KR100653746B1 - Inspecting apparatus of flat panel display - Google Patents

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장현삼
이병식
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Abstract

An apparatus for inspecting a display panel is provided to align a work table on which a inspected object is mounted with accuracy by locating two rotary center structures at both ends of a movable table on which the work table is located. An apparatus(100) for inspecting a display panel includes first and second supports, an X-axis moving unit(132), and an alignment unit(120). The first and second supports are located under a movable table(122) and support the movable table such that the movable table is horizontally rotated. The first and second supports are arranged distant from each other. The X-axis moving unit supports the first and second supports and is horizontally moved on an X-axis by an X-axis driver. The alignment unit includes a Y-axis moving unit(124) that supports the X-axis moving unit and is moved on a Y-axis by a Y-axis driver.

Description

디스플레이 패널의 검사 장비{INSPECTING APPARATUS OF FLAT PANEL DISPLAY} Inspection Equipment for Display Panels {INSPECTING APPARATUS OF FLAT PANEL DISPLAY}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장비의 사시도;1 is a perspective view of a display panel inspection equipment according to an embodiment of the present invention;

도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 얼라인먼트 유닛의 구성을 설명하기 위한 도면들;2 and 3 are views for explaining the configuration of the alignment unit shown in FIG.

도 4 및 도 5는 이동 테이블의 회전 상태를 보여주는 도면들;4 and 5 are views showing a rotating state of the moving table;

도 6은 종래 디스플레이 패널 검사 장비의 얼라인먼트 유닛의 개략적인 구성도이다. 6 is a schematic configuration diagram of an alignment unit of the conventional display panel inspection equipment.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

102 : 베이스102: base

110 : 워크 테이블110: work table

120 : 얼라인먼트 유닛120: alignment unit

122 : 이동 테이블 122: moving table

본 발명은 디스플레이 패널의 검사 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소형 디스플레이 패널들을 검사할 수 있는 검사 장비에 관한 것이다. The present invention relates to inspection equipment for display panels, and more particularly, to inspection equipment capable of inspecting small display panels.

일반적으로 액정표시장치(TFT-LCD)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display)는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)용 뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 응용 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(cathode ray tube) 제품을 점진적으로 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다. In general, flat panel displays such as liquid crystal displays (TFT-LCDs) are rapidly progressing in size and resolution due to mass production technology and achievements in R & D, resulting in not only notebook computers but also large monitors. It is also developed as an application product and gradually replaces existing cathode ray tube (CRT) products, and its weight in the display industry is gradually increasing.

이와 같은 평판 디스플레이(flat panel display) 장치는 제조라인 최종 단계에서 점등 검사를 수행하게 된다. 점등 검사는 프로브 유닛을 이용해 평판 디스플레이(이하 디스플레이 패널이라고 함)의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상 검사 그리고 육안 검사 등을 실시하게 된다. Such a flat panel display device performs a lighting test at the final stage of the manufacturing line. The lighting test uses the probe unit to perform disconnection inspection, color inspection, and visual inspection of each data line and gate line of a flat panel display (hereinafter referred to as a display panel).

최근에는 휴대용 전화기에 사용되는 LCD 패널과 같이 소형의 디스플레이 패널의 수요가 급증하고 있으며, 이러한 소형의 디스플레이 패널을 검사하는 장비 중에는 여러 장의 단위 디스플레이 패널이 서로 연결된 스틱 타입의 LCD 패널들을 검사할 수 있도록 복수의 검사팁이 형성된 프로브 유닛을 갖는 검사 장비가 사용되고 있다. Recently, the demand for small display panels such as LCD panels used in mobile phones is increasing rapidly. Among the equipment for inspecting such small display panels, several unit display panels can be inspected for stick type LCD panels connected to each other. Inspection equipment having a probe unit having a plurality of inspection tips is used.

