 반송 아암이라고도 함)(17)을 구비하고 있다. 또한 핀 대신에 축일 수도 있다.
특히 반송 아암(17)의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도 반송 아암(17)의 신장시의 길이를 길게 하기 위해서, 상기 제 2 아암(10, 11)을 서로 교차(crossing)시켰다. 즉, 종래의 반송 장치에 있어서의 반송 아암(17')은 도 9의 (a)에 도시한 바와 같이 제 2 아암(10', 11')을 서로 교차시키지 않는 반면, 본 실시예의 반송 장치(4)에 있어서의 반송 아암(17)은 도 9의 (b)에 도시한 바와 같이 제 2 아암(10, 11)을 서로 교차시키고 있다. 도 9의 (a) 및 (b)에 있어서, 픽(14)에 연결되는 제 2 아암(10, 11)의 선단부(타단부)간 (핀 간)의 거리(d)는 모두 동일하지만, 수축 상태에 있어서 제 2 아암(10, 11)을 교차시켜 선단부를 반대측의 핀(15, 16)에 각각 연결하도록 구성함으로써, 대략 핀(15, 16) 사이의 거리만큼 각 제 2 아암(10, 11)의 길이가 길어진다. 따라서, 종래의 반송 장치에 있어서의 반송 아암(17')보다도 본 실시예의 반송 장치에 있어서의 반송 아암(17)쪽이 신장시의 길이를 길이(g) 만큼 길게 할 수 있다.
반송 아암(17)의 신축 동작과 관계없이 픽(14)의 방향을 반경 방향(신장 방향)으로 유지하기 위해서, 도 4에 도시한 바와 같이 픽(14)의 베이스부(14a)에 핀(15, 16)으로 회전 가능하게 연결된 한 쌍의 제 2 아암(10, 11)의 선단부에는 양자의 회전을 역방향으로 동기시키는 동기 반전 수단으로서 서로 맞물리는 기어(20, 21)가 형성되어 있다. 또한 동기 반전 수단으로서는, 제 2 아암(10, 11)의 선단부에 벨트차를 형성하고, 양 벨트차 사이에 하나의 무단형상 벨트를 8자 형상으로 감은(교차시킨)것, 또는 양 벨트차 사이에 2장의 금속제 예컨대 스테인레스제의 벨트를 상하에 위치를 어긋나게 배치함과 동시에, 상하에서 서로 반대방향의 S자 형상으로 감아 각 벨트의 양단을 벨트차에 각각 고정한 것 등도 바람직하다. 제 2 아암(10, 11)이 교차하고 있음으로써 수축시에 하나의 제 2 아암(10)이 다른 하나의 제 2 아암(11)의 핀(15)과 간섭하는 것을 회피하기 위해서, 제 2 아암(10, 11)의 선단부에는 대략 직각으로 굽어져 신장 방향으로 돌출된 돌출부(10a, 11a)가 형성되며, 상기 돌출부(10a, 11a)가 핀(15, 16)을 통해 픽(14)의 베이스부에 연결되어 있는 것이 바람직하다.
한편, 반송 장치로서는 반송 아암(17)을 하나 구비한 싱글 타입으로서 구성될 수도 있지만, 실시예와 같이 2개의 반송 아암을 180°반대 방향으로 구비한 듀얼 타입으로 구성될 수도 있다. 듀얼 타입이 싱글 타입보다도 반송 효율의 향상 및 스루풋의 향상을 도모할 수 있다. 이 경우, 상기 픽(유지부)(14)을 제 1 픽(유지부)으로 하고, 상기 반송 아암(17)을 제 1 반송 아암으로 한다. 추가로 상기 제 1 아암(7, 8)의 타단부에는 제 2 아암(10, 11)과 반대 방향을 향하는 제 3 아암(23, 24)의 일단부가 제 2 아암(10, 11)의 핀 연결부에 근접하여 각각 핀(25, 26)을 통해 연결되어, 상기 제 3 아암(23, 24)의 타단부에는 웨이퍼(w)를 유지하는 제 2 픽(유지부)(27)이 핀(28, 29)을 통해 연결되고 제 2 반송 아암(30)이 구성되어 있다. 그리고 제 2 반송 아암(30)의 신장시의 길이를 길게 하기 위해서, 상기 제 3 아암(23, 24)이 서로 상기 제 2 아암(10, 11)과 동일하게 교차되어 있다. 제 2 반송 아암(30)의 상세한 구조는 제 1 반송 아암(17)과 동일하기 때문에 도 4 및 도 5에서는 생략한다.
