KR20030077848A - Inspection Apparatus for LCD Glass - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An LCD glass testing device is provided to realize the precise and accurate testing by spraying vapor to the surface of an LCD glass, and conveniently and precisely control an LCD glass moving unit, thereby improving the testing efficiency. CONSTITUTION: An LCD glass testing device includes a testing table(10), a vapor spraying unit(100), a cooling unit(200), a tilting unit(300), a turn unit(400), first and second base plates(500,600), and a lower base(700). The testing table is provided with a plurality of guide pins(11) at the upper outer periphery for guiding LCD glasses, a plurality of support pins(12) supporting bottom surfaces of the LCD glasses, a plurality of adsorbing elements(13) for vacuum adsorption of the LCD glasses, and handles(14) for position control of the testing table. The vapor spraying unit sprays fine vapor to the surfaces of the LCD glasses in advance to test the glasses, for clearly exposing the defects of the glasses. The cooling unit sprays cooling air to the glasses before spraying the vapor for promoting the attachment of the vapor to the glasses. The testing table is mounted on the top of the tilting unit and inclined by the tilting unit. The tilting unit is stacked on the turn unit, which has a rotation shaft(401) connected to a lower part of the tilting unit for rotating the tilting unit. The first and second base plates move rectinearly in X-axis and Y-axis directions respectively. The turn unit is stacked on the first base plate and the first base plate is slidably stacked on the second base plate. The second base plate is slidably mounted on the lower base.

Description

엘씨디 글라스 검사 장치{Inspection Apparatus for LCD Glass}LCD Glass Inspector {Inspection Apparatus for LCD Glass}

본 발명은 엘씨디(Liquide Cristal Display) 글라스의 얼룩, 흠집, 액정 주입 상태 등을 일정한 조명하에서 육안으로 검사하는 엘씨디 글라스 검사 장치에 관한 것으로서, 특히 엘씨디 글라스 표면에 미세 증기를 분사하는 방식에 의해 매우 정확하고 정밀한 검사가 가능함과 아울러, 엘씨디 글라스 무빙(Moving) 기구를 검사자의 의도대로 편리하면서 부드럽고 미세하며 다양한 방법으로 조정할 수 있도록 함으로써 검사자가 검사 장치에 대해 일체감을 갖도록 하여 검사의 능률을 향상시킨 엘씨디 글라스 검사 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an LCD glass inspection apparatus which visually inspects stains, scratches, liquid crystal injection states, etc. of a liquid crystal display (LCD) under certain lighting, and is particularly accurate by spraying fine vapor on the surface of an LCD glass. LCD glass that improves the inspection efficiency by allowing the inspector to have a sense of unity with the inspection device by allowing the user to adjust the LCD glass moving mechanism conveniently, smoothly and finely in various ways. It relates to an inspection apparatus.

엘씨디 글라스의 육안 검사는 자동화된 측정장비를 이용하기 어렵거나, 측정장비를 정밀하고 정확하게 검사할 수 있을 정도로 제조하기 곤란할 때 검사자가 직접 육안으로 확인하는 검사 방법이다. 예컨대, 엘씨디 글라스 표면의 얼룩, 흠집, 액정의 주입 상태 등은 검사자가 직접 육안으로 검사하는 방법이 가장 정확하다고 할 수 있다.Visual inspection of LCD glass is an inspection method that the inspector visually confirms when it is difficult to use automated measuring equipment or when manufacturing the measuring equipment is difficult to manufacture precisely and accurately. For example, staining, scratches, liquid crystal injection state, etc. on the surface of the LCD glass can be said to be the most accurate method of directly inspecting the inspector.

종래에 엘씨디 글라스의 육안검사는 검사자가 엘씨디 글라스를 직접 손으로 들고 조명에 비추어 가면서 검사하는 방법이 행해졌으나, 최근 엘씨디 글라스가 대형화함에 따라 엘씨디 글라스를 장착하고 이를 여러 방향으로 움직이면서 관찰할 수 있는 검사 장치가 제공되었다.In the past, the visual inspection of the LCD glass has been performed by the inspector holding the LCD glass by hand and illuminating it in the light. However, as the LCD glass is enlarged in recent years, the inspection can be observed while mounting the LCD glass and moving it in various directions. An apparatus was provided.

이와 더불어 종래에는 엘씨디 글라스를 보다 용이하게 검사하기 위한 방편으로 검사 현장에서 간혹 엘씨디 글라스 표면에 증기를 분사시키는 방법을 병행하기도 하였다. 엘씨디 글라스 표면에 증기가 서리면 예컨대, 유리창에 입김을 불어 서리게할 때와 같이 엘씨디 글라스 표면상에 발생된 흠집이나 얼룩진 부분이 선명하게 현출되는 것이다.In addition, in the related art, a method of spraying steam on the surface of the LCD glass is sometimes used in parallel at the inspection site as a means for inspecting the LCD glass more easily. If steam is frosted on the LCD glass surface, for example, scratches or stains generated on the LCD glass surface are clearly displayed, such as when blowing on the glass window.

한편, 종래에 엘씨디 글라스를 장착해서 검사하는 엘씨디 글라스 검사 장치는, 엘씨디 글라스가 장착되는 검사 테이블을 전,후 틸트용 모터와 좌,우 틸트용 모터로써 기울여 동작시킬 수 있도록 하고, 검사 테이블을 회전 테이블에 연결하여 모터로써 회전되도록 하며, 회전테이블은 X방향 테이블에 장착하여 모터와 볼스크류에 의해 X방향으로 직선운동할 수 있도록 하며, X방향 테이블은 다시 Y방향 테이블에 장착하여 모터와 볼스크류에 의하여 Y방향으로 직선운동 되도록 한 구조를 갖추어서, 작업자가 모터 조작 스위치를 사용하여 해당 모터들을 구동시킴으로써 엘씨디 글라스 장착 테이블을 관찰하기 용이한 방향으로 무빙시키면서 검사를 수행하도록 하였다.On the other hand, the conventional LCD inspection apparatus for mounting and inspecting the LCD glass, tilting the inspection table equipped with the LCD glass with the front and rear tilt motor and the left and right tilt motor, and rotates the inspection table It is connected to the table so that it can be rotated by a motor.The rotating table is mounted on the X-direction table so that it can be linearly moved in the X-direction by the motor and the ball screw. By having a structure that allows the linear movement in the Y direction, the operator was to drive the motor using a motor operation switch to perform the inspection while moving in the direction that is easy to observe the LCD glass mounting table.

그러나, 종래에 있어서 엘씨디 글라스 표면에 증기를 분사하는 방법으로서는, 현장에서 임시방편으로, 엘씨디 검사장치와는 별도로 물을 가열하고, 가열된 물로부터 발생된 증기를 그대로 엘씨디 글라스에 쐬는 매우 재래적인 방법이 있었다. 예컨대, 요리용 프라이팬에 물을 담아 가열시킨 후, 이 프라이팬을 엘씨디 글라스 아래에 근접시켜 프라이팬으로부터 발생되는 증기를 엘씨디 글라스에 쐬는 등매우 원시적이고 임시방편적인 방법을 사용하였다.However, conventionally, as a method of injecting steam on the surface of the LCD glass, a very conventional method of heating the water separately from the LCD inspection device and admitting the steam generated from the heated water to the LCD glass as a temporary measure in the field. There was this. For example, a very primitive and ad hoc method was used in which a cooking frying pan was heated with water, and then the frying pan was brought close to the bottom of the LCD glass to let steam generated from the frying pan into the LCD glass.

그러나, 위와 같은 종래의 방법은, 증기의 양과 온도 제어가 불가능하고, 외부 공기의 영향으로 증기효과가 저하되고, 국부 검사도 어려운 문제가 있으며, 나아가서는 증기 입자가 크고 습기를 많이 함유하고 있어 잘못하다가는 엘씨디 글라스 표면에 물방울이 맺히게 되는 문제를 야기하게 되었다.However, such a conventional method is difficult to control the amount and temperature of the steam, the steam effect is reduced due to the influence of the outside air, the local inspection is also difficult, and furthermore, the vapor particles are large and contain a lot of moisture, which is wrong. Meanwhile, water droplets were formed on the LCD glass surface.

또한, 전술한 바와 같은 종래의 검사 장치는 엘씨디 글라스를 무빙시키는 동작이 스위치 조작에 의한 모터의 구동으로만 움직이는 형식이다. 그러므로 엘씨디 글라스는 일정하게 미리 설정되어 있는 모터의 속도에 의하여 항상 동일한 속도로 움직이게 된다. 그렇기 때문에 엘씨디 글라스의 무빙속도와 검사자의 검사속도가 잘 맞지 않는 경우가 많이 발생한다. 즉, 검사자는 개인별로 검사능력에 차이가 있게 마련인데 엘씨디 글라스의 무빙속도는 그것과는 상관 없이 획일적으로 유지되므로 검사자의 감각적 속도와 엘씨디 글라스의 무빙 속도가 일치하지 않는 경우 불량 요소를 판정하기 어렵고, 불량 부분이 있더라도 이를 발견하지 못하는 문제가 있는 것이다. 예컨대, 엘씨디 글라스 검사 장치가 항상 모터의 구동으로만 가동되어야 하기 때문에 엘씨디 글라스의 미세조정이 어렵고 많은 시간을 요한다. 이에 검사자는 모터의 구동을 위하여 스위치를 조작하게 되는데, 숙달된 검시자라고 하더라도 엘씨디 글라스를 원하는 위치와 각도로 정확하게 맞추기가 어려워 여러번의 조작을 거듭하여야 하는 불편함을 겪게 되는 것이다.In the conventional inspection apparatus as described above, the operation of moving the LCD glass moves only by driving the motor by a switch operation. Therefore, the LCD glass is always moved at the same speed by the constant speed of the motor. Therefore, there are many cases where the moving speed of the LCD glass does not match the inspection speed of the inspector. In other words, the inspector has a different inspection ability for each individual, and the moving speed of the LCD glass is maintained uniformly regardless of it, so it is difficult to determine the defect factor when the sensory speed and the moving speed of the LCD glass do not match. However, even if there are defective parts, there is a problem that cannot be found. For example, since the LCD glass inspection apparatus should always be operated only by driving of the motor, fine adjustment of the LCD glass is difficult and time consuming. The inspector operates the switch to drive the motor. Even a skilled examiner suffers from the inconvenience of having to repeat the operation several times because it is difficult to precisely adjust the LCD to the desired position and angle.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제를 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 첫번째 목적은 증기 발생기와 이 증기 발생기로부터 발생된 증기를 노즐을 통하여 엘씨디 글라스 표면에 분사함으로써, 증기를 용이하고 균일하게 도포할 수 있도록 하는데 있다. 또한 증기를 분사하여 검사함에 있어서, 물로부터 발생된 입자가 크고 습한 1차증기를 다시 미세한 입자상태의 건조한 2차증기로 만든 다음, 이의 2차증기를 노즐을 통하여 엘씨디 글라스 표면에 고르게 분사함으로써 엘씨디 글라스 표면의 미세한 불량 부분도 쉽게 발견할 수 있고, 엘씨디 글라스나 노즐 팁부에 물방울이 맺히는 현상을 방지한 엘씨디 글라스 검사 장치를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, the first object of the present invention is to spray the steam generator and the steam generated from the steam generator to the LCD glass surface through the nozzle, to apply the steam easily and uniformly To make it possible. In addition, in the steam injection test, the particles generated from the water are made of large and wet primary steam again into a fine dry dry secondary steam, and then the secondary steam evenly sprayed on the LCD glass surface through the nozzle to the LCD The present invention also provides an LCD glass inspection apparatus which can easily detect minute defects on the glass surface and prevent water droplets from forming on the LCD glass or the nozzle tip.

본 발명의 두번째 목적은 증기의 부착을 용이하게 하기 위해, 증기 분사 전에 엘씨디 글라스 표면에 냉각공기를 분사시켜 엘씨디 글라스를 냉각시킴과 아울러, 검사 후에도 냉각 공기를 분사함으로써, 엘씨디 글라스 표면에 부착된 증기를 신속하게 제거할 수 있도록 함에 있다.The second object of the present invention is to vaporize the LCD glass by spraying cooling air on the surface of the LCD glass before spraying the steam to cool the LCD glass, and also by spraying cooling air after the inspection, thereby facilitating adhesion of the steam. To quickly remove it.

또한, 본 발명의 세번째 목적은, 검사자가 검사 테이블을 원하는 각도로 부두럽게 수동조작 가능한 구조로 구성함으로써 조명에 대하여서나 검사 부위에 따라서 검사자가 신속하고 정확하며 편리한 방법으로 엘씨디 글라스의 각도를 조절할 수 있도록 함에 있다.In addition, the third object of the present invention, the examiner is to configure the inspection table in the desired angle vigorously manual structure by the inspector can adjust the angle of the LCD glass in a quick, accurate and convenient way according to the lighting or inspection site It is in such a way.

또한, 본 발명의 네번째 목적은 검사 테이블의 회전이나 X,Y방향 이송에 있어서 전달 동력을 단속시킬 수 있는 클러치 기구를 갖추어 검사자의 편의에 따라 테이블의 회전 및 이송 동작을 모터 뿐만 아니라 수동으로도 수행시킬 수 있도록 함으로써 검사 장치에 대하여 검사자가 일체감을 갖고 조작할 수 있도록 한 편리한엘씨디 글라스 검사 장치를 제공함에 있다.In addition, the fourth object of the present invention is equipped with a clutch mechanism capable of intermitting the transmission power in the rotation of the inspection table or the X, Y-direction transfer to perform the rotation and transfer operation of the table manually as well as the motor at the convenience of the inspector. The present invention provides a convenient LCD glass inspection apparatus that enables the inspector to operate with a sense of unity with respect to the inspection apparatus.