이러한 스틱 타입의 LCD 패널들을 검사하는 검사 장비에서 워크 테이블(16)의 정렬은 도 6에 도시된 바와 같이 X,Y 이동 플레이트(12,14)의 이동 및 회전축(c)을 중심으로 한 회전 이동에 의해 이루어지기 때문에, 사용자의 요구에 따라 다양한 위치 및 각도 회전이 적절하게 이루어지지 못한다는 단점이 있다.In the inspection equipment for inspecting such stick-type LCD panels, the alignment of the work table 16 is the movement of the X, Y moving plates 12, 14 and the rotational movement about the rotation axis c as shown in FIG. Because it is made by the, there is a disadvantage that various positions and angle rotation is not made properly according to the user's request.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 사용자의 요구 에 따라 다양한 위치 및 각도 회전이 이루어질 수 있는 새로운 형태의 디스플레이 패널 검사 장비를 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a new type of display panel inspection equipment capable of rotating various positions and angles according to a user's request.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 디스플레이 패널 검사 장비는 이동 테이블 저면을 서로 이격된 상태에서 상기 이동 테이블을 수평 회전이 가능하도록 지지하는 제1,2지지부; 상기 제1,2지지부 각각을 지지하면서 X축 구동부에 의해 X축으로 수평이동되는 X축 이동부; 및 상기 X축 이동부를 지지하면서 Y축 구동부에 의해 Y축으로 이동되는 Y축 이동부를 포함하는 얼라인먼트 유닛을 갖는다.Display panel inspection equipment of the present invention for achieving the above object is a first and second support for supporting the movable table to the horizontal rotation in the state in which the bottom surface of the moving table spaced from each other; An X-axis moving unit which is horizontally moved on the X-axis by an X-axis driving unit while supporting each of the first and second support units; And an alignment unit including a Y-axis moving unit which is moved to the Y-axis by a Y-axis driving unit while supporting the X-axis moving unit.

본 발명의 일실시예에 따르면, 디스플레이 패널 검사 장비는 상기 얼라인먼트 유닛의 이동 테이블 상부에 설치되고 전면에 검사를 위한 디스플레이 패널들이 놓여지는 워크 테이블과 상기 워크 테이블 상부에 위치되어 상기 디스플레이 패널들과 접속되는 검사팁들을 갖는 프로브 유닛을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the display panel inspection equipment is installed on the moving table of the alignment unit and the display table for the display panel for the inspection is placed on the front and located on the work table and connected to the display panels It may include a probe unit having the inspection tips.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제1지지부와 상기 제2지지부 각각은 상기 이동 테이블 저면을 지지하는 내륜(inner ring)과, 상기 X축 이동부에 지지되는 외륜(outer ring)을 포함하는 베어링으로 이루어질 수 있다.According to one embodiment of the present invention, each of the first support portion and the second support portion includes an inner ring supporting the bottom surface of the moving table and an outer ring supported on the X-axis moving portion. It can be made of a bearing.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 X축 이동부는 상기 제1지지부와 상기 제2지지부를 각각 지지하는 그리고 상기 X축 구동부에 의해 수평 이동되는 이동 플레이트를 구비하는 한 쌍의 X축 이동유닛을 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the X-axis moving unit includes a pair of X-axis moving units each having a moving plate supporting the first and second support portions and horizontally moved by the X-axis driving unit. It may include.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 Y축 이동부는 상기 한 쌍의 X축 이동유닛 각각을 지지하는 그리고 상기 Y축 구동부에 의해 각각 수평 이동되는 한 쌍의 이동 플레이트를 구비하는 한 쌍의 Y축 이동유닛을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the Y-axis moving unit supports a pair of X-axis moving units, and a pair of Y-axis including a pair of moving plates that are horizontally moved by the Y-axis driving unit, respectively. It may include a mobile unit.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. For example, embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.

본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 5에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다. Exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 5. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장비의 사시도이고, 도 정면도 도 2 및 도 3은 도1에 도시된 얼라인먼트 유닛의 구성을 설명하기 위한 도면들이다. 1 is a perspective view of a display panel inspection equipment according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 and FIG. 3 are views for explaining the configuration of the alignment unit shown in FIG. 1.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 디스플레이 패널 검사 장비(100)는 여러장의 단위 LCD 패널들이 서로 연결된 스틱 타입의 검사 대상물을 검사하기 위한 장비이다.1 to 3, the display panel inspection apparatus 100 of the present invention is a device for inspecting a test object of a stick type in which a plurality of unit LCD panels are connected to each other.