제 2 아암(10, 11)과 제 3 아암(23, 24)을 지지하는 제 1 아암(7, 8)은 그 강도를 갖게 하기 위해서 두께가 두텁게 되어 있고, 제 1 아암(7, 8)의 기단부(일단부)가 서로 상하에 중첩됨으로써 상하 방향의 치수가 증대하는 것을 해소하기 위해서, 도 3에도 도시한 바와 같이 제 1 아암(7, 8)의 기단부의 중첩 면에는 두께의 절반을 잘라낸 단부(절결부)(31, 32)가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 또한 제 2 아암(10, 11)이 서로 교차부(39)에서 상하로 중첩됨으로써 상하 방향의 치수가 증대하는 것을 해소하기 위해서, 제 2 아암(10, 11)의 교차부에서 선단측의 중첩 면에는 두께의 절반을 잘라낸 단부(절결부)(35, 36)가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
반송 장치(4)는 회전축(5, 6)을 구동하기 위한 구동 장치(구동수단)(37)를 구비하고 있다. 도 3에는 구동 장치의 일례를 나타내고 있다. 이 구동장치(37)는 하우징(38)을 갖고, 이 하우징(38)내에 2개의 전동 모터부(40, 41)가 상하에 배치되어 있다. 각 모터부(40, 41)는 로터(40a, 41a)와 스테이터(40b, 41b)로 이루어지고, 스테이터(40b, 41b)가 하우징(38)내에 고정되어 있다. 상기 회전축(5, 6)은 원통 형상의 제 1 회전축(5)과, 이 제 1 회전축(5)내에 회전 가능하게 관통된 제 2 회전축(6)으로 이루어지고, 제 1 회전축(5)에 상부(제 1) 모터부(40)의 로터(40a)가 설치되어 있다. 제 2 회전축(6)은 제 1 회전축(5)의 하단에서 돌출되어 있고, 그 돌출 부분에 하부(제 2) 모터부(41)의 로터(41a)가 설치되어 있다. 이러한 2개의 모터부(40, 41)의 구동에서 제 1 아암(7, 8)을 서로 역방향으로 회동시킴으로써 하나(제 1) 또는 다른 하나(제 2)의 반송 아암(17, 30)을 수축 상태로 반경 방향 외방향으로 신장시키고, 또는 신장 상태로부터 반경 방향 내방향으로 수축시킬 수 있고, 제 1 아암(7, 8)을 동 방향으로 회전시킴으로써 반송 아암(17, 30)을 동축의 회전축(5, 6) 주위로 회전(선회)시킬 수 있다. 또한 반송 아암(17, 30)을 회전시키는 경우, 반송실(5)의 내주벽에 접촉하지 않도록 반송 아암(17, 30)을 수축시킨 상태로 실행한다.
상술한 구성으로 이루어지는 반송 장치(4)에 의하면, 동축 또는 평행한 2축으로 이루어지는 회전축(5, 6)에 제 1 아암(7, 8)의 일단부를 각각 고정하고, 상기 제 1 아암(7, 8)의 타단부에 제 2 아암(10, 11)의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 제 2 아암(10, 11)의 타단부에 피처리체, 예컨대 웨이퍼(w)를 유지하는 유지부, 예컨대 픽(14)을 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암(17)을 구비한 반송 장치(4)에 있어서 상기 제 2 아암(10, 11)을 서로 교차시켜 이루어지기 때문에, 반송 아암(17)의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도(크기를 바꾸지 않고서) 반송 아암(17)의 신장시의 길이를 길게 할 수 있다.
