KR20030088268A - 레티클 로딩장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 레티클 로딩장치에 관한 것으로서, 즉 본 발명은 공정 수행을 위해 레티클이 안치되는 공정 스테이지와 다수의 레티클이 적재되어 있는 레티클 라이브러리간으로 레티클 로딩용 로봇 암에 의해서 레티클을 이송시키게 되는 레티클 로딩장치에 있어서, 상기 라이브러리가 안치되는 라이브러리 스테이지를 일정 각도로 회전 가능토록 하고, 상기 라이브러리의 일측에는 레티클 체크용 로봇 암이 구비되도록 하며, 상기 레티클 체크용 로봇 암에 근접하는 위치에는 레티클의 바코드 체크 및 파티클 검사를 수행하는 체크 유니트가 구비되는 구성이 특징인 바 공정이 수행 중인 상태에서도 레티클 라이브러리(10)의 회전과 레티클 체크용 로봇 암(40)에 의해 레티클(R)의 바코드 체크와 파티클 검사가 동시에 이루어질 수 있도록 하므로서 시간 손실을 최소화하여 공정의 보다 빠른 진행과 그에 따른 작업 수율의 향상 및 생산성 증대가 달성될 수 있도록 하고, 특히 공정 수행 시간을 대폭적으로 단축시키면서도 정확한 바코트 체크와 파티클 검사를 수행할 수 있도록 하여 제품에 대한 신뢰성이 향상될 수 있도록 한다.

Description

레티클 로딩장치{Reticle loading apparatus}

본 발명은 레티클 로딩장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 라이브러리 스테이지를 회전 가능하게 구비하고, 레티클 로딩용 로봇 암과는 별개로 레티클 체크용 로봇 암이 일측에 구비되게 하므로서 공정 수행과 동시에 라이브러리에 적재된 레티클의 바코드 체크 및 파티클 검사가 이루어지면서 공정 진행 시간이 대폭적으로 단축될 수 있도록 하는 레티클 로딩장치에 관한 것이다.

일반적으로 레티클(reticle)은 노광대상과 광원사이에 위치되어 마치 필름과 같이 노광대상에 소정의 패턴을 전사하는데 사용되는 포토리소그래피(photolithography)법의 포토 마스크(photo mask)로서 이용된다.

이러한 레티클은 유리의 표면에 크롬 패턴을 형성하여 제작되기 때문에 다른 물체와 접촉하면 쉽게 손상되므로 취급에 있어서 세심한 주의를 요한다.

한편 반도체 칩의 회로를 인쇄하기 위한 노광공정에서 레티클은 공정이 수행되는 설비측의 공정 스테이지(stage)에 올려 놓는 로딩(loading)공정이 선행되는데, 이때 레티클을 공정 스테이지(stage)위의 소정 위치에 정확히 배치하는 정렬작업이 무엇보다 중요하다.

도 1은 종래 기술에 의한 레티클 로딩 장치의 주요 구성부를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도시된 바와 같이 종래기술에 의한 레티클 로딩장치는 사용되는 다수의 레티클을 보관하는 라이브러리(10)와, 설비에서의 공정 수행 위치인 공정 스테이지(20)와, 상기 레티클(R)을 레티클 라이브러리(10)와 공정 스테이지(20)간으로 이송하는 레티클 로딩용 로봇 암(30)으로서 이루어진다.

이와같은 레티클 로딩장치에서는 상기 레티클 로딩용 로봇 암(30)에 의해서 레티클 라이브러리(10)로부터 레티클(R)을 하나씩 흡착하여 이동시키게 된다. 레티클 로딩용 로봇 암(30)에 의해 공정이 수행될 공정 스테이지(20)로 레티클(R)을 이송시키는 로딩공정이 완료되면 설비에서는 공정 스테이지(20) 상에 배치된 레티클과 노광할 소재인 기판간 정렬을 수행하게 된다.

또한 노광할 패턴을 바꾸기 위하여 공정 스테이지(20)에서 레티클(R)은 레티클 로딩용 로봇 암(30)에 의해 재차 언로딩되고, 레티클 라이브러리(10)로부터 그에 적절한 패턴의 레티클(R)을 재차 이송시켜 지속적으로 공정을 수행하게 된다.

다시말해 모든 레티클(R)을 공정 스테이지(20)에 한꺼번에 올려놓고 노광 공정을 수행할 수는 없으므로 필요시마다 레티클 라이브러리(10)로부터 레티클 로딩용 로봇 암(30)에 의해 각각의 레티클(R)을 인출하여 공정 스테이지(20)에 로딩시켜 공정이 수행되도록 한 후, 노광이 종료되면 다시 레티클 라이브러리(10)로 되돌려 놓는 언로딩 작업을 하게 된다.

이러한 레티클(R)의 로딩 직전 레티클 라이브러리(10)에서는 통상 레티클 라이브러리(10)에 적재되어 있는 레티클(R)을 슬롯별로 바코드 체크 및 파티클 검사와 같은 작업을 수행하게 된다.