본 발명의 기본적인 의도는 검사 대상물(10)이 놓여지는 워크 테이블(110)을 보다 정밀하게 정렬하기 위한 것으로, 이를 달성하기 위하여 본 발명의 디스플레이 패널 검사 장비(100)는 워크 테이블이(110) 장착되는 이동 테이블(122)이 양단에 수평 회전이 가능하도록 2개의 회전 중심 구조를 갖는다는데 그 특징이 있다. The basic intention of the present invention is to more precisely align the work table 110 on which the test object 10 is placed. In order to achieve this, the display panel test equipment 100 of the present invention is equipped with a work table 110. The moving table 122 is characterized in that it has two rotation center structure to enable horizontal rotation at both ends.

이하, 설명을 간략하게 하고 용이하게 이해할 수 있도록 하기 위해, 검사 장 비에 수평하게 배치된 액정표시패널과 평행한 면내에서의 좌우방향 및 전후방향을 X방향 및 Y방향이라고 하고, 그 액정표시패널에 수직인 방향을 Z방향이라고 한다. Hereinafter, in order to simplify the description and make it easier to understand, the left and right directions and the front and rear directions in the plane parallel to the liquid crystal display panel arranged horizontally on the inspection equipment are referred to as the X direction and the Y direction, and the liquid crystal display panel The direction perpendicular to is called the Z direction.

본 발명의 디스플레이 패널 검사 장비(100)는 크게 베이스(102), 얼라인먼트 유닛(120), 워크 테이블(110) 그리고 프로브 유닛(104)을 포함한다. The display panel inspection apparatus 100 of the present invention largely includes a base 102, an alignment unit 120, a work table 110, and a probe unit 104.

워크 테이블(110)은 얼라인먼트 유닛(120)의 이동 테이블(122)상에 설치된다. 워크 테이블(110)에는 여러 장의 단위 LCD 패널들이 서로 연결된 스틱 타입의 검사 대상물(10)이 놓여지게 되며, 자세히 도시되어 있지는 않지만, 워크 테이블(110)과 이동 테이블(122) 사이에는 검사 대상물(10) 후방에서 조명하도록 점등되는 백라이트 유닛(112)이 구비될 수 있다. 여기서, 백라이트 유닛(112)은 디스플레이 패널의 종류에 따라 자체 발광이 가능한 패널을 검사하고자 하는 경우에는 백라이트 유닛을 사용하지 않는다. The work table 110 is provided on the movement table 122 of the alignment unit 120. The work table 110 is provided with a test object 10 of a stick type in which a plurality of unit LCD panels are connected to each other. Although not shown in detail, the work object 110 is provided between the work table 110 and the moving table 122. The backlight unit 112 may be provided to be illuminated to illuminate from the rear. Here, the backlight unit 112 does not use the backlight unit when it is desired to inspect a panel capable of self-emission according to the type of display panel.

워크 테이블(110) 전방에는 워크 테이블(110)에 탑재된 검사대상물(10)의 LCD 패널들과 전기적으로 접촉되는 프로브 블록(탐침들)(106)들을 갖는 통상의 프로브유닛(104)이 배치된다. 이 프로브유닛(104)는 프로브 블록을 고정하는 매니폴드 블록(manifold block)을 포함한다. 이 프로브 유닛(104)은 승강구동부(미도시됨)를 갖는 지지부(108)에 설치되어 있다. 이 프로브 유닛은 승강구동부에 의해 업다운 되면서 워크 테이블(110) 상부에 놓여진 검사 대상물(10)의 LCD 패널들과 전기적으로 접속 또는 비접속 된다. In front of the work table 110, a conventional probe unit 104 having probe blocks (probes) 106 in electrical contact with the LCD panels of the inspection object 10 mounted on the work table 110 is disposed. . The probe unit 104 includes a manifold block that fixes the probe block. This probe unit 104 is provided in the support part 108 which has a lifting drive part (not shown). The probe unit is electrically connected to or disconnected from the LCD panels of the inspection object 10 placed on the work table 110 while being moved up and down by the lift driver.