즉, 종래의 반송 장치에 있어서의 반송 아암(17')은 도 9의 (a)에 도시한 바와 같이 제 2 아암(10', 11')이 서로 교차되어 있지 않은 반면, 본 실시예의 반송 장치에 있어서의 반송 아암(17)은 도 9의 (b)에 도시한 바와 같이 제 2 아암(10,11)이 서로 교차되어 있다. 도 9의 (a) 및 도 9의 (b)에 있어서, 픽(14)에 연결되는 제 2 아암(10, 11)의 선단부(타단부)간(핀 간)의 거리(d)는 모두 동일하지만, 수축상태에 있어서 제 2 아암(10, 11)을 교차시켜 선단부를 반대측의 핀(15, 16)에 각각 연결하도록 구성함으로써 대략 핀(15, 16)간의 거리만큼 각 제 2 아암(10, 11)의 길이가 길어진다. 따라서, 종래의 반송 장치에 있어서의 반송 아암(17')보다도 본 실시예의 반송 장치에 있어서의 반송 아암(17)쪽이 신장시의 길이를 길게 할 수 있다. 바꾸어 말하면, 반송 아암(17)의 신장시의 길이를 종래와 같이 한 경우, 반송 아암(17)의 수축시의 크기를 작게 할 수 있어서, 수축 상태에서의 선회 반경을 작게 할 수 있기 때문에, 반송실(5)의 소형화 내지 컴팩트화를 도모하는 것도 가능하다.
또한, 상기 제 1 아암(7, 8)의 타단부에, 제 2 아암(10, 11)과 반대방향을 향하는 제 3 아암(23, 24)의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 제 3 아암(23, 24)의 타단부에 웨이퍼(w)를 유지하는 제 2 픽(27)을 핀 연결하여 이루어지는 제 2 반송 아암(30)을 더 포함하며, 상기 제 3 아암(23, 24)을 서로 교차시켜 이루어지기 때문에, 2개의 반송 아암(17, 30)을 구비한 반송 장치에 있어서, 반송 아암(17, 30)의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도 반송 아암(17, 30)의 신장시의 길이를 길게 할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 관한 반송 장치를 나타내는 평면도이고, 도 7은 도 6의 종단면도이며, 도 8은 반송 아암을 신장시킨 상태를 나타내는 평면도이다. 본 실시예에 있어서, 상기 실시예와 동일 부분은 동일 참조부호를 부여하여설명을 생략한다. 본 실시예의 반송 장치(4)는 평행한 2축으로 이루어지는 회전축(5, 6)에 제 1 아암(7, 8)의 일단부를 각각 고정하고, 상기 제 1 아암(7, 8)의 타단부에 제 2 아암(10, 11)의 일단부를 각각 핀(12, 13)을 통해 연결하고, 상기 제 2 아암(10, 11)의 타단부에 웨이퍼(w)를 유지하는 픽(유지부)(14)을 핀(15, 16)을 통해 연결하여 이루어지는 반송 아암(17)을 구비하고 있다.
픽(14)의 베이스부(14a)에 핀(15, 16)으로 회전 가능하게 연결된 한 쌍의 제 2 아암(10, 11)의 선단부에는 동기 반전 수단(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 또한 상기 반송 아암(17)의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도 반송 아암(17)의 신장시의 길이를 길게 하기 위해서, 상기 제 1 아암(7, 8)이 서로 교차되어 있다.
상기 제 1 아암(7, 8)이 서로 교차부에서 상하에 중첩됨으로써 상하 방향의 치수가 증대되는 것을 해소하기 위해서, 제 1 아암(7, 8)의 교차부에서 기단측의 중첩 면에는 두께의 절반을 잘라낸 단차부(stepped portion)(31, 32)가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 제 1 아암(7, 8)이 교차됨으로써 하나의 제 1 아암(7)이 다른 하나의 제 1 아암(8)의 회전축(6)과 간섭하기 쉽기 때문에, 하나의 제 1 아암(7)이 다른 하나의 제 1 아암(8)의 회전축(6)과의 간섭을 회피하기 위한 회피부(42a, 42b)를 갖고 있다. 이 회피부(42a, 42b)는 하나의 제 1 아암(8)의 회전축(6)을 우회하도록 대략 U자 형상으로 각각 형성되어 있다. 또한 회피부(42a, 42b)는 도시예에서는 하나의 제 1 아암(7)의 중심선에 대하여 좌우대칭으로 2개로 형성되어 있는 한편 1개의 회피부, 예컨대 회피부(42a)로만 형성될 수도 있다.
