KR19990025712U - Glass substrate appearance inspection device - Google Patents
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Abstract
본 고안은 유리 기판 외관 검사 장치를 개시한다. 개시된 본 고안은, 셀 형상이 복사된 투명지(11)가 유리 기판(P)에 부착되고, 유리 기판(P)에 모터(2)에 의해 360。 회전되는 스테이지(1)상에 안치된다. 유리 기판(P)로 증기를 분사하는 4개의 노즐(6)이 스테이지(1)의 상하 좌우에 배치되고, 증기 발생원(7)과 각 노즐(6) 사이에는 증기량 제어를 위한 밸브(10)들이 설치된다. 또한, 유리 기판(P)로 빛을 조사하는 할로겐 램프(8)가 스테이지(1)의 상부에 배치되고, 할로겐 램프(8)에서 발해진 빛의 조도를 제어하는 조도 제어기(9)가 할로겐 램프(8)에 연결된다.The present invention discloses a glass substrate appearance inspection apparatus. In the disclosed subject matter, the transparent paper 11 whose cell shape has been copied is attached to the glass substrate P, and is placed on the stage 1 which is rotated 360 ° by the motor 2 to the glass substrate P. Four nozzles 6 for injecting steam to the glass substrate P are disposed on the upper, lower, left, and right sides of the stage 1, and valves 10 for controlling the amount of steam are provided between the steam generator 7 and each nozzle 6. Is installed. In addition, a halogen lamp 8 for irradiating light onto the glass substrate P is disposed above the stage 1, and an illuminance controller 9 for controlling the illuminance of the light emitted from the halogen lamp 8 is a halogen lamp. Connected to (8).
Description
본 고안은 유리 기판 외관 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 TFT 소자가 형성된 유리 기판 외관에 얼룩과 같은 손상의 발생 여부를 증기와 램프의 빛을 이용해서 검사하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting the appearance of a glass substrate, and more particularly, to an apparatus for inspecting the appearance of damage such as stains on the appearance of a glass substrate on which a TFT element is formed using steam and light of a lamp.
일반적으로, 유리 기판에 TFT 소자를 형성시킨 다음, 셀 제조 공정을 실시하게 된다. 이러한 공정중이나 또는 각 공정 단위로 유리 기판을 운반하다가, 유리 기판에 얼룩과 같은 손상이 발생될 소지가 많다.Generally, after forming a TFT element on a glass substrate, a cell manufacturing process is performed. While transporting the glass substrate during such a process or in each process unit, damage such as staining to the glass substrate is likely to occur.
따라서, 유리 기판의 구동부 외관에 얼룩이 묻었는지를 검사하는 공정이 필요하게 되고, 종래의 검사 방식을 개략적으로 설명하면 다음과 같다.Therefore, the process of inspecting whether the external part of the drive part of a glass substrate has a stain | stain is needed, and a conventional inspection system is outlined as follows.
검사자가 유리 기판을 들고 있는 상태에서, 유리 기판의 정면으로 가습기에서 발생된 증기를 보내고, 유리 기판의 후면으로 할로겐 램프의 빛을 조사시켜, 검사자의 육안으로 얼룩 발생 부위를 포착하도록 되어 있다. 이렇게 포착된 얼룩을 세정 공정을 통해 깨끗이 제거하게 된다.While the inspector is holding the glass substrate, the vapor generated by the humidifier is sent to the front of the glass substrate, the light of the halogen lamp is irradiated to the rear of the glass substrate, and the spot of the stain is visually captured by the inspector. The spots thus picked up are cleaned through a cleaning process.
그런데, 종래의 검사 방식은 검사자가 유리 기판을 손으로 들고 있어야 하기 때문에, 검사자의 손에 의해 유리 기판에 얼룩이 묻게 될 소지가 많다. 또한, 종래에는 가습기에서 발생되는 증기를 이용하는 원시적인 방식이기 때문에, 증기량을 전혀 조절할 수가 없고, 또한 할로겐 램프의 빛의 조도도 조절할 수가 없는 관계로, 검사 결과의 신뢰성이 떨어진다는 문제점을 갖고 있다.However, in the conventional inspection method, since the inspector must hold the glass substrate by hand, the inspector's hand is likely to stain the glass substrate. In addition, since the conventional method uses a steam generated in the humidifier, since the amount of steam cannot be adjusted at all and the illuminance of the light of the halogen lamp cannot be adjusted, there is a problem in that the reliability of the test result is poor.
따라서, 본 고안은 종래의 유리 기판 검사 방식이 안고 있는 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 검사자가 유리 기판을 들고 있을 필요가 없도록 하고, 또한 증기량과 빛의 조도를 조절할 수 있는 유리 기판 외관 검사 장치를 제공하는데 목적이 있다.Therefore, the present invention has been devised to solve the problem of the conventional glass substrate inspection method, so that the inspector does not need to hold the glass substrate, and also the glass substrate appearance inspection apparatus that can adjust the amount of vapor and light intensity The purpose is to provide.