도 1은 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 검사 장치 전체 구조를 나타내는 사시도1 is a perspective view showing the entire structure of the LCD glass inspection apparatus according to the present invention

도 2는 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 표면에 증기를 분사하기 위한 증기 분사 유닛을 개략적으로 나타내는 도면2 is a view schematically showing a steam injection unit for injecting steam on the LCD glass surface according to the present invention

도 3은 본 발명에 따라 엘씨디 글라스 표면에 냉각공기를 분사시키는 냉각 유닛을 개략적으로 나타내는 도면3 is a schematic illustration of a cooling unit for injecting cooling air onto an LCD glass surface in accordance with the present invention.

도 4는 본 발명에 의한 냉각 유닛의 업-다운 구조를 나타내는 도면4 shows an up-down structure of the cooling unit according to the present invention.

도 5a는 본 발명에 의한 틸팅 유닛을 상세하게 나타내는 사시도Figure 5a is a perspective view showing in detail the tilting unit according to the present invention

도 5b는 도 5a의 틸팅 유닛 단면도로서 도 5a의 "X" 방향에서 바라본 도면FIG. 5B is a cross-sectional view of the tilting unit of FIG. 5A viewed from the "X" direction of FIG. 5A

도 5c는 도 5a의 틸팅 유닛 단면도로서 도 5a의 "Y" 방향에서 바라본 도면FIG. 5C is a cross-sectional view of the tilting unit of FIG. 5A viewed from the “Y” direction of FIG. 5A.

도 6은 본 발명에 의한 턴 유닛을 상세하게 나타내는 도면6 is a view showing in detail the turn unit according to the present invention;

도 7a는 본 발명의 제1,2 베이스 플레이트 및 하부 베이스를 나타내는 것으로서, 도 1의 "X"방향에서 바라본 도면FIG. 7A is a view of the first and second base plates and the lower base of the present invention and is viewed from the "X" direction of FIG.

도 7b는 도 7a에서 제1 베이스 플레이트의 동력 단속을 위한 브레이크 유닛을 상세하게 나타내는 도면FIG. 7B is a detailed view of a brake unit for power interruption of the first base plate in FIG. 7A; FIG.

도 7c는 도 7b에서 브레이크 유닛에 의해 동력이 연결된 상태를 나타내는 도면7C is a view illustrating a state in which power is connected by the brake unit in FIG. 7B.

도 8a는 본 발명의 제1,2 베이스 플레이트 및 하부 베이스를 나타내는 것으로서, 도 1의 "Y"방향에서 바라본 도면FIG. 8A is a view of the first and second base plates and the lower base of the present invention and is viewed from the “Y” direction of FIG. 1.

도 8b는 도 8a에서 제2 베이스 플레이트의 동력 단속을 위한 브레이크 유닛을 상세하게 나타내는 도면FIG. 8B is a detailed view of the brake unit for power interruption of the second base plate in FIG. 8A; FIG.

도 8c는 도 8b에서 브레이크 유닛에 의해 동력이 연결된 상태를 나타내는 도면8C is a view illustrating a state in which power is connected by the brake unit in FIG. 8B;

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 검사 테이블11 : 가이드 핀10: inspection table 11: guide pin

12 : 서포트 핀13 : 흡착수단12: support pin 13: adsorption means

14 : 손잡이14 handle

100 : 증기 분사 유닛101 : 증기 발생기100: steam injection unit 101: steam generator

110 : 제1차 증기 발생기111 : 가열용기110: primary steam generator 111: heating vessel

112 : 가열기113 : 연결관112: heater 113: connector

114,124,142 : 유량조절밸브120 : 제2차 증기 발생기114, 124, 142: flow control valve 120: secondary steam generator

121 : 노즐122 : 히터121: nozzle 122: heater

123 : 연장관130 : 노즐123: extension tube 130: nozzle

131 : 관로140 : 콤프레서131: pipeline 140: compressor

200 : 냉각 유닛201 : 냉각 배관200: cooling unit 201: cooling piping

202 : 노즐203 : 열교환기202: nozzle 203: heat exchanger

204 : 블로어205 : 지지판204: blower 205: support plate

206 : 작동실린더300 : 틸팅 유닛206: working cylinder 300: tilting unit

310 : 제1 요크부재314 : 토크 콘트롤러310: first yoke member 314: torque controller

330 : 제2 요크부재334,335 : 힌지축330: second yoke member 334, 335: hinge shaft

350 : 제3 요크부재354 : 토크 콘트롤러350: third yoke member 354: torque controller

400 : 턴 유닛401 : 회전축400: turn unit 401: rotation axis

401a,405a : 풀리402 : 마운트401a, 405a: Pulley 402: Mount

404 : 벨트405 : 모터404: belt 405: motor

406 : 감속기407 : 클러치406: reducer 407: clutch

500 : 제1 베이스 플레이트501,601 : 엘엠 가이드500: first base plate 501,601: L guide

502,602 : 가이드 레일503,603 : 슬라이더502,602: guide rail 503,603: slider

504,604 : 모터505,506,605,606 : 풀리504,604: Motor 505,506,605,606: Pulley

507,607 : 벨트508,608 : 브레이크 유닛507,607: Belt 508,608: Brake unit

509,609 : 상측 마찰판 부재510,610 : 유체실린더509,609: upper friction plate member 510,610: fluid cylinder

511,611 : 상,하 작동부512,612 : 하측 마찰판 부재511,611: upper and lower operating part 512,612: lower friction plate member

600 : 제2 베이스 플레이트700 : 하부 베이스600: second base plate 700: lower base

상기한 첫번째 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 검사 장치는, 엘씨디 글라스를 장착하기 위한 검사 테이블과, 이 검사 테이블의 경사 각도를 조정함과 아울러, 검사 테이블을 회전 및 X-Y방향으로 이송하는 기구를 포함하여 엘씨디 글라스의 흠집, 얼룩, 액정 주입상태 등을 검사하는 검사 장치에 있어서, 물을 가열하여 증기를 발생시키는 증기 발생기; 상기 증기 발생기로부터 발생된 증기를 상기 엘씨디 글라스 표면에 분사하기 위하여 상기 검사 테이블에 배치되는 다수의 노즐; 및 상기 증기 발생기와 상기 다수의 노즐을 연결하는 연장관에 설치되어 상기 노즐로 공급되는 증기의 양을 제어하는 유량조절밸브; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the first object described above, the LCD glass inspection apparatus according to the present invention includes an inspection table for mounting an LCD glass, an inclination angle of the inspection table, and a rotation of the inspection table in the XY direction. An inspection apparatus for inspecting scratches, stains, liquid crystal injection state, etc. of an LCD including an apparatus, comprising: a steam generator for heating water to generate steam; A plurality of nozzles disposed on the inspection table for injecting steam generated from the steam generator to the LCD glass surface; And a flow rate control valve installed in an extension pipe connecting the steam generator and the plurality of nozzles to control an amount of steam supplied to the nozzle. Characterized in that comprises a.

나아가, 상기 증기 발생기는, 물을 가열하여 1차적으로 증기를 발생시키는 제1차 증기발생기와, 상기 제1차 증기발생기로부터 얻어진 습하고 입자가 큰 증기를 다시 증발시켜 미세한 입자의 건증기를 생성하여 상기 다수의 노즐로 공급하는 제2차 증기발생기로 구성한 것을 특징으로 한다.Further, the steam generator, the primary steam generator to heat the water primarily to generate steam, and the wet and large vapor obtained from the primary steam generator is evaporated again to generate dry steam of fine particles Characterized in that it consists of a secondary steam generator that is supplied to the plurality of nozzles.

상기한 두번째 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 검사 장치는, 엘씨디 글라스에 상기 제2차 증기를 분사하기에 앞서 엘씨디 글라스를 냉각시켜 엘씨디 글라스 표면에 2차 증기가 용이하게 부착될 수 있도록 하고, 검사가종료된 후 엘씨디 글라스 표면의 증기를 제거하기 위하여 상기 엘씨디 글라스 표면에 냉각 공기를 분사하는 냉각 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the second object, the LCD glass inspection apparatus according to the present invention may cool the LCD glass prior to injecting the secondary steam to the LCD glass so that the secondary steam can be easily attached to the LCD glass surface. And after the inspection is completed, further comprising a cooling unit for injecting cooling air to the LCD glass surface to remove steam from the LCD glass surface.

상기한 세번째 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 엘씨디 글라스 검사장치는, 엘씨디 글라스가 안착되기 위한 검사 테이블이 상측에 고정되는 틸팅 유닛; 상기 틸팅 유닛의 하부에 연결되는 회전축을 갖추어 이 회전축의 회전에 의하여 상기 틸팅 유닛을 회전시키는 턴 유닛; 상기 턴 유닛이 탑재되는 제1 베이스 플레이트; 상기 제1 베이스 플레이트가 직선으로 슬라이딩 가능하게 탑재되는 제2 베이스 플레이트; 및 상기 제2 베이스 플레이트가 상기 제1 베이스 플레이트의 이송방향에 직교하는 방향으로 슬라이딩 가능하게 탑재되는 하부 베이스; 를 포함하되, 상기 틸팅 유닛은, 상기 턴 유닛의 회전축 상단에 고정되어 회전축에 의해 회전되는 제1 요크부재와, 상기 제1 요크부재에 전,후방향으로 회전가능하게 힌지되는 제2 요크부재와, 상기 제2 요크부재에 좌,우 방향으로 회전가능하게 힌지되며 그의 상면에 검사 테이블이 고정되는 제3 요크부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the third object, the LCD glass inspection apparatus according to the present invention includes: a tilting unit to which an inspection table for mounting the LCD glass is fixed on an upper side thereof; A turn unit having a rotation shaft connected to a lower portion of the tilting unit to rotate the tilting unit by the rotation of the rotation shaft; A first base plate on which the turn unit is mounted; A second base plate on which the first base plate is slidably mounted in a straight line; And a lower base on which the second base plate is slidably mounted in a direction orthogonal to the conveying direction of the first base plate. The tilting unit may include: a first yoke member fixed to an upper end of a rotation shaft of the turn unit and rotated by a rotation shaft, and a second yoke member rotatably hinged to the first yoke member in a forward and backward direction; And a third yoke member rotatably hinged to the second yoke member in a left and right direction and having an inspection table fixed to an upper surface thereof.

여기서, 상기 제2 요크부재의 좌,우 양측에는 힌지축이 고정되며, 이 양측 힌지축이 상기 제1 요크부재의 양측에 회전가능하게 결합됨과 아울러, 상기 제1 요크부재의 양측 중 하나 이상에는 상기 제2 요크부재의 힌지축을 일정한 힘으로 압지하여 힌지축의 임의적 회전을 억제함으로써 상기 제2 요크부재가 제1 요크부재에 대하여 저절로 기울어지는 것을 방지하는 토크 콘트롤러가 구비되고, 상기 제2 요크부재의 전,후 양측에는 힌지축이 고정되며, 이 양측 힌지축에 상기 제3 요크부재의 양측이 회전가능하게 결합됨과 아울러, 상기 제3 요크부재의 양측 중 하나 이상에는 상기 제2 요크부재의 힌지축을 일정한 힘으로 압지하여 힌지축의 임의적 회전을 억제함으로써 상기 제3 요크부재가 제2 요크부재에 대하여 저절로 기울어지는 것을 방지하는 토크 콘트롤러가 구비될 수 있다.Here, hinge shafts are fixed to both left and right sides of the second yoke member, and both hinge shafts are rotatably coupled to both sides of the first yoke member, and at least one of both sides of the first yoke member. A torque controller is provided to prevent the second yoke member from inclining itself with respect to the first yoke member by pressing the hinge shaft of the second yoke member with a constant force to suppress arbitrary rotation of the hinge shaft. Hinge shafts are fixed to both sides of the front and rear sides, and both sides of the third yoke member are rotatably coupled to both of the hinge shafts, and at least one of both sides of the third yoke member includes a hinge shaft of the second yoke member. Torque cone which prevents the third yoke member from inclining itself with respect to the second yoke member by pressing with a constant force to suppress arbitrary rotation of the hinge shaft. The controller may be provided.

상기한 네번째 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 상기 턴 유닛을 그의 회전축이 상기 제1 베이스 플레이트 상에 장착된 마운트에 회전가능하게 설치되어 모터와 벨트 연결에 의하여 구동되며, 상기 제1 요크부재와는 클러치를 매개로 연결되어 상기 모터의 동력을 단속할 수 있도록 하여서 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the fourth object of the present invention, the turn unit is rotatably installed on a mount whose rotational axis is mounted on the first base plate, and is driven by a motor and belt connection. Is characterized in that configured to be connected via a clutch to intermittent the power of the motor.

또한, 상기 제2 베이스 플레이트에 대한 상기 제1 베이스 플레이트의 슬라이딩 구성 및 상기 하부 베이스에 대한 상기 제2 베이스 플레이트의 슬라이딩 구성은 엘엠 가이드를 통하여 이루어져서, 상기 제1,2 베이스 플레이트를 수동으로 이송시킬 수 있도록 할 수 있다.In addition, the sliding configuration of the first base plate with respect to the second base plate and the sliding configuration of the second base plate with respect to the lower base may be made through an LM guide to manually transport the first and second base plates. You can do that.

이와는 달리, 상기 제2 베이스 플레이트에 대한 상기 제1 베이스 플레이트의 슬라이딩 구성 및 상기 하부 베이스에 대한 상기 제2 베이스 플레이트의 슬라이딩 구성을, 제2 베이스 플레이트와 하부 베이스 각각에 모터 전동에 의한 벨트를 갖추고, 상기 제1 베이스 플레이트와 제2 베이스 플레이트를 상기 각각의 벨트에 연결시키는 구성을 갖추어, 상기 제1,2 베이스 플레이트를 모터와 벨트에 의하여 이송되도록 할 수 있다.Alternatively, the sliding configuration of the first base plate with respect to the second base plate and the sliding configuration of the second base plate with respect to the lower base are provided with a belt by motor transmission at each of the second base plate and the lower base. The first base plate and the second base plate may be connected to the respective belts so that the first and second base plates may be transferred by the motor and the belt.