반송 장치(4)로서는 반송 아암(17)을 하나 구비한 싱글 타입으로서 구성될수도 있지만, 실시예와 동일하게 2개의 반송 아암(17, 30)을 180°반대 방향으로 구비한 듀얼 타입으로서 구성될 수도 있다. 이 경우, 상기 픽(유지부)(14)을 제 1 픽(유지부)으로 하고, 상기 반송 아암(17)을 제 1 반송 아암으로 한다. 더욱이, 상기 제 1 아암(7, 8)의 타단부에는 제 2 아암(10, 11)과 반대 방향을 향하는 제 3 아암(23, 24)의 일단부가 각각 핀(25, 26)을 통해 연결되고, 상기 제 3 아암(23, 24)의 타단부에는 웨이퍼(w)를 유지하는 제 2 픽(유지부)(27)이 핀(28, 29)을 통해 연결되어, 제 2 반송 아암(30)이 구성되어 있다.
도 7에는 구동 장치의 일례를 나타내고 있고, 이 구동 장치(37)는 평행하는 2개의 회전축(5, 6)을 각각 구동하기 위한 2개의 전동 모터(43, 44)와, 반송 아암(17, 30) 전체를 선회시키기 위한 전동 모터(45)를 구비하고 있다. 또한, 구동 장치(37)는 외측의 고정 하우징(46)을 갖고, 이 고정 하우징(46) 내에 2개의 모터(43, 44)를 수용한 회전 하우징(회전부)(47)이 회전 가능하게 설치되어 있는 동시에, 이 회전 하우징(47)을 구동하는 모터(45)가 설치되어 있다. 또한, 평행한 2축의 회전축(5, 6)은 동축 2축의 회전축과 달리, 반송 아암의 신축만을 실시하기 위해 동기 반전 구동되면 바람직하기 때문에, 2개의 회전축(5, 6)사이에 동기 반전 수단을 설치하고, 하나의 모터를 생략할 수도 있다. 본 실시예의 반송 장치에 있어서도, 상기 제 1 실시예의 반송 장치와 동일한 효과가 수득된다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 관한 반송 장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 본 실시예의 반송 장치는 서로 접근 및 분리되도록 이동되는 한 쌍의 이동체(50, 51)에 한 쌍의 아암(52, 53)의 일단부를 각각의 핀(54, 55)을 통해 연결하고, 상기 아암(52, 53)의 타단부에 웨이퍼(w)를 유지하는 픽(유지부)(56)을 핀(57, 58)을 통해 연결하여 이루어지는 반송 아암(59)을 구비하고 있다. 반송 장치의 본체측에는 2개의 이동체(50, 51)를 서로 접근 및 분리시키기 위해서, 상기 이동체(50, 51)를 슬라이드 가능하게 안내하는 가이드 레일(60)이 설치되고 있는 동시에, 양단부에 나사축(61, 62)을 갖는 전동 모터(63)가 설치되어 있다. 이동체(50, 51)는 나사축(61, 62)에 각각 결합되어 있다. 좌우의 나사축(61, 62)의 나사의 방향은 서로 역방향으로 되어 있다.
픽(56)의 베이스부(56a)에 핀(57, 58)으로 회전 가능하게 연결된 한 쌍의 아암(52, 53)의 선단부에는 동기 반전 수단(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 또한 상기 반송 아암(59)의 수축시의 크기를 크게 하지 않고 반송 아암(59)의 신장시의 길이를 길게 하기 위해서, 상기 아암(52, 53)이 서로 교차되어 있다. 본 실시예의 반송 장치에 있어서도, 상기 실시예의 반송 장치와 같이 반송 아암(59)의 수축시의 크기를 크게 하지 않고 반송 아암(59)의 신장시의 길이를 길게 할 수 있다는 효과가 수득된다.
