JP2733799B2 - 搬送アーム - Google Patents
搬送アームInfo
- Publication number
- JP2733799B2 JP2733799B2 JP25157990A JP25157990A JP2733799B2 JP 2733799 B2 JP2733799 B2 JP 2733799B2 JP 25157990 A JP25157990 A JP 25157990A JP 25157990 A JP25157990 A JP 25157990A JP 2733799 B2 JP2733799 B2 JP 2733799B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- receiving plate
- arms
- pin
- pair
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、２つのフロッグレッグをもった搬送アー
ムに関するものである。
ムに関するものである。
（従来の技術） 従来の搬送アームは第７図および第８図に示されてお
り、これらの図において、大回動軸１内で間隔をおいて
設けられ、同時に相異なる方向に回動する一対の小回動
軸1a、1bには、第１アーム2a、2bの一端部がそれぞれ固
定され、そして、その第１アーム2a、2bの他端部には、
第２アーム3a、3bの一端部がそれぞれピン結合され、更
に、その第２アーム3a、3bの他端部には受け板４がピン
結合された構成をしている。
り、これらの図において、大回動軸１内で間隔をおいて
設けられ、同時に相異なる方向に回動する一対の小回動
軸1a、1bには、第１アーム2a、2bの一端部がそれぞれ固
定され、そして、その第１アーム2a、2bの他端部には、
第２アーム3a、3bの一端部がそれぞれピン結合され、更
に、その第２アーム3a、3bの他端部には受け板４がピン
結合された構成をしている。
したがって、このような搬送アームにおいては、被搬
送物（図示せず）を載せた受け板４が左側に位置してい
る状態で、一対の小回動軸1a、1bを同時に相異なる方向
に回動させると、第１アーム2a、2bおよび第２アーム3
a、3bがそれぞれ回動し、そして、これらの回動に伴っ
て受け板４を左側より右方向に移動して、大回動軸１の
近傍で停止させる。その次に、大回動軸１を180゜回転
させ、それに伴って、受け板４も180゜回転させる。そ
して、小回動軸1a、1bを同時に相異なる方向に回動させ
て、第１アーム2a、2bおよび第２アーム3a、3bをそれぞ
れ回動し、受け板４を右側に移動する。なお、上記動作
と反対の動作を行うと、受け板４が右側より左側に移動
するようになる。
送物（図示せず）を載せた受け板４が左側に位置してい
る状態で、一対の小回動軸1a、1bを同時に相異なる方向
に回動させると、第１アーム2a、2bおよび第２アーム3
a、3bがそれぞれ回動し、そして、これらの回動に伴っ
て受け板４を左側より右方向に移動して、大回動軸１の
近傍で停止させる。その次に、大回動軸１を180゜回転
させ、それに伴って、受け板４も180゜回転させる。そ
して、小回動軸1a、1bを同時に相異なる方向に回動させ
て、第１アーム2a、2bおよび第２アーム3a、3bをそれぞ
れ回動し、受け板４を右側に移動する。なお、上記動作
と反対の動作を行うと、受け板４が右側より左側に移動
するようになる。
（発明が解決しようとする課題） 従来の搬送アームは、上記のように第１アーム2a、2b
や第２アーム3a、3bを回動させて、受け板４を右側から
左側、又は、その反対の左側から右側に移動させている
が、第１アーム2a、2bや第２アーム3a、3bが１セットし
か存在していないため、受け板４の移動を右側から左
側、あるいは左側から右側に同時に行うことが出来ず、
いずれか一方しか出来ない。そのため、搬送アームによ
る受け板４上の被搬送物（図示せず）の搬送が、第１ア
ーム2a、2bや第２アーム3a、3bが２セットある場合に比
べて、効率が悪くなる問題が起きていた。
や第２アーム3a、3bを回動させて、受け板４を右側から
左側、又は、その反対の左側から右側に移動させている
が、第１アーム2a、2bや第２アーム3a、3bが１セットし
か存在していないため、受け板４の移動を右側から左
側、あるいは左側から右側に同時に行うことが出来ず、
いずれか一方しか出来ない。そのため、搬送アームによ
る受け板４上の被搬送物（図示せず）の搬送が、第１ア
ーム2a、2bや第２アーム3a、3bが２セットある場合に比
べて、効率が悪くなる問題が起きていた。
この発明の目的は、従来の問題を解決して、搬送効率
を向上することの出来る搬送アームを提供することにあ
る。
を向上することの出来る搬送アームを提供することにあ
る。
（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、この発明は、大回動軸に
間隔をおいて設けられ同時に相異なる方向に回動する一
対の小回動軸に、第１アームの一端部がそれぞれ固定
し、そして、その第１アームの他端部に第２アームの一
端部をそれぞれピン結合し、更に、その第２アームの他
端部に第１受け板をピン結合して形成した搬送アームに
おいて、上記第１アームの他端部に、上記第２アームと
反対方向に向いた第３アームの一端部をそれぞれピン結
合し、そして、その第３アームの他端部に第２受け板を
ピン結合して形成したことを特徴とするものである。
間隔をおいて設けられ同時に相異なる方向に回動する一