본 발명의 가장 바람직한 방향에 따라서 상기 제1 베이스 플레이트와 상기벨트의 연결부 및 상기 제2 베이스 플레이트와 벨트의 연결부에 각각 브레이크 유닛을 개재하고, 상기 브레이크 유닛을 통하여 동력을 연결 또는 해제할 수 있도록 함으로써, 상기 제1 베이스 플레이트와 제2 베이스 플레이트를 수동이나 모터로써 선택적으로 이송시킬 수 있도록 할 수 있다.According to the most preferred direction of the present invention by interposing the brake unit to the connecting portion of the first base plate and the belt and the connecting portion of the second base plate and the belt, respectively, so that the power can be connected or released through the brake unit The first base plate and the second base plate may be selectively transported manually or by a motor.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

첨부도면 도 1은 본 발명에 의한 엘씨디 글라스 검사 장치의 전체 구성을 나타내는 도면이다.1 is a view showing the overall configuration of the LCD glass inspection apparatus according to the present invention.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 의한 바람직한 엘씨디 글라스 검사장치는 크게, 검사 테이블(10), 증기 분사 유닛(100), 냉각 유닛(200), 틸팅 유닛(300), 턴 유닛(400), 제1 베이스 플레이트(500), 제2 베이스 플레이트(600), 그리고 하부 베이스(700)를 포함한다.As shown in Figure 1, the preferred LCD glass inspection apparatus according to the present invention is large, the inspection table 10, steam injection unit 100, cooling unit 200, tilting unit 300, turn unit 400, The first base plate 500, the second base plate 600, and the lower base 700 are included.

도면에서 상기 검사 테이블(10), 증기 분사 유닛(100) 및 냉각 유닛(200)은 발명의 전체적인 구조의 이해를 돕기 위하여 쇄선으로 도시하고 있다.In the drawings, the inspection table 10, the steam injection unit 100 and the cooling unit 200 are shown by a broken line to help understand the overall structure of the invention.

상기 검사 테이블(10)에는 검사할 엘씨디 글라스(도시 생략)가 얹혀지는데, 검사테이블(10)의 상면 외측 둘레에는 엘씨디 글라스의 측면을 가이드하는 다수의 가이드핀(11)이 마련되어 있고, 이 가이드 핀(11)들의 내측으로는 엘씨디 글라스의 저면을 지지하는 다수의 서포트 핀(12)이 마련되어 있음과 아울러, 엘씨디 글라스를 진공 흡착시키는 다수의 흡착수단(13)이 마련되어 있다. 그리고 검사테이블(10)의 측면에는 검사 테이블(10)을 손으로 잡고 위치 조정할 수 있도록 하는 손잡이(14)가 부설되어 있다.The LCD table (not shown) to be inspected is placed on the inspection table 10, and a plurality of guide pins 11 are provided at the outer circumference of the upper surface of the inspection table 10 to guide the side of the LCD glass. Inside the (11), a plurality of support pins 12 supporting the bottom of the LCD glass are provided, and a plurality of adsorption means 13 for vacuum adsorption of the LCD glass are provided. And the side of the examination table 10 is provided with a handle 14 for holding the examination table 10 by hand to adjust the position.

상기 증기 분사 유닛(100)은 엘씨디 글라스를 검사하기에 앞서 엘씨디 글라스 표면에 미세한 증기를 분사하여 부착시킨다. 엘씨디 글라스 표면에 증기가 부착되면 엘씨디 글라스 표면에 생긴 얼룩이나 흠집 등이 선명하게 현출됨으로써 검사자가 쉽게 판별할 수 있다. 상기 냉각 유닛(200)은 상기 엘씨디 글라스 표면에 증기를 분사하기에 앞서 엘씨디 글라스에 냉각 공기를 분사시켜 엘씨디 글라스의 온도를 증기의 온도보다 낮게 유지함으로써 증기의 부착을 용이하게 함과 아울러, 검사가 끝난 후 엘씨디 글라스 표면에 뭍은 증기를 증발시켜 제거되도록 한다.The steam injection unit 100 sprays and attaches fine steam to the LCD glass surface before inspecting the LCD glass. When vapor is attached to the LCD glass surface, stains or scratches on the LCD glass surface are visibly present, so that the inspector can easily determine. The cooling unit 200 facilitates the adhesion of the steam by injecting cooling air to the LCD glass to maintain the temperature of the LCD glass lower than the temperature of the steam prior to injecting steam on the surface of the LCD glass, and the inspection Afterwards, vapors removed on the LCD glass surface are removed by evaporation.

상기 틸팅 유닛(300)의 최상부에는 상기 검사 테이블(10)이 장착되며, 검사자는 틸팅 유닛(300)을 이용하여 검사 테이블(10)을 기울일 수 있다. 상기 턴 유닛(400)에는 상기 틸팅 유닛(300)이 탑재되며, 틸팅 유닛(300)의 하부에 연결되는 회전축(401)을 갖추어, 이 회전축(401)의 회전에 의하여 상기 틸팅 유닛(300)을 회전시키게 된다. 상기 제1 베이스 플레이트(500)는 도면상 X-축 방향으로 직선운동하며, 그 상부에는 상기 턴 유닛(400)이 탑재된다. 상기 제2 베이스 플레이트(600)는 도면상 Y-축 방향으로 직선운동하며, 그 상부에는 상기 제1 베이스 플레이트(500)가 X-축 방향으로 슬라이딩 가능하게 탑재된다. 상기 하부 베이스(700)에는 상기 제2 베이스 플레이트(600)가 Y-축 방향으로 슬라이딩 가능하게 탑재된다.The examination table 10 is mounted on the top of the tilting unit 300, and the inspector may tilt the examination table 10 using the tilting unit 300. The tilting unit 300 is mounted to the turn unit 400, and includes a rotating shaft 401 connected to the lower portion of the tilting unit 300, thereby rotating the tilting unit 300 by the rotation of the rotating shaft 401. Rotated. The first base plate 500 linearly moves in the X-axis direction in the drawing, and the turn unit 400 is mounted on an upper portion thereof. The second base plate 600 linearly moves in the Y-axis direction in the drawing, and the first base plate 500 is slidably mounted in the X-axis direction. The second base plate 600 is mounted on the lower base 700 so as to be slidable in the Y-axis direction.

첨부도면 도 2는 상기한 증기 분사 유닛(100)을 상세하게 나타낸다. 도 1을 병행하여 참조한다.2 is a detailed view of the steam injection unit 100 described above. Reference is made in parallel to FIG. 1.

상기 증기 분사 유닛(100)은 물(純水)를 가열하여 증기를 발생시키는 증기 발생기(101)와, 이 증기 발생기(101)로부터 발생된 증기를 상기 엘씨디 글라스 표면에 분사하기 위하여 상기 검사 테이블에 배치되는 다수의 노즐(130)과, 상기 증기 발생기(101)와 상기 다수의 노즐(130)을 연결하는 연장관(123)에 설치되어 상기 노즐(130)로 공급되는 증기의 양을 제어하는 유량조절밸브(124)를 포함한다.The steam injection unit 100 is a steam generator 101 for heating the water to generate steam, and to the test table to inject the steam generated from the steam generator 101 to the LCD glass surface. Flow rate control for controlling the amount of steam supplied to the nozzle 130 is installed in the plurality of nozzles 130 and the extension pipe 123 connecting the steam generator 101 and the plurality of nozzles 130 are arranged Valve 124.

본 실시예에서 상기 증기 발생기(101)는, 물을 가열하여 1차적으로 증기를 발생시키는 제1차 증기발생기(110)와, 이 제1차 증기발생기(110)로부터 얻어진 습증기를 다시 증발시켜 미세한 입자의 건증기로 생성하는 제2차 증기발생기(120)로 이루어진다.In the present embodiment, the steam generator 101 is a primary steam generator 110 that heats water to generate steam primarily, and again by evaporating the wet steam obtained from the primary steam generator 110 to be fine. It consists of a secondary steam generator 120 to produce a dry steam of particles.

또한, 본 실시예에서 상기 제1차 증기발생기(110)는 내부에 물을 충전가능한 가열용기(111)와, 이 가열용기(111) 내부에 수용된 물을 가열 증발시키는 가열기(112)를 포함한다. 상기 제2차 증기 발생기(120)는 상기 제1차 증기발생기(110)와 연결관(113)으로 연결되어 있고, 연결관(113) 중간에는 유량조절밸브(114)가 설치되어 있다. 상기 제2차 증기 발생기(120) 내부에는 히터(122)를 구비하고 있고, 일측에는 상기 연결관(113)의 단부에 구비된 노즐(121)이 돌출되어 있다. 상기 제1차 증기 발생기(110)로부터 공급되어 상기 노즐(121)로 분사되는 습하고 입자가 큰 증기가 상기 히터(122)에 의해 재차 증발되어 습기가 감소되고 입자가 미세한 2차 증기를 생성하게 된다. 상기 노즐(130)은 상기 검사 테이블(10)의상면에 배관되는 관로(131)에 일정 간격으로 다수개 설치되며, 상기 관로(131)는 상기 제2차 증기발생기(120)와 전술한 연장관(123)으로 연결되어 있으면서 이의 연장관(123) 중간에는 유량조절밸브(124)가 설치되어 있다.In addition, in the present embodiment, the first steam generator 110 includes a heating container 111 capable of filling water therein and a heater 112 for evaporating the water contained in the heating container 111 by heat. . The secondary steam generator 120 is connected to the primary steam generator 110 and the connection pipe 113, the flow control valve 114 is installed in the middle of the connection pipe 113. The secondary steam generator 120 is provided with a heater 122, and at one side, a nozzle 121 provided at an end of the connecting pipe 113 protrudes. Humid, large particle steam supplied from the primary steam generator 110 and injected into the nozzle 121 is evaporated again by the heater 122 to reduce moisture and generate fine secondary steam. . The nozzle 130 is installed in a plurality of intervals at a predetermined interval in the pipe 131 piped on the upper surface of the inspection table 10, the pipe 131 is the secondary steam generator 120 and the aforementioned extension pipe ( While connected to 123, the flow control valve 124 is installed in the middle of the extension pipe 123.

그리고, 본 발명은 상기 증기 발생기(101)에 압축공기를 공급하여 상기 증기 발생기(101)에서 발생된 증기를 상기 다수의 노즐(130)로 압송하는 콤프레서(140)와, 상기 콤프레서(140)로부터 상기 증기 발생기(101)를 연결하는 관로(141)상에 배치되는 유량조절밸브(142)를 더 포함한다. 도시된 실시예에서 상기 콤프레서(140)는 상기 제2차 증기 발생기(120) 하부에 연결되어서 제2차 증기 발생기(120)의 내부로 압축공기를 공급하고 있다.In addition, the present invention supplies a compressed air to the steam generator 101, the compressor 140 for pumping the steam generated in the steam generator 101 to the plurality of nozzles 130, and from the compressor 140 It further includes a flow control valve 142 is disposed on the conduit 141 connecting the steam generator 101. In the illustrated embodiment, the compressor 140 is connected to the lower portion of the secondary steam generator 120 to supply compressed air to the inside of the secondary steam generator 120.

도 2를 통하여, 엘씨디 글라스 표면에 증기를 분사하는 과정을 살펴본다. 먼저, 히터(112)에 의하여 가열용기(111) 내부의 물(순수)이 가열되면 제1차 증기발생기(110)에서 증기가 발생한다. 증기가 발생하면 상기 제1차 증기 발생기(110)의 가열용기(111) 상측부 압력이 상승되고, 승압된 1차 증기는 연결관(113), 유량조절밸브(114) 및 노즐(121)을 경유하여 제2차 증기발생기(120)내부로 토출된다. 상기 제2차 증기발생기(120)의 내부로 토출된 1차증기는 히터(122)에 의하여 다시 증발되어 상기 1차증기에 비하여 입자가 미세하고 습기가 많이 제거된 상태의 2차증기로 생성된다. 제2차 증기발생기(120)에서 생성된 제2차 증기는 콤프레서(140)로부터의 압축공기에 의해 승압되어 연장관(123)과 유량조절밸브(124)를 경유한 후, 노즐(130)을 통하여 엘씨디 글라스(50) 표면에 분사된다. 여기서 상기 노즐(130)의 분사 압력은 상기 제2차 증기발생기(120)와 상기 노즐(130)을 연결하는 관로(131)상의 유량조절밸브(124)에 의하여 제어되며, 증기의 농도는 상기 제1차 증기발생기(110)와 제2차 증기발생기(120)를 연결하는 연결관(113)상의 유량조절밸브(114) 및 상기 콤프레서(140)로부터 상기 제2차 증기발생기(120)를 연결하는 유량조절밸브(142)를 적절히 안배하여 이루어진다.Referring to Figure 2, looks at the process of injecting steam to the LCD glass surface. First, when water (pure water) inside the heating container 111 is heated by the heater 112, steam is generated in the first steam generator 110. When steam is generated, the pressure of the upper portion of the heating vessel 111 of the primary steam generator 110 is increased, and the boosted primary steam is connected to the connection pipe 113, the flow control valve 114, and the nozzle 121. It is discharged into the secondary steam generator 120 via. The primary steam discharged into the secondary steam generator 120 is evaporated again by the heater 122 to generate secondary steam in a state in which particles are fine and moisture is removed compared to the primary steam. . The secondary steam generated by the secondary steam generator 120 is boosted by the compressed air from the compressor 140 to pass through the extension pipe 123 and the flow control valve 124, and then through the nozzle 130. It is sprayed on the LCD glass 50 surface. Here, the injection pressure of the nozzle 130 is controlled by the flow control valve 124 on the conduit 131 connecting the secondary steam generator 120 and the nozzle 130, the concentration of the steam Connecting the secondary steam generator 120 from the compressor 140 and the flow control valve 114 on the connection pipe 113 connecting the primary steam generator 110 and the secondary steam generator 120 The flow rate control valve 142 is properly arranged.