이상, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상술했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서의 다양한 설계 변경 등이 가능하다. 예컨대, 처리 장치로서는 상압 처리 장치일 수도 있다. 또한 피처리체로서는 반도체 웨이퍼 이외에, LCD 기판 및 유리 기판 등일 수도 있다. 추가로, 제 1 아암 및 제 2 아암을 각각 교차시킬 수도 있다.
이상 본 발명에 의하면, 다음과 같은 효과를 거둘 수 있다.
(1) 본 발명의 제 1 실시예에 따르면, 동축 또는 평행한 2축으로 이루어지는 회전축의 각각에 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 일단부를 각각 고정하고, 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 아암을 서로 교차시켜서 이루어지기 때문에, 반송 아암의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도 반송 아암의 신장시의 길이를 길게 할 수 있다.
(2) 또한, 본 발명의 제 1 실시예에 있어서, 반송 장치는 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에, 상기 제 2 아암과 반대 방향을 향하는 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 제 2 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 제 2 반송 아암을 더 포함하며, 상기 제 3 아암을 서로 교차시켜 이루어진다. 그러므로, 2개의 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서, 반송 아암의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도 반송 아암의 신장시의 길이를 길게 할 수 있다.
(3) 본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 평행한 2축으로 이루어지는 회전축의 각각에 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 일단부를 각각 고정하고, 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서, 상기 제 1 아암을 서로 교차시켜 이루어지기 때문에, 반송 아암의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도 반송 아암의 신장시의 길이를 길게 할 수 있다.
(4) 본 발명의 제 2 실시예에 있어서, 반송장치는 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에, 상기 제 2 아암과 반대 방향을 향하는 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 제 2 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 제 2 반송 아암을 더 포함한다. 그러므로, 2개의 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서, 반송 아암의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도 반송 아암의 신장시의 길이를 길게 할 수 있다.
(5) 본 발명의 제 2 실시예에 있어서, 상기 하나의 제 1 아암이 상기 다른 하나의 제 1 아암의 회전축과의 간섭을 회피하기 위한 회피부를 갖고 있기 때문에, 하나의 제 1 아암과 다른 하나의 제 1 아암의 회전축이 간섭하는 것을 회피할 수 있다.
(6) 본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 서로 접근 이반 이동되는 한 쌍의 이동체의 각각에 한 쌍의 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서, 상기 아암을 서로 교차시켜 이루어지기 때문에, 반송 아암의 수축시의 크기를 크게 하지 않고도 반송 아암의 신장시의 길이를 길게 할 수 있다.

Claims (6)

  1. 동축 또는 평행한 2축으로 이루어지는 회전축의 각각에 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 일단부를 각각 고정하고, 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서,
    상기 제 2 아암을 서로 교차시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는
    반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에 상기 제 2 아암과 반대 방향을 향하는 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 제 2 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 제 2 반송 아암을 더 포함하며, 상기 제 3 아암을 서로 교차시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는
    반송 장치.
  3. 평행한 2축으로 이루어지는 회전축의 각각에 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 일단부를 각각 고정하고, 상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에 한 쌍의 제 2아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 2 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서,
    상기 제 1 아암을 서로 교차시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는
    반송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제 1 아암의 각각의 타단부에, 상기 제 2 아암과 반대방향을 향하는 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 제 3 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 제 2 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 제 2 반송 아암을 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    반송 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 하나의 제 1 아암이 상기 다른 하나의 제 1 아암의 회전축과의 간섭을 회피하기 위한 회피부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는
    반송 장치.
  6. 서로 접근 및 분리되도록 이동되는 한 쌍의 이동체의 각각에 한 쌍의 아암의 각각의 일단부를 각각 핀 연결하고, 상기 한 쌍의 아암의 각각의 타단부에 피처리체를 유지하는 유지부를 핀 연결하여 이루어지는 반송 아암을 구비한 반송 장치에 있어서,
    상기 아암을 서로 교차시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는
    반송 장치.
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