対の小回動軸に、第１アームの一端部がそれぞれ固定
し、そして、その第１アームの他端部に第２アームの一
端部をそれぞれピン結合し、更に、その第２アームの他
端部に第１受け板をピン結合して形成した搬送アームに
おいて、上記第１アームの他端部に、上記第２アームと
反対方向に向いた第３アームの一端部をそれぞれピン結
合し、そして、その第３アームの他端部に第２受け板を
ピン結合して形成したことを特徴とするものである。
（作用） この発明においては、一対の小回動軸を同時に相異な
る方向に回動させると、第１アームが回動し、それによ
り、第２アームも回動して、第１受け板が、例えば、左
方向に移動して大回動軸より離れるようになる。だが、
このとき、第１アームの回動により、第３アームが第２
アームと反対方向に回動するため、第２受け板は、例え
ば、左方向に移動して大回動軸に近ずくようになる。も
っとも、第１アームが上記回動と反対に回動すると、第
１受け板と第２受け板が上記移動と反対に移動るように
なる。
る方向に回動させると、第１アームが回動し、それによ
り、第２アームも回動して、第１受け板が、例えば、左
方向に移動して大回動軸より離れるようになる。だが、
このとき、第１アームの回動により、第３アームが第２
アームと反対方向に回動するため、第２受け板は、例え
ば、左方向に移動して大回動軸に近ずくようになる。も
っとも、第１アームが上記回動と反対に回動すると、第
１受け板と第２受け板が上記移動と反対に移動るように
なる。
（実施例） 以下、この発明の実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図はこの発明の実施例の平面図を示し、第２図は
この発明の実施例の立面図を示している。これらの図に
おいて、大回動軸１には一対の小回動軸1a、1bが間隔を
おいて設けられ、この一対の小回動軸1a、1bは同時に相
異なる方向に回動する構成になっている。一対の小回動
軸1a、1bには、第１アーム2a、2bの一端部がそれぞれ固
定され、そして、その第１アーム2a、2bの他端部には、
大回動軸１より左側方向に延びる第２アーム3a、3bの一
端部がそれぞれピン結合され、更に、その第２アーム3
a、3bの他端部には受け板４がピン結合されている。ま
た、第１アーム2a、2bの他端部には、その他にも、大回
動軸１より右側方向に延び第３アーム5a、5bの一端部が
それぞれピン結合され、その第３アーム5a、5bの他端部
には受け板６がピン結合されている。
この発明の実施例の立面図を示している。これらの図に
おいて、大回動軸１には一対の小回動軸1a、1bが間隔を
おいて設けられ、この一対の小回動軸1a、1bは同時に相
異なる方向に回動する構成になっている。一対の小回動
軸1a、1bには、第１アーム2a、2bの一端部がそれぞれ固
定され、そして、その第１アーム2a、2bの他端部には、
大回動軸１より左側方向に延びる第２アーム3a、3bの一
端部がそれぞれピン結合され、更に、その第２アーム3
a、3bの他端部には受け板４がピン結合されている。ま
た、第１アーム2a、2bの他端部には、その他にも、大回
動軸１より右側方向に延び第３アーム5a、5bの一端部が
それぞれピン結合され、その第３アーム5a、5bの他端部
には受け板６がピン結合されている。
したがって、上記実施例においては、一対の小回動軸
1a、1bを同時に相異なる方向に回動させると、第１アー
ム2a、2bが回動し、それにより、第２アーム3a、3bも回
動して、第１受け板４が、例えば、第３図および第４図
に示すように左方向に移動して大回動軸１より離れるよ
うになる。一方、このとき、第１アーム2a、2bの回動に
より、第３アーム5a、5bは第２アーム3a、3bと反対方向
に回動し、第２受け板６が、左方向に移動して大回動軸
１に近ずくようになる。しかしながら、第１アーム2a、
2bが上記回動と反対に回動すると、第２アーム3a、3bお
よび第３アーム5a、5bが上記と反対の動作をして、第５
図および第６図に示すように第１受け板４と第２受け板
６が上記移動と反対に移動するようになる。第１受け板
４と第２受け板６とは上記のような移動をするが、第１
受け板４と第２受け板６の位置を、例えば、大回動軸１
の左側から右側、又は右側から左側に反転させる場合に
は、一対の小回動軸1a、1bの回動により、第１図に示す
ように第１受け板４と第２受け板６とが大回動軸１と等
距離にあるときに、大回動軸１を180゜回転させて行
う。
1a、1bを同時に相異なる方向に回動させると、第１アー
ム2a、2bが回動し、それにより、第２アーム3a、3bも回
動して、第１受け板４が、例えば、第３図および第４図
に示すように左方向に移動して大回動軸１より離れるよ
うになる。一方、このとき、第１アーム2a、2bの回動に
より、第３アーム5a、5bは第２アーム3a、3bと反対方向
に回動し、第２受け板６が、左方向に移動して大回動軸
１に近ずくようになる。しかしながら、第１アーム2a、
2bが上記回動と反対に回動すると、第２アーム3a、3bお
よび第３アーム5a、5bが上記と反対の動作をして、第５
図および第６図に示すように第１受け板４と第２受け板
６が上記移動と反対に移動するようになる。第１受け板
４と第２受け板６とは上記のような移動をするが、第１
受け板４と第２受け板６の位置を、例えば、大回動軸１
の左側から右側、又は右側から左側に反転させる場合に
は、一対の小回動軸1a、1bの回動により、第１図に示す
ように第１受け板４と第２受け板６とが大回動軸１と等