이와 같이 본 발명은 증기발생기(101)와 노즐(130) 및 유량조절밸브(124)를 갖추어 엘씨디 글라스 표면에 증기를 쉽고 균일하게 분사할 수 있다. 따라서, 엘씨디 글라스 표면에 있는 얼룩이나 흠집 등을 쉽고 정밀하게 검사할 수 있다. 특히 본 발명에 의하면 제1차 증기발생기(110)에서 1차적으로 발생된 입자가 큰 습증기를 제2차 증기발생기(120)에서 다시 증발시켜 미세한 입자상태의 건증기로 만든 다음 이를 다수의 노즐(130)을 통하여 엘씨디 글라스 표면에 고르게 분사하게 된다. 이러한 2차 증기는 매우 미세하고 건조하기 때문에, 물로부터 1차적으로 발생된 습하고 입자가 큰 증기를 엘씨디 글라스 표면에 그대로 쐬는 방법에 비하여 엘씨디 글라스 표면의 미세한 흠집이나 얼룩 등을 더욱 쉽게 발견할 수 있게 된다. 또한 이와 같이 2차증기를 이용함으로써 증기에 함유된 습기에 의하여 엘씨디 글라스 표면이나 노즐(130)의 팁부에 물방울이 맺힐 염려도 없어 공정에 악영향을 주는 문제도 미연에 방지할 수 있는 것이다.As described above, the present invention is equipped with a steam generator 101, a nozzle 130, and a flow control valve 124 to easily and uniformly inject steam onto the LCD glass surface. Therefore, spots and scratches on the LCD glass surface can be easily and precisely inspected. Particularly, according to the present invention, the wet steam having large particles generated primarily in the first steam generator 110 is evaporated again in the second steam generator 120 to make dry steam having a fine particle state, and then a plurality of nozzles ( 130 is evenly sprayed on the LCD glass surface. Since the secondary steam is very fine and dry, it is easier to detect minute scratches or stains on the LCD glass surface than the method of leaving the wet and large-sized steam generated primarily from water on the LCD glass surface. do. In addition, by using the secondary steam as described above, there is no fear that water droplets may form on the surface of the LCD glass or the tip of the nozzle 130 due to moisture contained in the steam, thereby preventing the problem of adversely affecting the process.

첨부도면 도 3 및 도 4는 상기 냉각 유닛(200)을 나타내고 있다. 도 1을 병행 참조한다.3 and 4 show the cooling unit 200. See FIG. 1 in parallel.

도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 냉각 유닛(200)은, 상기 엘씨디 글라스의 둘레를 따라 형성되는 냉각배관(201)과, 이 냉각배관(201)상에 상기 엘씨디 글라스를 향하여 배치되는 다수의 노즐(202)과, 공기를 냉각시키는 열교환기(203)와, 상기 열교환기(203)로부터 발생된 냉각 공기를 상기 냉각배관(201)으로 압송하여 냉각 공기를 상기 노즐(202)로 토출되도록 하는 블로어(204)를 포함하여 이루어진다. 나아가, 본 발명에서 상기 냉각배관(201)은 도 4에 도시된 바와 같이 지지판(205)에 취부되고, 이 지지판(205)은 작동실린더(206)에 연결되어 있어, 상기 작동실린더(206)에 의하여 상기 지지판(205)이 승강함으로써 상기 냉각배관(201)이 상기 엘씨디 글라스를 향해 승강되도록 하고 있다. 따라서, 엘씨디 글라스에 냉각 공기를 분사하고자 할 때에는 상기 작동실린더(206)를 하강시켜 상기 노즐(202)을 엘씨디 글라스에 근접시킨 다음 냉각공기를 분사하고, 분사가 끝난 후에는 작동실린더(206)를 상승시켜 냉각 유닛(200)을 엘씨디 글라스로부터 이격시킴으로써 검사 테이블(10)의 무빙을 방해하지 않도록 함과 아울러 작업자의 시야도 방해받지 않도록 한다.As shown in FIGS. 1 and 3, the cooling unit 200 includes a cooling pipe 201 formed along the circumference of the LCD glass and disposed on the cooling pipe 201 toward the LCD glass. A plurality of nozzles 202, a heat exchanger 203 for cooling the air, and cooling air generated from the heat exchanger 203 are pumped to the cooling pipe 201 to discharge cooling air to the nozzle 202. Blower 204 to be made. Further, in the present invention, the cooling pipe 201 is mounted to the support plate 205, as shown in Figure 4, the support plate 205 is connected to the operation cylinder 206, to the operation cylinder 206 As a result, the support plate 205 moves up and down to allow the cooling pipe 201 to move up and down toward the LCD glass. Therefore, when the cooling air is to be sprayed on the LCD glass, the operation cylinder 206 is lowered to bring the nozzle 202 close to the LCD glass, and then the cooling air is injected. After the injection is finished, the operation cylinder 206 is sprayed. By raising it, the cooling unit 200 is spaced apart from the LCD glass so as not to disturb the moving of the examination table 10 and also to prevent the operator's view.

이러한 본 발명은 전술한 증기 분사 유닛(100)을 통하여 엘씨디 글라스 표면에 2차 증기를 분사하기에 앞서 냉각 유닛(200)을 통해 엘씨디 글라스 표면에 냉각공기를 분사시켜 엘씨디 글라스의 온도를 2차증기 온도보다 낮게 냉각시킨다. 엘씨디 글라스의 온도가 2차 증기의 온도보다 낮게 유지되면 2차 증기의 부착이 용이하므로 매우 정확한 검사를 수행할 수 있다. 또한 검사 완료 후에도 냉각 공기를 분사함으로써 엘씨디 글라스 표면에 부착되어 있는 증기를 신속하게 증발건조시킨다. 따라서, 검사 공정을 신속하게 진행시킬 수 있고, 미처 제거되지 않은 증기에 의하여 다른 공정에 영향을 주는 문제도 방지할 수 있다.The present invention prior to spraying the secondary steam to the LCD glass surface through the above-described steam injection unit 100 by spraying the cooling air to the LCD glass surface through the cooling unit 200 to increase the temperature of the LCD glass secondary steam Cool below temperature. If the temperature of the LCD glass is kept lower than the temperature of the secondary steam, it is easy to attach the secondary steam, so a very accurate inspection can be performed. In addition, by injecting cooling air even after the inspection is completed, the vapor adhering to the LCD glass surface is rapidly evaporated to dryness. Therefore, the inspection process can be advanced quickly, and the problem of affecting other processes by the unremoved steam can also be prevented.

첨부도면 도 5a 내지 5c는 상기한 틸팅 유닛(300)을 상세하게 나타낸다.5A to 5C show the tilting unit 300 described above in detail.

도 5a는 상기 틸팅 유닛(300)을 상기 턴 유닛(400) 및 제1 베이스 플레이트(500)와 함께 도시한 사시도이다.FIG. 5A is a perspective view illustrating the tilting unit 300 together with the turn unit 400 and the first base plate 500.

도 5a에 도시된 바와 같이, 상기 틸팅 유닛(300)은 상기 턴 유닛(400)의 회전축(401) 상단에 고정되어 회전축(401)에 의해 회전된다. 이러한 틸팅 유닛(300)은 상기 회전축(401)의 상단에 장착고정되는 제1 요크부재(310)와, 상기 제1 요크부재(310)에 전,후방향(도면에서 "X"방향을 정면으로 설정하는 경우)으로 회전가능하게 힌지되는 제2 요크부재(330)와, 상기 제2 요크부재(330)에 좌,우 방향으로 회전가능하게 힌지되는 제3 요크부재(350)를 포함한다. 상기 제3 요크부재(350)의 상면에는 전술한 검사 테이블(10)이 고정된다. 따라서, 검사자가 검사 테이블(10)을 손으로 잡고 임의의 방향으로 기울이면 상기 제3 요크부재(350)의 좌,우 회동과 상기 제2 요크부재(330)의 전,후 회동에 의하여 검사 테이블(10)이 어떠한 각도로도 기울어질 수 있다. 도시된 예에서 상기 제1 요크부재(310)는 상기 턴 유닛(400)의 회전축(401)에 고정되는 하부 플레이트(311)와, 이 하부 플레이트(311)의 좌,우 양측에 입설되는 사이드 플레이트(312)로 이루어진다. 상기 제2 요크부재(330)는 하부 플레이트(331)와, 이 하부 플레이트(331)의 좌,우 양측에 입설되면서 상기 제1 요크부재(310)의 양측 사이드 플레이트(312)에 전,후 방향으로 회전가능하게 힌지되는 제1 사이드 플레이트(332)와, 이 제1 사이드 플레이트(332)의 직각방향 즉,도면상 전,후 방향 양측에서 상기 하부 플레이트(331)상에 입설되는 제2 사이드 플레이트(333)로 이루어진다. 상기 제3 요크부재(350)는 검사 테이블(10)이 장착고정되는 상부 플레이트(351)와, 이 상부 플레이트(351)의 양측에서 하향 연장되어 상기 제2 요크부재(330)의 제2 사이드 플레이트(333)에 좌,후 회전가능하게 힌지되는 사이드 플레이트(352)로 이루어진다.As shown in FIG. 5A, the tilting unit 300 is fixed to the upper end of the rotating shaft 401 of the turn unit 400 and rotated by the rotating shaft 401. The tilting unit 300 includes a first yoke member 310 fixed to an upper end of the rotation shaft 401 and a front and rear directions (“X” direction in the drawing) in front of the first yoke member 310. And a second yoke member 330 rotatably hinged to the second yoke member 330, and a third yoke member 350 rotatably hinged to the second yoke member 330. The above-described examination table 10 is fixed to the upper surface of the third yoke member 350. Therefore, when the inspector holds the examination table 10 by hand and tilts it in any direction, the examination table is rotated by the left and right rotations of the third yoke member 350 and the forward and rearward rotation of the second yoke member 330. 10 can be tilted at any angle. In the illustrated example, the first yoke member 310 has a lower plate 311 fixed to the rotation shaft 401 of the turn unit 400, and side plates placed on both left and right sides of the lower plate 311. 312. The second yoke member 330 is placed on both sides of the lower plate 331 and the left and right sides of the lower plate 331, and is moved forward and backward on both side plates 312 of the first yoke member 310. First side plate 332 rotatably hinged to the second side plate and a second side plate placed on the lower plate 331 at both sides of the first side plate 332 at a right angle, i.e., in the front and rear directions. Consists of 333. The third yoke member 350 extends downward from both sides of the upper plate 351 to which the examination table 10 is fixed, and the second side plate of the second yoke member 330. And a side plate 352 rotatably hinged to the left and right sides 333.

도 5b는 도 5a의 "X" 방향에서 본 단면도이고, 도 5c는 도 5a의 "Y" 방향에서 바라본 도면으로서, 상기 제2,3 요크부재(330,350)들의 힌지 구조를 나타낸다.FIG. 5B is a cross-sectional view seen from the direction “X” of FIG. 5A, and FIG. 5C is a view seen from the “Y” direction of FIG. 5A, and shows the hinge structures of the second and third yoke members 330 and 350.

도 5b 및 도 5c에 도시된 바와 같이 상기 제2 요크부재(330)의 좌,우 양측의 제1 사이드 플레이트(332)에는 힌지축(334)이 고정되며, 이 양측 힌지축(334)이 상기 제1 요크부재(310)의 양측 사이드 플레이트(312)에 베어링(313)을 매개로 회전가능하게 결합된다. 이러한 제1 요크부재(310)의 양측 중 하나 이상에는 상기 제2 요크부재(330)의 힌지축(334)을 일정한 힘으로 압지하여 힌지축(334)의 임의적 회전을 억제함으로써 상기 제2 요크부재(330)가 제1 요크부재(310)에 대하여 저절로 기울어지는 것(힌지축(334)이 회전되는 것)을 방지하는 토크 콘트롤러(314)가 구비된다. 도시된 예에서 상기 토크 콘트롤러(314)는 공지의 마그네틱 댐퍼의 일종으로 채용하고 있는 바, 토크 콘트롤러(314) 중간의 마그네틱(314a)에 의하여 상기 힌지축(334)에 일정한 자력을 가함으로써 힌지축(334)의 임의적 회전을 방지하게 된다. 즉, 검사자 상기 제2 요크부재(330)를 임의의 각도로 기울인 상태에서 그대로 놓게 되면, 제2 요크부재(330)의 자중과, 이 제2 요크부재(330)에 하중을 가하는 상기 제3 요크부재(350), 검사 테이블(10) 및 엘씨디 글라스의 무게에 의해 상기힌지축(334)을 회전시키려고 하는 회전력이 상기 토크 콘트롤러(314)에 의해 저지되게 된다. 따라서 검사 테이블(10)이 어떠한 각도로 기울어져 있더라도 더 이상 스스로 기울어지지 않게 되어 기울어진 그 상태를 계속적으로 유지할 수 있다.As shown in FIGS. 5B and 5C, hinge shafts 334 are fixed to the first side plates 332 on both the left and right sides of the second yoke member 330, and the hinge shafts 334 are fixed to both side hinge shafts 334. Both side plates 312 of the first yoke member 310 are rotatably coupled via a bearing 313. At least one of both sides of the first yoke member 310 presses the hinge shaft 334 of the second yoke member 330 with a constant force to suppress an arbitrary rotation of the hinge shaft 334 so as to suppress the second yoke member. A torque controller 314 is provided to prevent the 330 from inclining itself relative to the first yoke member 310 (the hinge shaft 334 rotates). In the illustrated example, the torque controller 314 is adopted as a kind of known magnetic damper, and the hinge shaft 334 is applied to the hinge shaft 334 by a magnetic force 314a in the middle of the torque controller 314. Random rotation of 334 is prevented. That is, when the inspector puts the second yoke member 330 in an inclined state at an angle, the weight of the second yoke member 330 and the third yoke that apply a load to the second yoke member 330 are maintained. The rotational force to rotate the hinge shaft 334 by the weight of the member 350, the examination table 10 and the LCD glass is blocked by the torque controller 314. Therefore, even when the examination table 10 is inclined at any angle, it is no longer inclined by itself, so that the inclined table 10 can be continuously maintained.