도 1은 본 고안에 따른 유리 기판 외관 검사 장치를 나타낸 도면1 is a view showing a glass substrate appearance inspection apparatus according to the present invention
- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawing-
1 - 스테이지 2 - 모터1-Stage 2-Motor
3,4 - 풀리 5 - 벨트3,4-pulley 5-belt
6 - 노즐 7 - 증기 발생원6-Nozzle 7-Steam Generator
8 - 할로겐 램프 9 - 조도 제어기8-halogen lamp 9-light control
10 - 밸브 11 - 투명지10-valve 11-transparent
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 고안은 다음과 같은 구성을 갖는다.In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.
유리 기판이 안치되는 스테이지의 일측에 모터가 설치된다. 이 모터의 회전력에 의해 스테이지가 360。로 회전된다. 스테이지의 상하 좌우 각각에, 유리 기판로 증기를 제공하는 4개의 노즐이 배치된다. 각 노즐은 증기 발생원에 연결되고, 증기 발생원과 각 노즐 사이에는 증기량 제어를 위한 밸브들이 설치된다. 스테이지 상부에 유리 기판으로 빛을 조사하는 할로겐 램프가 배치된다. 할로겐 램프에는 빛의 조도를 조절하는 조도 조절기가 연결된다. 그리고, 유리 기판상에는 유리 기판의 셀 형상이 도시된 투명지가 부착되어서, 검사자는 투명지에 나타낸 얼룩 부분을 펜으로 매핑(mapping)하게 된다.The motor is installed on one side of the stage where the glass substrate is placed. The stage rotates by 360 ° by the rotational force of this motor. On each of the top, bottom, left, and right sides of the stage, four nozzles for providing steam to the glass substrate are arranged. Each nozzle is connected to a steam generator, and valves for controlling the amount of steam are installed between the steam generator and each nozzle. A halogen lamp for irradiating light onto the glass substrate is disposed on the stage. Halogen lamps are connected to an illuminance regulator that controls the illuminance of the light. And the transparent paper which shows the cell shape of a glass substrate is attached on the glass substrate, and an inspector maps the uneven part shown on the transparent paper with the pen.
상기된 본 고안의 구성에 의하면, 증기량이 제어되는 4개의 노즐에 의해 증기가 유리 기판으로 제공되고, 또한 조도가 제어되는 할로겐 램프로부터 빛이 유리 기판으로 조사되므로써, 유리 기판의 외관 검사 신뢰도가 향상된다.According to the configuration of the present invention described above, steam is supplied to the glass substrate by four nozzles in which the amount of steam is controlled, and light is irradiated to the glass substrate from the halogen lamp whose illuminance is controlled, thereby improving the appearance inspection reliability of the glass substrate. do.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 고안에 따른 유리 기판 외관 검사 장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a glass substrate appearance inspection apparatus according to the present invention.
도시된 바와 같이, 유리 기판(P)은 스테이지(1)상에 안치되어 고정된다. 스테이지(1)의 양측은 360。 회전가능하게 소정의 구조물에 지지되고, 그 일측이 모터(2)에 연결된다. 즉, 모터(2)의 축과 스테이지(1)의 일측 각각에 풀리(3,4)가 장착되고, 각 풀리(3,4)는 벨트(5)로 연결된다.As shown, the glass substrate P is placed and fixed on the stage 1. Both sides of the stage 1 are supported by a predetermined structure rotatable 360 °, and one side thereof is connected to the motor 2. That is, pulleys 3 and 4 are mounted on the shaft of the motor 2 and one side of the stage 1, and each pulley 3 and 4 is connected by a belt 5.
유리 기판(P)으로 증기를 분사하는 4개의 노즐(6)이 스테이지(1)의 상하 좌우 각각에 등간격으로 배치된다. 각 노즐(6)은 증기 발생원(7)에 연결되고, 증기 발생원(7)과 각 노즐(6) 사이에는, 증기량 제어를 위한 밸브(10)들이 설치된다.Four nozzles 6 for injecting steam to the glass substrate P are arranged at equal intervals on the upper, lower, left, and right sides of the stage 1. Each nozzle 6 is connected to a steam generator 7, and between the steam generator 7 and each nozzle 6, valves 10 for controlling the amount of steam are provided.
유리 기판(P)으로 빛을 조사하는 할로겐 램프(8)가 스테이지(1)의 상부에 배치된다. 할로겐 램프(8)에는, 빛의 조도를 제어하는 조도 제어기(9)가 연결된다.A halogen lamp 8 for irradiating light onto the glass substrate P is disposed above the stage 1. To the halogen lamp 8, an illuminance controller 9 for controlling the illuminance of light is connected.