하지만 레티클(R)의 바코드 체크 및 파티클 검사에서 오류가 발생되면 설비가 러닝 중인 상태에서 공정을 잠시 중단한 채 라이브러리(10)로부터 오류 발생된 레티클(R)를 인출하여 수거하게 된다.

따라서 설비가 비록 러닝상태이기는 하나 공정 수행 중에 노광할 레티클을 레티클 라이브러리(10)로부터 공정 스테이지(20)로 로딩 또는 언로딩하는 시간보다는 공정 수행을 중단시킨 상태에서 레티클 라이브러리(10)로부터 슬롯별 레티클(R)의 바코드를 체크한다거나 레티클 상에의 파티클을 검사하는 시간과 오류 발생시레티클을 수거하는 시간이 더욱 많이 소요되면서 실제적인 공정 시간을 대폭 지체시키는 폐단이 있다.

사실 공정 수행 중에 레티클의 바코드 체크나 파티클 검사에 소요되는 시간이 공정을 수행하는 시간보다 더 소요되면서 결국 작업 수율을 저하시켜 생산성을 대폭 저하시키게 되는 문제를 동반하게 된다.

따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 주된 목적은 공정 수행과 동시에 레티클 라이브러리에서 레티클의 바코드 체크 또는 파티클 검사가 이루어지게 하므로서 실제적인 공정 수행 시간이 단축되도록 하여 작업 수율이 향상되도록 하는데 있다.

또한 본 발명은 보다 많은 양의 레티클의 바코드 체크와 파티클 검사를 수행할 수 있도록 하므로서 생산성을 대폭 증대시키고, 제품에 대한 신뢰성이 향상되도록 하는데 다른 목적이 있다.

도 1 은 종래의 레티클 로딩장치를 개략적으로 도시한 평면 구조도,

도 2 는 본 발명에 따른 레티클 로딩장치를 도시한 평면 구조도,

도 3 은 본 발명에 따른 라이브러리 스테이지의 다른 구성을 도시한 레티클 로딩장치의 평면 구조도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 레티클 라이브러리 11 : 라이브러리 스테이지

20 : 공정 스테이지 30 : 레티클 로딩용 로봇 암

40 : 레티클 체크용 로봇 암 50 : 체크 유니트

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 공정 수행을 위해 레티클이 안치되는 공정 스테이지와 다수의 레티클이 적재되어 있는 레티클 라이브러리간으로 레티클 로딩용 로봇 암에 의해서 레티클을 이송시키게 되는 레티클 로딩장치에 있어서, 상기 라이브러리가 안치되는 라이브러리 스테이지를 일정 각도로 회전 가능토록 하고, 상기 라이브러리의 일측에는 레티클 체크용 로봇 암이 구비되도록 하며, 상기 레티클 체크용 로봇 암에 근접하는 위치에는 레티클의 바코드 체크 및 파티클 검사를 수행하는 체크 유니트가 구비되도록 하는 것이다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2에서 보는바와 같이 본 발명은 다수의 레티클(R)이 적재되는 레티클 라이브러리(10)와 설비측 공정 수행 위치인 공정 스테이지(20) 그리고 이들간으로 레티클(R)을 이송하는 레티클 로딩용 로봇 암(30)을 구비하는 구성은 종전과 대동소이하다.

다만 본 발명은 레티클 라이브러리(10)가 안치되는 라이브러리 스테이지(11)를 일정 각도로 회전 가능하게 구비되도록 하면서 이 라이브러리 스테이지(11)의 일측에는 레티클 체크용 로봇 암(40)이 구비되도록 하며, 이 레티클 체크용 로봇 암(40)에 인접하는 위치에는 레티클(R)의 바코드 체크 및 파티클을 검사하는 체크 유니트(50)가 구비되도록 하는 것이 가장 두드러진 특징이다.

즉 레티클 라이브러리(10)가 안치되는 라이브러리 스테이지(11)를 소정의 각도로 회전이 가능하게 구비되게 하므로서 레티클 로딩용 로봇 암(30)과는 다른 각도에서 레티클 체크용 로봇 암(40)에 의해서도 레티클 라이브러리(10)로부터 레티클(R)의 인출입이 가능토록 하는 것이다.

따라서 라이브러리 스테이지(11)에 안치되어 있는 레티클 라이브러리(10)를 기준으로 설비측의 공정 스테이지(20)측에는 웨이퍼 로딩용 로봇 암(30)이 구비되고, 그와 다른 각도에는 레티클 체크용 로봇 암(40)이 위치되면서 한쌍의 레티클 이송수단이 구비되도록 한다.

레티클 체크용 로봇 암(40)에 근접하는 위치에는 레티클(R)의 바코드를 체크하거나 레티클(R)에 붙어있는 파티클을 검사할 수 있도록 하는 체크 유니트(50)가 위치되게 한다.

체크 유니트(50)에서는 전기한 레티클(R)의 바코드 체크와 파티클 검사를 동시에 수행할 수 있는 기능을 갖도록 할 수도 있고, 이러한 체크 유니트(50)에는 레티클 라이브러리(10)의 각 슬롯별 레티클(R) 정보가 입력되어 있도록 한다.