또한, 상기 제3 요크부재(350)의 힌지 구조에 있어서도 마찬가지로, 상기 제2 요크부재(330)의 전,후 양측의 제2 사이드 플레이트(333)에 힌지축(335)이 고정되며, 이 양측 힌지축(335)에 상기 제3 요크부재(350)의 양측 사이드 플레이트(352)가 베어링(353)을 매개로 회전가능하게 결합됨과 아울러, 상기 제3 요크부재(350)의 양측 중 하나 이상에는 상기 제2 요크부재(330)의 힌지축(335)을 일정한 힘으로 압지하여 힌지축(335)의 임의적 회전을 억제함으로써 상기 제3 요크부재(350)가 제2 요크부재(330)에 대하여 저절로 기울어지는 것을 방지하기 위한 토크 콘트롤러(354)가 구비된다.In addition, also in the hinge structure of the third yoke member 350, the hinge shaft 335 is fixed to the second side plate 333 on both sides before and after the second yoke member 330, both sides Both side plates 352 of the third yoke member 350 are rotatably coupled to the hinge shaft 335 via the bearing 353, and at least one of both sides of the third yoke member 350 may be provided. By pressing the hinge shaft 335 of the second yoke member 330 with a constant force to suppress the arbitrary rotation of the hinge shaft 335, the third yoke member 350 is spontaneously with respect to the second yoke member 330. A torque controller 354 is provided to prevent tilting.

이와 같이 본 발명은 틸팅 유닛(300)을 다수의 요크부재(310,330,350)를 서로 회전가능하게 힌지시킨 구조를 갖추고 있으므로 틸팅 유닛(300)을 모터 등의 강제적 동력으로 동작시키던 종래의 방법과는 달리 수동으로 조작할 수 있다. 그렇기 때문에 검사자는 검사 테이블(10)을 본인이 원하는 각도로 매우 미세하고 편리하며 신속하게 기울일 수 있고, 규격이 큰 엘씨디 글라스의 국부검사도 매우 정확하고 편리하게 수행할 수 있게 된다. 또한, 제2,3 요크부재(330,350)의 힌지부에 토크 콘트롤러(314,354)를 구비함으로써 검사 테이블(10)이 임의의 각도로 기울여진 상태에서 그대로 멈춰질 수 있다. 또한 잘 아는 바와 같이 토크 콘트롤러(314,354)가 각 힌지축(334,335)의 회전을 일정한 힘으로 억제하는 작용에 의하여 검사자가 검사 테이블(10)을 기울이는 경우 일정하고 안정적인 속도가 유지된다.As described above, the present invention has a structure in which the tilting unit 300 is rotatably hinged to the plurality of yoke members 310, 330, and 350, so that the tilting unit 300 is manually operated unlike the conventional method of operating the tilting unit 300 by forcible power such as a motor. Can be operated with Therefore, the inspector can tilt the examination table 10 at a desired angle very fine, convenient, and quick, and the local inspection of a large LCD glass can be performed very accurately and conveniently. In addition, by providing the torque controllers 314 and 354 at the hinge portions of the second and third yoke members 330 and 350, the inspection table 10 may be stopped as it is at an angle. Also, as is well known, the torque controller 314, 354 maintains a constant and stable speed when the tester tilts the test table 10 by the action of suppressing rotation of each hinge shaft 334, 335 with a constant force.

도 6은 본 발명에 의한 턴 유닛(400)을 나타내고 있다. 도 5a와 병행 참조하여 설명한다.6 shows a turn unit 400 according to the present invention. It demonstrates with reference to FIG. 5A.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 상기 턴 유닛(400)의 회전축(401)은 제1 베이스 플레이트(500) 상면에 설치된 마운트(402)에 회전가능하게 설치된다. 상기 회전축(401)의 하단에는 풀리(401a)가 구비되고, 제1 베이스 플레이트(500)의 일측에는 상기 회전축(401)의 풀리(401a)와 벨트(404)로 연결되는 풀리(405a)를 구비하는 모터(405)가 설치되어 있다. 이와 같이 모터(405)에 의하여 구동하는 회전축(401)은 상측으로 연장되어 최후에는 상기 제1 요크부재(310)의 하부 플레이트(331)에 연결된다. 또한, 도시된 실시예에서는 상기 회전축(401)의 연장과정에 감속기(406)가 개재되어 모터(405)의 회전이 감속된 후 출력되도록 하고 있다.As shown in the figure, the rotation shaft 401 of the turn unit 400 is rotatably installed in the mount 402 installed on the upper surface of the first base plate 500. A pulley 401a is provided at a lower end of the rotating shaft 401, and a pulley 405a connected to the pulley 401a of the rotating shaft 401 and the belt 404 is provided at one side of the first base plate 500. The motor 405 is provided. As such, the rotation shaft 401 driven by the motor 405 extends upward and is connected to the lower plate 331 of the first yoke member 310 at the end. In addition, in the illustrated embodiment, a reduction gear 406 is interposed in the process of extending the rotation shaft 401 to output after the rotation of the motor 405 is decelerated.

또한, 본 발명의 바람직한 방향에 따라서 상기 회전축(401)과 상기 제1 요크부재(310)의 연결 중간에는 상기 모터(405)에 의한 동력을 단속할 수 있는 즉, 연결하거나 차단할 수 있는 클러치(407)를 구비하고 있다. 상기 클러치(407)는 공지의 마그네틱 클러치의 일종이다. 이를 도 6을 통하여 보다 상세하게 설명하면, 상기 회전축(401)과 동력전달 가능하게 연결된 상기 감속기(406)의 출력축(406a)의 단부를 제1블럭(408)에 연결시키고, 이 제1블럭(408)은 상부에 축(410)이 형성된 제2블럭(409)에 연결시키며, 제2블럭(409)에는 하부드럼(411)을 고정시키고, 이 하부드럼(411) 위에는 스러스트 베어링(412)을 매개로 상부드럼(413)을 공회전되도록연결시키며, 상부드럼(413)의 상단은 상기 제1 요크부재(310)에 고정시킨다, 상기 제2블럭(409)의 축(410)은 상기 상부드럼(413)에 베어링(414)을 매개로 공회전 되도록 한다. 그리고, 상기 축(410)에는 마그네틱 몸체(415)를 키이(416)로써 일체로 회전되도록 결합시키고, 상기 상부드럼(413)에는 허브(417)를 고정시키며, 이 허브(417)에는 접동 슬리이브(418)를 스플라인, 세레이션 또는 돌기와 홈의 결합에 의하여 상,하 슬라이딩 가능하게 결합시키고, 이 접동 슬리이브(418)의 하면에는 클러치 기어(419)를 형성시키고, 상기 마그네틱 몸체(415)의 상면에는 상기 슬리이브(418)의 클러치 기어(419)에 대향하는 클러치 기어(415a)를 형성시킨 구조를 갖는다.In addition, according to a preferred direction of the present invention in the middle of the connection between the rotary shaft 401 and the first yoke member 310, the clutch 407 that can control the power by the motor 405, that is to connect or cut off ). The clutch 407 is a kind of known magnetic clutch. 6, the end of the output shaft 406a of the reduction gear 406 connected to the rotational shaft 401 to be power transmission is connected to the first block 408, and the first block ( The 408 is connected to the second block 409 having the shaft 410 formed thereon, and the lower drum 411 is fixed to the second block 409, and the thrust bearing 412 is mounted on the lower drum 411. The upper drum 413 is connected to be idling so as to be idle, and the upper end of the upper drum 413 is fixed to the first yoke member 310. The shaft 410 of the second block 409 is the upper drum ( 413 to idle through the bearing 414. The shaft 410 is coupled to the magnetic body 415 to be integrally rotated by the key 416, and the hub 417 is fixed to the upper drum 413, and the sliding sleeve is connected to the hub 417. 418 is coupled to the upper and lower slidable by the coupling of the spline, serration or the projection and the groove, the lower surface of the sliding sleeve 418 to form a clutch gear (419), the magnetic body 415 of the The upper surface has a structure in which a clutch gear 415a opposite to the clutch gear 419 of the sleeve 418 is formed.

결국, 상기 감속기(406)의 출력축(406a)에는 상기 제1,2블럭(408,409), 축(410), 하부드럼(411), 및 마그네틱 몸체(415)가 일체로 회전되도록 연결되고, 상기 제1 요크부재(310)에는 상기 상부드럼(413), 허브(417), 및 슬리이브(418)가 일체로 회전되도록 연결되면서 상기 하부드럼(411)과 축(410)에서 스러스트 베어링(412)과 베어링(414)에 의해 서로 공회전되도록 연결된다. 따라서 상기 제1 요크부재(310)는 감속기(406) 출력축(406a)으로부터의 동력과 스러스트 베어링(412) 및 베어링(414)을 매개로 차단(공회전)되는 구조를 갖추고 있다. 이와 같이 동력이 차단된 상태에서는 모터(405)로부터의 동력이 제1 요크부재(310) 즉, 틸팅 유닛(300)에 전달되지 않으므로 검사 테이블(10)을 수동으로 조작할 수 있다. 이때에는 상기 마그네틱 몸체(415)의 코일(415b)에 전류가 인가되어 생성되는 자력에 의하여 상기 접동 슬리이브(418)가 상향 슬라이딩된 상태이다. 이러한 상태에서상기 틸팅 유닛(300)을 상기 모터(405)로 구동하고자 할 때에는, 상기 마그네틱 몸체(415)의 코일(415b)에 인가되는 전류를 차단시키면 자력이 소멸되고, 이에따라 슬리이브(418)가 하향 이동하여 슬리이브(418)의 클러치 기어(419)가 마그네틱 몸체(415)의 클러치 기어(415a)에 맞물려 동력이 전달되게 되는 것이다.As a result, the first and second blocks 408 and 409, the shaft 410, the lower drum 411, and the magnetic body 415 are connected to the output shaft 406a of the speed reducer 406 integrally. The yoke member 310 is connected to the upper drum 413, the hub 417, and the sleeve 418 to rotate integrally with the thrust bearing 412 on the lower drum 411 and the shaft 410. The bearings 414 are connected to be idle with each other. Therefore, the first yoke member 310 has a structure in which the power from the reducer 406 output shaft 406a and the thrust bearing 412 and the bearing 414 are cut off (idle). In this state, since the power from the motor 405 is not transmitted to the first yoke member 310, that is, the tilting unit 300, the inspection table 10 may be manually operated. At this time, the sliding sleeve 418 is in a state in which the sliding sleeve 418 is upwardly slid by a magnetic force generated by applying a current to the coil 415b of the magnetic body 415. In such a state, when the tilting unit 300 is to be driven by the motor 405, the magnetic force is dissipated when the current applied to the coil 415b of the magnetic body 415 is cut off. Moves downward so that the clutch gear 419 of the sleeve 418 meshes with the clutch gear 415a of the magnetic body 415 to transmit power.

이와 같이 본 발명의 바람직한 방향에 따르면, 먼저 상기 턴 유닛(400)은 모터(405)에 의하여서만 구동될 수 있다. 특히, 본 발명의 더욱 바람직한 방향에 의하면 턴 유닛(400)과 틸팅 유닛(300)과의 동력전달 과정에서 클러치(407)를 개입시켜 동력을 차단하거나 연결할 수 있다. 따라서, 검사자의 의도에 따라 모터(405)의 강제적 구동에 의해 회전시키는 방법 또는 수동으로 회전시키는 방법중 하나를 적절히 선택하면서 검사를 수행할 수 있는 잇점이 있다.As such, according to the preferred direction of the present invention, first, the turn unit 400 may be driven only by the motor 405. In particular, according to a more preferred direction of the present invention can be interrupted or connected to the power via the clutch 407 in the power transmission process between the turn unit 400 and the tilting unit 300. Therefore, there is an advantage in that the inspection can be performed while appropriately selecting one of the method of rotating by the forced driving of the motor 405 or the method of manually rotating according to the inspector's intention.

첨부도면 도 7a, 7b, 7c, 8a, 8b, 8c는 제1 베이스 플레이트(500), 제2 베이스 플레이트(600) 및 하부 베이스(700)의 연결관계를 상세하게 나타내고 있다. 도 1과 병행 참조한다.7A, 7B, 7C, 8A, 8B, and 8C show connection details of the first base plate 500, the second base plate 600, and the lower base 700 in detail. See parallel with FIG. 1.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 제2 베이스 플레이트(600)에 대한 상기 제1 베이스 플레이트(500)의 직선 이송은 엘엠 가이드(Linear Motion Guide, 501)에 의하여 안내되도록 한 구조를 갖추고 있다. 상기 엘엠 가이드(501)는 공지의 엘엠 가이드와 동일하게, 상기 제2 베이스 플레이트(600) 상면 양측에 가이드 레일(502)을 설치하고, 상기 제1 베이스 플레이트(500)의 하면에는 상기 가이드 레일(502)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이더(503)를 설치한 구조로 이루어진다. 또한, 하부베이스(700)에 대한 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 직선 이송도 엘엠 가이드(601)에 의하여 안내되도록 한 구조를 갖추고 있다. 이의 엘엠 가이드(601)도 공지의 엘엠 가이드와 동일하게, 상기 하부 베이스(700) 상면 양측에 가이드 레일(602)을 설치하고, 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 하면에는 상기 가이드 레일(602)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이더(603)를 설치한 구조로 이루어진다. 이러한 본 발명은 상기 제1 베이스 플레이트(500)와 제2 베이스 플레이트(600)를 수동으로 이송시킬 수 있게 된다. 즉, 검사자가 검사 테이블(10)의 손잡이(14)를 잡고 움직이면 상기 제1,2 베이스 플레이트(500)(600)가 각각의 엘엠 가이드(501)(601)에 의하여 안내되어 X-축과 Y-축 방향으로의 복합적인 이송이 가능하게 된다.As shown in the figure, the linear transfer of the first base plate 500 with respect to the second base plate 600 has a structure to be guided by the Linear Motion Guide (501). The L guide 501 is provided with a guide rail 502 on both sides of the upper surface of the second base plate 600, similar to the known L guide, and the guide rail (on the lower surface of the first base plate 500) It is made of a structure provided with a slider 503 slidably coupled to the 502. In addition, the linear transfer of the second base plate 600 with respect to the lower base 700 also has a structure to be guided by the LM guide 601. Similarly to the known LM guide 601, the L guide 601 is provided with guide rails 602 on both sides of the upper surface of the lower base 700, and the guide rail 602 on the lower surface of the second base plate 600 The slider 603 is provided to be slidably coupled to the structure. The present invention enables the first base plate 500 and the second base plate 600 to be manually transported. That is, when the examiner grasps the handle 14 of the examination table 10 and moves, the first and second base plates 500 and 600 are guided by the respective L-M guides 501 and 601 to move the X-axis and the Y-axis. Combined feed in the axial direction is possible.

