KR20030080258A - 부분최소제곱을 사용한 종단점검출을 위한 방법 및 장치 - Google Patents
부분최소제곱을 사용한 종단점검출을 위한 방법 및 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (26)
- 형상의 에칭완료를 검출하는 방법으로서, 상기 방법은:제 1의 기록된 데이터행렬을 형성하기 위해 연속적인 시간간격에 걸쳐 제 1의 에칭공정에 관한 제 1의 측정된 데이터를 기록하는 단계와,특정의 에칭공정을 위해 목표종단점데이터를 사용하는 제 1의 종단점신호행렬을 조합하는 단계와,제 1의 기록된 데이터행렬을 개량하기 위해 제 1의 기록된 데이터행렬과 제 1의 종단점신호행렬 상에 부분최소제곱분석을 수행하는 단계, 및상기 개량된 기록데이터행렬과 제 1의 종단점신호행렬을 기초로 상관행렬을 연산하는 단계에 의해상관행렬을 결정하는 단계; 및제 2의 기록데이터행렬을 형성하기 위해 제 2의 에칭공정을 수행하는 단계로 구성되며,상기 상관행렬과 상기 제 2의 기록데이터행렬은 제 2의 에칭공정의 종단점이 도달되었는지 여부를 결정하기 위해 분석되는 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 부분최소제곱분석을 수행하는 단계는:제 1의 측정된 데이터의 제 1의 종단점신호행렬에 미치는 영향으로 정의된투영데이터에서의 변수중요도를 연산하는 단계; 및투영데이터에서의 변수중요도의 분석에 기초하여 상기 제 1의 기록된 데이터행렬을 개량하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1의 기록된 데이터행렬을 개량하는 단계는 상기 제 1의 기록된 데이터행렬 내의 변수가 상기 제 1의 종단점신호행렬에 극소의 영향을 미치는 것으로서 제거될 수 있는지를 결정하기 위해 투영데이터에서의 변수중요도를 분석하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 3 항에 있어서, 소정의 역치값 미만의 투영데이터값에서의 변수중요도를 가지는 변수는 버려지는 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 3 항에 있어서, 소정의 범위내의 투영데이터 값에서의 변수중요도를 가지는 변수는 버려지는 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 3 항에 있어서, 변수 수에 관하여 투영데이터 값에서의 변수중요도의 적어도 1차 도함수는, 역치값 미만의 변수가 버려지는 투영데이터에서의 변수중요도를 위한 상기 역치값을 선택하기 위해 사용되는 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 제 2의 에칭공정을 수행하는 상기 단계가:공정챔버 내의 제 2의 에칭공정을 초기화하는 단계와;적어도 하나의 기록된 데이터벡터의 제 2의 기록된 데이터행렬을 형성하기 위해 연속적인 시간간격에 걸쳐 제 2의 에칭공정에 관한 제 2의 측정된 데이터를 기록하는 단계와;적어도 하나의 기록된 데이터벡터와 상관행렬의 적어도 하나의 가중벡터를 곱함에 의해 적어도 하나의 종단점신호를 연산하는 단계와;종단점이 도달되었는지를 적어도 하나의 종단점신호를 검사함에 의해 결정하는 단계; 및종단점이 도달되었을 때 에칭공정을 정지시키는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 제 1의 에칭공정과 제 2의 에칭공정이 하나의 공정챔버 내에서 수행되는 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 상관행렬은 제 2의 공정챔버 내에서 수행된 선택에칭공정을 위해 연산되는 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 목표데이터는 선택된 공정챔버 내에서의 실험에 의해 결정되고, 상기 선택된 공정챔버는 제 2의 에칭공정을 위해 사용되는 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 측정된 데이터는 광방출데이터인 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 측정된 데이터는 전기신호데이터인 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 측정된 데이터는 매치네트워크 커패시터 설정데이터인 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서 상기 제 1의 기록된 데이터행렬, 상기 제 1의 종단점신호행렬 및 상기 상관행렬은,(여기서,는 m x n 데이터점을 가지는 제 1의 기록된 데이터행렬을 나타내며,는 n x p 데이터점을 가지는 상관행렬을 나타내며, 또한는 m x p 데이터점을 가지는 제 1의 종단점신호행렬을 나타낸다)의 관계에 의해 정의되는 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 제 1의 기록된 데이터행렬과 제 2의 기록된 데이터행렬 내의 주어진 순간시간의 데이터는 각 행렬의 열의 요소의 평균값을 계산하고 각 요소로부터 평균값을 차감함에 의해 평균중심화 된 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 제 1의 기록된 데이터행렬과 제 2의 기록된 데이터행렬 내의 주어진 순간시간의 데이터는 각 행렬의 열의 데이터의 표준편차를 결정함에 의해 정규화된 것을 특징으로 하는 형상의 에칭완료를 검출하는 방법.