한편, 유리 기판(P)의 상부면에 빛을 투과시키는 투명지(11)가 부착된다. 이 투명지(11)에는 유리 기판(P)의 셀 형상이 그대로 복사되어 있다.On the other hand, the transparent paper 11 which permeate | transmits light is attached to the upper surface of the glass substrate P. As shown in FIG. The cell shape of the glass substrate P is copied as it is to this transparent paper 11 as it is.
이하, 상기와 같이 구성된 본 실시예의 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation of this embodiment configured as described above will be described in detail.
셀 형상이 복사된 투명지(11)가 부착된 유리 기판(P)이 스테이지(1)상에 안치되어 고정되면, 증기 발생원(7)으로부터 각 노즐(6)로 증기가 제공되어서, 각 노즐(6)에서 유리 기판(P)으로 증기가 분사된다. 이때, 각 밸브(10)의 개도량을 적절히 조정하여, 증기량을 검사 환경에 맞도록 조절할 수가 있다.When the glass substrate P with the transparent paper 11 with the cell shape copied thereon is placed and fixed on the stage 1, steam is provided from the steam generation source 7 to each nozzle 6, thereby providing each nozzle 6. ) Is injected into the glass substrate P. At this time, the opening amount of each valve 10 can be adjusted suitably, and the amount of steam can be adjusted to match the inspection environment.
또한, 할로겐 램프(8)로부터 빛이 유리 기판(P)으로 조사된다. 이 빛은 조도 제어기(9)에 의해 검사 환경에 맞도록 조정된 상태로, 투명지(11)를 투과하여 유리 기판(P)으로 조사된다.In addition, light is irradiated to the glass substrate P from the halogen lamp 8. This light is irradiated to the glass substrate P through the transparent paper 11 in a state adjusted by the illuminance controller 9 to suit the inspection environment.
이러한 상태에서, 모터(2)가 구동되어 그 회전력이 벨트(5)를 통해 스테이지(1)로 전달된다. 따라서, 스테이지(1)는 회전하게 되는데, 90。 회전시마다 각 노즐(6)의 정면에 배치되므로써, 각 노즐(6)로부터 분사되는 증기가 유리 기판(P)의 정면으로 분사될 수가 있다.In this state, the motor 2 is driven and its rotational force is transmitted to the stage 1 via the belt 5. Therefore, the stage 1 is rotated, but by being disposed in front of each nozzle 6 at every 90 ° rotation, the steam injected from each nozzle 6 can be injected in front of the glass substrate P. As shown in FIG.
만일, 유리 기판(P)에 얼룩이 있으면, 증기에 의해 드러나게 되고, 빛에 의해 투명지(11)에 선명하게 나타나게 된다. 검사자가 얼룩 발생 부위를 펜으로 매핑하게 되면, 유리 기판(P)의 얼룩 발생 부위를 정확하게 알 수가 있고, 따라서 세정과 같은 후속 조치를 신속하고 정확하게 실행할 수가 있다.If there is a stain in the glass substrate P, it will be revealed by steam, and it will appear clearly on the transparent paper 11 by light. When the inspector maps the spots of staining with a pen, the spots of spots of the glass substrate P can be precisely identified, and therefore, subsequent steps such as cleaning can be performed quickly and accurately.
상기된 바와 같이 본 고안에 의하면, 유리 기판(P)이 360。 회전되는 스테이지(1)상에 안치되어, 상하 좌우로 배치된 각 노즐(6)로부터 제공되는 증기를 정면으로 받게 되고, 또한 밸브(10)에 의해 양이 제어된 증기를 받게 됨과 아울러 할로겐 램프(8)의 빛도 조도가 제어된 상태로 유리 기판(P)으로 조사되게 되므로써, 유리 기판의 외관 검사 신뢰도가 대폭 높아지게 된다.As described above, according to the present invention, the glass substrate P is placed on the stage 1 which is rotated 360 degrees, and receives the vapor provided from each nozzle 6 arranged up, down, left, and right in front of the valve. In addition to receiving the steam whose amount is controlled by (10), the light of the halogen lamp 8 is also irradiated onto the glass substrate P in a state in which illuminance is controlled, thereby significantly increasing the appearance inspection reliability of the glass substrate.
한편, 본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiment, any person having ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims can be variously modified. will be.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970038236U KR19990025712U (en) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Glass substrate appearance inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970038236U KR19990025712U (en) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Glass substrate appearance inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990025712U true KR19990025712U (en) | 1999-07-05 |
Family
ID=69677185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019970038236U KR19990025712U (en) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Glass substrate appearance inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990025712U (en) |
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-
1997
- 1997-12-17 KR KR2019970038236U patent/KR19990025712U/en not_active Application Discontinuation
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