한편 전기한 구성에서 라이브러리 스테이지(11)에는 도 3에서와 같이 복수의 라이브러리(10)가 동시에 일정한 각도로 안치되게 하는 것도 가능하다.

상기한 구성에 따른 본 발명의 작용에 대해서 살펴보면 다음과 같다.

즉 본 발명은 레티클(R)이 다수 적재되어 있는 레티클 라이브러리(10)를 소정의 각도로 회전 가능토록 하면서 레티클(R)의 바코드 체크 및 파티클 검사를 위한 체크 유니트(50)로의 레티클 이송을 레티클 로딩용 로봇 암(30)과는 별도로 구비하게 되는 레티클 체크용 로봇 암(40)에 의해서 수행될 수 있도록 하는 것이다.

따라서 공정 수행을 위해 레티클 로딩용 로봇 암(30)이 레티클(R)을 로딩시키게 될 때에는 레티클 라이브러리(10)는 설비측을 향해 위치하게 되나, 만일 레티클(R)의 바코드 체크나 파티클을 검사하고자 할 때에는 그와는 다른 각도에서 레티클 체크용 로봇 암(40)이 구비되는 방향으로 라이브러리(10)가 회전하면서 레티클 체크용 로봇 암(40)에 의해 레티클(R)을 인출시켜 인접한 위치에 구비되는 체크 유니트(50)에서 정확히 체크가 이루어질 수 있도록 한다.

다시말해 레티클 라이브러리(10)에서 설비측의 레티클 로딩용 로봇 암(30)에 의해 레티클(R)의 로딩 및 언로딩이 지속적으로 이루어지면서 공정이 수행되는 동시에 라이브러리(10)의 방향 또는 라이브러리 스페이지(11)를 회전시키므로서 레티클 체크용 로봇 암(40)에 의한 레티클(R)의 바코드 체크 및 파티클 검사도 이루어질 수 있도록 하므로서 종전과 같이 레티클(R)의 바코드 체크나 파티클 검사로 인한 공정 수행의 중단을 방지하게 되므로 결국 전체적인 공정 수행 시간을 단축시킬 수가 있도록 한다.

특히 전술한 바와같이 라이브러리 스테이지(11)에 복수의 레티클 라이브러리(10)가 구비되도록 하면 동시에 보다 많은 레티클(R)을 미리 바코드 체크와 파티클 검사가 이루어질 수가 있도록 한다. 이는 공정 수행을 위한 레티클(R)의 로딩 및 언로딩 그리고 레티클의 교체를 보다 빨리 할 수 있도록 하므로 실질적인 웨이퍼에의 노광공정이 대폭적으로 빠르게 수행되면서 생산성이 증대되도록 한다.

한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다.

따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 다수의 레티클(R)이 적재되는 레티클 라이브러리(10)가 안치되는 라이브러리 스테이지(11)를 소정의 각도로 회전 가능하게 구비되도록 하고, 레티클 라이브러리(10)를 기준으로 레티클 로딩용 로봇 암(30)의 방향과 다른 각도에 레티클 체크용 로봇 암(40)이 동시에 구비되도록 하며, 이 레티클 체크용 로봇 암(40)에 인접하는 위치에는 레티클(R)의 바코트를 체크함과 동시에 레티클(R)에 부착되는 파티클을 검사하게 되는 체크 유니트(50)가 구비되게 하므로서 공정 수행 시간이 중단되는 상태에서 공정이 수행 중인 상태에서도 레티클 라이브러리(10)의 회전과 레티클 체크용 로봇 암(40)에 의해 레티클(R)의 바코드 체크와 파티클 검사가 동시에 이루어질 수 있도록 하므로서 시간 손실을 최소화하여 공정의 보다 빠른 진행과 그에 따른 작업 수율의 향상 및 생산성 증대가 달성될 수 있도록 한다.

특히 공정 수행 시간을 대폭적으로 단축시키면서도 정확한 바코트 체크와 파티클 검사를 수행할 수 있도록 하여 제품에 대한 신뢰성을 향상시키게 되는 매우 유용한 효과를 제공할 수가 있다.

Claims (4)

1. 공정 수행을 위해 레티클이 안치되는 공정 스테이지와 다수의 레티클이 적재되어 있는 레티클 라이브러리간으로 레티클 로딩용 로봇 암에 의해서 레티클을 이송시키게 되는 레티클 로딩장치에 있어서,

   상기 라이브러리가 안치되는 라이브러리 스테이지를 일정 각도로 회전 가능토록 하고, 상기 라이브러리의 일측에는 레티클 체크용 로봇 암이 구비되도록 하며, 상기 레티클 체크용 로봇 암에 근접하는 위치에는 레티클의 바코드 체크 및 파티클 검사를 수행하는 체크 유니트가 구비되도록 하는 레티클 로딩장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 라이브러리 스테이지에는 등간격으로 복수의 레티클 라이브러리가 구비되는 레티클 로딩장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 체크 유니트는 레티클의 바코드 체크와 파티클 검사 기능을 동시에 갖는 레티클 로딩장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 체크 유니트에서는 레티클 라이브러리의 각 슬롯별로 레티클의 정보가 입력되도록 하는 레티클 로딩장치.