또한, 본 발명의 다른 방향에 따르면, 상기 제1 베이스 플레이트(500)와 제2 베이스 플레이트(600)를 스위치의 조작에 의해 강제적으로만 이송시키는 방법도 가능하다. 이를 위하여 본 발명의 실시예에서는 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 상면 일측에 풀리(505)를 갖는 모터(504)를 구비함과 아울러 타측에는 대응하는 풀리(506, 도 1 참조)를 구비하고, 상기 모터(504)의 풀리(505)와 상기 대응하는 풀리(506)를 벨트(507)로 연결시킨다. 그리고, 상기와 같이 연결된 상기 벨트(507)의 위,아래 두 가닥(507a,507b)중 위쪽 가닥(507a)의 중간에 상기 제1 베이스 플레이트(500)를 직접 체결시켜 구동되도록 할 수 있다. 검사자가 상기 모터(504) 작동 스위치(도시생략)를 조작하면 모터(504)가 회전하고, 모터(504)의 회전에 의하여 상기 벨트(507)가 이동하므로써 상기 벨트(507)의 위쪽 가닥(507a)에 일체로 체결된 제1 베이스 플레이트(500)가 이송되게 된다. 이 경우 상기 엘엠 가이드(501)는 제1 베이스 플레이트(500)의 직선 이송을 안내하게 된다.In addition, according to another direction of the present invention, a method of forcibly transferring the first base plate 500 and the second base plate 600 by manipulating a switch is also possible. To this end, the embodiment of the present invention includes a motor 504 having a pulley 505 on one side of the upper surface of the second base plate 600 and a corresponding pulley 506 (see FIG. 1) on the other side. The pulley 505 of the motor 504 and the corresponding pulley 506 are connected by a belt 507. In addition, the first base plate 500 may be driven by directly coupling the first base plate 500 to the middle of the upper strand 507a of the upper and lower strands 507a and 507b of the belt 507 connected as described above. When the inspector operates the motor 504 operation switch (not shown), the motor 504 rotates, and the upper strand 507a of the belt 507 is caused by the movement of the belt 507 by the rotation of the motor 504. The first base plate 500 which is integrally fastened to) is transferred. In this case, the LM guide 501 guides the linear transfer of the first base plate 500.

상기 제1 베이스 플레이트(500)와 마찬가지로, 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 경우에 있어서도, 상기 하부 베이스(700)의 상면 일측에 풀리(605)를 갖춘 모터(604)를 구비함과 아울러 타측에는 대응하는 풀리(606, 도 1참조)를 구비하고, 상기 모터(604)의 풀리(605)와 상기 대응하는 풀리(606)를 벨트(607)로 연결시키며, 상기 벨트(607)의 위,아래 두 가닥(607a,607b)중 위쪽의 가닥(607a) 중간에 상기 제2 베이스 플레이트(600)를 직접 체결시킨다. 검사자가 상기 모터(604) 작동 스위치(도시생략)를 조작하면 모터(604)가 회전하고, 모터(604)의 회전에 의하여 상기 벨트(607)가 이동하므로써 이 벨트(607)의 위쪽 가닥(607a)에 일체로 체결된 제2 베이스 플레이트(600)가 이송되게 된다. 이 경우 상기 엘엠 가이드(601)는 제2 베이스 플레이트(600)의 직선 이송을 안내하게 된다.Similarly to the first base plate 500, in the case of the second base plate 600, the motor 604 having the pulley 605 is provided on one side of the upper surface of the lower base 700, and the other base plate is provided. On the side is provided with a corresponding pulley 606 (see FIG. 1), and the pulley 605 of the motor 604 and the corresponding pulley 606 by a belt 607, above the belt 607, The second base plate 600 is directly fastened to the middle of the upper strand 607a of the lower two strands 607a and 607b. When the inspector operates the motor 604 operation switch (not shown), the motor 604 rotates, and the upper strand 607a of the belt 607 is moved by the rotation of the motor 604. The second base plate 600 which is integrally fastened to) is transferred. In this case, the L guide 601 guides the linear transfer of the second base plate 600.

특히, 본 발명의 네번째 목적에 부합하는 가장 바람직한 구성으로서는 상기 제1 베이스 플레이트(500)와 제2 베이스 플레이트(600)를 수동으로 이송시키거나 모터(504)(604)에 의해 자동으로 이송시키는 것을 선택적으로 하는 것이다. 이를 위하여 본 발명에서는 상기 제1 베이스 플레이트(500)와 상기 벨트(507)의 연결에 있어서, 그리고 상기 제2 베이스 플레이트(600)와 벨트(607)의 연결에 있어서, 각각 브레이크 유닛(508)(608)을 개재한 구조를 갖추고 있다.In particular, the most preferred configuration in accordance with the fourth object of the present invention is to manually transfer the first base plate 500 and the second base plate 600 or to be automatically transferred by the motors 504 and 604. Is optional. To this end, in the present invention, in the connection of the first base plate 500 and the belt 507, and in the connection of the second base plate 600 and the belt 607, respectively, the brake unit 508 ( 608) is provided.

먼저, 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 제1 베이스 플레이트(500)와 벨트(507)의 연결을 단속하는 브레이크 유닛(508)은, 상기 제1 베이스플레이트(500)의 하부에 상기 벨트(507)의 위쪽 가닥(507a) 상면에 인접하는 상측 마찰판 부재(509)를 고정하고, 상기 제1 베이스 플레이트(500) 하부의 또 다른 일측에는 공압 또는 유압에 의한 유체 실린더(510)를 고정하고, 이의 유체 실린더(510)의 상,하 작동부(511)에는 상기 벨트(507)의 위쪽 가닥(507a) 하면으로 배치되는 하측 마찰판 부재(512)를 고정한 구조로 되어 있다. 첨부도면 도 7b는 상기 유체 실린더(510)의 상,하 작동부(511)를 하향이동시킴으로써 벨트(507)의 위쪽 가닥(507a)으로부터 상,하 마찰판 부재(509,512)가 모두 이탈되어 동력 연결이 해제된 상태를 나타내는 것으로서, 이러한 상태에서는 상기 제1 베이스 플레이트(500)를 수동으로 이송시킬 수 있다. 첨부도면 도 7c는 동력이 연결된 상태를 나타낸다. 상기 유체 실린더(510)의 상,하 작동부(511)를 상승시키면 상기 하측 마찰판 부재(512)가 상기 벨트(507)의 위쪽 가닥(507a)을 상기 상측 마찰판 부재(509)로 가압하여 밀착시킴으로써 동력이 연결된다. 이로써, 상기 제1 베이스 플레이트(500)는 모터(504) 구동에 따른 벨트(507)의 이동에 의하여 이송되게 된다.First, as illustrated in FIG. 7B, the brake unit 508 for controlling the connection between the first base plate 500 and the belt 507 may be formed under the belt 507 under the first base plate 500. The upper friction plate member 509 adjacent to the upper surface of the upper strand 507a) is fixed, and the fluid cylinder 510 by pneumatic or hydraulic pressure is fixed to another side of the lower portion of the first base plate 500, and The lower friction plate member 512 disposed on the lower surface of the upper strand 507a of the belt 507 is fixed to the upper and lower operating portions 511 of the fluid cylinder 510. 7B shows that the upper and lower friction plate members 509 and 512 are separated from the upper strand 507a of the belt 507 by moving the upper and lower operating portions 511 of the fluid cylinder 510 downward so that the power connection is performed. In this state, the first base plate 500 may be manually transferred. 7C shows a state in which power is connected. When the upper and lower operation portions 511 of the fluid cylinder 510 are raised, the lower friction plate member 512 presses the upper strand 507a of the belt 507 to the upper friction plate member 509 to bring it into close contact. The power is connected. As a result, the first base plate 500 is transferred by the movement of the belt 507 according to the driving of the motor 504.

다음, 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 제2 베이스 플레이트(600)와 벨트(607)의 연결을 단속하는 브레이크 유닛(608)은, 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 하부에 상기 벨트(607)의 위쪽 가닥(607a) 상면에 인접하는 상측 마찰판 부재(609)를 고정하고, 상기 제2 베이스 플레이트(600) 하부의 또 다른 일측에는 공압 또는 유압에 의한 유체 실린더(610)를 고정하고, 이의 유체 실린더(610)의 상,하 작동부(611)에는 상기 벨트(607)의 위쪽 가닥(607a) 하면으로 배치되는 하측 마찰판 부재(612)를 고정한 구조로 되어 있다. 첨부도면 도 8b는 상기 유체 실린더(610)의 상,하 작동부(611)를 하향이동시킴으로써 벨트(607)의 위쪽 가닥(607a)으로부터 상,하 마찰판 부재(609,612)가 모두 이탈되어 동력 연결이 해제된 상태를 나타내는 것으로서, 이러한 상태에서는 상기 제2 베이스 플레이트(500)를 수동으로 이송시킬 수 있다. 첨부도면 도 8c는 동력이 연결된 상태를 나타낸다. 상기 유체 실린더(610)의 상,하 작동부(611)를 상승시키면 상기 하측 마찰판 부재(612)가 상기 벨트(607)의 위쪽 가닥(607a)을 상기 상측 마찰판 부재(609)로 가압하여 밀착시킴으로써 동력이 연결된다. 이로써, 상기 제2 베이스 플레이트(600)는 모터(604) 구동에 따른 벨트(607)의 이동에 의하여 이송되게 된다.Next, as shown in FIG. 8B, the brake unit 608 that controls the connection between the second base plate 600 and the belt 607 is the belt 607 below the second base plate 600. The upper friction plate member 609 adjacent to the upper surface of the upper strand 607a) is fixed, and the fluid cylinder 610 by pneumatic or hydraulic pressure is fixed to another side of the lower part of the second base plate 600, and The lower friction plate member 612 which is disposed on the lower surface of the upper strand 607a of the belt 607 is fixed to the upper and lower operating portions 611 of the fluid cylinder 610. 8B shows that the upper and lower friction plate members 609 and 612 are separated from the upper strand 607a of the belt 607 by moving the upper and lower operating portions 611 of the fluid cylinder 610 downward so that the power connection is performed. In this state, the second base plate 500 may be manually transferred. 8C shows a state in which power is connected. When the upper and lower operation portions 611 of the fluid cylinder 610 are raised, the lower friction plate member 612 presses the upper strand 607a of the belt 607 to the upper friction plate member 609 to bring it into close contact. The power is connected. As a result, the second base plate 600 is transferred by the movement of the belt 607 according to the driving of the motor 604.

이와 같이 본 발명에 의하면, 제1 베이스 플레이트(500)와 제2 베이스 플레이트(600)의 이송을 벨트전동으로 수행함과 아울러, 이의 벨트전동을 브레이크 유닛(508,608)으로 단속할 수 있으므로, 검사자가 원하는 바에 따라 수동이송과 자동이송을 선택할 수 있는 잇점이 있다, 예를들어 제1 베이스 플레이트(500)를 많이 이송시켜야 하는 경우에는 브레이크 유닛(508)을 통하여 동력을 연결한 후, 모터(504) 작동 스위치를 조작하여 원하는 위치 근방까지 이송시키고, 그 이후에는 브레이크 유닛(508)의 동력연결을 해제시켜 수동으로 미세한 이송을 할 수 있는 것이다. 이러한 작용은 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 경우도 마찬가지이므로 설명을 생략한다.As described above, according to the present invention, the transfer of the first base plate 500 and the second base plate 600 can be performed by belt transmission, and the belt transmission thereof can be controlled by the brake units 508 and 608. There is an advantage in that manual and automatic feeds can be selected. For example, when the first base plate 500 needs to be transferred a lot, the motor 504 is operated after the power is connected through the brake unit 508. By operating the switch to transfer to the vicinity of the desired position, after that can be finely transferred manually by releasing the power connection of the brake unit 508. This operation is the same as in the case of the second base plate 600, so description thereof will be omitted.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 엘씨디 글라스 검사 장치는, 증기발생기(101)와 다수의 노즐(130) 및 유량조절밸브(124)를 통하여 엘씨디 글라스 표면에 증기를 균일하고 용이하게 도포할 수 있으며, 이에따라 엘씨디 글라스 표면의 얼룩, 흠집 등을 용이하게 판별할 수 있다. 나아가, 본 발명에서는 제1차 증발생기(110)로부터 발생된 입자가 크고 습한 1차증기를 제2차 증기발생기(120)에서 재차 증발시켜 입자가 미세하고 습기가 감소된 2차증기로 만든 다음, 만들어진 2차증기를 다수의 노즐(130)을 통하여 엘씨디 글라스 표면에 분사하게 된다. 이 경우 엘씨디 글라스 표면에 부착되는 증기는 매우 미세하므로 엘씨디 글라스 표면의 미세한 흠집이나 얼룩 등이 더욱 선명하게 나타나게 되고, 이로써 더욱 정밀한 검사를 수행할 수 있다. 또한, 엘씨디 글라스 표면에 분사되는 2차증기는 입자가 미세할 뿐만 아니라 습기가 많이 감소된 것이기 때문에 엘씨디 글라스 표면이나 노즐(130)의 팁부에 물방울이 맺히는 현상도 방지할 수 있는 매우 유용한 발명이다.As described above, the LCD device for inspecting the glass according to the present invention may uniformly and easily apply steam to the LCD glass surface through the steam generator 101, the plurality of nozzles 130, and the flow control valve 124. Accordingly, stains, scratches, and the like on the LCD glass surface can be easily discriminated. Furthermore, in the present invention, the particles generated from the primary evaporator 110 are evaporated again in the secondary steam generator 120 by making the large and wet primary steam regenerate into secondary steam in which the particles are fine and moisture is reduced. The secondary steam is sprayed on the LCD glass surface through the plurality of nozzles 130. In this case, since the vapor attached to the LCD glass surface is very fine, fine scratches or stains on the LCD glass surface appear more clearly, and thus a more precise inspection can be performed. In addition, since the secondary steam sprayed on the LCD glass surface is not only fine particles but also a lot of moisture is reduced, it is a very useful invention that can prevent water droplets from forming on the LCD glass surface or the tip of the nozzle 130.