프로브 유닛(104)의 프로브 블록(106)들과 검사 대상물의 LCD 패널들의 접속단자들과의 정확한 접속을 위해, 검사대상물이 놓여지는 워크 테이블(110)은 얼라 인먼트 유닛(120)의 이동 테이블(122)의 이동에 의해 정렬되어진다. For accurate connection between the probe blocks 106 of the probe unit 104 and the connection terminals of the LCD panels of the inspection object, the work table 110 on which the inspection object is placed is moved table of the alignment unit 120. Aligned by the movement of 122.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 얼라인먼트 유닛(120)은 이동 테이블(122)(이동 테이블에 설치되는 워크 테이블)을 X방향 및 Y방향 그리고 Z축 방향으로 수평 회전되시키는 기능 등을 갖는다. 얼라인먼트 유닛(120)을 좀 더 구체적으로 살펴보면, 베이스(102)에는 Y축 이동부(124)가 설치되고, Y축 이동부 상부에는 X축 이동부(132)가 설치되며, 이 X축 이동부(132) 상부에는 이동 테이블(122)이 설치된다.As shown in FIGS. 2 to 4, the alignment unit 120 has a function of horizontally rotating the moving table 122 (work table installed on the moving table) in the X direction, the Y direction, and the Z axis direction. . Looking at the alignment unit 120 in more detail, the Y-axis moving unit 124 is installed on the base 102, the X-axis moving unit 132 is installed on the Y-axis moving unit, the X-axis moving unit 132, a moving table 122 is installed at the top.

Y축 이동부(124)는 서로 나란히 배치되는 한 쌍의 Y축 이동유닛(124a)으로 이루어지는데, Y축 이동유닛(124a)은 가이드부(126)와, 이 가이드부(126)를 따라 Y축 방향으로 이동되는 Y축 이동 플레이트(128) 그리고 Y축 이동 플레이트(128)를 Y축 방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 Y축 구동부(130)를 포함한다. 가이드부(126)는 박스 형태의 프레임(125) 내부에 Y축 방향으로 설치되는 가이드레일(126a)과, Y축 이동플레이트(128)의 저면에 설치되는 가이드 블록(126b)으로 이루어진다. Y축 구동부(130)는 서보 모터(130a)와 볼 스크류(130b) 그리고 Y축 이동플레이트(128)의 저면에 설치되는 스크류너트(130c)를 포함한다. 이러한 한 쌍의 Y축 이동유닛은 개별적으로 제어된다.The Y-axis moving unit 124 consists of a pair of Y-axis moving units 124a which are arranged side by side, and the Y-axis moving unit 124a is a guide part 126 and a Y along the guide part 126. Y-axis moving plate 128 to be moved in the axial direction and Y-axis moving plate 128 to provide a driving force for moving the Y-axis moving plate 128 in the Y-axis direction. The guide part 126 includes a guide rail 126a installed in the box-shaped frame 125 in the Y-axis direction, and a guide block 126b installed on the bottom surface of the Y-axis moving plate 128. The Y-axis drive unit 130 includes a servo motor 130a, a ball screw 130b, and a screw nut 130c installed on the bottom surface of the Y-axis moving plate 128. This pair of Y-axis moving units are individually controlled.