- 에칭공정을 그 안에서 수행하기 위해 구성된 에칭반응기이고, 상기 에칭공정은 상기 에칭반응기에 연결된 전원에 의해 구동되는 에칭반응기와;상기 에칭공정의 종단점을 검출하기 위한 종단점검출기이고, 상기 종단점 검출기는 검출부 및 연산부으로 구성되며, 상기 검출부는 상기 에칭반응기 내에서의 에칭공정에 관계되는 데이터를 연속적으로 검출하기 위해 구성되고, 상기 연산부는 제 1의 기록된 데이터행렬을 형성하기 위해 연속적인 시간간격에 걸친 제 1의 에칭공정에 관한 제 1의 측정된 데이터를 사용하여 상관행렬을 결정하고, 특정의 에칭공정 중에 목표종단점데이터를 사용하여 제 1의 종단점신호행렬을 조합하고, 제 1의 기록된 데이터행렬을 개량하기 위해 제 1의 기록된 데이터행렬과 제 1의 종단점신호행렬에 부분최소제곱분석을 수행하고, 상기 개량된 기록된 데이터행렬과 상기제 1의 종단점신호행렬에 기초하여 상관행렬을 연산하고, 또한 제 1의 에칭공정동안 제 2의 기록된 데이터행렬을 형성하는 것으로 구성되며, 상기 연산부는 상기 상관행렬과 상기 제 2의 기록된 데이터행렬을 분석하기 위해 구성되며, 상기 제 2의 에칭공정의 종단점이 도달될 때 종단점신호를 발생하는 종단점검출기; 및상기 연산부으로부터 상기 종단점신호를 수신하기 위해 구성된 제어기이며, 상기 제어기는 상기 종단점신호에 기초하여 상기 전원을 제어하도록 구성된 제어기로 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 검출부는 상기 에칭반응기 내의 방출스펙트럼을 연속적으로 검출하기 위해 구성된 광검출기를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 18 항에 있어서, 상기 광검출부는 고분해능 광방출 분광기센서를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 18 항에 있어서, 상기 에칭반응기는 상기 검출부가 방출스펙트럼을 검출하는 투명한 재료로 만들어진 감시창을 가지는 진공챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 에칭반응기는 진공챔버, 상기 진공챔버 내에 설치된 한 쌍의 평행판 전극, 상기 진공챔버에 연결된 가스주입라인 및 상기 진공챔버에 연결된 가스배출라인을 포함하는 용량적으로 결합된 플라즈마 반응기이며, 상기 전원은 상기 한 쌍의 평행판 전극 중 어느 하나에 연결된 고주파전원인 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 에칭반응기는 본질적으로 다주파 용량적으로 결합된 플라즈마 반응기, 유도적으로 결합된 플라즈마 반응기, 전자사이클로트론 공진반응기 및 헬리콘 플라즈마반응기로 구성된 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 연산부는 제 1의 측정된 데이터의 제 1의 종단점신호행렬에 미치는 영향으로 정의되는 투영데이터에서의 변수중요도를 계산하고, 투영데이터에서의 변수중요도의 분석에 기초하여 상기 제 1의 기록된 데이터행렬을 개량하기 위해 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 23 항에 있어서, 상기 연산부는 상기 제 1의 기록된 데이터행렬이 제 1의 종단점신호행렬상에 극소의 영향을 가지는 것으로서 제거될 수 있는지를 결정하기 위해 투영데이터에서의 변수중요도를 분석함에 의해 제 1의 기록된 데이터행렬을 개량하기 위해 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 검출부는 상기 에칭반응기 내에서의 에칭공정에 관련된 전기적신호데이터를 연속적으로 검출하기 위해 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 검출부는 상기 에칭반응기 내에서의 에칭공정에 관련된 매치네트워크 커패시터 설정데이터를 연속적으로 검출하기 위해 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
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