또한, 본 발명은 틸팅 유닛(300)의 구성을 다수의 요크부재(310,330,350)를 회전가능하게 힌지시킨 구조로 하여 틸팅 유닛(300)을 수동으로 조작할 수 있다. 이에 따라 검사자는 검사 테이블(10)을 본인이 원하는 각도로 매우 미세하고 편리하며 신속하게 기울일 수 있고, 특별히 규격이 큰 엘씨디 글라스의 국부검사도 매우 정확하고 편리하게 수행할 수 있게 된다. 또한, 제2,3 요크부재(330,350)의 힌지 구조에 토크 콘트롤러(314,354)를 구비함으로써 검사 테이블(10)을 수동으로 조작할 시 일정한 속도를 유지할 수 있으면서 검사 테이블(10)이 임의의 각도로 기울여진 상태에서 그대로 멈춰질 수 있게 된다.In addition, according to the present invention, the tilting unit 300 has a structure in which a plurality of yoke members 310, 330, and 350 are rotatably hinged, and thus the tilting unit 300 may be manually operated. Accordingly, the inspector can incline the examination table 10 at a desired angle very finely, conveniently, and quickly, and can perform a local inspection of the LCD, especially a large size, very accurately and conveniently. In addition, by providing torque controllers 314 and 354 in the hinge structures of the second and third yoke members 330 and 350, the inspection table 10 may be maintained at an arbitrary angle while maintaining a constant speed when the inspection table 10 is manually operated. You can stop in the tilted state.

또한, 본 발명에서는 턴 유닛(400)을 모터(405)에 의한 구성만으로 구동시키는 구조로 구성할 수가 있는데, 본 발명의 보다 바람직한 방향에 의하여 턴 유닛(400)과 틸팅 유닛(300)과의 동력전달 과정에 클러치(407)를 개입시키면, 검사자의 의도에 따라 모터(405)의 강제적 구동에 의해 회전시키는 방법이나 수동으로 회전시키는 방법중 하나를 적절히 선택하면서 검사를 수행할 수 있다.In addition, the present invention can be configured to drive the turn unit 400 only by the configuration by the motor 405, the power between the turn unit 400 and the tilting unit 300 according to a more preferred direction of the present invention When the clutch 407 is involved in the transmission process, the inspection can be performed while appropriately selecting one of a method of rotating by a forced driving of the motor 405 or a method of manually rotating, according to the inspector's intention.

또한, 본 발명에 의하면, 제1 베이스 플레이트(500)와 제2 베이스 플레이트(600)의 이송을 벨트전동으로 수행함과 아울러, 이의 벨트전동을 브레이크 유닛(508,608)으로 단속할 수 있으므로, 검사자가 원하는 바에 따라 수동이송과 자동이송을 적절히 선택하면서 검사를 수행할 수 있는 편리함이 있다.In addition, according to the present invention, the transfer of the first base plate 500 and the second base plate 600 can be carried out by belt transmission, and the belt transmission thereof can be controlled by the brake units 508 and 608. It is convenient to perform the inspection while properly selecting manual and automatic transfer.

Claims (23)