X축 이동부(132)는 X축 방향으로 길게 설치되는 한 쌍의 X축 이동유닛(132a)으로 이루어진다. X축 이동유닛(132a)은 Y축 이동유닛(124a)과 마찬가지로 가이드 레일(134a)과 가이드 블록(134b)으로 이루어지는 가이드부(134)와, 이 가이드부(134)를 따라 X축 방향으로 이동되는 X축 이동 플레이트(138) 그리고 X축 이동 플 레이트(138)를 X축 방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 X축 구동부(136)를 포함한다. X축 이동유닛(132a)의 가이드부(134)와 X축 구동부(136)가 설치되는 박스 형태의 프레임(133) 각각은 Y축 이동 플레이트(128)에 설치된다. 여기서, X축 이동부(132)는 그 구조상 하나의 X축 구동부(136)만 구성하되, 2개의 프레임(133)에 걸쳐서 설치된다. 그 장착 상태는 도 3에 자세히 도시되어 있다. 즉, X축 구동부(136)의 서보모터(136a)는 일측 프레임(133)에 설치되고, 볼 스크류(136b)는 다른측 프레임(133)에 설치되어 있음을 알 수 있다. The X-axis moving unit 132 is composed of a pair of X-axis moving unit 132a which is installed long in the X-axis direction. Similar to the Y-axis moving unit 124a, the X-axis moving unit 132a moves in the X-axis direction along the guide portion 134 including the guide rail 134a and the guide block 134b, and the guide portion 134. The X-axis moving plate 138 and the X-axis moving plate 138 is provided with an X-axis driving unit 136 for providing a driving force for moving in the X-axis direction. Each of the box-shaped frame 133 on which the guide part 134 and the X axis drive part 136 of the X axis moving unit 132a are installed is installed on the Y axis moving plate 128. Here, the X-axis moving part 132 constitutes only one X-axis driving part 136 in its structure, and is provided over two frames 133. The mounting state is shown in detail in FIG. 3. That is, it can be seen that the servomotor 136a of the X-axis driving unit 136 is installed in one frame 133 and the ball screw 136b is installed in the other frame 133.

X축 이동부(132)의 X축 이동 플레이트(138)들에는 베어링으로 이루어지는 제1,2지지부(이하 베어링이라고 함;140a,140b)가 각각 설치된다. 이 베어링들(140a,140b)은 이동 테이블(122) 저면을 지지하는 내륜(inner ring;142)과, X축 이동부의 X축 이동 플레이트(138)에 설치되는 외륜(outer ring;144)을 포함한다. 이렇게 이동 테이블(122)은 2개의 베어링(140a,140b)에 의해 양단이 수평 회전이 가능하게 지지되는 것으로, 이동 테이블은 Y축 이동 플레이트(128)들간의 Y축 이동 거리에 따라 회전 각도를 조절할 수 있게 된다. The X-axis moving plates 138 of the X-axis moving part 132 are provided with first and second support parts (hereinafter referred to as bearings) 140a and 140b each formed of bearings. These bearings 140a and 140b include an inner ring 142 supporting the bottom surface of the moving table 122 and an outer ring 144 installed on the X-axis moving plate 138 of the X-axis moving unit. do. Thus, the movement table 122 is supported at both ends by two bearings 140a and 140b to enable horizontal rotation, and the movement table adjusts the rotation angle according to the Y-axis movement distance between the Y-axis movement plates 128. It becomes possible.

이와 같이 구성된 얼라인먼트 유닛(120)에서 이동 테이블의 정렬을 살펴보면 다음과 같다. 우선, 이동 테이블(122)은 X축 구동부(132)에 의해 슬라이드되는 X축 이동 플레이트(138)에 따라 X축 방향의 위치 정렬이 이루어지며. 이동 테이블(122)의 Y축 정렬은 2개의 Y축 구동부(130)에 의해 슬라이드 되는 한 쌍의 Y축 이동 플레이트(128)에 따라 Y축 방향의 위치 정렬이 이루어진다. 한편, 이동 테이블(122)의 회전은 Y축 이동 플레이트(128)들간의 Y축 이동 거리를 조절함(달리함)으 로써 그 회전 각도를 조절할 수 있게 되는데, 도 4 및 도 5에서와 같이 오른쪽의 Y축 이동플레이트(128)가 왼쪽의 Y축 이동플레이트(128)보다 앞으로 전진함으로써 이동 테이블(122)이 2개의 베어링(140a,140b)을 중심으로 하여 회전되게 되는 것이다. 그리고, 회전축의 거리가 종래 기술에 비하여 2배 이상 증가됨에 따라, 검사 대상물이 놓여지는 워크 테이블을 보다 정밀하게 정렬할 수 있다. Looking at the alignment of the movement table in the alignment unit 120 configured as described above are as follows. First, the movement table 122 is aligned in the X-axis direction according to the X-axis movement plate 138 that is slid by the X-axis drive unit 132. The Y-axis alignment of the movement table 122 is aligned in the Y-axis direction according to the pair of Y-axis movement plates 128 that are slid by the two Y-axis drives 130. On the other hand, the rotation of the movement table 122 is able to adjust the rotation angle by adjusting (running) the Y-axis movement distance between the Y-axis movement plate 128, as shown in Figures 4 and 5 By moving the Y-axis moving plate 128 forward of the left Y-axis moving plate 128, the moving table 122 is rotated about two bearings 140a and 140b. And, as the distance of the rotation axis is increased more than twice as compared with the prior art, it is possible to more precisely align the work table on which the inspection object is placed.