距離にあるときに、大回動軸１を180゜回転させて行
う。
（発明の効果） この発明は、上記のように一対の小回動軸の回動によ
り、第１受け板と第２受け板とを同時に移動できるう
え、大回動軸を180゜回転させることにより、第１受け
板と第２受け板との位置を反転することができるので、
搬送時間のロスタイム減少して、搬送効率が向上するよ
うになった。
り、第１受け板と第２受け板とを同時に移動できるう
え、大回動軸を180゜回転させることにより、第１受け
板と第２受け板との位置を反転することができるので、
搬送時間のロスタイム減少して、搬送効率が向上するよ
うになった。
第１図から第４図はこの発明の実施例を示しており、第
１図は平面図、第２図は立面図、第３図、第４図、第５
図および第６図は動作を示す説明図である。第７図は従
来の搬送アームの平面図、第８図は従来の搬送アームの
立面図である。 図中、 １……大回動軸 1a、1b……小回動軸 2a、2b……第１アーム 3a、3b……第２アーム ４……第１受け板 5a、5b……第３アーム ６……第２受け板
１図は平面図、第２図は立面図、第３図、第４図、第５
図および第６図は動作を示す説明図である。第７図は従
来の搬送アームの平面図、第８図は従来の搬送アームの
立面図である。 図中、 １……大回動軸 1a、1b……小回動軸 2a、2b……第１アーム 3a、3b……第２アーム ４……第１受け板 5a、5b……第３アーム ６……第２受け板
Claims (1)
- 【請求項１】大回動軸に間隔をおいて設けられ同時に相
異なる方向に回動する一対の小回動軸に、第１アームの
一端部がそれぞれ固定し、そして、その第１アームの他
端部に第２アームの一端部をそれぞれピン結合し、更
に、その第２アームの他端部に第１受け板をピン結合し
て形成した搬送アームにおいて、上記第１アームの他端
部に、上記第２アームと反対方向に向いた第３アームの
一端部をそれぞれピン結合し、そして、その第３アーム
の他端部に第２受け板をピン結合して形成したことを特
徴とする搬送アーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25157990A JP2733799B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 搬送アーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25157990A JP2733799B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 搬送アーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04129685A JPH04129685A (ja) | 1992-04-30 |
| JP2733799B2 true JP2733799B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=17224917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25157990A Expired - Lifetime JP2733799B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 搬送アーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2733799B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4000036B2 (ja) | 2002-09-30 | 2007-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置 |
| JP4222068B2 (ja) | 2003-03-10 | 2009-02-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送装置 |
| WO2010146840A1 (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-23 | 株式会社アルバック | 基板搬送装置 |
| JP5525399B2 (ja) * | 2010-09-16 | 2014-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置、基板処理システム及び姿勢制御機構 |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP25157990A patent/JP2733799B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04129685A (ja) | 1992-04-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| R250 | Receipt of annual fees |
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Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 |
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