엘씨디 글라스를 장착하기 위한 검사 테이블과, 이 검사 테이블의 경사 각도를 조정함과 아울러, 검사 테이블을 회전 및 X-Y방향으로 이송하는 기구를 포함하여 엘씨디 글라스의 흠집, 얼룩, 액정 주입상태 등을 검사하는 검사 장치에 있어서,An inspection table for mounting an LCD glass, a mechanism for adjusting the inclination angle of the inspection table, and a mechanism for rotating the inspection table in the XY direction to inspect the scratches, stains, liquid crystal injection state, etc. of the LCD glass In the inspection apparatus, 물을 가열하여 증기를 발생시키는 증기 발생기(101);A steam generator 101 for heating water to generate steam; 상기 증기 발생기(101)로부터 발생된 증기를 상기 엘씨디 글라스 표면에 분사하기 위하여 상기 검사 테이블에 배치되는 다수의 노즐(130); 및A plurality of nozzles 130 disposed on the inspection table for injecting steam generated from the steam generator 101 onto the LCD glass surface; And 상기 증기 발생기(101)와 상기 다수의 노즐(130)을 연결하는 연장관(123)에 설치되어 상기 노즐(130)로 공급되는 증기의 양을 제어하는 유량조절밸브(124); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.A flow control valve (124) installed in the extension pipe (123) connecting the steam generator (101) and the plurality of nozzles (130) to control the amount of steam supplied to the nozzle (130); LCD glass inspection apparatus comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 증기 발생기(101)에 압축공기를 공급하여 상기 증기 발생기(101)에서 발생된 증기를 상기 다수의 노즐(130)로 압송하는 콤프레서(140)와, 상기 콤프레서(140)로부터 상기 증기 발생기(101)를 연결하는 관로(141)상에 배치되는 유량조절밸브(142)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.Compressor 140 for supplying compressed air to the steam generator 101 to pump the steam generated by the steam generator 101 to the plurality of nozzles 130, and the steam generator 101 from the compressor 140 LCD glass inspection apparatus further comprises a flow control valve (142) disposed on the conduit (141) for connecting. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 증기 발생기(101)는,The steam generator 101, 물을 가열하여 1차적으로 증기를 발생시키는 제1차 증기발생기(110)와, 상기 제1차 증기발생기(110)로부터 얻어진 습하고 입자가 큰 증기를 다시 증발시켜 미세한 입자의 건증기를 생성하여 상기 다수의 노즐(130)로 공급하는 제2차 증기발생기(120)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사장치.The primary steam generator 110, which primarily generates water by heating water, and the wet and large vapor obtained from the primary steam generator 110 are evaporated again to generate dry steam of fine particles. LCD glass inspection device, characterized in that consisting of a secondary steam generator 120 for supplying a plurality of nozzles (130). 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 제1차 증기발생기(110)로부터 상기 제2차 증기발생기(120)로 연결되는 연결관(113) 중간에 유량조절밸브(114)가 설치되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.LCD glass inspection apparatus, characterized in that the flow control valve 114 is installed in the middle of the connection pipe 113 is connected to the secondary steam generator 120 from the primary steam generator (110). 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 제1차 증기발생기(110)는 내부에 물을 충전가능한 가열용기(111)와, 이 가열용기(111) 내부에 수용된 물을 가열 증발시키는 가열기(112)를 포함하고,The primary steam generator 110 includes a heating vessel 111 capable of filling water therein, and a heater 112 for evaporating the water contained in the heating vessel 111. 상기 제2차 증기 발생기(120)는 상기 제1차 증기발생기(110)로부터 발생된 1차 증기를 분사하는 노즐(121) 및 이 노즐(121)로부터 분사된 증기를 재차 증발시켜 제2차 증기를 생성하게 되는 히터(122)를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.The secondary steam generator 120 evaporates the nozzle 121 for injecting the primary steam generated from the primary steam generator 110 and the steam injected from the nozzle 121 to evaporate the secondary steam again. LCD glass inspection apparatus comprising a heater 122 to generate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 엘씨디 글라스에 상기 제2차 증기를 분사하기에 앞서 엘씨디 글라스를 냉각시켜 엘씨디 글라스 표면에 2차 증기가 용이하게 부착될 수 있도록 하고, 검사가 종료된 후 엘씨디 글라스 표면의 증기를 제거하기 위하여 상기 엘씨디 글라스 표면에 냉각 공기를 분사하는 냉각 유닛(200)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.Prior to injecting the secondary steam into the LCD glass, the LCD glass is cooled so that the secondary steam can be easily attached to the LCD glass surface, and after the inspection is completed, to remove the vapor on the LCD glass surface. LCD glass inspection apparatus further comprises a cooling unit (200) for injecting cooling air to the LCD glass surface. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 냉각 유닛(200)은,The cooling unit 200, 상기 엘씨디 글라스의 둘레를 따라 형성되는 냉각배관(201)과, 이 냉각배관(201)상에 상기 엘씨디 글라스를 향하여 배치되는 다수의 노즐(202)과, 공기를 냉각시키는 열교환기(203)와, 상기 열교환기(203)로부터 발생된 냉각 공기를 상기 냉각배관(201)으로 압송하여 냉각 공기를 상기 노즐(202)로 토출되도록 하는 블로어(204)를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사장치.A cooling pipe 201 formed along the circumference of the LCD glass, a plurality of nozzles 202 disposed on the cooling pipe 201 toward the LCD glass, a heat exchanger 203 for cooling air; And a blower (204) for pumping cooling air generated from the heat exchanger (203) into the cooling pipe (201) to discharge cooling air to the nozzle (202). 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 냉각배관(201)은 지지판(205)에 취부되고, 이 지지판(205)은 작동실린더(206)에 연결되어, 상기 냉각배관(201)이 상기 작동실린더(206)에 의하여 상기 엘씨디 글라스를 향해 승강되도록 구성한 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사장치.The cooling pipe 201 is mounted to the support plate 205, which is connected to the operation cylinder 206 so that the cooling pipe 201 is directed to the LCD glass by the operation cylinder 206. LCD glass inspection device, characterized in that configured to be elevated. 엘씨디 글라스가 안착되기 위한 검사 테이블(10)이 상측에 고정되는 틸팅 유닛(300);A tilting unit 300 to which the examination table 10 for mounting the LCD glass is fixed at an upper side thereof; 상기 틸팅 유닛(300)의 하부에 연결되는 회전축(401)을 갖추어 이 회전축(401)의 회전에 의하여 상기 틸팅 유닛(300)을 회전시키는 턴 유닛(400);A turn unit 400 having a rotating shaft 401 connected to a lower portion of the tilting unit 300 to rotate the tilting unit 300 by the rotation of the rotating shaft 401; 상기 턴 유닛(400)이 탑재되는 제1 베이스 플레이트(500);A first base plate 500 on which the turn unit 400 is mounted; 상기 제1 베이스 플레이트(500)가 직선으로 슬라이딩 가능하게 탑재되는 제2 베이스 플레이트(600); 및A second base plate 600 on which the first base plate 500 is slidably mounted in a straight line; And 상기 제2 베이스 플레이트(600)가 상기 제1 베이스 플레이트(500)의 이송방향에 직교하는 방향으로 슬라이딩 가능하게 탑재되는 하부 베이스(700); 를 포함하되,A lower base 700 on which the second base plate 600 is slidably mounted in a direction orthogonal to a conveying direction of the first base plate 500; Including, 상기 틸팅 유닛(300)은, 상기 턴 유닛(400)의 회전축(401) 상단에 고정되어 회전축(401)에 의해 회전되는 제1 요크부재(310)와, 상기 제1 요크부재(310)에 전,후방향으로 회전가능하게 힌지되는 제2 요크부재(330)와, 상기 제2 요크부재(330)에 좌,우 방향으로 회전가능하게 힌지되며 그의 상면에 상기 검사 테이블(10)이 고정되는 제3 요크부재(350)를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.The tilting unit 300 is fixed to an upper end of the rotation shaft 401 of the turn unit 400 and is transferred to the first yoke member 310 and the first yoke member 310 that are rotated by the rotation shaft 401. The second yoke member 330 rotatably hinged in a rearward direction, the second yoke member 330 is rotatably hinged in left and right directions, and the inspection table 10 is fixed to an upper surface thereof. LCD device, characterized in that it comprises a yoke member (350). 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제2 요크부재(330)의 좌,우 양측에는 힌지축(334)이 고정되며, 이 양측 힌지축(334)이 상기 제1 요크부재(310)의 양측에 회전가능하게 결합됨과 아울러, 상기 제1 요크부재(310)의 양측 중 하나 이상에는 상기 제2 요크부재(330)의 힌지축(334)을 일정한 힘으로 압지하여 힌지축(334)의 임의적 회전을 억제함으로써 상기 제2 요크부재(330)가 제1 요크부재(310)에 대하여 저절로 기울어지는 것을 방지하는 토크 콘트롤러(314)가 구비되고,Hinge shafts 334 are fixed to both left and right sides of the second yoke member 330, and both hinge shafts 334 are rotatably coupled to both sides of the first yoke member 310. At least one of both sides of the first yoke member 310 presses the hinge shaft 334 of the second yoke member 330 with a constant force to suppress an arbitrary rotation of the hinge shaft 334 so that the second yoke member ( Torque controller 314 is provided to prevent the 330 from inclining itself with respect to the first yoke member 310, 상기 제2 요크부재(330)의 전,후 양측에는 힌지축(335)이 고정되며, 이 양측 힌지축(335)에 상기 제3 요크부재(350)의 양측이 회전가능하게 결합됨과 아울러, 상기 제3 요크부재(350)의 양측 중 하나 이상에는 상기 제2 요크부재(330)의 힌지축(335)을 일정한 힘으로 압지하여 힌지축(335)의 임의적 회전을 억제함으로써 상기 제3 요크부재(350)가 제2 요크부재(330)에 대하여 저절로 기울어지는 것을 방지하는 토크 콘트롤러(354)가 구비되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.Hinge shafts 335 are fixed to both sides of the second yoke member 330 before and after the second yoke member 330, and both sides of the third yoke member 350 are rotatably coupled to both hinge shafts 335. At least one of both sides of the third yoke member 350 presses the hinge shaft 335 of the second yoke member 330 with a constant force to suppress arbitrary rotation of the hinge shaft 335 so as to suppress the third yoke member ( The LCD glass inspection apparatus, characterized in that the torque controller 354 is provided to prevent the 350 from inclining itself with respect to the second yoke member (330). 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 턴 유닛(400)은,The turn unit 400, 상기 제1 베이스 플레이트(500)상에 장착되며 상기 회전축(401)이 회전가능하게 설치되는 마운트(402)와, 상기 회전축(401)을 벨트(404)로써 구동시키는 모터(405)를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.And a mount 402 mounted on the first base plate 500 to which the rotation shaft 401 is rotatably installed, and a motor 405 for driving the rotation shaft 401 with the belt 404. LCD glass inspection device characterized in that. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 턴 유닛(400)은, 그의 회전축(401)이 상기 제1 베이스 플레이트(500) 상에 장착되는 마운트(402)에 회전가능하게 설치되어 모터(405)와 벨트(404) 연결에 의하여 구동되며, 상기 제1 요크부재(500)와는 클러치(407)를 매개로 연결되어 상기 모터(405)의 동력을 단속할 수 있도록 하여서 구성됨을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사장치.The turn unit 400 is rotatably installed on a mount 402 whose rotating shaft 401 is mounted on the first base plate 500, and is driven by connecting the motor 405 and the belt 404. And, the first yoke member 500 is connected to the clutch 407 via a medium, the LCD glass inspection apparatus, characterized in that configured to be able to control the power of the motor (405). 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제2 베이스 플레이트(600)에 대한 상기 제1 베이스 플레이트(500)의 슬라이딩 구성은, 상기 제2 베이스 플레이트(600) 상면 양측에 구비되는 가이드레일(502)과 상기 제1 베이스 플레이트(500)의 하면에 구비되는 슬라이더(503)를 포함하는 엘엠 가이드(501)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.A sliding configuration of the first base plate 500 with respect to the second base plate 600 may include guide rails 502 and the first base plate 500 provided on both sides of the upper surface of the second base plate 600. LCD glass inspection device, characterized in that consisting of the LM guide 501 including a slider 503 provided on the lower surface. 제9항 또는 제13항에 있어서,The method according to claim 9 or 13, 상기 제1 베이스 플레이트(500)는, 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 상면 일측에 풀리(505)를 갖는 모터(504)를 구비함과 아울러 타측에는 대응하는 풀리(506)를 구비하여, 상기 모터(504)의 풀리(505)와 상기 대응하는 풀리(506)를 벨트(507)로 연결시키며, 상기 벨트(507)의 위,아래 두 가닥중 위쪽 가닥의 중간에 상기 제1 베이스 플레이트(500)를 연결시켜 구동되도록 하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.The first base plate 500 includes a motor 504 having a pulley 505 on one side of an upper surface of the second base plate 600 and a corresponding pulley 506 on the other side thereof. The pulley 505 of the motor 504 and the corresponding pulley 506 are connected by a belt 507, and the first base plate 500 in the middle of the upper strand of the two strands above and below the belt 507. LCD glass inspection apparatus, characterized in that the drive to be connected. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 제1 베이스 플레이트(500)와 상기 벨트(507)의 연결에 있어서, 상기 제1 베이스 플레이트(500)와 상기 벨트(507)의 위쪽 가닥과의 연결을 단속하는 브레이크 유닛(508)이 개재되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.In the connection between the first base plate 500 and the belt 507, a brake unit 508 is interposed between the first base plate 500 and the upper strand of the belt 507. LCD glass inspection apparatus, characterized in that. 제15항에 있어서,The method of claim 15, 상기 브레이크 유닛(508)은,The brake unit 508, 상기 제1 베이스 플레이트(500)의 하부에 상기 벨트(507)의 위쪽 가닥 상면에 인접하는 상측 마찰판 부재(509)를 고정하고, 상기 제1 베이스 플레이트(500) 하부의 또 다른 일측에는 유체 실린더(510)를 고정하고, 이의 유체 실린더(510)의 상,하 작동부(511)에는 상기 벨트(507)의 위쪽 가닥 하면으로 배치되는 하측 마찰판 부재(512)를 고정하여, 상기 유체 실린더(510) 상,하 작동부(511)의 상승 또는 하강에 의하여 상기 하측 마찰판 부재(512)가 상기 벨트(507)의 위쪽 가닥을 상기 상측 마찰판 부재(509)로 밀착 또는 이탈시킴으로써, 제1 베이스 플레이트(500)와 벨트(507)가 연결 또는 해제되도록 하여 구성되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.An upper friction plate member 509 adjacent to an upper strand upper surface of the belt 507 is fixed to a lower portion of the first base plate 500, and a fluid cylinder (or lower portion) is provided on another side of the lower portion of the first base plate 500. 510 is fixed, and the lower friction plate member 512 which is disposed on the upper and lower surfaces of the belt 507 is fixed to the upper and lower operation portions 511 of the fluid cylinder 510, and the fluid cylinder 510 is fixed. The first base plate 500 by the lower friction plate member 512 closes or detaches the upper strand of the belt 507 to the upper friction plate member 509 by raising or lowering the upper and lower operating parts 511. ) And the belt 507 is connected to the LCD release device characterized in that configured to be configured. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 하부 베이스(700)에 대한 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 슬라이딩 구성은, 상기 하부 베이스(700) 상면 양측에 구비되는 가이드 레일(602)과 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 하면에 구비되는 슬라이더(603)를 포함하는 엘엠 가이드(601)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.The sliding structure of the second base plate 600 with respect to the lower base 700 is provided on the lower surface of the guide rail 602 and the second base plate 600 provided on both sides of the upper surface of the lower base 700. LCD device, characterized in that the LCD comprises a guide 601 including a slider (603). 제9항 또는 제17항에 있어서,The method according to claim 9 or 17, 상기 제2 베이스 플레이트(600)는, 상기 하부 베이스(700)의 상면 일측에 풀리(605)를 갖춘 모터(604)를 구비함과 아울러 타측에는 대응하는 풀리(606)를 구비하여, 상기 모터(604)의 풀리(605)와 상기 대응하는 풀리(606)를 벨트(607)로 연결시키며, 상기 벨트(607)의 위,아래 두 가닥중 위쪽의 가닥 중간에 상기 제2 베이스 플레이트(600)를 연결시켜 구동되도록 하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.The second base plate 600 includes a motor 604 having a pulley 605 on one side of an upper surface of the lower base 700 and a corresponding pulley 606 on the other side of the lower base 700. The pulley 605 of the 604 and the corresponding pulley 606 is connected to the belt 607, the second base plate 600 in the middle of the upper strand of the upper and lower strands of the belt 607 LCD glass inspection device, characterized in that to be driven by connecting. 제18항에 있어서,The method of claim 18, 상기 제2 베이스 플레이트(600)와 상기 벨트(607)의 연결에 있어서, 상기 제2 베이스 플레이트(600)와 상기 벨트(607)의 위쪽 가닥과의 연결을 단속하는 브레이크 유닛(608)이 개재되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.In the connection between the second base plate 600 and the belt 607, a brake unit 608 interposed between the second base plate 600 and the upper strand of the belt 607 is interposed therebetween. LCD glass inspection apparatus, characterized in that. 제19항에 있어서,The method of claim 19, 상기 브레이크 유닛(608)은,The brake unit 608, 상기 제2 베이스 플레이트(600)의 하부에 상기 벨트(607)의 위쪽 가닥 상면에 인접하는 상측 마찰판 부재(609)를 고정하고, 상기 제2 베이스 플레이트(600) 하부의 또 다른 일측에는 유체 실린더(610)를 고정하고, 이의 유체 실린더(610)의상,하 작동부(619)에는 상기 벨트(607)의 위쪽 가닥 하면으로 배치되는 하측 마찰판 부재(612)를 고정하여, 상기 유체 실린더(610) 상,하 작동부(611)의 상승 또는 하강에 의하여 상기 하측 마찰판 부재(612)가 상기 벨트(607)의 위쪽 가닥을 상기 상측 마찰판 부재(609)로 밀착 또는 이탈시킴으로써, 제2 베이스 플레이트(600)와 벨트(607)가 연결 또는 해제되도록 하여 구성되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.An upper friction plate member 609 adjacent to an upper strand upper surface of the belt 607 is fixed to a lower portion of the second base plate 600, and a fluid cylinder is disposed on the other side of the lower portion of the second base plate 600. 610 is fixed, and the lower friction plate member 612 disposed on the upper and lower operating portions 619 of the fluid cylinder 610 and the lower strand of the upper portion of the belt 607 is fixed to the fluid cylinder 610. When the lower friction plate member 612 closes or detaches the upper strand of the belt 607 to the upper friction plate member 609 by raising or lowering the lower operation part 611, the second base plate 600 is provided. And the LCD 607 is configured to be connected or released. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 장치는,The device, 물을 가열하여 증기를 발생시키는 증기 발생기(101);A steam generator 101 for heating water to generate steam; 상기 증기 발생기(101)로부터 발생된 증기를 상기 엘씨디 글라스 표면에 분사하기 위하여 상기 검사 테이블(10)에 배치되는 다수의 노즐(130);A plurality of nozzles (130) disposed on the inspection table (10) for injecting steam generated from the steam generator (101) to the LCD glass surface; 상기 증기 발생기(101)와 상기 다수의 노즐(130)을 연결하는 연장관(123)에 설치되어 상기 노즐(130)로 공급되는 증기의 양을 제어하는 유량조절밸브(124); 및A flow control valve (124) installed in the extension pipe (123) connecting the steam generator (101) and the plurality of nozzles (130) to control the amount of steam supplied to the nozzle (130); And 상기 엘씨디 글라스 표면에 증기를 분사하기에 앞서 엘씨디 글라스를 냉각시키거나, 엘씨디 글라스의 검사가 종료된 후 엘씨디 글라스 표면에 도포된 증기를 제거하기 위하여 상기 엘씨디 글라스 표면에 냉각 공기를 분사하는 냉각 유닛(200)을 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.Cooling unit for cooling the LC glass before injecting steam to the LCD glass, or injecting cooling air to the LCD glass surface to remove the vapor applied to the LCD glass after the inspection of the LCD glass ( LCD device, characterized in that it comprises a 200). 제21항에 있어서,The method of claim 21, 상기 증기 발생기(101)는,The steam generator 101, 가열용기(111) 내부에 물이 수용되고, 수용된 물을 가열기(112)에 의하여 가열시켜 증기를 발생시키는 제1차 증기발생기(110);Water is accommodated in the heating vessel 111, the primary steam generator 110 for generating steam by heating the water received by the heater 112; 내부에 히터(122)를 구비하면서, 상기 제1차 증기발생기(110)와 연결되어, 제1차 증기 발생기(100)에서 발생된 증기를 상기 히터(122)에 분사시켜 입자가 미세하고 습기가 감소된 2차 증기를 생성하는 제2차 증기발생기(120); 및While having a heater 122 therein, it is connected to the primary steam generator 110, and sprays the steam generated by the primary steam generator 100 to the heater 122, the particles are fine and moisture is A secondary steam generator 120 producing reduced secondary steam; And 상기 제2차 증기 발생기(120)로부터 연결되어 상기 검사 테이블(10)상에 안착된 엘씨디 글라스에 2차 증기를 분사하는 다수의 노즐(130); 을 포함하고,A plurality of nozzles 130 connected from the secondary steam generator 120 to spray secondary steam onto the LCD glass seated on the test table 10; Including, 상기 제2차 증기 발생기(120)에 압축공기를 공급하여 상기 제2차 증기 발생기(120)에서 발생된 2차증기를 상기 다수의 노즐(130)로 압송하는 콤프레서(140)와, 상기 콤프레서(140)로부터 상기 제2차 증기 발생기(120)를 연결하는 관로(141)상에 배치되는 유량조절밸브(142)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사 장치.Compressor 140 for supplying compressed air to the secondary steam generator 120 to pump the secondary steam generated by the secondary steam generator 120 to the plurality of nozzles 130, and the compressor ( LCD glass inspection apparatus further comprises a flow control valve (142) disposed on the conduit (141) connecting the second steam generator (120) from. 제21항에 있어서,The method of claim 21, 상기 냉각 유닛(200)은,The cooling unit 200, 공기를 냉각시키는 열교환기(203)와, 상기 엘씨디 글라스의 둘레를 따라 형성되는 냉각배관(201)과, 이 냉각배관(201)상에 상기 엘씨디 글라스를 향하여 배치되는 다수의 노즐(202)과, 상기 열교환기(203)로부터 발생된 냉각 공기를 상기 냉각배관(201)으로 압송하여 냉각 공기를 상기 노즐(202)로 토출되도록 하는 블로어(204)를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 검사장치.A heat exchanger 203 for cooling air, a cooling pipe 201 formed along the circumference of the LCD glass, a plurality of nozzles 202 disposed on the cooling pipe 201 toward the LCD glass, And a blower (204) for pumping cooling air generated from the heat exchanger (203) into the cooling pipe (201) to discharge cooling air to the nozzle (202).
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