한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 디스플레이 패널 검사 장비에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.On the other hand, the present invention can be variously modified in the display panel inspection equipment having the above configuration and may take various forms. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the above description, but rather includes all modifications, equivalents and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be understood to do.

상술한 바와 같이, 본 발명의 검사 장비는 워크 테이블이 장착되는 이동 테이블 양단에 수평 회전이 가능하도록 2개의 회전 중심 구조를 갖음으로써, 검사 대상물이 놓여지는 워크 테이블을 보다 정밀하게 정렬할 수 있는 각별한 효과를 갖는다. As described above, the inspection equipment of the present invention has two rotation center structures to enable horizontal rotation at both ends of the moving table on which the work table is mounted, so that the work table on which the inspection object is placed can be more precisely aligned. Has an effect.

Claims (4)

디스플레이 패널 검사 장비에 있어서:For display panel inspection equipment: X축,Y축 수평이동 및 Z축 방향으로 수평 회전되는 이동 테이블을 갖는 얼라인먼트 유닛;An alignment unit having a movement table horizontally rotated in the X-axis, Y-axis horizontal movement and Z-axis direction; 상기 이동 테이블 상부에 설치되고 전면에 검사를 위한 디스플레이 패널들이 놓여지는 워크 테이블; 및A work table installed above the moving table and having display panels for inspection in front; And 상기 워크 테이블 상부에 위치되어 상기 디스플레이 패널들과 접속되는 검사팁들을 갖는 프로브 유닛을 포함하되;A probe unit positioned on the work table and having test tips connected to the display panels; 상기 얼라인먼트 유닛은The alignment unit 상기 이동 테이블 저면을 서로 이격된 상태에서 상기 이동 테이블을 수평 회전이 가능하도록 지지하는 제1,2지지부;First and second support portions supporting the movable table to be horizontally rotated while the lower surfaces of the movable table are spaced apart from each other; 상기 제1,2지지부 각각을 지지하면서 X축 구동부에 의해 X축으로 수평이동되는 X축 이동부; 및An X-axis moving unit which is horizontally moved on the X-axis by an X-axis driving unit while supporting each of the first and second support units; And 상기 X축 이동부를 지지하면서 Y축 구동부에 의해 Y축으로 이동되는 Y축 이동부를 포함하는 것을 디스플레이 패널 검사 장비.And a Y-axis moving unit which is moved to the Y-axis by the Y-axis driving unit while supporting the X-axis moving unit. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1지지부와 상기 제2지지부 각각은 Each of the first support portion and the second support portion 상기 이동 테이블 저면을 지지하는 내륜(inner ring)과, 상기 X축 이동부에 지지되는 외륜(outer ring)을 포함하는 베어링을 가지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장비.And a bearing including an inner ring for supporting the bottom of the moving table and an outer ring for supporting the X-axis moving part. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 X축 이동부는 The X-axis moving unit 상기 제1지지부와 상기 제2지지부를 각각 지지하는 그리고 상기 X축 구동부에 의해 수평 이동되는 이동 플레이트를 구비하는 한 쌍의 X축 이동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장비. And a pair of X-axis moving units each supporting the first and second supporting parts and having a moving plate horizontally moved by the X-axis driving part. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 Y축 이동부는 The Y-axis moving unit 상기 한 쌍의 X축 이동유닛 각각을 지지하는 그리고 상기 Y축 구동부에 의해 각각 수평 이동되는 한 쌍의 이동 플레이트를 구비하는 한 쌍의 Y축 이동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장비.And a pair of Y-axis moving units supporting each of the pair of X-axis moving units and having a pair of moving plates each horizontally moved by the Y-axis driving unit.
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